JPH10202576A - Linear motion type robot and air purge unit - Google Patents
Linear motion type robot and air purge unitInfo
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- JPH10202576A JPH10202576A JP1761897A JP1761897A JPH10202576A JP H10202576 A JPH10202576 A JP H10202576A JP 1761897 A JP1761897 A JP 1761897A JP 1761897 A JP1761897 A JP 1761897A JP H10202576 A JPH10202576 A JP H10202576A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、直方体状のフレーム上
を直線に移動するスライダを有する産業用ロボットであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an industrial robot having a slider which moves linearly on a rectangular parallelepiped frame.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、直方体状のフレーム内部にボ
ールネジを設け、このボールネジに沿ってスライダが移
動する直線移動型ロボットがある。このロボットを駆動
することにより、微細な塵が発生したり、また、グリス
の飛散や摺動部の温度上昇によりわずかではあるがグリ
スが揮発したりしている。2. Description of the Related Art Conventionally, there is a linearly movable robot in which a ball screw is provided inside a rectangular parallelepiped frame, and a slider moves along the ball screw. By driving the robot, fine dust is generated, and grease is volatilized to a small extent due to scattering of grease and an increase in the temperature of the sliding portion.
【０００３】これらの現象は、一般の工場で使用する場
合には、特に問題にならないが、クリーンルームなど塵
を極端に嫌う室内で使用する場合には問題になってく
る。[0003] These phenomena are not particularly problematic when used in a general factory, but become problematic when used in a room where dust is extremely disliked, such as a clean room.
【０００４】また、クリーン度の低い室内の場合、室内
の塵がロボット内に侵入し、この塵が摺動部に付着して
摺動部が磨耗することによりこの箇所にガタが生じロボ
ットの精度が落ちてくる。In a room with a low degree of cleanliness, dust in the room enters the robot, and the dust adheres to the sliding portion and wears the sliding portion, thereby causing play in this portion and causing the robot to lose accuracy. Falls.
【０００５】以上の理由により、フレーム内にダクトを
配設し、このダクトの孔より塵やガスなどを吸引する方
式、或いは、より簡便な方法として、フレームの底面や
側面に複数の孔を設け、この孔よりフレーム内の空気を
吸引する方式がとられている。[0005] For the above reasons, a duct is provided in a frame and dust or gas is sucked through holes of the duct. Alternatively, as a simpler method, a plurality of holes are provided on the bottom and side surfaces of the frame. The air in the frame is sucked through the holes.
【０００６】従来例の一例を５図に示す。この図を用い
て説明すれば、このロボット１ｂはフレーム３ｂ内にダ
クト１３が備えられている。このダクト１３は、ボール
ネジ４に平行で、かつ、スライダ（図示していない）が
移動しても接触しない位置に配設されている。そして、
このダクト１３の一端はダクト接続部材２６と接続され
ている。FIG. 5 shows an example of a conventional example. Explaining with reference to this figure, this robot 1b is provided with a duct 13 in a frame 3b. The duct 13 is disposed at a position parallel to the ball screw 4 and not in contact with the slider (not shown) even when the slider 13 moves. And
One end of the duct 13 is connected to a duct connection member 26.
【０００７】この様な構成において、前記接続部材２６
を吸引装置に接続し、吸引することにより、フレーム内
の塵やガス等がダクト１３に設けられた孔２７より吸引
されフレーム内が浄化される。In such a configuration, the connecting member 26
Is connected to a suction device, and suction is performed, so that dust, gas, and the like in the frame are sucked through holes 27 provided in the duct 13 to purify the inside of the frame.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記の様な構成のロボ
ットは、ダクトを収納するためのスペースが新たに必要
であり、この分だけフレームのサイズが大きくなる。ま
た、ボールネジと平行にダクトを配置することになるの
で、ボールネジの反ダクト側にある塵やガスは吸引しに
くいという問題がある。これを解決するためには、ダク
トを両側に配置すればよいが、しかし、このようにする
とフレームのサイズがさらに大きくなる。The robot having the above-described structure requires a new space for accommodating the duct, and the size of the frame is increased accordingly. In addition, since the duct is arranged in parallel with the ball screw, there is a problem that dust and gas on the side opposite to the duct of the ball screw are difficult to be sucked. In order to solve this, the ducts may be arranged on both sides, but this increases the size of the frame.
【０００９】また、フレームの下部などに孔を形成して
吸引する方法は吸引効率が悪く、かつ、ダクト接続部材
を多数配設しなければならず接続が大変であり、さら
に、複数箇所より吸引するため広いスペースが必要であ
るなどの問題がある。また、標準ロボットを設置した後
に用途変更などにより、このロボットを吸塵機構付きに
改造する場合、組み立てたままでの孔明加工が大変であ
り、さらに、孔明けにより切粉がフレーム内に入り、そ
のまま残留する恐れがあるなどの問題があった。Further, the method of forming a hole in the lower portion of the frame and sucking the suction is inferior in suction efficiency, requires a large number of duct connecting members to be connected, and is difficult to connect. There is a problem that a large space is required for the operation. In addition, if the robot is modified with a dust-absorbing mechanism after installation of the standard robot, such as by changing the application, it is difficult to perform drilling while assembling, and further, chips may enter the frame due to drilling and remain as it is. There was a problem that there was a risk of doing so.
【００１０】本発明は、この様な事情を鑑みてなされた
ものであり、フレーム内にエアパージユニットの装着を
容易にし、かつ、フレームのサイズを小さくすることが
でき、さらに、フレーム内の塵やガスを効率よく吸引す
ることができる直線移動型ロボットを提供することを課
題としている。[0010] The present invention has been made in view of such circumstances, and makes it easy to mount an air purge unit in a frame, and can reduce the size of the frame. It is an object of the present invention to provide a linear moving robot capable of efficiently sucking gas.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の発明
は、ロボットの外殻であり、断面略Ｕ字状をした直方体
で内側面にエアパージユニット装着用の溝を成形したフ
レームと、前記フレームの一端部から他端部まで移動方
向に沿って設けられたボールネジと、前記ボールネジに
より前記フレームの長手方向に沿って直線移動するスラ
イダと、前記フレームの一端部に設られボールネジと連
結している駆動用モータと、前記駆動用モータを制御す
る制御部とからとから構成することにより、エアパージ
をフレームの一側面または両側面へ装着することが容易
にあり、かつ、従来よりもフレームのサイズを小型化す
ることができ課題を解決している。According to a first aspect of the present invention, there is provided a robot having an outer shell, a frame having a substantially U-shaped cross section and a groove for mounting an air purge unit formed on an inner surface thereof; A ball screw provided along the moving direction from one end to the other end of the frame, a slider linearly moved along the longitudinal direction of the frame by the ball screw, and a ball screw provided at one end of the frame; Drive motor and a control unit for controlling the drive motor, the air purge can be easily mounted on one or both sides of the frame, and the frame can be more easily mounted than before. The problem can be solved because the size can be reduced.
【００１２】請求項２の発明は、エアパージユニットを
請求項１のロボットのフレームの溝に装着可能な形状に
することにより、フレームへのエアパージユニットの装
着が容易になり課題を解決している。According to a second aspect of the present invention, the air purging unit is formed in a shape that can be mounted in the groove of the frame of the robot according to the first aspect.
【００１３】請求項３の発明は、請求項１記載のロボッ
トのフレームに形成された溝部に請求項２記載のエアパ
ージユニットを装着することにより、装着が容易で、従
来よりもフレームのサイズが小型化され、かつ、フレー
ム内の空気の吸引効率を良くすることができ課題を解決
している。According to a third aspect of the present invention, by mounting the air purge unit according to the second aspect in the groove formed in the frame of the robot according to the first aspect, the mounting is easy, and the size of the frame is smaller than that of the prior art. In addition, it is possible to improve the efficiency of sucking air in the frame, thereby solving the problem.
【００１４】[0014]
【作用】組立時にフレームに形成された溝にエアパージ
ユニットを挿入することにより、このユニットは容易に
フレームに保持される。By inserting the air purge unit into the groove formed in the frame during assembly, the unit is easily held on the frame.
【００１５】また、設置場所において、ロボットに新た
にエアパージユニットを取り付ける場合は、フレームに
締着された側板を外すか、または、この側板に形成され
た孔よりエアパージユニットをフレームに形成された溝
に挿入することによりこのユニットが保持される。When a new air purge unit is to be attached to the robot at the installation location, the side plate fastened to the frame is removed, or the air purge unit is formed in a groove formed in the frame through a hole formed in the side plate. This unit is retained by inserting it into
【００１６】このエアパージユニットを外部ダクト及び
吸引装置と接続し、そして、ロボットの電源を投入する
と同時に吸引装置の電源を投入することにより、フレー
ム内の塵やガスの混入している空気がエアパージユニッ
トに設けられた孔より吸引され、吸引装置に導かれる。
この吸引によりフレーム内が浄化される。By connecting the air purge unit to an external duct and a suction device, and turning on the power of the robot and the power of the suction device at the same time, the air containing dust and gas in the frame is removed from the air purge unit. Is sucked through the hole provided in the suction device and guided to the suction device.
This suction purifies the inside of the frame.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明の一実施例である直線移動型ロ
ボットについて、図１〜図４に基づいて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A linear moving robot according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１８】図１は本発明の一実施例を示す直線移動型
ロボットの断面図であり、図２はエアパージ用チューブ
の斜視図であり、図３はエアパージユニットの平面図で
あり、図４は本発明の一実施例を示す直線移動型ロボッ
トの斜視図である。FIG. 1 is a sectional view of a linearly movable robot showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of an air purge tube, FIG. 3 is a plan view of an air purge unit, and FIG. FIG. 1 is a perspective view of a linearly movable robot showing one embodiment of the present invention.
【００１９】符号１は本実施例の直線移動型ロボットで
あり、直方体状のフレーム３の上面及び内部を、その長
手方向である左右にスライダ２が移動する。Reference numeral 1 denotes a linearly movable robot according to the present embodiment, in which a slider 2 moves on the upper surface and inside of a rectangular parallelepiped frame 3 in the longitudinal direction thereof, left and right.
【００２０】フレーム３には、軸受１５を介してボール
ネジ４の端部及び端部近傍が回転自在に支持されてい
る。そして、フレーム３の両側面にはエアパージユニッ
ト７を装着することができる溝６が形成されている。ま
た、フレーム３の外殻には、複数個のＴ溝が形成され、
さらに、フレーム３の両端面には側板２８、２９が設け
られており、フレーム３の中ほどに支持板３０が設けら
れている。The end of the ball screw 4 and the vicinity of the end are rotatably supported on the frame 3 via a bearing 15. Further, grooves 6 on which air purge units 7 can be mounted are formed on both side surfaces of the frame 3. Also, a plurality of T-grooves are formed in the outer shell of the frame 3,
Further, side plates 28 and 29 are provided on both end surfaces of the frame 3, and a support plate 30 is provided in the middle of the frame 3.
【００２１】ボールネジ４は側板Ａ２８及び支持板３０
に軸受１５を介して保持されている。そして、このボー
ルネジ４にはスライダ２に固定されたボールナット１９
が螺合されており、また、このスライダ２はフレーム３
の内側底面に固定されているレール１７と接触部１６で
接している。The ball screw 4 includes a side plate A28 and a support plate 30.
Is held via a bearing 15. The ball screw 4 has a ball nut 19 fixed to the slider 2.
The slider 2 is mounted on the frame 3
The contact portion 16 is in contact with a rail 17 fixed to the inner bottom surface of the contact.
【００２２】符号５はフレーム３の左端部に内蔵された
駆動用モータである。このモータ５の回転軸には、カッ
プリング２１を介してボールネジ４が連結されている。
なお、このモータ５は制御部２０により回転方向及び回
転数が制御されている。Reference numeral 5 denotes a driving motor built in the left end of the frame 3. The ball screw 4 is connected to the rotation shaft of the motor 5 via a coupling 21.
The rotation direction and the number of rotations of the motor 5 are controlled by the control unit 20.
【００２３】符号７はエアパージユニットであり、この
ユニット７はエアパージ用チューブ８とエアチューブ９
と先端キャップ１２とから構成されている。このエアパ
ージ用チューブ８には中空のエア用孔１１が形成されて
おり、そして、このチューブ８の外殻には複数個の吸引
口１０が設けられ、エア用孔１１と連通している。ま
た、外殻には突出部１３が形成されている。そして、こ
のユニット７は、フレーム３に形成された溝６への着脱
が容易な形状に形成されており、また、このエアチュー
ブ９は吸引装置（図示されていない）に接続されてい
る。Reference numeral 7 denotes an air purge unit. This unit 7 includes an air purge tube 8 and an air tube 9.
And a tip cap 12. A hollow air hole 11 is formed in the air purge tube 8, and a plurality of suction ports 10 are provided in an outer shell of the tube 8 and communicate with the air hole 11. Further, a protruding portion 13 is formed on the outer shell. The unit 7 is formed in a shape that can be easily attached to and detached from the groove 6 formed in the frame 3, and the air tube 9 is connected to a suction device (not shown).
【００２４】符号１４はカバーである。このカバー１４
はフレーム３、スライダ２の中央部及びモータ５の上面
を覆っている。Reference numeral 14 denotes a cover. This cover 14
Covers the center of the frame 3, the slider 2 and the upper surface of the motor 5.
【００２５】この様な構成において、直線移動型ロボッ
ト１の組立及び使用状態について説明する。The assembling and use state of the linearly movable robot 1 having such a configuration will be described.
【００２６】最初に組立について説明すれば、フレーム
３にエアパージユニット７装着用の溝６を形成し、か
つ、この溝６に合った形状のエアパージ用チューブ８を
つくることにより、組立時にはこの溝６にエアパージユ
ニット７を挿入するだけでこのユニット７を保持するこ
とができ、組立が大変容易である。First, assembling will be described. A groove 6 for mounting the air purge unit 7 is formed in the frame 3 and an air purge tube 8 having a shape corresponding to the groove 6 is formed. The unit 7 can be held simply by inserting the air purge unit 7 into the device, and assembly is very easy.
【００２７】また、ロボットを設置後にエアパージユニ
ット７をこのロボットに新たに取り付ける場合には、フ
レーム３に締着された側板を外すか、或いは、この側板
に形成された孔よりこのユニット７をフレーム３に形成
された溝６に挿入することにより容易に装着することが
できる。When the air purge unit 7 is newly attached to the robot after the robot is installed, the side plate fastened to the frame 3 is removed, or the unit 7 is attached to the frame through a hole formed in the side plate. 3 can be easily mounted by inserting it into the groove 6 formed therein.
【００２８】なお、一実施例では溝６の形状が判るよう
にエアパージユニット７をフレーム３の片側だけに設け
てあるが、職場のクリーン度、ロボットの精度及び経済
性などユーザーの希望に応じて両側、または、底面部を
含めた３箇所に設けてもよい、但し、３箇所に設ける場
合にはフレーム、スライダ及びレールを一実施例とは異
なる形状にしなければならないことは申すまでもない。In the embodiment, the air purge unit 7 is provided only on one side of the frame 3 so that the shape of the groove 6 can be understood. It may be provided at both sides or at three places including the bottom part. However, when provided at three places, it is needless to say that the frame, the slider and the rail must be formed in a shape different from that of the embodiment.
【００２９】そして、一実施例のエアパージ用チューブ
８は略六角形に形成されているが、このチューブ８の形
状を四角形、楕円形或いは異形の形状にしてもよく、さ
らに、実施例では、エアパージ用チューブ８は溝６内に
装着されているが、この溝６から一部がフレーム３内に
はみ出していてもよい。Although the air purging tube 8 of one embodiment is formed in a substantially hexagonal shape, the shape of the tube 8 may be square, elliptical or irregular. The tube 8 is mounted in the groove 6, but a part of the tube may protrude into the frame 3 from the groove 6.
【００３０】さらに、エアパージ用チューブ８の外部に
略Ｔ状の突出部を形成し、この突出部を溝６に挿入して
エアパージユニット７を保持した構成でもよい。この様
な構成にすることにより、溝６を小さくすることが可能
になり、かつ、エアパージ用チューブ８の大きさ及び形
状の自由度が高くなる。Further, a configuration may be employed in which a substantially T-shaped projection is formed outside the air purge tube 8 and this projection is inserted into the groove 6 to hold the air purge unit 7. With such a configuration, the groove 6 can be reduced, and the degree of freedom of the size and shape of the air purge tube 8 increases.
【００３１】また、この実施例では突出部１３を形成し
た形状になっているが、溝６内でこのチューブ８が安定
していれば突出部１３のない形状のものでもよい。In this embodiment, the projection 13 is formed. However, if the tube 8 is stable in the groove 6, a shape without the projection 13 may be used.
【００３２】フレーム３の両端面には側板２８、２９が
設けられているが、この側板２８、２９の一方または両
方にエアチューブ９を通すための孔が設けられている。
この孔を大きく形成するすることにより側板２９をフレ
ーム３より外すことなく、エアパージユニット７を着脱
することが可能になる。従って、ロボットを設置後に新
たにエアパージユニット７を装着する可能性がある場合
には、この孔を大きく形成することにより、側板２９を
外すことなく容易にエアパージユニット８を装着するこ
とができる。Side plates 28 and 29 are provided on both end surfaces of the frame 3, and one or both of the side plates 28 and 29 are provided with holes for passing the air tubes 9.
By making this hole large, the air purge unit 7 can be attached and detached without removing the side plate 29 from the frame 3. Therefore, if there is a possibility that the air purge unit 7 may be newly installed after the robot is installed, the air purge unit 8 can be easily installed without removing the side plate 29 by making this hole large.
【００３３】次に、使用状態について説明すれば、工場
内には塵が浮遊しており、この塵がロボット１のフレー
ム３内に侵入してくる。また、クリーンルーム内におい
て使用するときには、フレーム３内で発生した塵やグリ
スの昇温により発生した気化ガスなどによりフレーム３
内の空気が汚染される。Next, the use state will be described. Dust floats in the factory, and the dust enters the frame 3 of the robot 1. When used in a clean room, the dust generated in the frame 3 or the vaporized gas generated by the temperature rise of the grease causes the flame 3.
The air inside is contaminated.
【００３４】この様な状況において、ロボット１の電源
を投入することにより、吸引装置の電源が同時に投入さ
れる。この吸引装置が作動することにより、フレーム３
内の塵や気化ガスを含んだ空気がエアパージ用チューブ
８に設けられた吸引口１０より吸入され、エア用孔１１
及びエアチューブ９を経由し吸引装置に導かれ、フレー
ム３内の空気が浄化される。従って、フレーム内の塵や
気化ガスの屋内への拡散や、摺動部への付着などを防止
することができる。In such a situation, when the power of the robot 1 is turned on, the power of the suction device is simultaneously turned on. By operating this suction device, the frame 3
Air containing dust and vaporized gas is sucked from a suction port 10 provided in an air purge tube 8, and an air hole 11 is formed.
The air in the frame 3 is purified through the air tube 9 and the suction device. Therefore, it is possible to prevent dust and vaporized gas in the frame from diffusing indoors and from sticking to sliding parts.
【００３５】また、制御部２０で制御されている駆動用
モータ５の回転によりボールネジ４が回され、この回転
によりボールネジ４と螺合しているボールナット１９及
びスライダ２が直線運動をする。The ball screw 4 is rotated by the rotation of the driving motor 5 controlled by the control unit 20, and the ball nut 19 and the slider 2 screwed with the ball screw 4 make a linear motion by this rotation.
【００３６】ロボットをこの様な構成にすることによ
り、エアパージユニット７をフレーム３の一側面または
両側面へ装着するときに機械加工（タップ加工など）な
どの追加加工が不要なので、設置後にユーザーがこのユ
ニット７容易に取付けることができ、そして、従来より
もフレーム３のサイズを小型化することがでる。さら
に、フレーム３内の塵やガスを含有した空気を効率よく
吸引することができ、また、エアパージユニット７をフ
レーム３の両側面に収納することができるのでフレーム
３内の空気を左右よりほぼ均一に吸引することができる
など多くの利点のある直線移動型ロボットである。With the robot having such a configuration, when the air purge unit 7 is mounted on one side or both sides of the frame 3, no additional processing such as machining (tapping) is required. The unit 7 can be easily mounted, and the size of the frame 3 can be reduced more than before. Further, the air containing dust and gas in the frame 3 can be efficiently sucked, and the air purge unit 7 can be housed on both side surfaces of the frame 3 so that the air in the frame 3 is made more uniform than the left and right. It is a linear mobile robot that has many advantages such as being able to suck into the robot.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上により、本発明の直線移動型ロボッ
トは、フレーム内にエアパージユニット装着用の溝を形
成し、かつ、この溝に合ったエアパージユニットを装着
することにより、このユニットのフレームへの装着が容
易であり、かつ、ロボットが小型化され、さらに、吸塵
効率の高いロボットである。As described above, the linear moving robot of the present invention forms a groove for mounting an air purge unit in a frame, and mounts an air purge unit matching the groove to the frame of the unit. The robot can be easily mounted, the robot can be downsized, and the dust collection efficiency is high.
【００３８】[0038]
【図１】本発明の一実施例を示す直線移動型ロボットの
断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a linearly movable robot showing one embodiment of the present invention.
【図２】エアパージ用チューブの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of an air purge tube.
【図３】エアパージユニットの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the air purge unit.
【図４】本発明の一実施例を示す直線移動型ロボットの
斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a linearly movable robot showing one embodiment of the present invention.
【図５】従来の直線移動型ロボットの部分断面図であ
る。FIG. 5 is a partial sectional view of a conventional linear movement robot.
１、１ｂ・・・直線移動型ロボット ２・・・・・・スライダ ３・・・・・・フレーム ４・・・・・・ボールネジ ５・・・・・・駆動用モータ ６・・・・・・溝 ７・・・・・・エアパージユニット ８・・・・・・エアパージ用チューブ ９・・・・・・エアチューブ １０・・・・・・吸引口 １１・・・・・・エア用孔 １２・・・・・・先端キャップ １３・・・・・・突出部 １４・・・・・・カバー ２５・・・・・・ダクト ２７・・・・・・孔 1, 1b ... linear movement type robot 2 ... slider 3 ... frame 4 ... ball screw 5 ... drive motor 6 ... -Groove 7-Air purge unit 8-Air purge tube 9-Air tube 10-Suction port 11-Air hole 12・ ・ ・ ・ ・ ・ End cap 13 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Protrusion 14 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Cover 25 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Duct 27 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Hole
Claims (3)
た直方体で内側面にエアパージユニット装着用の溝を成
形したフレームと、 前記フレームの一端部から他端部まで移動方向に沿って
設けられたボールネジと、 前記ボールネジにより前記フレームの長手方向に沿って
直線移動するスライダと、 前記フレームの一端部に設られ、ボールネジと連結して
いる駆動用モータと、 前記駆動用モータを制御する制御部とからなることを特
徴とする直線移動型ロボット。1. A frame, which is an outer shell of a robot, is a rectangular parallelepiped having a substantially U-shaped cross section, and has an inner surface formed with a groove for mounting an air purge unit, and a moving direction from one end to the other end of the frame. A ball screw provided in the frame, a slider linearly moved along the longitudinal direction of the frame by the ball screw, a driving motor provided at one end of the frame and connected to the ball screw, and controlling the driving motor A linear moving robot, comprising:
可能な形状をしたエアパージユニット。2. The air purge unit according to claim 1, wherein said air purge unit is mounted in a groove of the frame of the robot.
た溝部に請求項２のエアパージユニットを装着したこと
を特徴とする直線移動型ロボット。3. The robot according to claim 1, wherein the air purge unit according to claim 2 is mounted in a groove formed in a frame of the robot.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1761897A JPH10202576A (en) | 1997-01-14 | 1997-01-14 | Linear motion type robot and air purge unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1761897A JPH10202576A (en) | 1997-01-14 | 1997-01-14 | Linear motion type robot and air purge unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202576A true JPH10202576A (en) | 1998-08-04 |
Family
ID=11948875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1761897A Pending JPH10202576A (en) | 1997-01-14 | 1997-01-14 | Linear motion type robot and air purge unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10202576A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020175203A1 (en) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | オムロン株式会社 | Air purge unit |
-
1997
- 1997-01-14 JP JP1761897A patent/JPH10202576A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020175203A1 (en) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | オムロン株式会社 | Air purge unit |
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