JPH10197223A - 画像測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステージ移動操作を簡単にして測定作業の効
率を大幅に向上させる。 【解決手段】 表示画面のビデオウィンドウ５１内に、
その中央部で交差するＸ軸線６１及びＹ軸線６２とその
両端に配置される矢印型の移動指示用アイコン６１ａ，
６１ｂ，６２ａ，６２ｂとを表示し、移動指示用アイコ
ン６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂをクリック操作する
ことにより、ステージ移動を行うべく、駆動手段に指令
を出力する。これにより、ビデオウィンドウ５１内のワ
ーク１２の画像を見ながらのステージ移動操作が可能に
なり、操作性が大幅に向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、顕微鏡測定装置
や非接触三次元測定機等の画像測定装置に関し、特にＣ
ＮＣ（Computer Numerical Control）画像測定装置等に
おいて、被測定対象を含む測定可能範囲におけるカメラ
の撮像位置の移動（以下、ステージ移動と呼ぶ）機能を
備えた画像測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＣＮＣ三次元測定機や顕微鏡・投
影機では、被測定対象であるワークを測定する場合、ワ
ークの測定すべき部分を極力大きな倍率で拡大表示させ
て必要な測定を行ったのち、次の測定箇所を表示させる
べくステージ移動を行ってカメラの撮像位置をワークの
次の測定位置に位置決めするという操作を繰り返す。こ
のため、測定箇所が多いと、ステージ移動の操作も頻繁
に発生する。

【０００３】従来、ＣＮＣ機等では、このようなステー
ジ移動は、測定機本体のカメラとワークとの相対位置関
係を目視で確認しながら、ジョイスティックやジョグシ
ャトル等の駆動指令入力装置を用いて行っている。この
場合、画像測定機では測定機本体、駆動指令入力装置及
びカメラの撮像画面（ＣＲＴ）を順番に見ながらステー
ジを移動させなければならないため、目線が頻繁に移動
して操作性が悪く、測定作業の効率が悪いという問題が
ある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
点に鑑みなされたもので、ステージ移動操作を簡単にし
て測定作業の効率を大幅に向上させることができる画像
測定装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係る第１の画像
測定装置は、被測定対象を載置するテーブルと、このテ
ーブルに載置された被測定対象を撮像する撮像手段と、
この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、
前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
る測定処理手段と、前記被測定対象に対する前記撮像手
段の撮像位置を変化させるための駆動手段と、前記表示
手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示されるビデ
オウィンドウを設定し、このビデオウィンドウ内にその
中央部で交差する水平及び垂直軸とそれらの軸の両端位
置に配置された矢印型の移動指示用アイコンとを表示す
ると共に、前記移動指示用アイコンがクリック操作によ
り指示されたときに予め設定された方向に予め設定され
たピッチで前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像
位置を変化させるべく前記駆動手段に指令を出力する制
御手段とを備えたことを特徴とする。

【０００６】本発明に係る第２の画像測定装置は、上述
した制御手段に代えて、制御手段が、前記表示手段に前
記撮像手段で撮像された画像が表示されるビデオウィン
ドウを設定し、このビデオウィンドウ内にその中央部で
交差する水平及び垂直軸とその交点位置に配置された移
動指示用アイコンとを表示すると共に、前記移動指示用
アイコンが前記水平及び垂直軸の交点位置からドラッグ
操作により移動させられたときに前記交点位置から前記
移動指示用アイコンへ向かう方向に両者の距離に相当す
る速度で前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位
置を変化させるべく前記駆動手段に指令を出力するもの
であることを特徴とする。

【０００７】本発明に係る第３の画像測定装置は、上述
した制御手段に代えて、制御手段が、前記表示手段に前
記撮像手段で撮像された画像が表示されるビデオウィン
ドウを設定し、このビデオウィンドウ内に水平及び垂直
軸とそれらと前記ビデオウィンドウの周囲で接する各軸
方向用の移動指示用アイコンとを表示すると共に、前記
移動指示用アイコンが前記水平及び垂直軸の配置位置か
らドラッグ操作により移動させられたときに前記水平及
び垂直軸の配置位置から前記移動指示用アイコンまでの
距離に相当する速度で当該アイコンが指定する方向に前
記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化さ
せるべく前記駆動手段に指令を出力するものであること
を特徴とする。

【０００８】本発明に係る第４の画像測定装置は、上述
した制御手段に代えて、制御手段が、前記表示手段に前
記撮像手段で撮像された画像が表示されるビデオウィン
ドウと前記撮像手段で撮像されるステージの仮想的なイ
メージを表示するグラフィックスウィンドウとを設定
し、前記グラフィックスウィンドウ内に前記ステージ範
囲及びその範囲における前記撮像手段の撮像範囲を表示
すると共に、前記グラフィックスウィンドウ内で移動位
置が指示されたときにその指定された移動位置に前記撮
像位置を移動させるべく前記駆動手段に指令を出力する
ものであることを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、表示手段のビデオウィン
ドウ内にその中央部で交差する水平及び垂直軸とその両
端に配置される矢印型の移動指示用アイコンとを表示
し、移動指示用アイコンをクリック操作することによ
り、被測定対象に対する撮像位置を変化させるべく駆動
手段に指令を出力するようにしているので、ビデオウィ
ンドウ内の被測定対象の画像のみを見ながら水平及び垂
直軸等を目安にして撮像位置の調整を行うことができ、
操作性が大幅に向上する。しかも、この発明によれば、
被測定対象に対する撮像位置が予め定めたピッチで水平
又は垂直方向に移動するので、例えばテーブル上に定ピ
ッチで置かれた被測定対象やその中の円要素等を順次測
定する際の作業性は従来に比べて格段に向上する。

【００１０】本発明の第２の画像測定装置によれば、ビ
デオウィンドウ内に配置された水平及び垂直軸の交点位
置に配置された移動指示用アイコンをドラッグ操作によ
って移動させると、水平及び垂直軸の交点と移動指示用
アイコンとの距離に相当する速度で、前記交点からのア
イコンの移動方向へ撮像位置が移動する。このため、任
意の方向に任意の速度で撮像位置を極めて容易に移動さ
せることができ、撮像位置の位置決め作業の能率が大幅
に向上する。

【００１１】本発明の第３の画像測定装置によれば、ビ
デオウィンドウ内の水平及び垂直軸とビデオウィンドウ
の周囲で接する各軸方向用の移動指示用アイコンをドラ
ッグ操作により、水平及び垂直軸に対して移動させる
と、移動距離に相当する速度で水平又は垂直方向に移動
するので、水平又は垂直の一軸方向に移動させる際の制
御が容易になる。

【００１２】本発明の第４の画像測定装置によれば、ビ
デオウィンドウの他にグラフィックスウィンドウが設け
られ、このグラフィックスウィンドウにステージ範囲及
びその範囲における撮像範囲が表示され、更にグラフィ
ックスウィンドウ上で前記撮像範囲の移動位置を指示す
ることにより、被測定対象に対する撮像位置を変化させ
るようにしているので、移動可能な全体範囲を参照しな
がら撮像範囲を必要な位置に速やかに移動させることが
可能になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
好ましい実施の形態について説明する。図１は、この発
明の一実施例に係るＣＮＣ画像測定装置の全体構成を示
す斜視図である。この装置は、非接触画像計測型の測定
機本体１と、この測定機本体１を駆動制御すると共に必
要な測定データ処理を実行するコンピュータシステム２
と、測定機本体１をマニュアル操作するための指令入力
部３と、計測結果をプリントアウトするプリンタ４とに
より構成されている。

【００１４】測定機本体１は、次のように構成されてい
る。即ち、架台１１上には、被測定対象であるワーク１
２を載置する測定テーブル１３が装着されており、この
測定テーブル１３は、図示しないＹ軸駆動機構によって
Ｙ軸方向に駆動される。架台１１の後端部には上方に延
びるフレーム１４が固定されており、このフレーム１４
の上部から前面に張り出したカバー１５の内部には、測
定テーブル１３を上部から臨むように図示しないＸ軸及
びＺ軸駆動機構に駆動されるＣＣＤカメラ１６が取り付
けられている。ＣＣＤカメラ１６の下端には、ワーク１
２に照明光を照射するためのリング状の照明装置１７が
備えられている。

【００１５】コンピュータシステム２は、コンピュータ
本体２１、キーボード２２、マウス２３及びＣＲＴディ
スプレイ２４を備えて構成されている。コンピュータ本
体２１を中心とするこのシステムは、例えば図２に示す
ように構成されている。即ち、ＣＣＤカメラ１６で捉え
たワーク１２の画像信号は、ＡＤ変換部３１で多値画像
データに変換され、多値画像メモリ３２に格納される。
多値画像メモリ３２に格納された多値画像データは、表
示制御部３３の動作によってＣＲＴディスプレイ２４に
表示される。一方、キーボード２２及びマウス２３から
のオペレータの指令は、インタフェース（Ｉ／Ｆ）３４
を介してＣＰＵ３５に伝えられる。ＣＰＵ３５は、前記
オペレータの指令又はプログラムメモリ３６に格納され
たプログラムに従ってステージ移動等の各種の処理を実
行する。ワークメモリ３７は、ＣＰＵ３５の各種処理の
ための作業領域を提供する。

【００１６】また、ＣＣＤカメラ１６のＸ軸方向位置及
びＺ軸方向位置を検出するためのＸ軸エンコーダ４１及
びＺ軸エンコーダ４３、並びにテーブル１３のＹ軸方向
位置を検出するためのＹ軸エンコーダ４２が設けられ、
これらエンコーダ４１〜４３からの出力はＣＰＵ３５に
取り込まれる。ＣＰＵ３５は、取り込まれた各軸位置の
情報と前述したオペレータの指令に基づいて、Ｘ軸駆動
系４４及びＺ軸駆動系４６を介してＣＣＤカメラ１６を
Ｘ軸及びＺ軸方向に駆動し、Ｙ軸駆動系４５を介してテ
ーブル１３をＹ軸方向に駆動する。これにより、ステー
ジ移動操作が実現される。更に、照明制御部３９は、Ｃ
ＰＵ３５で生成された指令値に基づいてアナログ量の指
令電圧を生成し照明装置１７に印加する。

【００１７】次に、このように構成された画像測定装置
のステージ移動操作について説明する。図３は、この画
像測定装置の測定時のＣＲＴディスプレイ２４の表示画
面を示す図である。表示画面は、カラービデオウィンド
ウ５１、グラフィックスウィンドウ５２、カウンタウィ
ンドウ５３、ファンクションウィンドウ５４、照明・ス
テージウィンドウ５５及び測定ウィンドウ５６から構成
されている。カラービデオウィンドウ５１には、ＣＣＤ
カメラ１６で撮像されたカラー画像が表示される。グラ
フィックスウィンドウ５２には、ＣＣＤカメラ１６で撮
像されるステージの仮想的なイメージが表示され、一つ
の表示形態としてはＣＣＤカメラ１６の撮像範囲よりも
広い範囲（例えばステージ範囲）のイメージが表示され
る。カウンタウィンドウ５３には、ステージ座標におけ
るＣＣＤカメラ１６の撮像範囲の中心座標（Ｘ，Ｙ，
Ｚ）が表示される。ファンクションウィンドウ５４に
は、各種測定処理及び測定値算出するためのマイクロプ
ログラムを起動するアイコンが配置されている。照明・
ステージウィンドウ５５は、照明装置１７やステージに
関する各種設定操作のためのウィンドウである。測定ウ
ィンドウ５６は、ファンクションウィンドウ５４で選択
された測定マイクロプログラムに沿った測定操作を行う
ためのウィンドウである。

【００１８】ビデオウィンドウ５１には、その中心部に
交点を持つ互いに直交するＸ（水平）軸線６１及びＹ
（垂直）軸線６２が表示されているので、これらの交点
に測定部位を配置することにより、測定位置の位置決め
が容易になされるようになっている。これらＸ軸線６１
及びＹ軸線６２の各両端には、各軸方向に互いに逆方向
を向く矢印型の移動指示用アイコン６１ａ，６１ｂ，６
２ａ，６２ｂが設けられている。いま図４に示すよう
に、これらのアイコン６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ
のうちの一つをマウス２３のポインタ６３によってクリ
ックすると、同図（ａ）に示すように、ステージに対す
るＣＣＤカメラ１６の位置、又は同図（ｂ）に示すよう
に、ＣＣＤカメラ１６に対するステージの位置がクリッ
クしたアイコンの矢印で示す方向に移動する。このと
き、移動する方向と移動ピッチとは、設定操作によって
予め任意の値に設定される。マウス２３のクリックボタ
ンを押し続けると、上述したピッチでのステージ移動動
作を繰り返す。

【００１９】図５は、この処理を実現するＣＰＵ３５の
フローチャートである。移動指示用アイコン６１ａのク
リックイベントが発生すると、予め設定された方向に設
定された距離だけＸ軸駆動系４４を制御してＣＣＤカメ
ラ１６を移動させる（Ｓ１）。そして、タイマーを起動
して一定時間だけ待ち（Ｓ２）、マウス２３のクリック
ボタンが押し続けになっているかどうかを判定する（Ｓ
３）。もし、押し続けである場合には、再度、ＣＣＤカ
メラ１６を設定距離だけ移動させる（Ｓ１）。なお、他
の移動指示用アイコン６１ｂ，６２ａ，６２ｂがクリッ
クされた場合も、これと同様の処理により、指定された
方向に指定されたピッチでＣＣＤカメラ１６（Ｘ軸方
向）又は測定テーブル１３（Ｙ軸方向）を駆動すること
になる。

【００２０】このようなステージ移動操作によれば、オ
ペレータはＣＲＴディスプレイ２４の表示画面、特にビ
デオウィンドウ５１という限定された範囲のみを見なが
らステージ移動に関する全ての操作を行うことができる
ので、作業性が極めて良好になる。しかも、この例のよ
うにビデオウィンドウ５１には、Ｘ軸線６１とＹ軸線６
２とがそれぞれ表示されているので、例えば測定したい
円の中心部をＸ軸線６１又はＹ軸線６２にまず合わせ、
しかる後にこれら各軸方向に沿ってステージに対する撮
像範囲を移動させるようにすれば、位置合わせが極めて
容易であり、その間にマウスのポインタ６３を移動させ
る範囲は、ビデオウィンドウ５１内に限られるので、目
線が動く範囲が狭く、この結果、操作時の疲労度が少な
くなる。また、一定ピッチで配置されたワーク１２やワ
ーク１２内の一定ピッチで配置された孔等を測定する場
合、ステージ移動のピッチを予めこれらの配置ピッチと
合わせておくと、１クリック操作だけで次の測定ポイン
トをビデオウィンドウ５１の中心に配置することができ
るという利点もある。

【００２１】図６は、本発明の他の実施例に係るステー
ジ移動方法を説明するための図である。この実施例で
は、同図（ａ）に示すように、ビデオウィンドウ５１の
Ｘ軸線６１及びＹ軸線６２の交点位置に、例えば黒丸状
の移動指示用アイコン７１を表示し、同図（ｂ）のよう
に、このアイコン７１をマウス２３のドラッグ操作で移
動させることにより、ステージ移動を実現する。このと
きのステージ移動方向は、Ｘ軸線６１及びＹ軸線６２の
交点からドラッグされたアイコン７１への方向であり、
前述した実施例と比べると、Ｘ軸方向及びＹ軸方向だけ
でなく、任意の方向にステージを移動させることができ
るという利点がある。また、移動速度は、Ｘ軸線６１及
びＹ軸線６２の交点とドラッグされたアイコン７１との
距離に比例するように設定する。これにより、移動速度
をドラッグ操作だけで調整することができ、更に操作性
が向上する。オペレータは、通常、測定すべき部位をビ
デオウィンドウ５１の中心に位置決めすべく、ビデオウ
ィンドウ５１の中心位置を注視している。このため、こ
のように中心位置に移動指示用アイコン７１を配置する
と、目線の動く範囲を先の実施例よりも更に限定するこ
とができ、操作時の疲労度を更に低減させることができ
る。

【００２２】また、この実施例では、ビデオウィンドウ
５１の下端及び左端に、それぞれ補助ウィンドウ７２，
７３を設けている。これらの補助ウィンドウ７２，７３
には、それぞれＹ軸線６１及びＸ軸線６２の下端及び左
端と一致するような矢印型の移動指示用アイコン７４，
７５が設けられている。これらのアイコン７４，７５
を、図６（ｃ），（ｄ）に示すように、マウス２３のド
ラッグ操作によりＹ軸線６１又はＸ軸線６２から引き離
すようにすると、Ｘ軸方向のみ又はＹ軸方向のみにステ
ージを移動させることができる。このときの移動速度及
び移動の向きも各軸線からドラッグされたアイコン７
４，７５までの距離及び向きによって決定する。この操
作は、前述した任意方向のステージ移動を補完するもの
であり、Ｘ軸方向のみ又はＹ軸方向のみにステージを移
動させたい場合に便利である。

【００２３】図７は、この実施例によるステージ移動を
実現するＣＰＵ３５のフローチャートである。●印の移
動用アイコン７１のドラッグイベントが発生すると、こ
のフローが起動される。まず、ビデオウィンドウ５１の
中心位置からアイコン７１の現在位置までの方向と距離
を求める（Ｓ１１）。求められた方向に求められた距離
に相当する速度でＣＣＤカメラ１６及び測定テーブル１
３を移動させる（Ｓ１２）。これをドラッグしている
間、繰り返す（Ｓ１３）。ドラッグを終了すると、アイ
コン７１は中央に戻り、ステージは停止する。アイコン
７４，７５についても同様の処理によりステージ移動が
実現できる。

【００２４】図８は、本発明の更に他の実施例に係るス
テージ移動方法を説明するための図である。以上の各実
施例では、ビデオウィンドウ５１に対する操作によりス
テージ移動を行ったが、この実施例では、ビデオウィン
ドウ５１に対応して設けられたグラフィックスウィンド
ウ５２上の操作によってステージ移動を指示する。グラ
フィックスウィンドウ５２には、ステージサイズを示す
枠８１が表示される。この枠８１内にワークのイメージ
８２を表示する。このイメージ８２に重なる小さな枠８
３が、ビデオウィンドウ５１に表示されているＣＣＤカ
メラ１６の撮像範囲を示している。グラフィックスウィ
ンドウ５２内の表示は、任意の部分を拡大表示して示す
こともできる。イメージ８２を取得するには、次の方法
が考えられる。

【００２５】１．測定結果の要素（測定された円、線、
点等の図）をイメージデータに変換して表示する。 ２．ワークの設計時に作成されたＣＡＤデータを取り込
んで表示する。 上記の方法のうち、１の方法は、測定データを取得する
度にイメージデータを生成していく方法で、最初の測定
時には、イメージを表示することはできないが、１度ワ
ーク１２の測定を行うと、以後、同一のワーク１２を繰
り返し測定する場合のステージ移動に利用することがで
きる。２の方法は、最初にＣＡＤデータを取り込んでお
けば、測定開始直後から利用可能である。いずれの場合
にも、ステージ座標とグラフィックスデータの座標とを
予め一致させておくことが必要となる。

【００２６】図９は、１の方法を実現するための処理を
示すフローチャートである。まず、ステージサイズとス
テージ原点座標とを入力する（Ｓ２１）。次に、ステー
ジサイズの枠とカメラの倍率に基づく撮像範囲の枠とを
表示する（Ｓ２２）。そして、測定を開始し（Ｓ２
３）、測定結果から図形要素を生成し表示する（Ｓ２
４）。これを全ての測定箇所について繰り返すと（Ｓ２
５）、グラフィックスウィンドウ５２内にワーク１２の
イメージが完成する。このイメージデータはファイルと
して保存し（Ｓ２６）、以後の測定に利用する。

【００２７】ステージを移動させる場合には、枠８１内
の移動したい位置を指定してクリック操作する。図１０
に示すように、枠８１内のクリックイベントが発生する
と、ポインタ６３の現在座標が読み込まれ（Ｓ３１）、
この座標がステージ座標系に変換される（Ｓ３２）。そ
して、変換された座標にステージを移動させると共に枠
８３を移動させる（Ｓ３３）。また、ＣＡＤデータや測
定結果の要素を選択してその要素の座標（円の中心等）
へ移動させるようにしても良い。

【００２８】この実施例によれば、ステージ全体のどの
位置に移動させればよいかが一目で分かるので、測定時
のステージ移動操作の能率が更に向上することになる。
また、オンラインティーチングの操作性向上及びスピー
ドアップも期待できる。

【００２９】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ビ
デオウィンドウやグラフィックスウィンドウといった、
常時、目視している限られた範囲内での操作だけでステ
ージ移動操作が行えるので、測定作業の効率を大幅に向
上させることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係るＣＮＣ画像測定装置
の斜視図である。

【図２】 同装置におけるコンピュータシステム及びそ
の周辺の構成を示すブロック図である。

【図３】 同装置におけるＣＲＴディスプレイの表示画
面を示す図である。

【図４】 同装置におけるステージ移動方法を説明する
ための図である。

【図５】 同ステージ移動方法を実現する処理のフロー
チャートである。

【図６】 本発明の他の実施例に係るステージ移動方法
を説明するための図である。

【図７】 同ステージ移動方法を実現する処理のフロー
チャートである。

【図８】 本発明の更に他の実施例に係るステージ移動
方法を説明するための図である。

【図９】 同ステージ移動方法におけるイメージ取得処
理のフローチャートである。

【図１０】 同ステージ移動方法を実現する処理のフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１…測定機本体、２…コンピュータシステム、３…指令
入力部、４…プリンタ、１１…架台、１２…ワーク、１
３…測定テーブル、１４…フレーム、１５…カバー、１
６…ＣＣＤカメラ、１７…照明装置、２１…コンピュー
タ本体、２２…キーボード、２３…マウス、２４…ＣＲ
Ｔディスプレイ、３１…ＡＤ変換部、３２…多値画像メ
モリ、３３…表示制御部、３４…インタフェース、３５
…ＣＰＵ、３６…プログラムメモリ、３７…ワークメモ
リ、３９…照明制御部、４１…Ｘ軸エンコーダ、４２…
Ｙ軸エンコーダ、４３…Ｚ軸エンコーダ、４４…Ｘ軸駆
動系、４５…Ｙ軸駆動系、４６…Ｚ軸駆動系。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定対象を載置するテーブルと、 このテーブルに載置された被測定対象を撮像する撮像手
   段と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
   る測定処理手段と、 前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化
   させるための駆動手段と、 前記表示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示さ
   れるビデオウィンドウを設定し、このビデオウィンドウ
   内にその中央部で交差する水平及び垂直軸とそれらの軸
   の両端位置に配置された矢印型の移動指示用アイコンと
   を表示すると共に、前記移動指示用アイコンがクリック
   操作により指示されたときに予め設定された方向に予め
   設定されたピッチで前記被測定対象に対する前記撮像手
   段の撮像位置を変化させるべく前記駆動手段に指令を出
   力する制御手段とを備えたことを特徴とする画像測定装
   置。
2. 【請求項２】 被測定対象を載置するテーブルと、 このテーブルに載置された被測定対象を撮像する撮像手
   段と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
   る測定処理手段と、 前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化
   させるための駆動手段と、 前記表示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示さ
   れるビデオウィンドウを設定し、このビデオウィンドウ
   内にその中央部で交差する水平及び垂直軸とその交点位
   置に配置された移動指示用アイコンとを表示すると共
   に、前記移動指示用アイコンが前記水平及び垂直軸の交
   点位置からドラッグ操作により移動させられたときに前
   記交点位置から前記移動指示用アイコンへ向かう方向に
   両者の距離に相当する速度で前記被測定対象に対する前
   記撮像手段の撮像位置を変化させるべく前記駆動手段に
   指令を出力する制御手段とを備えたことを特徴とする画
   像測定装置。
3. 【請求項３】 被測定対象を載置するテーブルと、 このテーブルに載置された被測定対象を撮像する撮像手
   段と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
   る測定処理手段と、 前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化
   させるための駆動手段と、 前記表示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示さ
   れるビデオウィンドウを設定し、このビデオウィンドウ
   内に水平及び垂直軸とそれらと前記ビデオウィンドウの
   周囲で接する各軸方向用の移動指示用アイコンとを表示
   すると共に、前記移動指示用アイコンが前記水平及び垂
   直軸の配置位置からドラッグ操作により移動させられた
   ときに前記水平及び垂直軸の配置位置から前記移動指示
   用アイコンまでの距離に相当する速度で当該アイコンが
   指定する方向に前記被測定対象に対する前記撮像手段の
   撮像位置を変化させるべく前記駆動手段に指令を出力す
   る制御手段とを備えたことを特徴とする画像測定装置。
4. 【請求項４】 被測定対象を載置するテーブルと、 このテーブルに載置された被測定対象を撮像する撮像手
   段と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
   る測定処理手段と、 前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化
   させるための駆動手段と、 前記表示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示さ
   れるビデオウィンドウと前記撮像手段で撮像されるステ
   ージの仮想的なイメージを表示するグラフィックスウィ
   ンドウとを設定し、前記グラフィックスウィンドウ内に
   前記ステージ範囲及びその範囲における前記撮像手段の
   撮像範囲を表示すると共に、前記グラフィックスウィン
   ドウ内で移動位置が指示されたときにその指定された移
   動位置に前記撮像位置を移動させるべく前記駆動手段に
   指令を出力する制御手段とを備えたことを特徴とする画
   像測定装置。
5. 【請求項５】 前記制御手段は、前記測定処理手段によ
   って得られた前記被測定対象の測定結果に基づいて前記
   グラフィックスウィンドウ内に被測定対象に対応したイ
   メージを表示させるものであることを特徴とする請求項
   ４記載の画像測定装置。
6. 【請求項６】 前記制御手段は、前記被測定対象に関す
   るＣＡＤデータから図形データを取り込んで前記グラフ
   ィックスウィンドウ内に前記被測定対象に対応したイメ
   ージを表示させるものであることを特徴とする請求項４
   記載の画像測定装置。