JPH10156699A - Wire saw - Google Patents
Wire sawInfo
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- JPH10156699A JPH10156699A JP31510296A JP31510296A JPH10156699A JP H10156699 A JPH10156699 A JP H10156699A JP 31510296 A JP31510296 A JP 31510296A JP 31510296 A JP31510296 A JP 31510296A JP H10156699 A JPH10156699 A JP H10156699A
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- wire
- work
- rollers
- processing
- roller
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを使用し
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるインゴット状のワークに切断加工を施して、所定
厚さのウエハを形成するワイヤソーに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to cutting a workpiece of an ingot made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and a ceramic using a wire to form a wafer having a predetermined thickness. It relates to a wire saw.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種のワイヤソーにおいては、
複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、それら
のローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形成さ
れている。また、各加工用ローラ間において、環状溝に
は１本のワイヤが順に巻回されている。そして、ワイヤ
が走行されながら、そのワイヤ上に遊離砥粒が供給さ
れ、この状態でワイヤに対しワークが押し付け接触され
て、ワークに切断加工が施されるようになっている。2. Description of the Related Art In a conventional wire saw of this type,
A plurality of processing rollers are arranged at predetermined intervals, and a plurality of annular grooves are formed on the outer periphery of the rollers at a predetermined pitch. In addition, one wire is sequentially wound around the annular groove between the processing rollers. Then, while the wire is running, loose abrasive grains are supplied onto the wire, and in this state, the work is pressed against and brought into contact with the wire, and the work is cut.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】最近のワイヤソーで
は、長尺状のワークから一度に多数のウエハを切断形成
することが要望されるため、加工用ローラが軸線方向に
長くなる傾向にある。ところが、加工用ローラが長くな
りすぎると、ワークの切断加工時に、加工用ローラがワ
イヤとの摩擦により高温になって、そのローラに大きな
熱歪みが生じたり、環状溝のピッチに大きなバラツキが
生じるおそれがある。このため、所定厚さのウエハを、
高精度に切断形成することができないという問題があっ
た。In recent wire saws, since it is required to cut and form a large number of wafers at a time from a long work, the processing roller tends to be longer in the axial direction. However, if the processing roller is too long, the cutting roller becomes hot due to friction with the wire during cutting of the work, causing a large thermal strain on the roller or a large variation in the pitch of the annular groove. There is a risk. For this reason, a wafer of a predetermined thickness is
There was a problem that it was not possible to cut and form with high precision.
【０００４】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、長尺状のワークから一度に多数のウエハ
を高精度に切断形成することができるワイヤソーを提供
することにある。The present invention has been made by paying attention to such problems existing in the conventional technology. An object of the present invention is to provide a wire saw capable of cutting and forming a large number of wafers at a time from a long work with high accuracy.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、複数の加工用ローラ
間にワイヤを所定ピッチで巻回し、そのワイヤを走行さ
せながら、ワイヤに対しワークを接触させて、切断加工
を施すようにしたワイヤソーにおいて、前記複数の加工
用ローラよりなるローラ群を、ワークに対向してその長
手方向へ複数組並設したものである。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the invention, a wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and the wire is run while the wire is running. A plurality of roller groups each including a plurality of processing rollers are arranged in parallel in the longitudinal direction of the wire saw in such a manner that the workpiece is brought into contact with the workpiece to perform a cutting process.
【０００６】従って、請求項１に記載のワイヤソーにお
いては、複数組のローラ群でワイヤが走行されながら、
そのワイヤに対しワークが押し付け接触されて、そのワ
ークがスライス状に切断加工される。このため、ワーク
が長尺状である場合でも、そのワークを複数組のローラ
群に分担して、１度に切断加工することができる。ま
た、各ローラ群の加工用ローラを短くすることが可能に
なる。このため、各加工用ローラに大きな熱歪みが生じ
るおそれはない。よって、所定厚さのウエハを、高精度
に切断形成することができる。Therefore, in the wire saw according to the first aspect, while the wire is run by a plurality of sets of rollers,
A work is pressed against the wire to make contact therewith, and the work is cut into a slice. For this reason, even when the work is long, the work can be shared by a plurality of roller groups and cut at one time. Further, the processing rollers of each roller group can be shortened. For this reason, there is no possibility that large thermal distortion will occur in each processing roller. Therefore, a wafer having a predetermined thickness can be cut and formed with high precision.
【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、前記ワイヤを複数本装備し
て、複数組のローラ群に対して個別に巻回したものであ
る。請求項３に記載の発明では、請求項１に記載のワイ
ヤソーにおいて、前記ワイヤを１本装備して、複数組の
ローラ群に跨って巻回したものである。According to a second aspect of the present invention, in the wire saw according to the first aspect, a plurality of the wires are provided and individually wound around a plurality of roller groups. According to a third aspect of the present invention, in the wire saw according to the first aspect, the wire saw is provided with one wire and wound over a plurality of roller groups.
【０００８】請求項４に記載の発明では、前記加工用ロ
ーラの端部の径を、その中央部の径よりも小さく設定し
たものである。In the invention according to claim 4, the diameter of the end portion of the processing roller is set smaller than the diameter of the center portion.
【０００９】[0009]
（第１の実施形態）以下、この発明の第１の実施形態
を、図面に基づいて説明する。(First Embodiment) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１０】図１〜図４に示すように、切断機構１１は
装置フレーム１２上に装設されている。この切断機構１
１は後述するワーク２６に対向してその長手方向に並設
された複数組（実施形態では３組）のローラ群１３，１
４，１５を備えている。各ローラ群１３，１４，１５
は、平行に延びる１本の加工用駆動ローラ１６及び２本
の加工用被動ローラ１７を備えている。各ローラ群１
３，１４，１５において、各加工用ローラ１６，１７の
軸心は逆３角形を成すように平行配置されている。各加
工用ローラ１６，１７の外周には所定ピッチの環状溝１
６ａ，１７ａが形成されている。なお、図面においては
理解を容易にするために、環状溝１６ａ，１７ａの数を
実際よりも少なく描いてある。As shown in FIGS. 1 to 4, the cutting mechanism 11 is mounted on an apparatus frame 12. This cutting mechanism 1
Reference numeral 1 denotes a plurality (three in this embodiment) of roller groups 13, 1 arranged in a longitudinal direction facing a work 26 described later.
4, 15 are provided. Each roller group 13, 14, 15
Is provided with one processing driving roller 16 and two processing driven rollers 17 extending in parallel. Each roller group 1
In 3, 14, and 15, the axes of the processing rollers 16, 17 are arranged in parallel so as to form an inverted triangle. An annular groove 1 having a predetermined pitch is provided on the outer circumference of each of the processing rollers 16 and 17.
6a and 17a are formed. In the drawings, the number of the annular grooves 16a and 17a is smaller than the actual number for easy understanding.
【００１１】３本の線材よりなるワイヤ１８は前記各ロ
ーラ群１３，１４，１５において独立した状態で、加工
用ローラ１６，１７の環状溝１６ａ，１７ａに連続的に
巻回されている。また、この実施形態においては、隣接
するローラ群１３，１４，１５間におけるワイヤ１８の
配列ピッチが同一となるように構成されている。すなわ
ち、各ローラ群１３，１４間および各ローラ群１４，１
５間におけるワイヤ１８の配列ピッチが同一となってい
る。そして、所定の加工用ローラ１６，１７の端部に
は、その中央部の径よりも、その径が若干小さく形成さ
れた小径部１６ｂ，１７ｂが設けられている。The wire 18 made of three wires is continuously wound around the annular grooves 16a, 17a of the processing rollers 16, 17 in an independent state in the respective roller groups 13, 14, 15. In this embodiment, the arrangement pitch of the wires 18 between the adjacent roller groups 13, 14, 15 is configured to be the same. That is, between the roller groups 13 and 14 and between the roller groups 14 and 1
The arrangement pitch of the wires 18 is the same between the five. At the ends of the predetermined processing rollers 16 and 17, small diameter portions 16b and 17b each having a diameter slightly smaller than the diameter of the central portion are provided.
【００１２】３個のワイヤ走行用モータ１９は前記フレ
ーム１２上に配設されている。各ワイヤ走行用モータ１
９は、各ローラ群１３，１４，１５の加工用駆動ローラ
１６に対し、プーリ２０及びベルト２１を介して、また
はプーリ２０，ベルト２１，連結軸２２，カップリング
２３を介して連結されている。そして、これらのモータ
１９により、各ローラ群１３，１４，１５の加工用駆動
ローラ１６が駆動回転される。また、この加工用駆動ロ
ーラ１６の回転に伴い、ワイヤ１８が走行して加工用被
動ローラ１７が従動回転される。Three wire running motors 19 are disposed on the frame 12. Each wire running motor 1
9 is connected to the processing drive roller 16 of each of the roller groups 13, 14, 15 via a pulley 20 and a belt 21, or via a pulley 20, a belt 21, a connection shaft 22, and a coupling 23. . Then, the processing drive rollers 16 of the respective roller groups 13, 14, 15 are driven and rotated by these motors 19. Further, with the rotation of the processing drive roller 16, the wire 18 travels, and the processing driven roller 17 is driven and rotated.
【００１３】ここで、所定の加工用ローラ１６，１７の
端部には小径部１６ｂ，１７ｂが設けられているため、
隣接する加工用ローラ１６，１７に巻回されたワイヤ１
８が、任意の加工用ローラ１６，１７の端部に接するこ
とはない。つまり、小径部１６ｂ，１７ｂは、隣接する
加工用ローラ１６，１７に巻回されたワイヤ１８が、任
意の加工用ローラ１６，１７の端部に接するのを防止す
るための逃代として機能する。そのため、小径部１６
ｂ，１７ｂの径は、隣接する加工用ローラ１６，１７に
巻回されたワイヤ１８が、加工用ローラ１６，１７の端
部から逃げて接しない程度に設定すればよい。尚、小径
部１６ｂ，１７ｂはワイヤ１８に対する逃げをもたせる
ために設けるものであるため、加工用ローラ１６，１７
の端部にワイヤ１８が接しない場合には省いてもよい。
つまり、図３において、左側の３本の加工用ローラ１
６，１７の左側の小径部１６ｂ，１７ｂ、右側の３本の
加工用ローラ１６，１７の右側の小径部１６ｂ，１７
ｂ、中央の３本の加工用ローラ１６，１７のうち上側と
真ん中の加工用ローラ１６，１７の両側の小径部１６
ｂ，１７ｂなど、加工用ローラ１６，１７の端部にワイ
ヤ１８が接しない部分の小径部１６ｂ，１７ｂについて
は設ける必要がないわけである。Since small diameter portions 16b and 17b are provided at the ends of the predetermined processing rollers 16 and 17,
Wire 1 wound on adjacent processing rollers 16 and 17
8 does not come into contact with the end of any of the processing rollers 16 and 17. That is, the small-diameter portions 16b and 17b function as a relief for preventing the wire 18 wound around the adjacent processing rollers 16 and 17 from coming into contact with the end of any of the processing rollers 16 and 17. . Therefore, the small diameter portion 16
The diameters of b and 17b may be set so that the wires 18 wound around the adjacent processing rollers 16 and 17 do not escape from the ends of the processing rollers 16 and 17 and come into contact therewith. Since the small diameter portions 16b and 17b are provided to allow the wire 18 to escape, the processing rollers 16 and 17 are provided.
If the wire 18 does not come into contact with the end of the wire, it may be omitted.
That is, in FIG. 3, the three left processing rollers 1
6, 17 left small diameter portions 16b, 17b, right three small processing rollers 16, 17 right small diameter portions 16b, 17
b, the small-diameter portions 16 on both sides of the upper and middle processing rollers 16, 17 of the three center processing rollers 16, 17;
It is not necessary to provide the small diameter portions 16b and 17b of the portions where the wire 18 does not contact the ends of the processing rollers 16 and 17 such as b and 17b.
【００１４】ワーク支持機構２４は前記切断機構１１の
上方において、フレーム１２に立設したコラム４０に上
下動可能に支持され、その下部にはスラリ供給管２５が
延長配置されている。また、このワーク支持機構２４の
下部には、硬脆材料よりなるインゴット状のワーク２６
が着脱自在にセットされる。図示しないワーク昇降用モ
ータがコラム４０上に配設され、このモータにより図示
しないボールスクリュー等を介してワーク支持機構２４
が上下動される。The work supporting mechanism 24 is supported by a column 40 erected on the frame 12 above and below the cutting mechanism 11 so as to be vertically movable, and a slurry supply pipe 25 is extended below the work supporting mechanism 24. An ingot-like work 26 made of a hard and brittle material is provided below the work support mechanism 24.
Is set detachably. A work elevating motor (not shown) is provided on the column 40, and the work supporting mechanism 24 is driven by the motor via a ball screw (not shown).
Is moved up and down.
【００１５】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が各ローラ群１３，１４，１５の加工用ローラ
１６，１７間で双方向に往復走行されながら、ワーク支
持機構２４が切断機構１１に向かって下降される。この
とき、スラリ供給管２５からワイヤ１８上へ遊離砥粒を
含むスラリＡが供給されるとともに、そのワイヤ１８に
対しワーク２６が押し付け接触され、スラリに含まれる
遊離砥粒のラッピング作用によってワーク２６がスライ
ス状に切断加工されて、所定厚さのウエハが切断形成さ
れる。When the wire saw is operated, the work supporting mechanism 24 moves toward the cutting mechanism 11 while the wire 18 reciprocates between the processing rollers 16 and 17 of the respective roller groups 13, 14 and 15. Descended. At this time, the slurry A containing the free abrasive grains is supplied from the slurry supply pipe 25 onto the wire 18, and the work 26 is pressed against the wire 18 to make contact therewith, and the work 26 is wrapped by the free abrasive grains contained in the slurry. Is sliced to form a wafer having a predetermined thickness.
【００１６】３組のリール機構２７は前記各ローラ群１
３，１４，１５に対応してフレーム１２上に装設され、
ワイヤ１８を繰り出すための繰出しリール２８と、ワイ
ヤ１８を巻き取るための巻取りリール２９とを備えてい
る。サーボモータよりなる各一対のリール回転用モータ
３０，３１はフレーム１２に配設され、それらのモータ
軸にはリール２８，２９が連結されている。トラバース
機構３２は各リール機構２７に隣接してフレーム１２上
に装設され、繰出しリール２８からのワイヤ１８の繰出
し及び巻取りリール２９へのワイヤ１８の巻取りを上下
にトラバースしながら案内する。なお、繰り出しと巻き
取りは定期的に交互に行われる。Three sets of reel mechanisms 27 are provided for each of the roller groups 1.
It is installed on the frame 12 corresponding to 3, 14, and 15,
It has a pay-out reel 28 for feeding out the wire 18 and a take-up reel 29 for winding up the wire 18. A pair of reel rotation motors 30 and 31 each composed of a servomotor are disposed on the frame 12, and reels 28 and 29 are connected to their motor shafts. The traverse mechanism 32 is mounted on the frame 12 adjacent to each reel mechanism 27, and guides the feeding of the wire 18 from the feeding reel 28 and the winding of the wire 18 to the take-up reel 29 while traversing up and down. The feeding and the winding are performed alternately at regular intervals.
【００１７】そして、前記各リール機構２７の両リール
２８，２９の回転により、繰出しリール２８から切断機
構１１の各ローラ群１３，１４，１５へワイヤ１８が前
進，後退を、例えば、１０ｍ前進，９ｍ後退のように歩
進的に繰り出されるとともに、加工後のワイヤ１８が巻
取りリール２９に巻き取られる。また、繰出しリール２
８上のワイヤ１８が、切断機構１１を経て巻取りリール
２９にすべて巻き取られたとき、各リール回転用モータ
３０，３１の回転方向が切り換えられ、リール２８，２
９の繰出し機能及び巻取り機能が反転されて、ワイヤ１
８が反復使用される。The rotation of the two reels 28, 29 of the respective reel mechanisms 27 causes the wire 18 to advance and retreat from the payout reel 28 to the respective roller groups 13, 14, 15 of the cutting mechanism 11, for example, to advance 10 m. The wire 18 is unwound in a stepwise manner as if it is retracted by 9 m, and the processed wire 18 is wound up on a take-up reel 29. Also, payout reel 2
When all the wires 18 on the reel 8 have been wound on the take-up reel 29 via the cutting mechanism 11, the rotation directions of the reel rotation motors 30, 31 are switched, and the reels 28, 2
9 is reversed, and the wire 1
8 is used repeatedly.
【００１８】張力付与機構３３及びガイド機構３４は、
前記各リール機構２７と切断機構１１の各ローラ群１
３，１４，１５との間にそれぞれ配設されている。そし
て、各ローラ群１３，１４，１５の加工用ローラ１６，
１７間に巻回されたワイヤ１８の両端が、ガイド機構３
４の各ガイドローラ３５を介して張力付与機構３３に掛
装されている。この状態で、各張力付与機構３３によ
り、ローラ群１３，１４，１５における加工用ローラ１
６，１７間のワイヤ１８に対し、所定の張力が付与され
る。The tension applying mechanism 33 and the guide mechanism 34
Each roller group 1 of each reel mechanism 27 and cutting mechanism 11
3, 14, and 15, respectively. Then, the processing rollers 16 of each of the roller groups 13, 14 and 15,
The two ends of the wire 18 wound between the guide mechanisms 17
4 are mounted on the tension applying mechanism 33 via the respective guide rollers 35. In this state, the processing rollers 1 in the roller groups 13, 14 and 15 are controlled by the tension applying mechanisms 33.
A predetermined tension is applied to the wire 18 between the wires 6 and 17.
【００１９】張力低減機構３７は前記各リール機構２７
と張力付与機構３３との間にそれぞれ配設され、一対の
回転ローラ３８を備えている。そして、これらの回転ロ
ーラ３８にはワイヤ１８が掛装され、３個の回転ローラ
３７が回転されることによって、張力付与機構３３から
リール機構２７の各リール２８，２９側へ波及するワイ
ヤ１８の張力が低減されるようになっている。The tension reducing mechanism 37 is provided for each of the reel mechanisms 27.
And a pair of rotating rollers 38 disposed between the tension applying mechanism 33 and the tension applying mechanism 33, respectively. The wires 18 are wound around these rotating rollers 38, and the three rotating rollers 37 are rotated, whereby the wires 18 spreading from the tension applying mechanism 33 to the reels 28 and 29 of the reel mechanism 27 are rotated. The tension is reduced.
【００２０】次に、前記のように構成されたワイヤソー
について動作を説明する。さて、このワイヤソーでは、
切断機構１１の各ローラ群１３，１４，１５において、
ワイヤ１８がリール機構２７の繰出しリール２８から繰
り出され、加工用ローラ１６，１７間において双方向へ
間欠的に往復走行された後、最終的に巻取りリール２９
に巻き取られる。そして、ワーク支持機構２４により、
各ローラ群１３，１４，１５の加工用ローラ１６，１７
間のワイヤ１８上に遊離砥粒を含むスラリＡが供給され
ながら、そのワイヤ１８に対してワーク２６が押し付け
接触される。これにより、ワーク２６がスライス状に切
断加工されて、所定厚さのウエハが形成される。Next, the operation of the wire saw configured as described above will be described. Well, in this wire saw,
In each roller group 13, 14, 15 of the cutting mechanism 11,
After the wire 18 is paid out from the pay-out reel 28 of the reel mechanism 27 and intermittently reciprocates bidirectionally between the processing rollers 16 and 17, finally, the take-up reel 29
It is wound up. And, by the work supporting mechanism 24,
Processing rollers 16, 17 of each roller group 13, 14, 15
While the slurry A containing the free abrasive grains is supplied onto the intervening wire 18, the work 26 is pressed against the wire 18 to make contact therewith. Thereby, the work 26 is cut into slices, and a wafer having a predetermined thickness is formed.
【００２１】このように、このワイヤソーでは、複数の
加工用ローラ１６，１７よりなる３組のローラ群１３，
１４，１５が、ワーク２６に対向してその長手方向へ並
設されている。そして、これらのローラ群１３，１４，
１５に巻回されたワイヤ１８により、ワーク２６が同時
に切断加工されるようになっている。このため、ワーク
支持機構２４に長尺状のワーク２６を装着した場合で
も、そのワーク２６を複数組のローラ群１３，１４，１
５に分担して、１度に切断加工することができる。As described above, in this wire saw, three roller groups 13, consisting of a plurality of processing rollers 16, 17, are provided.
14 and 15 are arranged side by side in the longitudinal direction so as to face the work 26. Then, these roller groups 13, 14,
The work 26 is simultaneously cut by the wire 18 wound around 15. For this reason, even when a long work 26 is mounted on the work support mechanism 24, the work 26 is divided into a plurality of sets of rollers 13, 14, 1.
5, and can be cut at one time.
【００２２】また、各ローラ群１３，１４，１５の加工
用ローラ１６，１７が短くなっているので、ワーク２６
の切断加工時に、それらのローラ１６，１７に大きな熱
歪みが生じたり、環状溝１６ａ，１７ａのピッチに熱に
よる変形に伴う大きなバラツキが生じるおそれはない。
従って、長尺状のワーク２６を高精度に切断加工するこ
とができて、厚さの均一なウエハを製作することができ
る。Further, since the processing rollers 16, 17 of each of the roller groups 13, 14, 15 are short, the work 26
During the cutting process, there is no possibility that the rollers 16 and 17 will have large thermal distortion and the pitch of the annular grooves 16a and 17a will have large variations due to heat deformation.
Therefore, the long workpiece 26 can be cut with high precision, and a wafer having a uniform thickness can be manufactured.
【００２３】本実施形態によって期待できる効果につい
て、以下に記載する。 （ａ）ワーク２６の長手方向に沿って複数組のローラ群
１３，１４，１５が並設され、それらのローラ群１３，
１４，１５に巻回されたワイヤ１８により、ワーク２６
が同時に切断加工されるようになっている。このため、
ワーク２６が長尺状である場合でも、そのワーク２６を
複数組のローラ群１３，１４，１５により、１度に能率
良く切断加工することが可能であるため、加工時間を短
縮することができる。The effects that can be expected from this embodiment will be described below. (A) A plurality of roller groups 13, 14, 15 are arranged side by side along the longitudinal direction of the work 26,
The work 18 is wound by the wire 18 wound around 14 and 15.
Are cut at the same time. For this reason,
Even when the work 26 is long, the work 26 can be efficiently cut at once by a plurality of sets of rollers 13, 14, 15, so that the processing time can be reduced. .
【００２４】（ｂ）ワーク２６の長手方向に沿って複数
組のローラ群１３，１４，１５が並設されている。この
ため、短いワーク２６を各ローラ群１３，１４，１５に
それぞれ対応配置すれば、それら３つのワーク２６を１
度に能率良く切断加工することもできる。(B) A plurality of roller groups 13, 14, 15 are arranged side by side along the longitudinal direction of the work 26. For this reason, if the short workpieces 26 are arranged corresponding to the roller groups 13, 14, 15, respectively, these three workpieces 26 are reduced to one.
The cutting process can be performed efficiently each time.
【００２５】（ｃ）各ローラ群１３，１４，１５の加工
用ローラ１６，１７が短くなっている。このため、それ
らの加工用ローラ１６，１７に大きな熱歪みや、溝ピッ
チのバラツキが生じるおそれはなく、所定厚さのウエハ
を高精度に切断形成することができる。(C) The processing rollers 16, 17 of each of the roller groups 13, 14, 15 are shorter. For this reason, there is no possibility that a large thermal distortion or a variation in groove pitch occurs in the processing rollers 16 and 17, and a wafer having a predetermined thickness can be cut and formed with high accuracy.
【００２６】（ｄ）各ローラ群１３，１４，１５の加工
用ローラ１６，１７が短くなっている。このため、それ
らの加工用ローラ１６，１７を表面摩耗時等において交
換する必要がある場合、その交換作業を容易に行うこと
ができる。(D) The processing rollers 16, 17 of each of the roller groups 13, 14, 15 are shorter. Therefore, when it is necessary to replace the processing rollers 16 and 17 at the time of surface wear or the like, the replacement operation can be easily performed.
【００２７】（ｅ）３組のローラ群１３，１４，１５に
対し、３本のワイヤ１８が個別に巻回されている。この
ため、各ローラ群１３，１４，１５において、加工用ロ
ーラ１６，１７上の環状溝１６ａ，１７ａのピッチ、ワ
イヤ１８の線径、ワイヤ１８のテンションを任意に設定
変更すれば、長尺状のワーク２６から板厚の異なったウ
エハを同時に切断形成することができる。(E) Three wires 18 are individually wound around the three roller groups 13, 14, and 15. Therefore, in each of the roller groups 13, 14, and 15, if the pitch of the annular grooves 16 a and 17 a on the processing rollers 16 and 17, the wire diameter of the wire 18, and the tension of the wire 18 are arbitrarily set and changed, the long shape is obtained. Wafers having different thicknesses can be cut and formed simultaneously from the work 26.
【００２８】（ｆ）各ローラ群１３，１４，１５におい
て、各加工用ローラ１６，１７の軸心は３角形を成すよ
うに平行配置されている。このため、各加工用ローラ１
６，１７に巻回されたワイヤ１８のテンションを一定に
保つことが容易になり、ワークの加工精度を向上させる
ことができる。(F) In each of the roller groups 13, 14, 15, the axes of the processing rollers 16, 17 are arranged in parallel so as to form a triangle. Therefore, each processing roller 1
It becomes easy to keep the tension of the wire 18 wound around 6, 17 constant, and the processing accuracy of the work can be improved.
【００２９】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を、図５に基づいて説明する。さて、この実
施形態においては、１本のワイヤ１８が３組のローラ群
１３，１４，１５を跨ぐように、それらのローラ群１
３，１４，１５に対し順に巻回されている。このため、
この実施形態のワイヤソーでは、ワイヤ１８に関連した
リール機構２７、トラバース機構３２、張力付与機構３
３、ガイド機構３４、張力低減機構３５等を、切断機構
１１の各ローラ群１３，１４，１５に対応して個別に設
ける必要がない。従って、ワイヤソーの構造が簡単にな
る上に、装置を小型にすることができる。(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described.
Will be described with reference to FIG. Now, in this embodiment, the roller group 1 is arranged such that one wire 18 straddles the three roller groups 13, 14 and 15.
3, 14, and 15 are wound in order. For this reason,
In the wire saw of this embodiment, the reel mechanism 27, the traverse mechanism 32, and the tension applying mechanism 3 related to the wire 18 are used.
3. There is no need to separately provide the guide mechanism 34, the tension reducing mechanism 35, and the like corresponding to each of the roller groups 13, 14, 15 of the cutting mechanism 11. Therefore, the structure of the wire saw can be simplified, and the size of the device can be reduced.
【００３０】なお、この発明を次のように変更して具体
化することも可能である。 （１）前記第１の実施形態において、切断機構１１のロ
ーラ群１３，１４，１５の内の１つ、または隣接する２
つを選択的に駆動させて、加工用ローラ１６，１７の１
本分または２本分の長さのワーク２６を切断加工するよ
うに構成すること。The present invention can be embodied with the following modifications. (1) In the first embodiment, one of the roller groups 13, 14, 15 of the cutting mechanism 11 or two
One of the processing rollers 16 and 17 by selectively driving
It is configured to cut a work 26 having a length of two or two.
【００３１】（２）前記第１の実施形態及び第２実施形
態において、ローラ群１３，１４，１５の並設数を、２
組または４組以上に変更すること。 （３）前記第１の実施形態及び第２実施形態において、
ローラ群１３，１４，１５の駆動構造等を任意に変更す
ること。例えば、各ローラ群１３，１４，１５を１個の
ワイヤ走行用モータ１９で駆動するように変更する。(2) In the first embodiment and the second embodiment, the number of the roller groups 13, 14, 15
Change to sets or 4 or more sets. (3) In the first embodiment and the second embodiment,
The drive structure of the roller groups 13, 14, 15 is arbitrarily changed. For example, each of the roller groups 13, 14, 15 is changed to be driven by one wire traveling motor 19.
【００３２】[0032]
【発明の効果】請求項１〜４のいずれか１項に記載の発
明によれば、長尺状のワークから一度に多数のウエハを
高精度に切断形成することができる。According to the invention as set forth in any one of claims 1 to 4, a large number of wafers can be cut from a long work at a time with high precision.
【００３３】請求項２に記載の発明によれば、各ローラ
群の各加工用ローラの寸法形状、ワイヤの線径、ワイヤ
のテンションを任意に設定変更することにより、長尺状
のワークから板厚の異なったウエハを同時に切断形成す
ることができる。また、ワークに対してワイヤの新線送
りが可能になるため、ワークの切断能率を向上させるこ
とができる。According to the second aspect of the present invention, the size and shape of each processing roller of each roller group, the wire diameter of the wire, and the tension of the wire are arbitrarily set and changed, so that a long workpiece can be converted to a plate. Wafers having different thicknesses can be cut and formed at the same time. In addition, since a new wire can be fed to the work, the cutting efficiency of the work can be improved.
【００３４】請求項３に記載の発明によれば、ワイヤを
繰り出し及び巻き取るためのリール機構を各ローラ群に
対応して各別に設ける必要がないため、装置の構造が簡
単になる上に、装置を小型化することができる。According to the third aspect of the present invention, it is not necessary to separately provide a reel mechanism for feeding and winding the wire for each roller group, so that the structure of the apparatus is simplified and The device can be downsized.
【００３５】請求項４に記載の発明によれば、加工用ロ
ーラの端部の径を、その中央部の径よりも小さく設定し
たため、隣接する加工用ローラに巻回されたワイヤが、
任意の加工用ローラの端部に接するのを防止することが
できる。According to the fourth aspect of the present invention, since the diameter of the end portion of the processing roller is set smaller than the diameter of the central portion thereof, the wire wound on the adjacent processing roller has a smaller diameter.
It is possible to prevent contact with an end of an arbitrary processing roller.
【図１】本発明の第１の実施形態の正面図。FIG. 1 is a front view of a first embodiment of the present invention.
【図２】第１の実施形態の側面図。FIG. 2 is a side view of the first embodiment.
【図３】第１の実施形態における加工用ローラの配列構
成を示す概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view showing an arrangement configuration of processing rollers in the first embodiment.
【図４】第１の実施形態における加工用ローラの配列構
成を示す概略斜視図。FIG. 4 is a schematic perspective view showing an arrangement configuration of processing rollers in the first embodiment.
【図５】本発明の第２の実施形態における加工用ローラ
の配列構成を示す概略平面図。FIG. 5 is a schematic plan view showing an arrangement configuration of processing rollers according to a second embodiment of the present invention.
１１…切断機構、１３，１４，１５…ローラ群、１６…
加工用駆動ローラ、１６ａ，１７ａ…環状溝、１７…加
工用被動ローラ、１８…ワイヤ、１９…ワイヤ走行用モ
ータ、２４…ワーク支持・スラリ供給機構、２６…ワー
ク、２７…リール機構、２８…繰出しリール、２９…巻
取りリール11 cutting mechanism, 13, 14, 15 roller group, 16
Processing drive rollers, 16a, 17a: Annular groove, 17: Processing driven roller, 18: Wire, 19: Wire running motor, 24: Work support and slurry supply mechanism, 26: Work, 27: Reel mechanism, 28 ... Feeding reel, 29 ... take-up reel
Claims (4)
ッチで巻回し、そのワイヤを走行させながら、ワイヤに
対しワークを接触させて、切断加工を施すようにしたワ
イヤソーにおいて、 前記複数の加工用ローラよりなるローラ群を、ワークに
対向してその長手方向へ複数組並設したワイヤソー。1. A wire saw in which a wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and a workpiece is brought into contact with the wire while the wire is running to perform a cutting process. A wire saw in which a plurality of roller groups each including a plurality of rollers are arranged in parallel in the longitudinal direction thereof in opposition to a work.
ローラ群に対して個別に巻回した請求項１に記載のワイ
ヤソー。2. The wire saw according to claim 1, wherein a plurality of the wires are provided and individually wound around a plurality of roller groups.
ーラ群に跨って巻回した請求項１に記載のワイヤソー。3. The wire saw according to claim 1, wherein one wire is provided and wound over a plurality of roller groups.
央部の径よりも小さく設定した請求項１〜３のいずれか
１項に記載のワイヤソー。4. The wire saw according to claim 1, wherein a diameter of an end portion of the processing roller is set smaller than a diameter of a central portion thereof.
Priority Applications (6)
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|---|---|---|---|
| JP31510296A JP3256155B2 (en) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | Wire saw |
| MYPI97001811A MY113652A (en) | 1996-04-27 | 1997-04-25 | Wire saw and work slicing method |
| DE69723151T DE69723151T2 (en) | 1996-04-27 | 1997-04-25 | Wire saw and cutting process |
| EP97106922A EP0803336B1 (en) | 1996-04-27 | 1997-04-25 | Wire saw and work slicing method |
| US08/840,628 US5865162A (en) | 1996-04-27 | 1997-04-25 | Wire saw and work slicing method |
| KR1019970015768A KR970069280A (en) | 1996-04-27 | 1997-04-26 | How to cut wire saws and workpieces |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007276001A (en) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Hitachi Metals Ltd | Wire saw device and cutting method using it |
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- 1996-11-26 JP JP31510296A patent/JP3256155B2/en not_active Expired - Fee Related
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