JPH10221273A

JPH10221273A - 導光部材、光検出装置、欠陥検査装置

Info

Publication number: JPH10221273A
Application number: JP9026377A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Morikawa; 雅弘森川; Kazumi Furuta; 和三古田
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1997-02-10
Filing date: 1997-02-10
Publication date: 1998-08-21
Also published as: US5953445A

Abstract

(57)【要約】【課題】検査光を被照射物に照射し、その正透過光
（又は正反射光）と、拡散透過光（又は拡散反射光）と
を検出することにより、被照射物の欠陥を検査する欠陥
検査装置に有用な光検出装置、及び導光部材を提供する
ことを目的とする。【解決手段】第１の側面と、前記第１の側面と対向す
る第２の側面を有し、前記第１の側面の曲率が前記第２
の側面の曲率よりも小さい柱状光伝達部材を有し、前記
第１の側面から入射する光の一部を、前記柱状光伝達部
材の略柱軸方向へ導く導光機能を備えることを特徴とす
る導光部材。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、導光部材、光検出
装置、欠陥検査装置に関するものである。詳しくは、正
反射光と拡散反射光とを分光する分光機能、又は正透過
光と拡散透過光とを分光する分光機能と、導光機能の両
機能を１つの部材で得ることのできる導光部材、及び当
該導光部材を利用した光検出装置、及び欠陥検査装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、フライングスポット方式の光学系
で、各走査位置での光量を検出する場合、特公昭５４−
３９７５３号、実公平６−４３７６２号などに記載され
ているように円柱状の光伝達用光伝達部材の円柱軸方向
に拡散反射帯を形成し、その円柱軸方向に沿って入射す
る光をその一端又は両端に設けた光検出器へと導光する
導光部材、及び当該導光部材を使用する光検出装置が知
られている。

【０００３】また、フライングスポット方式の光学系
で、検査対象（被照射物）上に光を走査し、当該光が検
査対象で反射した反射光や、当該光が検査対象を透過し
た透過光を利用して、検査対象の表面検査を行う場合、
正透過光（又は正反射光）と、拡散透過光（又は拡散反
射光）とを分離して、それぞれの光量変化を検出するこ
とで、欠陥検査に必要な情報をより正確に詳しく得るこ
とができることが知られている。

【０００４】例えば、特開昭５９−２２０６３６号に記
載されているように、スリットミラーを用いて、欠陥検
査を行う例が知られている。図１にスリットミラー方式
を用いて検出する場合の概略図を示す。尚、図１に示す
のは透過光を検出する場合であるが、反射光を用いるこ
とも可能である。

【０００５】光源から照射された検査光１は、透明シー
ト状の検査対象２を透過し、正透過光４及び、拡散透過
光３の２種の透過光となる。正透過光４及び、拡散透過
光３は受光部筐体１００内に入射し、受光部筐体１００
内のスリットミラー５で、正透過光４はスリットミラー
５のスリットを通過し、拡散透過光３の一部はスリット
ミラー５の鏡で反射されることによって、正透過光４と
拡散透過光３とがそれぞれ別方向に分けられる。そし
て、正透過光４は正透過光検出器１１で、拡散透過光３
の一部は拡散透過光検出器８でそれぞれ検出される。そ
して、正透過光検出器１１、及び拡散透過光検出器８で
検出されるそれぞれの光量変化に基づき欠陥検査が行わ
れる。尚、それぞれの光検出器は、光拡散板６、９と複
数のフォトマルチプライヤー（ＰＭＴ）（図示せず）を
有しており、それぞれの光検出器に到達した光は光拡散
板６、９で拡散され、均一化された後に、複数のＰＭＴ
で検出される。

【０００６】また、円柱状の光伝達用光伝達部材の円柱
軸方向に拡散反射帯を形成し、その円柱軸方向に沿って
入射する光をその一端又は両端に設けた光検出器へと導
光する導光部材を３つ用いて、正透過光（又は正反射
光）及び、拡散透過光（又は拡散反射光）の両光を分け
て、両光の光量変化を検出する例も知られている。

【０００７】その場合、２つの導光部材を拡散透過光
（又は拡散反射光）の受光及び導光に用い、１つの導光
部材を正透過光（又は正反射光）の受光及び導光に用い
ている。また、拡散透過光（又は拡散反射光）用の導光
部材の手前には、拡散光を集光するための柱状レンズが
設けられている。

【０００８】図２に３つの導光部材を用いて検出する場
合の概略図を示す。図２に示すのは反射光を検出する場
合であるが、透過光を用いることも可能である。

【０００９】３つの導光部材である、正反射光用導光部
材１６、及び拡散反射光用導光部材１９Ａ、１９Ｂは図
１に示すように配置される。

【００１０】検査光１３は、シート状の検査対象１２で
反射され、正反射光２１及び、拡散反射光２２、２３の
２種の反射光となる。正反射光２１は、正反射光用導光
部材１６に受光され、拡散反射光２３は、柱状のレンズ
である拡散反射光用集光レンズ２０Ａ、２０Ｂで集光さ
れた後、拡散反射光用導光部材１９Ａ、１９Ｂに受光さ
れる。

【００１１】正反射光用導光部材１６、及び拡散反射光
用導光部材１９Ａ、１９Ｂは、光伝達用光伝達部材１
４、１８Ａ、１８Ｂに酸化チタンの粒子などを塗布し、
光散乱帯１５、１７Ａ、１７Ｂを形成することにより作
られる。

【００１２】正反射光用導光部材１６、及び拡散反射光
用導光部材１９Ａ、１９Ｂのそれぞれで受光された光
は、光散乱帯１５、１７Ａ、１７Ｂで散乱され、光伝達
用光伝達部材１４、１８Ａ、１８Ｂ中を円柱軸方向に伝
達され、正反射光用導光部材１６、及び拡散反射光用導
光部材１９Ａ、１９Ｂそれぞれの端面に配置されている
光検出手段（図示せず）に導かれ、それぞれの光は当該
光検出装置で検出されるそれぞれの光量変化に基づき欠
陥検査が行われる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、正透過
光（又は正反射光）及び、拡散透過光（又は拡散反射
光）の両光を分けて、両光の光量変化を、スリットミラ
ー方式を用いて検出する場合、以下の問題がある。

【００１４】スリットミラー方式を用いる場合、前述し
たように光を正透過光（又は正反射光）と、拡散透過光
（又は拡散反射光）とを２方向に分けるため、その受光
部筐体が大きなものとなり、広い設置スペースを必要と
するという問題、及び、ＰＭＴ等の光検出手段を数多く
必要とするため、高価なものとなるという問題がある。

【００１５】また、スリットミラー方式では、拡散透過
光（又は拡散反射光）のロスが多く（受光部筐体１００
内に入射できない光や、スリットミラー５で反射した
後、光拡散板６の外側を通過してしまう光等）、拡散透
過光（又は拡散反射光）の一部のみが受光され、光検出
に用いられている。したがって、検査対象が写真感光材
料のような感光性の物質である場合には、カブリを生じ
させないようにするために検査に用いる光の光量が微小
であり、結果として、微小な光量の拡散透過光（又は拡
散反射光）の一部の光量変化を検出しなければならず、
非常に困難であり、正確性にも欠ける。

【００１６】一方、３つの円柱状の導光部材を用いて、
正透過光（又は正反射光）及び、拡散透過光（又は拡散
反射光）の両光を分けて、両光の光量変化を検出する場
合は、以下の問題がある。

【００１７】まず、導光部材を３つ用いるため、光検出
装置として大きなものとなり、広い設置スペースを必要
とするという問題がある。

【００１８】また、検査対象から離れれば離れるほど、
拡散光の広がりが大きなものとなってしまうため、なる
べく多くの拡散光を円柱状の導光部材で受光するために
は、拡散透過光（又は拡散反射光）用の導光部材の設置
位置が制限され、結果として光検出装置の設置位置が制
限されるという問題がある。

【００１９】また、フィルム状物質等の検査対象上に光
を走査し、当該光が検査対象上で反射した反射光や、当
該光が検査対象上を透過した透過光を利用して、検査対
象の表面の欠陥を検査する場合、拡散光の拡散性は小さ
い場合が多い。特に、透明なフィルム状物質などの欠陥
検査を、フィルム上に走査した光が、フィルムを透過し
た透過光を利用して、検査対象の表面の欠陥を検査する
場合、拡散透過光の拡散性は小さい場合が多い。

【００２０】また、正透過光（又は正反射光）の近くの
拡散光（拡がり角が２〜５°近辺）が、欠陥検査に有用
な情報を有している場合が多いことを本発明者は見い出
した。

【００２１】しかしながら、図２に示すように、３つの
円柱状の導光部材を用いる場合、拡散性が小さいため、
拡がりが小さい拡散光、及び、正透過光（又は正反射
光）の近辺の拡散光（例えば、図２の２２、もしくは、
より正透過光に近い拡散光（図示せず））を検出できる
ように３つの円柱状の導光部材を配置することは、物理
的に困難であり、拡がりが小さい拡散光、及び、正透過
光（又は正反射光）の近くの拡散光を得るために、３つ
の円柱状の導光部材の設置位置を厳密に設定する必要が
あった。

【００２２】本発明は、以上の状況を鑑みて成されたも
のである。すなわち、本発明は、特に検査光を被照射物
に照射し、その正透過光（又は正反射光）と、拡散透過
光（又は拡散反射光）とを検出することにより、被照射
物の欠陥を検査する欠陥検査装置に有用な光検出装置、
及び導光部材を提供することを目的とする。

【００２３】また、本発明は、被照射物からの正透過光
（又は正反射光）と、被照射物からの拡散透過光（又は
拡散反射光）とを分離して、それぞれの光の光量変化を
良好に検出し、装置の小型化及びコストダウンを可能と
することを目的とする。

【００２４】また、本発明は、多くの拡散透過光（又は
拡散反射光）を受光し、検出することを可能とすること
により、拡散透過光（又は拡散反射光）のロスを減らす
ことを目的とする。またそれにより、写真感光材料の欠
陥検査の際の微小光量であっても、光検出による写真感
光材料の正確な欠陥検査を可能にすることを目的とす
る。

【００２５】また、本発明は、厳密な導光部材等の受光
部の位置決めをしなくても、拡散性が小さい拡散透過光
（又は拡散反射光）、及び、正透過光（又は正反射光）
近辺の拡散透過光（又は拡散反射光）を得ることがで
き、より正確な光検出及び欠陥検査を可能にすることを
目的とするものである。

【００２６】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は以下に示
す特許請求の範囲の各請求項により達成される。

【００２７】〔請求項１〕『第１の側面と、前記第１の
側面と対向する第２の側面を有し、前記第１の側面の曲
率が前記第２の側面の曲率よりも小さい柱状光伝達部材
を有し、前記第１の側面から入射する光の一部を、前記
柱状光伝達部材の略柱軸方向へ導く導光機能を備えるこ
とを特徴とする導光部材。』本請求項に係る発明により、この柱状光伝達部材１つだ
けで、被照射物からの正反射光（正透過光）と、拡散反
射光（拡散透過光）とを分離して、正反射光（正透過
光）を柱軸方向に導き、且つ拡散反射光（拡散透過光）
を、曲率の大きい第２の側面のレンズ効果により、集光
して出射することが可能となる。

【００２８】したがって、光検出装置、及び欠陥検査装
置の小型化を図ることが可能となり、拡散反射光（拡散
透過光）のロスを減らすことも可能となる。

【００２９】また、曲率の小さい第１の側面に光を入射
させることで、入射光が第１の側面で反射されてしまう
量を減らすことができ、正反射光（正透過光）と、拡散
反射光（拡散透過光）の両光のロスを減らすことが可能
となる。

【００３０】〔請求項２〕『前記第１の側面の曲率は、
前記柱状光伝達部材の柱軸方向と垂直な断面と同じ面積
の円の円周の曲率よりも小さいことを特徴とする請求項
１に記載の導光部材。』本請求項に係る発明により、入射光が第１の側面で反射
されてしまう量をより減らすことができ、正反射光（正
透過光）と、拡散反射光（拡散透過光）の両光のロス
を、より減らすことが可能となる。

【００３１】〔請求項３〕『前記第１の側面は、平面で
あることを特徴とする請求項１又は２に記載の導光部
材。』本請求項に係る発明により、入射光が第１の側面で反射
されてしまう量をさらに減らすことができ、正反射光
（正透過光）と、拡散反射光（拡散透過光）の両光のロ
スを、さらに減らすことが可能となる。また、第１の側
面の成形も容易である。

【００３２】〔請求項４〕『前記柱状光伝達部材は、円
柱状光伝達部材の１部を、除去面が前記柱状光伝達部材
の柱軸に略平行な平面となるように除去した形状である
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の
導光部材。』本請求項に係る発明により、光伝達部材が円柱の一部を
除去した形状であるので、成形が容易であり、導光部材
を容易に製造できる。

【００３３】〔請求項５〕『前記柱状光伝達部材は、押
し出し成形後、真円加工を施すことにより形成された円
柱状光伝達部材の一部を、除去面が前記柱状光伝達部材
の柱軸に略平行な平面となるように除去した後、前記除
去面を研磨することによって得られるものであることを
特徴とする請求項４に記載の導光部材。』本請求項に係る発明により、大きさに制約を受けずに導
光部材の成形を行うことができ、しかも型による成形や
平板からの削り出しよりも高精度で安価に導光部材を製
造することが可能となる。

【００３４】〔請求項６〕『前記柱状光伝達部材の柱軸
方向にわたり、前記第２の側面に所定幅を有する光散乱
帯を設けることによって、前記略柱軸方向への導光機能
を得ることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に
記載の導光部材。』本請求項に係る発明により、柱軸方向への導光を効率的
に行うことが可能となる。また、光散乱帯の幅を変化さ
せることで、様々な条件で光を分離することが可能とな
る。

【００３５】それにより、同一光軸上に正反射光（正透
過光）用の導光部材と、拡散反射光（拡散透過光）を受
光する受光部材を設置することが可能となるので、正反
射光（正透過光）用の導光部材と、拡散反射光（拡散透
過光）用の導光部材等の厳密な位置決めをせずに、両光
の光量変化の検出を行う光検出器を得ることが可能とな
る。

【００３６】〔請求項７〕『前記柱状光伝達部材の柱軸
方向の端面の一方に鏡面が形成されることを特徴とする
請求項１〜６のいずれか１項に記載の導光部材。』本請求項に係る発明により、導光部材の端面から光が導
光部材の外に漏れることを防ぎ、光のロスを減らすこと
ができる。

【００３７】〔請求項８〕『請求項１〜７のいずれか１
項に記載の第１の導光部材と、側面から入射する光を略
柱軸方向へ導く導光機能を備える柱状光伝達部材を有す
る第２の導光部材と、前記第１の導光部材により前記第
１の導光部材の端面に導光される光を検出する第１の光
検出手段と、前記第２の導光部材により前記第２の導光
部材の端面に導光される光を検出する第２の光検出手段
とを有することを特徴とする光検出装置。』〔請求項９〕『前記第１の導光部材の前記第１の側面
を、光を照射した被照射物で反射した反射光又は被照射
物を透過した透過光が入射する光入射面とし、前記光入
射面から前記第１の導光部材に入射した光の一部は、前
記第１の導光部材の柱軸方向に導かれ、前記第１の導光
部材の前記第２の側面を、前記第１の導光部材に入射し
た光の一部を出射する光出射面とし、前記第１の導光部
材の前記光出射面から出射される光を受けることができ
る位置に、前記第１の導光部材と略平行に前記第２の導
光部材を配置することを特徴とする請求項８に記載の光
検出装置。』〔請求項１０〕『請求項６又は７に記載の第１の導光部
材と、側面から入射する光を略柱軸方向へ導く導光機能
を備える柱状光伝達部材を有する第２の導光部材と、前
記第１の導光部材により前記第１の導光部材の端面に導
光される光を検出する第１の光検出手段と、前記第２の
導光部材により前記第２の導光部材の端面に導光される
光を検出する第２の光検出手段とを有する光検出装置で
あって、前記第１の導光部材の前記第１の側面を、光を
照射した被照射物で反射した反射光又は被照射物を透過
した透過光が入射する光入射面とし、前記第１の導光部
材に入射した光の一部は、前記第１の導光部材の前記光
散乱帯に入射し、前記第１の導光部材の略柱軸方向に導
かれ、前記第１の導光部材の前記第２の側面を、前記第
１の導光部材に入射した光の一部を出射する光出射面と
し、前記第１の導光部材の前記光出射面から出射される
光を、前記第２の導光部材の側面で受けることができる
位置に、前記第１の導光部材と略平行に前記第２の導光
部材を配置し、前記第２の導光部材の側面に入射した光
は、前記第２の導光部材の略柱軸方向へ導かれることを
特徴とする光検出装置。』〔請求項１１〕『光源から被照射物に照射され、前記被
照射物を透過した正透過光が、前記第１の導光部材の前
記光散乱帯に入射し、前記第１の導光部材の柱軸方向に
導かれ、光源から被照射物に照射され、前記被照射物を
透過した拡散透過光が、前記第１の導光部材の光出射面
から出射されるものであるか、又は、光源から被照射物
に照射され、前記被照射物で反射した正反射光が、前記
第１の導光部材の前記光散乱帯に入射し、前記第１の導
光部材の柱軸方向に導かれ、光源から被照射物に照射さ
れ、前記被照射物で反射した拡散反射光が、前記第１の
導光部材の光出射面から出射されるものであることを特
徴とする請求項１０に記載の光検出装置。』〔請求項１２〕『前記光源がレーザー光源であることを
特徴とする請求項１１に記載の光検出装置。』請求項８〜１２に係る発明により、正反射光（正透過
光）と、拡散反射光（拡散透過光）とを分離して、それ
ぞれの光量変化を検出する光検出装置の小型化が可能と
なり、しかも安価で得ることを可能となる。

【００３８】また、拡散透過光（又は拡散反射光）を第
１の導光部材で集光すること、及び拡散透過光（又は拡
散反射光）が通過する部材が少ないことにより、拡散透
過光（又は拡散反射光）のロスを減らすことができ、多
くの拡散透過光（又は拡散反射光）を検出することが可
能となる。またそれにより、写真感光材料の欠陥検査の
ような、微小光量による欠陥検査に用いる場合にも、光
検出による写真感光材料の正確な欠陥検査が可能にな
る。

【００３９】また、同一光軸上に正反射光（正透過光）
用の導光部材と、拡散反射光（拡散透過光）を受光する
受光部材を設置することが可能となり、導光部材の厳密
な位置決めをしなくても、拡散性が小さい拡散透過光
（又は拡散反射光）、及び、正透過光（又は正反射光）
近辺の拡散透過光（又は拡散反射光）を得ることが可能
となり、より正確な光検出及び欠陥検査が可能になる。

【００４０】また、曲率の小さい第１の側面に光を入射
させることで、入射光が第１の側面で反射されてしまう
量を減らすことができ、正反射光（正透過光）と、拡散
反射光（拡散透過光）の両光のロスを減らすことが可能
となる。

【００４１】〔請求項１３〕『前記第１の導光部材と前
記第２の導光部材とを、光を照射した被照射物で反射し
た反射光又は被照射物を透過した透過光の光軸上に配置
したことを特徴とする請求項８〜１２のいずれか１項に
記載の光検出装置。』〔請求項１４〕『前記第１の導光部材と前記第２の導光
部材とを、光を照射した被照射物で反射した正反射光又
は被照射物を透過した正透過光の光軸上に配置したこと
を特徴とする請求項１３に記載の光検出装置。』請求項１３又は１４に係る発明により、導光部材の厳密
な位置決めをしなくても、拡散性が小さい拡散透過光
（又は拡散反射光）、及び、正透過光（又は正反射光）
近辺の拡散透過光（又は拡散反射光）を得ることが可能
となり、より正確な光検出及び欠陥検査が可能になる。

【００４２】又、装置の小型化も可能となる。

【００４３】〔請求項１５〕『前記第１の導光部材の前
記光散乱帯に入射し、前記第１の導光部材の柱軸方向に
導かれる光は、前記第１の導光部材に入射した光のうち
拡がり角が所定角度以内の光であり、前記第１の導光部
材の光出射面から出射される光は、前記第１の導光部材
に入射した光のうち拡がり角が所定角度以上の光であ
り、前記所定角度は５°以下となるように前記第１の導
光部材の前記光散乱帯の所定幅が定められていることを
特徴とする請求項１０〜１４のいずれか１項に記載の光
検出装置。』本請求項に係る発明により、正反射光（正透過光）近辺
の拡散反射光（拡散透過光）と、正反射光（正透過光）
とを分離することが可能となり、欠陥検査に有用な情報
を有することが多い正反射光（正透過光）近辺の拡散反
射光（拡散透過光）を欠陥検査に用いることが可能とな
る。

【００４４】また、拡散透過光（又は拡散反射光）の拡
散性が小さい場合も欠陥検査を行うことが可能となる。

【００４５】また、同一光軸上に正反射光（正透過光）
用の導光部材と、拡散反射光（拡散透過光）を受光する
受光部材を設置することが可能となるので、正反射光
（正透過光）用の導光部材と、拡散反射光（拡散透過
光）用の導光部材等の厳密な位置決めをせずに、両光の
光量変化の検出を行う光検出器を得ることが可能とな
る。〔請求項１６〕『前記第１の導光部材と前記第２の導光
部材とを接して配置したことを特徴とする請求項８〜１
５のいずれか１項に記載の光検出装置。』本請求項に係る発明により、前記第１の導光部材と前記
第２の導光部材の位置決めが容易にできるので、容易に
光検出装置を製造することが可能となる。

【００４６】〔請求項１７〕『前記第２の導光部材の柱
状光伝達部材が、円柱状光伝達部材であることを特徴と
する請求項８〜１６のいずれか１項に記載の光検出装
置。』本請求項に係る発明により、第２の導光部材を容易に製
造することが可能となるため、光検出装置の製造が容易
かつ、安価に行える。

【００４７】〔請求項１８〕『前記第２の導光部材は、
光が入射する側面と対向する側面の柱軸方向にわたり、
所定幅を有する光散乱帯を設けることによって、前記略
柱軸方向への導光機能を得ることを特徴とする請求項８
〜１７のいずれか１項に記載の光検出装置。』〔請求項１９〕『前記第２の導光部材の前記光散乱帯
は、前記柱軸方向に対して直交又は所定角度に、所定の
間隔を隔てて連続的にかつ平行に溝が形成され、溝断面
形状が三角形又は曲面で、前記溝の最深部が柱軸方向か
ら視て略直線状である溝状帯と、この溝状帯に密着した
鏡面部とから構成したことを特徴とする請求項１８に記
載の光検出装置。』請求項１８又は１９に係る発明により、拡散反射光（拡
散透過光）を柱軸方向に導光する際の光のロスを減らす
ことができる。

【００４８】〔請求項２０〕『請求項１〜７のいずれか
１項に記載の導光部材を有することを特徴とする欠陥検
査装置。』〔請求項２１〕『請求項８〜１９のいずれか１項に記載
の光検出装置を有することを特徴とする欠陥検査装
置。』〔請求項２２〕『請求項８〜１９のいずれか１項に記載
の光検出装置と、光学系とを有し、前記光学系は、被照
射物上を所定の方向に走査する光を投光するものであ
り、前記光学系によって、前記被照射物上に走査され、
前記被照射物を透過した正透過光を、前記第１の導光部
材において略柱軸方向へ導光し、前記第１の光検出手段
で検出し、そして、前記光学系によって、前記被照射物
上に走査され、前記被照射物を透過した拡散透過光を、
前記第２の導光部材において略柱軸方向へ導光し、前記
第２の光検出手段で検出するか、又は、前記光学系によ
って、前記被照射物上に走査され、前記被照射物で反射
した正反射光を、前記第１の導光部材において略柱軸方
向へ導光し、前記第１の光検出手段で検出し、そして、
前記光学系によって、前記被照射物上に走査され、前記
被照射物で反射した拡散反射光を、前記第２の導光部材
において略柱軸方向へ導光し、前記第２の光検出手段で
検出し、前記第１の光検出手段で検出された検出結果
と、前記第２の光検出手段で検出された検出結果とを比
較し、被照射物上の欠陥の検出を行うものであることを
特徴とする欠陥検査装置。』請求項２０〜２２に係る発明により、正反射光（正透過
光）と、拡散反射光（拡散透過光）とを分離して、それ
ぞれの光量変化を検出する欠陥検査装置の小型化が可能
となり、しかも安価で得ることを可能となる。

【００４９】また、拡散透過光（又は拡散反射光）を第
１の導光部材で集光すること、及び拡散透過光（又は拡
散反射光）が通過する部材が少ないことにより、拡散透
過光（又は拡散反射光）のロスを減らすことができ、多
くの拡散透過光（又は拡散反射光）を検出することが可
能となる。またそれにより、写真感光材料の欠陥検査の
ような、微小光量による欠陥検査であっても、光検出に
よる写真感光材料の正確な欠陥検査が可能になる。

【００５０】また、同一光軸上に正反射光（正透過光）
用の導光部材と、拡散反射光（拡散透過光）を受光する
受光部材を設置することが可能となり、導光部材の厳密
な位置決めをしなくても、拡散性が小さい拡散透過光
（又は拡散反射光）、及び、正透過光（又は正反射光）
近辺の拡散透過光（又は拡散反射光）を得ることが可能
となり、より正確な光検出及び欠陥検査が可能になる。

【００５１】また、曲率の小さい第１の側面に光を入射
させることで、入射光が第１の側面で反射されてしまう
量を減らすことができ、正反射光（正透過光）と、拡散
反射光（拡散透過光）の両光のロスを減らすことが可能
となる。

【００５２】〔請求項２３〕『前記被照射物が、写真感
光材料であることを特徴とする請求項２０〜２２のいず
れか１項に記載の欠陥検査装置。』被照射物が、写真感光材料である場合は、かぶりを防止
するために、照射光量は微小でなければならないが、微
小光量であっても、正反射光（正透過光）と、拡散反射
光（拡散透過光）を、効率よく検出できるため、正確な
欠陥検出を行うことが可能である。

【００５３】〔用語の説明〕本発明でいう、「側面」と
は、柱状光伝達部材の柱軸と平行な面のことをいう。

【００５４】本発明でいう、「柱状光伝達部材」は、光
を伝達する柱形状の部材である。

【００５５】本発明でいう、「拡がり角度が５°以内」
とは、被照射物の導光部材側の表面において、光が透過
した透過ポイント、又は光が反射した反射ポイントを中
心とし、正反射光や正透過光を軸としてその軸から５°
以内の範囲の光、つまり計１０°以内の範囲の光をい
う。「拡がり角度が５°以内」を図８において、範囲３
００として示す。

【００５６】

【発明の実施の形態】以下に本発明に関する実施の形態
の例を示すが、本発明はこれらに限定されない。また、
以下の実施形態は、本発明の好ましい例を示すもので、
本発明の用語の意義や技術的範囲を限定するものではな
い。

【００５７】まず、図３を用いて本発明の導光部材、及
びその製造方法について説明する。図３は、本発明に係
る導光部材の製造工程を示す説明図である。

【００５８】導光部材２７の製造は、まず押し出し成形
により、樹脂を押し出して所定長さの円柱２４を成形す
る（ステップａ）。円柱２４の成形の後に、円柱表面２
４Ａの筋取り加工を行う（ステップｂ）。円柱２４の押
し出し成形の後、口金等の関係で、加工上の筋目が残る
ので、センタレス機や旋盤等で円柱２４の軸を中心とし
た回転研削や、バフ研磨等を行い、円柱表面２４Ａの筋
取り加工を行うことで、容易にかつ高精度に真円加工を
実施することができる。次いで、円柱２４の一部を除去
面が柱軸に平行な平面となるように、軸方向に除去し
（ステップｃ）、さらに除去した面２４Ｂをサンドペー
パー等により研磨する（ステップｄ）。サンドペーパー
による研磨は、荒いものから細かいものへと数段階に分
けて（例えば、＃４００、＃８００、＃１０００、＃１
２００の順等）行うことが好ましい。この研磨した平面
が、第１の側面となる。

【００５９】尚、円柱は、透明のアクリル樹脂製である
ことが、安価である点、加工が行いやすい点、光屈折率
が高い点等から好ましい。

【００６０】除去した面２４Ｂを研磨した後に、必要に
応じて所定長に切断して光伝達部材２５を得る（ステッ
プｅ）。尚、切断工程を行わずに、予め所定長になるよ
うに押し出し成形するようにしてもよい。

【００６１】得られた光伝達部材２５の除去面２４Ｂに
対向した曲表面に、軸方向に一定幅に光散乱帯２６を形
成する（ステップｆ）ことにより、本発明に係る導光部
材２７を得ることができる。この曲表面が、第２の側面
である。

【００６２】尚、光散乱帯２６は、平均粒径０．２μｍ
〜０．３μｍの酸化チタンを主成分とする粒子とシクロ
ヘキサノンやメチルエチルケトン等を混合して作成した
塗料を、光伝達部材２５外周に曲率を合わせたブレード
によりアプリケータ塗布することによって、ウェット膜
厚２０μｍ〜２００μｍの範囲に均一塗布乾燥させて形
成することが好ましい。

【００６３】尚、光散乱帯２６をブレードによりアプリ
ケータ塗布して形成する際、光散乱体の幅の精度を向上
させるために、図９や図１０に示す方法で、光散乱帯２
６を形成することが好ましい。

【００６４】図９は、フライス加工によって柱軸方向に
溝を形成して、その溝に光散乱帯を塗布する方法を示し
た図である。（ステップｅ）において得られた光伝達部
材２５に、エンドミル等によってフライス加工を行い、
柱軸方向に一定の幅で、一定の深さの溝２５１を形成さ
せる。（ステップｆ１）この溝の幅が、光散乱体の幅と
なる。エンドミル等の装置によって溝２５１を形成する
ので、溝２５１の幅や深さを非常に高い精度で調整する
ことができる。溝２５１の深さは５０μｍ〜５００μｍ
が好ましい。

【００６５】次に、（ステップｆ１）で形成した溝２５
１以外の光伝達部材２５の側面をマスキングテープ２５
２で覆う。（ステップｆ２）マスキングテープ２５２が
伸びるなどして、溝のほうに多少はみ出しても、溝の深
さで、そのはみ出し分をカバーすることが可能であり、
高精度を保つことができる。マスキングテープ２５２を
貼付して、溝以外の側面に塗料が付かないようにした
後、溝２５１に光散乱帯２６をブレードによりアプリケ
ータ塗布して形成する。（ステップｆ３）最後にマスキ
ングテープを剥がして、本発明に係る導光部材２７を得
る。（ステップｆ）この方法で作成された、導光部材２
７の光散乱帯２６のエッジ部のきれがよく、より精度よ
く、正反射光（正透過光）と、拡散反射光（拡散透過
光）とを分離することができる。

【００６６】次に、図１０は、予め光伝達部材２５の側
面全体に貼付しておいたマスキングテープの一部分を一
定の幅で柱軸方向に切り取って、切り取った部分に光散
乱帯２６を塗布する方法を示した図である。

【００６７】（ステップｅ）において得られた光伝達部
材２５の側面全体を、マスキングテープ２５３で覆う。
（ステップｆ４）そして、ハイトゲージに刃を設けた道
具等で、柱軸方向に一定の幅で、マスキングテープ２５
３の一部分２５４を切り取る。（ステップｆ５）そし
て、マスキングテープを切り取った部分２５４に、光散
乱帯２６をブレードによりアプリケータ塗布して形成す
る。（ステップｆ６）最後にマスキングテープを剥がし
て、本発明に係る導光部材２７を得る。（ステップｆ）光散乱帯２６の幅の好ましい長さは、導光部材の大き
さ、検査対象から導光部材までの距離によって変化する
ものであり、光散乱帯２６の幅を長さで規定することは
難しい。検査対象に対して、導光部材を設置した位置に
おいて、検査対象からの反射光、又は透過光のうち、拡
がり角が所定角度以内の光が光散乱帯２６に入射し、拡
がり角が所定角度以上の光が光散乱帯２６に入射しない
ように、光散乱帯２６の幅を決めることが好ましい。所
定角度は５°以下であることが好ましく、より好ましく
は３°以下である。

【００６８】以上のようにして、本発明に係る導光部材
が製造される。

【００６９】次に、本発明に係る導光部材を用いた光検
出器、及び当該光検出器を用いた欠陥検査装置について
図４を用いて説明する。図４は、本発明に係る欠陥検査
装置の全体概略斜視図である。

【００７０】この欠陥検査装置４２は、ポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）フィルムに、乳剤を塗布して感
光性写真フィルムを作成する前段階の、下引層を塗布し
たものを検査対象３３（被照射物）として、該検査対象
３３の塗布欠陥を検出することを目的としたものであ
る。

【００７１】本欠陥検査装置４２は、検査対象３３を搬
送する搬送ローラー３５と、検査対象３３に対してレー
ザー光である検査光の走査を行うフライングスポット方
式の光学系３６と、正反射光及び、拡散反射光の両光を
分けて、両光の各々の光量変化を検出する光検出装置５
０と有している。当該光検出装置５０は、照射された検
査光が検査対象３３で反射した反射光のうち、正反射光
４９を検出する正反射光検出手段４３へ正反射光４９を
導き、且つ、拡散反射光４８を集光して第２の導光部材
である拡散反射光用導光部材２９へと出射する第１の導
光部材である正反射光用導光部材２７と、正反射光用導
光部材２７によって導かれた正反射光４９の光量変化を
検出する正反射光検出手段４３と、照射された検査光が
検査対象３３で反射した反射光のうち、拡散反射光４８
を検出する拡散反射光検出手段４４へ拡散反射光４８を
導く拡散反射光用導光部材２９と、拡散反射光用導光部
材２９によって導かれた拡散反射光４８を検出する拡散
反射光検出手段４４とを有している。

【００７２】検査対象３３は、搬送ローラー３５を介し
て所定の速度で搬送され、この検査対象３３に対して検
査光がフライングスポット方式の光学系３６により検査
対象３３の幅方向に走査される。

【００７３】搬送ローラー３５にはロータリーエンコー
ダー３４が設けられており、これから搬送パルスが出力
される。そしてこの搬送パルスを計数することによっ
て、検査対象３３の搬送速度を検知し、搬送ローラー３
５にフィードバックして搬送速度を調整するようにして
もよい。

【００７４】フライングスポット方式の光学系３６は、
レーザー光源３７、ＮＤフィルタ３８、集光レンズ群３
９、ポリゴンミラー４０、Ｆθレンズ４１、及びシャッ
ター５１とから構成され、以下のように検査対象に検査
光を投光、走査する。レーザー光源３７としては、例え
ば、Ｈｅ−Ｎｅレーザー等を用いることができる。ま
た、検査対象が感光性の物質である場合は、検査対象が
かぶらない波長及び強度の光を光源とする必要がある。

【００７５】レーザー光源３７からの検査光は、ＮＤフ
ィルタ３８で減光され、回転するポリゴンミラー４０で
反射され、Ｆθレンズ４１を介して検査対象３３の表面
に幅方向に走査される。非走査時はシャッター５１によ
って遮光される。

【００７６】フライングスポット方式の光学系３６によ
り検査対象３３の幅方向に走査された検査光は、検査対
象３３上で反射し、正反射光と拡散反射光となり、光検
出器５０で各々の反射光の光量変化が検出される。光検
出器５０についての説明を以下にする。検査対象３３に
対向して、光検出器５０の正反射光用導光部材２７と、
拡散反射光用導光部材２９とが配置されている。

【００７７】フライングスポット方式の光学系３６によ
り検査対象３３の幅方向に走査された検査光の反射光を
受光できる位置に、検査対象３３と略平行に、且つ軸方
向を走査光の走査方向に向けて、正反射光用導光部材２
７が配置される。また、正反射光用導光部材２７と略平
行に、且つ、正反射光の光軸上であって、検査対象３３
から見て、正反射光用導光部材２７の向こう側に拡散反
射光用導光部材２９が配置される。

【００７８】正反射光用導光部材２７は、図３で製造方
法を説明した、円柱の一部を軸方向に除去した形状であ
る光伝達部材２５の曲表面に光散乱帯２６を軸方向に塗
布して設けた導光部材２７である。そして、正反射光用
導光部材２７は、その平面部である第１の側面を受光面
として反射光が来る方向に向け、第２の側面に設けられ
ている光散乱帯２６が正反射光の光軸上になるように配
置されている。光散乱帯２６の幅は、正反射光用導光部
材２７の設置位置において、拡がり角が５°以内の反射
光のみを受光するように決められている。また、正反射
光用導光部材２７の端面の一方には鏡面２８が正反射光
用導光部材２７内部に向けて設けられており、正反射光
用導光部材２７内部に入射した光を該端面から外部に漏
らさないようにしている。また、光散乱帯２６の幅は、
正反射光用導光部材２７の設置位置において、拡がり角
が３°以内の反射光のみを受光するように決められてい
ることが好ましい。

【００７９】尚、正反射光用導光部材２７において、第
１の側面は平面であることが好ましいが、曲面でもよ
い。

【００８０】また、拡散反射光用導光部材２９は、透明
のアクリル樹脂製の円柱状の光伝達部材３１に柱軸方向
に対して略直角方向に複数のＶ字状溝を設け、該Ｖ字状
溝の表面に光反射面として鏡面３０を拡散反射光用導光
部材２９内部に向けて設けたものである。また、拡散反
射光用導光部材２９の端面の一方には鏡面３２が拡散反
射光用導光部材２９内部に向けて設けられており、拡散
反射光用導光部材２９内部に入射した光を該端面から外
部に漏らさないようにしている。尚、複数のＶ字状溝の
最深部を柱軸方向から視ると略直線状になっている。つ
まり、複数のＶ字状溝の各々の深さは一様である。

【００８１】尚、拡散反射光用導光部材２９として、円
柱状光伝達部材３１に酸化チタンの粒子を主成分とする
塗料を塗布することにより光散乱帯を柱軸方向に所定の
幅で設けたものを用いることもできるが、本実施形態に
示すように複数のＶ字状溝に鏡面を設けたもののほうが
好ましい。

【００８２】ここで、２種類の反射光である、正反射光
と拡散反射光とが本発明に係る導光部材によってどのよ
うに分光されるかについて、図５を用いて説明する。図
５は、光検出装置５０の正反射光用導光部材２７と、拡
散反射光用導光部材２９の横部断面図によって、本発明
の導光部材、及び光検出手段による正反射光と拡散反射
光の分光の仕組みを説明する説明図である。

【００８３】フライングスポット方式の光学系３６によ
り検査対象３３の幅方向に走査された検査光（図示せ
ず）は、検査対象３３上で反射し、正反射光４９及び拡
散反射光４８となる。正反射光４９と拡散反射光４８と
は共に、正反射光用導光部材２７の受光面である平面
（第１の側面９から正反射光用導光部材２７に入射す
る。

【００８４】正反射光用導光部材２７に入射した正反射
光４９は、第１の側面に対向した曲表面である第２の側
面に形成された光散乱帯２６で散乱され、散乱された正
反射光４９は正反射光用導光部材２７内を柱軸方向（紙
面に対して垂直方向）の端面へと導かれる（図示せ
ず）。光散乱帯２６の幅は、正反射光用導光部材２７の
設置位置において分離する光の拡がり角の範囲によって
決定され、本実施形態では、拡がり角が５°以下の反射
光を光散乱帯２６で受光するように、光散乱帯２６の幅
が決められている。光散乱帯２６の幅が狭いほど、正反
射光４９と拡散反射光４８の分離効率が上がるが、正反
射光用導光部材２７の位置決めをより厳密に行わなけれ
ばならなくなる。

【００８５】一方、正反射光用導光部材２７に入射した
拡散反射光４８は、正反射光用導光部材２７の受光面で
ある第１の側面に対向した曲面である第２の側面による
レンズ効果で集光され、拡散反射光用導光部材２９に向
けて第２の側面から出射される。正反射光用導光部材２
７の第２の側面で集光され、出射された拡散反射光４８
は、拡散反射光用導光部材２９の円柱側面から拡散反射
光用導光部材２９に入射し、入射面に対向した曲面に設
けられた複数のＶ字状溝の表面に光反射面として設けら
れた鏡面３０で散乱され、散乱された拡散反射光４８は
拡散反射光用導光部材２９内を柱軸方向（紙面に対して
垂直方向）の端面へと導かれる（図示せず）。

【００８６】したがって、正反射光用導光部材２７及び
拡散反射光用導光部材２９によって１次元または２次元
の反射光が一点に導光される。

【００８７】上述のようにして、本実施形態において
は、正反射光４９と拡散反射光４８（拡がり角が５°以
上の光）とが本発明に係る導光部材２７によって分光さ
れ、正反射光４９は正反射光用導光部材２７の柱軸方向
へと導かれ、拡散反射光４８は拡散反射光用導光部材２
９の柱軸方向へと導かれる。

【００８８】したがって、欠陥検査に有用な情報を有す
る光である正反射光４９の近辺の拡散光と正反射光４９
とを、正反射光用導光部材２７の光散乱帯２６の幅を狭
くすることで、本発明に係る導光部材によって容易に分
光することができ、しかも本発明に係る導光部材の第２
の側面のレンズ効果によって拡散光を集光して出射する
ことも可能となり、正反射光用導光部材２７から拡散反
射光用導光部材２９への行程中における拡散光のロスを
減らすことができ、拡散反射光用導光部材２９におい
て、多くの拡散光を受光することができる。また、本発
明に係る導光部材の受光面である第１の側面は曲率が０
である平面であるので、円柱状の導光部材の曲表面に比
して、受光した光を受光面で反射してしまうことによる
光量のロスを減らすことが可能となり、受光した光の多
くを導光部材内部に取り込むことができる。また、本発
明に係る１つの導光部材で、分光と集光の両方を行うの
で、複数の部材を用いる場合に比して、正反射光量及び
拡散反射光量のロスを減らすことが出来、装置も簡略化
することができる。

【００８９】図４において、正反射光用導光部材２７の
柱軸方向へと導かれた正反射光４９は、正反射光用導光
部材２７の鏡面２８が設けられていない一方の端面から
出射される。正反射光用導光部材２７の該端部には、正
反射光検出手段４３が受光面が正反射光用導光部材２７
の該端面に対向するように設けられており、この正反射
光検出手段４３により正反射光用導光部材２７の一方の
端面から出射された正反射光を検出する。正反射光検出
手段４３は、例えば、ＰＭＴ等の光電変換器で構成さ
れ、検出した正反射光を電気信号に変換し、所定の出力
波形を得る。検査対象に、塗布層の有無、層厚の変化等
の欠陥が発生している場合には、出力波形に凸部、ある
いは凹部のような歪み部分が生じ、この波形から欠陥を
検出することができる。

【００９０】一方、拡散反射光用導光部材２９の柱軸方
向へと導かれた拡散反射光４８は、拡散反射光用導光部
材２９の鏡面３２が設けられていない一方の端面から出
射される。拡散反射光用導光部材２９の該端部には、拡
散反射光検出手段４４が受光面が拡散反射光用導光部材
２９の該端面に対向するように設けられており、この拡
散反射光検出手段４４により拡散反射光用導光部材２９
の一方の端面から出射された拡散反射光を検出する。拡
散反射光検出手段４４は、例えば、ＰＭＴ等の光電変換
器で構成され、検出した拡散反射光を電気信号に変換
し、所定の出力波形を得る。検査対象に、塗布層の有
無、層厚の変化等の欠陥が発生している場合には、出力
波形に凸部、あるいは凹部のような歪み部分が生じ、こ
の波形から欠陥を検出することができる。

【００９１】正反射光検出手段４３で得られた出力と、
拡散反射光検出手段４４で得られた出力は、比較器４７
に送られる。そして、比較器４７において、正反射光の
光量変化と拡散反射光の光量変化が比較され、正反射光
と拡散反射光の反射光量分布の差異を知ることができ、
検査対象３３上の欠陥の有無だけでなく、正反射光と拡
散反射光の反射光量分布の差異により、孔状の欠陥、
泡、異物の混入、層厚の変化などの欠陥の種類もある程
度識別可能となり、より正確に欠陥検査を行うことがで
きる。

【００９２】本発明に係る光検出器の別の実施態様を図
６を用いて説明する。図６は、本発明に係る光検出器の
別の実施態様の一部の横部断面図である。

【００９３】この光検出器５０は、正反射光用導光部材
２７と、拡散反射光用導光部材２９とが接して配置され
ている点に特徴がある。光検出器５０の他の構成は図４
で説明した光検出器５０と同様である。また、正反射光
用導光部材２７と、拡散反射光用導光部材２９について
も、先の実施形態と同様である。このような光検出器５
０を用いてもよい。

【００９４】本発明に係る導光部材の別の実施態様を図
７を用いて説明する。図７は、本発明に係る導光部材の
別の実施態様の横部断面図である。

【００９５】この導光部材２７Ｂは、透明のアクリル樹
脂製の円柱状の光伝達部材の一部を柱軸方向の除いた形
状である光伝達部材２５Ｂに、酸化チタンの粒子を主成
分とする塗料を塗布することにより光散乱帯２６を柱軸
方向に所定の幅で設けたものであるが、その第１の側面
は平面ではなく、曲面になっている。この第１の側面は
対向する曲面に比して曲率が小さい。該第１の側面を受
光面とすることにより、拡散光の第２の導光部材への集
光効率が向上するため好ましい。

【００９６】また、検査対象として、写真感光材料のよ
うな感光性の材料を用いる場合、カブリを防ぐために、
一般に検査光量は微小光量となる。本発明に係る本実施
形態の導光部材、光検出装置及び欠陥検査装置は、反射
光、特に拡散反射光のロスが少ないため、微小光量のさ
らに微小な拡散反射光を効率よく導光し、より正確な欠
陥検査が可能となる。したがって、本発明に係る本実施
形態の導光部材、光検出装置及び欠陥検査装置は、検査
対象として、写真感光材料のような感光性の材料を用い
る場合、より効果を発揮する。

【００９７】勿論、本発明に係る本実施形態の導光部
材、光検出装置及び欠陥検査装置は、反射光に限らず、
検査光が検査対象を透過した透過光を検出する場合にも
用いることができる。

【００９８】

【発明の効果】本発明により、正透過光（又は正反射
光）及び、拡散透過光（又は拡散反射光）の両光を分け
て、両光の光量変化を検出する光検出装置の小型化、簡
素化及び低コスト化が可能になる。

【００９９】また、本発明により、拡散透過光（又は拡
散反射光）のロスを減らすことにより、多くの拡散透過
光（又は拡散反射光）を受光し、検出することが可能と
なり、拡散透過光（又は拡散反射光）のロスを減らすこ
とが可能となる。またそれにより、写真感光材料の欠陥
検査の際の微小光量であっても、光検出による写真感光
材料の正確な欠陥検査が可能になる。

【０１００】また、本発明により、厳密な導光部材等の
受光部の位置決めをしなくても、拡散性が小さい拡散透
過光（又は拡散反射光）、及び、正透過光（又は正反射
光）近辺の拡散透過光（又は拡散反射光）を得ることが
でき、容易により正確な光検出及び欠陥検査をすること
が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】スリットミラー方式による従来の正透過光及
び、拡散透過光の両光を分けて、両光の光量変化を検出
する光検出装置の全体概略図。

【図２】３つの導光部材を用いた、従来の正反射光及
び、拡散反射光の両光を分けて、両光の光量変化を検出
する光検出装置の全体概略図。

【図３】本発明に係る導光部材の製造方法を示す説明
図。

【図４】本発明に係る欠陥検査装置の全体概略斜視図。

【図５】本発明に係る光検出装置の正反射光用導光部材
と、拡散反射光用導光部材の横部断面図によって、本発
明の導光部材、及び光検出手段による正反射光と拡散反
射光の分光の仕組みを説明する説明図。

【図６】本発明に係る光検出器の別の実施態様の一部の
横部断面図。

【図７】本発明に係る導光部材の別の実施態様の横部断
面図。

【図８】拡がり角の説明図。

【図９】光散乱帯の形成方法の１例を示す説明図。

【図１０】光散乱帯の形成方法の１例を示す説明図。

【符号の説明】

５スリットミラー１６正反射光用導光部材１９Ａ、１９Ｂ拡散反射光用導光部材２５光伝達部材２６光散乱帯２７導光部材、正反射光用導光部材２９拡散反射光用導光部材３３検査対象３５搬送ローラー３６フライングスポット方式の光学系４２欠陥検査装置４８拡散反射光４９正反射光

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の側面と、前記第１の側面と対向す
る第２の側面を有し、前記第１の側面の曲率が前記第２
の側面の曲率よりも小さい柱状光伝達部材を有し、前記
第１の側面から入射する光の一部を、前記柱状光伝達部
材の略柱軸方向へ導く導光機能を備えることを特徴とす
る導光部材。
【請求項２】前記第１の側面の曲率は、前記柱状光伝
達部材の柱軸方向と垂直な断面と同じ面積の円の円周の
曲率よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の導
光部材。
【請求項３】前記第１の側面は、平面であることを特
徴とする請求項１又は２に記載の導光部材。
【請求項４】前記柱状光伝達部材は、円柱状光伝達部
材の１部を、除去面が前記柱状光伝達部材の柱軸に略平
行な平面となるように除去した形状であることを特徴と
する請求項１〜３のいずれか１項に記載の導光部材。
【請求項５】前記柱状光伝達部材は、押し出し成形
後、真円加工を施すことにより形成された円柱状光伝達
部材の一部を、除去面が前記柱状光伝達部材の柱軸に略
平行な平面となるように除去した後、前記除去面を研磨
することによって得られるものであることを特徴とする
請求項４に記載の導光部材。
【請求項６】前記柱状光伝達部材の柱軸方向にわた
り、前記第２の側面に所定幅を有する光散乱帯を設ける
ことによって、前記略柱軸方向への導光機能を得ること
を特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の導光
部材。
【請求項７】前記柱状光伝達部材の柱軸方向の端面の
一方に鏡面が形成されることを特徴とする請求項１〜６
のいずれか１項に記載の導光部材。
【請求項８】請求項１〜７のいずれか１項に記載の第
１の導光部材と、側面から入射する光を略柱軸方向へ導
く導光機能を備える柱状光伝達部材を有する第２の導光
部材と、前記第１の導光部材により前記第１の導光部材
の端面に導光される光を検出する第１の光検出手段と、
前記第２の導光部材により前記第２の導光部材の端面に
導光される光を検出する第２の光検出手段とを有するこ
とを特徴とする光検出装置。
【請求項９】前記第１の導光部材の前記第１の側面
を、光を照射した被照射物で反射した反射光又は被照射
物を透過した透過光が入射する光入射面とし、前記光入
射面から前記第１の導光部材に入射した光の一部は、前
記第１の導光部材の柱軸方向に導かれ、前記第１の導光
部材の前記第２の側面を、前記第１の導光部材に入射し
た光の一部を出射する光出射面とし、前記第１の導光部
材の前記光出射面から出射される光を受けることができ
る位置に、前記第１の導光部材と略平行に前記第２の導
光部材を配置することを特徴とする請求項８に記載の光
検出装置。
【請求項１０】請求項６又は７に記載の第１の導光部
材と、側面から入射する光を略柱軸方向へ導く導光機能
を備える柱状光伝達部材を有する第２の導光部材と、前
記第１の導光部材により前記第１の導光部材の端面に導
光される光を検出する第１の光検出手段と、前記第２の
導光部材により前記第２の導光部材の端面に導光される
光を検出する第２の光検出手段とを有する光検出装置で
あって、前記第１の導光部材の前記第１の側面を、光を
照射した被照射物で反射した反射光又は被照射物を透過
した透過光が入射する光入射面とし、前記第１の導光部
材に入射した光の一部は、前記第１の導光部材の前記光
散乱帯に入射し、前記第１の導光部材の略柱軸方向に導
かれ、前記第１の導光部材の前記第２の側面を、前記第
１の導光部材に入射した光の一部を出射する光出射面と
し、前記第１の導光部材の前記光出射面から出射される
光を、前記第２の導光部材の側面で受けることができる
位置に、前記第１の導光部材と略平行に前記第２の導光
部材を配置し、前記第２の導光部材の側面に入射した光
は、前記第２の導光部材の略柱軸方向へ導かれることを
特徴とする光検出装置。
【請求項１１】光源から被照射物に照射され、前記被
照射物を透過した正透過光が、前記第１の導光部材の前
記光散乱帯に入射し、前記第１の導光部材の柱軸方向に
導かれ、光源から被照射物に照射され、前記被照射物を
透過した拡散透過光が、前記第１の導光部材の光出射面
から出射されるものであるか、又は、光源から被照射物
に照射され、前記被照射物で反射した正反射光が、前記
第１の導光部材の前記光散乱帯に入射し、前記第１の導
光部材の柱軸方向に導かれ、光源から被照射物に照射さ
れ、前記被照射物で反射した拡散反射光が、前記第１の
導光部材の光出射面から出射されるものであることを特
徴とする請求項１０に記載の光検出装置。
【請求項１２】前記光源がレーザー光源であることを
特徴とする請求項１１に記載の光検出装置。
【請求項１３】前記第１の導光部材と前記第２の導光
部材とを、光を照射した被照射物で反射した反射光又は
被照射物を透過した透過光の光軸上に配置したことを特
徴とする請求項８〜１２のいずれか１項に記載の光検出
装置。
【請求項１４】前記第１の導光部材と前記第２の導光
部材とを、光を照射した被照射物で反射した正反射光又
は被照射物を透過した正透過光の光軸上に配置したこと
を特徴とする請求項１３に記載の光検出装置。
【請求項１５】前記第１の導光部材の前記光散乱帯に
入射し、前記第１の導光部材の柱軸方向に導かれる光
は、前記第１の導光部材に入射した光のうち拡がり角が
所定角度以内の光であり、前記第１の導光部材の光出射
面から出射される光は、前記第１の導光部材に入射した
光のうち拡がり角が所定角度以上の光であり、前記所定
角度は５°以下であることを特徴とする請求項１０〜１
４のいずれか１項に記載の光検出装置。
【請求項１６】前記第１の導光部材と前記第２の導光
部材とを接して配置したことを特徴とする請求項８〜１
５のいずれか１項に記載の光検出装置。
【請求項１７】前記第２の導光部材の柱状光伝達部材
が、円柱状光伝達部材であることを特徴とする請求項８
〜１６のいずれか１項に記載の光検出装置。
【請求項１８】前記第２の導光部材は、光が入射する
側面と対向する側面の柱軸方向にわたり、所定幅を有す
る光散乱帯を設けることによって、前記略柱軸方向への
導光機能を得ることを特徴とする請求項８〜１７のいず
れか１項に記載の光検出装置。
【請求項１９】前記第２の導光部材の前記光散乱帯
は、前記柱軸方向に対して直交又は所定角度に、所定の
間隔を隔てて連続的にかつ平行に溝が形成され、溝断面
形状が三角形又は曲面で、前記溝の最深部が柱軸方向か
ら視て略直線状である溝状帯と、この溝状帯に密着した
鏡面部とから構成したことを特徴とする請求項１８に記
載の光検出装置。
【請求項２０】請求項１〜７のいずれか１項に記載の
導光部材を有することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２１】請求項８〜１９のいずれか１項に記載
の光検出装置を有することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２２】請求項８〜１９のいずれか１項に記載
の光検出装置と、光学系とを有し、前記光学系は、被照
射物上を所定の方向に走査する光を投光するものであ
り、前記光学系によって、前記被照射物上に走査され、
前記被照射物を透過した正透過光を、前記第１の導光部
材において略柱軸方向へ導光し、前記第１の光検出手段
で検出し、そして、前記光学系によって、前記被照射物
上に走査され、前記被照射物を透過した拡散透過光を、
前記第２の導光部材において略柱軸方向へ導光し、前記
第２の光検出手段で検出するか、又は、前記光学系によ
って、前記被照射物上に走査され、前記被照射物で反射
した正反射光を、前記第１の導光部材において略柱軸方
向へ導光し、前記第１の光検出手段で検出し、そして、
前記光学系によって、前記被照射物上に走査され、前記
被照射物で反射した拡散反射光を、前記第２の導光部材
において略柱軸方向へ導光し、前記第２の光検出手段で
検出し、前記第１の光検出手段で検出された検出結果
と、前記第２の光検出手段で検出された検出結果とを比
較し、被照射物上の欠陥の検出を行うものであることを
特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２３】前記被照射物が、写真感光材料である
ことを特徴とする請求項２０〜２２のいずれか１項に記
載の欠陥検査装置。