JPH10205519A - 吸着装置 - Google Patents
吸着装置Info
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- JPH10205519A JPH10205519A JP1768297A JP1768297A JPH10205519A JP H10205519 A JPH10205519 A JP H10205519A JP 1768297 A JP1768297 A JP 1768297A JP 1768297 A JP1768297 A JP 1768297A JP H10205519 A JPH10205519 A JP H10205519A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸着パッドの下面に負圧を利用して表面に傷
を付けないように被吸着物を吸着保持させる。 【解決手段】真空ポンプの負圧を利用して被吸着物を保
持する吸着装置において、吸着パッド30の吸着面側に
柔軟部材からなる保護シ−ト40を着脱自在に装着して
ある。
を付けないように被吸着物を吸着保持させる。 【解決手段】真空ポンプの負圧を利用して被吸着物を保
持する吸着装置において、吸着パッド30の吸着面側に
柔軟部材からなる保護シ−ト40を着脱自在に装着して
ある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、負圧を利用して吸
着パッドの吸着面に被吸着物を傷付けないように保持す
る吸着装置に関するものである。
着パッドの吸着面に被吸着物を傷付けないように保持す
る吸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の吸着装置1は,例えば、図1、2
に示す如く、真空ポンプPから延設された配管Hに接続
させた支持筒3の下端に吸着パッド5を取付け、該吸着
パッド5の下面に被吸着物15を吸着保持している。こ
の吸着パッド5は、弾力性を有した硬質ゴムや合成樹脂
材からなり、該吸着パッドの吸着面7の全面に被吸着物
15が密着してしまうと吸着パッド内を減圧できなくな
るので、それを防ぐために該吸着面に複数の凸部9、9
を設けて負圧通路(凸部と凸部の間の間隙部分)を設け
てある。また、吸着パッド5の下部周縁には外部から空
気の侵入を防ぐために柔軟片10を形成してある。
に示す如く、真空ポンプPから延設された配管Hに接続
させた支持筒3の下端に吸着パッド5を取付け、該吸着
パッド5の下面に被吸着物15を吸着保持している。こ
の吸着パッド5は、弾力性を有した硬質ゴムや合成樹脂
材からなり、該吸着パッドの吸着面7の全面に被吸着物
15が密着してしまうと吸着パッド内を減圧できなくな
るので、それを防ぐために該吸着面に複数の凸部9、9
を設けて負圧通路(凸部と凸部の間の間隙部分)を設け
てある。また、吸着パッド5の下部周縁には外部から空
気の侵入を防ぐために柔軟片10を形成してある。
【0003】被吸着物15を吸着パッド5の吸着面に吸
着させると、該凸部9が支持部分となって被吸着物を安
定して吸着保持させるため、該凸部9や吸着面7は硬い
部材で構成されている。しかるに、ブラウン管や光学部
品など表面に傷が付くのを嫌う被吸着物15は、図1に
示す如く、該吸着パッドの吸着面に設けた凸部9や硬い
吸着面に接触すると被吸着物の表面に傷を付けてしまう
問題点を有していた。
着させると、該凸部9が支持部分となって被吸着物を安
定して吸着保持させるため、該凸部9や吸着面7は硬い
部材で構成されている。しかるに、ブラウン管や光学部
品など表面に傷が付くのを嫌う被吸着物15は、図1に
示す如く、該吸着パッドの吸着面に設けた凸部9や硬い
吸着面に接触すると被吸着物の表面に傷を付けてしまう
問題点を有していた。
【0004】そのため、例えば図2に示す如く、吸着パ
ッド5全体を通気性の良い柔らかな袋布地12で包み、
その上部を紐13を用いて支持筒3に結び付け、被吸着
物の表面が吸着パッドの凸部や硬い吸着面に接触しない
ようにしている。この場合、可撓性を有した吸着パッド
の柔軟片10と被吸着物15との間には該袋布地12が
介在しているため直接密着できず、被吸着物と柔軟片と
の間から空気漏れが生じて吸着パッド5の中心に設けた
負圧口8から供給される負圧が弱まる問題点を有してい
た。
ッド5全体を通気性の良い柔らかな袋布地12で包み、
その上部を紐13を用いて支持筒3に結び付け、被吸着
物の表面が吸着パッドの凸部や硬い吸着面に接触しない
ようにしている。この場合、可撓性を有した吸着パッド
の柔軟片10と被吸着物15との間には該袋布地12が
介在しているため直接密着できず、被吸着物と柔軟片と
の間から空気漏れが生じて吸着パッド5の中心に設けた
負圧口8から供給される負圧が弱まる問題点を有してい
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記したように、吸着
パッド5は硬質ゴム等で形成してあるが、該吸着パッド
の下面に被吸着物15を安定して保持させるには強度を
有した複数の凸部9を設け、吸着パッド5内に負圧通路
を設ける必要がある。しかし、該凸部9に被吸着物の表
面が直接接触しないように柔らかい袋布地12で吸着パ
ッド5全体を覆うと、該吸着パッドは袋布地を介して被
吸着物15を吸着するため必然的に吸着力が弱まり、そ
の分、容量が大きくて高価な真空ポンプPが必要であっ
た。その上、繰り返し吸着作業を行っていると、該袋布
地12が磨耗により擦り切れたり破損するので該袋布地
を交換するため作業を中断しなければならず作業性が悪
いという問題点を有していた。本発明は、吸着パッドの
下面に負圧を利用して被吸着物を保持させることを目的
とするものである。
パッド5は硬質ゴム等で形成してあるが、該吸着パッド
の下面に被吸着物15を安定して保持させるには強度を
有した複数の凸部9を設け、吸着パッド5内に負圧通路
を設ける必要がある。しかし、該凸部9に被吸着物の表
面が直接接触しないように柔らかい袋布地12で吸着パ
ッド5全体を覆うと、該吸着パッドは袋布地を介して被
吸着物15を吸着するため必然的に吸着力が弱まり、そ
の分、容量が大きくて高価な真空ポンプPが必要であっ
た。その上、繰り返し吸着作業を行っていると、該袋布
地12が磨耗により擦り切れたり破損するので該袋布地
を交換するため作業を中断しなければならず作業性が悪
いという問題点を有していた。本発明は、吸着パッドの
下面に負圧を利用して被吸着物を保持させることを目的
とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空ポンプの
負圧を利用して被吸着物を保持する吸着装置において、
吸着パッドの吸着面側に柔軟部材からなる保護シ−トを
着脱自在に装着させることを特徴とする。また、第2の
発明は、真空ポンプの負圧を利用して被吸着物を保持す
る吸着装置において、吸着パッドの吸着面側を柔軟部材
で形成したことを特徴とするものである。
負圧を利用して被吸着物を保持する吸着装置において、
吸着パッドの吸着面側に柔軟部材からなる保護シ−トを
着脱自在に装着させることを特徴とする。また、第2の
発明は、真空ポンプの負圧を利用して被吸着物を保持す
る吸着装置において、吸着パッドの吸着面側を柔軟部材
で形成したことを特徴とするものである。
【0007】吸着パットの吸着面側に柔軟部材からなる
保護シ−トを着脱自在に装着してあるから、被吸着物は
保護シ−トを介して吸着面に吸着するため、その表面に
傷をつけずに吸着保持することができる。さらに、保護
シ−トは着脱自在に装着してあるから破損すれば簡単に
新しい保護シ−トに交換することができる。また、吸着
パッドの吸着面側を柔軟部材で形成してあるので、被吸
着物の表面に傷を付けることなく保持することができ、
作業性が向上する。
保護シ−トを着脱自在に装着してあるから、被吸着物は
保護シ−トを介して吸着面に吸着するため、その表面に
傷をつけずに吸着保持することができる。さらに、保護
シ−トは着脱自在に装着してあるから破損すれば簡単に
新しい保護シ−トに交換することができる。また、吸着
パッドの吸着面側を柔軟部材で形成してあるので、被吸
着物の表面に傷を付けることなく保持することができ、
作業性が向上する。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
すると、図3、4において、吸着装置20は、一端を真
空ポンプPから延設された配管Hに接続させた保持筒体
21の他端に、被吸着物15を保持する吸着パッド30
を回動可能に取付けるため球状支持部22を設けてあ
る。23は球状支持部22の下半分を回動可能に保持す
る下部体で、中心部に収容穴24を設けてあり、25は
前記下部体と対をなして前記球状支持部22の上半分を
回動可能に収容する収容穴26を中心部に設けた上部体
で、この上部体25の収容穴26の内面には該球状支持
部を気密に保持するシ−ルリング27を収容してある。
また、下部体23と上部体25との間にシ−ルパッキン
29を装着して気密に密着させ、該下部体と上部体とで
構成した取付部28と吸着パッド30とを下方からボル
ト37で気密に固着してある。
すると、図3、4において、吸着装置20は、一端を真
空ポンプPから延設された配管Hに接続させた保持筒体
21の他端に、被吸着物15を保持する吸着パッド30
を回動可能に取付けるため球状支持部22を設けてあ
る。23は球状支持部22の下半分を回動可能に保持す
る下部体で、中心部に収容穴24を設けてあり、25は
前記下部体と対をなして前記球状支持部22の上半分を
回動可能に収容する収容穴26を中心部に設けた上部体
で、この上部体25の収容穴26の内面には該球状支持
部を気密に保持するシ−ルリング27を収容してある。
また、下部体23と上部体25との間にシ−ルパッキン
29を装着して気密に密着させ、該下部体と上部体とで
構成した取付部28と吸着パッド30とを下方からボル
ト37で気密に固着してある。
【0009】この吸着パッド30の上面には、径の異な
る2つの環状リブ38a、38bを夫々同心円状に設け
てあるから、パッキン等の余計な部品を必要とせずに取
付部28の下面に該吸着パッド30を当接させてボルト
37を締付ければ、取付部28と吸着パッド30を気密
に固着することができる。この場合、径の異なる環状リ
ブを該吸着パッド30の上面に一体に複数設けてあるの
で、該吸着パッドの径が多少大きくても余計な部品を必
要とせずに、該環状リブを介して気密に取付部28に固
定することができる。
る2つの環状リブ38a、38bを夫々同心円状に設け
てあるから、パッキン等の余計な部品を必要とせずに取
付部28の下面に該吸着パッド30を当接させてボルト
37を締付ければ、取付部28と吸着パッド30を気密
に固着することができる。この場合、径の異なる環状リ
ブを該吸着パッド30の上面に一体に複数設けてあるの
で、該吸着パッドの径が多少大きくても余計な部品を必
要とせずに、該環状リブを介して気密に取付部28に固
定することができる。
【0010】この吸着パッド30は、下面に設けた吸着
面31側の中心に前記保持筒体21を介して真空ポンプ
Pから延設された配管Hに連通する負圧口32を設け、
該吸着面31側には同心円状に複数の凸状部33、33
を任意の間隔に形成してある。この凸状部の間には被吸
着物15が吸着面31側に密着した際に負圧口32が閉
じないように夫々負圧通路33a(図5)を設け、さら
に、該凸状部33は被吸着物15を安定よく支持する機
能を有するものである。また、吸着パッド30の下部周
縁には、外部から空気が侵入するのを防ぐため先端を薄
肉状に形成して自由に変形できる柔軟部片34を設け、
該柔軟部片の内面に平坦面部35を有している。前記凸
状部33は放射状に形成してもよく、このように同心円
状および放射状の形状に限定されるものではない。
面31側の中心に前記保持筒体21を介して真空ポンプ
Pから延設された配管Hに連通する負圧口32を設け、
該吸着面31側には同心円状に複数の凸状部33、33
を任意の間隔に形成してある。この凸状部の間には被吸
着物15が吸着面31側に密着した際に負圧口32が閉
じないように夫々負圧通路33a(図5)を設け、さら
に、該凸状部33は被吸着物15を安定よく支持する機
能を有するものである。また、吸着パッド30の下部周
縁には、外部から空気が侵入するのを防ぐため先端を薄
肉状に形成して自由に変形できる柔軟部片34を設け、
該柔軟部片の内面に平坦面部35を有している。前記凸
状部33は放射状に形成してもよく、このように同心円
状および放射状の形状に限定されるものではない。
【0011】40は前記吸着パッドの下面に設けた吸着
面31側に形成した凸状部33の表面をカバ−するよう
に装着する保護シ−トで、ゴムスポンジ、軟質プラスチ
ック、発泡シ−トおよび布地などの柔軟部材で折曲自在
な薄板状に形成することにより安価に製造できる。この
保護シ−ト40は、吸着パッドの吸着面31側に装着す
るもので、その中心部に設けた通気用の吸引穴41によ
っては前記吸着パッドの負圧口32と連通するようにド
−ナツ状に形成されている。また、保護シ−トの外径は
吸着パッド30の外径よりも小さく形成されている。該
保護シ−ト40の片面複数個所、例えば3ケ所に両面接
着テ−プ等の接着片43により平坦面部35に着脱可能
に取付けられる。前記保護シ−ト40は通気性を有して
いれば円板状でもよい。
面31側に形成した凸状部33の表面をカバ−するよう
に装着する保護シ−トで、ゴムスポンジ、軟質プラスチ
ック、発泡シ−トおよび布地などの柔軟部材で折曲自在
な薄板状に形成することにより安価に製造できる。この
保護シ−ト40は、吸着パッドの吸着面31側に装着す
るもので、その中心部に設けた通気用の吸引穴41によ
っては前記吸着パッドの負圧口32と連通するようにド
−ナツ状に形成されている。また、保護シ−トの外径は
吸着パッド30の外径よりも小さく形成されている。該
保護シ−ト40の片面複数個所、例えば3ケ所に両面接
着テ−プ等の接着片43により平坦面部35に着脱可能
に取付けられる。前記保護シ−ト40は通気性を有して
いれば円板状でもよい。
【0012】他の実施例について説明すると、真空ポン
プの負圧を利用して被吸着物15を保持する吸着装置に
おいて、吸着パッドの吸着面側に着脱自在に装着される
保護シ−トは、柔軟部材からなり且つド−ナツ状に形成
され、その外径を吸着パッドの外径より小く形成させた
ことを特徴とするものである。
プの負圧を利用して被吸着物15を保持する吸着装置に
おいて、吸着パッドの吸着面側に着脱自在に装着される
保護シ−トは、柔軟部材からなり且つド−ナツ状に形成
され、その外径を吸着パッドの外径より小く形成させた
ことを特徴とするものである。
【0013】さらに、他の実施例について説明すると、
真空ポンプの負圧を利用して被吸着物15を保持する吸
着装置において、吸着パッドの吸着面側に形成した柔軟
部材を着脱自在に装着したことを特徴とするものであ
る。
真空ポンプの負圧を利用して被吸着物15を保持する吸
着装置において、吸着パッドの吸着面側に形成した柔軟
部材を着脱自在に装着したことを特徴とするものであ
る。
【0014】次に、本実施の形態の作用について説明す
ると、産業用ロボットまたは荷役装置(図示せず)に設
けられた吸着装置の保持筒体21の下端に回動可能に取
付けた取付部28の下面には、硬質ゴムや合成樹脂材等
の柔軟部材からなる吸着パッド30を取付けてボルト3
7で固定する。該吸着パッドを取付けた取付部28は保
持筒体21の下部に回動可能に取付けてあるから、たと
え、被吸着物15が傾斜して載置されていても該吸着パ
ッド30を傾斜させて確実に吸着保持することができ
る。
ると、産業用ロボットまたは荷役装置(図示せず)に設
けられた吸着装置の保持筒体21の下端に回動可能に取
付けた取付部28の下面には、硬質ゴムや合成樹脂材等
の柔軟部材からなる吸着パッド30を取付けてボルト3
7で固定する。該吸着パッドを取付けた取付部28は保
持筒体21の下部に回動可能に取付けてあるから、たと
え、被吸着物15が傾斜して載置されていても該吸着パ
ッド30を傾斜させて確実に吸着保持することができ
る。
【0015】吸着パッド30の下面周囲に設けた柔軟部
片34は柔軟性を有しているので被吸着物15の表面に
密着し、保持筒体21と負圧口32と吸引穴41とを介
して該吸着パッド内を減圧させて被吸着物15を下面に
吸着保持する。この場合、該吸着パッドの下部周縁に設
けた柔軟部材34は被吸着物15の表面に密着し、外部
からの空気の侵入を防ぐため真空ポンプPからの負圧に
より吸着パッド内を減圧して負圧を高めることができ
る。
片34は柔軟性を有しているので被吸着物15の表面に
密着し、保持筒体21と負圧口32と吸引穴41とを介
して該吸着パッド内を減圧させて被吸着物15を下面に
吸着保持する。この場合、該吸着パッドの下部周縁に設
けた柔軟部材34は被吸着物15の表面に密着し、外部
からの空気の侵入を防ぐため真空ポンプPからの負圧に
より吸着パッド内を減圧して負圧を高めることができ
る。
【0016】ブラウン管や光学部品など表面に傷が付く
のを嫌う被吸着物15の場合は、該吸着パッドの凸状部
33、33や硬い部分が被吸着物15の表面に接触する
と、該表面に傷が付いて不良品を発生させてしまうおそ
れがある。そのため、図3に示すように、被吸着物15
の表面をカバ−するように吸着パッド30の下面に保護
シ−ト40を装着させてある。
のを嫌う被吸着物15の場合は、該吸着パッドの凸状部
33、33や硬い部分が被吸着物15の表面に接触する
と、該表面に傷が付いて不良品を発生させてしまうおそ
れがある。そのため、図3に示すように、被吸着物15
の表面をカバ−するように吸着パッド30の下面に保護
シ−ト40を装着させてある。
【0017】この保護シ−ト40の周縁部分に一定間隔
毎に接着させた複数の両面接着テ−プ等を、前記平坦面
部35に接着させて吸着パッド30の下面を保護シ−ト
40で被ってある。この場合、柔軟部片34は被吸着物
15の表面の形状により平坦面部35が変形すると、保
護シ−ト40も柔軟部材で形成してあるから自由に変形
することができる。そのため、ブラウン管等の曲面から
なる表面を有した被吸着物15でも確実に吸着パッド3
0に吸着させることができる。
毎に接着させた複数の両面接着テ−プ等を、前記平坦面
部35に接着させて吸着パッド30の下面を保護シ−ト
40で被ってある。この場合、柔軟部片34は被吸着物
15の表面の形状により平坦面部35が変形すると、保
護シ−ト40も柔軟部材で形成してあるから自由に変形
することができる。そのため、ブラウン管等の曲面から
なる表面を有した被吸着物15でも確実に吸着パッド3
0に吸着させることができる。
【0018】この保護シ−ト40は繰り返し使用するこ
とにより磨耗して擦り切れたり破れたりした場合に、着
脱自在としたので容易に交換することができる。なお、
本実施の形態においては、両面接着テ−プを用いて保護
シ−トを取付けているが、その他、剥がれやすい接着剤
または平面ファスナ−等の公知の手段で取付けることは
勿論可能である。
とにより磨耗して擦り切れたり破れたりした場合に、着
脱自在としたので容易に交換することができる。なお、
本実施の形態においては、両面接着テ−プを用いて保護
シ−トを取付けているが、その他、剥がれやすい接着剤
または平面ファスナ−等の公知の手段で取付けることは
勿論可能である。
【0019】第2の発明の実施の形態について説明する
と、図6において、被吸着物15を保持する吸着パッド
50は、上側に位置する装置取付部側を合成ゴムや合成
樹脂材などの硬質部材51で形成し、該吸着パッドの下
側の吸着面側を合成ゴムや合成樹脂材等からなる軟質部
材53で形成してある。この吸着面側には、前記硬質部
材51で形成して同心円状に一定間隔毎に複数の凸状部
52を突出させて設けてある。さらに、該吸着パッドの
吸着面の表面を軟質部材53で形成してあるが、前記凸
状部52の外面には薄膜状に前記軟質部材53で被って
前記硬質部材と一体または着脱可能に形成してあり、被
吸着物15の表面に傷を付けないようにしている。
と、図6において、被吸着物15を保持する吸着パッド
50は、上側に位置する装置取付部側を合成ゴムや合成
樹脂材などの硬質部材51で形成し、該吸着パッドの下
側の吸着面側を合成ゴムや合成樹脂材等からなる軟質部
材53で形成してある。この吸着面側には、前記硬質部
材51で形成して同心円状に一定間隔毎に複数の凸状部
52を突出させて設けてある。さらに、該吸着パッドの
吸着面の表面を軟質部材53で形成してあるが、前記凸
状部52の外面には薄膜状に前記軟質部材53で被って
前記硬質部材と一体または着脱可能に形成してあり、被
吸着物15の表面に傷を付けないようにしている。
【0020】吸着パッド50の下面は軟質部材53で被
ってあるため、被吸着物15の表面に該吸着面が接触し
ても表面に傷をつけることがない。また、吸着面は全て
軟質部材53で被われているが、該吸着面を全て軟質部
材53のみで形成すると、被吸着物を安定良く吸着保持
することができないので、該吸着面側には同心円状また
は放射状に硬質部材で形成した複数の凸状部52を設け
てあり、該凸状部の表面を軟質部材で被って形成してあ
るため、被吸着物15は表面全体に薄く形成した前記凸
状部52により安定して吸着保持することができ、且
つ、該軟質部材によって被吸着物15に傷を付けること
がない。また、吸着パット50全体を硬質部材51で形
成し、同心円状に一定間隔毎に複数の凸状部52のみに
軟質部材53を一体または着脱自在に形成してもよい。
ってあるため、被吸着物15の表面に該吸着面が接触し
ても表面に傷をつけることがない。また、吸着面は全て
軟質部材53で被われているが、該吸着面を全て軟質部
材53のみで形成すると、被吸着物を安定良く吸着保持
することができないので、該吸着面側には同心円状また
は放射状に硬質部材で形成した複数の凸状部52を設け
てあり、該凸状部の表面を軟質部材で被って形成してあ
るため、被吸着物15は表面全体に薄く形成した前記凸
状部52により安定して吸着保持することができ、且
つ、該軟質部材によって被吸着物15に傷を付けること
がない。また、吸着パット50全体を硬質部材51で形
成し、同心円状に一定間隔毎に複数の凸状部52のみに
軟質部材53を一体または着脱自在に形成してもよい。
【0021】第2の発明に係る吸着面は、柔軟部材から
なる保護シ−ト等を着脱させる必要がなく、吸着保持作
業を連続して行うことができるので作業性が一段と向上
するものである。
なる保護シ−ト等を着脱させる必要がなく、吸着保持作
業を連続して行うことができるので作業性が一段と向上
するものである。
【0022】
【発明の効果】本発明は、以下のような効果を有してい
る。第1の発明は、吸着パッドの下面に柔軟部材からな
る保護シ−トを着脱可能に取付けてあるので、表面に傷
が付くのを嫌がるブラウン管などの被吸着物の表面が、
たとえ前記吸着パッドの固い部分に接触しても被吸着物
の表面に傷がつくことはない。また、簡単に吸着パッド
の内面に取付けることができるので、破損した場合には
新たな保護シ−トと簡単に交換することができるほか、
保護シ−トを安価に製造することができる。第2の発明
に係る吸着パッドは、下側を軟質部材で形成したため、
該吸着面に被吸着物の表面を接触させても傷がつくこと
がなく、製品の歩留まりを高めることができるし、作業
性を向上させることができる。
る。第1の発明は、吸着パッドの下面に柔軟部材からな
る保護シ−トを着脱可能に取付けてあるので、表面に傷
が付くのを嫌がるブラウン管などの被吸着物の表面が、
たとえ前記吸着パッドの固い部分に接触しても被吸着物
の表面に傷がつくことはない。また、簡単に吸着パッド
の内面に取付けることができるので、破損した場合には
新たな保護シ−トと簡単に交換することができるほか、
保護シ−トを安価に製造することができる。第2の発明
に係る吸着パッドは、下側を軟質部材で形成したため、
該吸着面に被吸着物の表面を接触させても傷がつくこと
がなく、製品の歩留まりを高めることができるし、作業
性を向上させることができる。
【図1】従来の吸着装置で被吸着物であるブラウン管を
吸着保持させた状態の要部断面図である。
吸着保持させた状態の要部断面図である。
【図2】被吸着物であるブラウン管の表面への傷付きを
防止する従来例を示した説明図である。
防止する従来例を示した説明図である。
【図3】本発明にかかる吸着装置の要部断面図である。
【図4】被吸着物であるブラウン管の表面に吸着保持さ
せた状態の吸着パッドの断面図である。
せた状態の吸着パッドの断面図である。
【図5】吸着パッドの吸着面から保護シ−トを取外した
分解状態の斜視図である。
分解状態の斜視図である。
【図6】他の発明にかかる吸着装置の吸着パッドの断面
図である。
図である。
15 被吸着物 20 吸着装置 30 吸着パッド 33 凸状部 40 保護シ−ト 43 両面接着テ−プ 50 吸着装置 51 硬質部材 52 凸状部 54 軟質部材
Claims (2)
- 【請求項1】 真空ポンプの負圧を利用して被吸着物を
保持する吸着装置において、吸着パッドの吸着面側に柔
軟部材からなる保護シ−トを着脱自在に装着したことを
特徴とする吸着装置。 - 【請求項2】 真空ポンプの負圧を利用して被吸着物を
保持する吸着装置において、吸着パッドの吸着面側を柔
軟部材で形成したことを特徴とする吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1768297A JPH10205519A (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | 吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1768297A JPH10205519A (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | 吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10205519A true JPH10205519A (ja) | 1998-08-04 |
Family
ID=11950620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1768297A Withdrawn JPH10205519A (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | 吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10205519A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1997
- 1997-01-17 JP JP1768297A patent/JPH10205519A/ja not_active Withdrawn
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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