JPH10321127A - Gas discharge panel and manufacture thereof - Google Patents
Gas discharge panel and manufacture thereofInfo
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- JPH10321127A JPH10321127A JP10116509A JP11650998A JPH10321127A JP H10321127 A JPH10321127 A JP H10321127A JP 10116509 A JP10116509 A JP 10116509A JP 11650998 A JP11650998 A JP 11650998A JP H10321127 A JPH10321127 A JP H10321127A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はガス放電パネルの製
造方法に係り、特に表示用ガス放電パネルの外囲器を構
成する基板上に所定パターンの隔壁を形成する方法に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a gas discharge panel, and more particularly to a method for forming a partition having a predetermined pattern on a substrate constituting an envelope of a gas discharge panel for display.
【０００２】ガス放電光を利用して文字や図形を表示す
るガス放電パネルとして、ＤＣ、或いはＡＣ駆動形の対
向電極放電タイプや面放電タイプ等の種々のものが実用
化されている。これらのガス放電パネルでは、全面が一
様な特性を持ち、しかも解像度のよい鮮明な表示像を得
るために放電用のガスを封入した対向基板間のギャップ
寸法の均一化を図るスペーサの役目や、そのガス封入空
間を複数の放電セルに分離する役目の絶縁性隔壁が必要
とされる。特に蛍光体を利用して放電による紫外域の発
光を多色カラー発光に変換する機能を付加したカラー表
示用のガス放電パネルにおいては、異なるカラー相互間
でのクロストークを防止する隔壁が必要不可欠である。
このため、所定パターンの隔壁を位置精度良く、かつ均
一な厚さに形成する方法が要求される。Various types of gas discharge panels, such as a DC or AC driven counter electrode discharge type and a surface discharge type, have been put into practical use as gas discharge panels for displaying characters and figures using gas discharge light. In these gas discharge panels, the entire surface has uniform characteristics, and in order to obtain a clear display image with good resolution, the role of a spacer for uniforming the gap size between the opposed substrates filled with discharge gas and In addition, an insulating partition which functions to separate the gas filled space into a plurality of discharge cells is required. In particular, in a gas discharge panel for color display that has the function of converting ultraviolet light emitted by discharge into multicolor light emission using phosphors, a partition wall that prevents crosstalk between different colors is indispensable. It is.
For this reason, there is a demand for a method of forming a partition having a predetermined pattern with high positional accuracy and a uniform thickness.
【０００３】[0003]
【従来の技術】ここで、従来のガス放電パネルにおける
上記のような絶縁性隔壁の形成方法の１例について説明
すると、例えば代表的な面放電型ガス放電パネルの場合
では、以下のような手法が採られていた。2. Description of the Related Art Here, an example of a method of forming the above-mentioned insulating partition in a conventional gas discharge panel will be described. For example, in the case of a typical surface discharge type gas discharge panel, the following method is used. Was taken.
【０００４】即ち、図２(a) および(b) は代表的な面放
電型ガス放電パネルのパネル外囲器を構成する一対の基
板構体を別々に分解して示している。図２(a) は、表示
側基板構体を示す斜視図であり、ガラス基板２を主体と
してその下面側にこの場合メッシュ状の絶縁性隔壁７を
具えている。この絶縁性隔壁７は図２(b) に斜視図とし
て示したもう一方の基板構体と対向し、その基板構体の
主体となるガラス基板１上に形成された対をなす平行な
走査用電極３ａ，３ｂ群と、該走査用電極３ａ，３ｂ群
と直交する方向に誘電体層４を介して配列されたアドレ
ス用電極５群とにより構成される放電セル６に対応し
て、それらの放電セル６を画定する形となっている。こ
の形式の面放電型ガス放電パネルでは電極側基板構体上
の平行な走査用電極対３ａと３ｂの間で生じる面放電が
表示を与えるものであり、この面放電を当該電極対の長
手方向に沿って複数の放電セル６に分離する役目を該電
極対と直交する方向の隔壁部分が担っている。そしてこ
の絶縁性隔壁は、例えば低融点ガラスペーストを用いた
スクリーン印刷法等によりパターン形成し、これを所定
温度で焼成することによって設けていた。FIGS. 2 (a) and 2 (b) show a pair of substrate structures constituting a panel envelope of a typical surface discharge type gas discharge panel separately exploded. FIG. 2A is a perspective view showing the display-side substrate structure, which is provided with a mesh-shaped insulating partition 7 on the lower surface side mainly of the glass substrate 2 in this case. The insulating partition wall 7 faces the other substrate structure shown in a perspective view in FIG. 2B, and forms a pair of parallel scanning electrodes 3a formed on the glass substrate 1 which is the main body of the substrate structure. , 3b, and a group of address electrodes 5 arranged via a dielectric layer 4 in a direction orthogonal to the groups of scanning electrodes 3a, 3b. 6 is defined. In this type of surface discharge type gas discharge panel, a surface discharge generated between parallel scanning electrode pairs 3a and 3b on the electrode-side substrate structure gives a display, and this surface discharge is caused in the longitudinal direction of the electrode pair. The partition part in the direction orthogonal to the electrode pair plays a role of separating the plurality of discharge cells 6 along the electrode pair. The insulating partition walls are formed by, for example, forming a pattern by a screen printing method using a low-melting glass paste or the like, and firing this at a predetermined temperature.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の低融点ガラスペーストを用いたスクリー
ン印刷法等による絶縁性隔壁７の形成方法にあっては、
一回のスクリーン印刷により塗着して得られる絶縁膜の
膜厚が数μｍ〜７μｍ程度であるため、各種のガス放電
パネルを構成する一方の基板構体で必要となる例えば２
０〜１００μｍの膜厚の絶縁性隔壁７を形成する場合に
は、前記スクリーン印刷を数回〜十数回繰り返し、同一
パターンを重ねて形成する必要があるが、重ね印刷の都
度パターンエッジで塗着ペーストのダレが生じ、膜厚が
厚くなるに従ってパターン精度が低下する欠点があっ
た。However, in the conventional method of forming the insulating partition walls 7 by the screen printing method using the low melting point glass paste as described above,
Since the thickness of the insulating film obtained by applying the film by one screen printing is about several μm to 7 μm, for example, 2 is required for one substrate structure constituting various gas discharge panels.
When forming the insulating partition wall 7 having a thickness of 0 to 100 μm, it is necessary to repeat the screen printing several times to several tens of times to form the same pattern repeatedly. There is a drawback that the deposition paste is dripped and the pattern accuracy decreases as the film thickness increases.
【０００６】特に放電表示の高密度化、高解像度化のた
めに、例えば 0.2mm以下のファインピッチパターンの絶
縁性隔壁７を従来のスクリーン印刷法で形成することは
前記塗着ペーストのダレの問題により実際上極めて困難
であった。In particular, in order to increase the density and the resolution of the discharge display, forming the insulating partition walls 7 having a fine pitch pattern of, for example, 0.2 mm or less by a conventional screen printing method involves the problem of the dripping of the coating paste. Was extremely difficult in practice.
【０００７】また、前記表示パネルの大型化に伴ってメ
ッシュ状の絶縁性隔壁７を形成すべき表示領域が、５０
cm□以上と広範囲ともなるとスクリーンパターンの僅か
な伸びによりパターンズレが生じ、位置精度及び均一性
が低下する問題があった。In addition, as the size of the display panel increases, the display area in which the mesh-like insulating partition walls 7 are to be formed is increased to 50.
When the area is as large as cm □ or more, there is a problem that pattern displacement occurs due to slight elongation of the screen pattern, and positional accuracy and uniformity are reduced.
【０００８】そこでかかる問題を解決するために、例え
ば特開昭６１−２４８３３８号「ガス放電パネルの製造
方法」に示されるようにガラス基板上の表示領域全面に
ガラスからなる絶縁層をスクリーン印刷法による塗布工
程とその焼成工程により形成した後、該絶縁層をレジス
トマスクパターンを用いたケミカルエッチング法によ
り、所定のパターンにパターニングして所要の絶縁性隔
壁を形成する方法も試みている。しかしながらこの方法
では図３に示すようにガラス基板２上に形成された絶縁
性隔壁１１の側面がテーパー状となり、例えば１００μ
ｍ程度の膜厚の絶縁層を 0.3mm程度のファインピッチに
よるパターンで精度良く形成するのは困難であった。In order to solve such a problem, for example, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-248338, "Method of Manufacturing Gas Discharge Panel", an insulating layer made of glass is screen-printed on the entire display area on a glass substrate. A method of forming a required insulating partition by forming the insulating layer by a chemical etching method using a resist mask pattern after forming the insulating layer by a coating process and a baking process of the insulating layer. However, in this method, as shown in FIG. 3, the side surface of the insulating partition 11 formed on the glass substrate 2 has a tapered shape.
It has been difficult to accurately form an insulating layer having a thickness of about m with a pattern having a fine pitch of about 0.3 mm.
【０００９】本発明は、上記した従来の欠点に鑑み、パ
ネル外囲器となる一方のガラス基板上に例えばメッシュ
状等の微細なパターンを持った比較的分厚い（高さの高
い）絶縁性隔壁を容易に、かつ高精度に形成し得る新規
なガス放電パネルの製造方法を提供することを目的とす
るものである。In view of the above-mentioned conventional disadvantages, the present invention provides a relatively thick (high) insulating partition having a fine pattern such as a mesh shape on one glass substrate serving as a panel envelope. It is an object of the present invention to provide a novel method for manufacturing a gas discharge panel which can be easily and accurately formed.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、隔壁のパターニングにサンドブラスト処
理を用いることを骨子とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention is based on the use of sandblasting for patterning of a partition wall.
【００１１】さらに具体的には、ガス放電パネルの外囲
器となるガラス基板上に所定厚さの隔壁材料層を設けた
後、該隔壁材料層上に所定隔壁パターンのマスクを設け
た状態で、当該マスクパターンより露出する部分を選択
的に研削除去するサンドブラスト処理を施し、基板面に
ほぼ垂直な研削壁面と当該隔壁材料層の厚みに対応した
高さとを有する隔壁パターンを形成するようにしたこと
を特徴とするものである。More specifically, after a partition material layer having a predetermined thickness is provided on a glass substrate serving as an envelope of a gas discharge panel, a mask having a predetermined partition pattern is provided on the partition material layer. Then, a sand blast process for selectively grinding and removing a portion exposed from the mask pattern is performed to form a partition wall pattern having a ground wall surface substantially perpendicular to the substrate surface and a height corresponding to the thickness of the partition wall material layer. It is characterized by the following.
【００１２】また隔壁材料層の形成に先立って当該隔壁
材料層よりもサンドブラスト処理に対する研削速度の小
さい緩衝層を下地として設けておくことも本発明の特徴
である。It is also a feature of the present invention that a buffer layer having a lower grinding speed for sandblasting than the partition material layer is provided as a base before forming the partition material layer.
【００１３】本発明により得られる隔壁は、サンドブラ
スト処理によって基板面に対してほぼ垂直に加工された
側壁面を持ち、特に対向する基板構体上の平行な電極対
間で生じる面放電をその長手方向で分離するための高精
細隔壁を必要とする面放電型パネルに適用して大きな特
徴がある。The partition wall obtained by the present invention has a side wall surface which is processed substantially perpendicularly to the substrate surface by sandblasting, and in particular, applies a surface discharge generated between parallel electrode pairs on the opposing substrate structure in the longitudinal direction. There is a great feature when applied to a surface discharge type panel that requires a high definition partition for separation by the method.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施例
について詳細に説明する。図２(a) に示す面放電型ガス
放電パネルの隔壁を形成するに際し、前記したケミカル
エッチングの代わりに、レジストマスクパターンを用い
たドライエッチング法、またはサンドブラスト法により
パターニングすることを試みた。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In forming the barrier ribs of the surface discharge type gas discharge panel shown in FIG. 2 (a), an attempt was made to pattern by a dry etching method using a resist mask pattern or a sandblast method instead of the above-described chemical etching.
【００１５】ドライエッチング法においては、その処理
に極めて長時間を必要とする欠点があったが、サンドブ
ラスト法では短時間で処理することができ、パターン精
度等を向上させることができた。The dry etching method has a disadvantage that the processing requires an extremely long time. However, the sand blasting method can perform the processing in a short time, thereby improving the pattern accuracy and the like.
【００１６】研削の程度は処理条件等に依存するもので
あり、研削を強力にした場合には、隔壁ばかりでなくガ
ラス基板面まで削られることがあった。そこで、さらな
る改良検討を行った実施例を次に説明する。The degree of grinding depends on processing conditions and the like. When the grinding is intensified, not only the partition walls but also the glass substrate surface may be ground. Therefore, an embodiment in which further improvement has been studied will be described below.
【００１７】図１(a) 〜(d) は上述の面放電型ガス放電
パネルにおける一方の基板構体として本発明により構成
する放電セル画定用の絶縁性隔壁の形成方法を工程順に
示す要部断面図である。1 (a) to 1 (d) are cross-sectional views showing a method of forming an insulating partition for defining a discharge cell as one of the substrate structures in the surface discharge type gas discharge panel according to the present invention in the order of steps. FIG.
【００１８】先ず図１(a) に示すように例えばガス放電
パネルを構成する一対のガラス基板の内の一方のガラス
基板２１上にＳｉＯ2 ・Ａｌ2 Ｏ3 を主成分とする絶縁
材料、例えば住友化学製のスミセラム（商品名）のよう
なペースト状の絶縁材料を表示予定領域全面に亘って塗
布し、乾燥後、６００℃程度で熱処理を行って、隔壁を
形成すべき低融点ガラスよりも約１．５〜２．０倍程度
の硬度（モース硬度が６程度）を有する１０μｍの膜厚
を有する硬質な絶縁性透明緩衝層２２を設けて隔壁形成
面を形成する。次いでその表面に隔壁材料層を形成すべ
く低融点ガラスペーストを所定厚みに塗布する。First, as shown in FIG. 1A, for example, an insulating material mainly composed of SiO 2 .Al 2 O 3 is formed on one glass substrate 21 of a pair of glass substrates constituting a gas discharge panel, for example, A paste-like insulating material such as Sumiceram (trade name) manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. is applied over the entire area to be displayed, dried, and heat-treated at about 600 ° C. A hard insulating transparent buffer layer 22 having a thickness of 10 μm and a hardness of about 1.5 to 2.0 times (Mohs hardness of about 6) is provided to form a partition wall forming surface. Next, a low-melting glass paste is applied to a predetermined thickness to form a partition material layer on the surface.
【００１９】そしてその塗布層の乾燥及び６００℃程度
の焼成温度で熱処理を行って、２０〜１００μｍの膜
厚、例えば本実施例では１００μｍの膜厚の隔壁材料層
としての絶縁層２３を形成する。The coating layer is dried and heat-treated at a firing temperature of about 600 ° C. to form an insulating layer 23 as a partition material layer having a thickness of 20 to 100 μm, for example, 100 μm in this embodiment. .
【００２０】次に図１(b) に示すように前記隔壁材料層
としての絶縁層２３上に、レジスト膜を塗布し、該レジ
スト膜を露光・現像工程によってパターニングを行って
放電セル画定用のメッシュ状マスクパターン２４を形成
する。Next, as shown in FIG. 1 (b), a resist film is applied on the insulating layer 23 as the partition material layer, and the resist film is patterned by exposing and developing to define a discharge cell. A mesh mask pattern 24 is formed.
【００２１】次に図１(c) に示すように該メッシュ状マ
スクパターン２４を介して露出する各部分２３ａにサン
ドブラスト処理を施してその部分を選択的に研削除去す
る。このサンドブラスト処理に際しては、前記硬質な絶
縁性透明緩衝層２２のサンドブラストによる研削速度が
低融点ガラスからなる絶縁層２３のそれよりも格段に小
さいので、噴射砥粒の大きさ、噴射圧、噴射ノズルとの
距離等により前記マスクからの露出部分２３ａが効率よ
く完全に削除されるように予め処理条件を定めて実施す
る。Next, as shown in FIG. 1C, each portion 23a exposed through the mesh-like mask pattern 24 is subjected to sandblasting to selectively grind and remove the portion. At the time of this sandblasting, since the grinding speed of the hard insulating transparent buffer layer 22 by sandblasting is much lower than that of the insulating layer 23 made of low melting point glass, the size of the abrasive grains, the injection pressure, the injection nozzle The processing conditions are determined in advance so that the exposed portion 23a from the mask is efficiently and completely removed depending on the distance from the mask.
【００２２】サンドブラスト処理が終了した後、前記マ
スクパターン２４を剥離材により除去することによっ
て、図１(d) に示すようなメッシュ状隔壁２５を得るこ
とができる。このようにサンドブラスト処理で加工した
隔壁２５は、図１(d) の断面図から明らかなように基板
面に対してほぼ垂直な研削壁面を持った形となり、また
上記のような処理条件の設定によってサンドブラストの
研削を実質上隔壁材料層部分のみに止め、前記透明緩衝
層２２の研削は極めて微少であるので、パターン精度の
良好な放電セル画定用のメッシュ状隔壁２５を容易に形
成することが可能となる。After the completion of the sandblasting process, the mask pattern 24 is removed with a release material to obtain a mesh-like partition 25 as shown in FIG. 1 (d). The partition wall 25 processed by the sand blasting process has a ground wall surface almost perpendicular to the substrate surface as is apparent from the cross-sectional view of FIG. 1 (d). The sand blasting is substantially stopped only at the partition material layer portion, and the grinding of the transparent buffer layer 22 is extremely small. Therefore, it is possible to easily form the mesh-shaped partition 25 for defining the discharge cells with good pattern accuracy. It becomes possible.
【００２３】なお、以上の実施例では図２(a) ，(b) に
示したような面放電型のガス放電パネルにおける表示側
のガラス基板面に、対向する電極構成ガラス基板側の放
電セルと対応する放電セル画定用のメッシュ状隔壁を形
成する場合の例について説明した。この種の面放電型ガ
ス放電パネルでは、面放電用の平行な電極対を有する電
極側基板構体よりも上記実施例のように対向側の基板構
体に隔壁を設ける方が精度やプロセス上有利であるが、
本発明はそのような例に限定されるものではない。例え
ば隔壁内に蛍光体を塗布するカラー表示用の面放電型ガ
ス放電パネルや、ＤＣ駆動タイプ、或いはＡＣ駆動タイ
プの対向電極型ガス放電パネル等における一方のガラス
基板面に放電セル画定用のメッシュ状隔壁を形成する場
合にも適用可能であり、しかも同様な効果が得られる。In the above embodiment, the discharge cell on the glass substrate side of the electrode-constituting glass substrate facing the display-side glass substrate surface of the surface discharge type gas discharge panel as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). An example in which a mesh-shaped partition for defining a discharge cell corresponding to the above is formed has been described. In this type of surface discharge type gas discharge panel, it is more advantageous in terms of accuracy and process to provide a partition on the opposing substrate structure as in the above embodiment than an electrode-side substrate structure having parallel electrode pairs for surface discharge. There is
The present invention is not limited to such an example. For example, a mesh for defining a discharge cell on one glass substrate surface in a surface discharge type gas discharge panel for color display in which a phosphor is coated in a partition wall, a counter electrode type gas discharge panel of a DC drive type or an AC drive type, or the like. The present invention can be applied to the case where a partition wall is formed, and a similar effect can be obtained.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、１００μｍ程度の高さの隔壁でも、基板面に
ほぼ垂直にかつ高精度に、しかも容易に形成することが
可能となる優れた効果を奏する。従って、隔壁を必要と
する各種ガス放電パネルの製造方法並びに面放電用の平
行電極対群を有する形式の面放電パネルに適用して極め
て有利である。As is clear from the above description, according to the present invention, it is possible to easily form even a partition wall having a height of about 100 μm almost perpendicularly to the substrate surface with high precision. It has excellent effects. Therefore, the present invention is extremely advantageous when applied to a method for manufacturing various gas discharge panels requiring a partition and a surface discharge panel having a parallel electrode pair group for surface discharge.
【図１】本発明の放電セル画定用隔壁の形成方法を工程
順に示す要部断面図FIG. 1 is a sectional view of a main part showing a method of forming a partition for defining a discharge cell according to the present invention in the order of steps.
【図２】面放電型ガス放電パネルにおける(a) 表示面側
の基板構体と(b) 電極構成側基板構体とを示す斜視図FIG. 2 is a perspective view showing (a) a substrate structure on a display surface side and (b) an electrode structure side substrate structure in a surface discharge type gas discharge panel.
【図３】従来の放電セル画定用隔壁の問題点を説明する
要部断面図FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part explaining a problem of a conventional partition for defining a discharge cell.
２１ 一方のガラス基板 ２２ 透明緩衝層 ２３ 絶縁層 ２３ａ 絶縁層部分 ２４ メッシュ状マスクパターン ２５ メッシュ状隔壁 Reference Signs List 21 One glass substrate 22 Transparent buffer layer 23 Insulating layer 23a Insulating layer portion 24 Mesh mask pattern 25 Mesh partition
Claims (5)
定厚さの隔壁材料層を設けた後、 該隔壁材料層上に所定隔壁パターンのマスクを設けた状
態で、当該マスクパターンより露出する部分を選択的に
研削除去するサンドブラスト処理を施し、 基板面にほぼ垂直な研削壁面と当該隔壁材料層の厚みに
対応した高さとを有する隔壁パターンを形成するように
したことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。1. A method according to claim 1, wherein a partition wall material layer having a predetermined thickness is provided on a substrate serving as an envelope of the gas discharge panel, and a mask having a predetermined partition pattern is provided on the partition wall material layer. A sand blast treatment for selectively grinding and removing the exposed portion is performed to form a partition wall pattern having a ground wall surface substantially perpendicular to the substrate surface and a height corresponding to the thickness of the partition wall material layer. Manufacturing method of gas discharge panel.
の一方の基板上に所定パターンの隔壁を具えてなり、 該隔壁は、対向する他方の基板上に形成された複数の平
行な電極対間で生ずる表示用の面放電を当該電極の長手
方向に所定間隔で分離する部分を有し、かつその側壁面
が基板上の隔壁形成面に対してほぼ垂直なサンドブラス
ト加工面から成ることを特徴とするガス放電パネル。2. A gas discharge panel comprising a pair of substrates serving as an envelope of a gas discharge panel, wherein a partition of a predetermined pattern is provided on one of the substrates, and the partition is formed of a plurality of parallel substrates formed on the other opposing substrate. It has a portion for separating the surface discharge for display generated between the electrode pairs at a predetermined interval in the longitudinal direction of the electrode, and its side wall surface is formed of a sandblasted surface substantially perpendicular to the partition wall forming surface on the substrate. A gas discharge panel.
成る請求項２記載のガス放電パネル。3. The gas discharge panel according to claim 2, wherein said partition comprises a base layer covering a substrate surface.
設され、前記下地層は透明な部材からなる請求項３記載
のガス放電パネル。4. The gas discharge panel according to claim 3, wherein the partition and the underlayer are disposed on a substrate on a display surface side, and the underlayer is made of a transparent member.
に放電用のガスを封入して成るガス放電パネルの前記基
板構体の一方を製造する方法であって、 当該一方の基板構体に所定パターンの隔壁を設けるに際
し、 基板上に予め所定厚さの隔壁材料層を形成した後、 該隔壁材料層の表面に所定の隔壁パターンに対応した耐
サンドブラストマスクを設け、 サンドブラスト処理を加えて基板面にほぼ垂直な研削壁
面を有する隔壁パターンを形成するようにしたことを特
徴とするガス放電パネル用基板構体の製造方法。5. A method for manufacturing one of said substrate structures of a gas discharge panel comprising a pair of substrate structures arranged opposite to each other and filling a discharge gas therebetween. When providing a partition having a predetermined pattern, after forming a partition material layer having a predetermined thickness on the substrate in advance, a sand blast resistant mask corresponding to the predetermined partition pattern is provided on the surface of the partition material layer, and the substrate is subjected to a sand blasting process. A method for manufacturing a substrate structure for a gas discharge panel, wherein a partition pattern having a ground wall surface substantially perpendicular to a surface is formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10116509A JPH10321127A (en) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | Gas discharge panel and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10116509A JPH10321127A (en) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | Gas discharge panel and manufacture thereof |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12308789A Division JP2814557B2 (en) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | Method of manufacturing gas discharge panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321127A true JPH10321127A (en) | 1998-12-04 |
Family
ID=14688913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10116509A Pending JPH10321127A (en) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | Gas discharge panel and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321127A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104718637A (en) * | 2012-08-17 | 2015-06-17 | 荷兰应用自然科学研究组织Tno | Electro-optic component and method of manufacturing these |
-
1998
- 1998-04-27 JP JP10116509A patent/JPH10321127A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104718637A (en) * | 2012-08-17 | 2015-06-17 | 荷兰应用自然科学研究组织Tno | Electro-optic component and method of manufacturing these |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990713 |