JPH10172734A - Ceramic heating and manufacture thereof - Google Patents
Ceramic heating and manufacture thereofInfo
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- JPH10172734A JPH10172734A JP34059896A JP34059896A JPH10172734A JP H10172734 A JPH10172734 A JP H10172734A JP 34059896 A JP34059896 A JP 34059896A JP 34059896 A JP34059896 A JP 34059896A JP H10172734 A JPH10172734 A JP H10172734A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は高温用セラミックス
ヒーター、特に主として半導体工業で使用される高温用
セラミックスヒーターに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic heater for high temperature, and more particularly to a ceramic heater for high temperature mainly used in the semiconductor industry.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＣＶＤ（化学気相堆積法）やスパッタリ
ングといった半導体プロセスを始め、様々な分野で加熱
を必要とする工程が存在する。従来より、このような被
加工物の加熱には、カーボングラファイトやセラミック
スを基材とし、その中に電熱線を構成するニクロム線や
タングステンなどを埋め込むような構造のヒーターが用
いられていた。2. Description of the Related Art There are processes that require heating in various fields, including semiconductor processes such as CVD (chemical vapor deposition) and sputtering. Conventionally, a heater having a structure in which carbon graphite or ceramic is used as a base material and a nichrome wire, tungsten, or the like constituting a heating wire is embedded therein has been used for heating such a workpiece.
【０００３】このようなヒーターでは、電熱線を直ちに
電源に接続したり、或いはネジなどで固定した端子を介
して電源に接続することが可能であった。この場合、端
子部分での接触抵抗は殆んど０に近く、更にヒーター端
子部で結線し直すことによってヒーターが傷んだり、断
線するなどということは殆んどなかった。[0003] In such a heater, it was possible to connect the heating wire to a power source immediately or to a power source via a terminal fixed with a screw or the like. In this case, the contact resistance at the terminal portion was almost zero, and the heater was hardly damaged or disconnected due to reconnection at the heater terminal portion.
【０００４】ところが近年、ヒーターの軽量化、均熱
化、パターンの自由度などの問題から、更にはヒーター
発熱部分から加工面まで有効に熱を伝えるという理由か
ら、基材上に数μｍ〜数十μｍ程度の導電性薄膜をスク
リーン印刷法などによって塗布し、焼成することによっ
て抵抗発熱体を積層させた面ヒーターが使われはじめて
きた。However, in recent years, because of problems such as weight reduction of the heater, uniformity of the temperature, and the degree of freedom of the pattern, and furthermore, heat is effectively transmitted from the heater heating portion to the processing surface, a few μm to several μm A surface heater in which a resistance heating element is laminated by applying a conductive thin film of about 10 μm by a screen printing method or the like and firing it has begun to be used.
【０００５】面ヒーターは、上記のニクロム線やタング
ステンなどを用いたヒーターとは異なり、直接抵抗発熱
体層から電源を接続することはできない。そのため、ネ
ジや挟み込みクリップなどの電極部材を用いて、電源に
接続するのが一般的である。[0005] Unlike a heater using a nichrome wire or tungsten, the surface heater cannot directly connect a power source from the resistance heating element layer. Therefore, it is common to connect to a power supply using an electrode member such as a screw or a clip.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、抵抗発
熱体を形成する金属膜は、電極部材の取り付け時、及び
取り外し時に非常に傷つき易く、繰り返して取り付け、
取り外しを行うと電極端子部分にて抵抗発熱体層の膜が
擦り減ることがあり、ひいては断線を招く可能性もあ
る。However, the metal film forming the resistance heating element is very easily damaged when the electrode member is attached and detached, and is repeatedly attached.
When detachment is performed, the film of the resistive heating element layer may be worn away at the electrode terminal portion, which may lead to disconnection.
【０００７】また、基材にセラミックスなど硬い物質を
用い、更に抵抗発熱体層が非常に薄い場合には、電極部
材を通して電源を接続すると、電極部材の抵抗発熱体層
に接触する部分の凹凸により、それらの間の接触部分の
面積が小さくなって、接触抵抗が大きくなることがあ
る。このことは、特に抵抗率が低い金属を抵抗発熱体と
して用いた場合、上記接触部分での接触抵抗が無視でき
なくなり、その部分で局部的な発熱を招く可能性があ
る。このことはヒーター自体の寿命にも影響する可能性
がある。When a hard material such as ceramics is used for the base material and the resistance heating element layer is very thin, when a power source is connected through the electrode member, the unevenness of the electrode member in contact with the resistance heating element layer causes In some cases, the area of the contact portion between them becomes smaller and the contact resistance becomes larger. This means that, particularly when a metal having a low resistivity is used as the resistance heating element, the contact resistance at the contact portion cannot be ignored and local heat generation may occur at that portion. This can also affect the life of the heater itself.
【０００８】そのため、繰り返し行う電源等の取り付
け、取り外しに強く、更に接触抵抗の小さいような端子
部分、及びその製作方法が望まれていた。Therefore, a terminal portion which is resistant to repeated attachment and detachment of a power supply and the like and has a low contact resistance and a method of manufacturing the terminal portion have been desired.
【０００９】その解決策の一つとして、抵抗発熱体に金
属の電極部材をロウ付けする方法がある。この方法は、
上記のような電極部材による擦り減りや、接触抵抗の問
題に対してはほぼ解決できる。しかしながら、使用する
ロウ材の焼成温度の設定や膨張係数を最適化しなくては
ならないし、またヒーターが完成するまでに少なくとも
２回の焼成をしなくてはならず、工程が複雑であった。As one of the solutions, there is a method of brazing a metal electrode member to a resistance heating element. This method
The problems of abrasion and contact resistance due to the electrode member as described above can be almost solved. However, the setting of the firing temperature of the brazing material to be used and the expansion coefficient must be optimized, and firing must be performed at least twice before the heater is completed, and the process is complicated.
【００１０】本発明は、このような不利、問題点を解決
し、耐久性が高く、接触抵抗の小さい端子部分を有し、
製作も簡単に行われるセラミックスヒーター及びその製
造方法を提供することを目的とする。The present invention solves such disadvantages and problems, and has a terminal portion having high durability and low contact resistance.
An object of the present invention is to provide a ceramic heater which can be easily manufactured and a method for manufacturing the same.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明は、上記目的を達成するため、セラミックスからな
る基材上に抵抗発熱体ペーストの焼成物よりなる抵抗発
熱体層が形成され、かつこの抵抗発熱体層の端子部に金
属端子板が積層されてなるセラミックスヒーターであっ
て、前記金属端子板が、前記抵抗発熱体ペースト上に積
層され、この抵抗発熱体ペーストの焼成により抵抗発熱
体層に一体に接合されたものであることを特徴とするセ
ラミックスヒーターを提供する。Means for Solving the Problems and Embodiments of the Invention In order to achieve the above object, the present invention comprises forming a resistance heating element layer made of a fired resistance heating element paste on a ceramic base material, A ceramic heater in which a metal terminal plate is laminated on a terminal portion of the resistance heating element layer, wherein the metal terminal plate is laminated on the resistance heating element paste, and the resistance heating element is fired by firing the resistance heating element paste. Provided is a ceramic heater which is integrally joined to a body layer.
【００１２】また、本発明は、セラミックスからなる基
材上に印刷により抵抗発熱体ペーストを塗布し、このペ
ーストの所定位置に金属端子板を積層した後、前記ペー
ストを焼成して抵抗発熱体層を形成すると共に、このペ
ーストの焼成により前記金属端子板を抵抗発熱体に一体
に接合したことを特徴とするセラミックスヒーターの製
造方法を提供する。The present invention also provides a method of applying a resistance heating element paste to a substrate made of ceramics by printing, laminating a metal terminal plate at a predetermined position of the paste, and firing the paste to form a resistance heating element layer. And a method for manufacturing a ceramic heater, characterized in that the metal terminal plate is integrally joined to a resistance heating element by baking the paste.
【００１３】本発明のセラミックスヒーターは、端子部
分が金属板であるので、電源に接続するためのクリップ
を繰り返し着脱しても、電気的な損傷が生じ難く、接触
抵抗が小さいので、このクリップ挟持部分での高温化が
避けられ、また抵抗発熱体層の抵抗率などの品質に影響
を与えることもなく、常に安定した端子機能及び抵抗発
熱機能を与える。In the ceramic heater according to the present invention, since the terminal portion is a metal plate, even if the clip for connecting to the power supply is repeatedly attached and detached, electrical damage hardly occurs and the contact resistance is small. It is possible to avoid a high temperature in a portion and to always provide a stable terminal function and a resistance heating function without affecting the quality such as the resistivity of the resistance heating element layer.
【００１４】また、上記の金属端子板は、抵抗発熱体層
を形成する金属粉を主成分とし、バインダーを含む抵抗
発熱体ペーストによるパターン上の所定位置（端子部と
なる位置）に予め積層し、このペーストの焼成により一
体にペースト焼成物（抵抗発熱体層）に接合するので、
その製造が非常に簡単で、焼成も１回で良く、また別途
接合剤を介在することなく直接金属端子板が抵抗発熱体
層に密着、接合しているので、その間の接触抵抗も接合
によって上昇することは殆んどない。Further, the above-mentioned metal terminal plate is preliminarily laminated at a predetermined position (position to be a terminal portion) on a pattern of a resistance heating element paste containing a metal powder for forming a resistance heating element layer and containing a binder. Since the paste is baked, it is integrally joined to the baked paste (resistance heating element layer).
It is very easy to manufacture, requires only one firing, and the metal terminal plate is directly attached to and bonded to the resistance heating element layer without any additional bonding agent, so the contact resistance between them is increased by bonding. There is very little to do.
【００１５】以下、本発明につき更に詳しく説明する
と、本発明のセラミックスヒーターは、図１に示すよう
に、セラミックスからなる板状の基材１の一面に抵抗発
熱体層２が形成され、その端子部に金属端子板３が一体
的に積層しているものである。Hereinafter, the present invention will be described in more detail. As shown in FIG. 1, a ceramic heater according to the present invention has a resistance heating element layer 2 formed on one surface of a plate-shaped base material 1 made of ceramics, The metal terminal plate 3 is integrally laminated on the portion.
【００１６】ここで、基材のセラミックスとしては、特
に制限されるものではないが、石英ガラス、窒化アルミ
ニウム、酸化アルミニウム、熱分解窒化硼素などが好適
に用いられる。Here, the ceramic of the base material is not particularly limited, but quartz glass, aluminum nitride, aluminum oxide, pyrolytic boron nitride and the like are preferably used.
【００１７】また、抵抗発熱体は、金属粉を主成分と
し、エチルセルロース等のバインダーを含む抵抗発熱体
ペーストを焼成することによって形成される。この場
合、抵抗発熱体ペーストとしては公知のものを使用する
ことができるが、金属粉としては、銀、白金、銅、モリ
ブデン、タングステンやこれらの金属を含む複合物など
を好適に用いることができる。抵抗発熱体層の厚さは特
に制限されないが、通常４〜５０μｍである。The resistance heating element is formed by firing a resistance heating element paste containing metal powder as a main component and a binder such as ethyl cellulose. In this case, a known resistance heating element paste can be used, but as the metal powder, silver, platinum, copper, molybdenum, tungsten, a composite containing these metals, or the like can be preferably used. . The thickness of the resistance heating element layer is not particularly limited, but is usually 4 to 50 μm.
【００１８】抵抗発熱体層の端子部分に積層させる上記
金属端子板としては、焼成によって抵抗発熱体層との馴
染みを良好にするように、抵抗発熱体の金属主成分と同
じ元素からなる板を用いるとよい。その大きさとして
は、ヒーターの端子取り出し部として必要最低限にする
ことが望ましい。これはヒーター全体の均熱をできるだ
け保つことと、金属焼結体からなる抵抗発熱体層と金属
端子板との熱膨張差による応力をできるだけ少なくする
という理由からである。同様な理由から、金属端子板の
厚さはできるだけ薄いものが望まれるが、薄すぎると本
発明の目的である電極部材の繰り返しの取り付け、取り
外し耐久性や、接触抵抗の低減に対して、十分な効果を
発揮できない。具体的な金属端子板の厚さとしては、抵
抗発熱体層の厚さの２〜１０倍程度が適当である。As the above-mentioned metal terminal plate to be laminated on the terminal portion of the resistance heating element layer, a plate made of the same element as the metal main component of the resistance heating element is used so as to make the resistance heating element layer familiar by firing. Good to use. It is desirable that the size be the minimum necessary for the terminal extraction portion of the heater. This is because the uniformity of the entire heater is kept as much as possible and the stress due to the difference in thermal expansion between the resistance heating element layer made of a metal sintered body and the metal terminal plate is minimized. For the same reason, it is desirable that the thickness of the metal terminal plate be as thin as possible. Effect cannot be exhibited. A suitable thickness of the metal terminal plate is about 2 to 10 times the thickness of the resistance heating element layer.
【００１９】本発明のセラミックスヒーターを得るに際
しては、上記セラミックスからなる基材上に、印刷によ
って金属粉を主成分とする抵抗発熱体ペーストを塗布し
て所定のパターンを形成し、その電極位置（端子位置）
となる部分に金属端子板を積層し、ペーストの焼成温度
にて焼成し、これによって金属端子板がペーストの焼成
物（抵抗発熱体）と接合一体化する。In obtaining the ceramic heater of the present invention, a predetermined pattern is formed by applying a resistive heating element paste containing metal powder as a main component by printing on a substrate made of the above-mentioned ceramics, and forming a predetermined pattern. Terminal position)
The metal terminal plate is laminated on the portion to be baked, and baked at the firing temperature of the paste, whereby the metal terminal plate is joined and integrated with the baked product of the paste (resistance heating element).
【００２０】具体的な工程手順としては、セラミックス
基材上に、導電回路層を形成する所望のペーストを塗布
し、ペースト内の有機溶剤が揮発する前、即ち乾燥工程
の前に、適当な大きさに切断された金属端子板を積層さ
せて、乾燥，焼成するもので、こうすることにより、焼
成工程が１回で済み、工程は簡略化される。なお、乾燥
後に金属端子板を積層させても抵抗発熱体層に付着する
が、そのまま焼成したのでは密着性という点では非常に
弱い場合があるので、金属端子板上に荷重をかけながら
焼成することによって、抵抗発熱体層と金属端子板との
密着性が高くなり、良好なヒーター端子部が得られる。As a specific process procedure, a desired paste for forming a conductive circuit layer is applied on a ceramic base material, and an appropriate size is applied before an organic solvent in the paste is volatilized, that is, before a drying process. The cut metal terminal plates are laminated, dried, and fired. By doing so, only one firing process is required, and the process is simplified. In addition, even if a metal terminal plate is laminated after drying, it adheres to the resistance heating element layer, but if it is baked as it is, it may be very weak in terms of adhesion, so calcination is performed while applying a load on the metal terminal plate Thereby, the adhesion between the resistance heating element layer and the metal terminal plate is increased, and a favorable heater terminal portion is obtained.
【００２１】以上のようなヒーター端子部分に金属板を
積層させたセラミックスヒーターは以下のような利点が
ある。The ceramic heater in which the metal plate is laminated on the heater terminal as described above has the following advantages.
【００２２】即ち、抵抗発熱体層は、通常金属粉を主成
分とするペーストを焼成した金属焼結体であり、これは
少しの傷でもよく目立ち、また傷つき易いものである。
このような抵抗発熱体層に、直接クリップなどの電極部
材を挟んだり当てたりすると、抵抗発熱体層自身が傷つ
くばかりでなく、膜厚の減少をもたらす場合がある。更
に、これはその部分でヒーターの異常発熱などをもたら
す場合もあり、製品の品質の劣化につながる可能性もあ
る。これに対し、本発明に示したような電極部分に金属
板を積層させた場合には、金属板が傷ついても抵抗発熱
体層の抵抗率などの品質には殆んど影響しない。That is, the resistance heating element layer is usually a metal sintered body obtained by sintering a paste mainly composed of metal powder, which is easily noticeable even with a small scratch and is easily damaged.
When an electrode member such as a clip is directly sandwiched or applied to such a resistance heating element layer, not only the resistance heating element layer itself is damaged but also the thickness may be reduced. In addition, this may cause abnormal heating of the heater at that portion, which may lead to deterioration of product quality. On the other hand, when a metal plate is laminated on the electrode portion as shown in the present invention, even if the metal plate is damaged, the quality such as the resistivity of the resistance heating element layer is hardly affected.
【００２３】また、一般的にはセラミックス基材よりも
金属板の方がヌープ硬度で１桁程度小さく（Ａｇ板の場
合、６０ｋｇｆ／ｍｍ2）、凹凸のある金属端子に対し
て接触面積が大きく取れることから、その部分での接触
抵抗が小さくなり、接触部分での高温化を避けることが
できる。これは特に、抵抗率の低い金属発熱体などを用
いた場合に有効である。In general, the metal plate has a Knoop hardness smaller by about one order of magnitude (60 kgf / mm 2 in the case of an Ag plate) than a ceramic substrate, and has a larger contact area with a metal terminal having irregularities. As a result, the contact resistance at that portion is reduced, and it is possible to avoid a high temperature at the contact portion. This is particularly effective when a metal heating element having a low resistivity is used.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.
【００２５】〔実施例〕２０ｍｍ×２０ｍｍ×厚さ２．
３ｍｍの合成石英基材の上に、スクリーン印刷法でＡｇ
−Ｐｔペーストを約３０μｍ塗布し、直後に５ｍｍ×５
ｍｍ×厚さ１００μｍのＡｇ板を上記ペーストとＡｇ板
の間に空気が入らないように積層させ、１２０℃にて乾
燥させた。その後、この試料を８５０℃にて焼成を行
い、通常ヒーターの端子に使われる付近の部分のみを作
成した。金属板を含む部分５ｍｍ×２０ｍｍに切断し、
評価を行った。[Embodiment] 20 mm × 20 mm × thickness
Ag is screen-printed on a 3 mm synthetic quartz substrate.
-Apply Pt paste about 30 μm, and immediately
An Ag plate having a size of 100 mm and a thickness of 100 mm was laminated between the paste and the Ag plate so that air did not enter, and dried at 120 ° C. Thereafter, the sample was fired at 850 ° C., and only a portion near a terminal normally used for a heater was prepared. Cut to 5mm x 20mm including the metal plate,
An evaluation was performed.
【００２６】上記のように１００μｍの厚さのＡｇ板を
用いたものは、抵抗発熱体層との接合性は良好であっ
た。電極部材として、ネジ止め型の挟み込みクリップを
上記Ａｇ板上部分に接合し、この取り付け、取り外しを
５回行った結果、Ａｇ板に傷は残るものの、抵抗発熱体
層よりも薄くなることはなく、品質的には何ら影響しな
かった。As described above, when the Ag plate having a thickness of 100 μm was used, the bondability with the resistance heating element layer was good. As an electrode member, a screw-type clip was joined to the upper portion of the Ag plate, and the attachment and detachment were performed five times. As a result, although the Ag plate was still damaged, it did not become thinner than the resistance heating element layer. Had no effect on quality.
【００２７】次に、前記と同様なネジ止め型の挟み込み
クリップの電極部材を用いて、端子部にＡｇ板を積層さ
せたヒーターに接合した場合の端子部での接触抵抗値を
測定した。この時、６回測定したときの平均値は、０．
２４７ｍΩであった。Next, the contact resistance value at the terminal portion when the terminal portion was joined to a heater having an Ag plate laminated thereon was measured using the same electrode member of the screw-type sandwiching clip as described above. At this time, the average value measured six times was 0.1.
It was 247 mΩ.
【００２８】なお、上記と同様な合成石英基材、ペース
トを用い、同様な作成方法で行った試料において、端子
部分に積層させるＡｇ板の厚さを５００μｍとした場合
には、金属板と基材との間の応力に起因する、界面層で
クラックのような接合の悪い部分がみられた。In the case of using a synthetic quartz substrate and paste similar to those described above and performing the same preparation method, when the thickness of the Ag plate laminated on the terminal portion is 500 μm, the metal plate and the base are Poor joints such as cracks were found in the interface layer due to the stress between the material and the material.
【００２９】〔比較例〕実施例で作成した試料におい
て、Ａｇ板が積層されていない抵抗発熱体層部分に電極
部材としてネジ止め型の挟み込みクリップを接合し、こ
れを５回取り付け、取り外しを行った結果、深さ５μｍ
以上の傷が所々についており、この部分の抵抗発熱体層
が擦り減って薄くなっていた。[Comparative Example] In the sample prepared in the example, a screw-type clip as an electrode member was joined to the resistance heating element layer portion where the Ag plate was not laminated, and the clip was attached and removed five times. As a result, a depth of 5 μm
The above scratches were present in some places, and the resistance heating element layer in this portion was worn away and thinned.
【００３０】次に、前記と同様なネジ止め型の挟み込み
クリップの電極部材を用いて、導電体層に直接クリップ
を接合した場合の端子部での接触抵抗値を測定した。こ
の時、６回測定したときの平均値は、０．８９７ｍΩで
あった。Next, the contact resistance at the terminal when the clip was directly joined to the conductor layer was measured using the same screw-type clipping electrode member as described above. At this time, the average value measured six times was 0.897 mΩ.
【００３１】[0031]
【発明の効果】上記実施例及び比較例からわかるよう
に、電源を接合させるための挟み込みクリップなどの電
極部材を繰り返し取り付け、取り外しを行った場合に、
本発明による抵抗発熱体層上の端子部に金属板を積層し
たセラミックスヒーターを用いれば、耐久性が高く、品
質劣化が起こりにくくなる。このようにすることによっ
て、電源部とヒーター端子部との接触抵抗も低減するこ
とができる。また、本発明によれば、ペーストに金属端
子板を積層し、ペーストを焼成すると同時に金属端子板
を接合するので、その製造が容易であると共に、接合性
もよく、接触抵抗も小さいものである。As can be seen from the above embodiment and comparative example, when an electrode member such as a clip for joining a power supply is repeatedly attached and detached,
The use of a ceramic heater according to the present invention in which a metal plate is laminated on a terminal portion on a resistance heating element layer has high durability and hardly causes quality deterioration. By doing so, the contact resistance between the power supply section and the heater terminal section can also be reduced. Further, according to the present invention, the metal terminal plate is laminated on the paste, and the metal terminal plate is joined at the same time as the paste is fired, so that the production is easy, the joining property is good, and the contact resistance is small. .
【図１】本発明の一実施例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the present invention.
１ 基材 ２ 抵抗発熱体層 ３ 金属端子板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material 2 Resistance heating element layer 3 Metal terminal board
Claims (4)
体ペーストの焼成物よりなる抵抗発熱体層が形成され、
かつこの抵抗発熱体層の端子部に金属端子板が積層され
てなるセラミックスヒーターであって、前記金属端子板
が、前記抵抗発熱体ペースト上に積層され、この抵抗発
熱体ペーストの焼成により抵抗発熱体層に一体に接合さ
れたものであることを特徴とするセラミックスヒータ
ー。1. A resistance heating element layer made of a fired product of a resistance heating element paste is formed on a substrate made of ceramics,
A ceramic heater in which a metal terminal plate is laminated on a terminal portion of the resistance heating element layer, wherein the metal terminal plate is laminated on the resistance heating element paste, and the resistance heating element is fired by firing the resistance heating element paste. A ceramic heater characterized by being integrally joined to a body layer.
化アルミニウム、酸化アルミニウム又は熱分解窒化硼素
を用いた請求項１記載のセラミックスヒーター。2. The ceramic heater according to claim 1, wherein quartz glass, aluminum nitride, aluminum oxide, or pyrolytic boron nitride is used as a base material of the heater.
ブデン、タングステン及びこれらを含む複合物から選ば
れる金属粉を主成分とするペースト焼成物を用いた請求
項１又は２記載のセラミックスヒーター。3. The ceramic heater according to claim 1, wherein the resistance heating element is a paste fired material containing a metal powder selected from silver, platinum, copper, molybdenum, tungsten and a composite material containing these as a main component. .
り抵抗発熱体ペーストを塗布し、このペーストの所定位
置に金属端子板を積層した後、前記ペーストを焼成して
抵抗発熱体層を形成すると共に、このペーストの焼成に
より前記金属端子板を抵抗発熱体に一体に接合したこと
を特徴とするセラミックスヒーターの製造方法。4. A resistive heating element paste is applied by printing on a substrate made of ceramics, a metal terminal plate is laminated on a predetermined position of the paste, and the paste is fired to form a resistive heating element layer. A method for manufacturing a ceramic heater, wherein the metal terminal plate is integrally joined to a resistance heating element by firing the paste.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34059896A JPH10172734A (en) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | Ceramic heating and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34059896A JPH10172734A (en) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | Ceramic heating and manufacture thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10172734A true JPH10172734A (en) | 1998-06-26 |
Family
ID=18338523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34059896A Pending JPH10172734A (en) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | Ceramic heating and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10172734A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016114511A1 (en) * | 2015-01-15 | 2016-07-21 | 주식회사 나노엘피스 | Heating solution of metal material, and apparatus for preparing same |
-
1996
- 1996-12-05 JP JP34059896A patent/JPH10172734A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016114511A1 (en) * | 2015-01-15 | 2016-07-21 | 주식회사 나노엘피스 | Heating solution of metal material, and apparatus for preparing same |
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