JPH10241580A - Plasma display and its manufacture - Google Patents
Plasma display and its manufactureInfo
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- JPH10241580A JPH10241580A JP9043751A JP4375197A JPH10241580A JP H10241580 A JPH10241580 A JP H10241580A JP 9043751 A JP9043751 A JP 9043751A JP 4375197 A JP4375197 A JP 4375197A JP H10241580 A JPH10241580 A JP H10241580A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル及びその製造方法に関し、特にドライフィル
ムマスクを用いたサンドブラスト法で高品質の細幅の隔
壁を安定して形成する為のプラズマディスプレイパネル
の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel and a method of manufacturing the same, and more particularly, to the manufacture of a plasma display panel for stably forming high-quality narrow-width partitions by a sandblast method using a dry film mask. About the method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プラズマディスプレイパネル（以下、単
にＰＤＰとする）はネオンガス放電を利用した単色の面
放電表示装置でノート型パーソナルコンピュータのディ
スプレイや車内の情報表示装置として使用されてきた。
ＰＤＰは加工上、液晶ディスプレイにおけるセルギャッ
プのような非常に細かい加工を必要としないため、大型
ＴＶ画面を対象に、４０インチ以上のディスプレイとし
て開発が進んでいる。2. Description of the Related Art A plasma display panel (hereinafter simply referred to as a PDP) is a monochromatic surface discharge display device using a neon gas discharge, and has been used as a display of a notebook personal computer or an information display device in a car.
Since the PDP does not require very fine processing such as a cell gap in a liquid crystal display, the PDP is being developed as a display of 40 inches or more for a large TV screen.
【０００３】しかし、カラー表示の場合、単色に比べ３
倍のセル数を必要とするため従来のＰＤＰに比べ、画素
サイズの細かいものが要求されるようになった。更にハ
イビジョン用壁掛けＴＶを対象としたものでは一層広画
面に亘って、高精細な画素形成が必要になっている。[0003] However, in the case of a color display, three times as compared with a single color.
Since twice the number of cells is required, a pixel having a smaller pixel size than a conventional PDP has been required. Furthermore, in the case of a high-definition wall-mounted TV, it is necessary to form high-definition pixels over a wider screen.
【０００４】ＰＤＰには駆動方式によりＤＣタイプとＡ
Ｃタイプの２方式があり、本来ＴＶとしての階調表現の
豊かさから言えばＤＣタイプの方が優れているが、電極
の寿命が短く構造が複雑で製造も難しいという問題があ
る。これに対し、ＡＣタイプは隔壁がストライプ状で良
く比較的構造が単純で製造が容易であることから、最近
は専らＡＣタイプの開発が進んでいる。A PDP has a DC type and an A type depending on a driving method.
There are two types of the C type, and the DC type is originally superior in terms of the richness of gradation expression as a TV, but has a problem that the life of the electrode is short, the structure is complicated, and the production is difficult. On the other hand, the AC type has a stripe-shaped partition wall, has a relatively simple structure, and is easy to manufacture. Therefore, recently, only the AC type has been developed.
【０００５】その隔壁形成方法としては、印刷方式、サ
ンドブラスト方式、埋め込み方式などがある。サンドブ
ラスト法は基板全面に隔壁部材を膜厚均一に塗布し、乾
燥後その表面にサンドブラストのためのレジストマスク
をフォトリソ方式等で形成する方法であり、現状では最
も安定しているものと思われているが、以下に示すよう
な幾つかの問題点がある。As a method for forming the partition, there are a printing method, a sand blast method, an embedding method and the like. The sand blast method is a method in which a partition member is applied uniformly on the entire surface of a substrate, and after drying, a resist mask for sand blast is formed on the surface by a photolithographic method or the like, and is considered to be the most stable at present. However, there are some problems as described below.
【０００６】＜隔壁部材中の樹脂量＞樹脂量は加工中の
隔壁の強度を保ち、また隔壁切削時のサイドエッチ量を
少なくするためにある程度の量が必要であるが、樹脂の
量が多くなると切削性が悪くなりスループットが遅くな
る。<Amount of Resin in Partition Member> A certain amount of resin is required to maintain the strength of the partition during processing and to reduce the amount of side etching when cutting the partition, but the amount of resin is large. When this happens, the machinability deteriorates and the throughput decreases.
【０００７】＜マスクの密着性＞隔壁部材とドライフィ
ルムの密着強度を上げるためには隔壁部材の樹脂量があ
る程度必要である。しかし隔壁全体の樹脂量が多くなる
とサンドブラスト加工性が悪くなる。<Adhesion of Mask> In order to increase the adhesion strength between the partition member and the dry film, a certain amount of resin is required for the partition member. However, when the resin amount of the whole partition wall increases, the sandblasting property deteriorates.
【０００８】＜マスクの強度＞マスクはサンドブラスト
で使用する砂（以下、単に砂とする）の衝撃に耐える強
度が必要で、実際にはマスク材はクッション性を保たせ
るため、柔軟性のある樹脂が使われ、またある程度の厚
みを要している。現状３０〜５０μｍ程度のものが使わ
れている。このようにマスクが厚いため解像性は３０μ
ｍ程度のパターンまでとなっている。<Mask Strength> The mask must have the strength to withstand the impact of sand used in sand blasting (hereinafter simply referred to as sand). In practice, the mask material is made of a flexible resin to maintain cushioning properties. Is used and requires some thickness. At present, those having a size of about 30 to 50 μm are used. Since the mask is thick, the resolution is 30 μm.
The pattern is up to about m.
【０００９】＜砂の粒径＞細かいパターンの切削には、
硬くて細かい砂が必要であるが、余り細かいものにする
と切削に要する時間が非常に長くなってしまう。このた
めパターンのサイズによって適度な粒径を設定する必要
がある。また硬度が高いサンドは基板や電極まで切削す
る恐れがあるため炭酸カルシウム、ガラスビーズ、Ｓｉ
Ｃ等が使われている。<Sand Particle Size> For cutting fine patterns,
Hard and fine sand is required, but if it is too fine, the time required for cutting becomes very long. Therefore, it is necessary to set an appropriate particle size according to the size of the pattern. Sand with high hardness may cut the substrate and electrodes, so calcium carbonate, glass beads, Si
C etc. are used.
【００１０】これまでの隔壁幅は６０〜８０μｍと幅が
広いためマスクの密着面積が広く密着力も高かった。且
つスペース（切削部分）も１２０〜１４０μｍと広く、
砂の流れが緩やかだったためサイドエッチングも進みに
くかった。しかし高密度化が進み隔壁幅が狭くなり更に
スペースも狭くなることによってサイドエッチングも進
みやすく、サンドがマスクの裏面を捲るような働きをす
るためマスクが剥がれやすくなってくる。またストライ
プ状隔壁は隔壁の左右両側から削られ壁を形成していく
（図２（Ａ）の部分）が、先端部では左右の他前方から
も削られる（図２（Ｂ）の部分）ため非常に速く切削さ
れる。Conventionally, the partition wall width is as wide as 60 to 80 μm, so that the contact area of the mask is large and the adhesion force is high. And the space (cut part) is as wide as 120-140 μm,
Since the flow of sand was slow, side etching was difficult to proceed. However, as the densification progresses, the width of the partition walls becomes narrower and the space becomes narrower, so that the side etching easily proceeds, and the sand acts to turn over the back surface of the mask, so that the mask is easily peeled. The striped partition wall is cut from both left and right sides of the partition wall to form a wall (portion of FIG. 2 (A)), but the tip portion is also cut from the left and right as well as from the front (portion of FIG. 2 (B)). Cutting very fast.
【００１１】この対策として隔壁部材の上層の樹脂量を
増して、マスクとの密着力をアップすることが考えられ
る。しかし隔壁幅３０〜５０μｍの場合にはこのように
しても隔壁先端部のマスクが加工時に剥離して切れ、隔
壁先端部の長さが揃わないなどの問題があった。このよ
うなことから端部付近を有効面より長くしたり、隔壁先
端部のマスク形状を太くしたり丸みを付けるなどしてマ
スクの密着面積を増やすことによって剥離を防ぐ試みも
ある。（特開平６−３１４５４２号公報）しかし基本的
には最先端部は３方から削られるため捲れやすい事には
変わりなく、十分安定した状態とはいえない。時には端
から中の方に向かって捲れが広がることすら有り、不良
品を作りやすい。As a countermeasure against this, it is conceivable to increase the amount of resin in the upper layer of the partition member to increase the adhesion to the mask. However, in the case where the partition wall width is 30 to 50 μm, even in this case, there is a problem that the mask at the partition wall tip portion is peeled off during processing and the length of the partition wall tip portion is not uniform. For this reason, there has been an attempt to prevent separation by increasing the area of close contact of the mask by making the vicinity of the end longer than the effective surface, making the shape of the mask at the tip of the partition wall thicker or rounding, or the like. However, basically, since the forefront portion is shaved from three sides, it is still easy to be turned up, and it cannot be said that the state is sufficiently stable. In some cases, the curling may even spread from the edge toward the middle, and it is easy to make defective products.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものであり、その課題と
するところは、サンドブラスト法で隔壁を形成する場合
のドライフィルムの密着性を改善し、高品質の細幅の隔
壁を安定して形成してなるプラズマディスプレイ及びそ
の製造方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to improve the adhesion of a dry film when forming a partition by a sand blast method. It is an object of the present invention to provide a plasma display in which a high-quality narrow partition wall is stably formed and a method of manufacturing the same.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明はこの課題を解決
するため、基板上にストライプ状隔壁を設けてなるプラ
ズマディスプレイパネルにおいて、ストライプ状隔壁が
上層隔壁部材と下層隔壁部材からなり、下層隔壁部材よ
り上層隔壁部材の方が樹脂分が多く、ストライプ状隔壁
の端部では上層隔壁部材が下層隔壁部材を覆うように形
成されてなること、またその上層隔壁部材の膜厚を下層
隔壁部材の膜厚の１０〜２０％とすることを特徴とする
プラズマディスプレイパネルを提供する。According to the present invention, there is provided a plasma display panel comprising a substrate and a stripe-shaped partition provided on a substrate, wherein the stripe-shaped partition comprises an upper partition member and a lower partition member. The upper partition member has a greater resin content than the member, and the upper partition member is formed so as to cover the lower partition member at the end of the stripe-shaped partition, and the upper partition member has a film thickness of the lower partition member. A plasma display panel characterized in that the thickness is 10 to 20% of the film thickness.
【００１４】またその製造方法として、基板上に下層隔
壁部材を塗布し、その上に下層隔壁部材より樹脂分が多
い上層隔壁部材を塗布しかつストライプ状隔壁の端部と
なるところではその上層隔壁部材が下層隔壁部材を覆う
ように塗布し、その上に、ストライプ状隔壁及びストラ
イプ状隔壁の端部となるところではその上層隔壁部材が
下層隔壁部材を覆った上をさらに覆うマスクパターンと
なるようにドライフィルムを形成し、その後サンドブラ
ストを施してなること、またそのストライプ状隔壁の端
部の膜厚が、サンドブラストで使用する砂の平均粒径の
２倍以下であることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法を提供する。As a manufacturing method, a lower partition member is applied on a substrate, an upper partition member having a higher resin content than the lower partition member is applied thereon, and the upper partition member is formed at an end portion of the stripe-shaped partition. The member is applied so as to cover the lower partition member, and the upper partition member becomes a mask pattern that further covers the lower partition member on the portion that becomes the end of the stripe partition and the stripe partition. A plasma display, wherein a dry film is formed and then sandblasted, and a film thickness of an end portion of the striped partition wall is twice or less an average particle diameter of sand used in sandblasting. Provided is a method for manufacturing a panel.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき説
明する。本発明によるプラズマディスプレイパネルの隔
壁の端部のサンドブラスト処理前の断面の構造の一例を
図１に示す。基板（１）上に上層隔壁部材（３）を下層
隔壁部材（２）の外側まで塗布することによって段差を
緩やかにし、ドライフィルム（４）が段差部分で確実に
貼り合わせ出来るようにする。更に上層隔壁部材の樹脂
量を多くする事によって、下層隔壁部材端部側面の段差
部分を樹脂量の多い上層隔壁部材で覆いドライフィルム
の隔壁パターンマスクを下層の隔壁形成層上で終わるこ
となく段差部〜ガラス基板まで延長して覆うことによっ
て隔壁先端部側面の切削を減少するとともにドライフィ
ルムの密着性を増す。この結果サンドブラスト時にスト
ライプ状の隔壁先端部でマスクの密着が改善され、隔壁
形成を安定に行うことが出来る。Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows an example of a cross-sectional structure of an end of a partition wall of a plasma display panel according to the present invention before sandblasting. By coating the upper layer partition member (3) on the substrate (1) to the outside of the lower layer partition member (2), the step is moderated so that the dry film (4) can be securely bonded at the step. Further, by increasing the amount of resin of the upper partition member, the step portion on the side surface of the end portion of the lower partition member is covered with the upper partition member having a large amount of resin, and the partition pattern mask of the dry film does not end on the lower partition forming layer. By extending and covering the portion to the glass substrate, cutting of the side surface of the partition wall tip portion is reduced and the adhesion of the dry film is increased. As a result, the adhesion of the mask is improved at the tips of the stripe-shaped partition walls during sandblasting, and the partition walls can be formed stably.
【００１６】本発明によるプラズマディスプレイパネル
のサンドブラスト処理前の上から見た場合の端部付近の
一例を図２に示す。サンドブラスト時に隔壁が切削され
る方向を白矢印で示す。中央部（Ａ）に比べ端部（Ｂ）
は３方から切削されるため切削が進み易いことを示す。FIG. 2 shows an example of the vicinity of the end of the plasma display panel according to the present invention when viewed from above before sandblasting. The direction in which the partition is cut during sandblasting is indicated by a white arrow. End (B) compared to center (A)
Indicates that cutting is easy to proceed because cutting is performed from three sides.
【００１７】本発明におけるプラズマディスプレイに用
いる基材としてはソーダガラス等が使用可能である。As the substrate used for the plasma display of the present invention, soda glass or the like can be used.
【００１８】本発明における隔壁部材としては低融点ガ
ラス等が使用可能である。下層隔壁部材より上層隔壁部
材に多い樹脂分としてはエチルセルロース系が挙げら
れ、下層隔壁部材では０．８〜２．０重量％、上層隔壁
部材では２．０〜３．５重量％程度が好適な範囲であ
る。下層隔壁部材の樹脂量は隔壁の幅やスペースの幅に
より異なり、又、サンドブラストの切削速度を速くする
ため必要最小限にする。又、上層は隔壁の幅が狭い高精
細のもほどドライフィルムマスクの密着力が低くなるの
で多めにする。上層隔壁部材の方の樹脂分を多くするこ
とによって、マスクの密着が改善され、隔壁形成を安定
に行うことが出来る。A low-melting glass or the like can be used as the partition member in the present invention. Ethylcellulose is used as the resin component in the upper partition member more than the lower partition member, and about 0.8 to 2.0% by weight is preferable for the lower partition member and about 2.0 to 3.5% by weight for the upper partition member. Range. The resin amount of the lower partition wall member varies depending on the width of the partition wall and the width of the space, and is minimized in order to increase the cutting speed of sandblasting. In the upper layer, the finer the narrower the width of the partition wall, the lower the adhesion of the dry film mask, so that the upper layer is made larger. By increasing the resin content of the upper partition member, the adhesion of the mask is improved, and the partition can be formed stably.
【００１９】本発明における上層隔壁部材の膜厚は下層
隔壁部材の膜厚の１０〜２０％とすることが好ましい。
１０％より薄いと表面の平滑製が得にくいことと、コン
トラスト向上の為に黒色ペーストを使う場合があるが、
その時十分な濃度が得られない。またペーストがレベリ
ングしにく泡など残るので好ましくなく、２０％より厚
いと隔壁の断面を見た倍、隔壁の首部にくびれが発生し
たり、極端に厚い場合はサンドブラストの切削時間が長
くなるので好ましくない。In the present invention, the thickness of the upper partition member is preferably 10 to 20% of the thickness of the lower partition member.
If the thickness is less than 10%, it is difficult to obtain a smooth surface, and a black paste may be used to improve contrast.
At that time, a sufficient concentration cannot be obtained. In addition, since the paste is difficult to level and bubbles remain, it is not preferable. When the thickness is more than 20%, the cross section of the partition wall is doubled, and the neck portion of the partition wall becomes constricted. Not preferred.
【００２０】本発明におけるドライフィルムマスクに用
いる材料としてはウレタンアクリレート等が使用可能で
ある。ドライフィムマスクのパターニング方法としては
フォトリソ法により可能である。Urethane acrylate or the like can be used as a material for the dry film mask in the present invention. The dry film mask can be patterned by a photolithography method.
【００２１】本発明におけるサンドブラストで用いる砂
としては炭酸カルシウム、ガラスビーズ、ＳｉＣ等が使
用可能であり、その粒径としては、隔壁の端部の膜厚
が、サンドブラストで使用する砂の平均粒径の２倍以下
となるものが好ましい。それ以上の膜厚になると、その
部分の側面を切削することになり、マスクを捲くること
になるので好ましくない。The sand used in the sandblasting of the present invention may be calcium carbonate, glass beads, SiC, etc., and the particle size is determined by the thickness of the end of the partition wall and the average particle size of the sand used in the sandblasting. It is preferably one that is twice or less of the following. If the film thickness is larger than that, it is not preferable because the side surface of the portion is cut and the mask is turned up.
【００２２】[0022]
＜実施例１＞電極を形成し誘電体層をコートしたガラス
基板に、ＴＢ４０Ｂメッシュの印刷版により下層隔壁部
材（日本電気硝子（株）製：「ＰＬＳ−３５５０」（Ｓ
Ｂ１Ｄ））をスクリーン印刷し、水平の状態で１０分間
放置後、１２０℃３０分間乾燥し、膜厚１２０μｍを得
た。更にその上にＴ７０Ｂメッシュの印刷版を使用して
２回目の印刷を行った。印刷後１０分間放置し、１２０
℃１５分間乾燥し、膜厚６０μｍを得た。この２回の印
刷で下層として膜厚１８０μｍになった。<Example 1> A lower partition wall member (manufactured by NEC Corporation: "PLS-3550" (S
B1D)) was screen-printed, left standing in a horizontal state for 10 minutes, and then dried at 120 ° C. for 30 minutes to obtain a film thickness of 120 μm. Further, a second printing was performed thereon using a T70B mesh printing plate. Leave for 10 minutes after printing, 120
After drying at 15 ° C. for 15 minutes, a film thickness of 60 μm was obtained. The two printings resulted in a film thickness of 180 μm as a lower layer.
【００２３】この上にＳＵＳ２００のメッシュの印刷版
により上層隔壁部材（同ペーストで樹脂分（エチルセル
ロース系）のみを２ｗｔ％プラス）ストライプ状隔壁の
端部に相当する辺を下層の印刷版のパターンより２ｍｍ
大きいものを用いて印刷することにより０．５ｍｍ外側
までコーティングした。その後１５０℃１時間乾燥し、
上層の膜厚１５μｍを得た。端部の状態はＤＥＫＴＡＫ
膜厚計で測定した結果、下層の隔壁層端部側面が樹脂量
の多いペーストで傾斜部を形成して覆われていた。On this, a SUS200 mesh printing plate is used to form an upper partition member (2 wt% of resin (ethyl cellulose) only in the same paste). 2mm
It was coated to the outside by 0.5 mm by printing with a large one. Then dried at 150 ° C for 1 hour,
An upper layer thickness of 15 μm was obtained. The state of the end is DEKTAK
As a result of measurement with a film thickness meter, the side surface at the end of the lower partition layer was covered with a paste having a large amount of resin to form an inclined portion.
【００２４】この後温度８０℃で基板をプリベークし、
ドライフィルム（東京応化工業（株）製：「オーディル
ＢＦ−６０３」）を１００℃のロールで２．５ｋｇ／ｃ
ｍ2加圧し、基板送りスピード１ｍ／ｍｉｎでラミネー
トした。隔壁の端部のラミネート状態は顕微鏡で完全で
あることを確認した。冷却後拡散光で露光量３２５ｍｊ
／ｃｍ2 で隔壁幅５０μｍ、スペース幅１００μｍの原
版を焼き付けた。隔壁パターンは下層の隔壁形成層の外
側１ｍｍとし、上層を覆いガラス基板に達していた。Thereafter, the substrate is pre-baked at a temperature of 80 ° C.
A dry film (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd .: “Audil BF-603”) is rolled at 100 ° C. with a roll of 2.5 kg / c.
m 2 was pressed, and the substrates were laminated at a substrate feeding speed of 1 m / min. The lamination state at the end of the partition wall was confirmed to be complete with a microscope. Exposure amount 325mj with diffused light after cooling
An original plate having a partition wall width of 50 μm and a space width of 100 μm was baked at / cm 2 . The partition pattern was 1 mm outside the lower partition forming layer, covering the upper layer and reaching the glass substrate.
【００２５】この後現像液として０．２％の炭酸ナトリ
ウムを使用し、基板送りスピード５．６ｍ／ｍｉｎで現
像した。水切り後乾燥機で１００℃１０分間のポストベ
ークを行った。この基板を１００ｍｍ幅のハイパーノズ
ルを使用し、砂としてＳ４（粒径２０〜２５μｍ）を使
用し、サンド噴射量２５０ｇ／ｍｉｎを０．３５ＭＰａ
の圧力で噴射、基板を６０ｍｍ／ｍｉｎスピードで送
り、サンドブラスト処理を行った。隔壁先端部のマスク
剥離は全く無く、隔壁頭部の幅が４８μｍ、足部の幅が
７０ｍｍで殆どムラ無く仕上げることが出来た。Thereafter, development was performed at a substrate feeding speed of 5.6 m / min using 0.2% sodium carbonate as a developing solution. After draining, post-baking was performed at 100 ° C. for 10 minutes using a dryer. Using a 100 mm wide hyper nozzle, S4 (particle size: 20 to 25 μm) as sand, and a sand injection amount of 250 g / min at 0.35 MPa
And the substrate was fed at a speed of 60 mm / min to perform sandblasting. There was no peeling of the mask at the tip of the partition, and the width of the partition head was 48 μm and the width of the foot was 70 mm.
【００２６】その後ドライフィルムを剥離し、焼成を行
って、隔壁を形成し、以下、蛍光体塗布、焼成を行な
い、更にシーリング材と塗布を行なうなどして背面の形
成を終わる。これを電極部を形成した全面板と合わせ、
真空焼成により内部の脱ガスなどを行ったのち、ネオ
ン、キセノンガスなどを封入し、プラズマディスプレイ
を形成した。Thereafter, the dry film is peeled off and fired to form a partition, and thereafter, the phosphor is applied and fired, and then the sealing material is applied to finish the formation of the back surface. This is combined with the entire surface plate on which the electrode part is formed,
After degassing the inside by vacuum firing, neon, xenon gas and the like were sealed to form a plasma display.
【００２７】＜実施例２＞実施例１と同様の材料を用い
て、スクリーン印刷でＴＢ４０Ｂメッシュの印刷版を使
用して１回目の印刷を行い膜面をならした後乾燥を行っ
て、膜厚１２０μｍを得た。更にその上にＴ７０Ｂメッ
シュの印刷版を使用して２回目の印刷を行い乾燥して膜
厚６０μｍを得た。下層隔壁部材は１８０μｍの膜厚と
なった。<Example 2> Using the same material as in Example 1, the first printing was performed by screen printing using a TB40B mesh printing plate, the film surface was smoothed, and the film was dried. 120 μm was obtained. Further, a second printing was performed thereon using a T70B mesh printing plate, followed by drying to obtain a film thickness of 60 μm. The lower partition member had a thickness of 180 μm.
【００２８】上層隔壁部材には実施例１と同様のものを
（塗布状態を確認し易い様に）黒色ペーストにしたもの
を、硬度６５゜のゴムローラで塗布を毎回乾燥しながら
３回に分けて塗布を行ない、隔壁先端部に相当する辺を
下層の隔壁形成層端部より凡そ５ｍｍ外側までコーティ
ングした。この結果下層隔壁部材端部側面も上層隔壁部
材で覆われた。膜厚状態を確認するためモニターサンプ
ルを切断して顕微鏡で断面を測定し上層隔壁部材の膜厚
は１５μｍであった。以後実施例１と同様にしてプラズ
マディスプレイパネルを得た。The same material as in Example 1 was formed into a black paste (for easy confirmation of the coating state), and the upper partition member was divided into three portions while drying the coating with a rubber roller having a hardness of 65 ° each time. The coating was performed, and the side corresponding to the tip of the partition wall was coated to about 5 mm outside the end of the lower partition wall forming layer. As a result, the side surface of the end of the lower partition member was also covered with the upper partition member. The monitor sample was cut to check the film thickness, and the cross section was measured with a microscope. The thickness of the upper partition member was 15 μm. Thereafter, a plasma display panel was obtained in the same manner as in Example 1.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上に示したように、本発明により、サ
ンドブラスト法でストライプ状の隔壁を形成する場合、
隔壁を下層と上層の２層で形成し、隔壁の端部となる部
分の下層の段差を上層の塗布によって緩やかにすること
によって、隔壁端部側面を覆いドライフィルムマスクが
形成出来るため側面切削によるマスク剥がれを防ぐこと
が出来る。更に上層隔壁形成層を樹脂量の多い隔壁部材
とすることによって、細幅の隔壁形成時にもドライフィ
ルムマスクの密着性が向上し、マスク剥がれによる不良
を無くし安定して切削することが可能となった。また下
層隔壁形成層の樹脂量を抑えることが出来るためサンド
ブラストの時間を長くすることなく加工が出来る。As described above, according to the present invention, when a stripe-shaped partition wall is formed by a sandblast method,
The partition is formed of two layers, a lower layer and an upper layer, and the step of the lower layer, which is the end of the partition, is made gentle by coating the upper layer, so that the dry film mask can be formed so as to cover the side of the end of the partition to form a dry film mask. Mask peeling can be prevented. Furthermore, by forming the upper partition wall forming layer as a partition wall member having a large amount of resin, the adhesion of the dry film mask is improved even when a narrow partition wall is formed, and it becomes possible to eliminate defects due to mask peeling and stably cut. Was. In addition, since the amount of resin in the lower partition wall forming layer can be suppressed, processing can be performed without lengthening the sandblasting time.
【図１】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁の端部のサンドブラスト処理前の断面の構造の一例
を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a cross-sectional structure of an end portion of a partition wall of a plasma display panel according to the present invention before sandblasting.
【図２】本発明によるプラズマディスプレイパネルのサ
ンドブラスト処理前の上から見た場合の端部付近の一例
を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing an example of the vicinity of an end of a plasma display panel according to the present invention when viewed from above before sandblasting.
１…基板 ２…下層隔壁部材 ３…上層隔壁部材 ４…
ドライフィルム ５…サンドDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Lower partition member 3 ... Upper partition member 4 ...
Dry film 5 ... Sand
Claims (4)
ラズマディスプレイパネルにおいて、ストライプ状隔壁
が上層隔壁部材と下層隔壁部材からなり、下層隔壁部材
より上層隔壁部材の方が樹脂分が多く、ストライプ状隔
壁の端部では上層隔壁部材が下層隔壁部材を覆うように
形成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネル。In a plasma display panel comprising a substrate and stripe-shaped partitions provided thereon, the stripe-shaped partitions are composed of an upper-layer partition member and a lower-layer partition member. A plasma display panel, wherein an upper partition member is formed so as to cover a lower partition member at an end of the partition wall.
膜厚の１０〜２０％とすることを特徴とする請求項１記
載のプラズマディスプレイパネル。2. The plasma display panel according to claim 1, wherein the upper partition member has a thickness of 10 to 20% of the thickness of the lower partition member.
ト法により設けてなるプラズマディスプレイパネルの製
造方法において、基板上に下層隔壁部材を塗布し、その
上に下層隔壁部材より樹脂分が多い上層隔壁部材を塗布
しかつストライプ状隔壁の端部となるところではその上
層隔壁部材が下層隔壁部材を覆うように塗布し、その上
に、ストライプ状隔壁及びストライプ状隔壁の端部とな
るところではその上層隔壁部材が下層隔壁部材を覆った
上をさらに覆うマスクパターンとなるようにドライフィ
ルムを形成し、その後サンドブラストを施してなること
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。3. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising forming a stripe-shaped partition on a substrate by a sandblast method, applying a lower-layer partition member on a substrate, and forming an upper-layer partition member having more resin than the lower-layer partition member. Is applied so that the upper partition member covers the lower partition member at the end portions of the stripe partition walls, and the stripe partition walls and the upper partition walls thereof at the end portions of the stripe partition walls are coated thereon. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising: forming a dry film so as to form a mask pattern that further covers an upper portion of a member covering a lower layer partition member, and thereafter performing sandblasting.
記サンドブラストで使用する砂の平均粒径の２倍以下で
あることを特徴とする請求項３記載のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。4. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 3, wherein the thickness of the end of the stripe-shaped partition wall is not more than twice the average particle diameter of the sand used in the sand blast.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9043751A JPH10241580A (en) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | Plasma display and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9043751A JPH10241580A (en) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | Plasma display and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10241580A true JPH10241580A (en) | 1998-09-11 |
Family
ID=12672480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9043751A Pending JPH10241580A (en) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | Plasma display and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10241580A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005149832A (en) * | 2003-11-13 | 2005-06-09 | Toray Ind Inc | Manufacturing method of plasma display material member and plasma display |
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-
1997
- 1997-02-27 JP JP9043751A patent/JPH10241580A/en active Pending
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