JPH10185956A - Probe unit - Google Patents
Probe unitInfo
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- JPH10185956A JPH10185956A JP35577096A JP35577096A JPH10185956A JP H10185956 A JPH10185956 A JP H10185956A JP 35577096 A JP35577096 A JP 35577096A JP 35577096 A JP35577096 A JP 35577096A JP H10185956 A JPH10185956 A JP H10185956A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- liquid crystal
- upper plate
- crystal substrate
- contact
- Prior art date
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- Granted
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、矩形の被測定基
板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させ
て被測定基板を検査するプローブユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe unit for inspecting a substrate to be measured by bringing contacts into contact with a large number of electrodes arranged around a rectangular substrate to be measured.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶プローバにおいて、液晶表示パネル
基板(以下、液晶基板という。)の全ての電極(TAB
パッド)に接触子(プローブ針等)が接触するように、
接触子を位置決め固定したユニットをプローブユニット
と呼んでいる。このようにプローブユニットと呼ぶこと
で、ウェーハプローバで使用するプローブカードと区別
している。2. Description of the Related Art In a liquid crystal prober, all electrodes (TAB) of a liquid crystal display panel substrate (hereinafter, referred to as a liquid crystal substrate) are used.
So that the contact (probe needle etc.) contacts the pad)
The unit in which the contact is positioned and fixed is called a probe unit. The probe unit is distinguished from a probe card used in a wafer prober in this way.
【0003】図8は矩形の液晶基板を検査するための従
来のプローブユニットの平面図であり、図9はその側面
断面図(図8のA−A線断面図)である。矩形の枠状の
プローブベース10には、複数のプローブブロック12
が正確に位置決めされてネジ等で固定されている。液晶
基板18の電極(TABパッド)に接触するための多数
のプローブ針は、TAB単位にグループ化されていて、
各グループが一つのプローブブロック12に取り付けら
れている。プローブブロック12の後端にはフレキシブ
ル配線板14の一端が接続され、フレキシブル配線板1
4の他端にはコネクタ16が接続されている。このコネ
クタ16はテスターに接続される。プローブブロック1
2には、プローブブロックに対するプローブ針の取り付
け位置を微調節するための位置調節機構を設けることも
ある。FIG. 8 is a plan view of a conventional probe unit for inspecting a rectangular liquid crystal substrate, and FIG. 9 is a side sectional view thereof (a sectional view taken along line AA in FIG. 8). A plurality of probe blocks 12 are provided on the probe base 10 having a rectangular frame shape.
Are accurately positioned and fixed with screws or the like. Many probe needles for contacting the electrodes (TAB pads) of the liquid crystal substrate 18 are grouped in TAB units,
Each group is attached to one probe block 12. One end of a flexible wiring board 14 is connected to the rear end of the probe block 12,
The other end of 4 is connected to a connector 16. This connector 16 is connected to a tester. Probe block 1
2 may be provided with a position adjusting mechanism for finely adjusting the mounting position of the probe needle with respect to the probe block.
【0004】図10は液晶基板に形成された配線図の一
例である。なお、この図は、液晶基板の縦横の中心線3
0、32に挟まれた4分の1の領域の配線状態を示して
いる。縦方向に延びるデータ線20は、その両端部にお
いて、交互に信号入力用のTABパッド22を有する。
これらのパッド22はTAB単位にグループ化されてい
て、TABの配線パターンのピッチに適合するように集
約化されている。パッド22がこのように集約化された
領域24を、以下、パッド領域と呼ぶことにする。横方
向に延びるゲート線26は、左右どちらかの端部(図1
0では左端)にパッド領域28を有する。FIG. 10 is an example of a wiring diagram formed on a liquid crystal substrate. This figure shows the vertical and horizontal center lines 3 of the liquid crystal substrate.
The wiring state of a quarter region sandwiched between 0 and 32 is shown. The data lines 20 extending in the vertical direction have TAB pads 22 for signal input alternately at both ends.
These pads 22 are grouped in TAB units, and are grouped so as to match the pitch of the TAB wiring pattern. The area 24 in which the pads 22 are aggregated in this manner is hereinafter referred to as a pad area. The gate line 26 extending in the lateral direction is connected to one of the left and right ends (FIG.
A pad region 28 is provided at the left end (when 0, left).
【0005】データ線20のパッド領域24の、パッド
配列方向の寸法はWxであり、隣り合うパッド領域24
の間隔はX1である。また、ゲート線26のパッド領域
28の、パッド配列方向の寸法はWyであり、隣り合う
パッド領域26の間隔はY1である。The size of the pad region 24 of the data line 20 in the pad arrangement direction is Wx, and the size of the pad region 24 adjacent to the data line 20 is Wx.
Is X1. The dimension of the pad region 28 of the gate line 26 in the pad arrangement direction is Wy, and the interval between adjacent pad regions 26 is Y1.
【0006】図11は液晶基板のパッド領域の配置例を
示す平面図である。液晶基板18において、対向する二
つのX辺34(X方向に延びる辺)に沿って、データ線
のパッド領域24が各辺に4個並んでいる。また、一つ
のY辺36(Y方向に延びる辺)に沿って、ゲート線の
パッド領域28が3個並んでいる。X辺34のパッド領
域24の中心間距離(すなわちピッチ)はPxであり、
Y辺36のパッド領域28の中心間距離はPyである。
この液晶基板は、データ線のためのパッド領域24が両
側のX辺34に形成されているので、両タブタイプの液
晶基板と呼んでいる。これに対して一方のX辺34だけ
にパッド領域24を形成したものは、片タブタイプの液
晶基板と呼んでいる。すなわち、両タブタイプの液晶基
板では二つのX辺と一つのY片にパッド領域があり、片
タブタイプの液晶基板には一つのX片と一つのY片にパ
ッド領域がある。FIG. 11 is a plan view showing an example of the arrangement of pad regions on a liquid crystal substrate. In the liquid crystal substrate 18, four data line pad regions 24 are arranged on each side along two opposing X sides 34 (sides extending in the X direction). Also, three pad regions 28 of the gate line are arranged along one Y side 36 (side extending in the Y direction). The center-to-center distance (ie, pitch) of the pad region 24 on the X side 34 is Px,
The distance between the centers of the pad regions 28 on the Y side 36 is Py.
This liquid crystal substrate is called a double-tab type liquid crystal substrate because the pad regions 24 for the data lines are formed on the X sides 34 on both sides. On the other hand, the one in which the pad region 24 is formed only on one X side 34 is called a single tab type liquid crystal substrate. That is, in the two-tab type liquid crystal substrate, two X sides and one Y piece have pad areas, and in the one-tab type liquid crystal substrate, one X piece and one Y piece have pad areas.
【0007】図12は、同じ形式(例えばSVGA形
式)の液晶基板の、サイズの違いによるパッド領域の位
置の違いを示す平面図である。同じ形式の液晶基板で
は、サイズが違っていても、同じ配線ピッチのTABを
使用しているので、パッド領域の寸法は同じになる。た
だし、隣り合うパッド領域の間隔が異なる。すなわち、
X辺において、10インチの液晶基板18aでは隣り合
うパッド領域24の間隔はX1であるが、11インチの
液晶基板18bではこれがX2に広がり、12インチの
液晶基板18cではさらにX3に広がる。したがって、
パッド領域24の中心間距離(ピッチ)も液晶基板のサ
イズに応じて異なってくる。Y辺においても同様に、1
0インチの液晶基板18aでは隣り合うパッド領域28
の間隔はY1であるが、11インチの液晶基板18bで
はこれがY2に広がり、12インチの液晶基板18cで
はさらにY3に広がる。なお、使用するTABは基板メ
ーカによって異なっている。FIG. 12 is a plan view showing a difference in the position of a pad region due to a difference in size of a liquid crystal substrate of the same format (for example, SVGA format). In the same type of liquid crystal substrate, even if the size is different, since the TAB having the same wiring pitch is used, the dimensions of the pad region are the same. However, the intervals between adjacent pad regions are different. That is,
On the X side, the interval between adjacent pad regions 24 is X1 in the 10-inch liquid crystal substrate 18a, but spreads to X2 in the 11-inch liquid crystal substrate 18b, and further spreads to X3 in the 12-inch liquid crystal substrate 18c. Therefore,
The center distance (pitch) of the pad region 24 also differs depending on the size of the liquid crystal substrate. Similarly on the Y side, 1
In the 0-inch liquid crystal substrate 18a, adjacent pad regions 28
Is Y1, but this spreads to Y2 on the 11-inch liquid crystal substrate 18b, and further spreads to Y3 on the 12-inch liquid crystal substrate 18c. The TAB used differs depending on the substrate maker.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】図12で示したように
液晶基板のサイズが違うとパッド領域の位置が異なるの
で、図8で示した従来のプローブユニットは、液晶基板
のサイズごとに別個のプローブユニットとして作られて
いる。すなわち、同じ形式(例えばSVGA形式)の液
晶基板であっても、10インチ基板用、11インチ基板
用、12インチ基板用などのように、基板サイズごとに
プローブユニットを準備する必要がある。そして、検査
する液晶基板のサイズを変更するには、液晶プローバに
おいてプローブユニットの交換作業が必要になる。この
プローブユニットは、ウェーハ用のプローブカードと比
較して非常に大きいので、その交換作業は二人がかりの
作業になり、時間もかかる。また、作業時の事故による
プローブユニットの破損のおそれもある。As shown in FIG. 12, if the size of the liquid crystal substrate is different, the position of the pad region is different. Therefore, the conventional probe unit shown in FIG. Made as a probe unit. That is, even for a liquid crystal substrate of the same type (for example, SVGA type), it is necessary to prepare a probe unit for each substrate size, such as for a 10-inch substrate, an 11-inch substrate, and a 12-inch substrate. In order to change the size of the liquid crystal substrate to be inspected, it is necessary to replace the probe unit in the liquid crystal prober. Since this probe unit is very large as compared with a probe card for a wafer, the replacement operation is a two-person operation and takes time. Further, there is a possibility that the probe unit may be damaged due to an accident during the operation.
【0009】ところで、液晶プローバの種類としては、
ガラス基板に形成されたトランジスタ等の回路素子の電
気特性を検査するアレイプローバと、液晶基板の最終検
査である点灯検査を実施する点灯検査プローバとがあ
リ、それぞれ専用のプローブユニットを必要とする。そ
の理由は、プローブ針のコンタクト位置が同じでも、テ
スターが違うことによりプローブユニットの構成(TA
B・ICの有無など)が違うためである。結局、液晶基
板を検査するためのプローブユニットとしては、(a)
液晶基板の形式、(b)液晶基板のサイズ、(c)アレ
イプローバと点灯検査プローバの区別、に応じてそれぞ
れ専用のプローブユニットが必要になる。例えば、液晶
基板の形式や品種が2種類で、サイズが3種類あれば、
これだけで合計6種類のプローブユニットが必要にな
り、さらに、アレイプローバ用と点灯検査用の2種類を
揃えれば、合計で12種類のプローブユニットが必要に
なる。そして、実際には、それぞれのプローブユニット
に対して予備用のプローブユニットをもう1個準備して
いるので、24個のプローブユニットを準備することに
なる。By the way, the types of liquid crystal probers are as follows.
There are an array prober that inspects the electrical characteristics of circuit elements such as transistors formed on a glass substrate, and a lighting inspection prober that performs a lighting inspection, which is the final inspection of a liquid crystal substrate, each requiring a dedicated probe unit. . The reason is that even if the probe needle contact position is the same, the probe unit configuration (TA
B / IC). After all, as a probe unit for inspecting a liquid crystal substrate, (a)
A dedicated probe unit is required according to the type of the liquid crystal substrate, (b) the size of the liquid crystal substrate, and (c) the distinction between the array prober and the lighting inspection prober. For example, if there are two types and types of liquid crystal substrates and three types of sizes,
This alone requires a total of six types of probe units, and if two types are used for array prober and lighting inspection, a total of 12 types of probe units are required. Then, actually, another spare probe unit is prepared for each probe unit, so that 24 probe units are prepared.
【0010】このように、従来のプローブユニットは、
基板サイズごとに及び基板品種ごとにプローブユニット
を準備するので、(1)プローブユニットの個数が増え
て高価になる、(2)使用していない多くのプローブユ
ニットを安全に保管する必要がある、(3)サイズ変更
や品種変更に伴うプローブユニットの交換作業が必要に
なる、などの問題があった。As described above, the conventional probe unit is
Since probe units are prepared for each board size and each board type, (1) the number of probe units increases and the cost increases, and (2) it is necessary to safely store many unused probe units. (3) There is a problem that a probe unit needs to be replaced with a change in size or product type.
【0011】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、被測定基板のサイズ
が違っても共通のプローブユニットで対応できるように
することにある。また、この発明の別の目的は、基板の
タイプ(例えば、両タブタイプか片タブタイプか)と検
査の種類(例えば、点灯検査やTFTアレイ検査かオー
プン/ショート検査か)との組み合わせに応じて2品種
または4品種の基板を共通のプローブユニットで検査で
きるようにすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to enable a common probe unit to cope with different sizes of substrates to be measured. Another object of the present invention is to provide a combination of a substrate type (for example, double-tab type or single-tab type) and a type of inspection (for example, lighting inspection, TFT array inspection, or open / short inspection). To inspect two or four types of boards with a common probe unit.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】この発明のプローブユニ
ットは、枠状のプローブベースの4辺のそれぞれに複数
のプローブブロックを配置して、各辺のプローブブロッ
クをXY方向に位置調整できるようにして、複数の基板
サイズに対応できるようにしてある。さらに、各辺に属
するプローブブロックを各辺ごとに接触可能状態と接触
不能状態とに切り替えることができるようにして、一部
の辺のプローブブロックだけを使用して残りの辺のプロ
ーブブロックを使用しないようにしている。すなわち、
この発明は、矩形の被測定基板の周辺部に配置された多
数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプ
ローブユニットにおいて、次の(イ)〜(ト)の構成を
備えている。(イ)X方向に延びる二つのX辺と前記X
方向に垂直なY方向に延びる二つのY辺とを備える枠状
のプローブベース。(ロ)前記プローブベースの二つの
X辺のそれぞれにおいてY方向に位置調節可能に取り付
けられた第1可動ベース。(ハ)前記第1可動ベースに
取り付けられていて、前記接触子が前記電極に接触可能
な状態と接触不能の状態のいずれかの状態になり得る第
1上部プレート。(ニ)前記第1上部プレートに対して
X方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子
を備える複数のプローブブロック。(ホ)前記プローブ
ベースの二つのY辺のそれぞれにおいてX方向に位置調
節可能に取り付けられた第2可動ベース。(ヘ)前記第
2可動ベースに取り付けられていて、前記接触子が前記
電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状
態になり得る第2上部プレート。(ト)前記第2上部プ
レートに対してY方向に位置調節可能に取り付けられて
いて前記接触子を備える複数のプローブブロック。A probe unit according to the present invention has a plurality of probe blocks arranged on each of four sides of a frame-shaped probe base so that the positions of the probe blocks on each side can be adjusted in the X and Y directions. Thus, it is possible to cope with a plurality of substrate sizes. In addition, the probe blocks belonging to each side can be switched between the contactable state and the contactless state for each side, and only the probe blocks on some sides are used and the probe blocks on the remaining sides are used. I try not to. That is,
The present invention provides a probe unit for inspecting a substrate to be measured by bringing a contact into contact with a large number of electrodes arranged around a rectangular substrate to be measured, the probe unit having the following configurations (a) to (g). I have. (A) Two X sides extending in the X direction and the X side
A frame-shaped probe base including two Y sides extending in a Y direction perpendicular to the direction. (B) A first movable base mounted so as to be position-adjustable in the Y direction on each of two X sides of the probe base. (C) a first upper plate that is attached to the first movable base and that can be in one of a state in which the contact can contact the electrode and a state in which the electrode cannot contact the electrode; (D) A plurality of probe blocks which are attached to the first upper plate so as to be position-adjustable in the X direction and include the contacts. (E) a second movable base mounted so as to be position-adjustable in the X direction on each of the two Y sides of the probe base. (F) a second upper plate attached to the second movable base, wherein the contact can be in one of a state in which the contact can contact the electrode and a state in which the electrode cannot contact the electrode; (G) A plurality of probe blocks which are attached to the second upper plate so as to be position-adjustable in the Y direction and include the contacts.
【0013】この発明は、被測定基板のサイズに合わせ
てプローブブロックの位置を調節できるようにしたの
で、少なくとも2種類の基板サイズに対して共通のプロ
ーブユニットが使える。したがって、被測定基板のサイ
ズを変更する場合に、プローブユニットの交換作業が不
要になり、基板サイズの変更に伴うプローブユニットの
調節作業は一人の作業者によって短時間で終了する。ま
た、基板サイズごとにプローブユニットを準備したり保
管したりする必要がない。さらに、被測定基板のタイプ
や検査の種類の組み合わせによっては、特定の辺に属す
るプローブブロックとその他の辺に属するプローブブロ
ックとで構成を異なるようにして、2品種あるいは4品
種の基板に対して共通のプローブユニットを使うことが
できる。According to the present invention, since the position of the probe block can be adjusted according to the size of the substrate to be measured, a common probe unit can be used for at least two types of substrate sizes. Therefore, when the size of the substrate to be measured is changed, the operation of replacing the probe unit is not required, and the operation of adjusting the probe unit in accordance with the change in the substrate size is completed in a short time by one operator. Also, there is no need to prepare or store a probe unit for each substrate size. Further, depending on the combination of the type of the substrate to be measured and the type of inspection, the probe blocks belonging to a specific side and the probe blocks belonging to the other sides have different configurations so that two types or four types of substrates can be used. A common probe unit can be used.
【0014】この発明を適用できる被測定基板は、矩形
であって周辺部に多数の電極が配置されているものであ
り、典型的には、液晶表示パネルやプラズマディスプレ
イパネルなどのフラットディスプレイパネルの基板が該
当する。さらには、これらの基板の周辺部において、基
板サイズが違っても、TABごとに分割されたパッド領
域の寸法が共通しているものに本発明は適用できる。The substrate to be measured to which the present invention can be applied is rectangular and has a large number of electrodes arranged in the peripheral portion. Typically, the substrate to be measured is a flat display panel such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel. The substrate corresponds. Furthermore, the present invention can be applied to those in which the dimensions of the pad regions divided for each TAB are common in the peripheral portions of these substrates even if the substrate sizes are different.
【0015】プローブブロックに取り付けられる接触子
の形態は特に限定されないが、片持ち式のプローブ針
や、配線パターン上に形成されたバンプ電極などが利用
できる。The form of the contact attached to the probe block is not particularly limited, but a cantilever type probe needle or a bump electrode formed on a wiring pattern can be used.
【0016】この発明では、プローブブロックの位置を
調節することによって、異なる基板サイズに対応させて
いるので、プローブブロックの位置決め精度が、プロー
ブ針と被測定基板の電極との位置合わせ精度に影響して
くる。そこで、各プローブブロックにプローブ針の位置
調節機構を設ければ、プローブブロック自体の位置決め
精度がそれほど高くなくても、プローブ針と被測定基板
の電極との位置合わせ精度を確保できる。プローブブロ
ックに設けることのできる、プローブ針の位置調節機構
としては、特開平3−218472号公報に開示された
ものがある。In the present invention, the position of the probe block is adjusted to correspond to different substrate sizes. Therefore, the positioning accuracy of the probe block affects the positioning accuracy of the probe needle and the electrode of the substrate to be measured. Come. Therefore, if a probe needle position adjusting mechanism is provided in each probe block, the positioning accuracy of the probe needles and the electrodes of the substrate to be measured can be ensured even if the positioning accuracy of the probe block itself is not so high. A mechanism for adjusting the position of the probe needle that can be provided in the probe block is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-218472.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】図1は、この発明のプローブユニ
ットの一実施形態を示す平面図である。図2はその正面
図(図1のB方向から見たもの)である。図1におい
て、矩形の枠状のプローブベース40には、対向する二
つのX辺(X方向に延びる辺)42と、対向する二つの
Y辺(Y方向に延びる辺)44がある。X辺42には第
1プローブ組立体46、47が取り付けられ、Y辺44
には第2プローブ組立体48、49が取り付けられてい
る。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a probe unit according to the present invention. FIG. 2 is a front view thereof (as viewed from the direction B in FIG. 1). In FIG. 1, a rectangular frame-shaped probe base 40 has two opposing X sides (sides extending in the X direction) 42 and two opposing Y sides (sides extending in the Y direction) 44. The first probe assemblies 46 and 47 are attached to the X side 42, and the Y side 44
Are attached with second probe assemblies 48 and 49.
【0018】次に、プローブ組立体の構成を説明する。
図3は第2プローブ組立体48を拡大して示した平面図
であり、図4はその側面図(図3の矢印C方向から見た
もの)であり、図6はその分解斜視図である。図6にお
いて、第2プローブ組立体48は、大きく分けて、下側
の第2可動ベース50と、上側の第2上部プレート52
からなる。第2可動ベース50は2本のガイドレール5
4上をX方向に移動できる。ガイドレール54はプロー
ブベース40(図1を参照)に固定されている。2本の
固定ネジ56を締め付けることで第2可動ベース50を
2本のガイドレール54に固定できる。固定ネジ56を
ゆるめると第2可動ベース50はガイドレール54上を
移動できるようになる。第2可動ベース50には2本の
支柱58が間隔を置いて立っており、これらの支柱58
の間に回動軸60が取り付けられている。回動軸60は
Y方向に延びている。Next, the configuration of the probe assembly will be described.
3 is an enlarged plan view of the second probe assembly 48, FIG. 4 is a side view thereof (as viewed from the direction of arrow C in FIG. 3), and FIG. 6 is an exploded perspective view thereof. . 6, the second probe assembly 48 is roughly divided into a lower second movable base 50 and an upper second upper plate 52.
Consists of The second movable base 50 has two guide rails 5.
4 can be moved in the X direction. The guide rail 54 is fixed to the probe base 40 (see FIG. 1). The second movable base 50 can be fixed to the two guide rails 54 by tightening the two fixing screws 56. When the fixing screw 56 is loosened, the second movable base 50 can move on the guide rail 54. The two columns 58 stand on the second movable base 50 at an interval.
A rotation shaft 60 is mounted between the two. The rotation shaft 60 extends in the Y direction.
【0019】上側の第2上部プレート52には貫通孔6
2が形成されていて、この貫通孔62に第2可動ベース
50の回動軸60を挿入することで、第2上部プレート
52を第2可動ベース50に取り付けることができる。
これにより、第2上部プレート52は回動軸60の回り
を回動できる。第2上部プレート52の上面には案内溝
64が形成されている。この案内溝64はY方向に延び
ていて断面形状が台形である。一方、プローブブロック
66の下面には締結ブロック68が固定ネジ70で取り
付けられている(図7(A)も参照)。この締結ブロッ
ク68の幅(案内溝64の長手方向に沿う寸法)はプロ
ーブブロック66の幅と同じであり、案内溝64と同様
の台形断面をしている。この締結ブロック68は案内溝
64の内部をY方向に移動できる。固定ネジ70を締め
付けると締結ブロック68が上昇して案内溝64に固定
され、プローブブロック66も固定される。固定ネジ7
0をゆるめると、締結ブロック68とプローブブロック
66は一緒にY方向に移動できる。この第2上部プレー
ト52には3個のプローブブロック66が取り付けられ
ている。The upper second upper plate 52 has through holes 6
The second upper plate 52 can be attached to the second movable base 50 by inserting the rotation shaft 60 of the second movable base 50 into the through hole 62.
Thereby, the second upper plate 52 can rotate around the rotation shaft 60. A guide groove 64 is formed on the upper surface of the second upper plate 52. The guide groove 64 extends in the Y direction and has a trapezoidal cross section. On the other hand, a fastening block 68 is attached to the lower surface of the probe block 66 with a fixing screw 70 (see also FIG. 7A). The width of the fastening block 68 (the dimension along the longitudinal direction of the guide groove 64) is the same as the width of the probe block 66, and has the same trapezoidal cross section as the guide groove 64. The fastening block 68 can move inside the guide groove 64 in the Y direction. When the fixing screw 70 is tightened, the fastening block 68 rises and is fixed to the guide groove 64, and the probe block 66 is also fixed. Fixing screw 7
When 0 is loosened, the fastening block 68 and the probe block 66 can move together in the Y direction. Three probe blocks 66 are attached to the second upper plate 52.
【0020】第2上部プレート52の後端部(回動軸6
0から最も離れている端部)の2本のピン72と第2可
動ベース50の後端部の2本のピン74の間には、2本
の引っ張りコイルバネ76が引っ掛けられている。これ
により、第2上部プレート52の後端部は下方に引っ張
られている。第2上部プレート52の後端部の下面には
突出片78が固定されている。この突出片78の下面の
傾斜面は、第2可動ベース50上の可動片80の上面の
傾斜面に載っている。可動片80はエアーシリンダ82
のピストンの先端に固定されていて、エアーシリンダ8
2の動作によりX方向に進退できる。The rear end of the second upper plate 52 (rotating shaft 6
Two tension coil springs 76 are hooked between the two pins 72 at the end farthest from 0) and the two pins 74 at the rear end of the second movable base 50. As a result, the rear end of the second upper plate 52 is pulled downward. A protruding piece 78 is fixed to the lower surface of the rear end of the second upper plate 52. The inclined surface on the lower surface of the protruding piece 78 rests on the inclined surface on the upper surface of the movable piece 80 on the second movable base 50. The movable piece 80 is an air cylinder 82
Air cylinder 8
By the operation of 2, it is possible to move in the X direction.
【0021】次に、図3を参照して、第2プローブ組立
体48におけるXY方向の動きを説明する。固定ネジ5
6をゆるめることで第2可動ベース50をガイドレール
54に沿ってX方向に移動させることができる。また、
それぞれの固定ネジ70をゆるめることで3個のプロー
ブブロック66をY方向に移動させることができ、これ
により、プローブブロック66のピッチPyを変更でき
る。このように、プローブブロック66をX方向および
Y方向に移動させることで、サイズの異なる液晶基板1
8に対応できる。さらに、プローブブロック66自体に
プローブ針の位置調節機構(例えばXYZ方向の調節機
構)を設ければ、プローブ針の位置を微調整できる。Next, the movement of the second probe assembly 48 in the XY directions will be described with reference to FIG. Fixing screw 5
By loosening 6, the second movable base 50 can be moved in the X direction along the guide rail 54. Also,
By loosening each fixing screw 70, the three probe blocks 66 can be moved in the Y direction, thereby changing the pitch Py of the probe blocks 66. As described above, by moving the probe block 66 in the X direction and the Y direction, the liquid crystal substrates 1 of different sizes are moved.
8 can be supported. Furthermore, if the probe block 66 itself is provided with a probe needle position adjusting mechanism (for example, an XYZ direction adjusting mechanism), the position of the probe needle can be finely adjusted.
【0022】次に、図7を参照して、第2プローブ組立
体48を接触可能状態と接触不能状態とで切り替える機
能を説明する。図7(A)は図3のD−D線断面図であ
る。エアーシリンダ82のピストンを伸長させると可動
片80が右方向に移動する。すると、第2上部プレート
52の突出片78は、可動片80の上面の傾斜面に押さ
れて上昇し、第2上部プレート52の上面はほぼ水平を
保つ。この状態では、プローブユニットと液晶基板18
を所定の検査位置まで互いに近づけたときに、プローブ
ブロック66の下端のプローブ針84の先端は液晶基板
18の電極に接触できる。Next, a function of switching the second probe assembly 48 between a contactable state and a contactless state will be described with reference to FIG. FIG. 7A is a sectional view taken along line DD of FIG. When the piston of the air cylinder 82 is extended, the movable piece 80 moves rightward. Then, the projecting piece 78 of the second upper plate 52 is pushed upward by the inclined surface of the upper surface of the movable piece 80, and the upper surface of the second upper plate 52 is kept substantially horizontal. In this state, the probe unit and the liquid crystal substrate 18
Are brought close to each other to a predetermined inspection position, the tip of the probe needle 84 at the lower end of the probe block 66 can contact the electrode of the liquid crystal substrate 18.
【0023】一方、図7(B)に示すように、エアーシ
リンダ82のピストンを収縮させると、可動片80が左
方向に移動する。すると、引っ張りコイルバネ76(図
6を参照)に引っ張られて、第2上部プレート52は回
動軸60の回りに図面の時計方向に回動する。この状態
では、プローブユニットと液晶基板18を所定の検査位
置まで互いに近づけても、プローブ針84の先端は液晶
基板18よりも数mm上方にあるので、液晶基板18の
電極に接触しない。このように、エアーシリンダ82の
動作に応じて、プローブブロック66の接触可能状態と
接触不能状態が切り換わる。On the other hand, as shown in FIG. 7B, when the piston of the air cylinder 82 is contracted, the movable piece 80 moves to the left. Then, the second upper plate 52 is rotated clockwise in the drawing around the rotation shaft 60 by being pulled by the tension coil spring 76 (see FIG. 6). In this state, even if the probe unit and the liquid crystal substrate 18 are brought close to each other to a predetermined inspection position, the tip of the probe needle 84 is located several mm above the liquid crystal substrate 18 and does not contact the electrodes of the liquid crystal substrate 18. Thus, the contactable state and the contactless state of the probe block 66 are switched according to the operation of the air cylinder 82.
【0024】ところで、図1の二つの第2プローブ組立
体48、49は互いに全く同じ構造である。また、第1
プローブ組立体46、47は、第2プローブ組立体4
8、49とほとんど同じ構造であるが、プローブブロッ
クの数が4個である点と、それに応じてY方向の幅が第
2プローブ組立体のX方向の幅よりも大きくなっている
点だけが異なっている。この第1プローブ組立体46、
47についても、図6を参照して説明した第2プローブ
組立体48の説明内容がそのまま当てはまるが、ただ、
「第2可動ベース」を「第1可動ベース」と読み替え、
「第2上部プレート」を「第1上部プレート」と読み替
え、「X方向」を「Y方向」と読み替え、「Y方向」を
「X方向」と読み替えればよい。Incidentally, the two second probe assemblies 48 and 49 in FIG. 1 have exactly the same structure as each other. Also, the first
The probe assemblies 46 and 47 are connected to the second probe assembly 4.
8, 49, except that the number of probe blocks is four, and the width in the Y direction is accordingly larger than the width in the X direction of the second probe assembly. Is different. This first probe assembly 46,
As for 47, the description of the second probe assembly 48 described with reference to FIG.
"Second movable base" is read as "first movable base",
The “second upper plate” may be read as “first upper plate”, the “X direction” may be read as “Y direction”, and the “Y direction” may be read as “X direction”.
【0025】図2は図1のプローブユニットの正面図で
あるが、二つの第2プローブ組立体48、49の側面と
第1プローブ組立体47の背面が見えている。図4は図
3の第2プローブ組立体48の側面図であるが、第2可
動ベース50の支柱58に取り付けられた回動軸60
や、台形断面の案内溝64や、その内部の締結ブロック
68が明瞭に示されている。FIG. 2 is a front view of the probe unit of FIG. 1, but shows the side surfaces of the two second probe assemblies 48 and 49 and the back surface of the first probe assembly 47. FIG. 4 is a side view of the second probe assembly 48 of FIG. 3, in which a rotation shaft 60 attached to a column 58 of the second movable base 50 is shown.
Also, the guide groove 64 having a trapezoidal cross section and the fastening block 68 therein are clearly shown.
【0026】図5は第1プローブ組立体47の背面図で
ある。第1可動ベース50aが2本のガイドレール54
aに載っている様子や、第1上部プレート52aが2本
の引っ張りコイルバネ76aで第1可動ベース50aの
方向に引っ張られている様子や、突出片78aが可動片
80aに接触している様子が見える。FIG. 5 is a rear view of the first probe assembly 47. The first movable base 50a includes two guide rails 54.
a, the first upper plate 52a is pulled in the direction of the first movable base 50a by two tension coil springs 76a, and the projecting piece 78a is in contact with the movable piece 80a. appear.
【0027】次に、このプローブユニットを用いて各種
の液晶基板を検査する手順を説明する。図1に示す状態
は、10インチの液晶基板18を測定するときのプロー
ブユニットの状態である。各プローブブロック66のプ
ローブ針の位置は、図12の10インチの液晶基板18
aのパッド領域24に対応している。そして、両タブタ
イプの液晶基板の点灯検査またはTFTアレイ検査をす
る場合は、二つの第1プローブ組立体46、47と一つ
の第2プローブ組立体49を図7(A)に示す接触可能
状態にする。残りの第2プローブ組立体48は図7
(B)に示すようにプローブ針84の先端を上げて接触
不能状態にする。このようにセットしたプローブユニッ
トを用いて、両タブタイプの液晶基板の3辺のパッド領
域にプローブ針を接触させて所定の検査を実行する。一
方、片タブタイプの液晶基板の点灯検査またはTFTア
レイ検査をする場合は、一つの第1プローブ組立体46
と一つの第2プローブ組立体49を接触可能状態に、残
りの第1プローブ組立体47と第2プローブ組立体48
を接触不能状態にする。このように、プローブ組立体ご
とにプローブ針の接触可能状態と接触不能状態を選択で
きるので、両タブタイプの液晶基板と片タブタイプの液
晶基板の両方に対応できる。Next, a procedure for inspecting various liquid crystal substrates using the probe unit will be described. The state shown in FIG. 1 is a state of the probe unit when measuring the 10-inch liquid crystal substrate 18. The position of the probe needle of each probe block 66 is the position of the 10-inch liquid crystal substrate 18 in FIG.
a corresponding to the pad region 24. When the lighting inspection or the TFT array inspection of the liquid crystal substrate of both tab types is performed, the two first probe assemblies 46 and 47 and the one second probe assembly 49 are brought into a contactable state shown in FIG. To The remaining second probe assembly 48 is shown in FIG.
As shown in (B), the tip of the probe needle 84 is raised to make contact impossible. Using the probe unit set in this way, a predetermined inspection is executed by bringing the probe needles into contact with the pad areas on three sides of the liquid crystal substrate of both tab types. On the other hand, when performing the lighting inspection or the TFT array inspection of the single tab type liquid crystal substrate, one first probe assembly 46 is used.
And one second probe assembly 49 in a contactable state, and the remaining first probe assembly 47 and second probe assembly 48
To make it inaccessible. As described above, the contactable state and the non-contactable state of the probe needle can be selected for each probe assembly, so that both the double-tab type liquid crystal substrate and the single-tab type liquid crystal substrate can be handled.
【0028】液晶基板のサイズを10インチから11イ
ンチまたは12インチに変更するには、プローブユニッ
トを次のように調節する。まず、第2プローブ組立体4
8、49においては、図3に示すように、固定ネジ56
をゆるめて第2可動ベース50をガイドレール54に沿
ってX方向に動かして、11インチまたは12インチの
液晶基板に対応した位置まで移動し、固定ネジ56で固
定する。次に、固定ネジ70をゆるめて3個のプローブ
ブロック66をY方向に動かして、11インチまたは1
2インチの液晶基板に対応したパッド領域の位置まで移
動し、固定ネジ70で固定する。これにより、プローブ
ブロック66は11インチまたは12インチの液晶基板
に適合する位置にくる。図1の第1プローブ組立体4
6、47についても、同様の作業をして、プローブブロ
ックを11インチまたは12インチの液晶基板に適合さ
せる。To change the size of the liquid crystal substrate from 10 inches to 11 inches or 12 inches, adjust the probe unit as follows. First, the second probe assembly 4
In FIGS. 8 and 49, as shown in FIG.
, The second movable base 50 is moved in the X direction along the guide rail 54, moved to a position corresponding to the 11-inch or 12-inch liquid crystal substrate, and fixed with the fixing screw 56. Next, by loosening the fixing screw 70 and moving the three probe blocks 66 in the Y direction, 11 inches or 1
It is moved to the position of the pad area corresponding to the 2-inch liquid crystal substrate and fixed with the fixing screw 70. As a result, the probe block 66 comes to a position suitable for an 11-inch or 12-inch liquid crystal substrate. First probe assembly 4 of FIG.
The same operation is carried out for 6 and 47 so that the probe block is adapted to an 11-inch or 12-inch liquid crystal substrate.
【0029】同じ形式(例えばSVGA形式)の液晶基
板であれば、サイズが違っても、TABごとに分割され
た個々のパッド領域が同じ寸法なので、各プローブブロ
ックの位置を液晶基板のサイズに応じて(すなわちパッ
ド領域の配置位置に応じて)調節すれば、本発明のよう
に共通のプローブユニットで対応できる。In the case of liquid crystal substrates of the same format (for example, SVGA format), even if the size is different, since the individual pad areas divided for each TAB have the same dimensions, the position of each probe block depends on the size of the liquid crystal substrate. If the adjustment is made (that is, according to the arrangement position of the pad area), a common probe unit can be used as in the present invention.
【0030】もし、片タブタイプの液晶基板だけを点灯
検査またはTFTアレイ検査するのであれば、同一のプ
ローブユニットを用いて、2品種の液晶基板の検査がで
きる。すなわち、第1プローブ組立体46と第2プロー
ブ組立体49には第1品種の液晶基板を検査できるよう
に構成しておき、一方、第1プローブ組立体47と第2
プローブ組立体48は第2品種の液晶基板を検査できる
ように構成しておく。そして、第1品種の液晶基板を検
査するときは、プローブ組立体47、48を接触不能状
態にして、プローブ組立体46、49だけを使用する。
一方、第2品種の液晶基板を検査するときは、これとは
逆に、プローブ組立体46、49を接触不能状態にし
て、プローブ組立体47、48だけを使用する。If only one tab type liquid crystal substrate is subjected to lighting inspection or TFT array inspection, two types of liquid crystal substrates can be inspected using the same probe unit. That is, the first probe assembly 46 and the second probe assembly 49 are configured so as to be able to inspect a first type of liquid crystal substrate, while the first probe assembly 47 and the second
The probe assembly 48 is configured so as to be able to inspect a second type of liquid crystal substrate. Then, when inspecting the first type of liquid crystal substrate, the probe assemblies 47 and 48 are brought into a non-contact state, and only the probe assemblies 46 and 49 are used.
On the other hand, when inspecting the liquid crystal substrate of the second type, on the contrary, the probe assemblies 46 and 49 are disabled from contacting, and only the probe assemblies 47 and 48 are used.
【0031】ところで、液晶基板のデータ線のオープン
/ショート検査だけを実行するならば、図10のデータ
線20につながるパッド領域24だけにプローブ針を接
触させればよいので、ゲート線につながるパッド領域2
8にはプローブ針を接触させる必要がない。すなわち、
両タブタイプの液晶基板のオープン/ショート検査(デ
ータ線)をするには、対向する二つのプローブ組立体だ
けを利用することになる。したがって、二つの第1プロ
ーブ組立体を両タブタイプの第1品種の液晶基板のオー
プン/ショート検査(データ線)のための構成とし、二
つの第2プローブ組立体を両タブタイプの第2品種の液
晶基板のオープン/ショート検査(データ線)のための
構成とすることができる。これにより、同一のプローブ
ユニットを用いて、両タブタイプの2品種の液晶基板の
オープン/ショート検査(データ線)を実行できる。さ
らに、片タブタイプの液晶基板のオープン/ショート検
査(データ線)では、一つのプローブ組立体だけしか必
要としないから、同一のプローブユニットで4品種の液
晶基板の検査ができる。By the way, if only the open / short inspection of the data lines on the liquid crystal substrate is to be executed, the probe needle only needs to be brought into contact with the pad region 24 connected to the data line 20 in FIG. Area 2
8 does not require contact with a probe needle. That is,
In order to perform open / short inspection (data line) of the liquid crystal substrate of both tab types, only two opposing probe assemblies are used. Therefore, the two first probe assemblies are configured for the open / short inspection (data line) of the liquid crystal substrate of the first type of both tab types, and the two second probe assemblies are formed of the second type of both tab types. For the open / short inspection (data line) of the liquid crystal substrate. Thus, open / short inspection (data line) of two types of liquid crystal substrates of both tab types can be performed using the same probe unit. Further, in the open / short inspection (data line) of a single tab type liquid crystal substrate, only one probe assembly is required, so that four types of liquid crystal substrates can be inspected with the same probe unit.
【0032】結局、このプローブユニットは、基板サイ
ズに応じて各プローブ組立体のプローブブロックの位置
を調節できて、かつ、プローブ組立体ごとに接触可能状
態と接触不能状態を選択できるので、同一のプローブユ
ニットで各種の液晶基板の検査ができる。これをまとめ
ると次のようになる。(1)サイズの異なる液晶基板に
対応できる。(2)両タブタイプの液晶基板と片タブタ
イプの液晶基板の両方に対応できる。(3)片タブタイ
プの液晶基板の点灯検査またはTFTアレイ検査を実行
する場合は、2品種の液晶基板に対応できる。(4)両
タブタイプの液晶基板のオープン/ショート検査(デー
タ線)を実行する場合は、2品種の液晶基板に対応でき
る。(5)片タブタイプの液晶基板のオープン/ショー
ト検査(データ線)を実行する場合は、4品種の液晶基
板に対応できる。After all, in this probe unit, the position of the probe block of each probe assembly can be adjusted according to the substrate size, and the contactable state and the contactless state can be selected for each probe assembly. Various liquid crystal substrates can be inspected with the probe unit. This can be summarized as follows. (1) It is possible to support liquid crystal substrates having different sizes. (2) Both liquid crystal substrates of both tab type and single tab type can be supported. (3) When a lighting inspection or a TFT array inspection of a single tab type liquid crystal substrate is performed, two types of liquid crystal substrates can be handled. (4) When performing an open / short inspection (data line) of a liquid crystal substrate of both tab types, it is possible to cope with two types of liquid crystal substrates. (5) When performing an open / short inspection (data line) of a single tab type liquid crystal substrate, it can be applied to four types of liquid crystal substrates.
【0033】上述の実施形態の説明では、10インチ、
11インチ、12インチの3種類のサイズの液晶基板の
例を用いて説明したが、基板サイズはこれに限定されな
い。また、液晶基板以外の被測定基板に本発明を適用す
ることもできる。In the description of the above embodiment, 10 inches,
Although the description has been made using the example of the liquid crystal substrates of three types of 11 inches and 12 inches, the substrate size is not limited to this. Further, the present invention can be applied to a substrate to be measured other than the liquid crystal substrate.
【0034】上述の実施形態では、第1上部プレートと
第2上部プレートは回動可能に構成しているが、接触可
能状態と接触不能状態との間で切り替えるには、上下に
昇降可能にしてもよい。In the above embodiment, the first upper plate and the second upper plate are configured to be rotatable. However, in order to switch between the contactable state and the contactless state, the first upper plate and the second upper plate can be moved up and down. Is also good.
【0035】[0035]
【発明の効果】この発明は、被測定基板のサイズに合わ
せて複数のプローブブロックの位置を調節できるように
し、かつ、各辺ごとにプローブブロックを接触可能状態
と接触不能状態に切り替えることができるようにしたの
で、サイズや品種の異なる基板に対して共通のプローブ
ユニットを使用でき、プローブユニットの交換作業が不
要になる。したがって、基板サイズや品種の変更に伴う
プローブユニットの調節作業は一人の作業者によって短
時間で終了する。また、基板サイズや品種ごとにプロー
ブユニットを準備したり保管したりする必要がない。According to the present invention, the positions of a plurality of probe blocks can be adjusted according to the size of a substrate to be measured, and the probe blocks can be switched between a contactable state and a contactless state for each side. With this configuration, a common probe unit can be used for substrates of different sizes and types, and the work of replacing the probe unit becomes unnecessary. Therefore, the operation of adjusting the probe unit in accordance with the change of the board size or the type is completed by one operator in a short time. In addition, there is no need to prepare or store a probe unit for each board size or product type.
【図1】この発明のプローブユニットの一実施形態を示
す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of a probe unit of the present invention.
【図2】図1のプローブユニットの正面図である。FIG. 2 is a front view of the probe unit of FIG.
【図3】第2プローブ組立体の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a second probe assembly.
【図4】第2プローブ組立体の側面図である。FIG. 4 is a side view of a second probe assembly.
【図5】第1プローブ組立体の背面図である。FIG. 5 is a rear view of the first probe assembly.
【図6】第2プローブ組立体の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of a second probe assembly.
【図7】図3のD−D線断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along line DD of FIG. 3;
【図8】従来のプローブユニットの平面図である。FIG. 8 is a plan view of a conventional probe unit.
【図9】図8のA−A線断面図である。FIG. 9 is a sectional view taken along line AA of FIG. 8;
【図10】液晶基板に形成された配線図の一例である。FIG. 10 is an example of a wiring diagram formed on a liquid crystal substrate.
【図11】液晶基板のパッド領域の配置例を示す平面図
である。FIG. 11 is a plan view showing an example of the arrangement of pad regions on a liquid crystal substrate.
【図12】液晶基板のサイズの違いによるパッド領域の
位置の違いを示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing a difference in the position of a pad region due to a difference in the size of the liquid crystal substrate.
18 液晶基板 40 プローブベース 42 X辺 44 Y辺 46、47 第1プローブ組立体 48、49 第2プローブ組立体 50 第2可動ベース 50a 第1可動ベース 52 第2上部プレート 52a 第1上部プレート 54 ガイドレール 56 固定ネジ 58 支柱 60 回動軸 64 案内溝 66 プローブブロック 68 締結ブロック 70 固定ネジ 76 引っ張りコイルバネ 84 プローブ針 18 Liquid crystal substrate 40 Probe base 42 X side 44 Y side 46, 47 First probe assembly 48, 49 Second probe assembly 50 Second movable base 50a First movable base 52 Second upper plate 52a First upper plate 54 Guide Rail 56 Fixing screw 58 Prop 60 Rotating axis 64 Guide groove 66 Probe block 68 Fastening block 70 Fixing screw 76 Pull coil spring 84 Probe needle
Claims (2)
多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査する
プローブユニットにおいて、次の構成を備えるプローブ
ユニット。 (イ)X方向に延びる二つのX辺と前記X方向に垂直な
Y方向に延びる二つのY辺とを備える枠状のプローブベ
ース。 (ロ)前記プローブベースの二つのX辺のそれぞれにお
いてY方向に位置調節可能に取り付けられた第1可動ベ
ース。 (ハ)前記第1可動ベースに取り付けられていて、前記
接触子が前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態の
いずれかの状態になり得る第1上部プレート。 (ニ)前記第1上部プレートに対してX方向に位置調節
可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプ
ローブブロック。 (ホ)前記プローブベースの二つのY辺のそれぞれにお
いてX方向に位置調節可能に取り付けられた第2可動ベ
ース。 (ヘ)前記第2可動ベースに取り付けられていて、前記
接触子が前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態の
いずれかの状態になり得る第2上部プレート。 (ト)前記第2上部プレートに対してY方向に位置調節
可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプ
ローブブロック。1. A probe unit for inspecting a substrate to be measured by bringing a contact into contact with a number of electrodes arranged around a rectangular substrate to be measured, the probe unit having the following configuration. (A) A frame-shaped probe base including two X sides extending in the X direction and two Y sides extending in the Y direction perpendicular to the X direction. (B) A first movable base mounted so as to be position-adjustable in the Y direction on each of two X sides of the probe base. (C) a first upper plate that is attached to the first movable base and that can be in one of a state in which the contact can contact the electrode and a state in which the electrode cannot contact the electrode; (D) A plurality of probe blocks which are attached to the first upper plate so as to be position-adjustable in the X direction and include the contacts. (E) a second movable base mounted so as to be position-adjustable in the X direction on each of the two Y sides of the probe base. (F) a second upper plate attached to the second movable base, wherein the contact can be in one of a state in which the contact can contact the electrode and a state in which the electrode cannot contact the electrode; (G) A plurality of probe blocks which are attached to the second upper plate so as to be position-adjustable in the Y direction and include the contacts.
回動軸の回りに回動可能であり、前記第2上部プレート
はY方向に延びる回動軸の回りに回動可能であることを
特徴とする請求項1記載のプローブユニット。2. The method according to claim 1, wherein the first upper plate is rotatable about a rotation axis extending in the X direction, and the second upper plate is rotatable about a rotation axis extending in the Y direction. The probe unit according to claim 1, wherein:
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