JPH10125267A - エネルギーフィルタ - Google Patents
エネルギーフィルタInfo
- Publication number
- JPH10125267A JPH10125267A JP8273422A JP27342296A JPH10125267A JP H10125267 A JPH10125267 A JP H10125267A JP 8273422 A JP8273422 A JP 8273422A JP 27342296 A JP27342296 A JP 27342296A JP H10125267 A JPH10125267 A JP H10125267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- pole pieces
- electron beam
- fixed
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】レンズを構成するポールピースの取付精度を簡
単に確認することができると共に、個々のレンズの位置
調整を容易に行う。 【解決手段】基盤１２と、該基盤に固定されるレンズ１
３とを有するエネルギーフィルタであって、前記レンズ
は、磁極となる２つのポールピース１４、１５の間に通
路１６が形成されるように、２つのスペーサ１７、１８
が挟着され取付ネジ１９で固定されたことを特徴とす
る。
単に確認することができると共に、個々のレンズの位置
調整を容易に行う。 【解決手段】基盤１２と、該基盤に固定されるレンズ１
３とを有するエネルギーフィルタであって、前記レンズ
は、磁極となる２つのポールピース１４、１５の間に通
路１６が形成されるように、２つのスペーサ１７、１８
が挟着され取付ネジ１９で固定されたことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過型電子顕微鏡
に組み込まれ、電子線等のエネルギーを分析するための
エネルギーフィルタの技術分野に属する。
に組み込まれ、電子線等のエネルギーを分析するための
エネルギーフィルタの技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、エネルギーフィルタの一種であ
るオメガフィルタの従来の構造を示し、図３（Ａ）は、
図３（Ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図３（Ｂ）は、図
３（Ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。オメガフィル
タ１は、中ヨーク２を挟着する二枚の外ヨーク３、４を
有し、中ヨーク２には電子ビーム５ａ、５ｂが通過する
略Ω字状の通路６が開口されている。中ヨーク２は、ボ
ルト７により二枚の外ヨーク３、４が取り付けられる
が、二枚の外ヨーク３、４には、略Ω字状の通路３の４
箇所の偏向位置に対向してそれぞれポールピース８がボ
ルト９により固定され、各ポールピース８の外周には電
磁場発生用のコイル１０が巻回され、オメガフィルタ１
のレンズが構成されている。入射した電子ビーム５ａ
は、４つのレンズの作用により偏向され略Ω字状の通路
６に沿って進行し、入射した電子ビーム５ａと同一直線
上で電子ビーム５ｂとして出射される。
るオメガフィルタの従来の構造を示し、図３（Ａ）は、
図３（Ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図３（Ｂ）は、図
３（Ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。オメガフィル
タ１は、中ヨーク２を挟着する二枚の外ヨーク３、４を
有し、中ヨーク２には電子ビーム５ａ、５ｂが通過する
略Ω字状の通路６が開口されている。中ヨーク２は、ボ
ルト７により二枚の外ヨーク３、４が取り付けられる
が、二枚の外ヨーク３、４には、略Ω字状の通路３の４
箇所の偏向位置に対向してそれぞれポールピース８がボ
ルト９により固定され、各ポールピース８の外周には電
磁場発生用のコイル１０が巻回され、オメガフィルタ１
のレンズが構成されている。入射した電子ビーム５ａ
は、４つのレンズの作用により偏向され略Ω字状の通路
６に沿って進行し、入射した電子ビーム５ａと同一直線
上で電子ビーム５ｂとして出射される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、オメガフィ
ルタの性能上重要なことは、図３（Ａ）に示す対向する
ポールピース８間のギャップ長Ｌを所定の寸法精度に保
ち、また、図３（Ｂ）に示す各ポールピース８の入射面
８ａの角度を所定の寸法精度に保ち、さらに入射面８ａ
にズレが生じないようにすることである。しかしなが
ら、上記従来のオメガフィルタ１においては、ポールピ
ース８が二枚の外ヨーク３、４にコイル１０と共に１個
づつ固定され、さらに外ヨーク３、４が中ヨーク２に固
定される三層構造となっているため、組立完成後の寸法
精度のチェックが不可能であり、また、個々のレンズの
位置調整も不可能であるという問題を有している。
ルタの性能上重要なことは、図３（Ａ）に示す対向する
ポールピース８間のギャップ長Ｌを所定の寸法精度に保
ち、また、図３（Ｂ）に示す各ポールピース８の入射面
８ａの角度を所定の寸法精度に保ち、さらに入射面８ａ
にズレが生じないようにすることである。しかしなが
ら、上記従来のオメガフィルタ１においては、ポールピ
ース８が二枚の外ヨーク３、４にコイル１０と共に１個
づつ固定され、さらに外ヨーク３、４が中ヨーク２に固
定される三層構造となっているため、組立完成後の寸法
精度のチェックが不可能であり、また、個々のレンズの
位置調整も不可能であるという問題を有している。
【０００４】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であって、レンズを構成するポールピースの取付精度を
簡単に確認することができると共に、個々のレンズの位
置調整を容易に行うことができるエネルギーフィルタを
提供することを目的とする。
であって、レンズを構成するポールピースの取付精度を
簡単に確認することができると共に、個々のレンズの位
置調整を容易に行うことができるエネルギーフィルタを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のエネルギーフィルタは、基盤と、該基盤に
固定されるレンズとを有するエネルギーフィルタであっ
て、前記レンズは、磁極となる２つのポールピースの間
に通路が形成されるように、２つのスペーサが挟着され
取付ネジで固定されたことを特徴とする。
に、本発明のエネルギーフィルタは、基盤と、該基盤に
固定されるレンズとを有するエネルギーフィルタであっ
て、前記レンズは、磁極となる２つのポールピースの間
に通路が形成されるように、２つのスペーサが挟着され
取付ネジで固定されたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の態様】以下、本発明の実施の態様を図面
を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明のエネ
ルギーフィルタの１実施形態を示し、図１はオメガフィ
ルタの平面図、図２（Ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿って矢
印方向に見た断面図、図２（Ｂ）は図１の矢印Ｂ方向か
ら見た側面図、図２（Ｃ）は図１の矢印Ｃ方向から見た
側面図である。
を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明のエネ
ルギーフィルタの１実施形態を示し、図１はオメガフィ
ルタの平面図、図２（Ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿って矢
印方向に見た断面図、図２（Ｂ）は図１の矢印Ｂ方向か
ら見た側面図、図２（Ｃ）は図１の矢印Ｃ方向から見た
側面図である。
【０００７】図１において、オメガフィルタ１１は、基
盤１２と、基盤１２上に固定される４個のレンズ１３か
らなり、入射した電子ビーム５ａは、４つのレンズの作
用により偏向され略Ω字状の通路１６に沿って進行し、
入射した電子ビーム５ａと同一直線上で電子ビーム５ｂ
として出射される。
盤１２と、基盤１２上に固定される４個のレンズ１３か
らなり、入射した電子ビーム５ａは、４つのレンズの作
用により偏向され略Ω字状の通路１６に沿って進行し、
入射した電子ビーム５ａと同一直線上で電子ビーム５ｂ
として出射される。
【０００８】各レンズ１３は、磁極となる円弧状の２つ
のポールピース１４、１５の間に通路１６が形成される
ように、２つのスペーサ１７、１８が挟着され取付ネジ
１９で固定された構造となっており、これにより２つの
ポールピース１４、１５のギャップ長Ｌの寸法精度を確
保している。各ポールピース１４、１５のスペーサ１
７、１８側には、入射する電子ビーム５ａを偏向させる
ための磁場を発生させるコイル２０が設けられている。
のポールピース１４、１５の間に通路１６が形成される
ように、２つのスペーサ１７、１８が挟着され取付ネジ
１９で固定された構造となっており、これにより２つの
ポールピース１４、１５のギャップ長Ｌの寸法精度を確
保している。各ポールピース１４、１５のスペーサ１
７、１８側には、入射する電子ビーム５ａを偏向させる
ための磁場を発生させるコイル２０が設けられている。
【０００９】ポールピース１４、１５の側面には、磁路
となるためのヨーク２１が取付ネジ２２で固定され、ま
た、レンズ１３の電子ビームの出入口には、それぞれ不
必要な漏れ磁場を防止するための漏れ磁場防止部材２３
がスペーサ２４を介して取付ネジ２５で固定されてい
る。なお、２６は電子ビーム５ａの入射口、２７、２８
は電子ビームを偏向させないで直進させるための開口で
あり、３０はコイルの形状を示している。
となるためのヨーク２１が取付ネジ２２で固定され、ま
た、レンズ１３の電子ビームの出入口には、それぞれ不
必要な漏れ磁場を防止するための漏れ磁場防止部材２３
がスペーサ２４を介して取付ネジ２５で固定されてい
る。なお、２６は電子ビーム５ａの入射口、２７、２８
は電子ビームを偏向させないで直進させるための開口で
あり、３０はコイルの形状を示している。
【００１０】以上のように個々に精度よく組み立てられ
たレンズ１３は、精度が保たれている基盤１２上に取付
ネジ２９で治具等により位置出ししながら固定される。
最終チェックとして、基盤１２に取り付けられた各ポー
ルピース１４、１５のギャップ長、取付角度等が設計値
通りになっているかを検査し、設計値通りになっていな
ければ、取付ネジ２９、１９を取り外してレンズ１３の
寸法精度及び位置を簡単に修正することができる。
たレンズ１３は、精度が保たれている基盤１２上に取付
ネジ２９で治具等により位置出ししながら固定される。
最終チェックとして、基盤１２に取り付けられた各ポー
ルピース１４、１５のギャップ長、取付角度等が設計値
通りになっているかを検査し、設計値通りになっていな
ければ、取付ネジ２９、１９を取り外してレンズ１３の
寸法精度及び位置を簡単に修正することができる。
【００１１】本発明によれば、基盤１２にレンズ１３が
固定されているため、ポールピース１４、１５の寸法精
度を簡単に確認できると共に、各レンズ１３が独立して
基盤１２に固定されているため、個々のレンズの位置調
整が容易で、かつ、個々のレンズの交換が可能となる。
固定されているため、ポールピース１４、１５の寸法精
度を簡単に確認できると共に、各レンズ１３が独立して
基盤１２に固定されているため、個々のレンズの位置調
整が容易で、かつ、個々のレンズの交換が可能となる。
【００１２】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の属する技術分野における通常の
知識を有する者にとって種々の変更が可能である。例え
ば、上記の例では、４個のレンズを用いるオメガフィル
タの例について説明しているが、レンズの数は限定され
るものではなく、ウィーン型、ガンマー型、アルファ型
等、要するにポールピースの取付精度が要求される全て
のエネルギーフィルタに適用されるものである。
ものではなく、本発明の属する技術分野における通常の
知識を有する者にとって種々の変更が可能である。例え
ば、上記の例では、４個のレンズを用いるオメガフィル
タの例について説明しているが、レンズの数は限定され
るものではなく、ウィーン型、ガンマー型、アルファ型
等、要するにポールピースの取付精度が要求される全て
のエネルギーフィルタに適用されるものである。
【００１３】以上の説明から明らかなように本発明によ
れば、レンズを構成するポールピースの取付精度を簡単
に確認することができると共に、個々のレンズの位置調
整を容易に行うことができる。
れば、レンズを構成するポールピースの取付精度を簡単
に確認することができると共に、個々のレンズの位置調
整を容易に行うことができる。
【図１】本発明のエネルギーフィルタの１実施形態を示
し、図１はオメガフィルタの平面図である。
し、図１はオメガフィルタの平面図である。
【図２】図２（Ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿って矢印方向
に見た断面図、図２（Ｂ）は図１の矢印Ｂ方向から見た
側面図、図２（Ｃ）は図１の矢印Ｃ方向から見た側面図
である。
に見た断面図、図２（Ｂ）は図１の矢印Ｂ方向から見た
側面図、図２（Ｃ）は図１の矢印Ｃ方向から見た側面図
である。
【図３】エネルギーフィルタの一種であるオメガフィル
タの従来の構造を示し、図３（Ａ）は、図３（Ｂ）のＢ
−Ｂ線に沿う断面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＡ−
Ａ線に沿う断面図である。
タの従来の構造を示し、図３（Ａ）は、図３（Ｂ）のＢ
−Ｂ線に沿う断面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＡ−
Ａ線に沿う断面図である。
１１…オメガフィルタ、１２…基盤、１３…レンズ １４、１５…ポールピース、１６…通路、１７、１８…
スペーサ １９、２９…取付ネジ、２０…コイル
スペーサ １９、２９…取付ネジ、２０…コイル
Claims (2)
- 【請求項１】基盤と、該基盤に固定されるレンズとを有
するエネルギーフィルタであって、前記レンズは、磁極
となる２つのポールピースの間に通路が形成されるよう
に、２つのスペーサが挟着され取付ネジで固定されたこ
とを特徴とするエネルギーフィルタ。 - 【請求項２】４個の上記レンズが、略Ω字状の通路を有
するように基盤上に固定されたオメガフィルタであるこ
とを特徴とする請求項１記載のエネルギーフィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273422A JPH10125267A (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | エネルギーフィルタ |
| US08/951,247 US6015973A (en) | 1996-10-16 | 1997-10-16 | Energy Filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273422A JPH10125267A (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | エネルギーフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10125267A true JPH10125267A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17527686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8273422A Pending JPH10125267A (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | エネルギーフィルタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6015973A (ja) |
| JP (1) | JPH10125267A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003297271A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi High-Technologies Corp | モノクロメータ付走査形電子顕微鏡 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE60039142D1 (de) * | 1999-03-18 | 2008-07-24 | Jeol Ltd | Energiefilter |
| DE10020382A1 (de) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Ceos Gmbh | Strahlerzeugungssystem für Elektronen oder Ionenstrahlen hoher Monochromasie oder hoher Stromdichte |
| JP3867048B2 (ja) * | 2003-01-08 | 2007-01-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | モノクロメータ及びそれを用いた走査電子顕微鏡 |
| DE102008062888B4 (de) * | 2008-12-23 | 2010-12-16 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Teilchenoptische Vorrichtung mit Magnetanordnung |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6018513U (ja) * | 1983-07-16 | 1985-02-07 | 株式会社トーキン | 電磁石装置 |
| JPH03169251A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-07-22 | Moving Magnet Technol Sa | 単相電磁角度アクチュエータ |
| JPH04294044A (ja) * | 1990-12-22 | 1992-10-19 | Carl Zeiss:Fa | 電子エネルギフィルタ |
| JPH062629U (ja) * | 1992-06-08 | 1994-01-14 | 住友特殊金属株式会社 | 多極着磁器 |
| JPH0836990A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Hitachi Ltd | エネルギフィルタおよびこれを備えた透過電子顕微鏡 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3532699A1 (de) * | 1985-09-13 | 1987-03-26 | Zeiss Carl Fa | Elektronenenergiefilter vom omega-typ |
| EP0470299B1 (en) * | 1990-08-08 | 1996-06-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Energy filter for charged particle beam apparatus |
| DE4310559A1 (de) * | 1993-03-26 | 1994-09-29 | Zeiss Carl Fa | Abbildendes Elektronenenergiefilter |
-
1996
- 1996-10-16 JP JP8273422A patent/JPH10125267A/ja active Pending
-
1997
- 1997-10-16 US US08/951,247 patent/US6015973A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6018513U (ja) * | 1983-07-16 | 1985-02-07 | 株式会社トーキン | 電磁石装置 |
| JPH03169251A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-07-22 | Moving Magnet Technol Sa | 単相電磁角度アクチュエータ |
| JPH04294044A (ja) * | 1990-12-22 | 1992-10-19 | Carl Zeiss:Fa | 電子エネルギフィルタ |
| JPH062629U (ja) * | 1992-06-08 | 1994-01-14 | 住友特殊金属株式会社 | 多極着磁器 |
| JPH0836990A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Hitachi Ltd | エネルギフィルタおよびこれを備えた透過電子顕微鏡 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003297271A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi High-Technologies Corp | モノクロメータ付走査形電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6015973A (en) | 2000-01-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3219814B2 (ja) | 電子エネルギフィルタ | |
| US10332718B1 (en) | Compact deflecting magnet | |
| JPH10125267A (ja) | エネルギーフィルタ | |
| US4362964A (en) | Color picture tube with a magnetic focusing device | |
| WO2013155813A1 (zh) | 一种宽带离子束传输方法及离子注入机 | |
| JP3397347B2 (ja) | オメガフィルタ | |
| US4345183A (en) | Color picture tube with magnetic focusing system | |
| US3388359A (en) | Particle beam focussing magnet with a septum wall | |
| JPH04322099A (ja) | 荷電粒子装置 | |
| JP7191259B1 (ja) | 荷電粒子ビーム偏向装置 | |
| WO2023181434A1 (ja) | 荷電粒子ビーム偏向装置 | |
| US6483110B1 (en) | Electron beam energy filter | |
| US20220148844A1 (en) | Composite solenoid magnetic lens | |
| JP2949654B2 (ja) | 電子蓄積リング | |
| JP2002025485A (ja) | エネルギーフィルタ | |
| JPS585952A (ja) | 荷電粒子集束偏向装置 | |
| JP2700687B2 (ja) | ウィグラー装置 | |
| JPS6310861B2 (ja) | ||
| JPS6118612Y2 (ja) | ||
| JPS6032308B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| JP2000252100A (ja) | 偏向電磁石及びその製造方法 | |
| JP2000269000A (ja) | セプタム電磁石 | |
| JP2023148502A (ja) | 荷電粒子ビーム偏向装置 | |
| JPH02148542A (ja) | 陰極線管装置と、そこに用いる中間固定部材及び偏向ヨークと、前記陰極線管装置から成る投写形テレビジョン装置 | |
| JPS61151954A (ja) | 陰極線管用磁界型レンズ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030507 |