JPH10134306A - テープ状磁気記録媒体及びこれを用いた信号再生方法 - Google Patents

テープ状磁気記録媒体及びこれを用いた信号再生方法

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JPH10134306A
JPH10134306A JP8290562A JP29056296A JPH10134306A JP H10134306 A JPH10134306 A JP H10134306A JP 8290562 A JP8290562 A JP 8290562A JP 29056296 A JP29056296 A JP 29056296A JP H10134306 A JPH10134306 A JP H10134306A
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Shinya Yoshida
伸也 吉田
Kiyoshi Kagawa
潔 香川
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドに用
いられ、高密度記録に適したテープ状磁気記録媒体を提
供し、また、それに記録された信号の信号再生方法を提
供する。 【解決手段】 テープ状磁気記録媒体1は、非磁性支持
体2上に磁性層3が形成されてなり、残留磁束密度をB
rとし、上記磁性層3の厚み寸法をδとするものであ
り、再生ヘッドであるシールド型の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドに用いられる磁気抵抗効果素子の飽和磁束密度B
s及び厚さ寸法tに対してBrδ≦Bst/2なる関係
を有し、且つ、保磁力HcがHc≧1500(Oe)で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果素子
を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドに用いて好適なテー
プ状磁気記録媒体に関し、また、このテープ状磁気記録
媒体を製造する製造方法に関する。さらに、本発明は、
磁気抵抗効果型磁気ヘッドによりテープ状磁気記録媒体
を再生する信号再生方法に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気記録の分野においては、記録すべき
情報量の増加に伴って、年々、高密度記録化が強く要求
されてきている。これに伴い、磁気記録媒体としては、
従来の磁性粒子をバインダー中に分散させて塗布してな
る、いわゆる塗布型磁気記録媒体に代わって、強磁性金
属をメッキや真空薄膜形成手段(真空蒸着法、スパッタ
法、イオンプレーティング法等)により成膜した、いわ
ゆる薄膜型磁気記録媒体が主流になりつつある。
【0003】この強磁性金属を成膜した薄膜型磁気記録
媒体は、保磁力や角形比等に優れ、塗布型磁気記録媒体
のように磁性層中に非磁性材であるバインダーを混入す
る必要がないため磁性材料の充填密度(言い換えると、
単位体積当たりの磁化量)を高めることができる。ま
た、この薄膜型磁気記録媒体は、塗布型磁気記録媒体に
比べ磁性層厚を極めて薄くできるため、短波長領域にお
ける電磁変換特性に優れる。さらに、この薄膜型磁気記
録媒体は、記録減磁も著しく小さいといった特徴を有す
る。薄膜型磁気記録媒体は、塗布型磁気記録媒体と比較
して様々な優位さを有するため、今後、高密度記録用の
磁気記録媒体として主流となると考えられる。
【0004】ところで、このような磁気記録の分野にお
いて、薄膜型磁気記録媒体としては、斜方蒸着法により
磁性層を形成したテープ状磁気記録媒体が用いられてい
る。この斜方蒸着法により形成されたテープ状磁気記録
媒体とは、移動走行する非磁性支持体(ポリエステルフ
ィルムやポリアミド、ポリアミドフィルム等の高分子フ
ィルム)上に、斜め方向から真空蒸着法により磁性金属
を堆積させることにより磁性層を形成したものである。
斜方蒸着法により作成されたテープ状磁気記録媒体で
は、磁性粒子が非磁性支持体の表面に対して斜めに配向
しており、磁性粒子を長手方向に配向させた従来の磁気
テープに比べ高密度な記録が可能となる。具体的には、
このテープ状磁気記録媒体では、磁性層における磁化容
易軸が非磁性支持体の表面に対して約20°傾斜するよ
うに形成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、高密度記録
化の要求に答えるためには、上述したような磁気記録媒
体の改良のみならず磁気ヘッドの改良も必要であり、特
に、磁気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ド(以下、MRヘッドと呼ぶ。)による再生方式も注目
を集めている。
【0006】このMRヘッドは、磁気抵抗効果を用いた
磁気ヘッドであり、より微小な信号磁界を検出すること
が可能である。このため、MRヘッドは、高密度記録に
伴い記録波長が短波長化した際の信号磁界の減少にも対
応することができる。
【0007】しかしながら、このMRヘッドを用いて上
述したようなテープ状磁気記録媒体を再生する際には、
最適な条件が検討されておらず、必ずしも十分に高密度
記録を実現するには至らなかった。
【0008】そこで、本発明は、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドに用いられ、高密度記録に適したテープ状磁気記録
媒体を提供し、また、その製造方法を提供することを目
的とする。さらに、本発明は、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドを用いてテープ状磁気記録媒体に記録された信号の信
号再生方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
上述した目的を達成するために鋭意検討し、テープ状磁
気記録媒体が磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより再生され
る場合の最適な条件を検討した結果、テープ状磁気記録
媒体の表面における単位面積当たりの残留磁束密度を小
とし、保磁力を大とすることによって、磁気抵抗効果型
磁気ヘッドに適したテープ状磁気記録媒体となるといっ
た知見を得るに至った。すなわち、テープ状磁気記録媒
体をシールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生する
場合には、磁気抵抗効果素子を磁気的に飽和させないよ
うに、媒体の残留磁束密度と膜厚との積を小としなくて
はならないことが明らかになった。また、テープ状磁気
記録媒体が磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生される場
合、保磁力を大とすることにより、高密度記録の債に用
いられる短記録波長に対応した自己減磁界に対抗してシ
ャープな磁化反転を起こせることが明らかになった。
【0010】そこで、本発明に係るテープ状磁気記録媒
体は、非磁性支持体上に磁性層が形成されてなり、残留
磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法をδとする
テープ状磁気記録媒体において、再生ヘッドである磁気
抵抗効果型磁気ヘッドに用いられる磁気抵抗効果素子の
飽和磁束密度Bs及び厚さ寸法tに対してBrδ≦Bs
t/2なる関係を有し、且つ、保磁力HcがHc≧15
00(Oe)であることを特徴とする。
【0011】また、本発明に係るテープ状磁気記録媒体
の製造方法は、非磁性支持体上に磁性層が形成されてな
り、残留磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法を
δとし、飽和磁束密度をBsとし厚み寸法をtとする磁
気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドによ
り再生されるテープ状磁気記録媒体を製造するに際し
て、最低入射角を55゜以上とする斜方蒸着法により非
磁性支持体上に金属磁性膜を成膜することにより、Br
δ≦Bst/2なる関係を有し、保磁力HcがHc≧1
500(Oe)である磁性層を形成することを特徴とす
る。
【0012】さらに、本発明に係るテープ状磁気記録媒
体を用いた信号再生方法は、飽和磁束密度をBsとし、
厚み寸法をtとする磁気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗
効果型磁気ヘッドと、非磁性支持体上に磁性層が形成さ
れてなり、残留磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み
寸法をδとしたときにBrδ≦Bst/2なる関係を満
足し、且つ保磁力HcがHc≧1500(Oe)である
テープ状磁気記録媒体とを用い、上記テープ状磁気記録
媒体を上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドにて再生すること
を特徴とする。
【0013】なお、上述した保磁力Hcは、膜面内方向
で測定した値である。
【0014】以上のように構成された本発明に係るテー
プ状磁気記録媒体は、Brδ≦Bst/2なる関係を有
することによって、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの磁気抵
抗効果素子を飽和させることがない。これにより、磁気
抵抗効果型磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子の抵抗変化
率が線形である範囲で動作することとなる。したがっ
て、このテープ状磁気記録媒体は、磁気抵抗効果型磁気
ヘッドにより良好に再生される。
【0015】また、本発明に係るテープ状磁気記録媒体
の製造方法によれば、最低入射角を55゜以上とする斜
方蒸着法が用いられているため、金属磁性膜の薄膜成長
過程において自己陰影効果が大きくなる。このため、成
膜される金属磁性膜は、膜中での空隙が占める割合が大
きくなり、小さな飽和磁化Bsを示すこととなる。これ
により、テープ状磁気記録媒体は、Brδ≦Bst/2
なる関係を有する磁性層が形成されたものとなる。
【0016】また、金属磁性膜中の空隙の割合が大きく
なると、磁性層の保磁力も大幅に増大することとなる。
これにより、テープ状磁気記録媒体は、保磁力HcがH
c≧1500(Oe)である磁性層が形成されたものと
なる。したがって、このテープ状磁気記録媒体は、高密
度記録に用いられる短記録波長に対応した自己減磁界に
対抗してシャープな磁化反転を示すこととなる。
【0017】さらに、本発明に係るテープ状磁気記録媒
体を用いた信号再生方法によれば、Brδ≦Bst/2
なる関係のもとで、磁気抵抗効果型磁気ヘッドによりテ
ープ状磁気記録媒体が再生される。これにより、この手
法では、磁気抵抗効果型磁気ヘッドがテープ状磁気記録
媒体に記録された磁気信号を良好な再生信号とすること
ができる。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明に係るテープ状磁気記録媒
体、その製造方法及びこれを用いた信号再生方法につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0019】先ず、本実施の形態に示すテープ状磁気記
録媒体1は、図1に示すように、非磁性支持体2上に少
なくとも磁性層3が形成されるように構成されている。
また、このテープ状磁気記録媒体1は、磁性層3上に保
護膜4を有しており、この保護膜4上にトップコート層
5が形成されるように構成されている。さらに、このテ
ープ状磁気記録媒体1は、非磁性支持体2の磁性層3が
形成される面とは反対の面にバックコート層6を有して
構成されている。なお、本発明において、テープ状磁気
記録媒体は、特に、保護膜4、トップコート層5及びバ
ックコート層6を有さないような構成であってもよい。
【0020】また、このテープ状磁気記録媒体1におい
て、磁性層3は、詳細は後述するが斜方蒸着法を用いて
成膜される磁性薄膜あり、金属磁性材料を用いて薄膜形
成される。金属磁性材料としては、Fe、Co、Ni等
の強磁性金属や、Co−Ni系合金、Co−Ni−Pt
系合金、Fe−Co−Ni系合金、Fe−Ni−B系合
金、Fe−Co−B系合金、Fe−Co−Ni−B系合
金や、Co−Cr系合金(Co−Cr−TaやCo−C
r−Pt等)等が挙げられる。
【0021】この磁性層3は、その保磁力Hcが約15
00Oe以上とされ、残留磁束密度Brと磁性層3の膜
厚δとの積Brδが小とされてなる。すなわち、このテ
ープ状磁気記録媒体は、飽和磁束密度をBsとし膜厚を
tとする磁気抵抗効果素子を有する磁気抵抗効果型磁気
ヘッドにより再生される際、Brδ≦Bst/2なる関
係を有している。
【0022】そして、上述した磁性層3が成膜される非
磁性支持体2としては、ポリエステル類、セルロース誘
導体、ビニル系樹脂、ポリイミド類、ポリアミド類、ポ
リカーボネート等に代表されるような高分子材料により
形成される高分子支持体等が挙げられる。
【0023】そして、磁性層3上に成膜される保護膜4
は、カーボン膜、Al23、Ti−N、Mo−C、Cr
−C、SiO、SiO2、Si−N等が挙げられる。こ
の保護層4上に形成されるトップコート層5は、防錆剤
や潤滑剤よりなるものであり、保護層4上に塗布されて
も、薄膜形成されてもよい。さらに、非磁性支持体の磁
性層3が形成された面とは反対の面に形成されるバック
コート層6は、カーボン系微粉末や表面粗度をコントロ
ールするための無機顔料が分散されてなる層であり、媒
体の走行性を改善するために設けられる。
【0024】上述したように構成されたテープ状磁気記
録媒体1において、磁性層3は、斜方蒸着法により形成
されるため、その磁化容易軸が非磁性支持体2の表面に
対して斜めに形成されている。このため、テープ状磁気
記録媒体1では、現行の水平記録方式と比較して高密度
に磁気信号を記録することができる。
【0025】また、テープ状磁気記録媒体1は、その保
磁力が1500Oe以上とされてなるため、シャープな
磁化反転を起こすことができる。すなわち、このテープ
状磁気記録媒体1は、高密度記録に対応して磁気信号を
記録することができる。
【0026】さらに、このテープ状磁気記録媒体1は、
上述したように、再生する磁気抵抗効果型磁気ヘッドと
の関係において、Brδ≦Bst/2となるように形成
されている。このため、このテープ状磁気記録媒体1
は、磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより再生される際に磁
気ヘッドの再生能力の限界を越えない範囲で磁気ヘッド
を動作させることができる。
【0027】以上のように構成されたテープ状磁気記録
媒体1では、磁性層3に記録された磁気信号が再生され
る際、図2に示すような、磁気抵抗効果素子10(以
下、MR素子10と呼ぶ。)を用いた磁気抵抗効果型磁
気ヘッド11(以下、MRヘッド11と呼ぶ。)が用い
られる。このMRヘッド11において、MR素子10
は、磁気信号に対する感磁部となり、テープ状磁気記録
媒体1からの磁気信号を感磁して再生する。このMRヘ
ッド11では、外部磁界である磁気信号が印加される
と、図3に示すように、MR素子10の電気抵抗が変化
する。そして、MRヘッド11は、このMR素子10に
対して一定のセンス電流を供給することにより、このよ
うな電気抵抗の変化を電圧の変化として検出する。
【0028】このMRヘッド11は、いわゆるシールド
型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドであり、下層シールド1
2と、この下層シールド12上に形成された下部ギャッ
プ13と、この下部ギャップ13上に形成されたMR素
子10と、このMR素子10の長手方向の両端部に形成
された先端部電極14及び後端部電極15と、MR素子
10の上方に非磁性絶縁層16を介して形成されたバイ
アス磁界導電層17と、先端部電極14上に形成された
上層シールド18とから構成されている。
【0029】このMRヘッド11において、下層シール
ド12及び上層シールド18は、磁性体からなり、下部
ギャップ13及び先端部電極14は、非磁性体からな
る。また、MRヘッド11において、後端部電極15及
びバイアス磁界導体層17は、導電体からなる。
【0030】上述のように構成されたMRヘッド11
は、図2中Aで示す側面を媒体対向面とし、上述したテ
ープ状磁気記録媒体1に記録された磁気信号を再生す
る。このとき、MRヘッド11では、MR素子10が感
磁部となり、テープ状磁気記録媒体からの信号磁界がM
R素子10に印加される。そして、このMRヘッド11
では、後端部電極15より一定電流のセンス電流がMR
素子10に供給される。このセンス電流は、MR素子1
0に供給された後、先端部電極からアースされることと
なる。
【0031】このMR素子10は、外部から磁界が印加
されるとその電気抵抗が変化するといった、図3に示す
ような、いわゆる磁気抵抗効果を示すため、センス電流
が供給されると電気抵抗の変化に応じた電圧変化を示す
こととなる。そして、MRヘッド11は、信号磁界によ
るセンス電流の電圧変化を検出することによって、磁気
信号を再生することとなる。なお、このとき、MRヘッ
ド11では、バイアス磁界導体層17に電流が供給され
ており、このバイアス磁界導体層17からバイアス磁界
が発生している。このバイアス磁界がMR素子10に印
加されることにより、MR素子10が線形性よく抵抗変
化を示すようになる。
【0032】また、このMRヘッド11は、下層シール
ド12及び上層シールド18を有するシールド型の磁気
抵抗効果型磁気ヘッドである。すなわち、このMRヘッ
ド11では、テープ状磁気記録媒体1から発生する再生
対象でない信号磁界は、下層シールド12及び上層シー
ルド18に引き込まれることとなる。したがって、この
MRヘッド11では、テープ状磁気記録媒体1から発生
する信号磁界のうち再生対象の信号磁界のみがMR素子
10に印加することとなる。
【0033】上述したようなMRヘッド11とテープ状
磁気記録媒体1とは、磁性層3の残留磁束密度をBr、
磁性層3の厚み寸法をδと表し、MR素子10の飽和磁
束密度をBs、MR素子10の厚み寸法をtと表すとき
に、Brδ≦Bst/2なる関係を有する。このため、
このテープ状磁気記録媒体1は、発生する信号磁界によ
りMR素子10を磁気的に飽和させることがない。すな
わち、テープ状磁気記録媒体1に記録された磁気信号
は、MR素子10を磁気的に飽和させずに図3中Rで示
す線形性の良い領域内で動作させることとなる。
【0034】また、このテープ状磁気記録媒体1は、磁
性層3の保磁力HcがHc≧1500(Oe)とされて
なる。これにより、このテープ状磁気記録媒体1では、
磁気信号が記録される際、磁性層3が磁気信号に対して
シャープな磁化反転を起こすこことができる。このた
め、テープ状磁気記録媒体1においては、磁気信号が短
波長化されるのに伴い自己減磁界が増大することによる
不都合を回避することができる。すなわち、このテープ
状磁気記録媒体1は、高密度記録に対応して磁気信号を
記録することができる。
【0035】なお、上述したMRヘッド11において、
MR素子10は、巨大磁気抵抗効果を示す、いわゆるG
MR素子であっても良い。このときも、GMR素子の飽
和磁束密度をBsとし膜厚をtとしたとき、テープ状磁
気記録媒体とMRヘッドとは、Brδ≦Bst/2なる
関係を有していればよい。
【0036】一方、本発明に係るテープ状磁気記録媒体
の製造方法は、上述したテープ状磁気記録媒体1を製造
するに際して適用することができる。以下に、本発明に
係るテープ状磁気記録媒体の製造方法を詳細に説明す
る。
【0037】このテープ状磁気記録媒体1では、非磁性
支持体2上に磁性層3を構成する金属磁性材料が斜方蒸
着法により薄膜形成される。このとき、テープ状磁気記
録媒体1の磁性層3は、図4に示すような蒸着装置20
により形成される。
【0038】この蒸着装置20は、磁性層3を形成する
面が外側になるように非磁性支持体2が掛け渡された冷
却キャン21と、非磁性支持体2を巻回してこの冷却キ
ャン21に送り出す送出ロール22と、非磁性支持体2
を巻き取る巻取りロール23と、金属磁性材料を入れる
坩堝24と、冷却キャン21に掛け渡された非磁性支持
体2と対向して配される一対のシャッタ25とから構成
されている。この蒸着装置20は、一対のシャッタ25
が非磁性支持体2の一部分のみを外方へと露出させるよ
うな構成となっている。また、この蒸着装置20は、非
磁性支持体2を所定のテンションで冷却キャン21に掛
け渡すために一対のテンションローラ26を有してい
る。
【0039】この蒸着装置20は、坩堝24が冷却キャ
ン21に対して斜めに位置するように構成されている。
言い換えると、この蒸着装置20は、冷却キャンに掛け
渡された非磁性支持体2のうちで、一対のシャッタ25
により外方へと露出されている部分と坩堝24とが所定
の角度を以て対向するように構成されている。具体的に
は、この蒸着装置20では、坩堝24から飛散する金属
磁性材料の粒子が非磁性支持体2の外方へ露出する部分
に所定の入射角をもって堆積することとなる。
【0040】このとき、入射角とは、図4中θで示すよ
うに、金属磁性粒子が飛散する方向と半径方向とがなす
角度のことである。また、ここでは、入射角の中で最も
低角度のものを最低入射角θLとする。本発明に係るテ
ープ状磁気記録媒体の製造方法に用いられる蒸着装置2
0では、その最低入射角θLが55゜以上となるように
構成されている。
【0041】このような蒸着装置20を用いて非磁性支
持体2の一表面に磁性層3を形成する際には、坩堝24
内の金属磁性材料を加熱することによって、非磁性支持
体2の表面に金属磁性材料を蒸着させる。このとき、こ
の蒸着装置20では、一対のシャッタ25により遮蔽さ
れる部分を除き、非磁性支持体2の外方へと露出してい
る部分にのみ磁性層3を成膜することができる。そし
て、非磁性支持体2の表面には、非磁性支持体2が送出
ロール22から巻取りロール23に向かって走行される
ことによって、順次、磁性層3が成膜されることとな
る。
【0042】このとき、坩堝24から蒸発される金属磁
性材料は、坩堝24が非磁性支持体2の外方へと露出し
ている部分と所定の角度を以て対向しているために、非
磁性支持体2上に所定の角度を有するように堆積する。
すなわち、この蒸着装置20では、蒸着する金属磁性材
料の最低入射角θLが55゜以上とされているために、
堆積する金属磁性材料の粒子に自己陰影効果が生ずる。
ここで、自己陰影効果とは、薄膜成長する際に堆積する
粒子が近接して堆積する粒子の影になることである。そ
して、この自己陰影効果のため、堆積する粒子は、高密
度に薄膜成長することができず空隙の多い膜となる。し
たがって、この蒸着装置20により成膜される磁性層3
は、空隙の多い粗な膜となる。
【0043】このため、このテープ状磁気記録媒体1で
は、磁性層3の飽和磁束密度及び残留磁束密度が小とな
る。また、このテープ状磁気記録媒体1では、磁性粒子
が空間的に分離されることとなり、保磁力が向上したも
のとなる。また、この手法によれば、最低入射角を調節
することによって、磁性層3の磁気特性を容易に制御す
ることができる。
【0044】具体的には、この手法では、テープ状磁気
記録媒体1における磁性層3の残留磁化をBr、磁性層
の厚み寸法をδと表し、このテープ状磁気記録媒体1を
再生するMR素子10の飽和磁化をBs、素子の厚み寸
法をtと表すときに、Brδ≦Bst/2なる関係を有
するようにテープ状磁気記録媒体1を製造することがで
きる。このため、この手法によれば、製造されたテープ
状磁気記録媒体1は、MRヘッド11におけるMR素子
10を磁気的に飽和させることがない。すなわち、テー
プ状磁気記録媒体1に記録された磁気信号は、MR素子
10を磁気的に飽和させずに図3における線形性の良い
領域R内で動作させることとなる。
【0045】また、この手法では、このテープ状磁気記
録媒体1は、磁性層3の保磁力HcがHc≧1500
(Oe)となるように製造することができる。これによ
り、このテープ状磁気記録媒体1では、磁気信号が記録
される際、シャープな磁化反転を起こすこことができ
る。このため、テープ状磁気記録媒体1は、磁気信号が
短波長化されるのに伴い自己減磁界が増大することによ
る不都合を回避することができる。すなわち、このテー
プ状磁気記録媒体1は、高密度記録に対応して磁気信号
を記録することができる。
【0046】さらに一方、本発明に係るテープ状磁気記
録媒体の信号再生方法は、非磁性支持体上に磁性層が形
成されてなり、残留磁化をBrとし、上記磁性層の厚み
寸法をδとするテープ状磁気記録媒体を、飽和磁化をB
sとし、厚み寸法をtとする磁気抵抗効果素子を用いた
磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより再生する際にBrδ≦
Bst/2なる関係を有することを特徴とする。
【0047】すなわち、この信号再生方法では、上述し
たようなテープ状磁気記録媒体1を、図3に示すような
抵抗変化率を示すMR素子10を用いたMRヘッド11
により再生する。このとき、テープ状磁気記録媒体1と
MRヘッド11とは、Brδ≦Bst/2なる関係を有
するために、MR素子10を磁気的に飽和させることな
く信号再生処理することができる。
【0048】また、上述したようなテープ状磁気記録媒
体1では、磁性粒子間の磁気的相互作用が低減されてい
るため、ノイズが減少したものとなる。上述したような
MRヘッド11では、テープ状磁気記録媒体1のノイズ
がSN比に大きく作用することとなる。これにより、こ
の信号再生方法によれば、テープ状磁気記録媒体1のノ
イズが低減されているため、高いSN比を実現すること
ができる。
【0049】
【実施例】以下、本発明を適用して実際にテープ状磁気
記録媒体1を製造し、その特性を評価した。ここでは、
実施例1から実施例5を作成し、これと比較するために
比較例1から比較例5を作成した。
【0050】本実施例及び比較例では、非磁性支持体2
として高分子フィルムを用い、この高分子フィルムの一
表面に磁性層3を形成した。この磁性層3を形成する際
には、図4に示したように、蒸着装置20を用いて斜方
蒸着法により金属磁性材料を蒸着して成膜した。ここで
は、金属磁性材料としてCoを用いた。
【0051】このときの成膜条件を下記に記す。
【0052】成膜条件 ・インゴット:Co100 ・入射角度:55゜〜90゜ ・酸素導入量:0.2〜0.5l/min ・真空度:2×10-2Pa 以上のような成膜条件で非磁性支持体2上に磁性層3を
形成することにより、磁性層3は、磁性粒子としてCo
が堆積するとともに非磁性粒子としてCo−Oが堆積す
ることにより形成される。そして、このように形成され
た磁性層3では、その磁化容易軸が非磁性支持体2の表
面で20゜〜30゜傾斜してなる。なお、磁性層3の厚
さは、テープの送り速度または電子銃の投入電力を変え
ることにより制御した。
【0053】そして、次に、磁性層3上に厚み寸法が約
8nmとなるようにカーボン保護層4を形成し、このカ
ーボン保護層4上にトップコート層5を形成した。さら
に、磁性層3が形成された側とは反対側の非磁性支持体
2の表面には、バックコート層6を形成した。その後、
所定の磁気テープ幅に裁断し、テープ状磁気記録媒体1
を完成した。
【0054】上述した磁性層3の形成工程においては、
成膜条件を様々に変更することによって、その磁気特性
を変化させることができる。具体的には、最低入射角θ
Lを様々な値にすることにより、残留磁束密度及び保磁
力を制御することができる。このようにして、磁性層3
の残留磁束密度及び保磁力を制御した結果を表1及び表
2に示す。なお、表1は磁性層3の膜厚が100μmの
場合であり、表2は磁性層3の膜厚が50μmの場合で
ある。
【0055】
【表1】
【0056】
【表2】
【0057】これら表1及び表2から明らかなように、
最低入射角が大きくなるほど飽和磁束密度が小さくな
り、保磁力が大きくなる傾向がある。すなわち、上述し
たように最低入射角を制御することによって、磁性層3
の磁気特性を制御することが可能となることがわかる。
【0058】このように磁気特性を制御し、実施例1か
ら実施例5及び比較例1から比較例5を作成した。そし
て、これらの各サンプルに関して、電磁変換特性を測定
した。このとき、各サンプルには、ギャップ長を0.2
2μmとし、トラック幅を86μmとするMIG(Meta
l in Gap)ヘッドにより磁気信号を記録した。なお、こ
のとき、磁気信号の記録波長としては、今後の超高密度
記録において用いられると考えられる波長として、0.
3μmが使用された。
【0059】そして、電磁変換特性測定には、MR素子
10としてNi−Feが用いられたMRヘッドAと、M
R素子10として巨大磁気抵抗効果を示すGMR素子が
用いられたGMRヘッドBとが用いられた。このMRヘ
ッドAは、トラック幅が5μmとされ、Bst/2=2
00(G・μm)のMR素子を有するものとする。ま
た、このGMRヘッドBは、トラック幅が5μmとさ
れ、Bst/2=100(G・μm)のMR素子を有す
るものとする。また、これらMRヘッドA及びGMRヘ
ッドBにおいては、そのヘッド効率をそれぞれ約0.4
とした。なお、この電磁変換特性測定において、テープ
速度は、相対速度として1m/minとした。
【0060】そして、上述したサンプルをMRヘッドA
又はGMRヘッドBで再生し、それぞれのサンプルにつ
いてSN比を測定した。実施例1〜実施例3及び比較例
1〜比較例3に関しては、MRヘッドAで再生した。そ
の測定結果を表3に示す。また、実施例4、実施例5、
比較例4及び比較例5に関しては、GMRヘッドBで再
生した。その測定結果を表4に示す。なお、ここで、磁
気特性は、振動試料型磁力計により測定した。
【0061】
【表3】
【0062】
【表4】
【0063】これら表3及び表4において、SN比が2
0dB以上の値であると、良好な電磁変換特性を有する
ものとすることができる。SN比が20dBという値
は、エラーレートに換算すると5×10に相当する。し
たがって、SN比20dB以上という値は、通常のデー
タメディアにおけるエラーレートとして十分な値となっ
ている。
【0064】これら、表3及び表4より、テープ状磁気
記録媒体は、磁性層3と再生するMRヘッドの磁気特性
との関係においてBrδ≦Bst/2とされ、且つ、磁
性層3の保磁力が1500Oe以上とされることによっ
て、良好な電磁変換特性を有することが分かる。
【0065】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るテープ状磁気記録媒体では、飽和磁束密度をBs
とし、膜厚をtとする磁気抵抗効果素子を有する磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにより再生される際に、Brδ≦B
st/2なる関係を有する。これにより、このテープ状
磁気記録媒体は、良好なSN比で磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドにより再生される。
【0066】また、本発明に係るテープ状磁気記録媒体
の製造方法では、磁性層を成膜する際の最低入射角を5
5゜以上としている。このため、この手法によれば、上
述したような磁気特性を有するテープ状磁気記録媒体を
製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るテープ状磁気記録媒体の断面図で
ある。
【図2】テープ状磁気記録媒体とMRヘッドとの要部断
面図である。
【図3】磁気抵抗効果曲線を示す特性図であり、横軸は
外部磁界を示し、縦軸はMR素子の抵抗値を示す。
【図4】本発明に係るテープ状磁気記録媒体の製造方法
に用いられる蒸着装置の概略構成図である。
【符号の説明】
1 テープ状磁気記録媒体、2 非磁性支持体、3 磁
性層、10 磁気抵抗効果素子、11 磁気抵抗効果型
磁気ヘッド、20 蒸着装置、24 坩堝、25シャッ
タ、θ 入射角、θL 最低入射角
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年7月31日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項3
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項4
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0001
【補正方法】変更
【補正内容】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果素子
を用いたシールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドに用い
て好適なテープ状磁気記録媒体に関し、また、このテー
プ状磁気記録媒体を製造する製造方法に関する。さら
に、本発明は、シールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
によりテープ状磁気記録媒体を再生する信号再生方法に
関する。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
上述した目的を達成するために鋭意検討し、テープ状磁
気記録媒体がシールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドに
より再生される場合の最適な条件を検討した結果、テー
プ状磁気記録媒体の表面における単位面積当たりの残留
磁束密度を小とし、保磁力を大とすることによって、シ
ールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドに適したテープ状
磁気記録媒体となるといった知見を得るに至った。すな
わち、テープ状磁気記録媒体をシールド型の磁気抵抗効
果型磁気ヘッドで再生する場合には、磁気抵抗効果素子
を磁気的に飽和させないように、媒体の残留磁束密度と
膜厚との積を小としなくてはならないことが明らかにな
った。また、テープ状磁気記録媒体がシールド型の磁気
抵抗効果型磁気ヘッドで再生される場合、保磁力を大と
することにより、高密度記録の際に用いられる短記録波
長に対応した自己減磁界に対抗してシャープな磁化反転
を起こせることが明らかになった。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】そこで、本発明に係るテープ状磁気記録媒
体は、非磁性支持体上に磁性層が形成されてなり、残留
磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法をδとする
テープ状磁気記録媒体において、再生ヘッドであるシー
ルド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドに用いられる磁気抵
抗効果素子の飽和磁束密度Bs及び厚さ寸法tに対して
Brδ≦Bst/2なる関係を有し、且つ、保磁力Hc
がHc≧1500(Oe)であることを特徴とする。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】また、本発明に係るテープ状磁気記録媒体
の製造方法は、非磁性支持体上に磁性層が形成されてな
り、残留磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法を
δとし、飽和磁束密度をBsとし厚み寸法をtとする磁
気抵抗効果素子を用いたシールド型の磁気抵抗効果型磁
気ヘッドにより再生されるテープ状磁気記録媒体を製造
するに際して、最低入射角を55゜以上とする斜方蒸着
法により非磁性支持体上に金属磁性膜を成膜することに
より、Brδ≦Bst/2なる関係を有し、保磁力Hc
がHc≧1500(Oe)である磁性層を形成すること
を特徴とする。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】さらに、本発明に係るテープ状磁気記録媒
体を用いた信号再生方法は、飽和磁束密度をBsとし、
厚み寸法をtとする磁気抵抗効果素子を用いたシールド
型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、非磁性支持体上に磁
性層が形成されてなり、残留磁束密度をBrとし、上記
磁性層の厚み寸法をδとしたときにBrδ≦Bst/2
なる関係を満足し、且つ保磁力HcがHc≧1500
(Oe)であるテープ状磁気記録媒体とを用い、上記テ
ープ状磁気記録媒体を上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドに
て再生することを特徴とする。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】以上のように構成された本発明に係るテー
プ状磁気記録媒体は、Brδ≦Bst/2なる関係を有
することによって、シールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの磁気抵抗効果素子を飽和させることがない。これ
により、シールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、磁
気抵抗効果素子の抵抗変化率が線形である範囲で動作す
ることとなる。したがって、このテープ状磁気記録媒体
は、シールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより良好
に再生される。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0017
【補正方法】変更
【補正内容】
【0017】さらに、本発明に係るテープ状磁気記録媒
体を用いた信号再生方法によれば、Brδ≦Bst/2
なる関係のもとで、シールド型の磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドによりテープ状磁気記録媒体が再生される。これに
より、この手法では、シールド型の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドがテープ状磁気記録媒体に記録された磁気信号を
良好な再生信号とすることができる。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】この磁性層3は、その保磁力Hcが約15
00Oe以上とされ、残留磁束密度Brと磁性層3の膜
厚δとの積Brδが小とされてなる。すなわち、このテ
ープ状磁気記録媒体は、飽和磁束密度をBsとし膜厚を
tとする磁気抵抗効果素子を有するシールド型の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにより再生される際、Brδ≦Bs
t/2なる関係を有している。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0054
【補正方法】変更
【補正内容】
【0054】上述した磁性層3の形成工程においては、
成膜条件を様々に変更することによって、その磁気特性
を変化させることができる。具体的には、最低入射角θ
Lを様々な値にすることにより、残留磁束密度及び保磁
力を制御することができる。このようにして、磁性層3
の残留磁束密度及び保磁力を制御した結果を表1及び表
2に示す。なお、表1は磁性層3の膜厚が100nmの
場合であり、表2は磁性層3の膜厚が50nmの場合で
ある。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0060
【補正方法】変更
【補正内容】
【0060】そして、上述したサンプルをMRヘッドA
又はGMRヘッドBで再生し、それぞれのサンプルにつ
いてSN比を測定した。実施例1〜実施例3及び比較例
1〜比較例3に関しては、MRヘッドAで再生した。そ
の測定結果を表3に示す。また、実施例4、実施例5、
比較例4及び比較例5に関しては、GMRヘッドBで再
生した。その測定結果を表4に示す。なお、ここで、磁
気特性は、振動試料型磁力計により測定した。また、S
N比は、信号をピーク・ツー・ピーク電圧とし、ノイズ
をrms値とした。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0063
【補正方法】変更
【補正内容】
【0063】これら表3及び表4において、SN比が2
0dB以上の値であると、良好な電磁変換特性を有する
ものとすることができる。当評価システムにおいてSN
比が20dBという値は、エラーレートに換算すると5
×10-7に相当する。したがって、SN比20dB以上
という値は、通常のデータメディアにおけるエラーレー
トとして十分な値となっている。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0065
【補正方法】変更
【補正内容】
【0065】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るテープ状磁気記録媒体では、飽和磁束密度をBs
とし、膜厚をtとする磁気抵抗効果素子を有するシール
ド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより再生される際
に、Brδ≦Bst/2なる関係を有する。これによ
り、このテープ状磁気記録媒体は、良好なSN比でシー
ルド型の磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより再生される。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性支持体上に磁性層が形成されてな
    り、残留磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法を
    δとするテープ状磁気記録媒体において、 再生ヘッドである磁気抵抗効果型磁気ヘッドに用いられ
    る磁気抵抗効果素子の飽和磁束密度Bs及び厚さ寸法t
    に対してBrδ≦Bst/2なる関係を有し、 且つ、保磁力HcがHc≧1500(Oe)であること
    を特徴とするテープ状磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 上記磁性層は、金属磁性膜が斜方蒸着法
    により成膜されてなり、上記非磁性支持体の表面に対し
    て斜めに磁化容易軸を有することを特徴とする請求項1
    記載のテープ状磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 非磁性支持体上に磁性層が形成されてな
    り、残留磁束密度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法を
    δとし、飽和磁束密度をBsとし厚み寸法をtとする磁
    気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドによ
    り再生されるテープ状磁気記録媒体を製造するに際し
    て、 最低入射角を55゜以上とする斜方蒸着法により非磁性
    支持体上に金属磁性膜を成膜することにより、 Brδ≦Bst/2なる関係を有し、保磁力HcがHc
    ≧1500(Oe)である磁性層を形成することを特徴
    とするテープ状磁気記録媒体の製造方法。
  4. 【請求項4】 飽和磁束密度をBsとし、厚み寸法をt
    とする磁気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘ
    ッドと、 非磁性支持体上に磁性層が形成されてなり、残留磁束密
    度をBrとし、上記磁性層の厚み寸法をδとしたときに
    Brδ≦Bst/2なる関係を満足し、且つ保磁力Hc
    がHc≧1500(Oe)であるテープ状磁気記録媒体
    とを用い、 上記テープ状磁気記録媒体を上記磁気抵抗効果型磁気ヘ
    ッドにて再生することを特徴とする信号再生方法。
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