JPH10223371A - 発光ディスプレイとその製造方法 - Google Patents
発光ディスプレイとその製造方法Info
- Publication number
- JPH10223371A JPH10223371A JP9024955A JP2495597A JPH10223371A JP H10223371 A JPH10223371 A JP H10223371A JP 9024955 A JP9024955 A JP 9024955A JP 2495597 A JP2495597 A JP 2495597A JP H10223371 A JPH10223371 A JP H10223371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- pixel
- light
- display
- emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 62
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 10
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 7
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 19
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 abstract description 12
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 14
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 12
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 8
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 2
- QHJXOJHVTGXCRC-UHFFFAOYSA-N 1,1-diphenylbuta-1,3-dien-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=C)=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 QHJXOJHVTGXCRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYGSXEYUWRFVNY-UHFFFAOYSA-N 2-pyran-2-ylidenepropanedinitrile Chemical class N#CC(C#N)=C1OC=CC=C1 KYGSXEYUWRFVNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXAIEIRYBSKHDP-UHFFFAOYSA-N 4-phenyl-n-(4-phenylphenyl)-n-[4-[4-(4-phenyl-n-(4-phenylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]aniline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=C(N(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 WXAIEIRYBSKHDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 150000001893 coumarin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- -1 perylenedicarboxylic acid ester Chemical class 0.000 description 1
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 1
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
る事。 【解決手段】 少なくともEL(エレクトロルミネッセ
ンス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、
交差している2組のストライプ電極(104、105)
によってマトリクス状に挟持してなり、それぞれ1本1
本の電極が交差した部分が2次画素を形成し、ディスプ
レイを構成する各画素が、それぞれが異なる発光色のE
L発光帯域を有する2つ以上の2次画素から構成される
発光ディスプレイにおいて、各2次画素の境界に、部分
的に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれている2次画
素の1つ以上が、EL発光帯域に発光ドーパント材料を
含む。
Description
その製造方法に関するものである。
ス)素子は、自発光の面状表示素子としての利用が注目
されている。この発光素子は、有機層を積層して機能分
離する事によって大幅に発光効率の改善がなされ、印加
電圧10V弱で高輝度な発光が実現している(アプライ
ド・フィジクス・レターズ(Applied Phys
ics Letters)51巻’87年913、56
巻’90年799)。その基本となる素子構成は、陽極
/正孔輸送帯域/EL発光帯域/電子輸送帯域/陰極と
なっているものがほとんどである。正孔輸送帯域、電子
輸送帯域の片方または両方を設けない場合もある。
をする場合、一般に、有機薄膜EL素子の有機層をパタ
ーニングする必要がある。特開平5−258859号公
報には、それぞれ発光色の異なる2次画素間に壁をあら
かじめ設けておき、基板の法線方向に対して斜めの方向
から有機物を蒸着することによって、基板上で壁に隠れ
る部分と隠れない部分をつくって2次画素を別々に形成
する方法が開示されている。この方法によると、発光色
の異なる有機薄膜EL素子を同一基板上に配置すること
ができる。しかし開示内容によると、2色発光の場合
(つまり、1つの画素に対して2次画素は2つ)はそれ
ぞれの発光層を独立に形成することはできるが、3色以
上の発光層を独立に形成することはできない。第1番目
の2次画素の発光層を壁に部分的に遮蔽されるように斜
め方向から蒸着して形成し、第2番目の2次画素の発光
層を反対側の斜め方向から蒸着して形成することはでき
るが、第3番目の2次画素だけに第3番目の発光層を蒸
着することはできず、第1番目、第2番目の2次画素に
も同時に蒸着されてしまう。この点に問題があった。ま
た、それぞれ異なる発光色のEL発光帯域を別々の工程
で形成するため工程が多いという課題があった。
イ’95(Asia Display’95)S11−
2には有機薄膜EL素子からのEL発光を吸収して蛍光
を発する蛍光材料部を形成する方法が開示されている。
この方法によると蛍光材料部に用いる蛍光材料を変える
ことによって発光色を変えることができるため、蛍光材
料部のパターニングによって多色有機薄膜ELディスプ
レイの製造が可能となる。しかし、この方法において
は、有機薄膜EL素子部の他に蛍光材料部を形成しなけ
ればならず、また、蛍光材料部をパターニングして、そ
れぞれの発光色ごとに別々に形成しなければならないた
め工程が非常に多くなるという課題があった。
スプレイの従来の製造方法においては、それぞれ異なる
発光色のEL発光帯域を別々の工程で形成するために工
程が多くなるという課題があった。
してなされたもので、簡便に製造可能な発光ディスプレ
イを提供する事を目的とする。
EL(エレクトロルミネッセンス)発光帯域を有する単
層または積層の有機薄膜を、交差している2組のストラ
イプ電極によってマトリクス状に挟持してなり、それぞ
れ1本1本の電極が交差した部分が2次画素を形成し、
ディスプレイを構成する各画素が、それぞれが異なる発
光色のEL発光帯域を有する2つ以上の2次画素から構
成される発光ディスプレイにおいて、各2次画素の境界
に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれてい
る2次画素の1つ以上が、EL発光帯域に発光ドーパン
ト材料を含むことを特徴とする発光ディスプレイにおい
て、簡便に発光ディスプレイのEL発光帯域を形成する
事ができることを見出した。
で挟んだ構成をしており、電極間に電圧を印加すること
によって駆動する。基板上に下部電極をストライプ状に
形成し、その上に単層または多層の有機薄膜を形成し
て、さらにその上に下部電極と交差するようにストライ
プ状に上部電極を形成することによってドットマトリク
スの有機薄膜ELディスプレイが形成される。この下部
電極と上部電極とを適宜選択して電圧を印加することに
よって発光パターンを形成することができる。
ない場合には単色の表示となるが、発光色の異なるEL
発光帯域をそれぞれ別々の部分に配置すると多色表示が
可能となる。あるパターンの多色の画像を表示する場合
に、そのパターンの構成要素を画素と呼ぶことにする。
多色表示をする場合、画素は2種類以上の発光色を呈す
るそれぞれ独立した複数の有機薄膜EL素子からなり、
その構成要素を2次画素と呼ぶことにする。画素内の2
次画素間の強度比を変えることによって画素の呈する色
調を変えることが可能になる。
には有機層をパターニングする必要がある。これは、一
般には有機薄膜EL素子の発光色は有機発光材料によっ
て決まるからである。本発明では、EL発光帯域の形成
時に部分的に発光ドーパントをドーピングすることによ
ってパターニングを行う。有機層を形成する前に、基板
の面が部分的に遮蔽されるように遮蔽壁を設けておき、
EL発光帯域を蒸着によって形成するときに同時に基板
の法線方向に対して斜めの方向から発光ドーパントを蒸
着することによって、発光ドーパントが蒸着された部分
の発光色を変える。発光ドーパントをドーピングするこ
とによって、その発光ドーパントがドーピングされてい
ないときの有機薄膜EL素子の発光色とは異なる発光色
を得ることが重要である。この方法によって、2色以上
のEL発光帯域を同時に形成することが可能となる。
ときに、さらに、基板に対するホスト材料の入射方向と
ほぼ同じ入射方向から発光ドーパントを入射させて発光
効率を向上させる、かつ/または、ホスト材料のみ蒸着
される部分の発光色を変えることも可能である。
向から入射させて蒸着したときにこの遮蔽壁の影になっ
て蒸発物が蒸着されない部分ができるように構成しなけ
ればならない。そのため、本発明における遮蔽壁は少な
くとも有機薄膜EL素子の有機層より十分に高く形成す
る必要がある。具体的には、1マイクロメーター以上が
望ましい。また、遮蔽壁の影になって蒸発物が蒸着され
ない部分の幅に対して、遮蔽壁の高さが高すぎる場合も
低すぎる場合も蒸発物の入射方向の制御性が悪くなるた
めに好ましくない。2次画素のピッチに対する遮蔽壁の
高さの比は、0.2〜5が好ましい。
かつ電気的絶縁性が十分に高い公知の材料の中から適宜
選択することができる。有機物でも無機物でも構わな
い。
は、公知の方法から適宜選択して適用できる。例えば半
導体デバイス製造時に使用されるようなフォトレジスト
を用いてエッチングによってパターニングすることが可
能である。有機薄膜EL素子の下部電極を形成した後に
遮蔽壁を形成する場合、遮蔽壁の形成時及びパターニン
グ時に下部電極が劣化しないようにパターニング方法を
適宜選択する必要がある。
ると、工程は簡略化される。この場合、フォトレジスト
材料を成膜し、露光を行い、不要な部分を除去すること
によってパターニングがなされる。フォトレジスト材料
の成膜は公知の方法から適宜選択することができる。例
えば、湿式成膜法によって形成することができる。ま
た、フィルム状になっているフォトレジスト材料を基板
に貼り付けることによって形成することも可能である。
は、公知の蒸着法から適宜選択して行うことができる。
これは具体的には、抵抗加熱,イオンプレーティング,
MBE等である。本発明では、発光層の形成時に部分的
に発光ドーパントをドーピングするが、発光ドーパント
の入射が遮蔽壁によって部分的に遮蔽されなければなら
ない。従って、蒸発源を蒸発した粒子が散乱の影響をあ
まり受けることが無く基板に蒸着されるように、成膜チ
ャンバー内の真空度を十分に高くする必要がある。
機層は公知の成膜方法から適宜選択して成膜することが
できる。上記のような蒸着法も可能であるが、湿式成膜
法によっても成膜できる。低分子化合物を高分子バイン
ダー中に分散させた膜を用いることもできる。
いることができる。例えば、アントラセン系化合物、ト
リフェニルブタジエン系化合物をはじめ、8−キノリノ
ールの金属錯体(特開昭59−194393号公報)、
ジスチリルアリーレン誘導体(特開平2−247278
号公報、特開平5−17765号公報)、混合配位子ア
ルミニウムキレート(特開平5−214332号公報、
特開平5−198378号公報)、等があげられる。
ドーパントがドーピングされていないときの有機薄膜E
L素子の発光色とは異なる発光色を得る。ジャーナル・
オブ・アプライド・フィジクス(Journal of
Applied Physics)65巻’89年3
610、SID’96年14.1、信学技報OME94
−80(電子情報通信学会)にはドーピング法によって
発光色を変える方法が例示されている。ホスト材料と発
光ドーパントとを適宜選択することによって様々な発光
色を得ることが可能である。発光ドーパントとしては、
例えば、クマリン誘導体、ジシアノメチレンピラン誘導
体(特開昭63−264692号公報)、ペリレンジカ
ルボン酸エステル誘導体(特開平4−17294号公
報)、また、キナクリドン誘導体(特開平5−7077
3号公報)等があげられる。
ピングすることはもちろん可能であるが、正孔輸送材料
または電子輸送材料中にドーピングすることによって発
光ドーパントを発光させることも可能である。例えば、
正孔輸送材料であるN,N’−ジフェニル−N,N’−
ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−
4,4’−ジアミン中にルブレンをドーピングすること
によってルブレンを発光させる方法が、ジャパニーズ・
ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス(Japa
nese Journal of Applied P
hysics)34巻’95年L824に示されてい
る。本発明に示すように、適切な位置に遮蔽壁を設けて
適切な入射角の斜方からルブレンを入射させてドーピン
グすることによって部分的にルブレンからの発光を得る
ことができる。
レイのEL発光帯域を形成する事を目的とする。したが
って、EL発光帯域以外の部分は公知のいかなる構成も
適用可能である。正孔輸送帯域は設けられていても設け
られていなくても構わないし、同様に電子輸送帯域も設
けられていても設けられていなくても構わない。また、
陽極、陰極は公知の材料から適宜選択することができ
る。
る。
光素子からなる多色有機薄膜ELディスプレイの製造例
について以下に述べる。図1にディスプレイの一部の構
成の模式図を示した。基板上に横方向に緑,青,赤の順
で2次画素が並んでおり、これら3つの素子が画素を構
成している。領域101,102,103はそれぞれ緑
色,青色,赤色に発光する有機薄膜EL素子の領域であ
る。縦方向にストライプ状に下部電極(陽極)104が
並び、横方向にストライプ状に上部電極(陰極)105
が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部分に有
機薄膜EL素子が形成される。
に切った断面の模式図である図2で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板111上に下部電極(陽
極)104と遮蔽壁112を形成する(図2(a))。
次に正孔輸送層121を形成する(図2(b))。蒸着
法により形成する場合には図2(a)に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に緑色発光層131と青色発光層1
32と赤色発光層133を同時に形成する(図2
(c))。図2(b)に矢印122で図示したように遮
蔽壁によって影がなるべくできない方向から青色発光材
料を入射させて発光層を形成するが、このとき同時に、
矢印123のように遮蔽壁にかくれて領域102,10
3には蒸着されず領域101にのみ蒸着されるように入
射角を適宜選択して緑色発光材料を微量入射させ、また
同時に、矢印124のように遮蔽壁にかくれて領域10
1,102には蒸着されず領域103にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域102には、青色発光層が形成
され、領域101には、青色発光ホストに緑色発光ドー
パントがドーピングされた発光層が形成され、また領域
103には、青色発光ホストに赤色発光ドーパントがド
ーピングされた発光層が形成される。青色発光材料と緑
色発光材料を適宜選択することにより領域101におい
て緑色EL発光を得ることができ、また青色発光材料と
赤色発光材料を適宜選択することにより領域103にお
いて赤色EL発光を得ることができる。次に電子輸送層
141を形成する(図2(d))。蒸着法により形成す
る場合には図2(c)に矢印で示したように遮蔽壁によ
って影がなるべくできない方向から入射させて蒸着す
る。次に上部電極を形成する。上部電極は図1に示した
ようにパターニングしてストライプ状に形成する。この
とき、遮蔽壁112によって上部電極の導通が切れない
ように配慮する必要がある。例えば、上部電極を形成し
た後に、図2(d)において遮蔽壁の左右の側面に蒸着
されるように絶縁性基板の法線方向から少しずらして左
右方向から上部電極導通用の金属を蒸着することが有効
である。
色の3色の発光素子からなる多色有機薄膜ELディスプ
レイが製造される。このディスプレイは下部電極と上部
電極を選択することによって青色,緑色,赤色の2次画
素をそれぞれ独立に輝度を制御して発光させることが可
能である。
光素子からなる多色有機薄膜ELディスプレイの第2の
製造例について以下に述べる。図1のディスプレイの一
部の構成の模式図において、基板上に横方向に青,緑,
赤の順で2次画素が並んでおり、これら3つの素子が画
素を構成している。領域101,102,103はそれ
ぞれ青色,緑色,赤色に発光する有機薄膜EL素子の領
域である。縦方向にストライプ状に上部電極(陰極)1
04が並び、横方向にストライプ状に下部電極(陽極)
105が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部
分に有機薄膜EL素子が形成される。
に切った断面の模式図である図3で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板211上に下部電極(陽
極)105と遮蔽壁212を形成する(図3(a))。
次に正孔輸送層221を形成する(図3(b))。蒸着
法により形成する場合には図3(a)に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に青色発光層231を形成する(図
3(c))。図3(b)に矢印で図示したように遮蔽壁
にかくれて領域102,103には蒸着されず領域10
1にのみ蒸着されるように入射角を適宜選択して青色発
光材料を入射させて発光層を形成する。次に緑色発光層
241と赤色発光層242を同時に形成する(図3
(d))。図3(c)に矢印232で図示したように遮
蔽壁にかくれて領域101には蒸着されず領域102,
103にのみ蒸着されるように入射角を適宜選択して緑
色発光材料を入射させて発光層を形成するが、このとき
同時に、矢印233のように遮蔽壁にかくれて領域10
1,102には蒸着されず領域103にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域102には緑色発光層が形成さ
れ、領域103には、緑色発光ホストに赤色発光ドーパ
ントがドーピングされた発光層が形成される。緑色発光
材料と赤色発光材料を適宜選択することにより領域10
3において赤色EL発光を得ることができる。次に電子
輸送層251を形成する(図3(e))。蒸着法により
形成する場合には図3(d)に矢印で示したように遮蔽
壁によって影がなるべくできない方向から入射させて蒸
着する。次に上部電極を形成する(図3(f))。上部
電極は図1に示したようにパターニングしてストライプ
状に形成する。上部電極の形成は、蒸着時にシャドーマ
スクを用いてパターニングすることも可能であるが、特
開平5−275172号公報にあるように、有機層を形
成する前に、遮蔽壁212よりも十分に高さの低い遮蔽
壁を、領域101と領域102の間と領域102と領域
103の間にあらかじめ設けておき斜め方向から上部電
極材料を蒸着することも可能である。
光素子からなる多色有機薄膜ELディスプレイの第3の
製造例について以下に述べる。図1のディスプレイの一
部の構成の模式図において、基板上に横方向に青,緑,
赤の順で2次画素が並んでおり、これら3つの素子が画
素を構成している。領域101,102,103はそれ
ぞれ青色,緑色,赤色に発光する有機薄膜EL素子の領
域である。縦方向にストライプ状に下部電極(陽極)1
04が並び、横方向にストライプ状に上部電極(陰極)
105が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部
分に有機薄膜EL素子が形成される。
に切った断面の模式図である図4で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板311上に下部電極(陽
極)104と遮蔽壁312を形成する(図4(a))。
次に正孔輸送層321を形成する(図4(b))。蒸着
法により形成する場合には図4(a)に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に青色発光層331と緑色発光層3
32と赤色発光層333を同時に形成する(図4
(c))。図4(b)に矢印322で図示したように遮
蔽壁によって影がなるべくできない方向から青色発光材
料を入射させて発光層を形成するが、このとき同時に、
矢印323のように遮蔽壁にかくれて領域101,10
3には蒸着されず領域102にのみ蒸着されるように入
射角を適宜選択して緑色発光材料を微量入射させ、また
同時に、矢印324のように遮蔽壁にかくれて領域10
1,102には蒸着されず領域103にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域101には、青色発光層が形成
され、領域102には、青色発光ホストに緑色発光ドー
パントがドーピングされた発光層が形成され、また領域
103には、青色発光ホストに赤色発光ドーパントがド
ーピングされた発光層が形成される。青色発光材料と緑
色発光材料を適宜選択することにより領域102におい
て緑色EL発光を得ることができ、また青色発光材料と
赤色発光材料を適宜選択することにより領域103にお
いて赤色EL発光を得ることができる。次に電子輸送層
341を形成する(図4(d))。蒸着法により形成す
る場合には図4(c)に矢印で示したように遮蔽壁によ
って影がなるべくできない方向から入射させて蒸着す
る。次に上部電極を形成する。上部電極は図1に示した
ようにパターニングしてストライプ状に形成する。この
とき、遮蔽壁312によって上部電極の導通が切れない
ように配慮する必要がある。例えば、上部電極を形成し
た後に、図4(d)において遮蔽壁の左右の側面に蒸着
されるように絶縁性基板の法線方向から少しずらして左
右方向から上部電極導通用の金属を蒸着することが有効
である。
便な方法で発光ディスプレイのEL発光帯域を形成する
事ができる。
の構成の1例を示す模式図である。
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
Claims (6)
- 【請求項1】少なくともEL(エレクトロルミネッセン
ス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している2組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ1本1本の電極が交差した部
分が2次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のEL発光帯域を有する2
つ以上の2次画素から構成される発光ディスプレイにお
いて、各2次画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設け、か
つ、各画素に含まれている2次画素の1つ以上が、EL
発光帯域に発光ドーパント材料を含むことを特徴とする
発光ディスプレイ。 - 【請求項2】少なくともEL(エレクトロルミネッセン
ス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している2組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ1本1本の電極が交差した部
分が2次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のEL発光帯域を有する3
つの2次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各
画素に含まれている2次画素の1つ以上が、EL発光帯
域に発光ドーパント材料を含むことを特徴とする発光デ
ィスプレイ。 - 【請求項3】少なくともEL(エレクトロルミネッセン
ス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している2組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ1本1本の電極が交差した部
分が2次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のEL発光帯域を有する3
つの2次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各
画素内の1つの2次画素と他の2つの2次画素との境界
に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれている2次画素
の1つ以上が、EL発光帯域に発光ドーパント材料を含
むことを特徴とする発光ディスプレイ。 - 【請求項4】少なくともEL(エレクトロルミネッセン
ス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している2組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ1本1本の電極が交差した部
分が2次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のEL発光帯域を有する2
つ以上の2次画素から構成される発光ディスプレイにお
いて、各2次画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設ける工
程と、かつ、ホスト材料と1種類以上の発光ドーパント
材料をそれぞれ別の、互いに位置の離れた蒸発源から同
時に蒸発させてEL発光帯域を形成する工程とを含むこ
とを特徴とする発光ディスプレイの製造方法。 - 【請求項5】少なくともEL(エレクトロルミネッセン
ス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している2組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ1本1本の電極が交差した部
分が2次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のEL発光帯域を有する3
つの2次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設ける工程と、
かつ、ホスト材料と1種類以上の発光ドーパント材料を
それぞれ別の、互いに位置の離れた蒸発源から同時に蒸
発させてEL発光帯域を形成する工程とを含むことを特
徴とする発光ディスプレイの製造方法。 - 【請求項6】少なくともEL(エレクトロルミネッセン
ス)発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している2組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ1本1本の電極が交差した部
分が2次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のEL発光帯域を有する3
つの2次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界の一部分と、各画素内の1つの2次画
素と他の2つの2次画素との境界とに遮蔽壁を設ける工
程と、かつ、ホスト材料と1種類以上の発光ドーパント
材料をそれぞれ別の、互いに位置の離れた蒸発源から同
時に蒸発させてEL発光帯域を形成する工程とを含むこ
とを特徴とする発光ディスプレイの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9024955A JP2833605B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 発光ディスプレイの製造方法 |
US09/534,400 US6224448B1 (en) | 1997-02-07 | 2000-03-24 | Luminescent display device and method of forming the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9024955A JP2833605B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 発光ディスプレイの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10223371A true JPH10223371A (ja) | 1998-08-21 |
JP2833605B2 JP2833605B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=12152421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9024955A Expired - Lifetime JP2833605B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 発光ディスプレイの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6224448B1 (ja) |
JP (1) | JP2833605B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1003221A2 (en) * | 1998-11-18 | 2000-05-24 | Eastman Kodak Company | Organic light-emitting color display |
WO2001080319A3 (en) * | 2000-04-14 | 2002-04-04 | Emagin Corp | Improved method of fabrication of color changing medium layers in organic light emitting devices resulting in improved light extraction |
EP1768184A2 (en) * | 2001-06-21 | 2007-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Organic light emitting full color display panel |
KR100796620B1 (ko) | 2007-01-10 | 2008-01-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광표시장치 및 그의 제조 방법 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1026659A3 (en) * | 1999-02-01 | 2002-01-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Character display apparatus, character display method, and recording medium |
US6897164B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Aperture masks for circuit fabrication |
US20030151118A1 (en) * | 2002-02-14 | 2003-08-14 | 3M Innovative Properties Company | Aperture masks for circuit fabrication |
US6821348B2 (en) * | 2002-02-14 | 2004-11-23 | 3M Innovative Properties Company | In-line deposition processes for circuit fabrication |
US6667215B2 (en) * | 2002-05-02 | 2003-12-23 | 3M Innovative Properties | Method of making transistors |
TWI303499B (en) * | 2006-05-30 | 2008-11-21 | Au Optronics Corp | Full-color organic electroluminescence panel and method of fabricating the same |
KR100994118B1 (ko) * | 2009-01-13 | 2010-11-15 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 소자 및 그 제조 방법 |
CN108493223B (zh) * | 2018-04-20 | 2021-08-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、显示装置及其防窥方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5294869A (en) | 1991-12-30 | 1994-03-15 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent multicolor image display device |
-
1997
- 1997-02-07 JP JP9024955A patent/JP2833605B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-24 US US09/534,400 patent/US6224448B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1003221A2 (en) * | 1998-11-18 | 2000-05-24 | Eastman Kodak Company | Organic light-emitting color display |
EP1003221A3 (en) * | 1998-11-18 | 2004-04-14 | Eastman Kodak Company | Organic light-emitting color display |
WO2001080319A3 (en) * | 2000-04-14 | 2002-04-04 | Emagin Corp | Improved method of fabrication of color changing medium layers in organic light emitting devices resulting in improved light extraction |
EP1768184A2 (en) * | 2001-06-21 | 2007-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Organic light emitting full color display panel |
EP1768184A3 (en) * | 2001-06-21 | 2008-04-30 | 3M Innovative Properties Company | Organic light emitting full color display panel |
KR100796620B1 (ko) | 2007-01-10 | 2008-01-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광표시장치 및 그의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2833605B2 (ja) | 1998-12-09 |
US6224448B1 (en) | 2001-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2018157421A1 (zh) | Oled显示面板及其制备方法、显示装置 | |
US6656519B2 (en) | Multicolor organic electroluminescent panel and process for production thereof | |
JP3698405B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス表示パネル及びその製造方法 | |
US8026666B2 (en) | Organic EL element array with improved aperture ratio | |
JP2661804B2 (ja) | 白色有機el素子 | |
WO2018232806A1 (zh) | Oled显示面板及其制备方法、显示装置 | |
JP2833605B2 (ja) | 発光ディスプレイの製造方法 | |
JP3994482B2 (ja) | マルチカラー有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
JP3143362B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JPH11224778A (ja) | エレクトロルミネッセンス光源 | |
JP2000012227A (ja) | 有機電界発光素子 | |
JP2003123971A (ja) | 有機電界発光素子およびその製造方法 | |
JP3143350B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JPH09306668A (ja) | El素子とその製造方法 | |
JP2000208255A (ja) | 有機エレクトロルミネセント表示装置及びその製造方法 | |
JP2000012226A (ja) | 有機電界発光素子 | |
JP2000012225A (ja) | 有機電界発光素子 | |
JP2000012228A (ja) | 有機電界発光素子 | |
US20040164673A1 (en) | Organic electro luminescence display panel and method for manufacturing the same | |
JP3722883B2 (ja) | 多色発光エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP4857368B2 (ja) | 有機el素子アレイ | |
JP2000100557A (ja) | 電場発光ディスプレイパネル及びその製造方法 | |
KR0164456B1 (ko) | 청색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법 | |
JP2002203676A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 | |
JP2002367776A (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980901 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081002 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101002 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111002 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 15 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 15 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |