JPH1024263A - Fixed volume discharging device - Google Patents
Fixed volume discharging deviceInfo
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- JPH1024263A JPH1024263A JP18172596A JP18172596A JPH1024263A JP H1024263 A JPH1024263 A JP H1024263A JP 18172596 A JP18172596 A JP 18172596A JP 18172596 A JP18172596 A JP 18172596A JP H1024263 A JPH1024263 A JP H1024263A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、定量吐出装置、特
に接着剤などの粘性流体を充填したシリンジに対しエア
供給源から電磁切換弁を介して加圧空気を所定時間供給
してシリンジから液体ないし流体を定量吐出する定量吐
出装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metering device, and more particularly to a syringe filled with a viscous fluid such as an adhesive, which is supplied with pressurized air from an air supply source via an electromagnetic switching valve for a predetermined period of time. The present invention also relates to a fixed-rate discharge device for discharging a fixed amount of fluid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の装置として、例えばチップマウ
ンタ用接着剤塗布装置で接着剤を定量吐出するために用
いられる定量吐出装置が知られている。この種の装置の
従来の構成では、エア供給源からシリンジへ加圧空気を
供給するための配管の経路の途中に電磁切換弁が設けら
れ、電磁切換弁を介してシリンジへ加圧空気を供給し、
加圧空気の供給時間を制御することにより、定量吐出が
行なわれている。2. Description of the Related Art As a device of this type, there is known a constant-rate discharging device used for discharging a constant amount of an adhesive in an adhesive applying device for a chip mounter, for example. In the conventional configuration of this type of device, an electromagnetic switching valve is provided in the middle of a pipe line for supplying pressurized air from an air supply source to the syringe, and pressurized air is supplied to the syringe via the electromagnetic switching valve. And
By controlling the supply time of the pressurized air, a fixed amount discharge is performed.
【０００３】すなわち吐出時には、制御信号によって電
磁切換弁がオンされることにより、電磁切換弁のシリン
ジ側のポートとエア供給源側のポートの間が連通してシ
リンジに加圧空気が供給され、図６中の時間Ｔ1におい
てシリンジ内の空気の圧力Ｐが立上り、シリンジから液
体が吐出される。その後、電磁切換弁がオフされると、
電磁切換弁のシリンジ側のポートが大気に連通したポー
トと連通するように切り換えられ、シリンジ側の加圧空
気が大気中に排気され、図６中の時間Ｔ2においてシリ
ンジ内の圧力Ｐが立下がり、吐出が終了する。立上がり
時間Ｔ1となる電磁切換弁のオン時間の制御により吐出
量が制御される。[0003] That is, at the time of discharge, when the electromagnetic switching valve is turned on by a control signal, the port on the syringe side of the electromagnetic switching valve communicates with the port on the air supply source side, and pressurized air is supplied to the syringe. At time T1 in FIG. 6, the pressure P of the air in the syringe rises, and the liquid is discharged from the syringe. Then, when the electromagnetic switching valve is turned off,
The syringe side port of the electromagnetic switching valve is switched so as to communicate with the port communicating with the atmosphere, and the pressurized air on the syringe side is exhausted into the atmosphere, and the pressure P in the syringe falls at time T2 in FIG. , The discharge ends. The discharge amount is controlled by controlling the on-time of the electromagnetic switching valve, which is the rise time T1.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】例えば、チップマウン
ト用接着剤塗布装置において接着剤を定量吐出させる場
合、上述した定量吐出装置を用いた装置での生産性は、
図６に示したシリンジ内の圧力Ｐの立上がり時間Ｔ1＋
立下がり時間Ｔ2に依存しており、この時間Ｔ1＋Ｔ2を
短縮することが生産性向上につながり、市場より要望さ
れている。For example, when a fixed amount of adhesive is discharged in a chip mount adhesive applying apparatus, the productivity of the apparatus using the above described fixed amount discharging apparatus is as follows.
Rise time T1 + of pressure P in the syringe shown in FIG.
It depends on the fall time T2, and shortening this time T1 + T2 leads to an improvement in productivity and is demanded by the market.
【０００５】ここで立下がり時間Ｔ2に注目すると、上
述した従来の構成では、電磁切換弁のオフにより加圧空
気が排気される時、シリンジ内の加圧空気はシリンジ、
電磁切換弁間の配管、電磁切換弁、及び必要に応じて電
磁切換弁の大気に連通するポートに接続される配管等を
通じて大気中に排気されるため、その配管と弁機構が抵
抗となり、立下がり時間Ｔ2を短くするのに限界があっ
た。Attention is paid to the fall time T2. In the above-described conventional configuration, when the pressurized air is exhausted by turning off the electromagnetic switching valve, the pressurized air in the syringe is discharged from the syringe,
The air is exhausted to the atmosphere through the piping between the electromagnetic switching valves, the electromagnetic switching valve, and the piping connected to the port of the electromagnetic switching valve that communicates with the atmosphere, if necessary. There was a limit in shortening the fall time T2.
【０００６】また、前記の抵抗により完全な圧力解放ま
でに時間がかかるため、残圧によりシリンジからの液ダ
レを発生し易く、これを防止するにはシリンジに負圧を
作用させる機構等を付加する必要があり、コスト高とな
るという問題があった。Further, since it takes time until the pressure is completely released due to the above-mentioned resistance, liquid dripping from the syringe is apt to occur due to residual pressure. To prevent this, a mechanism for applying a negative pressure to the syringe is added. Therefore, there is a problem that the cost is increased.
【０００７】そこで本発明は、簡単な構成で、吐出終了
時におけるシリンジ内の圧力の立下がり時間を短縮でき
る定量吐出装置を提供することをその課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a quantitative discharge device which has a simple configuration and can reduce the fall time of the pressure in the syringe at the end of discharge.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この課
題は、液体を充填したシリンジに対しエア供給源から電
磁切換弁を介して加圧空気を供給してシリンジから液体
を定量吐出する定量吐出装置において、前記電磁切換弁
とシリンジ間に急速排気弁を配置し、加圧空気の供給終
了時にシリンジ内の加圧空気により急速排気弁を作動さ
せてシリンジ内の加圧空気を排気することを特徴とする
定量吐出装置によって解決される。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, an object of the present invention is to supply a pressurized air from an air supply source to a liquid-filled syringe through an electromagnetic switching valve to discharge a fixed amount of the liquid from the syringe. In the constant discharge device, a quick exhaust valve is disposed between the electromagnetic switching valve and the syringe, and when the supply of the pressurized air is completed, the quick exhaust valve is operated by the pressurized air in the syringe to exhaust the pressurized air in the syringe. The problem is solved by a quantitative discharge device characterized in that:
【０００９】このような構成によれば、排気に対する抵
抗が小さくなり、加圧空気の供給終了時にシリンジから
排気を急速に行なって、シリンジ内の圧力の立下がり時
間を短縮することが可能になる。According to such a configuration, the resistance to the exhaust is reduced, and the exhaust from the syringe is rapidly performed at the end of the supply of the pressurized air, so that the fall time of the pressure in the syringe can be reduced. .
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１１】図１には、本発明による定量吐出装置の１
実施形態が図示されている。FIG. 1 shows one embodiment of a fixed-rate discharge device according to the present invention.
An embodiment is illustrated.
【００１２】図１において、２は先端に液体を吐出する
ための吐出口が形成されたシリンジであり、このシリン
ジ２には例えば接着剤などの液体１が充填される。シリ
ンジ２は配管３を介して急速排気弁４に接続される。In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a syringe having a discharge port for discharging a liquid at its tip, and the syringe 2 is filled with a liquid 1 such as an adhesive. The syringe 2 is connected to a quick exhaust valve 4 via a pipe 3.
【００１３】この急速排気弁４はシリンジ近傍に配置さ
れ、入口の有効断面積に比べ大きな排気通路面積をも
ち、また、図２に示すように、Ａ，Ｂ，Ｃの３つのポー
トを有し、それぞれのポートが連通する弁室４１内には
円錐形のシャトル弁４２が設けられる。このシャトル弁
４２は、ポート間に支配する空気圧の関係に従い、矢印
で示す直線方向に移動するようになっている。弁室４１
のポートＡ側の内側面はシャトル弁４２に対応した円錐
形の曲面に形成され、ポートＣ側にはシャトル弁４２よ
り径が小さい円形の管４３が突設されている。ポートＢ
は弁室４２の側方に連通している。The quick exhaust valve 4 is disposed near the syringe, has a large exhaust passage area compared to the effective sectional area of the inlet, and has three ports A, B, and C as shown in FIG. A conical shuttle valve 42 is provided in the valve chamber 41 to which each port communicates. The shuttle valve 42 moves in a linear direction indicated by an arrow according to the relationship of the air pressure governing between the ports. Valve chamber 41
The inner surface on the port A side is formed in a conical curved surface corresponding to the shuttle valve 42, and a circular pipe 43 having a smaller diameter than the shuttle valve 42 protrudes from the port C side. Port B
Communicates with the side of the valve chamber 42.
【００１４】この急速排気弁４のポートＢに対しては、
図１に示すように、シリンジ２に接続された配管３が接
続される。急速排気弁４のポートＣは大気に連通してお
り、ポートＡには配管５を介して電磁切換弁６が接続さ
れる。With respect to the port B of the quick exhaust valve 4,
As shown in FIG. 1, a pipe 3 connected to the syringe 2 is connected. The port C of the quick exhaust valve 4 communicates with the atmosphere, and the port A is connected to an electromagnetic switching valve 6 via a pipe 5.
【００１５】電磁切換弁６もＡ，Ｂ，Ｃの３つのポート
を有し、ポートＡには配管７を介して加圧空気を供給す
るエア供給源８が接続され、ポートＢには配管５を介し
て急速排気弁４が接続され、ポートＣは大気に連通して
いる。電磁切換弁６はマイクロコンピュータ等から構成
される制御部９からの制御信号によりオン、オフされて
ポート間の連通状態が切り換えられ、オン状態ではポー
トＡ，Ｂ間が連通し、オフ状態ではポートＢ，Ｃ間が連
通するようになっている。The electromagnetic switching valve 6 also has three ports A, B and C. The port A is connected to an air supply source 8 for supplying pressurized air via a pipe 7, and the port B is connected to a pipe 5 , The quick exhaust valve 4 is connected, and the port C communicates with the atmosphere. The electromagnetic switching valve 6 is turned on and off by a control signal from a control unit 9 composed of a microcomputer or the like to switch the communication state between the ports. The communication state between the ports A and B is in the on state, and the port is in the off state. B and C communicate with each other.
【００１６】制御部９には、キーボードやスイッチ等に
より吐出量などの吐出条件を設定する設定入力部１０
と、その入力により設定された吐出条件のデータを表示
するための表示部１１が接続されている。制御部９は、
設定入力部１０から入力された吐出条件のデータに基づ
いて電磁切換弁６のオン時間を決定し、電磁切換弁を駆
動して吐出動作を行わせる。また、制御部９はエア供給
源８を制御し、エア供給源８の供給する加圧空気の圧力
を一定圧力に保つ。The control unit 9 includes a setting input unit 10 for setting a discharge condition such as a discharge amount using a keyboard, a switch, or the like.
And a display unit 11 for displaying data of the ejection condition set by the input. The control unit 9
The on-time of the electromagnetic switching valve 6 is determined based on the discharge condition data input from the setting input unit 10, and the electromagnetic switching valve is driven to perform the discharging operation. Further, the control unit 9 controls the air supply source 8 to maintain the pressure of the pressurized air supplied from the air supply source 8 at a constant pressure.
【００１７】次に上記のように構成された装置の動作を
説明する。Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.
【００１８】不図示のホストシステムから液体１の吐出
を指示する吐出信号が制御部９に入力されると、制御部
９は予め設定入力部１０からの入力により設定された吐
出条件に基づいて決定した所定時間だけ電磁切換弁６を
オンする。When an ejection signal instructing ejection of the liquid 1 is input from the host system (not shown) to the control unit 9, the control unit 9 determines the ejection signal based on ejection conditions set in advance by input from the setting input unit 10. The electromagnetic switching valve 6 is turned on for a predetermined time.
【００１９】これにより電磁切換弁６は、ポートＡ，Ｂ
間が連通するように切り換えられ、エア供給源８からの
加圧空気が配管７，電磁切換弁６，配管５を介して急速
排気弁４のポートＡに供給される。すると加圧空気の圧
力によりシャトル弁４２が押されて図３（ａ）のように
ポートＣ側に移動して管４３に当接する。これにより、
ポートＣへの通路が閉鎖されるとともに、シャトル弁４
２の端部のブレード部４２ａとポートＢ間の隙間が開い
てポートＡ，Ｂ間が連通し、加圧空気は矢印で示すよう
にポートＡからポートＢに流れ、配管３を介してシリン
ジ２へ供給される。これによりシリンジ２内の空気の圧
力Ｐが図４中の時間Ｔ1に示されるように立上り、シリ
ンジ２から液体が吐出される。As a result, the electromagnetic switching valve 6 is connected to the ports A and B
The air is switched to communicate with each other, and pressurized air from the air supply source 8 is supplied to the port A of the quick exhaust valve 4 via the pipe 7, the electromagnetic switching valve 6, and the pipe 5. Then, the shuttle valve 42 is pushed by the pressure of the pressurized air and moves toward the port C as shown in FIG. This allows
The passage to port C is closed and the shuttle valve 4
A gap between the blade portion 42a at the end of port 2 and the port B is opened to allow communication between the ports A and B. Pressurized air flows from the port A to the port B as shown by an arrow, and the syringe 2 Supplied to Thereby, the pressure P of the air in the syringe 2 rises as shown at time T1 in FIG. 4, and the liquid is discharged from the syringe 2.
【００２０】続いて上記所定時間の経過後に電磁切換弁
６がオフされることにより、電磁切換弁６のポートＢ，
Ｃ間が連通してポートＡ，Ｂ間が遮断され、加圧空気の
供給が終了し、急速排気弁４においてポートＡからの圧
力が遮断される。これにより、それまでシリンジ２およ
び配管３に供給されていた加圧空気の圧力により、図３
（ｂ）に示すようにシャトル弁４２がポートＡ側に移動
してポートＡを塞ぎ、ポートＢ，Ｃ間が連通し、かつＣ
の穴の断面積を大きくしておくことによりシリンジ２，
配管３内の加圧空気は矢印のようにポートＢからポート
Ｃに短時間に大量に流れ、大気中に排出される。これに
より、シリンジ２内の圧力Ｐは図４中の時間Ｔ2’に示
されるように急速に立下がり、シリンジ２からの液体の
吐出が終了する。Subsequently, when the electromagnetic switching valve 6 is turned off after the elapse of the predetermined time, the ports B,
C communicates with each other, shutting off the ports A and B, terminating the supply of pressurized air, and shutting off the pressure from the port A in the quick exhaust valve 4. As a result, the pressure of the pressurized air previously supplied to the syringe 2 and the pipe 3 causes
As shown in (b), the shuttle valve 42 moves to the port A side to close the port A, the ports B and C communicate with each other, and
By increasing the cross-sectional area of the hole of the syringe 2,
A large amount of pressurized air in the pipe 3 flows from the port B to the port C in a short time as shown by an arrow, and is discharged into the atmosphere. As a result, the pressure P in the syringe 2 falls rapidly as shown at time T2 'in FIG. 4, and the discharge of the liquid from the syringe 2 ends.
【００２１】ここで、シリンジ２内の圧力Ｐを下げる排
気の経路が短縮されることにより排気に対する抵抗が顕
著に小さくなり、圧力Ｐの立下がり時間Ｔ2’は従来の
立下がり時間Ｔ2より大幅に短縮される。Here, since the path of the exhaust gas for lowering the pressure P in the syringe 2 is shortened, the resistance to the exhaust gas is significantly reduced, and the fall time T2 'of the pressure P is much longer than the conventional fall time T2. Be shortened.
【００２２】このように吐出終了時のシリンジ内の圧力
の立下がり時間を大幅に短縮できるので、この定量吐出
装置を用いる装置の生産性を向上できる。また、吐出終
了時にシリンジ内の圧力を瞬時に解放できるので、残圧
によるシリンジからの液ダレを防止することができ、そ
の防止のための機構も不要となり、装置のコストダウン
を図れる。As described above, the fall time of the pressure in the syringe at the end of the discharge can be greatly reduced, so that the productivity of the apparatus using the constant discharge apparatus can be improved. In addition, since the pressure in the syringe can be released instantaneously at the end of discharge, liquid dripping from the syringe due to residual pressure can be prevented, and a mechanism for preventing the dripping is not required, thereby reducing the cost of the apparatus.
【００２３】上述したような急速排気は、急速排気弁の
排気ポートＣに負圧を発生させることにより更にその効
果を高めることができる。この例が図５に図示されてい
る。The effect of the rapid exhaust described above can be further enhanced by generating a negative pressure at the exhaust port C of the rapid exhaust valve. This example is illustrated in FIG.
【００２４】図５の構成では、急速排気弁４の排気ポー
トＣが電磁切換弁１３を介して所定の負圧を発生させる
エア吸入源１５に接続される。電磁切換弁１３は、その
ポートＡが配管１２を介して急速排気弁４の排気ポート
Ｃに接続され、ポートＢが配管１４を介してエア吸入源
１５に接続され、ポートＣは大気に連通している。また
電磁切換弁１３は、オン状態でポートＡ，Ｂ間、オフ状
態でポートＢ，Ｃ間が連通する。電磁切換弁１３とエア
吸入源１５は制御部９により制御される。In the configuration shown in FIG. 5, the exhaust port C of the quick exhaust valve 4 is connected to the air suction source 15 for generating a predetermined negative pressure via the electromagnetic switching valve 13. The electromagnetic switching valve 13 has a port A connected to an exhaust port C of the quick exhaust valve 4 via a pipe 12, a port B connected to an air suction source 15 via a pipe 14, and a port C connected to the atmosphere. ing. The electromagnetic switching valve 13 communicates between the ports A and B in the on state, and communicates between the ports B and C in the off state. The control unit 9 controls the electromagnetic switching valve 13 and the air suction source 15.
【００２５】このような構成において、制御部９は所定
時間だけ電磁切換弁６をオンにして定量吐出を行なった
あと、電磁切換弁６をオフにし、その直後に所定時間だ
け電磁切換弁１３をオンにする。電磁切換弁６のオフに
より、図３（ｂ）に図示したようにシリンジ内の加圧空
気は排気ポートＣを介して急速に排気される。このとき
電磁切換弁１３が所定時間オンされることによりエア吸
入源１５の発生する負圧が急速排気弁４のポートＣに所
定時間だけ作用するので、シリンジ２，配管３の加圧空
気が図１の構成よりも急速にポートＣから排気される。
このようにして吐出終了時のシリンジ２内の圧力の立下
がり時間をより短縮することができる。In such a configuration, the control unit 9 turns on the electromagnetic switching valve 6 for a predetermined time to perform a fixed amount discharge, then turns off the electromagnetic switching valve 6, and immediately thereafter, turns on the electromagnetic switching valve 13 for a predetermined time. turn on. When the electromagnetic switching valve 6 is turned off, the pressurized air in the syringe is rapidly exhausted through the exhaust port C as shown in FIG. At this time, when the electromagnetic switching valve 13 is turned on for a predetermined time, the negative pressure generated by the air suction source 15 acts on the port C of the quick exhaust valve 4 for a predetermined time, so that the pressurized air in the syringe 2 and the pipe 3 is discharged. The air is exhausted from the port C more rapidly than in the first configuration.
In this manner, the fall time of the pressure in the syringe 2 at the end of the discharge can be further reduced.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、シリンジ近傍に急速排気弁を配置し、加圧空
気の供給終了時にシリンジ内の加圧空気により急速排気
弁を作動させてシリンジ内の加圧空気を排気するように
しているので、加圧空気を排出する経路が短縮されるこ
とにより、加圧空気の供給終了時にシリンジから排気を
急速に行なって、シリンジ内の圧力の立下がり時間を短
縮することができる。また、吐出終了時にシリンジ内の
圧力を瞬時に解放できるので、残圧によるシリンジから
の液ダレを防止することができ、その防止のための機構
も不要となり、装置のコストダウンを図れるという優れ
た効果が得られる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the quick exhaust valve is disposed near the syringe, and when the supply of the pressurized air is completed, the quick exhaust valve is operated by the pressurized air in the syringe. Since the pressurized air in the syringe is exhausted, the path for discharging the pressurized air is shortened, so that the syringe is quickly exhausted when the supply of the pressurized air is completed, and the pressure in the syringe is reduced. Falling time can be shortened. Further, since the pressure in the syringe can be released instantaneously at the end of the discharge, liquid dripping from the syringe due to residual pressure can be prevented, and a mechanism for preventing the dripping is not required, and the cost of the apparatus can be reduced. The effect is obtained.
【図１】本発明による定量吐出装置の１実施形態の構成
を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a fixed-quantity ejection device according to the present invention.
【図２】図１の急速排気弁の構造を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the quick exhaust valve of FIG.
【図３】吐出時と吐出終了時の急速排気弁の動作を示す
断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the operation of a quick exhaust valve at the time of discharge and at the end of discharge.
【図４】吐出動作時におけるシリンジ内の圧力の経時変
化を示すグラフ図である。FIG. 4 is a graph showing a change over time of a pressure in a syringe during a discharging operation.
【図５】本発明の他の実施形態の構成を示すブロック図
である。FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of another embodiment of the present invention.
【図６】従来の装置の吐出動作時におけるシリンジ内の
圧力の経時変化を示すグラフ図である。FIG. 6 is a graph showing a time-dependent change in pressure in a syringe during a discharging operation of a conventional device.
１ 液体 ２ シリンジ ３，５，７，１２，１４ 配管 ４ 急速排気弁 ６，１３ 電磁切換弁 ８ エア供給源 ９ 制御部 １０ 設定入力部 １１ 表示部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid 2 Syringe 3,5,7,12,14 Piping 4 Rapid exhaust valve 6,13 Solenoid switching valve 8 Air supply source 9 Control part 10 Setting input part 11 Display part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福井 英司 東京都調布市国領町８丁目２番地の１ ジ ューキ株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Eiji Fukui, inventor Eiji Fukui 8-2-1 Kokuryo-cho, Chofu-shi, Tokyo
Claims (2)
源から電磁切換弁を介して加圧空気を供給してシリンジ
から液体を定量吐出する定量吐出装置において、 前記電磁切換弁とシリンジ間に急速排気弁を配置し、 加圧空気の供給終了時にシリンジ内の加圧空気により急
速排気弁を作動させてシリンジ内の加圧空気を排気する
ことを特徴とする定量吐出装置。1. A fixed-rate discharge device for supplying pressurized air from an air supply source to a liquid-filled syringe through an electromagnetic switching valve to discharge a fixed amount of liquid from the syringe. A fixed-quantity discharge device, comprising an exhaust valve, wherein at the end of the supply of pressurized air, the rapid exhaust valve is operated by the pressurized air in the syringe to exhaust the pressurized air in the syringe.
の排気ポートに所定の負圧を発生させることを特徴とす
る請求項１に記載の定量吐出装置。2. The fixed-rate discharge device according to claim 1, wherein a predetermined negative pressure is generated in an exhaust port of the rapid exhaust valve when the supply of the pressurized air is completed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18172596A JPH1024263A (en) | 1996-07-11 | 1996-07-11 | Fixed volume discharging device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18172596A JPH1024263A (en) | 1996-07-11 | 1996-07-11 | Fixed volume discharging device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1024263A true JPH1024263A (en) | 1998-01-27 |
Family
ID=16105795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18172596A Pending JPH1024263A (en) | 1996-07-11 | 1996-07-11 | Fixed volume discharging device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1024263A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008161741A (en) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Chugai Ro Co Ltd | Coating apparatus and coating method |
| JP2009026851A (en) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Renesas Technology Corp | Method of manufacturing semiconductor device |
| CN107774525A (en) * | 2016-08-26 | 2018-03-09 | 神讯电脑(昆山)有限公司 | Glue plastic emitting amount control device and its method |
| WO2020213860A1 (en) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 엠비디 주식회사 | Spotter |
-
1996
- 1996-07-11 JP JP18172596A patent/JPH1024263A/en active Pending
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Legal Events
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