JPH10178227A - 波長変換レーザ装置 - Google Patents
波長変換レーザ装置Info
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- JPH10178227A JPH10178227A JP33802696A JP33802696A JPH10178227A JP H10178227 A JPH10178227 A JP H10178227A JP 33802696 A JP33802696 A JP 33802696A JP 33802696 A JP33802696 A JP 33802696A JP H10178227 A JPH10178227 A JP H10178227A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較的簡単な構成のもとに、出力が安定した
第４高調波を発生することのできる波長変換レーザ装置
を提供する。 【解決手段】 第２高調波を発生する光共振器２１内の
レーザ媒質４と波長変換素子５との間に、レーザ基本波
を透過し、第２高調波を選択的に反射するビームスプリ
ッタ１１を配置し、そのビームスプリッタ１１を共振器
ミラーの一つとしてリング共振器２２を構成するととも
に、このリング共振器２２の光軸上に波長変換素子８を
配置することで、レーザ装置全体を複合共振器（定在波
型）構造とすることなく、比較的簡単な構成のもとに第
４高調波を得る。
第４高調波を発生することのできる波長変換レーザ装置
を提供する。 【解決手段】 第２高調波を発生する光共振器２１内の
レーザ媒質４と波長変換素子５との間に、レーザ基本波
を透過し、第２高調波を選択的に反射するビームスプリ
ッタ１１を配置し、そのビームスプリッタ１１を共振器
ミラーの一つとしてリング共振器２２を構成するととも
に、このリング共振器２２の光軸上に波長変換素子８を
配置することで、レーザ装置全体を複合共振器（定在波
型）構造とすることなく、比較的簡単な構成のもとに第
４高調波を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長変換素子（非
線形光学結晶）を用いてレーザ基本波の第４高調波を得
る波長変換レーザ装置に関する。
線形光学結晶）を用いてレーザ基本波の第４高調波を得
る波長変換レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ装置の光共振器内に波長変換素子
を収容することにより、レーザ媒質から誘導放出される
基本波の第２高調波を光共振器内で発生させ、その第２
高調波を、第４高調波発生用の波長変換素子を含む共振
器内で共振させて第４高調波を得る波長変換レーザ装置
が知られている。
を収容することにより、レーザ媒質から誘導放出される
基本波の第２高調波を光共振器内で発生させ、その第２
高調波を、第４高調波発生用の波長変換素子を含む共振
器内で共振させて第４高調波を得る波長変換レーザ装置
が知られている。
【０００３】この種の第４高調波発生レーザ装置として
は、従来、図３に示すように、第２高調波発生（ＳＨ
Ｇ）レーザ装置１０１からの第２高調波を、４枚の共振
器ミラー１０２〜１０５で構成され内部に波長変換素子
１０６が配置されたリング共振器（進行波型共振器）１
０７に入力し、このリング共振器１０７内で第２高調波
を共振させて第４高調波を得る構造のものがある。
は、従来、図３に示すように、第２高調波発生（ＳＨ
Ｇ）レーザ装置１０１からの第２高調波を、４枚の共振
器ミラー１０２〜１０５で構成され内部に波長変換素子
１０６が配置されたリング共振器（進行波型共振器）１
０７に入力し、このリング共振器１０７内で第２高調波
を共振させて第４高調波を得る構造のものがある。
【０００４】また、図４に示すように、２枚のミラー２
０３と２０６で構成される光共振器２２１内にレーザ媒
質２０４及び波長変換素子２０５を配置し、そのレーザ
媒質２０４を半導体レーザ２０１からの出力光で励起す
ることによって誘導放出される基本波を、光共振器２２
１内で共振させて第２高調波を発生させ、この第２高調
波を、光共振器２２１と同軸上に配置した２枚のミラー
２０７，２０８と第４高調波発生用波長変換素子２０９
からなる定在波型共振器２２２内で共振させて第４高調
波を発生させる構造のレーザ装置もある。
０３と２０６で構成される光共振器２２１内にレーザ媒
質２０４及び波長変換素子２０５を配置し、そのレーザ
媒質２０４を半導体レーザ２０１からの出力光で励起す
ることによって誘導放出される基本波を、光共振器２２
１内で共振させて第２高調波を発生させ、この第２高調
波を、光共振器２２１と同軸上に配置した２枚のミラー
２０７，２０８と第４高調波発生用波長変換素子２０９
からなる定在波型共振器２２２内で共振させて第４高調
波を発生させる構造のレーザ装置もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記した二
つの第４高調波発生レーザ装置によれば、次のような問
題がある。
つの第４高調波発生レーザ装置によれば、次のような問
題がある。
【０００６】まず、図３に示したレーザ装置では、第４
高調波を発生させるリング共振器に第２高調波を入力す
る際に、リング共振器のモードと入力される第２高調波
のモードを厳密に一致させないと入力効率が急激に低下
するという問題があり、このため、目的とするレーザ出
力を得るには精密なモード調整が必要で、その調整操作
が非常に難しくなる。
高調波を発生させるリング共振器に第２高調波を入力す
る際に、リング共振器のモードと入力される第２高調波
のモードを厳密に一致させないと入力効率が急激に低下
するという問題があり、このため、目的とするレーザ出
力を得るには精密なモード調整が必要で、その調整操作
が非常に難しくなる。
【０００７】一方、図４に示したレーザ装置では、二つ
の定在波型共振器を組み合わせた複合共振器構造となる
ためレーザ出力が不安定になりやすい。すなわち、定在
波型共振器では多数縦モード発振となるため、その縦モ
ード間の競合により和周波が発生する等の原因によりレ
ーザ出力が不安定となりやすい。これを解消するには、
第２高調波を選択的に抽出する特別のモード選択機構
（例えばエタロン等）を設ける等の対策を講じる必要が
ある。
の定在波型共振器を組み合わせた複合共振器構造となる
ためレーザ出力が不安定になりやすい。すなわち、定在
波型共振器では多数縦モード発振となるため、その縦モ
ード間の競合により和周波が発生する等の原因によりレ
ーザ出力が不安定となりやすい。これを解消するには、
第２高調波を選択的に抽出する特別のモード選択機構
（例えばエタロン等）を設ける等の対策を講じる必要が
ある。
【０００８】本発明の目的は、比較的簡単な構成のもと
に、出力が安定した第４高調波を得ることのできる波長
変換レーザ装置を提供することにある。
に、出力が安定した第４高調波を得ることのできる波長
変換レーザ装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの構成を、実施の形態を表す図１を参照しつつ説明す
ると、本発明は、レーザ媒質４を含む光共振器２１内に
波長変換素子（第２高調波発生用）５を収容して、その
レーザ媒質４から誘導放出される基本波の第２高調波を
光共振器２１内で発生させ、この第２高調波を、第４高
調波発生用の波長変換素子を含む光共振器内で共振させ
て第４高調波を得るレーザ装置において、レーザ媒質４
と波長変換素子（第２高調波発生用）５との間に、基本
波を透過し、第２高調波を選択的に反射するビームスプ
リッタ１１を配置し、このビームスプリッタ１１を共振
器ミラーの一つとしてリング共振器２２を構成するとと
もに、そのリング共振器２２の光軸上に、第４高調波を
発生する波長変換素子８を配置して、当該リング共振器
２２内で第２高調波を共振させて第４高調波を発生する
ように構成したことによって特徴づけられる。
めの構成を、実施の形態を表す図１を参照しつつ説明す
ると、本発明は、レーザ媒質４を含む光共振器２１内に
波長変換素子（第２高調波発生用）５を収容して、その
レーザ媒質４から誘導放出される基本波の第２高調波を
光共振器２１内で発生させ、この第２高調波を、第４高
調波発生用の波長変換素子を含む光共振器内で共振させ
て第４高調波を得るレーザ装置において、レーザ媒質４
と波長変換素子（第２高調波発生用）５との間に、基本
波を透過し、第２高調波を選択的に反射するビームスプ
リッタ１１を配置し、このビームスプリッタ１１を共振
器ミラーの一つとしてリング共振器２２を構成するとと
もに、そのリング共振器２２の光軸上に、第４高調波を
発生する波長変換素子８を配置して、当該リング共振器
２２内で第２高調波を共振させて第４高調波を発生する
ように構成したことによって特徴づけられる。
【００１０】以上のように、本発明では、第２高調波を
発生する光共振器２１内にビームスプリッタ１１を配置
して、このビームスプリッタ１１を、第４高調波発生用
のリング共振器２２の共振器ミラーの１枚に利用してい
るので、レーザ装置全体が、定在波型共振器を組み合わ
せた複合共振器構造となることがなく、安定したレーザ
出力を得ることが可能になる。しかも、ビームスプリッ
タ１１を、第２高調波を発生する光共振器２１内のレー
ザ媒質４と波長変換素子５との間に配置しているので、
第２高調波のモードとリング共振器２２のモードとを簡
単な調整により一致させることができる。
発生する光共振器２１内にビームスプリッタ１１を配置
して、このビームスプリッタ１１を、第４高調波発生用
のリング共振器２２の共振器ミラーの１枚に利用してい
るので、レーザ装置全体が、定在波型共振器を組み合わ
せた複合共振器構造となることがなく、安定したレーザ
出力を得ることが可能になる。しかも、ビームスプリッ
タ１１を、第２高調波を発生する光共振器２１内のレー
ザ媒質４と波長変換素子５との間に配置しているので、
第２高調波のモードとリング共振器２２のモードとを簡
単な調整により一致させることができる。
【００１１】ここで、本発明に用いるビームスプリッタ
１１を、図１に例示するように、その対向面１１ａ，１
１ｂのうち、第２高調波の反射面１１ｂでない側の面１
１ａを、基本波の波長に対するブリュスタウインドウと
して利用するように構成すれば、第２高調波の波長に対
して特別のモード選択機構を設けることなく、縦モード
のシングルモード化をはかることができ、発振レーザの
コヒーレンスが向上する。
１１を、図１に例示するように、その対向面１１ａ，１
１ｂのうち、第２高調波の反射面１１ｂでない側の面１
１ａを、基本波の波長に対するブリュスタウインドウと
して利用するように構成すれば、第２高調波の波長に対
して特別のモード選択機構を設けることなく、縦モード
のシングルモード化をはかることができ、発振レーザの
コヒーレンスが向上する。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の構成図であ
る。半導体レーザ１からの出力光は、コリメータレンズ
２ａ及びフォーカスレンズ２ｂを介してレーザ媒質４に
照射される。レーザ媒質４とフォーカスレンズ２ｂとの
間には、半導体レーザ１の出力波長を透過し、かつ、レ
ーザ媒質４から誘導放出される基本波及びその第２高調
波に対しては高い反射率をもつミラー３が配置されてい
る。またレーザ媒質４に対向して第２高調波出力ミラー
６が配置されており、この出力ミラー６を先のミラー３
との間で光共振器２１が構成されている。
る。半導体レーザ１からの出力光は、コリメータレンズ
２ａ及びフォーカスレンズ２ｂを介してレーザ媒質４に
照射される。レーザ媒質４とフォーカスレンズ２ｂとの
間には、半導体レーザ１の出力波長を透過し、かつ、レ
ーザ媒質４から誘導放出される基本波及びその第２高調
波に対しては高い反射率をもつミラー３が配置されてい
る。またレーザ媒質４に対向して第２高調波出力ミラー
６が配置されており、この出力ミラー６を先のミラー３
との間で光共振器２１が構成されている。
【００１３】光共振器２１の内部には、波長変換素子５
が収容されており、半導体レーザ１からの出力光でレー
ザ媒質４を励起することによって誘導放出された基本波
が、波長変換素子５に照射されることにより第２高調波
が生成される。
が収容されており、半導体レーザ１からの出力光でレー
ザ媒質４を励起することによって誘導放出された基本波
が、波長変換素子５に照射されることにより第２高調波
が生成される。
【００１４】さて、この実施の形態では、第２高調波を
発生する光共振器２１のレーザ媒質４と波長変換素子５
との間にビームスプリッタ１１を配置して、このビーム
スプリッタ１１を、リング共振器２２の共振器ミラーの
一つとして利用する点に特徴がある。
発生する光共振器２１のレーザ媒質４と波長変換素子５
との間にビームスプリッタ１１を配置して、このビーム
スプリッタ１１を、リング共振器２２の共振器ミラーの
一つとして利用する点に特徴がある。
【００１５】そのビームスプリッタ１１の波長変換素子
５側の面１１ｂには、レーザ媒質４から誘導放出された
基本波を高効率で透過し、かつ、光共振器２１で発生す
る第２高調波を高効率で反射する膜がコーティングされ
ている。一方、ビームスプリッタ１１のレーザ媒質４側
の面１１ａにはコーティングが施されていないが、ブリ
ュスタウインドウとして利用されているため、レーザ媒
質４から誘導放出された基本波を高効率で透過する。ま
た、ブリュスタウインドウとして利用しない場合には、
上記目的のために、面１１ａには基本波を高効率で透過
する膜をコーティングすることになる。
５側の面１１ｂには、レーザ媒質４から誘導放出された
基本波を高効率で透過し、かつ、光共振器２１で発生す
る第２高調波を高効率で反射する膜がコーティングされ
ている。一方、ビームスプリッタ１１のレーザ媒質４側
の面１１ａにはコーティングが施されていないが、ブリ
ュスタウインドウとして利用されているため、レーザ媒
質４から誘導放出された基本波を高効率で透過する。ま
た、ブリュスタウインドウとして利用しない場合には、
上記目的のために、面１１ａには基本波を高効率で透過
する膜をコーティングすることになる。
【００１６】そして、この実施の形態では、ビームスプ
リッタ１１を、その片面１１ａが基本波の波長に対する
ブリュスタウインドウとして機能するような角度で傾
け、かつ、そのブリュスタウインドウがレーザ発振条件
を満たすような向きに配置しており、このようなビーム
スプリッタ１１と、３枚の共振器ミラー９，１０，１
２、オプティカルダイオード７、及び、第４高調波を発
生する波長変換素子８によって第４高調波発生用のリン
グ共振器２２を構成している。
リッタ１１を、その片面１１ａが基本波の波長に対する
ブリュスタウインドウとして機能するような角度で傾
け、かつ、そのブリュスタウインドウがレーザ発振条件
を満たすような向きに配置しており、このようなビーム
スプリッタ１１と、３枚の共振器ミラー９，１０，１
２、オプティカルダイオード７、及び、第４高調波を発
生する波長変換素子８によって第４高調波発生用のリン
グ共振器２２を構成している。
【００１７】なお、オプティカルダイオード７は、リン
グ共振器２２内の光を、一方向（図中矢印の方向）に規
制するための光学素子である。また、リング共振器２２
を構成する共振器ミラー９，１０，１２のうち、ミラー
９及び１０は、第２高調波と第４高調波の双方を高効率
で反射する。ミラー１２は第２高調波を高効率で反射
し、第４高調波を高効率で透過する第４高調波出力ミラ
ーである。
グ共振器２２内の光を、一方向（図中矢印の方向）に規
制するための光学素子である。また、リング共振器２２
を構成する共振器ミラー９，１０，１２のうち、ミラー
９及び１０は、第２高調波と第４高調波の双方を高効率
で反射する。ミラー１２は第２高調波を高効率で反射
し、第４高調波を高効率で透過する第４高調波出力ミラ
ーである。
【００１８】以上の構造のレーザ装置では、レーザ媒質
４から誘導放出された基本波が光共振器２１内で共振さ
れて第２高調波が発生し、この第２高調波が光共振器２
１の出力ミラー６を介して光共振器２１の外部へと進行
し、その第２高調波が共振器ミラー１２，９，１０で反
射された後、ビームスプリッタ１１に入射する。ここで
ビームスプリッタ１１は第２高調波を高効率で反射する
ので、このリング共振器２２内において第２高調波は、
図中の矢印の方向に向けて波長変換素子８を通過しなが
らリング状に進行してゆく。これにより第２高調波が共
振して第４高調波が発生し、その第４高調波（４ω）
が、光共振器２１と対向して配置された共振器ミラー１
２を通じて外部に取り出される。
４から誘導放出された基本波が光共振器２１内で共振さ
れて第２高調波が発生し、この第２高調波が光共振器２
１の出力ミラー６を介して光共振器２１の外部へと進行
し、その第２高調波が共振器ミラー１２，９，１０で反
射された後、ビームスプリッタ１１に入射する。ここで
ビームスプリッタ１１は第２高調波を高効率で反射する
ので、このリング共振器２２内において第２高調波は、
図中の矢印の方向に向けて波長変換素子８を通過しなが
らリング状に進行してゆく。これにより第２高調波が共
振して第４高調波が発生し、その第４高調波（４ω）
が、光共振器２１と対向して配置された共振器ミラー１
２を通じて外部に取り出される。
【００１９】ここで、図１に示す実施の形態において
は、ビームスプリッタ１１を、第２高調波を発生する光
共振器２１内のレーザ媒質４と波長変換素子５との間に
配置しているので、第２高調波のモードとリング共振器
２２のモードとを簡単な調整により一致させることがで
きる。しかもレーザ装置の全体構成が比較的簡単になる
とともに小型化を達成できる。また、ビームスプリッタ
１１の片面１１ａを、基本波の波長に対するブリュスタ
ウインドウとして利用しているので、縦モードのシング
ルモード化をはかることができ、これにより発振レーザ
のコヒーレンスが向上する。
は、ビームスプリッタ１１を、第２高調波を発生する光
共振器２１内のレーザ媒質４と波長変換素子５との間に
配置しているので、第２高調波のモードとリング共振器
２２のモードとを簡単な調整により一致させることがで
きる。しかもレーザ装置の全体構成が比較的簡単になる
とともに小型化を達成できる。また、ビームスプリッタ
１１の片面１１ａを、基本波の波長に対するブリュスタ
ウインドウとして利用しているので、縦モードのシング
ルモード化をはかることができ、これにより発振レーザ
のコヒーレンスが向上する。
【００２０】なお、本発明の実施の形態に用いられるレ
ーザ媒質４としては、例えばＮd:ＹＡＧまたはＮd:ＹＶ
Ｏ4 などが挙げられ、Ｎd:ＹＡＧを用いる場合、その固
体レーザ媒質から誘導放出される基本波を第２高調波に
変換する波長変換素子としては、温度に対して安定な非
線形光学結晶、例えばＬＢＯ（ＬｉＢ3 Ｏ5 ）またはＢ
ＢＯ（β−ＢａＢ2 Ｏ4 ）などが挙げられる。また固体
レーザ媒質としてＮd:ＹＶＯ4 を用いる場合、基本波を
第２高調波に変換する波長変換素子にはＫＰＴ（ＫＴｉ
ＯＰＯ4 ）などを用いる。
ーザ媒質４としては、例えばＮd:ＹＡＧまたはＮd:ＹＶ
Ｏ4 などが挙げられ、Ｎd:ＹＡＧを用いる場合、その固
体レーザ媒質から誘導放出される基本波を第２高調波に
変換する波長変換素子としては、温度に対して安定な非
線形光学結晶、例えばＬＢＯ（ＬｉＢ3 Ｏ5 ）またはＢ
ＢＯ（β−ＢａＢ2 Ｏ4 ）などが挙げられる。また固体
レーザ媒質としてＮd:ＹＶＯ4 を用いる場合、基本波を
第２高調波に変換する波長変換素子にはＫＰＴ（ＫＴｉ
ＯＰＯ4 ）などを用いる。
【００２１】また、以上の実施の形態において、第４高
調波を発生させるリング共振器２２を構成する共振器ミ
ラー９，１０，１２のうち、少なくとも一つのミラーに
ピエゾ素子等を利用した微小調整機構を設け、その調整
機構により、常に最適な共振条件を満たすように、ミラ
ーの傾き・ミラー間距離等を制御すれば、より安定した
第４高調波出力を得ることができる。
調波を発生させるリング共振器２２を構成する共振器ミ
ラー９，１０，１２のうち、少なくとも一つのミラーに
ピエゾ素子等を利用した微小調整機構を設け、その調整
機構により、常に最適な共振条件を満たすように、ミラ
ーの傾き・ミラー間距離等を制御すれば、より安定した
第４高調波出力を得ることができる。
【００２２】ここで、図１に示す実施の形態では、第２
高調波発生用の光共振器として、半導体レーザ１、レン
ズ２ａ，２ｂ、共振器ミラー３，６、レーザ媒質４並び
に波長変換素子５を同一直線上に配置したもの（インラ
イン型配置）を用いた例を示したが、これに限られるこ
となく、例えば図２に示すように、レーザ媒質４と波長
変換素子５とが同一直線上に配置されない、他の定在波
型共振器を適用しても本発明は実施可能である。なお、
図２に示す構造の定在波型共振器を本発明に適用する場
合、リング共振器の共振器ミラーの１枚を構成するビー
ムスプリッタ１３は、共振器ミラー１４と波長変換素子
５との間に配置すればよい。
高調波発生用の光共振器として、半導体レーザ１、レン
ズ２ａ，２ｂ、共振器ミラー３，６、レーザ媒質４並び
に波長変換素子５を同一直線上に配置したもの（インラ
イン型配置）を用いた例を示したが、これに限られるこ
となく、例えば図２に示すように、レーザ媒質４と波長
変換素子５とが同一直線上に配置されない、他の定在波
型共振器を適用しても本発明は実施可能である。なお、
図２に示す構造の定在波型共振器を本発明に適用する場
合、リング共振器の共振器ミラーの１枚を構成するビー
ムスプリッタ１３は、共振器ミラー１４と波長変換素子
５との間に配置すればよい。
【００２３】また、以上の実施の形態では、固体レーザ
媒質を用いたレーザ装置に、本発明を適用した例を示し
ているが、本発明はこれに限られることなく、気体ある
いは液体レーザ媒質を用いたレーザ装置にも適用可能で
ある。さらに、励起光源の種類・励起法についても、上
記した例に限られることなく、この種の波長変換レーザ
装置において一般に適用されている他の方式を採用して
も本発明は実施可能である。
媒質を用いたレーザ装置に、本発明を適用した例を示し
ているが、本発明はこれに限られることなく、気体ある
いは液体レーザ媒質を用いたレーザ装置にも適用可能で
ある。さらに、励起光源の種類・励起法についても、上
記した例に限られることなく、この種の波長変換レーザ
装置において一般に適用されている他の方式を採用して
も本発明は実施可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第２高調波を発生する光共振器内のレーザ媒質と波長変
換素子との間に、基本波を透過し、第２高調波を選択的
に反射するビームスプリッタを配置し、そのビームスプ
リッタを共振器ミラーの一つとしてリング共振器を構成
するとともに、このリング共振器の光軸上に波長変換素
子を配置して第４高調波を発生するように構成したか
ら、比較的簡単な構成のもとに第４高調波を得ることが
できる。しかもレーザ装置全体が定在波型共振器を組み
合わせた複合構造となることがないので、安定なレーザ
出力を得ることが可能になる。さらに、そのようなビー
ムスプリッタを、レーザ媒質と第２高調波発生用波長変
換素子との間に配置しているので、第２高調波のモード
とリング共振器のモードを比較的簡単な調整により一致
させることができる。
第２高調波を発生する光共振器内のレーザ媒質と波長変
換素子との間に、基本波を透過し、第２高調波を選択的
に反射するビームスプリッタを配置し、そのビームスプ
リッタを共振器ミラーの一つとしてリング共振器を構成
するとともに、このリング共振器の光軸上に波長変換素
子を配置して第４高調波を発生するように構成したか
ら、比較的簡単な構成のもとに第４高調波を得ることが
できる。しかもレーザ装置全体が定在波型共振器を組み
合わせた複合構造となることがないので、安定なレーザ
出力を得ることが可能になる。さらに、そのようなビー
ムスプリッタを、レーザ媒質と第２高調波発生用波長変
換素子との間に配置しているので、第２高調波のモード
とリング共振器のモードを比較的簡単な調整により一致
させることができる。
【００２５】なお、本発明では、第２高調を発生する光
共振器内に配置するビームスプリッタを基本波のブリュ
スタウインドウとして利用することも可能で、このよう
な構成を採用すると、発振レーザのコヒーレンスが向上
して、レーザ出力が更に安定するという効果を達成でき
る。
共振器内に配置するビームスプリッタを基本波のブリュ
スタウインドウとして利用することも可能で、このよう
な構成を採用すると、発振レーザのコヒーレンスが向上
して、レーザ出力が更に安定するという効果を達成でき
る。
【図１】本発明の実施の形態の構成図
【図２】本発明の実施の形態に用いる第２高調波発生用
共振器の一例を示す図
共振器の一例を示す図
【図３】第４高調波発生レーザ装置の構成例を示す図
【図４】第４高調波発生レーザ装置の他の構成例を示す
図
図
１ 半導体レーザ ２ａ コリメータレンズ ２ｂ フォーカスレンズ ３ ミラー ４ レーザ媒質 ５ 波長変換素子（第２高調波発生用） ６ 第２高調波出力ミラー ７ オプティカルダイオード ８ 波長変換素子（第４高調波発生用） ９，１０ 共振器ミラー １１ ビームスプリッタ １２ 共振器ミラー（第４高調波出力用） ２１ 光共振器 ２２ リング共振器
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ媒質を含む光共振器内に波長変換
素子を収容して、そのレーザ媒質から誘導放出される基
本波の第２高調波を光共振器内で発生させ、この第２高
調波を、第４高調波発生用の波長変換素子を含む光共振
器内で共振させて第４高調波を得るレーザ装置におい
て、上記レーザ媒質と第２高調波発生用波長変換素子と
の間に、基本波を透過し、第２高調波を選択的に反射す
るビームスプリッタを配置し、このビームスプリッタを
共振器ミラーの一つとしてリング共振器を構成するとと
もに、そのリング共振器の光軸上に第４高調波を発生す
る波長変換素子を配置して、当該リング共振器内で第２
高調波を共振させて第４高調波を発生するように構成し
たことを特徴とする波長変換レーザ装置。 - 【請求項２】 上記ビームスプリッタの対向面のうち第
２高調波の反射面でない側の面を基本波の波長に対する
ブリュスタウインドウとして利用することを特徴とする
請求項１に記載の波長変換レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33802696A JPH10178227A (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 波長変換レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33802696A JPH10178227A (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 波長変換レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10178227A true JPH10178227A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18314244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33802696A Pending JPH10178227A (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 波長変換レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10178227A (ja) |
-
1996
- 1996-12-18 JP JP33802696A patent/JPH10178227A/ja active Pending
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