JP6448572B2 - Fan filter unit - Google Patents

Description

本発明は、ファンフィルタユニットに関する。   The present invention relates to a fan filter unit.

清浄環境を必要とする精密電子機器、食品・医療製品等の製造工程では、クリーンルームやクリーンブースが使用される。クリーンルームやクリーンブースにおいては、内部（室内）を清浄環境とするために、浄化した空気を室内に供給するファンフィルタユニット（給気型ファンフィルタユニット）が用いられる。
また、これとは逆に室内の塵埃や汚染ガスを除去し、空気を浄化して外に排出するファンフィルタユニット（排気型ファンフィルタユニット）も存在する。
ファンフィルタユニットは、例えばクリーンブースの天板に配設され空気の排出や供給を行う（例えば、特許文献１参照）。 Clean rooms and clean booths are used in the manufacturing process of precision electronic equipment, food and medical products that require a clean environment. In a clean room or a clean booth, a fan filter unit (air supply type fan filter unit) that supplies purified air to the room is used to make the inside (indoor) a clean environment.
On the contrary, there is also a fan filter unit (exhaust type fan filter unit) that removes dust and polluting gas in the room, purifies the air, and discharges it outside.
The fan filter unit is disposed on, for example, a top panel of a clean booth and discharges and supplies air (see, for example, Patent Document 1).

特開２００７−１５５２０５号公報JP 2007-155205 A

ところで、従来のファンフィルタユニットは、室内を向く面と室外を向く面とが決まっているので、給気型または排気型ファンフィルタユニットは、それぞれ給気用または排気用としてしか使用することができなかった。   By the way, since the conventional fan filter unit has a surface facing indoors and a surface facing outdoor, the air supply type or exhaust type fan filter unit can be used only for air supply or exhaust, respectively. There wasn't.

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、給気型および排気型として使用できるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a fan filter unit that can be used as an air supply type and an exhaust type.

前記目的を達成するために、本発明のファンフィルタユニットは、
ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention comprises:
A fan filter unit comprising: a fan filter unit main body; and an installation unit for installing the fan filter unit main body at an installation location,
The fan filter unit main body includes a housing, a fan, a filter, an air intake section that sucks air, and an exhaust section that discharges air.
The fan filter unit main body is connected to the installation part so as to be rotatable in a direction in which the positions of the intake part and the exhaust part are changed.

本発明においては、ファンフィルタユニット本体に設けられたファンによって吸引された空気が、吸気部から吸入され、この吸入された空気がフィルタによって清浄され排気部から排出される。ファンフィルタユニット本体は、吸気部および排気部の位置が変わる方向に回転可能に設置部と接続されている。このため、ファンフィルタユニットがクリーンブース等に設置されている場合に、ファンフィルタユニット本体を回転させることで、吸気部および排気部の位置を変えることができる。したがって、例えば、吸気部がクリーンブース等の室外側を向き、排気部が室内側を向いている状態から、ファンフィルタユニット本体を回転させることで、吸気部が室内側を向き、排気部が室外側を向く状態とすることができる。   In the present invention, the air sucked by the fan provided in the fan filter unit main body is sucked from the intake portion, and the sucked air is cleaned by the filter and discharged from the exhaust portion. The fan filter unit main body is connected to the installation part so as to be rotatable in a direction in which the positions of the intake part and the exhaust part are changed. For this reason, when the fan filter unit is installed in a clean booth or the like, the positions of the intake part and the exhaust part can be changed by rotating the fan filter unit main body. Therefore, for example, by rotating the fan filter unit main body from a state where the intake section faces the outdoor side of the clean booth or the like and the exhaust section faces the indoor side, the intake section faces the indoor side and the exhaust section It can be in a state of facing outward.

吸気部が室外側を向き、排気部が室内側を向いている状態では、ファンフィルタユニットは、室外の空気を清浄化して室内に給気する給気型ファンフィルタユニットとして働く。また、吸入部が室内側を向き、排気部が室外側を向いている状態では、ファンフィルタユニットは、室内の空気を清浄化して室外に排気する、排気型ファンフィルタユニットとして働く。したがって、給気型ファンフィルタユニットおよび排気型ファンフィルタユニットとして使用することができる。   In a state in which the intake section faces the outdoor side and the exhaust section faces the indoor side, the fan filter unit functions as an air supply type fan filter unit that cleans the outdoor air and supplies the air to the room. Further, in a state where the suction part faces the indoor side and the exhaust part faces the outdoor side, the fan filter unit functions as an exhaust type fan filter unit that cleans the indoor air and exhausts it to the outside. Therefore, it can be used as an air supply type fan filter unit and an exhaust type fan filter unit.

また、本発明の前記構成において、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していてもよい。 Further, in the above configuration of the present invention,
The intake portion is provided on one of the two opposing surfaces of the housing, and the exhaust portion is provided on the other,
The fan filter unit main body is connected to the installation portion in a state in which the fan filter unit main body can rotate around a straight line passing between the two opposing surfaces.
Of the surfaces connecting the two facing surfaces of the housing, a surface extending in the rotation axis direction may protrude toward the outside of the housing at an intermediate portion between the two facing surfaces.

このような構成によれば、ファンフィルタユニット本体の筐体の対向する二つの面の一方に給気部が設けられ、他方に排気部が設けられる。また、この対向する二つの面を繋ぐ面（側面）のうち、回転軸方向に延びる面が、対向する二つの面の中間部において、筐体の外側に向けて突出する。
ファンフィルタユニットは、例えばクリーンブース等の天板等に配設されるが、クリーンブースの内部環境は清浄に保つ（または内部の塵埃や汚染ガスが外に漏れないようにする）必要があるので、天板等の配設場所とファンフィルタユニットとの間はできる限り密閉する必要がある。すなわち、ファンフィルタユニット本体の側面と天板等とが当接または近接した状態となる。しかし、この当接または近接した状態からファンフィルタユニット本体を回転させようとした場合に、ファンフィルタユニット本体の筐体の側面が、筐体の、吸気部または排気部が設けられた対向する二つの面に対して垂直な平面等である場合には、側面が天板等に引っかかり回転できないおそれがある。
本発明においては、筐体の側面のうち、回転軸方向に延びる面を、突出した部分から吸気部または排気部が設けられた対向する二つの面それぞれに向けて、徐々に筐体の内側に向けて傾斜状態としたことで、ファンフィルタユニット本体を回転させる際に、側面が天板等に引っかかることなくスムーズに回転させることができる。 According to such a structure, an air supply part is provided in one of the two surfaces where the housing | casing of a fan filter unit main body opposes, and an exhaust part is provided in the other. Of the surfaces (side surfaces) connecting the two opposing surfaces, a surface extending in the rotation axis direction protrudes toward the outside of the casing at the intermediate portion between the two opposing surfaces.
The fan filter unit is installed on the top of a clean booth, for example, but it is necessary to keep the internal environment of the clean booth clean (or to prevent internal dust and pollutant gases from leaking outside). The space between the top plate and the fan filter unit needs to be sealed as much as possible. That is, the side surface of the fan filter unit main body is in contact with or close to the top plate. However, when the fan filter unit main body is to be rotated from this abutting or close state, the side surface of the case of the fan filter unit main body is opposed to the two opposite sides of the case provided with the intake portion or the exhaust portion. If the surface is perpendicular to one surface, the side surface may be caught by the top plate or the like and cannot be rotated.
In the present invention, among the side surfaces of the housing, the surface extending in the direction of the rotation axis is gradually moved toward the inside of the housing from the protruding portion toward each of the two opposing surfaces provided with the intake or exhaust portion. Since the fan filter unit main body is rotated, the side surface can be smoothly rotated without being caught by the top plate or the like.

また、本発明の前記構成において、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の一方から他方に向けて丸みを帯びた曲面となっており、
前記曲面は、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していてもよい。 Further, in the above configuration of the present invention,
The intake portion is provided on one of the two opposing surfaces of the housing, and the exhaust portion is provided on the other,
The fan filter unit main body is connected to the installation portion in a state in which the fan filter unit main body can rotate around a straight line passing between the two opposing surfaces.
Of the surfaces connecting the two opposing surfaces of the housing, the surface extending in the rotation axis direction is a curved surface that is rounded from one of the two opposing surfaces to the other,
The curved surface may protrude toward the outside of the housing at an intermediate portion between the two opposing surfaces.

このような構成によれば、ファンフィルタユニット本体の筐体の対向する二つの面の一方に吸気部が設けられ、他方に排気部が設けられる。また、この二つの面を繋ぐ面（側面）のうち、回転軸方向に延びる面が丸みを帯びた曲面となる。また、この曲面は対向する二つの面の中間部において筐体の外側に向けて突出する。
ファンフィルタユニットが、クリーンブース等の天板等に配設されたときに、ファンフィルタユニット本体の筐体の側面は、筐体の外側に向けて突出した部分が天板等と当接した状態となる。側面を、丸みを帯びた曲面としたことで、ファンフィルタユニット本体を回転させる際に、側面が天板等に引っかかることなくスムーズに回転させることが可能となる。 According to such a configuration, the intake part is provided on one of the two opposing surfaces of the housing of the fan filter unit main body, and the exhaust part is provided on the other. Of the surfaces (side surfaces) connecting these two surfaces, the surface extending in the rotation axis direction is a rounded curved surface. Further, the curved surface protrudes toward the outside of the housing at the intermediate portion between the two opposing surfaces.
When the fan filter unit is placed on a top panel such as a clean booth, the side surface of the case of the fan filter unit main body is in contact with the top panel etc. It becomes. By making the side surface a rounded curved surface, when the fan filter unit main body is rotated, the side surface can be smoothly rotated without being caught by a top plate or the like.

また、本発明の前記構成において、
前記ファンフィルタユニット本体は、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部を複数備え、
前記電源接続部のうち少なくとも一つが、他の前記電源接続部と前記ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられていてもよい。 Further, in the above configuration of the present invention,
The fan filter unit main body includes a plurality of power connection portions for connecting a cord for supplying power,
At least one of the power supply connections may be provided away from the other power supply connection in the rotational direction of the fan filter unit main body.

このような構成によれば、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部は、ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられる。このため、ファンフィルタユニットをクリーンブース等の天板等に配設する場合に、天板を挟んでクリーンブースの内側と外側との両方に電源接続部が存在するようにすることができる。また、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態との、いずれの状態においても、電源接続部がクリーンブースの内側と外側とに存在するようにすることができる。したがって、ファンフィルタユニットに電源を供給するための電源コードを接続する場合に、クリーンブースの内側または外側のどちらかにしかコンセント等の電源の供給源がない場合であっても、電源コードをクリーンブースを通すことなくファンフィルタユニットに接続することができる。   According to such a structure, the power supply connection part for connecting the code | cord | chord for supplying power is provided away in the rotation direction of a fan filter unit main body. For this reason, when the fan filter unit is disposed on a top plate such as a clean booth, the power supply connection portion can be present both inside and outside the clean booth with the top plate interposed therebetween. In addition, the power supply connection portion exists on the inside and outside of the clean booth in both the use state as the supply type fan filter unit and the use state as the exhaust type fan filter unit. can do. Therefore, when connecting a power cord to supply power to the fan filter unit, clean the power cord even if there is a power supply source such as an outlet only inside or outside the clean booth. It can be connected to the fan filter unit without going through the booth.

本発明によれば、ファンフィルタユニットを給気型および排気型として使用できる。   According to the present invention, the fan filter unit can be used as an air supply type and an exhaust type.

本発明の第１の実施の形態に係るファンフィルタユニットの使用状態を示すもので、（ａ）は給気型としての使用状態を示す概略図、（ｂ）は排気型としての使用状態を示す概略図である。1 shows a usage state of a fan filter unit according to a first embodiment of the present invention, (a) is a schematic diagram showing a usage state as an air supply type, and (b) shows a usage state as an exhaust type. FIG. 本発明の第１の実施の形態に係るファンフィルタユニットを示すもので、（ａ）はファンフィルタユニットを前側から見た概略図、（ｂ）はファンフィルタユニットを左側から見た概略図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The fan filter unit which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown, (a) is the schematic which looked at the fan filter unit from the front side, (b) is the schematic which looked at the fan filter unit from the left side. . 本発明の第２の実施の形態に係るファンフィルタユニットを示すもので、（ａ）はファンフィルタユニットを前側から見た概略図、（ｂ）はファンフィルタユニットを左側から見た概略図である。The fan filter unit which concerns on the 2nd Embodiment of this invention is shown, (a) is the schematic which looked at the fan filter unit from the front side, (b) is the schematic which looked at the fan filter unit from the left side. .

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
まず、本発明の第１の実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態のファンフィルタユニット１の使用状態を概略図である。
なお、図１において、矢印は空気の流れを示している。
ファンフィルタユニット１は、クリーンブース２の天井部２ａに設置されている。なお、ファンフィルタユニット１は、天井部ではなく、クリーンブースの側面等に設置されていてもよい。また、ファンフィルタユニット１は、クリーンブースでの使用に限られず、クリーンルームやその他の場所において使用することもできる。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
First, a first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic diagram showing a usage state of the fan filter unit 1 of the present embodiment.
In FIG. 1, arrows indicate the air flow.
The fan filter unit 1 is installed on the ceiling 2 a of the clean booth 2. The fan filter unit 1 may be installed not on the ceiling but on the side of a clean booth or the like. The fan filter unit 1 is not limited to use in a clean booth, and can also be used in a clean room or other places.

クリーンブース２は、平面視において四隅にそれぞれ配置された合計４本の柱２ｂと、これら柱２ｂの上端部に設置された天井部２ａと、隣り合う柱２ｂ，２ｂ間を覆うようにして設けられた図示しないビニールカーテンとによって、内部が中空の直方体状に構成されている。
なお、柱２ｂは４本に限ることはなく、例えば、６本、８本またはそれ以上の本数であってもよい。
柱２ｂは、例えばクリーンルームの底面３に設置固定されているが、これに限らず、柱２ｂの下端部にキャスタ等を取り付けて、クリーンブース２を移動可能に構成してもよい。
また、柱２ｂ，２ｂ間は、ビニールカーテンによって覆われるのではなく、板材等によって覆われていてもよい。すなわち、クリーンブース２の使用用途に応じて、塵埃、細菌、汚染物質、または汚染ガス等がクリーンブース２の内側と外側との間を自由に行き来できないよう制限されていればよい。 The clean booth 2 is provided so as to cover a total of four columns 2b respectively arranged at the four corners in plan view, a ceiling portion 2a installed at the upper end portion of these columns 2b, and between adjacent columns 2b and 2b. The inside is configured in a hollow rectangular parallelepiped shape by a vinyl curtain (not shown).
The number of pillars 2b is not limited to four, and may be six, eight, or more, for example.
The pillar 2b is installed and fixed on the bottom surface 3 of the clean room, for example. However, the present invention is not limited thereto, and a caster or the like may be attached to the lower end portion of the pillar 2b so that the clean booth 2 can be moved.
The space between the pillars 2b and 2b may be covered with a plate material or the like instead of being covered with a vinyl curtain. That is, it is only necessary that the dust, bacteria, pollutants, polluted gas, or the like be restricted so as not to freely move between the inside and the outside of the clean booth 2 according to the usage application of the clean booth 2.

天井部２ａは、矩形板状に形成されている。また、天井部２ａの中央部には、ファンフィルタユニット１が設けられている。
ファンフィルタユニット１を前側から見た概略図を図２（ａ）に示す。また、ファンフィルタユニット１を左側から見た概略図を図２（ｂ）に示す。
ファンフィルタユニット１は、図２に示すように、ファンフィルタユニット本体２０と設置部１０とを備える。また、ファンフィルタユニット本体２０と設置部１０とは、回転軸１１を介して接続されている。 The ceiling part 2a is formed in a rectangular plate shape. A fan filter unit 1 is provided at the center of the ceiling 2a.
A schematic view of the fan filter unit 1 viewed from the front side is shown in FIG. Moreover, the schematic which looked at the fan filter unit 1 from the left side is shown in FIG.2 (b).
The fan filter unit 1 includes a fan filter unit main body 20 and an installation part 10 as shown in FIG. The fan filter unit main body 20 and the installation unit 10 are connected via a rotation shaft 11.

設置部１０は、設置部本体１０ａとフランジ部１０ｂと設置部側接続部１０ｃとを備える。設置部本体１０ａは、略方形の枠体である。フランジ部１０ｂは、設置部本体１０ａの上面から枠体の周方向外側に突出するようにして設けられている。
クリーンブース２の天井部２ａには、中央部に開口部が設けられており、この開口部に設置部本体１０ａが陥入されている。また、フランジ部１０ｂの下面が、天井部２ａの上面に当接するようにして、フランジ部１０ｂが天井部２ａに係止されている。また、フランジ部１０ｂには、孔が設けられており、この孔に挿通されたネジが、天井部２ａに設けられたネジ孔と螺合することによって、ファンフィルタユニット１が、天井部２ａに固定されている。 The installation unit 10 includes an installation unit main body 10a, a flange unit 10b, and an installation unit side connection unit 10c. The installation part main body 10a is a substantially rectangular frame. The flange portion 10b is provided so as to protrude outward in the circumferential direction of the frame body from the upper surface of the installation portion main body 10a.
The ceiling 2a of the clean booth 2 has an opening at the center, and the installation main body 10a is inserted into the opening. Further, the flange portion 10b is locked to the ceiling portion 2a so that the lower surface of the flange portion 10b contacts the upper surface of the ceiling portion 2a. Further, the flange portion 10b is provided with a hole, and the screw inserted into the hole is screwed into the screw hole provided in the ceiling portion 2a, whereby the fan filter unit 1 is attached to the ceiling portion 2a. It is fixed.

ファンフィルタユニット本体２０は、筐体２１と、ファン２２と、プレフィルタ２３と、フィルタ２４と、本体側接続部２５と、２つの電源接続部２６と、を備える。
筐体２１は、上板２１ａと、下板２１ｂと、側面板２１ｃ，２１ｄと、接続板２１ｅと、を備える。上板２１ａと下板２１ｂとは、共に略方形の板状部材であり、互いにほぼ等しい大きさとなっている。また、側面板２１ｃ，２１ｄは、台形の板状部材であり、それぞれ４つずつ備えられている。また、接続板２１ｅは、長方形の板状部材であり、４つ備えられている。 The fan filter unit main body 20 includes a housing 21, a fan 22, a pre-filter 23, a filter 24, a main body side connection unit 25, and two power supply connection units 26.
The housing 21 includes an upper plate 21a, a lower plate 21b, side plates 21c and 21d, and a connection plate 21e. The upper plate 21a and the lower plate 21b are both substantially rectangular plate-like members and have substantially the same size. The side plates 21c and 21d are trapezoidal plate-like members, and four each are provided. The connection plate 21e is a rectangular plate-like member, and four connection plates are provided.

上板２１ａと下板２１ｂとは、側面板２１ｃ，２１ｄと接続板２１ｅとにより接続されている。側面板２１ｃ，２１ｄと接続板２１ｅとは、筐体２１の横方向外側に突出するようにして設けられている。
すなわち、上板２１ａの四辺それぞれから筐体２１の横方向外側に向かって傾斜するようにして４つの側面板２１ｃのそれぞれが設けられている。また、４つの側面板２１ｃそれぞれの上板２１ａと接続されている辺と逆側の辺が、４つの接続板２１ｅのそれぞれの一方の長辺と接続されている。また、４つの接続板２１ｅのそれぞれの他方の長辺は、４つの側面板２１ｄのそれぞれと接続されている。また、側面板２１ｄは、接続板２１ｅから筐体２１の横方向内側に向かって傾斜するようにして設けられている。また、４つの側面板２１ｄそれぞれの、接続板２１ｅと接続されている辺と逆側の辺が、下板２１ｂの四辺のそれぞれと接続されている。また、隣接する側面板２１ｃ，２１ｃ同士、側面板２１ｄ，２１ｄ同士および接続板２１ｅ，２１ｅ同士は、それぞれ互いに接続されている。 The upper plate 21a and the lower plate 21b are connected by side plates 21c and 21d and a connection plate 21e. The side plates 21 c and 21 d and the connection plate 21 e are provided so as to protrude outward in the lateral direction of the housing 21.
That is, each of the four side plates 21c is provided so as to incline from the four sides of the upper plate 21a toward the laterally outer side of the housing 21. Further, the side opposite to the side connected to the upper plate 21a of each of the four side plates 21c is connected to one long side of each of the four connection plates 21e. The other long side of each of the four connection plates 21e is connected to each of the four side plates 21d. The side plate 21d is provided so as to incline from the connection plate 21e toward the inner side in the lateral direction of the housing 21. Moreover, the side opposite to the side connected to the connection plate 21e of each of the four side plates 21d is connected to each of the four sides of the lower plate 21b. Adjacent side plates 21c and 21c, side plates 21d and 21d, and connection plates 21e and 21e are connected to each other.

なお、それぞれの板の接続部分は丸みを帯びていてもよい。また、一部または全部の板が、個別の部材ではなく一体として形成されていてもよい。
なお、接続板２１ｅは、無くてもよく、側面板２１ｃと側面板２１ｄとが直接接続されていてもよい。 In addition, the connection part of each board may be roundish. In addition, some or all of the plates may be formed as a single unit instead of individual members.
Note that the connection plate 21e may not be provided, and the side plate 21c and the side plate 21d may be directly connected.

筐体２１の上板２１ａには、吸気口（吸気部）が設けられている。また、下板２１ｂには、排気口（排気部）が設けられている。
また、筐体２１内には、上板２１ａ側から下板２１ｂ側に向かって、プレフィルタ２３、ファン２２およびフィルタ２４が、この順に並べて設けられている。
フィルタ２４は、例えばＨＥＰＡフィルタ等であり、ファンフィルタユニット１のメインフィルタである。また、プレフィルタ２３は、粗塵を捕集し、フィルタ２４の寿命を延ばしたり、ファン２２を保護したりするためのものである。
ファン２２を回すことで、上板２１ａ側（吸気口）からプレフィルタ２３を通して筐体２１内に空気を吸い込み、フィルタ２４を通して下板２１ｂ側（排気口）から空気を吹き出すようになっている。 The upper plate 21a of the housing 21 is provided with an intake port (intake unit). Further, the lower plate 21b is provided with an exhaust port (exhaust part).
In the housing 21, a pre-filter 23, a fan 22 and a filter 24 are arranged in this order from the upper plate 21a side to the lower plate 21b side.
The filter 24 is, for example, a HEPA filter or the like, and is a main filter of the fan filter unit 1. The pre-filter 23 is for collecting coarse dust and extending the life of the filter 24 or protecting the fan 22.
By rotating the fan 22, air is sucked into the housing 21 from the upper plate 21 a side (intake port) through the pre-filter 23, and air is blown out from the lower plate 21 b side (exhaust port) through the filter 24.

設置部１０とファンフィルタユニット本体２０とは、回転軸１１を介して接続されている。回転軸１１は、断面が略円形の棒状部材である。
設置部１０には、断面円形の穴である設置部側接続部１０ｃが設けられている。設置部側接続部１０ｃは、設置部本体１０ａ（枠体）の内側側面に、互いに対向するようにして２つ設けられおり、それぞれの設置部側接続部１０ｃは、各内側側面の中央部に設けられている。
また、ファンフィルタユニット本体２０には、断面円形の穴である本体側接続部２５が設けられている。本体側接続部２５は、筐体２１の接続板２１ｅのうち、対抗する２つの接続板２１ｅの中央部に設けられている。 The installation unit 10 and the fan filter unit main body 20 are connected via a rotation shaft 11. The rotating shaft 11 is a rod-shaped member having a substantially circular cross section.
The installation part 10 is provided with an installation part side connection part 10c which is a hole having a circular cross section. Two installation portion side connection portions 10c are provided on the inner side surface of the installation portion main body 10a (frame body) so as to face each other, and each installation portion side connection portion 10c is provided at the center of each inner side surface. Is provided.
The fan filter unit main body 20 is provided with a main body side connection portion 25 that is a hole having a circular cross section. The main body side connecting portion 25 is provided at the center of the two connecting plates 21e that are opposed to each other among the connecting plates 21e of the housing 21.

回転軸１１は、一方の端部が、設置部側接続部１０ｃに挿入されており、他方の端部が本体側接続部２５に挿入されている。回転軸１１は、設置部側接続部１０ｃに挿入された側は、回転軸１１が回転しないように固定されている。また、回転軸１１は、本体側接続部２５側は、回転可能な状態で挿入されている。本体側接続部２５には、回転を制限するための図示しないストッパーが設けられており、上板２１ａが上側になった状態と下板２１ｂが上側になった状態との２つの状態でそれぞれ、ファンフィルタユニット本体２０が回転軸１１に対して回転せずに固定された状態にできるようになっている。これら２つの状態それぞれにおいて、クリーンブース２の天井部２ａと、上板２１ａと、下板２１ｂと、は略平行な状態となっている。回転させるときは、ストッパーを開放し、ファンフィルタユニット本体２０を回転軸１１に対して自由に回転させることができるようになっている。
なお、回転軸１１およびストッパーの、形状または設けられている場所等は、これに限定されず、ファンフィルタユニット本体２０を回転させることができ、上板２１ａが上側になった状態と下板２１ｂが上側になった状態との２つの状態でそれぞれ、ファンフィルタユニット本体２０の回転を止めることができるようになっていればよい。回転軸１１は、例えば、中空の棒状部材であってもよく、球状の部材等であってもよい。 One end portion of the rotating shaft 11 is inserted into the installation portion side connection portion 10 c, and the other end portion is inserted into the main body side connection portion 25. The rotation shaft 11 is fixed so that the rotation shaft 11 does not rotate on the side inserted into the installation portion side connection portion 10c. The rotating shaft 11 is inserted in a rotatable state on the main body side connecting portion 25 side. The main body side connecting portion 25 is provided with a stopper (not shown) for restricting rotation, and the upper plate 21a is in the upper side and the lower plate 21b is in the upper side, respectively. The fan filter unit main body 20 can be fixed to the rotating shaft 11 without rotating. In each of these two states, the ceiling 2a, the upper plate 21a, and the lower plate 21b of the clean booth 2 are in a substantially parallel state. When rotating, the stopper is opened, and the fan filter unit main body 20 can be freely rotated with respect to the rotating shaft 11.
In addition, the shape of the rotating shaft 11 and the stopper, the place where the stopper is provided, and the like are not limited thereto, and the fan filter unit main body 20 can be rotated so that the upper plate 21a is on the upper side and the lower plate 21b. It is only necessary that the rotation of the fan filter unit main body 20 can be stopped in each of the two states, i.e. The rotating shaft 11 may be, for example, a hollow rod-shaped member or a spherical member.

設置部１０には、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との隙間を埋めるようにして、シール部材３０が設けられている。シール部材３０は、設置部１０の上面の開口部側に、開口部を囲むようにかつ開口部側に突出するようにして設けられている。シール部材３０の先端部（設置部１０の開口部側）は、ファンフィルタユニット本体２０に当接している。すなわち、シール部材３０によって、クリーンブース２内の気体や異物が、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との間からクリーンブース２外に漏れ出ることがなく、また、クリーンブース２外の気体や異物が、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との間からクリーンブース２内に入り込むことがないように、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との隙間が封止されている。
なお、シール部材３０は、設置部本体１０ａの内側側面に設けられていてもよく、ファンフィルタユニット本体２０の外周を囲むようにしてファンフィルタユニット本体２０に設けられていてもよい。 The installation part 10 is provided with a seal member 30 so as to fill a gap between the installation part 10 and the fan filter unit main body 20. The seal member 30 is provided on the opening portion side of the upper surface of the installation portion 10 so as to surround the opening portion and project toward the opening portion side. The front end portion of the seal member 30 (the opening portion side of the installation portion 10) is in contact with the fan filter unit main body 20. That is, the seal member 30 prevents the gas and foreign matter in the clean booth 2 from leaking out of the clean booth 2 from between the installation unit 10 and the fan filter unit main body 20. The clearance between the installation unit 10 and the fan filter unit main body 20 is sealed so that foreign matter does not enter the clean booth 2 from between the installation unit 10 and the fan filter unit main body 20.
The seal member 30 may be provided on the inner side surface of the installation portion main body 10a, or may be provided on the fan filter unit main body 20 so as to surround the outer periphery of the fan filter unit main body 20.

ファンフィルタユニット本体２０は、電源を供給するための図示しない電源コードを接続するための、２つの電源接続部２６を備える。２つの電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な接続板２１ｅのうちの一方に隣接する側面板２１ｃと２１ｄとにそれぞれ１つずつ設けられている。また、電源接続部２６には、着脱可能な蓋２７が設けられている。蓋２７は、クリーンブースの内側に位置する電源接続部２６が、クリーンブース内の空気に触れないようにするためのものであり、電源接続部２６を覆うようにして設けられている。
なお、蓋２７は、ファンフィルタユニット本体２０から取り外し可能でも不可能でもよく、また、２つの電源接続部２６で１つの蓋を兼用するものであってもよい。 The fan filter unit main body 20 includes two power connection portions 26 for connecting a power cord (not shown) for supplying power. Two power supply connection portions 26 are provided on each of the side plates 21c and 21d adjacent to one of the connection plates 21e substantially parallel to the rotating shaft 11. In addition, the power connection portion 26 is provided with a detachable lid 27. The lid 27 is provided so that the power supply connecting portion 26 located inside the clean booth does not touch the air in the clean booth and covers the power connecting portion 26.
The lid 27 may be removable from the fan filter unit main body 20 or may not be possible, and the two power connection portions 26 may be used as one lid.

ファンフィルタユニット本体２０のファン２２は、電源接続部２６から供給される電源によって動かされる。電源供給のオンとオフとの切り替えは、リモコン操作によるものとしてもよいし、ファンフィルタユニット本体２０等に電源スイッチを設けてもよい。また、電源スイッチを設ける場合に、電源接続部２６と同じように、ファンフィルタユニット本体２０の側面板２１ｃと２１ｄとにそれぞれ１つずつ設ける等としてもよい。このようにすることで、クリーンブースの内側と外側どちらからでも電源供給のオンとオフとを切り替えることができる。   The fan 22 of the fan filter unit main body 20 is moved by the power supplied from the power connection unit 26. Switching on and off the power supply may be performed by a remote control operation, or a power switch may be provided in the fan filter unit main body 20 or the like. Further, when the power switch is provided, it is possible to provide one each on the side plates 21c and 21d of the fan filter unit main body 20 in the same manner as the power supply connecting portion 26. In this way, power supply can be switched on and off either from inside or outside the clean booth.

以上のように、本実施の形態によれば、上板２１ａが下板２１ｂよりも上側となった状態のときには、ファンフィルタユニット本体２０に備えられたファン２２を回すことで、図１（ａ）に示すように、クリーンブース２の外側の空気を、上板２１ａ側（吸気口）からプレフィルタ２３を通して、ファンフィルタユニット本体２０内に吸い込む。この吸い込まれた空気は、フィルタ２４を通して、下板２１ｂ側（排気口）から吹き出される。すなわち、このときファンフィルタユニット１は、室（クリーンブース２）内に清浄な空気を給気する給気型のファンフィルタユニットとして使用される。   As described above, according to the present embodiment, when the upper plate 21a is on the upper side of the lower plate 21b, the fan 22 provided in the fan filter unit main body 20 is turned to turn the fan 22 in FIG. ), The air outside the clean booth 2 is sucked into the fan filter unit main body 20 through the pre-filter 23 from the upper plate 21a side (intake port). The sucked air is blown out from the lower plate 21b side (exhaust port) through the filter 24. That is, at this time, the fan filter unit 1 is used as an air supply type fan filter unit that supplies clean air into the chamber (clean booth 2).

また、下板２１ｂが上板２１ａよりも上側となった状態のときには、ファンフィルタユニット本体２０に備えられたファン２２を回すことで、図１（ｂ）に示すように、クリーンブース２の内側の空気を、上板２１ａ側（吸気口）からプレフィルタ２３を通して、ファンフィルタユニット本体２０内に吸い込む。この吸い込まれた空気は、フィルタ２４を通して、下板２１ｂ側（排気口）から吹き出される。すなわち、このときファンフィルタユニット１は、室（クリーンブース２）内の空気を清浄化して排出する排気型のファンフィルタユニットとして使用される。   In addition, when the lower plate 21b is located above the upper plate 21a, the fan 22 provided in the fan filter unit main body 20 is rotated to turn the inside of the clean booth 2 as shown in FIG. Is sucked into the fan filter unit main body 20 through the pre-filter 23 from the upper plate 21a side (intake port). The sucked air is blown out from the lower plate 21b side (exhaust port) through the filter 24. That is, at this time, the fan filter unit 1 is used as an exhaust type fan filter unit that cleans and discharges the air in the chamber (clean booth 2).

ファンフィルタユニット１は、設置部１０が、天井部２ａに固定されることによって、クリーンブース２に設置されている。ファンフィルタユニット本体２０は、設置部１０に対して、回転軸１１を軸として回転可能となっている。よって、上板２１ａが下板２１ｂよりも上側になった状態から、回転軸１１を軸として回転させることで下板２１ｂが上板２１ａよりも上側になった状態にすることできる。したがって、給気型のファンフィルタユニットとしての使用から、排気型のファンフィルタユニットとしての使用に切り替えることができる。   The fan filter unit 1 is installed in the clean booth 2 by the installation unit 10 being fixed to the ceiling 2a. The fan filter unit main body 20 is rotatable with respect to the installation unit 10 about the rotation shaft 11. Therefore, from the state where the upper plate 21a is located above the lower plate 21b, the lower plate 21b can be placed above the upper plate 21a by rotating around the rotating shaft 11. Therefore, it can be switched from use as an air supply type fan filter unit to use as an exhaust type fan filter unit.

ファンフィルタユニット本体２０は、側面部分が、側面板２１ｃ、側面板２１ｄおよび接続板２１ｅによって形成されている。側面板２１ｃと側面板２１ｄとは、接続板２１ｅから上板２１ａまたは下板２１ｂに向けて筐体２１の横方向内側に向かって傾斜している。したがって、ファンフィルタユニット本体２０を回転させる際に、ファンフィルタユニット本体２０の側面部分が、クリーンブース２の天井部２ａに引っかかることなく、スムーズに回転させることができる。
なお、回転軸１１に略垂直な面や回転軸１１と交わる面等は、本実施例のような形状ではなく、上板２１ａおよび下板２１ｂに垂直に交わる面等であってもよい。このような形状であっても、回転の妨げとはならないからである。 The fan filter unit main body 20 has a side portion formed by a side plate 21c, a side plate 21d, and a connection plate 21e. The side plate 21c and the side plate 21d are inclined inward in the lateral direction of the housing 21 from the connection plate 21e toward the upper plate 21a or the lower plate 21b. Therefore, when rotating the fan filter unit main body 20, the side surface portion of the fan filter unit main body 20 can be smoothly rotated without being caught by the ceiling portion 2 a of the clean booth 2.
The surface substantially perpendicular to the rotating shaft 11 and the surface intersecting with the rotating shaft 11 are not in the shape as in the present embodiment, but may be a surface intersecting perpendicularly with the upper plate 21a and the lower plate 21b. This is because even such a shape does not hinder rotation.

また、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、のそれぞれにおいて、ストッパーにより回転が制限された状態で固定されるので、ファンフィルタユニット本体２０が安定した状態で固定される。
また、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との間には、シール部材３０が設けられているので、この間から気体や塵埃等が自由に出入りできなくなっている。 Further, in each of the usage state as an air supply type fan filter unit and the usage state as an exhaust type fan filter unit, the fan filter unit main body 20 is fixed in a state where the rotation is limited by a stopper. Is fixed in a stable state.
Moreover, since the sealing member 30 is provided between the installation part 10 and the fan filter unit main body 20, gas, dust, etc. cannot enter / exit freely from this part.

電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な接続板２１ｅのうちの一方に隣接する側面板２１ｃと２１ｄとにそれぞれ１つずつ設けられているので、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態との、いずれの状態においても、電源接続部２６が、クリーンブース２の内側と外側とに１つずつ存在することとなる。したがって、ファンフィルタユニット１に電源を供給するための電源コードを接続する場合に、クリーンブース２の内側または外側のどちらかにしかコンセント等の電源の供給源がない場合であっても、電源コードをクリーンブース２を通すことなくファンフィルタユニット１に接続することができる。   Since one power supply connection portion 26 is provided on each of the side plates 21c and 21d adjacent to one of the connection plates 21e substantially parallel to the rotating shaft 11, it is used as an air supply type fan filter unit. In both the state and the state of use as an exhaust type fan filter unit, one power supply connection portion 26 exists on the inside and the outside of the clean booth 2. Accordingly, when a power cord for supplying power to the fan filter unit 1 is connected, even if there is a power supply source such as an outlet only inside or outside the clean booth 2, the power cord Can be connected to the fan filter unit 1 without passing through the clean booth 2.

ファンフィルタユニット１を給気型から排気型としての使用に切り替える際には、例えば、一方の電源接続部２６に接続されている電源コードを一旦外し、ファンフィルタユニット１を回転させた後で、他方の電源接続部２６に電源コードを接続することで、ファンフィルタユニット１に電源を供給し使用することができる。したがって、ファンフィルタユニット１の給気型としての使用状態と排気型としての使用状態との切り替えを簡単に行うことができる。   When switching the fan filter unit 1 from the supply type to the exhaust type, for example, once the power cord connected to one of the power connection portions 26 is disconnected and the fan filter unit 1 is rotated, By connecting a power cord to the other power connection portion 26, the fan filter unit 1 can be supplied with power and used. Therefore, it is possible to easily switch the use state of the fan filter unit 1 as the supply type and the use state as the exhaust type.

なお、電源接続部２６は、ファンフィルタユニット１を給気型として使用する状態と、排気型として使用する状態と、の両方の状態において、クリーンブース２等の内側と外側との両側に少なくとも１つずつ存在するようになっていればよい。例えば、本実施の形態においては、電源接続部２６が、上板２１ａ部分や下板２１ｂ部分等に設けられていてもよい。   In addition, the power supply connection part 26 is at least 1 on both sides of the inside and outside of the clean booth 2 and the like in both the state where the fan filter unit 1 is used as an air supply type and the state where the fan filter unit 1 is used as an exhaust type. It only has to come to exist one by one. For example, in the present embodiment, the power connection portion 26 may be provided on the upper plate 21a portion, the lower plate 21b portion, or the like.

次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態のファンフィルタユニット１を、図３に示す。図３（ａ）は、ファンフィルタユニット１を前側から見た概略図である。また、図３（ｂ）は、ファンフィルタユニット１を左側から見た概略図である。
なお、第１の実施の形態と第２の実施の形態とでは、筐体の側面部の形状と、電源接続部２６の位置以外については、同様の構成であるため、異なる部分についてのみ説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described.
A fan filter unit 1 according to a second embodiment is shown in FIG. FIG. 3A is a schematic view of the fan filter unit 1 as viewed from the front side. FIG. 3B is a schematic view of the fan filter unit 1 viewed from the left side.
The first embodiment and the second embodiment have the same configuration except for the shape of the side surface portion of the housing and the position of the power supply connection portion 26, and therefore only different portions will be described. .

本実施の形態のファンフィルタユニット１の、ファンフィルタユニット本体２０は、図３に示すように、筐体４１を備える。筐体４１は、上板４１ａと、下板４１ｂと、４つの側面板４１ｃとを備える。なお、上板４１ａには、吸気口（吸気部）が設けられている。また、下板４１ｂには、排気口（排気部）が設けられている。   The fan filter unit main body 20 of the fan filter unit 1 of the present embodiment includes a housing 41 as shown in FIG. The housing 41 includes an upper plate 41a, a lower plate 41b, and four side plates 41c. The upper plate 41a is provided with an intake port (intake unit). The lower plate 41b is provided with an exhaust port (exhaust part).

上板４１ａと下板４１ｂとは、共に略方形の板状部材であり、互いにほぼ等しい大きさとなっている。また、側面板４１ｃは、上下方向に湾曲した板状部材である。そして、上板４１ａの四辺のそれぞれと下板４１ｂの四辺のそれぞれとを、４つの側面板４１ｃのそれぞれが繋ぐようにして、筐体４１が形成されている。また、側面板４１ｃは、側面板４１ｃの上下方向中間部において、筐体４１の横方向外側に最も突出するようにして、湾曲している。   The upper plate 41a and the lower plate 41b are both substantially rectangular plate-like members and have substantially the same size. The side plate 41c is a plate-like member that is curved in the vertical direction. And the housing | casing 41 is formed so that each of four sides of the upper board 41a and each of the four sides of the lower board 41b may connect each of the four side plates 41c. Further, the side plate 41c is curved so as to protrude most outward in the lateral direction of the housing 41 at the middle portion in the vertical direction of the side plate 41c.

回転軸１１を挿入するための、本体側接続部２５は、筐体４１の側面板４１ｃのうち、対抗する２つの側面板４１ｃの中央部に設けられている。
２つの電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な側面板４１ｃのうちの一方に、上下に離間して１つずつ設けられている。また、電源接続部２６には、着脱可能な蓋２７が設けられている。蓋２７は、クリーンブースの内側に位置する電源接続部２６が、クリーンブース内の空気に触れないようにするためのものであり、電源接続部２６を覆うようにして設けられている。
なお、蓋２７は、ファンフィルタユニット本体２０から取り外し可能でも不可能でもよく、また、２つの電源接続部２６で１つの蓋を兼用するものであってもよい。 The main body side connecting portion 25 for inserting the rotating shaft 11 is provided in the center portion of the two opposing side surface plates 41 c of the side surface plates 41 c of the housing 41.
The two power supply connection portions 26 are provided one by one on one of the side plates 41 c substantially parallel to the rotating shaft 11 so as to be separated from each other in the vertical direction. In addition, the power connection portion 26 is provided with a detachable lid 27. The lid 27 is provided so that the power supply connecting portion 26 located inside the clean booth does not touch the air in the clean booth and covers the power connecting portion 26.
The lid 27 may be removable from the fan filter unit main body 20 or may not be possible, and the two power connection portions 26 may be used as one lid.

本実施の形態によれば、第１の実施の形態同様、回転軸１１を軸として、ファンフィルタユニット本体２０を回転させることができ、給気型のファンフィルタユニットとしての使用から、排気型のファンフィルタユニットとしての使用に切り替えることができる。   According to the present embodiment, as in the first embodiment, the fan filter unit main body 20 can be rotated about the rotation shaft 11, and from the use as an air supply type fan filter unit, the exhaust type It can be switched to use as a fan filter unit.

筐体４１は、側面部に設けられた側面板４１ｃが、側面板４１ｃの上下方向中間部において、筐体４１の横方向外側に最も突出するようにして、湾曲している。このため、ファンフィルタユニット本体２０を回転させる場合に、ファンフィルタユニット本体２０の側面部分が、クリーンブースの天井部等ファンフィルタユニット１を設置している場所に引っかかることがなく、ファンフィルタユニット本体２０をスムーズに回転させることができる。
なお、回転軸１１に略垂直な側面板４１ｃは、湾曲していなくても回転の妨げとならないため、湾曲していなくてもよい。 The housing 41 is curved such that a side plate 41c provided on the side portion protrudes most outward in the lateral direction of the housing 41 in the middle portion in the vertical direction of the side plate 41c. For this reason, when rotating the fan filter unit main body 20, the side part of the fan filter unit main body 20 does not get caught in the place where the fan filter unit 1 is installed such as a ceiling portion of a clean booth. 20 can be rotated smoothly.
Note that the side plate 41c substantially perpendicular to the rotating shaft 11 does not hinder the rotation even if it is not curved, and therefore does not have to be curved.

また、電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な側面板４１ｃのうちの一方に、上下に離間して１つずつ設けられているので、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態との、いずれの状態においても、電源接続部２６が、クリーンブース等の内側と外側とに１つずつ存在することとなる。したがって、ファンフィルタユニット１に電源を供給するための電源コードを接続する場合に、クリーンブース等の内側と外側のどちらかにしかコンセント等の電源の供給源がない場合であっても、電源コードをクリーンブース等を通すことなくファンフィルタユニット１に接続することができ、使用状態の切り替えを簡単に行うことができる。   Moreover, since the power supply connection part 26 is provided in one side plate 41c substantially parallel to the rotating shaft 11 one by one apart from the upper and lower sides, the use state as an air supply type fan filter unit and In either state of use as an exhaust type fan filter unit, there is one power connection 26 on the inside and outside of the clean booth or the like. Therefore, when a power cord for supplying power to the fan filter unit 1 is connected, even if there is a power supply source such as an outlet only on the inside or outside of the clean booth or the like, the power cord Can be connected to the fan filter unit 1 without passing through a clean booth or the like, and the usage state can be easily switched.

なお、電源接続部２６は、ファンフィルタユニット１を給気型として使用する状態と、排気型として使用する状態と、の両方の状態において、クリーンブース等の内側と外側との両側に少なくとも１つずつ存在するようになっていればよい。例えば、本実施例においては、電源接続部２６が、上板４１ａ部分や下板４１ｂ部分等に設けられていてもよい。   It should be noted that at least one power supply connection portion 26 is provided on both the inside and outside of the clean booth in both the state where the fan filter unit 1 is used as an air supply type and the state where it is used as an exhaust type. It only has to come to exist one by one. For example, in the present embodiment, the power connection portion 26 may be provided on the upper plate 41a portion, the lower plate 41b portion, or the like.

１ ファンフィルタユニット
１０ 設置部
２０ ファンフィルタユニット本体
２１ 筐体
２２ ファン
２４ フィルタ
２６ 電源接続部
４１ 筐体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fan filter unit 10 Installation part 20 Fan filter unit main body 21 Case 22 Fan 24 Filter 26 Power supply connection part 41 Case

Claims (4)

ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続され、
前記ファンフィルタユニット本体は、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部を複数備え、
前記電源接続部のうち少なくとも一つが、他の前記電源接続部と前記ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられていることを特徴とするファンフィルタユニット。 A fan filter unit comprising: a fan filter unit main body; and an installation unit for installing the fan filter unit main body at an installation location,
The fan filter unit main body includes a housing, a fan, a filter, an air intake section that sucks air, and an exhaust section that discharges air.
The fan filter unit main body is connected to the installation part so as to be rotatable in a direction in which the positions of the intake part and the exhaust part are changed ,
The fan filter unit main body includes a plurality of power connection portions for connecting a cord for supplying power,
At least one of the power supply connection portions is provided away from the other power supply connection portion in the rotation direction of the fan filter unit main body . ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続され、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していることを特徴とするファンフィルタユニット。 A fan filter unit comprising: a fan filter unit main body; and an installation unit for installing the fan filter unit main body at an installation location,
The fan filter unit main body includes a housing, a fan, a filter, an air intake section that sucks air, and an exhaust section that discharges air.
The fan filter unit main body is connected to the installation part so as to be rotatable in a direction in which the positions of the intake part and the exhaust part are changed,
The intake portion is provided on one of the two opposing surfaces of the housing, and the exhaust portion is provided on the other,
The fan filter unit main body is connected to the installation portion in a state in which the fan filter unit main body can rotate around a straight line passing between the two opposing surfaces.
Of the surfaces connecting the two facing surfaces of the housing, a surface extending in the rotation axis direction protrudes toward the outside of the housing at an intermediate portion between the two facing surfaces. fan filter unit that. ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続され、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の一方から他方に向けて丸みを帯びた曲面となっており、
前記曲面は、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していることを特徴とするファンフィルタユニット。 A fan filter unit comprising: a fan filter unit main body; and an installation unit for installing the fan filter unit main body at an installation location,
The fan filter unit main body includes a housing, a fan, a filter, an air intake section that sucks air, and an exhaust section that discharges air.
The fan filter unit main body is connected to the installation part so as to be rotatable in a direction in which the positions of the intake part and the exhaust part are changed,
The intake portion is provided on one of the two opposing surfaces of the housing, and the exhaust portion is provided on the other,
The fan filter unit main body is connected to the installation portion in a state in which the fan filter unit main body can rotate around a straight line passing between the two opposing surfaces.
Of the surfaces connecting the two opposing surfaces of the housing, the surface extending in the rotation axis direction is a curved surface that is rounded from one of the two opposing surfaces to the other,
The curved surface is, fan filter unit you characterized in that protrudes toward the outside of the casing at an intermediate portion of the two opposing surfaces. 前記ファンフィルタユニット本体は、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部を複数備え、
前記電源接続部のうち少なくとも一つが、他の前記電源接続部と前記ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit main body includes a plurality of power connection portions for connecting a cord for supplying power,
4. The fan filter unit according to claim 2 , wherein at least one of the power supply connection portions is provided apart from the other power supply connection portion in a rotation direction of the fan filter unit main body.

Images