JPH10223954A - 高周波放電ガスレーザの電源装置 - Google Patents
高周波放電ガスレーザの電源装置Info
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- JPH10223954A JPH10223954A JP2477797A JP2477797A JPH10223954A JP H10223954 A JPH10223954 A JP H10223954A JP 2477797 A JP2477797 A JP 2477797A JP 2477797 A JP2477797 A JP 2477797A JP H10223954 A JPH10223954 A JP H10223954A
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- Japan
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Abstract
は、一般に高周波インバータの前段にDC/DCコンバ
ータを設け、電力の調整を行っている。しかし、DC/
DCコンバータは重量、スペース、コスト、効率等に問
題があり、スイッチング素子の発熱対策等を講ずる必要
があった。 【解決手段】 この発明の高周波放電ガスレーザの電源
装置は、交流3相電源の整流回路1と、四個のスイッチ
ング素子を単相ブリッジ回路に組んだ高周波インバータ
2と、昇圧マッチング回路3、ゲート制御回路4等から
なり、ゲート制御回路4によりインバータの基本周波数
に同期してインバータ2の電流をON.OFFさせ、こ
のON.OFF時間の比を変えることにより、電力を制
御するものである。
Description
ーザの電源装置の改良に関するものである。
般に図3に示すような構成になっている。即ち交流3相
入力を全波整流する整流回路と、平滑コンデンサーC1
と、スイッチング素子S0 、これをチョピングし直流電
圧を調整する制御回路、還流ダイオードD、直流リアク
ターL1 、平滑コンデンサーC2 等からなるDC/DC
コンバータと、スイッチング素子S1 、S2 、S3 、S
4 を単相ブリッジに組んだ高周波インバータと、高周波
出力を放電部とマッチングさせる交流リアクタL2 、コ
ンデンサC3 等からなるマッチング回路等から構成され
ている。
はDC/DCコンバータによって行なわれている。DC
/DCコンバータを廃止し、電力の調整を高周波インバ
ータ回路のスイッチング素子をPWM制御するものもあ
るが、高周波インバーの基本周波数は一般に100KH
z 〜数MHz であり、スイッチング素子のON時間を更
に高い周波数でコントロールすることは技術的に困難
で、一般には前記のようにDC/DCコンバータを設
け、これによって電力の調整を行っている。
高周波放電ガスレーザの電源装置では、一般に高周波イ
ンバータの前段にDC/DCコンバータを設け、電力の
調整を行っている。しかし、DC/DCコンバータは重
量、スペース、コスト、効率等に問題があり、スイッチ
ング素子の発熱対策等を講ずる必要があった。この発明
はこのような課題を解決するために、従来のDC/DC
コンバータの使用を廃止すると共に、基本高周波で動作
する高周波インバータを設け、この基本高周波に同期し
て高周波インバータの電流をON/OFFさせ、そのO
N/OFFの時間の比を変えることにより、電力の調整
をしようとするものである。
めに、この発明の高周波放電ガスレーザの電源装置は、
交流3相電源の整流回路と、四個のスイッチング素子を
単相ブリッジ回路に組んだ高周波インバータと、昇圧マ
ッチング回路、高周波インバータのゲート制御回路等か
らなり、前記高周波インバータのゲート制御回路を、基
本高周波発生回路と、その波形反転回路と、基本高周波
発生回路の周波数に同期し電力指令信号に対応して動作
するゲート駆動信号ON/OFF回路と、前記基本高周
波発生回路の信号とその波形反転回路の信号とゲート信
号ON/OFF回路により動作する二つのアンド回路等
によって構成したもので、高周波インバータの基本周波
数に同期して高周波インバータの動作をON/OFFさ
せ、そのON/OFFの時間の比を変えることにより、
電力を制御するものである。
を示してある。図示のようにこの発明は、交流3相入力
を全波整流する整流回路1、平滑コンデンサーC1 、四
個のスイッチング素子S1 、S2 、S3 、S4 を単相ブ
リッジ回路に組んだ高周波インバータ2、昇圧マッチン
グ回路3、ゲート制御回路4等から構成されている。ゲ
ート制御回路4は、基本高周波発生回路5、波形反転回
路6、基本高周波発生回路の周波数に同期し電力指令信
号に対応して動作するゲート信号ON/OFF回路7、
ゲート信号をスイッチング素子S3 、S4 のゲートへ送
るアンド回路8、9等から構成されている。
波数で交互に動作しており、放電部へ最大電力を供給す
るときはスイッチング素子S3 、S4 のゲート信号を基
本周波数で交互にONさせる。放電部へ電力を供給しな
いときはスイッチング素子S3 、S4 のゲート信号をO
FFにする。この発明は、このON/OFFの時間の比
を電力指令信号に対応して変化し、放電部の電力を調整
するものである。
、、、への信号、インバータ出力電圧、放電部
出力等を示してある。ゲート、へは夫々常に基本波
信号および反転波信号が供給され、ゲート、へは電
力指令信号に対応したON/OFF時間比の小さい信号
が供給されている。また図2bに出力指令の大きい場合
のゲート、へのON/OFF信号(ON/OFF時
間比の比較的大きい信号)、インバータ出力電圧、放電
部出力等を示してある。ゲート、への信号は図2a
と同一のため省略してある。
Hz であるので、スイッチング素子S3 、S4 のゲート
信号のON/OFFの周波数は1KHz 以上で行えばよ
いことになる。また、スイッチング素子S3 、S4 のゲ
ートのON時間は常に同一になるように制御されるの
で、昇圧マッチング回路のトランスの偏磁等が防止さ
れ、また、放電部への出力も安定する。
ータの基本周波数に同期し、電力指令信号に対応して、
インバータの電流をON/OFFさせ、そのON/OF
F時間の比を変えることにより行うため、インバータの
制御が容易になり、また従来のようなDC/DCコンバ
ータを使用しないため、その使用に伴う問題も無くな
る。
号、インバータ出力電圧、放電部出力等を示してある。
図2bに高出力時のゲートへの信号、インバータ出力電
圧、放電部出力等を示してある。
てある。
、S4 のゲート
Claims (1)
- 【請求項1】 交流3相電源の整流回路と、四個のスイ
ッチング素子を単相ブリッジ回路に組んだ高周波インバ
ータと、昇圧マッチング回路と、高周波インバータのゲ
ート制御回路等からなり、前記高周波インバータのゲー
ト制御回路が基本高周波発生回路と、その波形反転回路
と、基本高周波発生回路の周波数に同期し電力指令信号
に対応して動作する駆動信号ON/OFF回路と、前記
基本高周波発生回路の信号とその波形反転回路の信号と
駆動信号ON/OFF回路により動作する二つのアンド
回路等によって構成されていることを特徴とする高周波
放電ガスレーザの電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02477797A JP3831041B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 高周波放電ガスレーザの電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02477797A JP3831041B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 高周波放電ガスレーザの電源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10223954A true JPH10223954A (ja) | 1998-08-21 |
JP3831041B2 JP3831041B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=12147617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02477797A Expired - Lifetime JP3831041B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 高周波放電ガスレーザの電源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3831041B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208747A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ発振器用電源装置 |
-
1997
- 1997-02-07 JP JP02477797A patent/JP3831041B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208747A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ発振器用電源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3831041B2 (ja) | 2006-10-11 |
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