JPH10213502A - 圧力センサの特性測定装置 - Google Patents
圧力センサの特性測定装置Info
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- JPH10213502A JPH10213502A JP1799997A JP1799997A JPH10213502A JP H10213502 A JPH10213502 A JP H10213502A JP 1799997 A JP1799997 A JP 1799997A JP 1799997 A JP1799997 A JP 1799997A JP H10213502 A JPH10213502 A JP H10213502A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的応力の発生を抑え、高精度の特性測定
のできる圧力センサの特性測定装置を提供する。 【解決手段】 圧力センサ本体1と、圧力センサ本体1
内のダイアフラム16に圧力を導入する圧力導入管17
と、ダイアフラム16のたわみに応じて出力される電気
信号を外部に取り出す外部端子18とを有してなる圧力
センサの特性測定装置であって、中空部51と、圧力導
入管17を差し込む開口部52を複数有する圧力印加治
具5と、外部端子18と接続し電極を取り出すための電
極ピン41を備えた配線基板4とを有してなり、圧力印
加治具5の開口部52に圧力センサの圧力導入管17を
差し込み、配線基板4の電極ピン41に圧力センサの外
部端子18を接触、保持させるようにし、中空部51か
ら圧力導入管17を介してダイアフラム16に圧力を導
入し、導入した圧力により生じたダイアフラム16のた
わみに応じて発生した電気信号を電極ピン41及び外部
端子18を介して取り出すようにした。
のできる圧力センサの特性測定装置を提供する。 【解決手段】 圧力センサ本体1と、圧力センサ本体1
内のダイアフラム16に圧力を導入する圧力導入管17
と、ダイアフラム16のたわみに応じて出力される電気
信号を外部に取り出す外部端子18とを有してなる圧力
センサの特性測定装置であって、中空部51と、圧力導
入管17を差し込む開口部52を複数有する圧力印加治
具5と、外部端子18と接続し電極を取り出すための電
極ピン41を備えた配線基板4とを有してなり、圧力印
加治具5の開口部52に圧力センサの圧力導入管17を
差し込み、配線基板4の電極ピン41に圧力センサの外
部端子18を接触、保持させるようにし、中空部51か
ら圧力導入管17を介してダイアフラム16に圧力を導
入し、導入した圧力により生じたダイアフラム16のた
わみに応じて発生した電気信号を電極ピン41及び外部
端子18を介して取り出すようにした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサの圧力
特性を測定する特性測定装置に関するものである。
特性を測定する特性測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ダイアフラム構造を有する圧力センサ
は、ピエゾ効果を利用したものであり、図2に示すよう
に、シリコン基板からなる半導体基板11の表面にはピ
エゾ抵抗12、フィールド酸化膜13、窒化シリコン膜
14及びピエゾ抵抗12から電極を取り出すための電極
配線15が形成されており、裏面側は異方性エッチング
技術により半導体基板11を異方性エッチングし、ダイ
アフラム16が形成されている。そして、これらをカバ
ーで覆って圧力センサ本体をなす。この圧力センサ本体
と後述の圧力導入管及び電極配線15に接続された外部
端子とで圧力センサが構成される。
は、ピエゾ効果を利用したものであり、図2に示すよう
に、シリコン基板からなる半導体基板11の表面にはピ
エゾ抵抗12、フィールド酸化膜13、窒化シリコン膜
14及びピエゾ抵抗12から電極を取り出すための電極
配線15が形成されており、裏面側は異方性エッチング
技術により半導体基板11を異方性エッチングし、ダイ
アフラム16が形成されている。そして、これらをカバ
ーで覆って圧力センサ本体をなす。この圧力センサ本体
と後述の圧力導入管及び電極配線15に接続された外部
端子とで圧力センサが構成される。
【0003】この圧力センサの動作原理は、ダイアフラ
ム16が圧力を受けてたわむと、ピエゾ抵抗12にはた
わみ量に応じた応力が発生する。この応力に応じてピエ
ゾ抵抗12の抵抗値が変化し、これを電気信号の変化と
して検知するものである。
ム16が圧力を受けてたわむと、ピエゾ抵抗12にはた
わみ量に応じた応力が発生する。この応力に応じてピエ
ゾ抵抗12の抵抗値が変化し、これを電気信号の変化と
して検知するものである。
【0004】この圧力センサの特徴としては、シリコン
を用いているので、従来のブルドン管式のものと比較し
て小型で高感度である点や、再現性が良く、信頼性も高
いという点があげられる。
を用いているので、従来のブルドン管式のものと比較し
て小型で高感度である点や、再現性が良く、信頼性も高
いという点があげられる。
【0005】このような圧力センサの圧力特性を測定す
るための測定設備は、一般的には、圧力発生器、定電圧
電源または定電流電源、電圧計または電流計、恒温層及
びこれらを自動制御するためのコントローラ等で構成さ
れている。そして、測定すべき圧力センサを、圧力を印
加するための圧力印加治具に組み込み、圧力センサから
圧力特性を示す信号を外部に出力するための出力取出し
部とともに恒温層の中に入れて、所定の温度状態での諸
特性を測定する。
るための測定設備は、一般的には、圧力発生器、定電圧
電源または定電流電源、電圧計または電流計、恒温層及
びこれらを自動制御するためのコントローラ等で構成さ
れている。そして、測定すべき圧力センサを、圧力を印
加するための圧力印加治具に組み込み、圧力センサから
圧力特性を示す信号を外部に出力するための出力取出し
部とともに恒温層の中に入れて、所定の温度状態での諸
特性を測定する。
【0006】ここで、図3に示すように、圧力印加治具
2は、アルミ等の金属製で、内部に中空部21を有し、
中空部21とつながり、圧力センサ本体1内のダイアフ
ラム16に圧力を導入する圧力導入管17に対応した複
数の圧力導入孔22を有している。出力取出し部として
は、配線基板3に複数のICソケット31を装着したも
のを用いる。
2は、アルミ等の金属製で、内部に中空部21を有し、
中空部21とつながり、圧力センサ本体1内のダイアフ
ラム16に圧力を導入する圧力導入管17に対応した複
数の圧力導入孔22を有している。出力取出し部として
は、配線基板3に複数のICソケット31を装着したも
のを用いる。
【0007】配線基板3のICソケット31に、測定す
べき圧力センサの電気信号を外部へ取り出すための外部
端子18を、圧力導入管17が配線基板3側と逆方向を
向くようにして差し込み、次に、圧力導入孔22に圧力
導入管17が嵌まるようにして圧力印加治具2を装着す
る。この時、配線基板3と圧力印加治具2との間のスペ
ーサとしてのストッパ32を両者間に介在させる。スト
ッパ32は予め配線基板3に固定されており、圧力印加
治具2とストッパ32とはネジ23により固定する。圧
力印加治具2には、圧力配管24が設けられており、圧
力配管24から中空部21を介して圧力が圧力導入孔2
2に導入され、更には、圧力導入管17を介して圧力セ
ンサ本体1内のダイアフラム16に導入されるようにな
っている。
べき圧力センサの電気信号を外部へ取り出すための外部
端子18を、圧力導入管17が配線基板3側と逆方向を
向くようにして差し込み、次に、圧力導入孔22に圧力
導入管17が嵌まるようにして圧力印加治具2を装着す
る。この時、配線基板3と圧力印加治具2との間のスペ
ーサとしてのストッパ32を両者間に介在させる。スト
ッパ32は予め配線基板3に固定されており、圧力印加
治具2とストッパ32とはネジ23により固定する。圧
力印加治具2には、圧力配管24が設けられており、圧
力配管24から中空部21を介して圧力が圧力導入孔2
2に導入され、更には、圧力導入管17を介して圧力セ
ンサ本体1内のダイアフラム16に導入されるようにな
っている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような圧力センサの圧力特性測定方法にあっては、圧力
センサの圧力導入管17と圧力印加治具2の圧力導入孔
22との間に水平方向の位置ずれが発生した場合に、圧
力導入管17に圧力印加治具2により水平方向を主とし
た応力が加わる。この応力が圧力センサ本体1内のダイ
アフラム16に加わり、圧力特性が変化してしまう。さ
らに、1つの圧力印加治具2で複数の圧力センサの特性
測定をするように、圧力印加治具2が一体型に形成され
ているので、1つの圧力センサの位置ずれが全体のずれ
となり、他の圧力センサにも応力がかかることになる。
ような圧力センサの圧力特性測定方法にあっては、圧力
センサの圧力導入管17と圧力印加治具2の圧力導入孔
22との間に水平方向の位置ずれが発生した場合に、圧
力導入管17に圧力印加治具2により水平方向を主とし
た応力が加わる。この応力が圧力センサ本体1内のダイ
アフラム16に加わり、圧力特性が変化してしまう。さ
らに、1つの圧力印加治具2で複数の圧力センサの特性
測定をするように、圧力印加治具2が一体型に形成され
ているので、1つの圧力センサの位置ずれが全体のずれ
となり、他の圧力センサにも応力がかかることになる。
【0009】また、複数のネジ23により圧力印加治具
2を固定していた場合に、ネジ23の締め付けトルクに
ばらつきがあると、圧力印加治具2にわずかな傾きや反
りが生じ、圧力センサの圧力導入管17に、前記と同様
の応力が加わり、圧力特性の変動が起こるという問題が
あった。
2を固定していた場合に、ネジ23の締め付けトルクに
ばらつきがあると、圧力印加治具2にわずかな傾きや反
りが生じ、圧力センサの圧力導入管17に、前記と同様
の応力が加わり、圧力特性の変動が起こるという問題が
あった。
【0010】本発明は、上記の点に鑑みてなしたもので
あり、その目的とするところは、機械的応力の発生を抑
え、高精度の特性測定のできる圧力センサの特性測定装
置を提供することにある。
あり、その目的とするところは、機械的応力の発生を抑
え、高精度の特性測定のできる圧力センサの特性測定装
置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラム
に圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのた
わみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部
端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定するた
めの特性測定装置であって、内部に中空部を有し、該中
空部につながり前記圧力導入管を差し込む開口部を複数
有する圧力印加治具と、前記外部端子と接続し電極を取
り出すための電極ピンを備えた配線基板とを有してな
り、前記圧力印加治具の開口部に圧力センサの圧力導入
管を差し込み、前記配線基板の電極ピンに圧力センサの
外部端子を接触、保持させるようにし、前記圧力印加治
具の中空部から圧力導入管を介して圧力センサ本体に圧
力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフラムの
たわみに応じて発生した電気信号を電極ピン及び外部端
子を介して取り出すようにしたことを特徴とするもので
ある。
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラム
に圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのた
わみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部
端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定するた
めの特性測定装置であって、内部に中空部を有し、該中
空部につながり前記圧力導入管を差し込む開口部を複数
有する圧力印加治具と、前記外部端子と接続し電極を取
り出すための電極ピンを備えた配線基板とを有してな
り、前記圧力印加治具の開口部に圧力センサの圧力導入
管を差し込み、前記配線基板の電極ピンに圧力センサの
外部端子を接触、保持させるようにし、前記圧力印加治
具の中空部から圧力導入管を介して圧力センサ本体に圧
力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフラムの
たわみに応じて発生した電気信号を電極ピン及び外部端
子を介して取り出すようにしたことを特徴とするもので
ある。
【0012】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、前記配線基板の電極ピンを平板状としたこ
とを特徴とするものである。
明において、前記配線基板の電極ピンを平板状としたこ
とを特徴とするものである。
【0013】請求項3記載の発明は、請求項1又は請求
項2記載の発明において、前記配線基板の圧力センサ本
体側に凸部を設けたことを特徴とするものである。
項2記載の発明において、前記配線基板の圧力センサ本
体側に凸部を設けたことを特徴とするものである。
【0014】請求項4記載の発明は、請求項3記載の発
明において、前記圧力センサを圧力印加治具及び配線基
板に装着した状態で、前記凸部の先端面とセンサ本体の
前記凸部の先端面への対向面との間に遊びが形成される
ようにしたことを特徴とするものである。
明において、前記圧力センサを圧力印加治具及び配線基
板に装着した状態で、前記凸部の先端面とセンサ本体の
前記凸部の先端面への対向面との間に遊びが形成される
ようにしたことを特徴とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図面に基づき説明する。図1は、本発明の実施の形態
の一例に係る圧力センサの特性測定装置の断面を示す模
式図である。本実施形態の圧力センサの特性測定装置
は、圧力センサを固定するとともに外部に電気信号を取
り出すための配線基板4と、圧力センサ本体1内のダイ
アフラム16に圧力を導入する圧力印加治具5とからな
る。配線基板4には、圧力センサの外部端子18との電
気的接続を行うための平板状の電極ピン41が圧力セン
サの外部端子18の数と同数だけ実装されている。ま
た、対向する電極ピン41の間には凸部42が形成され
る。凸部42は圧力センサ本体1の外形の幅と長さが同
寸法であり、圧力センサ本体1を装着したときに、圧力
センサ本体1の裏面19と凸部42の先端面43とが数
100μmの空隙6を有するような大きさの樹脂を接着
することにより形成する。圧力センサの圧力導入管17
と外部端子18とは逆方向に形成してある。
を図面に基づき説明する。図1は、本発明の実施の形態
の一例に係る圧力センサの特性測定装置の断面を示す模
式図である。本実施形態の圧力センサの特性測定装置
は、圧力センサを固定するとともに外部に電気信号を取
り出すための配線基板4と、圧力センサ本体1内のダイ
アフラム16に圧力を導入する圧力印加治具5とからな
る。配線基板4には、圧力センサの外部端子18との電
気的接続を行うための平板状の電極ピン41が圧力セン
サの外部端子18の数と同数だけ実装されている。ま
た、対向する電極ピン41の間には凸部42が形成され
る。凸部42は圧力センサ本体1の外形の幅と長さが同
寸法であり、圧力センサ本体1を装着したときに、圧力
センサ本体1の裏面19と凸部42の先端面43とが数
100μmの空隙6を有するような大きさの樹脂を接着
することにより形成する。圧力センサの圧力導入管17
と外部端子18とは逆方向に形成してある。
【0016】圧力印加治具5は、中空部51を有し、例
えばアルミにより作製される。さらに、圧力印加治具5
には、中空部51とつながっており、圧力センサの圧力
導入管17を嵌めるための圧力導入孔(開口部)52が
形成される。図1では圧力導入孔52は1つしか示され
ていないが、複数の圧力センサの特性測定ができるよう
に、複数の圧力導入孔52が形成されている。
えばアルミにより作製される。さらに、圧力印加治具5
には、中空部51とつながっており、圧力センサの圧力
導入管17を嵌めるための圧力導入孔(開口部)52が
形成される。図1では圧力導入孔52は1つしか示され
ていないが、複数の圧力センサの特性測定ができるよう
に、複数の圧力導入孔52が形成されている。
【0017】本実施形態の圧力センサの特性測定装置に
より特性測定を行う場合には、圧力印加治具5の圧力導
入孔52に、圧力センサの圧力導入管17を差し込み、
次に配線基板4を、圧力センサの外部端子18が電極ピ
ン41に接触するようにして固定する。この状態で、圧
力印加治具5の中空部51を介して圧力を導入すると、
その圧力は圧力センサの圧力導入管17を介して圧力セ
ンサ本体1内のダイアフラム16に印加される。ダイア
フラム16に印加される圧力に応じて外部端子18から
出力される電気信号を外部端子18に接続される電極ピ
ン41から取り出すことにより、圧力特性の測定を行う
ことができるのである。
より特性測定を行う場合には、圧力印加治具5の圧力導
入孔52に、圧力センサの圧力導入管17を差し込み、
次に配線基板4を、圧力センサの外部端子18が電極ピ
ン41に接触するようにして固定する。この状態で、圧
力印加治具5の中空部51を介して圧力を導入すると、
その圧力は圧力センサの圧力導入管17を介して圧力セ
ンサ本体1内のダイアフラム16に印加される。ダイア
フラム16に印加される圧力に応じて外部端子18から
出力される電気信号を外部端子18に接続される電極ピ
ン41から取り出すことにより、圧力特性の測定を行う
ことができるのである。
【0018】本実施形態によれば、圧力印加治具5の圧
力導入孔52に対して圧力センサの圧力導入管17を差
し込むようにしているので、圧力印加治具5から圧力セ
ンサへの応力はかからない。また、外部端子18と電極
ピン41は柔軟性を有し、且つ、電極ピン41は平板状
であるので、機械的応力が圧力センサに加わることはな
く、圧力センサの外部端子18と電極ピン41の接続に
際し、位置ずれが生じても、電極ピン41により吸収さ
れるので、接続ははずれにくい。
力導入孔52に対して圧力センサの圧力導入管17を差
し込むようにしているので、圧力印加治具5から圧力セ
ンサへの応力はかからない。また、外部端子18と電極
ピン41は柔軟性を有し、且つ、電極ピン41は平板状
であるので、機械的応力が圧力センサに加わることはな
く、圧力センサの外部端子18と電極ピン41の接続に
際し、位置ずれが生じても、電極ピン41により吸収さ
れるので、接続ははずれにくい。
【0019】また、圧力印加治具5の中空部51を介し
て圧力が印加された際、圧力導入管17が圧力導入孔5
2にきっちり嵌まった状態から少しずれることが考えら
れるが、凸部42により、圧力導入管17がずれるのが
防止される。この時、凸部42が圧力センサ本体1の裏
面19側を押さえることになるが、ダイアフラム16が
実装されているのは圧力センサ内の圧力導入管17側で
あるので、ダイアフラム16への影響は最小限に抑える
ことができる。さらに、凸部42の先端面43の面積は
圧力センサ本体1の裏面19と同等であるので、応力の
局所的な集中を避けることができる。また、圧力センサ
本体1の裏面19と凸部42の先端面43との間には空
隙部6による遊びが設けられているので、圧力導入管1
7が圧力導入孔52にきっちり嵌まった状態において
は、凸部42から圧力センサ本体1に機械的応力が働く
ことはない。
て圧力が印加された際、圧力導入管17が圧力導入孔5
2にきっちり嵌まった状態から少しずれることが考えら
れるが、凸部42により、圧力導入管17がずれるのが
防止される。この時、凸部42が圧力センサ本体1の裏
面19側を押さえることになるが、ダイアフラム16が
実装されているのは圧力センサ内の圧力導入管17側で
あるので、ダイアフラム16への影響は最小限に抑える
ことができる。さらに、凸部42の先端面43の面積は
圧力センサ本体1の裏面19と同等であるので、応力の
局所的な集中を避けることができる。また、圧力センサ
本体1の裏面19と凸部42の先端面43との間には空
隙部6による遊びが設けられているので、圧力導入管1
7が圧力導入孔52にきっちり嵌まった状態において
は、凸部42から圧力センサ本体1に機械的応力が働く
ことはない。
【0020】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明によ
れば、圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイア
フラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラ
ムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出
す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定
するための特性測定装置であって、内部に中空部を有
し、該中空部につながり前記圧力導入管を差し込む開口
部を複数有する圧力印加治具と、前記外部端子と接続し
電極を取り出すための電極ピンを備えた配線基板とを有
してなり、前記圧力印加治具の開口部に圧力センサの圧
力導入管を差し込み、前記配線基板の電極ピンに圧力セ
ンサの外部端子を接触、保持させるようにし、前記圧力
印加治具の中空部から圧力導入管を介して圧力センサ本
体に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフ
ラムのたわみに応じて発生した電気信号を電極ピン及び
外部端子を介して取り出すようにしたので、機械的応力
の発生を抑え、高精度の特性測定のできる圧力センサの
特性測定装置が提供できた。
れば、圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイア
フラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラ
ムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出
す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定
するための特性測定装置であって、内部に中空部を有
し、該中空部につながり前記圧力導入管を差し込む開口
部を複数有する圧力印加治具と、前記外部端子と接続し
電極を取り出すための電極ピンを備えた配線基板とを有
してなり、前記圧力印加治具の開口部に圧力センサの圧
力導入管を差し込み、前記配線基板の電極ピンに圧力セ
ンサの外部端子を接触、保持させるようにし、前記圧力
印加治具の中空部から圧力導入管を介して圧力センサ本
体に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフ
ラムのたわみに応じて発生した電気信号を電極ピン及び
外部端子を介して取り出すようにしたので、機械的応力
の発生を抑え、高精度の特性測定のできる圧力センサの
特性測定装置が提供できた。
【0021】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明において、前記配線基板の電極ピンを平板状と
したので、圧力センサの外部端子と配線基板の電極ピン
の接続に際し、位置ずれが生じても、電極ピンにより吸
収され、接続ははずれにくくなる。
載の発明において、前記配線基板の電極ピンを平板状と
したので、圧力センサの外部端子と配線基板の電極ピン
の接続に際し、位置ずれが生じても、電極ピンにより吸
収され、接続ははずれにくくなる。
【0022】請求項3記載の発明によれば、請求項1又
は請求項2記載の発明において、前記配線基板の圧力セ
ンサ本体側に凸部を設けたので、圧力が印加された際で
も圧力導入管17がずれるのが防止される。
は請求項2記載の発明において、前記配線基板の圧力セ
ンサ本体側に凸部を設けたので、圧力が印加された際で
も圧力導入管17がずれるのが防止される。
【0023】請求項4記載の発明によれば、請求項3記
載の発明において、前記圧力センサを圧力印加治具及び
配線基板に装着した状態で、前記凸部の先端面とセンサ
本体の前記凸部の先端面への対向面との間に遊びが形成
されるようにしたので、圧力導入管が圧力導入孔にきっ
ちり嵌まった状態においては、凸部から圧力センサ本体
に機械的応力が働くことはない。
載の発明において、前記圧力センサを圧力印加治具及び
配線基板に装着した状態で、前記凸部の先端面とセンサ
本体の前記凸部の先端面への対向面との間に遊びが形成
されるようにしたので、圧力導入管が圧力導入孔にきっ
ちり嵌まった状態においては、凸部から圧力センサ本体
に機械的応力が働くことはない。
【図1】本発明の一実施形態に係る圧力センサの特性測
定装置の概略構成の断面を示す模式図である。
定装置の概略構成の断面を示す模式図である。
【図2】圧力センサチップの断面を示す模式図である。
【図3】従来の圧力センサの特性測定装置の概略構成を
示す模式図である。
示す模式図である。
1 圧力センサ本体 4 配線基板 5 圧力印加治具 6 空隙 16 ダイアフラム 17 圧力導入管 18 外部端子 19 圧力センサ本体の裏面 41 電極ピン 42 凸部 43 先端面 51 中空部 52 圧力導入孔(開口部)
Claims (4)
- 【請求項1】 圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内
のダイアフラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダ
イアフラムのたわみに応じて出力される電気信号を外部
に取り出す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特
性を測定するための特性測定装置であって、内部に中空
部を有し、該中空部につながり前記圧力導入管を差し込
む開口部を複数有する圧力印加治具と、前記外部端子と
接続し電極を取り出すための電極ピンを備えた配線基板
とを有してなり、前記圧力印加治具の開口部に圧力セン
サの圧力導入管を差し込み、前記配線基板の電極ピンに
圧力センサの外部端子を接触、保持させるようにし、前
記圧力印加治具の中空部から圧力導入管を介して圧力セ
ンサ本体に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダ
イアフラムのたわみに応じて発生した電気信号を電極ピ
ン及び外部端子を介して取り出すようにしたことを特徴
とする圧力センサの特性測定装置。 - 【請求項2】 前記配線基板の電極ピンを平板状とした
ことを特徴とする請求項1記載の圧力センサの特性測定
装置。 - 【請求項3】 前記配線基板の圧力センサ本体側に凸部
を設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の
圧力センサの特性測定装置。 - 【請求項4】 前記圧力センサを圧力印加治具及び配線
基板に装着した状態で、前記凸部の先端面とセンサ本体
の前記凸部の先端面への対向面との間に遊びが形成され
るようにしたことを特徴とする請求項3記載の圧力セン
サの特性測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1799997A JPH10213502A (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | 圧力センサの特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1799997A JPH10213502A (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | 圧力センサの特性測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10213502A true JPH10213502A (ja) | 1998-08-11 |
Family
ID=11959424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1799997A Pending JPH10213502A (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | 圧力センサの特性測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10213502A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001252899A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-18 | Akebono Brake Ind Co Ltd | マイクロマシニングセンサエレメント及びウェッジワイヤボンディング取付け方法 |
-
1997
- 1997-01-31 JP JP1799997A patent/JPH10213502A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001252899A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-18 | Akebono Brake Ind Co Ltd | マイクロマシニングセンサエレメント及びウェッジワイヤボンディング取付け方法 |
JP4519977B2 (ja) * | 2000-03-07 | 2010-08-04 | 曙ブレーキ工業株式会社 | マイクロマシニングセンサエレメント及びウェッジワイヤボンディング取付け方法 |
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