JPH102294A - ターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベースの塑性変形を招くことなく、ポンプ運
転温度領域の全体に亘ってステータのコアをベースに確
実に固定できるターボ分子ポンプにおける取付構造を提
供する。 【解決手段】 この取付構造は、環状のベース５と、環
状ベースと同じアルミ材で作製されており、環状ベース
５の周面５Ａに弾性域でしまりばめされている環状のス
ペーサ６と、スペーサ６の軸方向端面６Ａと６Ｂにボル
ト１４と１５とで固定されたステータ２の鉄製のコア
７,ステータ４の鉄製のコア８とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、真空チャンバ等
を真空にするターボ分子ポンプにおけるステータのベー
スへの取付構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ターボ分子ポンプにおけるステー
タのベースへの取付構造としては、図５に示すものがあ
る。このターボ分子ポンプは、相対回転するステータ翼
１１０とロータ翼１０６によって、吸込口１１２に接続
される真空チャンバ(図示せず)からガスや水分を吸引し
て吐出口１１３から排出するものである。

【０００３】そして、ロータ翼１０６と筒１０５は同一
材料から加工され、締結部材を用いてシャフト１０３に
固定されている。また、ステータ翼１１０は、筒１０８
を介してアルミニウム製のベース１０７に固定されてい
る。このベース１０７の内周面に、ステータ１０２の環
状の鉄製のコア１１５が焼き嵌めされて固定されてい
る。

【０００４】ところで、アルミニウムの線膨張係数は鉄
の線膨張係数よりも大きい。このため、図２の特性曲線
に示すように、ポンプ運転温度域Ｒの上限においても
コア１１５がベース１０７から外れないようにすると、
常温の領域(Ｘ)においてベース１０７が弾性変形領域を
越えて塑性変形領域に達してしまう。すると、クリープ
等が生じてステータ１０２とシャフト１０３との接触や
軸受の損傷などが発生し易くて信頼性が低下するという
問題がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明の目
的は、ベースの塑性変形を招くことがなく、ポンプ運転
温度域の全体に亘ってステータのコアをベースに確実に
固定できるベースのステータへの取付構造を提供するこ
とにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明のターボ分子ポンプにおけるステー
タのベースへの取付構造は、環状のベースと、ベースと
線膨張係数が略等しい材料で作製されており、環状ベー
スの周囲に弾性域でしまりばめされている環状スペーサ
と、スペーサの軸方向端面に締結手段で固定されたコア
を有するステータとを備えたことを特徴としている。

【０００７】この請求項１の発明によれば、環状ベース
の周面に、弾性域内で締まり嵌めされている環状のスペ
ーサは、上記ベースと線膨張係数が略等しい材質で作製
されているから、図２の特性曲線で示すように、どの
温度領域においても締まり量は略一定でかつ弾性域にあ
る。そして、このスペーサの端面にステータのコアが締
結手段で固定されている。したがって、この発明によれ
ば、ポンプ運転領域の全体に亘って、ベースの塑性変形
を招くことなく、ステータのコアをベースにクリープ等
を生じることなく確実に固定することができる。したが
って、信頼性および安全性を向上できる。また、上述の
ように締まり量を略一定にできるから、やきばめによる
締まり量を最小限に抑えることができ、焼き嵌め温度を
低下させて作業安全性を向上させることができる。

【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付
構造において、線膨張係数がベースおよびスペーサより
小さい材料で作製されたコアを有するステータを備えた
ことを特徴としている。

【０００９】この請求項２の発明によれば、ステータの
コアの線膨張係数が、ベースおよびスペーサの線膨張係
数よりも小さい。したがって、次の請求項３に記載され
ているように、ステータとスペーサとをベースの内周面
に配して、ステータのコアをベースに弾性域でしまりば
めさせた場合にも、温度上昇時にコアがベースを塑性変
形させることがない。また、この場合、ベースへのコア
の弾性域でのしまりばめによって、上記ステータの径方
向位置精度を確保できる。したがって、組み立て後にス
テータの径方向位置精度を確保するためにステータのコ
アの内周面を加工する必要がなくなる。

【００１０】また、請求項４の発明は、請求項２の発明
において、ステータとスペーサとをベースの内周面に配
して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。こ
の場合には、このすきまばめの後に、ステータを円筒研
磨機などで仕上げれば良い。したがって、組み立て前の
部品単体としてのステータのコアの寸法精度を上げなく
て良い。

【００１１】また、請求項５の発明は、請求項２の発明
において、ステータとスペーサとをベースの外周面に配
して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。こ
の場合には、ステータがベースの外周面にあるから、ス
テータの仕上げ加工が容易になる。

【００１２】また、請求項６の発明は、請求項１に記載
のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付
構造において、線膨張係数がベースおよびスペーサと略
等しい材料で作製されたコアを有するステータを備えた
ことを特徴としている。

【００１３】この請求項６の発明によれば、ステータの
コアの線膨張係数が、ベースおよびスペーサの線膨張係
数と略等しい。従って、請求項７に記載されているよう
に、ステータとスペーサとをベースの内周面に配し、ス
テータのコアをベースに弾性域で締まり嵌めさせた場合
にも、温度上昇時のベースの塑性変形を招かない。ま
た、この場合、ベースへのコアの弾性域での締まり嵌め
によって、上記ステータの径方向位置精度を確保でき
る。したがって、組み立て後にステータの径方向位置精
度を確保するためにステータのコアの内周面を加工する
必要がなくなる。

【００１４】また、請求項８の発明は、請求項６の発明
において、ステータおよびスペーサをベースの内周面に
配して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。
この場合には、このすきまばめの後に、ステータを円筒
研磨機などで仕上げれば良い。したがって、組み立て前
の部品単体としてのステータのコアの寸法精度を上げな
くて良い。

【００１５】また、請求項９の発明は、請求項６の発明
において、ステータおよびスペーサはベースの外周面に
配し、ステータのコアはベースに弾性域で締まりばめさ
れている。この場合には、ベースへのコアの弾性域での
締まり嵌めによって、上記ステータの径方向位置精度を
確保できる。

【００１６】また、請求項１０の発明は、請求項６の発
明において、ステータおよびスペーサはベースの外周面
に配し、ステータのコアはベースにすきまばめされてい
る。この場合には、ステータがベースの外周面にあるか
ら、ステータの仕上げ加工が容易になる。

【００１７】また、請求項１１の発明は、請求項１に記
載のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取
付構造において、線膨張係数がベースおよびステータよ
り大きい材料で作製されたコアを有するステータを備え
たことを特徴としている。

【００１８】請求項１１の発明によれば、ステータのコ
アの線膨張係数が、ベースおよびスペーサの線膨張係数
よりも大きい。したがって、請求項１２に記載されてい
るように、ステータとスペーサとがベースの内周面に配
されている場合には、ステータのコアをベースにすきま
ばめすれば、温度上昇時にコアがベースを塑性変形させ
ることがない。

【００１９】また、請求項１２の発明は、請求項１１の
発明において、ステータとスペーサをベースの内周面に
配して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。
この場合には、このすきまばめの後に、ステータを円筒
研磨機などで仕上げれば良い。したがって、組み立て前
の部品単体としてのステータのコアの寸法精度を上げな
くて良い。

【００２０】また、請求項１３の発明は、ステータとス
ペーサとをベースの外周面に配して、ステータのコアを
ベースに弾性領域で締まりばめさせた。この場合には、
このベースへのステータの弾性域での締まり嵌めによっ
て、上記ステータの径方向位置精度を確保できる。した
がって、組み立て後にステータの径方向位置精度を確保
するためにステータのコアの周面を加工する必要がなく
なる。

【００２１】また、請求項１４の発明は、ステータとス
ペーサとをベースの外周面に配して、ステータのコアを
ベースにすきまばめした。この場合には、このすきまば
めの後に、ステータを円筒研磨機などで仕上げれば良
く、ステータがベースの外周面にあるから、ステータの
仕上げ加工が容易になる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。

【００２３】図１に本発明のターボ分子ポンプにおける
ベースへのステータの取付構造の実施の形態を示す。な
お、このターボ分子ポンプは、図１に示した部分以外は
図５に示した従来のターボ分子ポンプと同じ構造であ
る。この実施の形態は、アルミニウムで作製されている
環状のベース５と環状の第１ステータ２および第２ステ
ータ４を備えている。第１ステータ２は環状の鉄製のコ
ア７とコイル１０とを有している。また、上記第２ステ
ータ４は環状の鉄製のコア８とコイル１１を有してい
る。第１ステータ２および第２ステータ４はロータ１に
対して所定の隙間を隔てている。

【００２４】そして、環状ベース５の内周面５Ａに環状
スペーサ６がやきばめによって弾性域でしまりばめされ
ている。この環状スペーサ６は、ベース５と同じように
アルミニウムで作製されている。したがって、上記ベー
ス５の線膨張係数と上記スペーサ６の線膨張係数とは等
しい。

【００２５】そして、上記第１ステータ２のコア７は、
上記スペーサ６の軸方向の一方の端面６Ａに密着された
状態で、コア７に穿たれた貫通孔７Ａに挿通されてスペ
ーサ６のネジ孔１２に螺合されたボルト１４によってス
ペーサ６に締結されている。さらに、このコア７は、上
記ベース５の周面５Ａに対して弾性域でしまりばめされ
ている。詳しくは、図２の特性曲線に示すように、コ
ア７は常温領域においてベース５に対して弾性領域での
しまりばめになされている。

【００２６】一方、上記第２ステータ４のコア８は、上
記スペーサ６の軸方向の他方の端面６Ｂに密着された状
態で、コア８に穿たれた貫通孔８Ａに挿通されてスペー
サ６のネジ孔１３に螺合されたボルト１５によってスペ
ーサ６に締結されている。また、このコア８は、上記ベ
ース５の周面５Ａに対してすきまばめされている。詳し
くは、図２の特性曲線に示すように、コア８は常温領
域においてベース５に対してすきまばめになされてい
る。

【００２７】上記構成のターボ分子ポンプにおけるベー
スへのステータの取付構造によれば、上記ステータ２,
４のコア７,８に巻かれたコイル１０,１１が回転磁界を
発生することによって、ロータ１を軸回りに回転させ
て、図示しないロータ翼とステータ翼とを相対回転させ
て真空引きを行う。

【００２８】ここで、この取付構造は、環状ベース５の
内周面５Ａに弾性域内でしまりばめされている環状のス
ペーサ６は、上記ベース５と同じ材質で作製されていて
線膨張係数が等しいから、図２の特性曲線で示すよう
に、どの温度領域においても締まり量は一定でかつ弾性
域内にある。そして、第１ステータ２および第２ステー
タ４は、ボルト１４と１５でもって、スペーサ６の端面
６Ａおよび６Ｂに固定されている。したがって、この取
付構造によれば、図２に示すようなポンプ運転領域Ｒの
全体に亘って、ベース５の塑性変形を招くことなく、ス
テータ２のコア７と８をスペーサ６を介してベース５に
クリープ等を生じることなく確実に固定することができ
る。従って、信頼性および安全性を向上できる。また、
上述のように締まり量を一定にできるから、やきばめに
よる締まり量を最小限に抑えることができ、やきばめ温
度を低下させて作業安全性を向上させることができる。

【００２９】また、この取付構造は、第１ステータ２の
コア７がベース５の周面５Ａに弾性域でしまりばめされ
ている。このベース５へのコア７のしまりばめによっ
て、上記第１ステータ２の径方向位置精度を確保でき
る。したがって、組み立て後に第１ステータ２の径方向
位置精度を確保するために第１ステータ２のコア７の内
周面７Ｂを加工する必要がない。

【００３０】また、この取付構造は、第２ステータ４の
コア８がベース５の内周面５Ａにすきまばめされてい
る。したがって、この取付構造によれば、ベース５に第
２ステータ４のコア８をすきまばめして組み立ててか
ら、コア８の内周面８Ｂを円筒研磨機などで仕上げれば
良い。したがって、組み立て前の部品単体としてのコア
８の寸法精度を上げなくて良い。

【００３１】尚、この実施の形態では、ベース５とスペ
ーサ６とを同じアルミニウムで作製したが、ベース５と
スペーサ６とをかならず同一の材質で作製する必要はな
く、線膨張係数が略等しい材料でベース５とスペーサ６
とが作製されていればよい。

【００３２】また、上記実施の形態では、図１に示すよ
うに、ロータ１の周囲にベース５およびステータ２と４
を配置したインナーロータ型とし、ベース５の内周面５
Ａにスペーサ６とステータ２,４とを配置したが、図４
に示すように、ベース６５,スペーサ６,ステータ２,４
の周囲にロータ６１を配置したアウターロータ型として
もよい。なお、図４において、４１,４２は、コア７,８
に対向するターゲットである。

【００３３】また、上記実施の形態では、ステータ２,
４のコアを鉄製のコア７,８としたので、コアの線膨張
係数がベース５およびスペーサ６の線膨張係数よりも小
さかった。この場合には、図４に示すアウターロータ型
では、コア７，８をベース６５の外周面６５Ｂにすきま
ばめして、ベース６５とスペーサ６の膨張によるコア
７,８の塑性変形を防止する。

【００３４】また、ステータ２,４のコア７，８の線膨
張係数をベース５およびスペーサ６の線膨張係数よりも
大きくしてもよい。この場合、図３のようなインナーロ
ータ型においては、コア７と８を両方ともベース５５の
内周面５５Ａに対してすきまばめにして、コア７と８の
膨張によるベース５５の塑性変形を防止する。なお、図
３において、３１,３２は、コア７,８に対向するターゲ
ットである。なお、図４に示すようなアウターロータ型
においては、コア７と８の線膨張係数がベース５５およ
びスペーサ６の線膨張係数よりも大きい場合にも、コア
７と８をベース６５の外周面６５Ｂに弾性域でしまりば
めさせてもよい。

【００３５】また、ステータ２,４のコア７,８の線膨張
係数をベース５およびスペーサ６の線膨張係数と同等に
しても良い。この場合、インナーロータ型およびアウタ
ーロータ型のいずれにおいても、コア７，８をベース５
に対してすきまばめしてもよいし、しまりばめしてもよ
い。

【００３６】また、この実施の形態では、締結手段とし
てボルト１４と１５を用いたが、締結手段としてピンま
たは、かしめ，溶接，ロウ付け，接着を使用してもよ
い。また、上記実施形態は、磁気軸受用のコア７とモー
タ用のコア８とをスペーサ６の両端に締結したものであ
るが、軸方向に複数のラジアル磁気軸受を有する場合に
は、これらコアをスペーサ６の両端に締結する構成とし
てもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の発
明のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取
付構造は、環状のベースと、ベースと線膨張係数が略等
しい材料で作製されており、環状ベースの周囲に弾性域
でしまりばめされている環状スペーサと、スペーサの軸
方向端面に締結手段で固定されたコアを有するステータ
とを備えている。

【００３８】この請求項１の発明によれば、環状ベース
の周面に、弾性域内でしまりばめされている環状のスペ
ーサは、上記ベースと線膨張係数が略等しい材質で作製
されているから、図２の特性曲線で示すように、どの
温度領域においても締まり量は略一定でかつ弾性域にあ
る。そして、このスペーサの端面にステータのコアが締
結手段で固定されている。したがって、この発明によれ
ば、ポンプ運転領域の全体に亘って、ベースの塑性変形
を招くことなく、ステータのコアをベースにクリープ等
を生じることなく確実に固定することができる。したが
って、信頼性および安全性を向上できる。また、上述の
ように締まり量を略一定にできるから、やきばめによる
締まり量を最小限に抑えることができ、やきばめ温度を
低下させて作業安全性を向上させることができる。

【００３９】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付
構造において、線膨張係数がベースおよびスペーサより
小さい材料で作製されたコアを有するステータを備えて
いる。

【００４０】この請求項２の発明によれば、ステータの
コアの線膨張係数が、ベースおよびスペーサの線膨張係
数よりも小さい。したがって、次の請求項３に記載され
ているように、ステータとスペーサとをベースの内周面
に配して、ステータのコアをベースに弾性域でしまりば
めさせた場合にも、温度上昇時にコアがベースを塑性変
形させることがない。また、この場合、ベースへのコア
の弾性域でのしまりばめによって、上記ステータの径方
向位置精度を確保できる。したがって、組み立て後にス
テータの径方向位置精度を確保するためにステータのコ
アの内周面を加工する必要がなくなる。

【００４１】また、請求項４の発明は、請求項２の発明
において、ステータとスペーサとをベースの内周面に配
して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。こ
の場合には、このすきまばめの後に、ステータを円筒研
磨機などで仕上げれば良い。したがって、組み立て前の
部品単体としてのステータのコアの寸法精度を上げなく
て良い。

【００４２】また、請求項５の発明は、請求項２の発明
において、ステータとスペーサとをベースの外周面に配
して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた場合
には、ステータがベースの外周面にあるから、ステータ
の仕上げ加工が容易になる。

【００４３】また、請求項６の発明は、請求項１に記載
のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付
構造において、線膨張係数がベースおよびスペーサと略
等しい材料で作製されたコアを有するステータを備えた
ことを特徴としている。

【００４４】この請求項６の発明によれば、ステータの
コアの線膨張係数が、ベースおよびスペーサの線膨張係
数と略等しい。したがって、請求項７に記載されている
ように、ステータとスペーサとをベースの内周面に配
し、ステータのコアをベースに弾性域でしまりばめさせ
た場合にも、温度上昇時のベースの塑性変形を招かな
い。また、この場合、ベースへのコアの弾性域でのしま
りばめによって、上記ステータの径方向位置精度を確保
できる。したがって、組み立て後にステータの径方向位
置精度を確保するためにステータのコアの内周面を加工
する必要がなくなる。

【００４５】また、請求項８の発明は、請求項６の発明
において、ステータおよびスペーサをベースの内周面に
配して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。
この場合には、このすきまばめの後に、ステータを円筒
研磨機などで仕上げれば良い。したがって、組み立て前
の部品単体としてのステータのコアの寸法精度を上げな
くて良い。

【００４６】また、請求項９の発明は、請求項６の発明
において、ステータおよびスペーサはベースの外周面に
配し、ステータのコアはベースに弾性域でしまりばめさ
れている場合には、ベースへのコアの弾性域でのしまり
ばめによって、上記ステータの径方向位置精度を確保で
きる。

【００４７】また、請求項１０の発明は、請求項６の発
明において、ステータおよびスペーサはベースの外周面
に配し、ステータのコアはベースにすきまばめされてい
る。この場合には、ステータがベースの外周面にあるか
ら、ステータの仕上げ加工が容易になる。

【００４８】また、請求項１１の発明は、請求項１に記
載のターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取
付構造において、線膨張係数がベースおよびステータよ
り大きい材料で作製されたコアを有するステータを備え
たことを特徴としている。

【００４９】請求項１１の発明によれば、ステータのコ
アの線膨張係数が、ベースおよびスペーサの線膨張係数
よりも大きい。したがって、請求項１２に記載されてい
るように、ステータとスペーサとがベースの内周面に配
されている場合には、ステータのコアをベースにすきま
ばめすれば、温度上昇時にコアがベースを塑性変形させ
ることがない。

【００５０】また、請求項１２の発明は、請求項１１の
発明において、ステータとスペーサをベースの内周面に
配して、ステータのコアをベースにすきまばめさせた。
この場合には、このすきまばめの後に、ステータを円筒
研磨機などで仕上げれば良い。したがって、組み立て前
の部品単体としてのステータのコアの寸法精度を上げな
くて良い。

【００５１】また、請求項１３の発明は、ステータとス
ペーサとをベースの外周面に配して、ステータのコアを
ベースに弾性領域でしまりばめさせた場合には、このベ
ースへのステータの弾性域でのしまりばめによって、上
記ステータの径方向位置精度を確保できる。したがっ
て、組み立て後にステータの径方向位置精度を確保する
ためにステータのコアの周面を加工する必要がなくな
る。

【００５２】また、請求項１４の発明は、ステータとス
ペーサとをベースの外周面に配して、ステータのコアを
ベースにすきまばめした。この場合には、このすきまば
めの後に、ステータを円筒研磨機などで仕上げれば良
く、ステータがベースの外周面にあるから、ステータの
仕上げ加工が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のターボ分子ポンプにおけるステー
タのベースへの取付構造の実施の形態を示す部分断面図
である。

【図２】 上記実施の形態および従来例でのやきばめ締
まり量の温度変化を示す特性図である。

【図３】 上記実施形態のインナーロータ型の変形例の
要部断面図である。

【図４】 上記実施形態のアウターロータ型の変形例の
要部断面図である。

【図５】 従来のターボ分子ポンプの全体を示す断面図
である。

【符号の説明】

１…ロータ、２…第１ステータ、３…軸部、４…第２ス
テータ、５…ベース、５Ａ…周面、６…スペーサ、７…
コア、７Ａ…貫通孔、７Ｂ…周面、８…コア、８Ａ…貫
通孔、８Ｂ…周面、１０,１１…コイル、１２,１３…ネ
ジ孔、１４,１５…ボルト。

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 環状のベース(５)と、ベース(５)と線膨
   張係数が略等しい材料で作製されており、環状ベース
   (５)の周囲に弾性域でしまりばめされている環状スペー
   サ(６)と、スペーサ(６)の軸方向端面(６Ａ,６Ｂ)に締
   結手段(１４,１５)で固定されたコア(７,８)を有するス
   テータ(２,４)とを備えたことを特徴とするターボ分子
   ポンプにおけるステータのベースへの取付構造。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 線膨張係数がベース(５)およびスペーサ(６)より小さい
   材料で作製されたコア(７,８)を有するステータ(２,４)
   を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプにおけるス
   テータのベースへの取付構造。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(５)の内
   周面に配し、ステータ(２)のコア(７)はベース(５)に弾
   性域でしまりばめされていることを特徴とするターボ分
   子ポンプにおけるステータのベースへの取付構造。
4. 【請求項４】 請求項２に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(５)の内
   周面に配し、ステータ(４)のコア(８)はベース(５)にす
   きまばめされていることを特徴とするターボ分子ポンプ
   におけるステータのベースへの取付構造。
5. 【請求項５】 請求項２に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(６５)の
   外周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)はベー
   ス(５)にすきまばめされていることを特徴とするターボ
   分子ポンプにおけるステータのベースへの取付構造。
6. 【請求項６】 請求項１に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 線膨張係数がベース(５)およびスペーサ(６)と略等しい
   材料で作製されたコア(７,８)を有するステータ(２,４)
   を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプにおけるス
   テータのベースへの取付構造。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(５)の内
   周面に配し、ステータ(２)のコア(７)はベース(５)に弾
   性域でしまりばめされていることを特徴とするターボ分
   子ポンプにおけるステータのベースへの取付構造。
8. 【請求項８】 請求項６に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(５，５
   ５)の内周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)
   はベース(５，５５)にすきまばめされていることを特徴
   とするターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの
   取付構造。
9. 【請求項９】 請求項６に記載のターボ分子ポンプにお
   けるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(６５)の
   外周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)はベー
   スに弾性域でしまりばめされていることを特徴とするタ
   ーボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付構
   造。
10. 【請求項１０】 請求項６に記載のターボ分子ポンプに
    おけるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(６５)の
    外周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)はベー
    ス(６５)にすきまばめされていることを特徴とするター
    ボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付構造。
11. 【請求項１１】 請求項１に記載のターボ分子ポンプに
    おけるステータのベースへの取付構造において、 線膨張係数がベース(５)およびステータ(６)より大きい
    材料で作製されたコア(７,８)を有するステータ(２,４)
    を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプにおけるス
    テータのベースへの取付構造。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載のターボ分子ポンプ
    におけるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(５，５
    ５)の内周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)
    はベース(５，５５)にすきまばめされていることを特徴
    とするターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの
    取付構造。
13. 【請求項１３】 請求項１１に記載のターボ分子ポンプ
    におけるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(６５)の
    外周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)はベー
    ス(６５)に弾性領域でしまりばめされていることを特徴
    とするターボ分子ポンプにおけるステータのベースへの
    取付構造。
14. 【請求項１４】 請求項１１に記載のターボ分子ポンプ
    におけるステータのベースへの取付構造において、 ステータ(２,４)およびスペーサ(６)はベース(６５)の
    外周面に配し、ステータ(２，４)のコア(７，８)はベー
    ス(６５)にすきまばめされていることを特徴とするター
    ボ分子ポンプにおけるステータのベースへの取付構造。