JPH10159767A - ベーン型圧縮機のベーン及びその製造方法 - Google Patents
ベーン型圧縮機のベーン及びその製造方法Info
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- JPH10159767A JPH10159767A JP33640196A JP33640196A JPH10159767A JP H10159767 A JPH10159767 A JP H10159767A JP 33640196 A JP33640196 A JP 33640196A JP 33640196 A JP33640196 A JP 33640196A JP H10159767 A JPH10159767 A JP H10159767A
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- Japan
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- vane
- coating layer
- base material
- aluminum alloy
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/08—Rotary pistons
- F01C21/0809—Construction of vanes or vane holders
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軽量で機械的強度が高く耐摩耗性の良好なベ
ーン型圧縮機のベーンを、安価に製造することができる
ようにする。 【解決手段】 ベーンの母材11は、展伸材として用い
られる通常のアルミニウム合金からなる。この母材11
が鉄系例えばステンレス鋼製の被覆層12で覆われてい
る。この被覆層12の外面には非晶質硬質炭素膜13が
形成されている。このベーンは、ステンレス鋼製のパイ
プにアルミニウム合金製の棒材を挿入した状態で引き抜
き加工することにより、上記母材11と被覆層12を形
成し、上記被覆層12の外面にプラズマ化学蒸着法によ
って炭素を蒸着させることにより、上記非晶質硬質炭素
膜13を形成する。
ーン型圧縮機のベーンを、安価に製造することができる
ようにする。 【解決手段】 ベーンの母材11は、展伸材として用い
られる通常のアルミニウム合金からなる。この母材11
が鉄系例えばステンレス鋼製の被覆層12で覆われてい
る。この被覆層12の外面には非晶質硬質炭素膜13が
形成されている。このベーンは、ステンレス鋼製のパイ
プにアルミニウム合金製の棒材を挿入した状態で引き抜
き加工することにより、上記母材11と被覆層12を形
成し、上記被覆層12の外面にプラズマ化学蒸着法によ
って炭素を蒸着させることにより、上記非晶質硬質炭素
膜13を形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベーン型圧縮機の
ベーン及びその製造方法に関する。
ベーン及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ベーン型圧縮機は、カムリング内にロー
タを回転可能に収容し、このロータの複数の支持溝に、
ベーンをほぼ径方向にスライド可能に収容することによ
り、構成されている。上記ロータの回転時に、遠心力に
よりベーンが径方向,外方向に突出してその外端縁がカ
ムリングの内周面に接する。そして、このロータの回転
に伴い、隣接する2枚のベーンとカムリングの内周面と
ロータの外周面とで画成された空間の体積が縮小するこ
とにより、この空間内に導入された気体を圧縮するよう
になっている。
タを回転可能に収容し、このロータの複数の支持溝に、
ベーンをほぼ径方向にスライド可能に収容することによ
り、構成されている。上記ロータの回転時に、遠心力に
よりベーンが径方向,外方向に突出してその外端縁がカ
ムリングの内周面に接する。そして、このロータの回転
に伴い、隣接する2枚のベーンとカムリングの内周面と
ロータの外周面とで画成された空間の体積が縮小するこ
とにより、この空間内に導入された気体を圧縮するよう
になっている。
【0003】例えば自動車の空調システムに用いられる
圧縮機では、軽量化が求められており、上記ベーンも鉄
系からアルミニウム系へと素材の転換が図られている。
このベーンは、機械的強度も求められるため、アルミニ
ウム系のなかでも強度の高いハイシリコンアルミニウム
(シリコンを高濃度に含有するアルミニウム)が用いら
れている。
圧縮機では、軽量化が求められており、上記ベーンも鉄
系からアルミニウム系へと素材の転換が図られている。
このベーンは、機械的強度も求められるため、アルミニ
ウム系のなかでも強度の高いハイシリコンアルミニウム
(シリコンを高濃度に含有するアルミニウム)が用いら
れている。
【0004】ところで、ベーンは、外端縁がカムリング
の内周面に遠心力をもって擦れ、また2つの側面がロー
タの支持溝の内面に擦れるため、耐摩耗性も要求されて
いる。上記ハイシリコンアルミニウムは、比較的耐摩耗
性が良好であるが、近年、フロンに変わる冷媒として塩
素を含まない冷媒が用いられるようになってきているた
め、摺動環境が苛酷になり、上記ハイシリコンアルミニ
ウム製のベーンでも無視できない程の摩耗が生じるよう
になった。
の内周面に遠心力をもって擦れ、また2つの側面がロー
タの支持溝の内面に擦れるため、耐摩耗性も要求されて
いる。上記ハイシリコンアルミニウムは、比較的耐摩耗
性が良好であるが、近年、フロンに変わる冷媒として塩
素を含まない冷媒が用いられるようになってきているた
め、摺動環境が苛酷になり、上記ハイシリコンアルミニ
ウム製のベーンでも無視できない程の摩耗が生じるよう
になった。
【0005】そのため、上記ハイシリコンアルミニウム
の母材にメッキを形成しているが、このメッキは長期使
用によりはがれ易い。そこで、特開昭6−346074
号公報に開示されているように、ハイシリコンアルミニ
ウムの母材に、プラズマCVD法により、非晶質硬質炭
素膜、すなわちDLC膜(ダイヤモンドライクカーボン
膜)を形成するようにしたベーンが開発されている。
の母材にメッキを形成しているが、このメッキは長期使
用によりはがれ易い。そこで、特開昭6−346074
号公報に開示されているように、ハイシリコンアルミニ
ウムの母材に、プラズマCVD法により、非晶質硬質炭
素膜、すなわちDLC膜(ダイヤモンドライクカーボン
膜)を形成するようにしたベーンが開発されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報に開
示されたハイシリコンアルミニウム製のベーンは、素材
自体が高価であるばかりでなく、粉末押し出し法で成形
するため、製造コストも高い。そこで、本発明者は、展
伸材として通常用いられるアルミニウム合金を、ベーン
の素材として用いることの可能性を追求してきた。しか
し、このアルミニウム合金を用いた場合には、機械的強
度がハイシリコンアルミニウムに比べて弱い点、および
上記DLC膜を形成しようとしても母材が柔らかすぎて
炭素が蒸着しにくい点、母材のシリコン含有量が少ない
ため密着強度が低い点で、実用化を図ることができなか
った。
示されたハイシリコンアルミニウム製のベーンは、素材
自体が高価であるばかりでなく、粉末押し出し法で成形
するため、製造コストも高い。そこで、本発明者は、展
伸材として通常用いられるアルミニウム合金を、ベーン
の素材として用いることの可能性を追求してきた。しか
し、このアルミニウム合金を用いた場合には、機械的強
度がハイシリコンアルミニウムに比べて弱い点、および
上記DLC膜を形成しようとしても母材が柔らかすぎて
炭素が蒸着しにくい点、母材のシリコン含有量が少ない
ため密着強度が低い点で、実用化を図ることができなか
った。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、ベー
ン型圧縮機のベーンにおいて、アルミニウム合金の母材
を、鉄系の被覆層で覆い、この被覆層の外面に非晶質硬
質炭素膜を形成したことを特徴とする。請求項2の発明
は、請求項1に記載のベーン型圧縮機のベーンにおい
て、上記被覆層がステンレス鋼からなることを特徴とす
る。請求項3の発明は、請求項1または2に記載のベー
ン型圧縮機のベーンの製造方法において、上記被覆層の
外面にプラズマ化学蒸着法によって炭素を蒸着させるこ
とにより、上記非晶質硬質炭素膜を形成したことを特徴
とする。請求項4の発明は、請求項3に記載のベーン型
圧縮機のベーンの製造方法において、鉄系のパイプにア
ルミニウム合金製の棒材を挿入した状態で引き抜き加工
することにより、上記母材と被覆層を形成したことを特
徴とする。
ン型圧縮機のベーンにおいて、アルミニウム合金の母材
を、鉄系の被覆層で覆い、この被覆層の外面に非晶質硬
質炭素膜を形成したことを特徴とする。請求項2の発明
は、請求項1に記載のベーン型圧縮機のベーンにおい
て、上記被覆層がステンレス鋼からなることを特徴とす
る。請求項3の発明は、請求項1または2に記載のベー
ン型圧縮機のベーンの製造方法において、上記被覆層の
外面にプラズマ化学蒸着法によって炭素を蒸着させるこ
とにより、上記非晶質硬質炭素膜を形成したことを特徴
とする。請求項4の発明は、請求項3に記載のベーン型
圧縮機のベーンの製造方法において、鉄系のパイプにア
ルミニウム合金製の棒材を挿入した状態で引き抜き加工
することにより、上記母材と被覆層を形成したことを特
徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て詳述する。まず、図5を参照しながら、空調システム
に組み込まれるベーン型圧縮機の概略構成を説明する。
この圧縮機は、カムリング1を有している。このカムリ
ング1の両側(図5の紙面と直交する方向の両側)に
は、サイドサポート(図示しない)が固定されている。
一方のサイドサポートの外面には導入ポートが形成され
ており、カムリング1に対向する面にはこの導入ポート
に連なる2つの入口ポート2が形成されている。また、
他方のサイドサポートの外面には排出ポート(図示しな
い)が形成されており、カムリング1の内周面には、こ
の排出ポートに連なる出口ポート3が形成されている。
て詳述する。まず、図5を参照しながら、空調システム
に組み込まれるベーン型圧縮機の概略構成を説明する。
この圧縮機は、カムリング1を有している。このカムリ
ング1の両側(図5の紙面と直交する方向の両側)に
は、サイドサポート(図示しない)が固定されている。
一方のサイドサポートの外面には導入ポートが形成され
ており、カムリング1に対向する面にはこの導入ポート
に連なる2つの入口ポート2が形成されている。また、
他方のサイドサポートの外面には排出ポート(図示しな
い)が形成されており、カムリング1の内周面には、こ
の排出ポートに連なる出口ポート3が形成されている。
【0009】上記カムリング1内には、ロータ4が収容
されている。このロータ4は、このロータ4と同心をな
して貫通する駆動軸5に固定されている。この駆動軸5
は、一対のサイドサポートを貫通し、その一端部がモー
タ(図示しない)に連結されている。上記カムリング1
の内部空間は楕円形状をなしており、ロータ4の外形は
円形をなしているので、カムリング1の内周面とロータ
4の外周面とで、一対の三日月型の空間6が形成されて
いる。
されている。このロータ4は、このロータ4と同心をな
して貫通する駆動軸5に固定されている。この駆動軸5
は、一対のサイドサポートを貫通し、その一端部がモー
タ(図示しない)に連結されている。上記カムリング1
の内部空間は楕円形状をなしており、ロータ4の外形は
円形をなしているので、カムリング1の内周面とロータ
4の外周面とで、一対の三日月型の空間6が形成されて
いる。
【0010】上記ロータ4の外周面には、複数例えば5
つの支持溝4aがほぼ径方向に深く形成されている。こ
の支持溝4aには、ほぼ四角形の平板形状をなすベーン
10がスライド可能に収容されている。
つの支持溝4aがほぼ径方向に深く形成されている。こ
の支持溝4aには、ほぼ四角形の平板形状をなすベーン
10がスライド可能に収容されている。
【0011】上記構成の圧縮機において、ロータ4の図
中時計回り方向の回転時に、遠心力によりベーン10が
径方向,外方向に突出してその外端縁がカムリング1の
内周面に接する。そして、このロータ10の回転に伴
い、上記空間6のうち隣接する2枚のベーン10とカム
リング1の内周面とロータ4の外周面で画成された空間
部分の体積が縮小することにより、入口ポート2からこ
の空間部分内に導入された冷媒体が圧縮され、出口ポー
ト3から送り出される。
中時計回り方向の回転時に、遠心力によりベーン10が
径方向,外方向に突出してその外端縁がカムリング1の
内周面に接する。そして、このロータ10の回転に伴
い、上記空間6のうち隣接する2枚のベーン10とカム
リング1の内周面とロータ4の外周面で画成された空間
部分の体積が縮小することにより、入口ポート2からこ
の空間部分内に導入された冷媒体が圧縮され、出口ポー
ト3から送り出される。
【0012】次に、本発明の特徴部であるベーン10に
ついて説明する。このベーン10は、図1,図2に示す
ように、通常の展伸材に用いられるアルミニウム合金製
の母材11と、この母材11を囲む厚さ0.2〜0.3m
mのステンレス鋼製(例えばSUS303やSUS30
4等)の被覆層12と、この被覆層12の外面に形成さ
れた厚さ数ミクロン程度のDLC膜13(ダイヤモンド
ライクカーボン膜、非晶質硬質炭素膜)とから構成され
ている。
ついて説明する。このベーン10は、図1,図2に示す
ように、通常の展伸材に用いられるアルミニウム合金製
の母材11と、この母材11を囲む厚さ0.2〜0.3m
mのステンレス鋼製(例えばSUS303やSUS30
4等)の被覆層12と、この被覆層12の外面に形成さ
れた厚さ数ミクロン程度のDLC膜13(ダイヤモンド
ライクカーボン膜、非晶質硬質炭素膜)とから構成され
ている。
【0013】前述したように、上記ベーン10はロータ
4の支持溝4a内に収容され、径方向,外方向に突出し
てカムリング1の内周面に衝突する。また、カムリング
1の内周に摺接しながら、ロータ4の回転に伴って移動
する過程で曲げ応力を受ける。そのため、機械的強度を
必要とする。ベーン10の母材11自体は、通常のアル
ミニウム合金製であるため、柔らかく機械的強度が十分
でないが、ステンレス鋼製の被覆層12で覆ったので、
十分なレベルまで機械的強度を上げることができる。
4の支持溝4a内に収容され、径方向,外方向に突出し
てカムリング1の内周面に衝突する。また、カムリング
1の内周に摺接しながら、ロータ4の回転に伴って移動
する過程で曲げ応力を受ける。そのため、機械的強度を
必要とする。ベーン10の母材11自体は、通常のアル
ミニウム合金製であるため、柔らかく機械的強度が十分
でないが、ステンレス鋼製の被覆層12で覆ったので、
十分なレベルまで機械的強度を上げることができる。
【0014】また、ベーン10は、高速でカムリング1
の内周面に擦接し、また、支持溝4aの内面にも高速で
擦接する。しかも、塩素を含まない冷媒が用いられるた
め、擦動環境が苛酷である。そのため、被覆層12が直
接カムリング1やロータ4に接すると、無視できない量
の摩耗が生じる。しかし、被覆層12には、非常に硬度
の高いDLC膜13が形成されているので、摩耗を著し
く少なくすることができ、長期使用に耐え得る。
の内周面に擦接し、また、支持溝4aの内面にも高速で
擦接する。しかも、塩素を含まない冷媒が用いられるた
め、擦動環境が苛酷である。そのため、被覆層12が直
接カムリング1やロータ4に接すると、無視できない量
の摩耗が生じる。しかし、被覆層12には、非常に硬度
の高いDLC膜13が形成されているので、摩耗を著し
く少なくすることができ、長期使用に耐え得る。
【0015】次に、上記ベーン10の製造方法について
説明する。図3に示すように、ステンレス鋼製のパイプ
20に、アルミニウム合金製の棒21を挿入し、環状の
ヒータ30でパイプ20だけを200℃以上に加熱して
熱膨張させ、パイプ20と棒21をダイス40の孔41
(ベーンの断面形状と同じ形の孔)に差し込み、冷風を
吹き付けながらパイプ20を引き抜く。
説明する。図3に示すように、ステンレス鋼製のパイプ
20に、アルミニウム合金製の棒21を挿入し、環状の
ヒータ30でパイプ20だけを200℃以上に加熱して
熱膨張させ、パイプ20と棒21をダイス40の孔41
(ベーンの断面形状と同じ形の孔)に差し込み、冷風を
吹き付けながらパイプ20を引き抜く。
【0016】上記引き抜き加工された長尺物を切断して
上記ベーン10の原形を得る。次に、この母材11と被
覆層12とからなるベーン10に、プラズマCVD法
(プラズマを利用した化学蒸着法)によりDLC膜13
を形成する。上記プラズマCVD法を実行する装置につ
いて説明する。この装置は、真空ポンプ50によって真
空吸引される真空槽51を有している。この真空槽51
内には、接地された導電性ケーシング52が収容されて
いる。このケーシング52内に電極53が臨んでいる。
この電極53には、インピーダンスマッチング回路54
を介して高周波電源55が接続されている。さらに、ケ
ーシング52には、原料ガスとして、CH4+N2+TM
S(テトラメチルシラン)の混合ガスを供給するガスボ
ンベ56が接続されている。
上記ベーン10の原形を得る。次に、この母材11と被
覆層12とからなるベーン10に、プラズマCVD法
(プラズマを利用した化学蒸着法)によりDLC膜13
を形成する。上記プラズマCVD法を実行する装置につ
いて説明する。この装置は、真空ポンプ50によって真
空吸引される真空槽51を有している。この真空槽51
内には、接地された導電性ケーシング52が収容されて
いる。このケーシング52内に電極53が臨んでいる。
この電極53には、インピーダンスマッチング回路54
を介して高周波電源55が接続されている。さらに、ケ
ーシング52には、原料ガスとして、CH4+N2+TM
S(テトラメチルシラン)の混合ガスを供給するガスボ
ンベ56が接続されている。
【0017】上記装置において、電極53に上記母材1
1と被覆層12とからなるベーン10を、上記電極53
に載せる。なお、ベーン10において母材11が露出し
ている面(支持溝4aにおいて駆動軸3方向の両端に対
峙する面)を電極53の上面に接するようにする。
1と被覆層12とからなるベーン10を、上記電極53
に載せる。なお、ベーン10において母材11が露出し
ている面(支持溝4aにおいて駆動軸3方向の両端に対
峙する面)を電極53の上面に接するようにする。
【0018】上記ベーン10の設置状態において、真空
ポンプ50を駆動して真空槽51内を真空にし、ひいて
はケーシング52の連通窓(図示しない)を介してケー
シング52内をも真空にした状態で、上記ガスボンベ5
6からケーシング52内に上記混合ガスを供給するとと
もに、高周波電極55から電極53に高周波電力を供給
する。その結果、この混合ガスがプラズマ化され、被覆
層12の外面に炭素等が蒸着することにより、窒素,珪
素を含むDLC膜13が形成される。このプラズマCV
D法は基本的に加熱を必要としないので、母材11,被
覆層12が熱的影響を受けず、ベーン10の変形等をも
たらすことがない。
ポンプ50を駆動して真空槽51内を真空にし、ひいて
はケーシング52の連通窓(図示しない)を介してケー
シング52内をも真空にした状態で、上記ガスボンベ5
6からケーシング52内に上記混合ガスを供給するとと
もに、高周波電極55から電極53に高周波電力を供給
する。その結果、この混合ガスがプラズマ化され、被覆
層12の外面に炭素等が蒸着することにより、窒素,珪
素を含むDLC膜13が形成される。このプラズマCV
D法は基本的に加熱を必要としないので、母材11,被
覆層12が熱的影響を受けず、ベーン10の変形等をも
たらすことがない。
【0019】ここで注目すべきは、上記プラズマCVD
法によるDLC膜13の形成は、前述したようにアルミ
ニウム合金製の母材11に直接形成することができず、
上記ステンレス鋼製の被覆層12を介在させて初めて可
能になることである。このように、被覆層12は、母材
11の機械的強度を補うばかりか、DLC膜13形成の
仲介役をも担うのである。
法によるDLC膜13の形成は、前述したようにアルミ
ニウム合金製の母材11に直接形成することができず、
上記ステンレス鋼製の被覆層12を介在させて初めて可
能になることである。このように、被覆層12は、母材
11の機械的強度を補うばかりか、DLC膜13形成の
仲介役をも担うのである。
【0020】次に、本発明の他の実施形態を説明する。
なお、これら実施形態において、最初の実施形態と対応
する構成部には同番号を付して、その詳細な説明を省略
する。図6に示す実施形態では、被覆層12の内面に、
紙面と直交する方向(駆動軸3に沿う方向)に延びる凸
条12aが多数形成されており、この凸条12aによっ
て、母材11と被覆層12の結合強度を高め、ひいては
ベーン10の機械的強度を高めている。なお、この凸条
12aは、予めステンレス鋼製のパイプ20(図3)の
内周に、パイプ20の長手方向に沿って形成されてい
る。
なお、これら実施形態において、最初の実施形態と対応
する構成部には同番号を付して、その詳細な説明を省略
する。図6に示す実施形態では、被覆層12の内面に、
紙面と直交する方向(駆動軸3に沿う方向)に延びる凸
条12aが多数形成されており、この凸条12aによっ
て、母材11と被覆層12の結合強度を高め、ひいては
ベーン10の機械的強度を高めている。なお、この凸条
12aは、予めステンレス鋼製のパイプ20(図3)の
内周に、パイプ20の長手方向に沿って形成されてい
る。
【0021】図7に示す実施形態では、図3の引き抜き
加工と切断の後で、プラズマCVD法を実行する前に、
プレスにより凹溝12bを形成する。被覆層12は、こ
の凹溝12bに対応して内方向に突出して母材11に食
い込むので、図6の実施形態と同様に両者の結合強度を
高めることができる。なお、この凹溝12bは、紙面と
直交する方向(駆動軸3と直交する方向)に延びてい
る。この凹溝12bに潤滑油がたまるので、圧縮機の運
転中、DLC膜13の表面に凹溝12bから潤滑油が供
給され、ベーン10の摺動特性が向上する。
加工と切断の後で、プラズマCVD法を実行する前に、
プレスにより凹溝12bを形成する。被覆層12は、こ
の凹溝12bに対応して内方向に突出して母材11に食
い込むので、図6の実施形態と同様に両者の結合強度を
高めることができる。なお、この凹溝12bは、紙面と
直交する方向(駆動軸3と直交する方向)に延びてい
る。この凹溝12bに潤滑油がたまるので、圧縮機の運
転中、DLC膜13の表面に凹溝12bから潤滑油が供
給され、ベーン10の摺動特性が向上する。
【0022】上記すべての実施形態において、被覆層は
ステンレス鋼以外の鉄系であってもよい。
ステンレス鋼以外の鉄系であってもよい。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、母材にアルミニウム合金を用いているので、軽
量化を図ることができる。また、母材を鉄系の被覆層で
覆うので、上記母材に通常の安価なアルミニウム合金を
用いても十分な機械的強度が得られる。さらに、被覆層
の外面に非晶質硬質炭素膜を形成したので、苛酷な摺動
環境であっても摩耗が少なく、長期使用に耐え得る。し
かも、この非晶質硬質炭素膜は、鉄系の被覆層を介在さ
せることにより、通常の安価なアルミニウム合金からな
る母材であっても、確実に形成することができる。請求
項2の発明によれば、被覆層にステンレス鋼を用いたの
で、より高い機械的強度を得ることができる。請求項3
の発明によれば、プラズマCVD法を利用することによ
り、母材と被覆層に熱的影響を与えることなく、非常に
高い硬度を有する炭素膜を形成することができる。請求
項4の発明によれば、引き抜き加工を用いることによ
り、母材の成形と被覆層の形成を同時に行うことがで
き、生産性が良い。
よれば、母材にアルミニウム合金を用いているので、軽
量化を図ることができる。また、母材を鉄系の被覆層で
覆うので、上記母材に通常の安価なアルミニウム合金を
用いても十分な機械的強度が得られる。さらに、被覆層
の外面に非晶質硬質炭素膜を形成したので、苛酷な摺動
環境であっても摩耗が少なく、長期使用に耐え得る。し
かも、この非晶質硬質炭素膜は、鉄系の被覆層を介在さ
せることにより、通常の安価なアルミニウム合金からな
る母材であっても、確実に形成することができる。請求
項2の発明によれば、被覆層にステンレス鋼を用いたの
で、より高い機械的強度を得ることができる。請求項3
の発明によれば、プラズマCVD法を利用することによ
り、母材と被覆層に熱的影響を与えることなく、非常に
高い硬度を有する炭素膜を形成することができる。請求
項4の発明によれば、引き抜き加工を用いることによ
り、母材の成形と被覆層の形成を同時に行うことがで
き、生産性が良い。
【図1】本発明の一実施形態に係わるベーンの斜視図で
ある。
ある。
【図2】同ベーンのII部における拡大断面図である。
【図3】同ベーンの製造工程の一部である引き抜き工程
を説明する断面図である。
を説明する断面図である。
【図4】同引き抜き工程の後に実行されるプラズマCV
D法を説明する概略図である。
D法を説明する概略図である。
【図5】同ベーンを用いた圧縮機の断面図である。
【図6】ベーンの他の実施形態を示す断面図である。
【図7】ベーンのさらに他の実施形態を示す断面図であ
る。
る。
10 ベーン 11 アルミニウム合金製の母材 12 ステンレス鋼製(鉄系)の被覆層 13 DLC膜(非晶質硬質炭素膜)
Claims (4)
- 【請求項1】 アルミニウム合金の母材を、鉄系の被覆
層で覆い、この被覆層の外面に非晶質硬質炭素膜を形成
したことを特徴とするベーン型圧縮機のベーン。 - 【請求項2】 上記被覆層がステンレス鋼からなること
を特徴とする請求項1に記載のベーン型圧縮機のベー
ン。 - 【請求項3】 上記被覆層の外面にプラズマ化学蒸着法
によって炭素を蒸着させることにより、上記非晶質硬質
炭素膜を形成したことを特徴とする請求項1または2に
記載のベーン型圧縮機のベーンの製造方法。 - 【請求項4】 鉄系のパイプにアルミニウム合金製の棒
材を挿入した状態で引き抜き加工することにより、上記
母材と被覆層を形成したことを特徴とする請求項3に記
載のベーン型圧縮機のベーンの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33640196A JPH10159767A (ja) | 1996-12-02 | 1996-12-02 | ベーン型圧縮機のベーン及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33640196A JPH10159767A (ja) | 1996-12-02 | 1996-12-02 | ベーン型圧縮機のベーン及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10159767A true JPH10159767A (ja) | 1998-06-16 |
Family
ID=18298764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33640196A Pending JPH10159767A (ja) | 1996-12-02 | 1996-12-02 | ベーン型圧縮機のベーン及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10159767A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009299649A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | ロータリ圧縮機 |
JP2014181635A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Jtekt Corp | ベーン構造およびベーン装置 |
JP2017031831A (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | 株式会社富士通ゼネラル | ロータリ圧縮機 |
US12038005B2 (en) | 2022-02-10 | 2024-07-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Moving part, compressor, and manufacturing method thereof |
-
1996
- 1996-12-02 JP JP33640196A patent/JPH10159767A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009299649A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | ロータリ圧縮機 |
JP2014181635A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Jtekt Corp | ベーン構造およびベーン装置 |
JP2017031831A (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | 株式会社富士通ゼネラル | ロータリ圧縮機 |
US12038005B2 (en) | 2022-02-10 | 2024-07-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Moving part, compressor, and manufacturing method thereof |
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