JPH10158866A

JPH10158866A - 搬送処理装置

Info

Publication number: JPH10158866A
Application number: JP33750996A
Authority: JP
Inventors: Kisaburo Niiyama; 喜三郎新山
Original assignee: Tokyo Kakoki Co Ltd
Current assignee: Tokyo Kakoki Co Ltd
Priority date: 1996-12-03
Filing date: 1996-12-03
Publication date: 1998-06-16
Anticipated expiration: 2016-12-03
Also published as: JP2850118B2; TW391151B

Abstract

(57)【要約】【課題】第１に、液溜まりの発生が防止され、第２
に、回路形成面に搬送ローラーが接触せず、第３に、し
かもこれらが簡単容易に実現され、第４に、極めて均一
に薬液等が噴射され、第５に、工程間の液体の混り合い
も防止される、搬送処理装置を提案する。【解決手段】この搬送処理装置１１は、基板の表面に
回路が形成された薄いパネルＥの製造工程で用いられ、
パネルＥを搬送しつつ薬液処理や水洗処理が行われる。
そして、パネルＥを垂直から若干傾斜させ、表面の回路
形成面Ｄを上に裏面Ｐを下に向けて、搬送装置１２にて
裏面Ｐと下端Ｑを保持しつつ、スプレーノズル１３から
薬液や水等を噴射される。スプレーノズル１３は、上下
に傾斜して配列され首振り動作を行う。又、上下流の両
搬送処理装置１１間には、上下流に向けそれぞれエアー
を噴射するスリット状のエアーノズルが介装されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送処理装置に関
する。すなわち、薄いパネルを搬送しつつ薬液等の液体
による処理を行う、搬送処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず、技術的背景について述べる。図１
０の（１）図は、プリント配線基板の平面図、図１０の
（２）図は、液晶ディスプレイの拡大した断面説明図で
ある。プリント配線基板Ａは、最近ますます極薄化や高
密度化が進みつつある。すなわちプリント配線基板Ａ
は、縦横が５５０ｍｍ×５５０ｍｍや５００ｍｍ×３０
０ｍｍ程度の寸法よりなり、その肉厚は、１．０ｍｍか
ら０．８ｍｍ更には０．４ｍｍ程度と極薄化しつつあ
り、回路Ｂの高密度化の進展も著しい。そしてプリント
配線基板Ａは、例えば、絶縁基板Ｃの切断，穴あけ加
工，研磨，スルホールメッキ，研磨，エッチングレジス
トの塗布・乾燥・又は張り付け，露光，現象，エッチン
グ，回路部分のレジスト剥離，等々の工程を辿って製造
される。そして、このようなプリント配線基板Ａの現
象，エッチング，剥離等の製造工程では、それぞれ、プ
リント配線基板Ａを搬送しつつ、現像液，腐食液，剥離
液等の薬液が噴射されて、薬液処理（化学処理）が行わ
れると共に、水が噴射されることによる水洗処理や乾燥
処理が行われ、もって、絶縁基板Ｃの表面の回路形成面
Ｄに回路Ｂが形成されたプリント配線基板Ａたるパネル
Ｅが得られる。

【０００３】又、ガラス基板Ｆの回路形成面Ｄに着色層
や電極等の回路Ｂが形成されたカラーフィルタＧを備え
た、ＬＣＤ・液晶ディスプレイＨのパネルＥや、ガラス
基板Ｆの回路形成面Ｄに隔壁や電極等の回路Ｂが形成さ
れた、ＰＤＰ・プラズマディスプレイ用のパネルＥ等
も、極薄化，大型化の進展が著しい。例えば、液晶カラ
ーテレビやパソコンに代表されるように、液晶ディスプ
レイＨやプラズマディスプレイは最近、軽量化を目指し
極薄化されると共に、ますます大型化の傾向を辿り、４
０インチ，５０インチ等のサイズのものも増加しつつあ
る。そして、このような液晶ディスプレイＨやプラズマ
ディスプレイに用いられる、薄いガラス基板Ｆに回路Ｂ
が形成されたカラーフィルタＧよりなるパネルＥや、同
様に薄いガラス基板Ｆに回路Ｂが形成されたパネルＥ
は、前述したプリント配線基板ＡたるパネルＥに準じた
製造工程により、現像，エッチング，水洗，乾燥等の工
程を辿り、それぞれ薬液処理や水洗処理が行われて製造
されている。技術背景については、以上のとおり。

【０００４】ところで、このようなパネルＥの薬液処理
や水洗処理は、従来、次のように行われていた。図８
は、この種従来例の搬送処理装置の１例の側面説明図で
あり、図９は、他の例の正面説明図である。従来は、こ
のような搬送処理装置１や２を用い、薄いパネルＥを搬
送しつつ、現像液，腐食液，剥離液等の薬液Ｊや水Ｋ等
の液体が噴射されて、薬液処理（化学処理）や水洗処理
が行われ、もって、絶縁基板Ｃやガラス基板Ｆ等の回路
形成面Ｄに、各種の回路Ｂが形成されたパネルＥが製造
されていた。

【０００５】そしてまず、図８に示した従来例は、水平
横型の搬送処理装置１よりなっていた。すなわち、この
搬送処理装置１では、搬送装置３として各搬送ローラー
４が水平に並べられると共に回転駆動され、もって、プ
リント配線基板Ａやその他のパネルＥは、このような各
搬送ローラー４上を水平つまり横姿勢で搬送されつつ、
その表面の回路形成面Ｄに対し、多数のスプレーノズル
５から薬液Ｊや水Ｋが噴射され、もって、薬液処理や水
洗処理が行われていた。

【０００６】又、図９に示した従来例は、垂直縦型の搬
送処理装置２よりなり、最近開発されたものである。そ
して、この搬送処理装置２では、搬送装置６の各搬送ロ
ーラー４は、搬送方向に沿い縦に配設されると共に、左
右で対向すべく配設されて、回転駆動されていた。そし
て、プリント配線基板Ａやその他のパネルＥは、このよ
うな各搬送ローラー４にて両側から挟まれ、垂直に立っ
た縦姿勢で搬送されつつ、その表面の回動形成面Ｄに対
し、多数のスプレーノズル５から薬液Ｊや水Ｋが噴射さ
れ、もって、薬液処理や水洗処理が行われていた。な
お、図中７はモーター、８は駆動伝達機構、９は搬送ロ
ーラー４が配設された垂直シャフト、１０は、搬送され
るパネルＥの下端を保持する下ローラーである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来例にあっては、次のような問題が指摘されていた。
まず第１に、図８に示した水平横型の搬送処理装置１に
あっては、液溜まりＬの発生が指摘されていた。すなわ
ちこの搬送処理装置１では、その搬送装置３の搬送ロー
ラー４にて水平つまり横姿勢で搬送されるプリント配線
基板Ａやその他のパネルＥに対し、その上面たる表面の
回路形成面Ｄに対し、スプレーノズル５から薬液Ｊや水
Ｋ等が噴射されるので、搬送されるプリント配線基板Ａ
やその他のパネルＥ上の回路形成面Ｄ上、特にその中央
部に、液溜まりＬが発生，滞留しやすくなる。そして、
このような液溜まりＬに起因して、使用される薬液Ｊや
水Ｋについて、その液量を多量に要するようになると共
に、プリント配線基板Ａやその他のパネルＥの薬液処理
や水洗処理の処理時間が長時間化する、という能率面・
効率面の問題が指摘されていた。

【０００８】更に、このような液溜まりＬに起因して、
例えば現像，エッチング，剥離の各工程における薬液処
理の均一性が阻害され、もって、形成される回路Ｂの幅
に過不足・誤差・ムラ・不良等が生じ、電気抵抗値も一
定しなくなる等、高密度化・複雑化・微細化が進む回路
Ｂの精度に問題が生じ、製品の歩どまりも悪化してい
た。又、水洗工程では、このような液溜まりＬに起因し
て、水洗自体がスムーズに実施されにくくなり、更に次
の乾燥工程では、液溜まりＬ箇所の水分除去・乾燥がス
ムーズに実施されず、乾燥ムラが発生し、回路形成面Ｄ
そして回路Ｂにシミ状の半点模様がつく、との指摘があ
った。もってこのような面からも、回路Ｂの精度に問題
が生じ、製品の歩どまりが悪化していた。

【０００９】次に第２に、図９に示した垂直縦型の搬送
処理装置２にあっては、回路形成面Ｄに搬送ローラー４
が接触し、形成される回路Ｂに悪影響を及ぼす、という
指摘があった。すなわち、この搬送処理装置２では、プ
リント配線基板Ａやその他のパネルＥは、その搬送装置
６の搬送ローラー４にて両側から挟まれ、垂直に立った
縦姿勢で搬送されつつ、その片面たる表面の回路形成面
Ｄに対しスプレーノズル５から薬液Ｊや水Ｋ等が噴射さ
れる。このように、プリント配線基板Ａやその他のパネ
ルＥの回路形成面Ｄに対し、そして形成される回路Ｂに
対し常時、搬送ローラー４が接触しているので、回路Ｂ
に対し物理的に悪影響を及ぼすことが多かった。又、搬
送ローラー４が、各スプレーノズル５と回路形成面Ｄそ
して回路Ｂとの間に介在位置するので、このような搬送
ローラー４の影となった部分について、スプレーノズル
５からの薬液Ｊや水Ｋが遮断され塞がれる、という指摘
もあった。もって、これらの面からも、薬液処理の均一
性が阻害されたり、水洗のスムーズな実施が妨げられ、
結局、高密度化・複雑化・微細化が進む回路Ｂの精度に
問題が生じ、製品の歩どまりが悪化していた。

【００１０】本発明は、このような実情に鑑み、上記従
来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果
なされたものであって、搬送装置にて、パネルを傾斜せ
しめ裏面および下端を保持して搬送しつつ、スプレーノ
ズルから、薬液等の液体を回路形成面に噴射するように
したことにより、第１に、液溜まりが防止され、第２
に、回路形成面に搬送ローラーが接触せず、第３に、し
かもこれらが簡単容易に実現される、搬送処理装置を提
案することを目的とする。更に、請求項５では、スプレ
ーノズルを傾斜して配列すると共に首振り動作を行わし
めるようにしたことにより、第４に、特に薬液処理の均
一性や水洗のスムーズな実施が確保され、請求項６で
は、連続して配設された搬送処理装置間に、上流側と下
流側に向けられたスリット状のエアーノズルを介装した
ことにより、第５に、工程間の液体の混り合いも防止さ
れる、搬送処理装置を提案することも目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１
については次のとおり。すなわち、この請求項１の搬送
処理装置は、基板の表面に回路が形成された薄いパネル
の製造工程で用いられ、該パネルを搬送しつつ薬液等の
液体による処理を行う。そして該パネルを、表面の回路
形成面を上に裏面を下に向けて傾斜せしめると共に、該
裏面および下端を保持して搬送する搬送装置と、搬送さ
れる該パネルの回路形成面に対向位置し、該液体を噴射
して所定の処理を行う多数のスプレーノズルと、を有し
てなることを特徴とする。

【００１２】次に、請求項２については次のとおり。す
なわち、この請求項２の搬送処理装置は、請求項１に記
載した搬送処理装置において、該パネルとしては、絶縁
基板の回路形成面に回路が形成されたプリント配線基
板、又は、ガラス基板の回路形成面に着色層や電極等の
回路が形成されたカラーフィルタを備えた液晶ディスプ
レイ用のパネル、又は、ガラス基板の回路形成面に隔壁
や電極等の回路が形成されたプラズマディスプレイ用の
パネル、等が対象とされることを特徴する。請求項３に
ついては次のとおり。すなわち、この請求項３の搬送処
理装置は、請求項１に記載した搬送処理装置において、
該パネルは、垂直に対し若干程度の傾斜角にて傾斜して
いること、を特徴とする。

【００１３】次に、請求項４については次のとおり。す
なわち、この請求項４の搬送処理装置は、請求項１に記
載した搬送処理装置において、該搬送装置は、傾斜した
該パネルの裏面をもたれかからせて保持する傾斜した縦
コンベアと、傾斜した該パネルの下端を支えて保持する
下コンベアと、を有してなることを特徴とする。請求項
５については、次のとおり。すなわち、この請求項５の
搬送処理装置は、請求項１に記載した搬送処理装置にお
いて、該スプレーノズルは、搬送方向に沿い多数直線的
に列設されると共に、相互間が上下にずれ全体的に傾斜
して配列され、かつ上下への揺動首振り動作を行うこ
と、を特徴とする。

【００１４】次に、請求項６については次のとおり。す
なわち、この請求項６の搬送処理装置は、請求項１に記
載した搬送処理装置であって、２セットが、順次用いら
れるべく連続して配設されると共に、両者間に、スリッ
ト状のエアーノズルが縦に平行に介装されている。そし
て該エアーノズルは、搬送される該パネルの上下全体に
エアーを噴射する高さ寸法を備えてなると共に、該パネ
ルに対し、上流寄りのものは直角より搬送方向上流側に
向けられ、下流寄りのものは直角より搬送方向下流側に
向けられ、もって２方向にエアーを噴射すること、を特
徴とする。請求項７については次のとおり。すなわち、
この請求項７の搬送処理装置は、請求項４に記載した搬
送処理装置において、該縦コンベアおよび該下コンベア
は、共に搬送ローラーを備えたローラーコンベアよりな
ると共に、少なくとも該縦コンベアが回転駆動され、か
つ該下コンベアは、該縦コンベアの垂直に対する傾斜角
と同一角度で水平に対し傾斜していること、を特徴とす
る。

【００１５】このように、この搬送処理装置は、プリン
ト配線基板，液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを備
えたパネル，プラズマディスプレイ用のパネル等、基板
の表面に回路が形成された薄いパネルの製造工程で用い
られ、パネルを搬送しつつ、薬液処理や水洗処理を行
う。そして、パネルを例えば垂直から若干傾斜させ、表
面の回路形成面を上に裏面を下に向けて傾斜させ、搬送
装置にて裏面および下端を保持して搬送する。この搬送
装置は、例えば、搬送ローラーを備え傾斜したローラー
コンベアよりなり、パネルの裏面をもたれかからせて保
持する縦コンベアと、パネルの下端を支えて保持する下
コンベアとが用いられる。そして、搬送されるパネルの
表面の回路形成面に対し、多数のスプレーノズルから薬
液や水等の液体が噴射される。スプレーノズルとして
は、例えば、搬送方向に沿い上下に傾斜して配列される
と共に、上下に揺動首振り動作を行うものが使用され
る。又、連続して配設されたこのような搬送処理装置間
には、スリット状のエアーノズルが介装され、上流側と
下流側の２方向にエアーを噴射する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下本発明を、図面に示す発明の
実施の形態に基づいて、詳細に説明する。図１，図２，
図３，図４，図５，図６，図７等は、本発明の実施の形
態の説明に供する。

【００１７】そして、図１は正面説明図、図２は上流側
の側面説明図、図３は下流側の側面説明図、図４は平面
説明図である。図５の（１）図は要部の正面説明図、図
５の（２）図は要部の側面説明図、図６の（１）図は要
部の平面説明図、図６の（２）図はその拡大図である。
図７の（１）図はエアーノズル等を示す正面説明図、図
７の（２）図はエアーノズル等を示す平面説明図であ
る。

【００１８】この搬送処理装置１１は、絶縁基板Ｃやガ
ラス基板Ｆ等の基板の表面に回路Ｂが形成された薄いパ
ネルＥの製造工程で用いられ、パネルＥを搬送しつつ、
薬液Ｊ等の液体による処理が行われる。このようなパネ
ルＥとしては、例えば図１０の（１）図に示したよう
に、絶縁基板Ｃの回路形成面Ｄに回路Ｂが形成されたプ
リント配線基板Ａや、図１０の（２）図に示したよう
に、ガラス基板Ｆの回路形成面Ｄに着色層や電極等の回
路Ｂが形成されたカラーフィルタＧを備えた液晶ディス
プレイＨ用のパネルＥや、ガラス基板Ｆの回路形成面Ｄ
に隔壁や電極等の回路Ｂが形成されたプラズマディスプ
レイ用のパネルＥ、その他のパネルＥが対象とされる。

【００１９】まず、パネルＥの１例たるプリント配線基
板Ａ（図１０の（１）図を参照）について、述べてお
く。プリント配線基板Ａは、各種ＯＡ機器用の基板，コ
ンピュータ用の多層基板，計算機用のフレキシブル基板
等々、用途により多種多様であり、その製造工程も多種
多様である。そしてプリント配線基板Ａは、近年ますま
す小型軽量化，極薄化，フレキシブル化，多層化，回路
Ｂの高密度化，微細化，高精度化、等々が進みつつあ
る。そして、このようなプリント配線基板Ａは、例えば
次のように製造される。すなわちプリント配線基板Ａ
は、材料たる絶縁基板Ｃの積層，研磨，切断，スルホー
ル用の穴あけ加工，研磨，めっき，研磨，エッチングレ
ジストの塗布・乾燥・又ははり付け，露光，現像，エッ
チング，回路Ｂ部分のエッチングレジストの剥離、等々
の工程を辿って製造される。

【００２０】これらについて、更に詳述する。まず、絶
縁基板Ｃに銅箔が熱プレス等により、はり合わされ積層
された後、洗浄および研磨が行われ、それから、このよ
うな前処理工程を経て得られた銅箔張り積層板たる絶縁
基板Ｃが、ワークサイズの短尺に切断され、次に、スル
ホール用の穴あけ加工が施された後、洗浄および研磨が
行われてから、めっきが実施される。しかる後、再び洗
浄，研磨，洗浄，乾燥等が行われてから、エッチングレ
ジストつまり耐アルカリ性や耐酸性の保護膜たる感光性
レジストを、塗布して乾燥させることにより塗膜化する
処理が行われ、それから、表面の回路形成面Ｄに回路Ｂ
のネガフィルムである回路写真をあてて露光した後、エ
ッチングレジストは、露光され硬化した回路Ｂ部分を残
し、他の不要部分が現像液の噴射により溶解除去され
る。

【００２１】しかる後、洗浄，乾燥が行われてから、エ
ッチングマシンにて、このようにエッチングレジストが
硬化して保護された回路Ｂ部分の銅箔を残し、上述によ
りエッチングレジストが溶解除去された不要部分の銅箔
が、腐食液の噴射により溶解除去される。それから、残
っていた上述の硬化した回路Ｂの部分のエッチングレジ
ストが、剥離液の噴射により溶解除去された後、洗浄，
乾燥され、もって、所定の回路Ｂが形成されたプリント
配線基板Ａが得られる。プリント配線基板Ａは、例えば
縦横が５５０ｍｍ×５５０ｍｍや、５００ｍｍ×３００
ｍｍ程度の寸法よりなり、その肉厚は、１．０ｍｍから
０．８ｍｍ更には０．４ｍｍ程度よりなる。

【００２２】このように、パネルＥの１例であるプリン
ト配線基板Ａの製造工程、例えば現像，エッチング，剥
離等の工程では、それぞれ、プリント配線基板Ａを搬送
しつつ、現像液，腐食液，剥離液等の薬液Ｊが噴射され
て、薬液処理（化学処理）が行われると共に、水が噴射
されることによる水洗処理や乾燥処理が行われる。この
ようにして、絶縁基板Ｃの表面の回路形成面Ｄに回路Ｂ
が形成された、パネルＥの１例たるプリント配線基板Ａ
が得られる。プリント配線基板Ａは、このような工程を
辿って製造される。

【００２３】次に、パネルＥの１例である、ガラス基板
Ｆの回路形成面Ｄに、着色層や電極等の回路Ｂが形成さ
れたカラーフィルタＧを備えたＬＣＤ・液晶ディスプレ
イＨのパネルＥ（図１０の（１）図）について述べてお
く。ＬＣＤ・液晶ディスプレイＨは、周知のごとく、２
枚のガラス基板Ｆ間に液晶Ｗが封入された基本構造より
なり、印加電圧により液晶Ｗの光学的性質が変化して、
文字等を表示する。そして、液晶カラーテレビ，パソコ
ン，各種計器の表示用，等々に広く使用されつつある
が、最近は大型化の傾向も顕著であり、４０インチ，５
０インチ，１ｍ角のものも増加しつつある。

【００２４】そして、このような液晶ディスプレイＨで
は、ガラス基板Ｆの回路形成面Ｄに、多くの格子，着色
層，スイッチ，透明電極等の回路Ｂ（本明細書中ではこ
れも広義の回路Ｂとみる）が、埋め込まれ印刷形成され
てなるカラーフィルタＧ、を備えたパネルＥが使用され
ている。そして、このようなパネルＥも、前述した同種
のパネルＥであるプリント配線基板Ａに準じた製造工程
により、現象，エッチング，水洗，乾燥等の工程を辿っ
て製造され、同様な薬液処理そして水洗処理が行われ
る。なお、このパネルＥの肉厚は１ｍｍ弱程度よりな
る。又、図１０の（２）図中、Ｍは偏光板，Ｎは画素電
極を示す。液晶ディスプレイＨ用のパネルＥは、このよ
うな工程を辿って製造される。

【００２５】次に、パネルＥの１例である、ガラス基板
Ｆの回路形成面Ｄに隔壁や電極等の回路Ｂが形成され
た、プラズマディスプレイ用のパネルＥについて述べて
おく。ＰＤＰ・プラズマディスプレイは、周知のごとく
１種の表示放電管であり、２枚のガラス基板Ｆ間に、多
くの隔壁，セル空間，透明電極，スイッチ，抵抗等が介
装された基本構造よりなり、封入された各ガスが、印加
電圧により放電して一画素を形成しつつ文字等を表示す
る。そして、ハイビジョンテレビ用として開発が進めら
れており、４０インチ等の大型化されたものも開発され
ている。このようにプラズマディスプレイでは、ガラス
基板Ｆの回路形成面Ｄに、多くのスイッチ，抵抗，透明
電極等の回路Ｂ（本明細書中ではこれも広義の回路Ｂと
みる）が埋め込まれ印刷形成された、パネルＥが用いら
れている。そして、このようなパネルＥも、前述した同
種のパネルＥであるプリント配線基板Ａに準じた製造工
程により、現像，エッチング，水洗，乾燥等の工程を辿
って製造され、同様な薬液処理そして水洗処理が行われ
る。プラズマディスプレイ用のパネルＥは、このような
工程を辿って製造される。

【００２６】さて、この搬送処理装置１１は、このよう
なプリント配線基板Ａ，液晶ディスプレイＨ用のパネル
Ｅ，プラズマディスプレイ用のパネルＥ等、絶縁基板Ｃ
やガラス基板Ｆ等の基板の表面に回路Ｂが形成された、
薄いパネルＥの製造工程で用いられる。そして、以下に
順次詳述する搬送装置１２，スプレーノズル１３，搬送
処理装置１１間に介装されたエアーノズル１４、等を備
えてなる。

【００２７】まず、この搬送処理装置１１の搬送装置１
２について、述べる。この搬送装置１２は、パネルＥ
を、表面の回路形成面Ｄを上に裏面Ｐを下に向けて傾斜
せしめると共に、裏面Ｐおよび下端Ｑを保持して搬送す
る。パネルＥは、垂直に対し若干程度の傾斜角θ（図５
の（１）図を参照）にて、傾斜せしめられている。そし
て搬送装置１２は、傾斜したパネルＥの裏面Ｐをもたれ
かからせて保持する傾斜した縦コンベア１５と、傾斜し
たパネルＥの下端Ｑを支えて保持する下コンベア１６
と、を有してなる。縦コンベア１５および下コンベア１
６は、共に搬送ローラー１７，１８を備えたローラーコ
ンベアよりなると共に、少なくとも縦コンベア１５が回
転駆動され、かつ下コンベア１６は、縦コンベア１５の
垂直に対する傾斜角θと同一角度で、水平に対し傾斜し
ている。

【００２８】このような縦コンベア１５と下コンベア１
６とからなる、搬送装置１２について更に詳述する。図
５，図６中１９は駆動軸であり、この駆動軸１９は、端
部がモーター（図示せず）等の駆動源に接続されると共
に、搬送方向Ｒに沿って配されている。そして駆動軸１
９には、一定間隔にて多数のねじ歯車２０が固設されて
おり、このねじ歯車２０に対し、図示例では交互に、縦
シャフト２１に固設されたねじ歯車２２と、横シャフト
２３に固設されたネジ歯車２４とが、螺合・噛み合わせ
られている。各縦シャフト２１および横シャフト２３
は、それぞれフレーム２５に軸受を介し回動自在に保持
され、もって縦横に立設，横設されている。各縦シャフ
ト２１には、それぞれ多数の例えばホイールよりなる搬
送ローラー１７が固設され、各横シャフト２３には、そ
れぞれ１個の搬送ローラー１８が固設されている。

【００２９】もって、図５，図６に加え図１，図２，図
３等にも示したように、このような各縦シャフト２１と
搬送ローラー１７にて、縦コンベア１５が構成され、
又、各横シャフト２３と搬送ローラー１８にて、下コン
ベア１６が構成されている。図示例では、縦コンベア１
５のみならず下コンベア１６も、回転駆動されるように
なっている。

【００３０】そして、図１，図５の（１）図等に示した
ように、縦コンベア１５つまり各縦シャフト２１や搬送
ローラー１７は、垂直に対し若干程度の傾斜角θにて、
傾斜して配設されている。つまり図面上では、垂直に対
し右側に約１０度程度傾いた状態となっており、この傾
斜角θは、パネルＥをもたれかからせて保持するに足る
角度に設定される。もって、縦コンベア１５はパネルＥ
を傾斜せしめ、下に向けられた裏面Ｐを、その各搬送ロ
ーラー１７に当接させ，もたれかからせて保持すると共
に、各搬送ローラー１７が回転駆動されることにより、
パネルＥを搬送方向Ｒに搬送する。

【００３１】又、図１，図５の（１）図等に示したよう
に、下コンベア１６つまり各横シャフト２３や搬送ロー
ラー１８は、水平に対し上述した傾斜角θにて、若干傾
斜せしめられている。つまり図面上では、右下に傾いた
状態となっており、結局、上述した縦コンベア１５，各
縦シャフト２１，搬送ローラー１７等と直角をなすよう
に、設定されている。もって下コンベア１６は、傾斜し
たパネルＥの下端Ｑを、その各搬送ローラー１８上に乗
せるように当接させ，支えて保持すると共に、各搬送ロ
ーラー１８が回転駆動されることにより、上述した縦コ
ンベア１５の各搬送ローラー１７と共に、パネルＥを搬
送方向Ｒに搬送する。なお図示例において、下コンベア
１６そしてその横シャフト２３，搬送ローラー１８等
は、このように傾斜した構成よりなっているが、これに
よらず、これらを水平とすると共に、この水平な搬送ロ
ーラー１８の表面にＶ溝等の溝を形成し、この溝にてパ
ネルＥの下端Ｑを支えて保持する構成も可能である。こ
の搬送処理装置１１の搬送装置１２は、このような縦コ
ンベア１５と下コンベア１６とからなる。

【００３２】ところで、図２，図３，図４等に示した例
では、２セットつまり２台の搬送処理装置１１が、順次
用いられるべく連続して配設されている。そして、図２
に示した搬送方向Ｒの上流側の搬送処理装置１１では、
薬液Ｊによる薬液処理が行われ、図３等に示した下流側
の搬送処理装置１１では、水Ｋによる水洗処理が行われ
る。つまり、上流側の搬送処理装置１１では、例えば現
像液，腐食液，剥離液等の薬液Ｊが噴射され、もって現
像，エッチング，剥離等の薬液処理（化学処理）が行わ
れる。これに対し、下流側の搬送処理装置１１では水Ｋ
が噴射され、もって水洗処理が行われる。図２中２６
は、最上流に位置する投入部、図３中２７は最下流に位
置する受取部である。そして、このような２台の搬送処
理装置１１，投入部２６，受取部２７そして後述するエ
アーナイフ部２８，２９等を通し、前述した搬送装置１
２が、連続的に配設されている（なお図２，図３中で
は、搬送処理装置１１やエアーナイフ部２８，２９等に
関し、搬送装置１２の図示は省略）。搬送装置１２は、
このようになっている。

【００３３】次に、図１，図２，図３，図４等を参照し
つつ、搬送処理装置１１のスプレーノズル１３について
述べる。このスプレーノズル１３は、孔状をなし、搬送
されるパネルＥの回路形成面Ｄに対向位置し、薬液Ｊや
水Ｋ等の液体を噴射して所定の処理を行うべく、多数設
けられている。そして、薬液Ｊを噴射する搬送処理装置
１１のスプレーノズル１３は、搬送方向Ｒに沿い多数直
線的に列設されると共に、相互間が上下にずれ全体的に
傾斜して配列され、かつ上下への揺動首振り動作を行
う。

【００３４】このようなスプレーノズル１３について、
更に詳述する。まず、図２そして図１に示した上流側の
搬送処理装置１１のスプレーノズル１３について述べ
る。このスプレーノズル１３は、搬送装置１２にて搬送
されるパネルＥの回路形成面Ｄに対し、薬液Ｊを噴射し
て薬液処理を実施する。すなわち図１等に示したよう
に、この搬送処理装置１１の下部には薬液槽３０が設け
られ、現像液や腐食液や剥離液等の薬液Ｊが貯溜されて
いる。そして、薬液槽３０内の薬液Ｊは、ポンプ３１に
て、フィルター３２，主管３３等を介し、上下多段に複
数本横設されたスプレーパイプ３４へと分岐，圧送され
た後、各スプレーパイプ３４にそれぞれ多数穿設された
スプレーノズル１３から、搬送装置１２にて縦に傾斜し
て搬送されるパネルＥの回路形成面Ｄに向けて、噴射さ
れる。そして薬液Ｊは、パネルＥの回路形成面Ｄを流下
した後、再び下部の薬液槽３０に回収され、事後再び循
環使用される。図１，図２中３５は、各スプレーパイプ
３４に付設された圧力計である。

【００３５】そして、この搬送処理装置１１のスプレー
パイプ３４は、パネルＥの回路形成面Ｄに対向位置すべ
く、相互間は平行に、上下多段に配設されている。これ
と共に各スプレーパイプ３４は、図示例では搬送方向Ｒ
の上流側に高く、下流側に低く傾斜して配設されると共
に、その軸を中心に上下に例えば３５度程度の角度で、
回動するように設定されている。もって、各スプレーパ
イプ３４について、それぞれ直線的に列設されたスプレ
ーノズル１３も、各スプレーパイプ３４毎に、それぞれ
相互間が上下にずれ全体的に傾斜して配列されると共
に、すべてが上下への揺動首振り動作を行うようになっ
ている。図１，図２に示した上流側の搬送処理装置１１
のスプレーノズル１３は、このようになっている。

【００３６】これに対し、図３等に示した下流側の搬送
処理装置１１のスプレーノズル１３は、次のようになっ
ている。このスプレーノズル１３は、搬送装置１２にて
搬送されるパネルＥの回路形成面Ｄに対し、水Ｋを噴射
して水洗処理を実施する。すなわち、この搬送処理装置
１１の下部には水洗槽３６が設けられ、水洗用の水Ｋが
貯溜されている。そして、水洗槽３６内の水Ｋは、図４
に示したポンプ３７にて配管３８を介し、縦に平行に複
数本配設されたスプレーパイプ３９へと分岐，圧送され
た後、各スプレーパイプ３９にそれぞれ多数穿設された
スプレーノズル１３から、搬送装置１２にて縦で傾斜し
て搬送されるパネルＥの回路形成面Ｄ（図３においてこ
れらの図示は省略）に向けて、噴射される。そして、噴
射された水Ｋは、パネルＥの回路形成面Ｄを流下した
後、再び下部の水洗槽３６に回収され、事後、適宜循環
使用される。図３等に示した下流側の搬送処理装置１１
のスプレーノズル１３は、このようになっている。スプ
レーノズル１３は、このようになっている。

【００３７】次に、エアーナイフ部２８について述べ
る。図４中４０は、ブロワーつまり送風機であり、この
送風機４０からの圧送風は、エアー配管（図示せず）を
介し、図２，図３，図７等に示したエアーナイフ部２８
の風管４１に至る。このエアーナイフ部２８そして風管
４１は、図２に示した上流側の搬送処理装置１１と、図
３等に示した下流側の搬送処理装置１１との間に介装さ
れている。そして、このエアーナイフ部２８では、風管
４１について搬送方向Ｒの上流側の端および下流側の端
に、スリット状のエアーノズル１４が、それぞれ縦に平
行に穿設されている。この両エアーノズル１４は、搬送
されるパネルＥの上下全体にエアーを噴射する高さ寸法
を備えてなると共に、パネルＥに対し、上流寄りのエア
ーノズル１４は、直角より搬送方向Ｒ上流側に向けら
れ、下流寄りのエアーノズル１４は、直角より搬送方向
Ｒ下流側に向けられ、もって２方向にエアーを噴射する
ようになっている。なお図示例において、このような風
管４１とエアーノズル１４よりなるエアーナイフ部２８
は１組介装されているが、これによらず、２組等多数組
を連設して介装するようにしてもよく、又、１個の風管
４１に３個以上のエアーノズル１４を設け、上流向きの
ものと下流向きのものとに、分けて用いるようにしても
よい。そしてこのエアーナイフ部２８は、主に、両搬送
処理装置１１間における薬液Ｊと水Ｋとの混り合いを防
止すべく機能する。エアーナイフ部２８は、このように
なっている。

【００３８】これに対し、エアーナイフ部２９は、次の
ようになっている。図４中４２は、ブロアーつまり送風
機であり、この送風機４２からの圧送風は、エアー配管
（図示せず）を介し、図３中に示したように、下流側の
搬送処理装置１１と受取部２７間に介装された空気室状
のエアーナイフ部２９に至る。そして、このエアーナイ
フ部２９には、図示例では縦にスリット状のエアーノズ
ル４３（図示例によらず、多数の縦に列設された孔状の
エアーノズルでも可）が、複数平行に列設されており、
パネルＥの回路形成面Ｄに対しエアーを噴射する。この
エアーナイフ部２９は、主に、回路形成面Ｄの水切り，
乾燥用として機能する。エアーナイフ部２９は、このよ
うになっている。

【００３９】本発明は、以上説明したように構成されて
いる。そこで以下のようになる。このように、この搬送
処理装置１１は、例えば図１０に示したプリント配線基
板Ａ，液晶ディスプレイＨ用のカラーフィルタＧを備え
たパネルＥ，プラズマディスプレイ用のパネルＥ等、絶
縁基板Ｃやガラス基板Ｆ等の基板の表面に回路Ｂが形成
された、薄いパネルＥの製造工程で用いられ、このよう
なパネルＥを搬送しつつ、薬液処理や水洗処理等を行
う。そして、図１や図５の（１）図等に示したように、
パネルＥを垂直から傾斜角θで若干傾斜させ、表面の回
路形成面Ｄを上に裏面Ｐを下に向けて傾斜させ、搬送装
置１２にて、パネルＥの裏面Ｐおよび下端Ｑのみを保持
して搬送する。

【００４０】このような搬送装置１２として、図示例で
は、搬送ローラー１７，１８を備え傾斜したローラーコ
ンベアよりなり、パネルＥの裏面Ｐをもたれかからせて
保持する縦コンベア１５と、パネルＥの下端Ｑを支えて
保持する下コンベア１６とが用いられる。そして、図
１，図２，図３等に示したように、このような搬送装置
１２にて傾斜して搬送されるパネルＥに対し、その表面
の回路形成面Ｄに対向位置すべく配された多数のスプレ
ーノズル１３から、現像液，腐食液，剥離液等の薬液Ｊ
や水Ｋ、等の液体が噴射される。スプレーノズル１３と
しては、例えば図２に示したように、搬送方向Ｒに沿い
つつ全体的に上下に傾斜して配列されると共に、上下に
揺動首振り動作を行うものが使用される。又、順次連続
して配設された上流側と下流側の両搬送処理装置１１間
には、上流側と下流側とにそれぞれ向けられたスリット
状のエアーノズル１４を備えたエアーナイフ部２８が介
装され、もって上流側と下流側の２方向に、エアーを噴
射するようになっている。

【００４１】なお図示例では、図２，図３，図４に示し
たように、搬送方向Ｒに沿い上流側から下流側に向け、
投入部２６，薬液処理を行う搬送処理装置１１，エアー
ナイフ部２８，水洗処理を行う搬送処理装置１１，エア
ーナイフ部２９，受取部２７の順に、配置されている。
さてそこで、この搬送処理装置１１にあっては、次の第
１，第２，第３，第４，第５のようになる。

【００４２】第１に、この搬送処理装置１１において、
プリント配線基板Ａ，液晶ディスプレイＨ用のカラーフ
ィルタＧを備えたパネルＥ，プラズマディスプレイ用の
パネルＥ等の薄いパネルＥは、傾斜して搬送されつつ、
その回路形成面Ｄに薬液Ｊや水Ｋ等の液体が噴射され
る。もって噴射された液体は、傾斜したパネルＥの回路
形成面Ｄに当たった後、その傾斜に沿って上から下へと
流れ落ちるので、パネルＥを水平の横姿勢で搬送した場
合に発生していた液溜まりＬ（図８を参照）は、発生し
なくなる。又、このようにパネルＥは、若干傾斜した縦
状態で搬送されるので、大型化する一方で軽量化を図る
べく極薄化が進むパネルＥについて、パネルＥを水平の
横姿勢で搬送した場合に発生しやすい弛みも、防止され
る。

【００４３】第２に、この搬送処理装置１１において、
パネルＥは、その裏面Ｐおよび下端Ｑのみを、搬送装置
１２の縦コンベア１５および下コンベア１６の搬送ロー
ラー１７，１８にて、保持されつつ搬送される。そし
て、このような搬送ローラー１７，１８等にて保持され
ない、無接触状態・オープン状態の表面たる回路形成面
Ｄに対し、スプレーノズル１３から薬液Ｊや水Ｋ等の液
体が噴射される。このように薬液処理や水洗処理に際
し、回路形成面Ｄそして回路Ｂは、無接触状態・オープ
ン状態に維持され、薬液Ｊや水Ｋが、遮断され塞がれる
ことなく全面的に噴射される。

【００４４】第３に、しかもこの搬送処理装置１１は、
パネルＥの裏面Ｐや下端Ｑを保持する搬送ローラー１
７，１８を備え、傾斜した縦コンベア１５や下コンベア
１６よりなる搬送処理装置１２と、パネルＥの回路形成
面Ｄに対向位置する多数のスプレーノズル１３と、を備
えた簡単な構成よりなる。

【００４５】第４に、更に薬液処理を行う搬送処理装置
１１のスプレーノズル１３は、搬送方向Ｒに沿いつつ上
下に傾斜して配列されると共に、上下への揺動首振り動
作を行う。そこで、パネルＥの回路形成面Ｄに対し、極
めて均一に薬液Ｊが噴射され、もって極めて均一に薬液
処理が行われるようになる。

【００４６】第５に、更にエアーナイフ部２８のスリッ
ト状のエアーノズル１４が、連続して配設された上流側
の薬液処理を行う搬送処理装置１１と、水洗処理を行う
搬送処理装置１１との間に介装されている。そして、上
流側に向けたエアーノズル１４から噴射されるエアーに
て、上流側の搬送処理装置１１においてパネルＥの回路
形成面Ｄに残存していた薬液Ｊが、除去されると共に、
上流側の搬送処理装置１１にて噴射されパネルＥの回路
形成面Ｄを介し下流側に向けて流出しようとする薬液Ｊ
は、押し戻される。他方、下流側に向けたエアーノズル
１４から噴射されるエアーにて、下流側の搬送処理装置
１１にて噴射されパネルＥの回路形成面Ｄを介し下流側
から上流側へ向けて逆流しようとする水Ｋも、押し返さ
れる。このようにして、上下流の両搬送処理装置１１間
で、薬液Ｊと水Ｋとが混じり合うことは、確実に防止さ
れる。

【００４７】

【発明の効果】本発明に係る搬送処理装置は、以上説明
したように、搬送装置にて、パネルを傾斜せしめ裏面お
よび下端を保持して搬送しつつ、スプレーノズルから、
薬液等の液体を回路形成面に噴射するようにしたことに
より、次の効果を発揮する。

【００４８】第１に、液溜まりが防止される。すなわ
ち、この搬送処理装置において、プリント配線基板，液
晶ディスプレイ用のカラーフィルタを備えたパネル，プ
ラズマディスプレイ用のパネル，その他の薄いパネル
は、傾斜して搬送されつつ、薬液，水等の液体が噴射さ
れる。もって、噴射された液体は、傾斜したパネルの回
路形成面に沿って流れ落ちるので、液溜まりは発生しな
くなる。

【００４９】従って、液溜まりが発生していた前述した
この種従来例の水平横型の搬送処理装置に比し、使用さ
れる薬液や水の液量が大幅に少なくて済み、例えば水洗
に要する水量は半分以下で済むようになると共に、薬液
処理や水洗処理の処理時間も大幅に短縮される等、能率
面・効率面に優れてなる。更に、このように液溜まりの
解消に起因して、例えば現像，エッチング，剥離の各工
程における薬液処理の均一性が確保され、もって、前述
したこの種従来例において指摘されていた、形成される
回路の幅の過不足・誤差・ムラ・不良等の発生が防止さ
れるようになり、電気抵抗値も一定化するようになる。
もって、高密度化・複雑化・微細化が進むプリント配線
基板，液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを備えたパ
ネル，プラズマディスプレイ用のパネル，等々のパネル
において、その回路の精度が向上し、製品の歩どまりも
向上する。

【００５０】更に、水洗工程においても、このような液
溜まりの解消に起因して、水洗がスムーズに実施される
ようになり、又、次に実施される乾燥工程では、水分除
去・乾燥がスムーズに実施されるようになり、乾燥ムラ
は回避される。従って、前述したこの種従来例において
指摘されていた、回路形成面や回路にシミ状の半点模様
がつく事態も発生せず、この面からも、回路の精度が向
上し、製品の歩どまりも向上する。

【００５１】第２に、回路形成面に搬送ローラーが接触
することもない。すなわち、この搬送処理装置におい
て、プリント配線基板，液晶ディスプレイ用のカラーフ
ィルタを備えたパネル，プラズマディスプレイ用のパネ
ル，その他の薄いパネルは、裏面および下端のみを保持
されつつ搬送され、搬送ローラー等にて何ら保持される
ことがない無接触状態・オープン状態の表面たる回路形
成面に対し、スプレーノズルから薬液，水等の液体が噴
射される。

【００５２】従って、前述したこの種従来例の垂直縦型
の搬送処理装置のように、表面の回路形成面に搬送ロー
ラーが常時接触し、もって形成される回路について、物
理的に悪影響が及ぶようなことは、確実に回避される。
又、各スプレーノズルと回路形成面そして回路との間
に、搬送ローラーが介在位置することもなく、もってス
プレーノズルからの薬液や水が、遮断され塞がれるとい
う事態も発生しない。そこで、この面からも薬液処理の
均一性や水洗のスムーズな実施が確保され、高密度化・
複雑化・微細化が進むプリント配線基板，液晶ディスプ
レイ用のカラーフィルタを備えたパネル，プラズマディ
スプレイ用のパネル，等々のパネルにおいて、その回路
の精度が向上し、製品の歩どまりも向上する。

【００５３】第３に、しかもこれらは、簡単容易に実現
される。すなわち、この搬送処理装置は、パネルを傾斜
させつつ裏面や下端のみを保持して搬送する搬送装置、
例えば傾斜したローラーコンベアよりなる縦コンベアと
下コンベアと、パネルの表面の回路形成面に対向位置す
る多数のスプレーノズルと、を備えた簡単な構成よりな
る。もって、上述した第１，第２の点は、容易に実現さ
れる。

【００５４】更に、請求項５では、スプレーノズルを全
体的に搬送方向に沿いつつ上下に傾斜して配列すると共
に、上下への揺動首振り動作を行わしめるようにしたこ
とにより、上述に加え次の効果を発揮する。

【００５５】第４に、特に薬液処理の均一性や水洗のス
ムーズな実施が確保される。すなち、この搬送処理装置
では、スプレーノズルの傾斜と首振りにより、パネルの
回路形成面に対し、極めて均一に薬液等の液体が噴射さ
れる。もって、この面から特に、薬液処理の均一性等が
確保され、回路の精度が向上し、製品の歩どまりも向上
する。

【００５６】又、請求項６では、連続して配設された両
搬送処理装置間に、上流側と下流側にそれぞれ向けられ
たスリット状のエアーノズルを介装し、もって２方向に
エアーを噴射するようにしたことにより、前述に加え次
の効果を発揮する。

【００５７】第５に、工程間の液体の混り合いが防止さ
れる。すなわち、この搬送処理装置間には、上流側に向
けたエアーノズルから噴射されるエアーにて、パネルの
表面たる回路形成面に残存していた薬液等の液体が、除
去されると共に、噴射されパネルの回路形成面を介し下
流側へ向けて流出しようとする薬液等の液体が、押し戻
される。又、下流側に向けたエアーノズルから噴射され
るエアーにて、噴射されパネルの回路形成面を介し下流
側から上流側へ向けて逆流しようとする薬液等の液体
が、押し返される。もって、上流側の搬送処理装置で用
いられる液体と、下流側の搬送処理装置で用いられる液
体とが、パネルの回路形成面を介して混じり合うこと
は、確実に防止されるようになる。もってこの面から
も、薬液処理の均一性や水洗のスムーズな実施が確保さ
れ、回路の精度が向上し、製品の歩どまりも向上する。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決さ
れる等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるも
のがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送処理装置について、発明の実
施の形態の説明に供する正面説明図である。

【図２】同発明の実施の形態の説明に供する、上流側の
側面説明図である。

【図３】同発明の実施の形態の説明に供する、下流側の
側面説明図である。

【図４】同発明の実施の形態の説明に供する、平面説明
図である。

【図５】同発明の実施の形態の説明に供し、（１）図は
要部の正面説明図、（２）図は要部の側面説明図であ
る。

【図６】同発明の実施の形態の説明に供し、（１）図は
要部の平面説明図、（２）図はその拡大図である。

【図７】同発明の実施の形態の説明に供し、（１）図は
エアーノズル等を示す正面説明図、（２）図は同エアー
ノズル等を示す平面説明図である。

【図８】この種従来例の搬送処理装置の１例の側面説明
図である。

【図９】この種従来例の搬送処理装置の他の例の正面説
明図である。

【図１０】（１）図は、プリント配線基板の平面図、
（２）図は、液晶ディスプレイの拡大した断面説明図で
ある。

【符号の説明】

１１搬送処理装置１２搬送装置１３スプレーノズル１４エアーノズル１５縦コンベア１６下コンベア１７搬送ローラー１８搬送ローラーＡプリント配線基板Ｂ回路Ｃ絶縁基板Ｄ回路形成面ＥパネルＦガラス基板ＧカラーフィルタＨ液晶ディスプレイＪ薬液Ｐ裏面Ｑ下端Ｒ搬送方向 θ 傾斜角

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩ // Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の表面に回路が形成された薄いパネ
ルの製造工程で用いられ、該パネルを搬送しつつ薬液等
の液体による処理を行う搬送処理装置であって、該パネルを、表面の回路形成面を上に裏面を下に向けて
傾斜せしめると共に、該裏面および下端を保持して搬送
する搬送装置と、搬送される該パネルの回路形成面に対
向位置し、該液体を噴射して所定の処理を行う多数のス
プレーノズルと、を有してなること、を特徴とする搬送
処理装置。
【請求項２】請求項１に記載した搬送処理装置におい
て、該パネルとしては、絶縁基板の回路形成面に回路が
形成されたプリント配線基板、又は、ガラス基板の回路
形成面に着色層や電極等の回路が形成されたカラーフィ
ルタを備えた液晶ディスプレイ用のパネル、又は、ガラ
ス基板の回路形成面に隔壁や電極等の回路が形成された
プラズマディスプレイ用のパネル、等が対象とされるこ
と、を特徴する搬送処理装置。
【請求項３】請求項１に記載した搬送処理装置におい
て、該パネルは、垂直に対し若干程度の傾斜角にて傾斜
していること、を特徴とする搬送処理装置。
【請求項４】請求項１に記載した搬送処理装置におい
て、該搬送装置は、傾斜した該パネルの裏面をもたれか
からせて保持する傾斜した縦コンベアと、傾斜した該パ
ネルの下端を支えて保持する下コンベアと、を有してな
ること、を特徴とする搬送処理装置。
【請求項５】請求項１に記載した搬送処理装置におい
て、該スプレーノズルは、搬送方向に沿い多数直線的に
列設されると共に、相互間が上下にずれ全体的に傾斜し
て配列され、かつ上下への揺動首振り動作を行うこと、
を特徴とする搬送処理装置。
【請求項６】請求項１に記載した搬送処理装置であっ
て、２セットが、順次用いられるべく連続して配設され
ると共に、両者間に、スリット状のエアーノズルが縦に
平行に介装されており、該エアーノズルは、搬送される該パネルの上下全体にエ
アーを噴射する高さ寸法を備えてなると共に、該パネル
に対し、上流寄りのものは直角より搬送方向上流側に向
けられ、下流寄りのものは直角より搬送方向下流側に向
けられ、もって２方向にエアーを噴射すること、を特徴
とする搬送処理装置。
【請求項７】請求項４に記載した搬送処理装置におい
て、該縦コンベアおよび該下コンベアは、共に搬送ロー
ラーを備えたローラーコンベアよりなると共に、少なく
とも該縦コンベアが回転駆動され、かつ該下コンベア
は、該縦コンベアの垂直に対する傾斜角と同一角度で水
平に対し傾斜していること、を特徴とする搬送処理装
置。