JPH101280A - Vacuum suction device - Google Patents
Vacuum suction deviceInfo
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- JPH101280A JPH101280A JP15430896A JP15430896A JPH101280A JP H101280 A JPH101280 A JP H101280A JP 15430896 A JP15430896 A JP 15430896A JP 15430896 A JP15430896 A JP 15430896A JP H101280 A JPH101280 A JP H101280A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばペアチップ
実装型モジュールや光学系ユニット組立治具に用いら
れ、真空吸着により部品をピックアップする真空吸着装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum suction device used for, for example, a pair chip mounting type module or an optical system unit assembly jig and for picking up parts by vacuum suction.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、光学系ユニット組立時には、
実体顕微鏡を覗きながらピンセットで部品を保持して組
み立てを行っていた。この光学系ユニット構成部品の中
でも、ファイバ端末はフェルール部分の径が１ｍｍ強、
長さ４ｍｍ程度、そこから５ｍｍ程度のカーボンコート
ファイバが延びている構造になっている。2. Description of the Related Art Conventionally, when assembling an optical system unit,
He was assembling while holding the parts with tweezers while looking into the stereo microscope. Among the optical system unit components, the fiber end has a ferrule portion diameter of just over 1 mm,
The structure is such that a carbon coated fiber of about 4 mm length and about 5 mm extends therefrom.
【０００３】このようにフェルール端末は非常に小さ
く、またフェルールの材質がガラス製のため、ピンセッ
トで掴もうとすると滑って落としてしまい、破損させて
しまうケースが多かった。As described above, the ferrule terminal is very small, and the ferrule is made of glass. Therefore, in many cases, the ferrule ends up slipping and being damaged when it is gripped with tweezers.
【０００４】尚、フェルール部分のような微小物体を吸
着する装置として、実開昭６１−１６５９８２号公報
（以下、先行技術と称する）に真空吸着装置が開示され
ている。As an apparatus for adsorbing a minute object such as a ferrule portion, a vacuum suction apparatus is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-65882 (hereinafter referred to as prior art).
【０００５】この真空吸着装置は、物体を吸着し、固定
保持あるいは保持搬送するもので、吸着系の一部に大き
さの可変可能な圧力検知用穴と、この圧力検知用穴を塞
ぐ薄板をアクチュエータの一部とするマイクロスイッチ
を設けたことを特徴とする。[0005] This vacuum suction device is for sucking an object, and holding or holding and transporting the object. The vacuum suction device includes a pressure detecting hole having a variable size in a part of the suction system, and a thin plate closing the pressure detecting hole. A micro switch as a part of the actuator is provided.
【０００６】すなわち、吸着口の吸着作用によって、被
吸着物の吸着による吸着系内の圧力の急激な低下によっ
て圧力検知用穴の吸着作用が増加することにより、マイ
クロスイッチのアクチュエータの一部を成す薄板を吸着
し、この作用によってマイクロスイッチを作動して吸着
を検知する。That is, the suction effect of the suction port increases due to the sudden decrease of the pressure in the suction system due to the suction of the object to be suctioned, thereby increasing the suction effect of the pressure detection hole, thereby forming a part of the actuator of the microswitch. The thin plate is sucked, and a micro switch is operated by this action to detect the suction.
【０００７】この構成によれば、被吸着物の重量によ
り、必要な吸着力が変化する場合においても、それに応
じて検出圧力の設定の極めて簡単に且つ安価に可変設定
できる装置が得られる。[0007] According to this configuration, even if the required suction force changes due to the weight of the object to be adsorbed, an apparatus can be obtained in which the setting of the detection pressure can be variably set very simply and inexpensively.
【０００８】しかしながら、上記先行技術の真空吸着装
置は、被吸着物の重量により必要な吸着力が変化する場
合においても、それに応じて検出圧力の設定を極めて簡
単に且つ安価に可変設定できる装置を得ようとしている
が、フェルール部分を吸着するための吸着ヘッド形状、
検出圧力等の具体的な内容についてはなんら開示されて
いない。However, the above-mentioned vacuum suction apparatus of the prior art has a device which can variably set the detection pressure in a very simple and inexpensive manner even when the required suction force changes due to the weight of the object to be suctioned. It is trying to obtain, but the shape of the suction head for sucking the ferrule part,
No specific content such as the detected pressure is disclosed.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように従来
の真空吸着装置では、ファイバ端末部分を容易にかつ確
実に吸着して保持搬送する具体的な手法がなかった。As described above, in the conventional vacuum suction apparatus, there is no specific method for easily and reliably sucking and holding and holding the fiber end portion.
【００１０】本発明の課題は、上記の問題を解決し、フ
ァイバ端末部分を容易にかつ確実に吸着して保持搬送す
ることのできる真空吸着装置を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a vacuum suction apparatus which can easily and surely suction and hold and transport a fiber end portion.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明は、以下のように構成した。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.
【００１２】（１）ファイバ端末の側面に沿った半円状
の溝を有し、溝内にエア通気孔が形成されてなる吸着ヘ
ッドと、この吸着ヘッドと結合される中空パイプと、こ
の中空パイプと結合されるハンドル用ブロックと、この
ハンドル用ブロックを通じて前記中空パイプと結合され
る真空エジェクタユニットとを具備し、前記吸着ヘッド
の溝に前記ファイバ端末を嵌めた状態で前記真空エジェ
クタユニットのエアを選択的に調整することで前記中空
パイプを通じて吸着ヘッド内を真空にするようにした。(1) A suction head having a semicircular groove along the side surface of the fiber end and having an air vent formed in the groove, a hollow pipe connected to the suction head, and the hollow pipe A handle block connected to the pipe; and a vacuum ejector unit connected to the hollow pipe through the handle block. The air of the vacuum ejector unit is fitted with the fiber end fitted in the groove of the suction head. Was selectively adjusted so that the inside of the suction head was evacuated through the hollow pipe.
【００１３】（２）前記吸着ヘッドは、前記溝にファイ
バ端末を嵌めた状態で心線が嵌まる心線ニゲを有するよ
うにした。(2) The suction head has a core wire fitting in which a core wire is fitted with a fiber end fitted in the groove.
【００１４】（３）前記エア通気孔は複数個形成するよ
うにした。(3) A plurality of the air vents are formed.
【００１５】すなわち、上記構成による真空吸着装置で
は、対象とするファイバ端末外形に沿った溝を持つ吸着
ヘッド構造を用意することにより、ファイバ端末を手軽
に吸着・搬送するようにしている。That is, in the vacuum suction apparatus having the above-described configuration, the suction and transport of the fiber end is facilitated by preparing a suction head structure having a groove along the outer shape of the target fiber end.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１７】図１は本発明の真空吸着装置を利用可能な
チップ実装型光モジュールの構造を示すものである。こ
の光モジュールの中核を形成する光学系ユニット１は、
セラミックパッケージ（以下、ＰＫＧ）１ａ上に、半導
体素子１ｅを実装したセラミックキャリア（以下、キャ
リア）１ｂと、ファイバ位置決め用のＶ溝が形成された
Ｓｉ（シリコン）基板１ｃが接合されており、さらにＳ
ｉ基板１ｃのＶ溝に沿ってファイバ端末（フェルール）
１ｄのファイバ部分１ｄを位置決めした状態で、ファイ
バ上方からファイバ押さえ板１ｆを接合することによっ
て、ファイバ端末１ｄをＶ溝部分に固定する仕組みにな
っている。FIG. 1 shows the structure of a chip-mounted optical module that can use the vacuum suction device of the present invention. The optical system unit 1, which forms the core of the optical module,
On a ceramic package (hereinafter, PKG) 1a, a ceramic carrier (hereinafter, carrier) 1b on which a semiconductor element 1e is mounted and an Si (silicon) substrate 1c in which a V-groove for positioning a fiber is formed are joined. S
Fiber end (ferrule) along V-groove of i-substrate 1c
In a state where the fiber portion 1d of 1d is positioned, the fiber end 1d is fixed to the V-groove portion by joining the fiber pressing plate 1f from above the fiber.
【００１８】本実施形態による真空吸着装置は、このフ
ァイバ端末１ｄを真空吸着にてピックアップできるよう
なハンドリングユニットを備え、これによって作業性の
大幅な改善、不良発生率の低減を図る。The vacuum suction device according to the present embodiment is provided with a handling unit capable of picking up the fiber terminal 1d by vacuum suction, thereby greatly improving workability and reducing the incidence of defects.
【００１９】図２はその全体構成、図３（ａ）はハンド
リングユニット部分の具体的な構造、図３（ｂ）は吸着
ユニット部分の側面を示すものである。本真空吸着装置
は、ファイバ端末１ｄを吸着するための吸着ヘッド２
と、この吸着ヘッド２とネジ締結されている中空パイプ
３と、この中空パイプ３とエア配管用継手７を接続する
ためのテーパネジ及び穴加工が施されているハンドル用
ブロック４と、エア配管用継手７と真空エジェクタユニ
ット５及び真空エジェクタユニット５と図示しないエア
源を接続するためのエアチューブ６から構成されてい
る。FIG. 2 shows the overall configuration, FIG. 3A shows the specific structure of the handling unit, and FIG. 3B shows the side of the suction unit. This vacuum suction device includes a suction head 2 for sucking the fiber end 1d.
A hollow pipe 3 screwed to the suction head 2; a handle block 4 provided with a tapered screw and a hole for connecting the hollow pipe 3 to the air pipe joint 7; It comprises a joint 7, a vacuum ejector unit 5, and an air tube 6 for connecting the vacuum ejector unit 5 and an air source (not shown).
【００２０】上記構成において、さらに具体的な構造と
その作用を説明する。In the above configuration, a more specific structure and its operation will be described.
【００２１】真空エジェクタユニット５はスイッチ操作
によりエア吸引の状態となる。この真空エジェクタユニ
ット５は電子部品等の小物の吸着・搬送向けの真空発生
ユニットであり、市販のものでよい。到達真空圧力は−
３００ｍｍＨｇ〜−６５０ｍｍＨｇ、吸着孔径１ｍｍの
場合、吸着リフト力は３ｇ〜１０ｇ程度である（吸着す
るファイバ端末は１ｇ以下）。The vacuum ejector unit 5 is brought into a state of sucking air by operating a switch. The vacuum ejector unit 5 is a vacuum generating unit for sucking and transporting small items such as electronic components, and may be a commercially available unit. Ultimate vacuum pressure is-
In the case of 300 mmHg to -650 mmHg and a suction hole diameter of 1 mm, the suction lift force is about 3 g to 10 g (the fiber end to be suctioned is 1 g or less).
【００２２】吸着ヘッド２はフェルール外形に沿って半
円加工された溝２１、芯線と吸着ヘッド２が接触するの
を防止するための芯線ニゲ２２及びエア通気孔２３、中
空パイプ３と接続するためのネジ加工部２４が施されて
いる。The suction head 2 is connected to a groove 21 formed in a semicircular shape along the outer shape of the ferrule, a core wire 22 for preventing the core wire from contacting the suction head 2, an air vent hole 23, and the hollow pipe 3. Threaded portion 24 is provided.
【００２３】エア通気孔２３は２箇所ある。これは吸着
面積を広くとるためである。１箇所に大きな穴を開けよ
うとすると、フェルールが円形なのでどうしても通気孔
との間に隙間ができ、空気が漏れてしまう。そこで小径
の穴を複数設けることにより、吸着リフト力を上げるこ
とにした（今回はφ０．４ｍｍの穴を２箇所設けた）。There are two air vents 23. This is to increase the adsorption area. If an attempt is made to make a large hole in one place, a gap is inevitably formed between the ferrule and the vent hole, and air will leak. Therefore, the suction lift force was increased by providing a plurality of small-diameter holes (in this case, two holes of φ0.4 mm were provided).
【００２４】そのエア通気孔２３と垂直に中空パイプ３
につなげるための穴及び締結用雌ネジによるネジ加工部
２４を設け、中空パイプ３に設けられている雄ネジ部と
締結する。The hollow pipe 3 is perpendicular to the air vent hole 23.
And a threaded portion 24 with a female screw for fastening is provided, and fastened to a male thread provided on the hollow pipe 3.
【００２５】パイプの内径はなるべく小さくした方がよ
い（今回はφ２．５とした）。パイプの内径の小径化も
含めて排気系全体の容量を少なくすることにより真空到
達時間が早くなり、応答性が良化することになる。The inside diameter of the pipe should be as small as possible (φ2.5 in this case). Reducing the volume of the entire exhaust system, including the reduction of the inner diameter of the pipe, shortens the time to reach the vacuum and improves the responsiveness.
【００２６】この時点ではエアが２箇所の通気孔２３か
ら吸着ヘッド２の内部、中空パイプ３内、エアチューブ
６、真空エジェクトユニット５の順に排気系を通ってい
る。この状態で吸着ヘッド２を吸着対象に近づけてい
く。At this point, air passes through the exhaust system from the two vent holes 23 to the inside of the suction head 2, the inside of the hollow pipe 3, the air tube 6, and the vacuum eject unit 5 in this order. In this state, the suction head 2 is moved closer to the suction target.
【００２７】作業者がハンドル４を持って吸着ヘッド２
をファイバ端末１ｄに近づけると、フェルール部が吸着
ヘッド２に設けられている２つの吸着孔に向かって吸い
寄せられ、半円加工された溝２１に嵌まって吸着され
る。ここで２つの吸着孔２３はフェルールによって塞が
れた形になり、吸着ヘッド２、中空パイプ３内にあるエ
アは、真空エジェクタユニット５の排気部へ導かれて大
気中に放出され、吸着ヘッド２から中空パイプ３までの
内部は真空状態になる。An operator holds the handle 4 and holds the suction head 2
Is brought closer to the fiber end 1 d, the ferrule portion is sucked toward the two suction holes provided in the suction head 2, fitted into the semicircular groove 21 and sucked. Here, the two suction holes 23 have a shape closed by ferrules, and the air in the suction head 2 and the hollow pipe 3 is guided to the exhaust part of the vacuum ejector unit 5 and discharged into the atmosphere. The interior from 2 to the hollow pipe 3 is in a vacuum state.
【００２８】ファイバ端末１ｄを所定の箇所（ＰＫＧ）
へ置いて真空エジェクタユニット５のスイッチを切る
と、エア排気がストップし、排気孔から中空パイプ３、
吸着ヘッド２内部へ大気が流入して真空状態解除になっ
て吸着力が減少し、その後にファイバ端末１ｄが吸着ヘ
ッド２の溝２１から離される。A fiber terminal 1d is placed at a predetermined location (PKG)
When the switch of the vacuum ejector unit 5 is turned off, the air exhaust stops, and the hollow pipe 3,
Atmosphere flows into the suction head 2 and the vacuum state is released to reduce the suction force, and thereafter, the fiber end 1 d is separated from the groove 21 of the suction head 2.
【００２９】したがって、上記構成による真空吸着装置
を用いれば、対象とするファイバ端末外形に沿った凹部
を持つ吸着ヘッド構造を用意しているので、ファイバ端
末のフェルール部分を容易にかつ確実に吸着して保持搬
送することができる。Therefore, if the vacuum suction device having the above structure is used, a suction head structure having a concave portion along the outer shape of the target fiber end is prepared, so that the ferrule portion of the fiber end can be easily and reliably sucked. Can be held and transported.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ファイバ
端末部分を容易にかつ確実に吸着して保持搬送すること
のできる真空吸着装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a vacuum suction apparatus which can easily and surely suction and hold and transport a fiber end portion.
【図１】本発明の真空吸着装置を利用可能なチップ実装
型光モジュールの構造を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a chip-mounted optical module that can use the vacuum suction device of the present invention.
【図２】本発明に係る実施形態とする真空吸着装置を示
す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a vacuum suction device according to an embodiment of the present invention.
【図３】同実施形態のハンドリングユニットの具体的な
構造を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a specific structure of the handling unit of the embodiment.
１ 光学系ユニット １ａ セラミックパッケージ １ｂ セラミックキャリア １ｃ Ｓｉ基板 １ｄ ファイバ端末（フェルール） １ｅ 半導体素子 １ｆ ファイバ押さえ板 ２ 吸着ヘッド ２１ 溝 ２２ 心線ニゲ ２３ エア通気孔 ２４ ネジ加工部 ３ 中空パイプ ４ ハンドル用ブロック ５ 真空エジェクタユニット ６ エアチューブ ７ エア配管用継手 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical system unit 1a Ceramic package 1b Ceramic carrier 1c Si substrate 1d Fiber end (ferrule) 1e Semiconductor element 1f Fiber pressing plate 2 Suction head 21 Groove 22 Core wire 23 Air vent hole 24 Threaded portion 3 Hollow pipe 4 Handle block 5 Vacuum ejector unit 6 Air tube 7 Air piping joint
Claims (3)
有し、溝内にエア通気孔が形成されてなる吸着ヘッド
と、 この吸着ヘッドと結合される中空パイプと、 この中空パイプと結合されるハンドル用ブロックと、 このハンドル用ブロックを通じて前記中空パイプと結合
される真空エジェクタユニットとを具備し、 前記吸着ヘッドの溝に前記ファイバ端末を嵌めた状態で
前記真空エジェクタユニットのエアを選択的に調整する
ことで前記中空パイプを通じて吸着ヘッド内を真空にす
るようにしたことを特徴とする真空吸着装置。1. A suction head having a semicircular groove along a side surface of a fiber end and having an air vent formed in the groove, a hollow pipe connected to the suction head, and a hollow pipe And a vacuum ejector unit coupled to the hollow pipe through the handle block. When the fiber end is fitted in the groove of the suction head, the air of the vacuum ejector unit is released. A vacuum suction device wherein the inside of the suction head is evacuated through the hollow pipe by selectively adjusting.
を嵌めた状態で心線が嵌まる心線ニゲを有することを特
徴とする請求項１記載の真空吸着装置。2. The vacuum suction device according to claim 1, wherein the suction head has a core wire fitting into which a core is fitted with a fiber end fitted in the groove.
たことを特徴とする請求項１記載の真空吸着装置。3. The vacuum suction device according to claim 1, wherein a plurality of said air vents are formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15430896A JPH101280A (en) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | Vacuum suction device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15430896A JPH101280A (en) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | Vacuum suction device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH101280A true JPH101280A (en) | 1998-01-06 |
Family
ID=15581285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15430896A Pending JPH101280A (en) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | Vacuum suction device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH101280A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106926351A (en) * | 2017-03-30 | 2017-07-07 | 佛山市卓益机电有限公司 | A kind of vacuum suction blank material structure and the feed mechanism comprising the vacuum suction blank material structure |
| CN107791065A (en) * | 2017-11-29 | 2018-03-13 | 中国航空工业标准件制造有限责任公司 | bolt auxiliary clamping mould |
| KR20210134298A (en) | 2019-03-04 | 2021-11-09 | 에스피피 테크놀로지스 컴퍼니 리미티드 | A manufacturing process determination apparatus of a substrate processing apparatus, a substrate processing system, the manufacturing process determination method of a substrate processing apparatus, a learning model group, the generation|generation method of a learning model group, and a program |
-
1996
- 1996-06-14 JP JP15430896A patent/JPH101280A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106926351A (en) * | 2017-03-30 | 2017-07-07 | 佛山市卓益机电有限公司 | A kind of vacuum suction blank material structure and the feed mechanism comprising the vacuum suction blank material structure |
| CN106926351B (en) * | 2017-03-30 | 2019-02-26 | 佛山市卓益机电有限公司 | A kind of vacuum suction blank material structure and the feeding mechanism comprising the vacuum suction blank material structure |
| CN107791065A (en) * | 2017-11-29 | 2018-03-13 | 中国航空工业标准件制造有限责任公司 | bolt auxiliary clamping mould |
| CN107791065B (en) * | 2017-11-29 | 2023-12-22 | 中国航空工业标准件制造有限责任公司 | Bolt auxiliary clamping die |
| KR20210134298A (en) | 2019-03-04 | 2021-11-09 | 에스피피 테크놀로지스 컴퍼니 리미티드 | A manufacturing process determination apparatus of a substrate processing apparatus, a substrate processing system, the manufacturing process determination method of a substrate processing apparatus, a learning model group, the generation|generation method of a learning model group, and a program |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020910 |