JPH10119031A - ワイヤソーのワイヤ走行制御装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ走行制御装置Info
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- JPH10119031A JPH10119031A JP27963696A JP27963696A JPH10119031A JP H10119031 A JPH10119031 A JP H10119031A JP 27963696 A JP27963696 A JP 27963696A JP 27963696 A JP27963696 A JP 27963696A JP H10119031 A JPH10119031 A JP H10119031A
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- wire reel
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】応答性の高いワイヤ走行制御を行うことができ
るワイヤソーのワイヤ走行制御装置の提供。 【解決手段】走行するワイヤ１４に所定の張力を付与す
るダンサローラ２４Ａ、２４Ｂにロードセル４２Ａ、４
２Ｂを設け、該ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂにかかる荷
重を検出する。そして、その検出値に応じて両ワイヤリ
ール１２Ａ、１２Ｂから繰り出すワイヤ１４の繰出量又
は巻取量を調整する。これにより、例えば、ワイヤ１４
が瞬時的に撓んだような場合であっても、瞬時にワイヤ
１４の走行を安定させることができる。
るワイヤソーのワイヤ走行制御装置の提供。 【解決手段】走行するワイヤ１４に所定の張力を付与す
るダンサローラ２４Ａ、２４Ｂにロードセル４２Ａ、４
２Ｂを設け、該ダンサローラ２４Ａ、２４Ｂにかかる荷
重を検出する。そして、その検出値に応じて両ワイヤリ
ール１２Ａ、１２Ｂから繰り出すワイヤ１４の繰出量又
は巻取量を調整する。これにより、例えば、ワイヤ１４
が瞬時的に撓んだような場合であっても、瞬時にワイヤ
１４の走行を安定させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
走行制御装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ走行制
御装置に関する。
走行制御装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ走行制
御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のワイヤソーにおいて、一
対のワイヤリール間を走行するワイヤの走行制御は、一
定荷重が付与されたダンサローラの変位を検出し、その
変位がゼロになるように両ワイヤリールの繰出量と巻取
量を調整することにより行っている。
対のワイヤリール間を走行するワイヤの走行制御は、一
定荷重が付与されたダンサローラの変位を検出し、その
変位がゼロになるように両ワイヤリールの繰出量と巻取
量を調整することにより行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の走行制御方法では、ワイヤが撓んでから実際に
ダンサローラが動きだすまでには時間がかかるため、応
答性が悪いという欠点がある。また、通常、ダンサロー
ラは、リニアガイド等でスライド自在に支持されている
が、そのガイド部が汚れたり、磨耗したりすると、動作
抵抗が増し、安定した走行制御ができないという欠点が
ある。
た従来の走行制御方法では、ワイヤが撓んでから実際に
ダンサローラが動きだすまでには時間がかかるため、応
答性が悪いという欠点がある。また、通常、ダンサロー
ラは、リニアガイド等でスライド自在に支持されている
が、そのガイド部が汚れたり、磨耗したりすると、動作
抵抗が増し、安定した走行制御ができないという欠点が
ある。
【０００４】一方、このような問題を解決する手段とし
て、特開平７−２７６２１７号公報に両ワイヤリールを
差動装置に連結して、ワイヤの走行を制御する方法も開
示されているが、構造が複雑となるという欠点がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、応
答性の高いワイヤ走行制御を行うことができるワイヤソ
ーのワイヤ走行制御装置を提供することを目的とする。
て、特開平７−２７６２１７号公報に両ワイヤリールを
差動装置に連結して、ワイヤの走行を制御する方法も開
示されているが、構造が複雑となるという欠点がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、応
答性の高いワイヤ走行制御を行うことができるワイヤソ
ーのワイヤ走行制御装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤリー
ルとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きか
けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該被
加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に
設置され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラと
の間を走行するワイヤに所定の張力を与えるダンサロー
ラと、前記ダンサローラに設けられ、該ダンサローラに
かかる荷重を検出する荷重検出器と、前記荷重検出器の
検出値に応じて前記ワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を可変するように前記ワイヤリールを制御する制御
装置と、からなることを特徴とする。
るために、繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤリー
ルとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きか
けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該被
加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に
設置され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラと
の間を走行するワイヤに所定の張力を与えるダンサロー
ラと、前記ダンサローラに設けられ、該ダンサローラに
かかる荷重を検出する荷重検出器と、前記荷重検出器の
検出値に応じて前記ワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を可変するように前記ワイヤリールを制御する制御
装置と、からなることを特徴とする。
【０００６】本発明は、ダンサローラにかかる荷重を検
出し、その検出結果に応じて両ワイヤリールのワイヤ繰
出量又は巻取量を調整する。具体的には、ダンサローラ
にかかる荷重が増加した場合は、繰出側のワイヤリール
では繰出量を増加し、巻取側のワイヤリールでは巻取量
を減少させる。逆に、ダンサローラにかかる荷重が減少
した場合は、繰出側のワイヤリールでは繰出量を減少さ
せ、巻取側のワイヤリールでは巻取量を増加させる。こ
れにより、例えば、ワイヤが瞬時的に撓んだような場合
であっても、瞬時にワイヤの走行を安定させることがで
きる。
出し、その検出結果に応じて両ワイヤリールのワイヤ繰
出量又は巻取量を調整する。具体的には、ダンサローラ
にかかる荷重が増加した場合は、繰出側のワイヤリール
では繰出量を増加し、巻取側のワイヤリールでは巻取量
を減少させる。逆に、ダンサローラにかかる荷重が減少
した場合は、繰出側のワイヤリールでは繰出量を減少さ
せ、巻取側のワイヤリールでは巻取量を増加させる。こ
れにより、例えば、ワイヤが瞬時的に撓んだような場合
であっても、瞬時にワイヤの走行を安定させることがで
きる。
【０００７】また、本発明は前記目的を達成するため
に、繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤリールとの
間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワ
イヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給
しながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物
を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記
ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置さ
れ、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間を
走行するワイヤをガイドするガイドローラと、前記ガイ
ドローラに設けられ、該ガイドローラにかかる荷重を検
出する荷重検出器と、前記荷重検出器の検出値に応じて
前記ワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取量を可変する
ように前記ワイヤリールを制御する制御装置と、からな
ることを特徴とする。
に、繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤリールとの
間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワ
イヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給
しながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物
を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記
ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置さ
れ、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間を
走行するワイヤをガイドするガイドローラと、前記ガイ
ドローラに設けられ、該ガイドローラにかかる荷重を検
出する荷重検出器と、前記荷重検出器の検出値に応じて
前記ワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取量を可変する
ように前記ワイヤリールを制御する制御装置と、からな
ることを特徴とする。
【０００８】本発明は、ワイヤをガイドするガイドロー
ラにかかる荷重を検出し、その検出値に応じて両ワイヤ
リールのワイヤ繰出量又は巻取量を調整する。
ラにかかる荷重を検出し、その検出値に応じて両ワイヤ
リールのワイヤ繰出量又は巻取量を調整する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ走行制御装置の好ましい実施の形
態について詳説する。まず、ワイヤソー１０の全体構成
について説明する。図１に示すように、一方のワイヤリ
ール１２Ａ（以下、第１のワイヤリール１２Ａとい
う。）から繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられる。この
３本の溝付ローラ１８、１８、１８の外周部には、それ
ぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、前記ワイ
ヤ１４は、この溝付ローラ１８の溝に順次巻き掛けられ
て水平なワイヤ列２０を形成する。そして、ワイヤ列２
０を形成したワイヤ１４は、前記３本の溝付ローラ１
８、１８、１８を挟んで左右対称に形成された他方側の
ワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール１２Ｂ（以
下、第２のワイヤリール１２Ｂという。）に巻き取られ
る。
るワイヤソーのワイヤ走行制御装置の好ましい実施の形
態について詳説する。まず、ワイヤソー１０の全体構成
について説明する。図１に示すように、一方のワイヤリ
ール１２Ａ（以下、第１のワイヤリール１２Ａとい
う。）から繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられる。この
３本の溝付ローラ１８、１８、１８の外周部には、それ
ぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、前記ワイ
ヤ１４は、この溝付ローラ１８の溝に順次巻き掛けられ
て水平なワイヤ列２０を形成する。そして、ワイヤ列２
０を形成したワイヤ１４は、前記３本の溝付ローラ１
８、１８、１８を挟んで左右対称に形成された他方側の
ワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール１２Ｂ（以
下、第２のワイヤリール１２Ｂという。）に巻き取られ
る。
【００１０】ここで、前記第１、第２のワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連
結されており（以下、第１のワイヤリール１２Ａに連結
されたモータ２２Ａを第１のモータ２２Ａといい、第２
のワイヤリール１２Ｂに連結されたモータ２２Ｂを第２
のモータ２２Ｂという。）、この第１、第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂを同期させて駆動することにより、前記ワ
イヤ１４は前記第１、第２のワイヤリール１２Ａ、１２
Ｂ間を高速で往復走行する。
２Ａ、１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連
結されており（以下、第１のワイヤリール１２Ａに連結
されたモータ２２Ａを第１のモータ２２Ａといい、第２
のワイヤリール１２Ｂに連結されたモータ２２Ｂを第２
のモータ２２Ｂという。）、この第１、第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂを同期させて駆動することにより、前記ワ
イヤ１４は前記第１、第２のワイヤリール１２Ａ、１２
Ｂ間を高速で往復走行する。
【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されたワイ
ヤ走行路には、それぞれダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが
配設されており（以下、第１のワイヤリール１２Ａ側に
配設されたダンサローラ１２Ａを第１のダンサローラ２
４Ａといい、第２のワイヤリール１２Ｂ側に配設された
ダンサローラ１２Ｂを第２のダンサローラ２４Ｂとい
う。）、該第１、第２のダンサローラ２４Ａ、２４Ｂ
は、それぞれ所定重量のデッドウェイト２６Ａ、２６Ｂ
が吊設されて、走行するワイヤ１４に所定の張力を付与
している。
ヤ走行路には、それぞれダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが
配設されており（以下、第１のワイヤリール１２Ａ側に
配設されたダンサローラ１２Ａを第１のダンサローラ２
４Ａといい、第２のワイヤリール１２Ｂ側に配設された
ダンサローラ１２Ｂを第２のダンサローラ２４Ｂとい
う。）、該第１、第２のダンサローラ２４Ａ、２４Ｂ
は、それぞれ所定重量のデッドウェイト２６Ａ、２６Ｂ
が吊設されて、走行するワイヤ１４に所定の張力を付与
している。
【００１２】以上ように構成されたワイヤソー１０にお
いて、被加工物であるインゴット２８の切断は、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット２８を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、図示しな
いスラリ噴射ノズルを介してスラリが供給され、インゴ
ット２８は、このスラリ中に含有される砥粒のラッピン
グ作用でウェーハに切断される。
いて、被加工物であるインゴット２８の切断は、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット２８を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、図示しな
いスラリ噴射ノズルを介してスラリが供給され、インゴ
ット２８は、このスラリ中に含有される砥粒のラッピン
グ作用でウェーハに切断される。
【００１３】次に、本発明に係るワイヤソーのワイヤ走
行制御装置について説明する。図２に示すように、前記
第１のダンサローラ２４Ａは、ワイヤソー１０の装置本
体に設けられたリニアガイド３０Ａ上をスライダ３２Ａ
にガイドされてスライド自在に支持されている。この第
１のダンサローラ２４Ａには、第１のダンサローラ２４
Ａの変位量を検出する第１の変位検出装置３４Ａが設け
られており、該第１の変位検出装置３４Ａは、次のよう
に構成される。
行制御装置について説明する。図２に示すように、前記
第１のダンサローラ２４Ａは、ワイヤソー１０の装置本
体に設けられたリニアガイド３０Ａ上をスライダ３２Ａ
にガイドされてスライド自在に支持されている。この第
１のダンサローラ２４Ａには、第１のダンサローラ２４
Ａの変位量を検出する第１の変位検出装置３４Ａが設け
られており、該第１の変位検出装置３４Ａは、次のよう
に構成される。
【００１４】図２に示すように、前記第１のダンサロー
ラ２４Ａには、カウンターウェイト３５Ａが設けられて
おり、該カウンターウェイト３５Ａは前記リニアガイド
３０Ａの上方に設けられたプーリ３６Ａによって吊設さ
れている。このプーリ３６Ａにはエンコーダ３８Ａが接
続されており、該エンコーダ３８Ａは前記プーリ３６Ａ
の回転数を検出し、その検出値を制御装置４０に出力す
る。制御装置４０は、そのプーリ３６Ａの回転数から、
前記第１のダンサローラ２４Ａの基準点からの変位量を
算出する。
ラ２４Ａには、カウンターウェイト３５Ａが設けられて
おり、該カウンターウェイト３５Ａは前記リニアガイド
３０Ａの上方に設けられたプーリ３６Ａによって吊設さ
れている。このプーリ３６Ａにはエンコーダ３８Ａが接
続されており、該エンコーダ３８Ａは前記プーリ３６Ａ
の回転数を検出し、その検出値を制御装置４０に出力す
る。制御装置４０は、そのプーリ３６Ａの回転数から、
前記第１のダンサローラ２４Ａの基準点からの変位量を
算出する。
【００１５】また、前記第１のダンサローラ２４Ａに
は、前記スライダ３２Ａとの連結部２４ａに第１のロー
ドセル４２Ａが設けられている。この第１のロードセル
４２Ａは前記第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重を
検出し、その検出結果を前記制御装置４０に出力する。
前記第２のダンサローラ２４Ｂにも、前記第１のダンサ
ローラ２４Ａに設けられた第１の変位検出器３４Ａと同
様の構成の第２の変位検出装置３４Ｂと、第２のロード
セル４２Ｂが設けられており、前記第２のダンサローラ
２４Ｂの基準点からの変位量と、前記第２のダンサロー
ラ２４Ｂにかかる荷重が検出される。そして、その検出
結果は、それぞれ前記制御装置４０に出力される。
は、前記スライダ３２Ａとの連結部２４ａに第１のロー
ドセル４２Ａが設けられている。この第１のロードセル
４２Ａは前記第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重を
検出し、その検出結果を前記制御装置４０に出力する。
前記第２のダンサローラ２４Ｂにも、前記第１のダンサ
ローラ２４Ａに設けられた第１の変位検出器３４Ａと同
様の構成の第２の変位検出装置３４Ｂと、第２のロード
セル４２Ｂが設けられており、前記第２のダンサローラ
２４Ｂの基準点からの変位量と、前記第２のダンサロー
ラ２４Ｂにかかる荷重が検出される。そして、その検出
結果は、それぞれ前記制御装置４０に出力される。
【００１６】図１に示すように、前記制御装置４０は、
前記第１の変位検出装置３４Ａの検出結果（第１のダン
サローラ２４Ａの基準点からの変位量）と、前記第１の
ロードセル４２Ａの検出結果（第１のダンサローラ２４
Ａにかかる荷重）とから、前記第１のワイヤリール１２
Ａのワイヤ繰出量又は巻取量を調整する。これと同時
に、前記制御装置４０は、前記第２の変位検出装置３４
Ｂの検出結果（第２のダンサローラ２４Ｂの基準点から
の変位量）と、前記第２のロードセル４２Ｂの検出結果
（第１のダンサローラ２４Ｂにかかる荷重）とから、前
記第２のワイヤリール１２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量
を調整する。
前記第１の変位検出装置３４Ａの検出結果（第１のダン
サローラ２４Ａの基準点からの変位量）と、前記第１の
ロードセル４２Ａの検出結果（第１のダンサローラ２４
Ａにかかる荷重）とから、前記第１のワイヤリール１２
Ａのワイヤ繰出量又は巻取量を調整する。これと同時
に、前記制御装置４０は、前記第２の変位検出装置３４
Ｂの検出結果（第２のダンサローラ２４Ｂの基準点から
の変位量）と、前記第２のロードセル４２Ｂの検出結果
（第１のダンサローラ２４Ｂにかかる荷重）とから、前
記第２のワイヤリール１２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量
を調整する。
【００１７】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ走行制御装置の実施の形態の作用は次の
通りである。まず、ワイヤソー１０における一般的なワ
イヤ走行方式について説明する。ワイヤソーのワイヤ走
行方式には、ワイヤ１４を一方向のみに走行させる一方
向送り方式と、ワイヤ１４を往復走行させる双方向送り
方式の２通り走行方式がある。
ヤソーのワイヤ走行制御装置の実施の形態の作用は次の
通りである。まず、ワイヤソー１０における一般的なワ
イヤ走行方式について説明する。ワイヤソーのワイヤ走
行方式には、ワイヤ１４を一方向のみに走行させる一方
向送り方式と、ワイヤ１４を往復走行させる双方向送り
方式の２通り走行方式がある。
【００１８】一方向送り方式の場合は、たとえば、図１
において、第１のワイヤリール１２Ａを繰出側とし、当
該第１のワイヤリール１２Ａから繰り出したワイヤ１４
を第２のワイヤリール１２Ｂで巻き取るという方式であ
る。一方、双方向送り方式の場合は、基本的にワイヤ１
４を一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間で往復走行さ
せるが、このとき、第１のワイヤリール１２Ａから第２
のワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）のワイヤ
送り量を、第２のワイヤリール１２Ｂから第１のワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量よ
りも多くすることにより、結果的に、第１のワイヤリー
ル１２Ａから第２のワイヤリール１２Ｂに向かう方向
（往方向）にワイヤ１４を供給するようにしている。
において、第１のワイヤリール１２Ａを繰出側とし、当
該第１のワイヤリール１２Ａから繰り出したワイヤ１４
を第２のワイヤリール１２Ｂで巻き取るという方式であ
る。一方、双方向送り方式の場合は、基本的にワイヤ１
４を一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間で往復走行さ
せるが、このとき、第１のワイヤリール１２Ａから第２
のワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）のワイヤ
送り量を、第２のワイヤリール１２Ｂから第１のワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量よ
りも多くすることにより、結果的に、第１のワイヤリー
ル１２Ａから第２のワイヤリール１２Ｂに向かう方向
（往方向）にワイヤ１４を供給するようにしている。
【００１９】そして、一方向送り方式、双方向送り方式
のいずれの場合であっても、ワイヤ１４は、あらかじめ
制御装置４０に設定された走行プログラムに従って走行
する。すなわち、制御装置４０は、あらかじめ設定され
た走行プログラムに従って第１、第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂを駆動制御し、前記第１、第２のワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂ間を走行するワイヤ１４の走行制御を行
う。
のいずれの場合であっても、ワイヤ１４は、あらかじめ
制御装置４０に設定された走行プログラムに従って走行
する。すなわち、制御装置４０は、あらかじめ設定され
た走行プログラムに従って第１、第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂを駆動制御し、前記第１、第２のワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂ間を走行するワイヤ１４の走行制御を行
う。
【００２０】たとえば、通常、ワイヤ１４は、インゴッ
ト２８の下端部（上端部）を切断する時よりも、インゴ
ット２８の中央部を切断する時の方が、ワイヤ１４の磨
耗量が多い（インゴット２８との接触部の面積が、イン
ゴット２８の下端部を切断する時よりも、インゴット２
８の中央部を切断する時の方が多いので、磨耗量も多く
なる。）。このため、ワイヤ１４の磨耗量を均一にする
ために、一方送り方式の場合では、インゴット２８の中
央部を切断する時のワイヤ１４の走行速度を、インゴッ
ト２８の下端部を切断する時のワイヤ１４の走行速度よ
りも速く設定している。また、双方向送り方式の場合
は、往方向のワイヤ送り量と復方向のワイヤ送り量との
差（新線供給量）を、インゴット２８の下端部を切断す
る時よりも、インゴット２８の中央部を切断する時の方
が多くなるように設定している。
ト２８の下端部（上端部）を切断する時よりも、インゴ
ット２８の中央部を切断する時の方が、ワイヤ１４の磨
耗量が多い（インゴット２８との接触部の面積が、イン
ゴット２８の下端部を切断する時よりも、インゴット２
８の中央部を切断する時の方が多いので、磨耗量も多く
なる。）。このため、ワイヤ１４の磨耗量を均一にする
ために、一方送り方式の場合では、インゴット２８の中
央部を切断する時のワイヤ１４の走行速度を、インゴッ
ト２８の下端部を切断する時のワイヤ１４の走行速度よ
りも速く設定している。また、双方向送り方式の場合
は、往方向のワイヤ送り量と復方向のワイヤ送り量との
差（新線供給量）を、インゴット２８の下端部を切断す
る時よりも、インゴット２８の中央部を切断する時の方
が多くなるように設定している。
【００２１】そして、前記一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂ間を走行するワイヤ１４が、前記走行プログラム
通りに走行している場合、すなわち、両ワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂを駆動する第１、第２のモータ２２Ａ、２
２Ｂが完全に同期し、両ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂの
ワイヤ繰出量又は巻取量が適正な場合、各ワイヤ走行路
に設置されたダンサローラ２４Ａ、２４Ｂは所定の位置
（基準位置）から変位することはない。
１２Ｂ間を走行するワイヤ１４が、前記走行プログラム
通りに走行している場合、すなわち、両ワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂを駆動する第１、第２のモータ２２Ａ、２
２Ｂが完全に同期し、両ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂの
ワイヤ繰出量又は巻取量が適正な場合、各ワイヤ走行路
に設置されたダンサローラ２４Ａ、２４Ｂは所定の位置
（基準位置）から変位することはない。
【００２２】しかしながら、両ワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量が適正でない場合、ダン
サローラ２４Ａ、２４Ｂは基準位置から変位する。たと
えば、第１のワイヤリール１２Ａの繰出量が正規の値よ
りも多すぎる場合は、第１のダンサローラ２４Ａは下方
に変位し、少なすぎる場合は上方に変位する。このよう
に、両ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂのワイヤ繰出量又は
巻取量に狂いが生じた場合は、直ちに補正し、ワイヤ１
４の走行を安定させる必要がある。この両ワイヤリール
１２Ａ、１２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量の補正を、本
実施の形態のワイヤ走行制御装置で以下のように行う。
２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量が適正でない場合、ダン
サローラ２４Ａ、２４Ｂは基準位置から変位する。たと
えば、第１のワイヤリール１２Ａの繰出量が正規の値よ
りも多すぎる場合は、第１のダンサローラ２４Ａは下方
に変位し、少なすぎる場合は上方に変位する。このよう
に、両ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂのワイヤ繰出量又は
巻取量に狂いが生じた場合は、直ちに補正し、ワイヤ１
４の走行を安定させる必要がある。この両ワイヤリール
１２Ａ、１２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量の補正を、本
実施の形態のワイヤ走行制御装置で以下のように行う。
【００２３】なお、本実施の形態のワイヤ走行制御装置
は、一方向送り方式、双方向送り方式のいずれのワイヤ
走行方式に適用した場合であっても基本動作は同一なの
で、以下、一方向送り方式の場合に適用した例で説明す
る。この場合、ワイヤ１４は、第１のワイヤリール１２
Ａから繰り出され、第２のワイヤリール１２Ｂに巻き取
られる。
は、一方向送り方式、双方向送り方式のいずれのワイヤ
走行方式に適用した場合であっても基本動作は同一なの
で、以下、一方向送り方式の場合に適用した例で説明す
る。この場合、ワイヤ１４は、第１のワイヤリール１２
Ａから繰り出され、第２のワイヤリール１２Ｂに巻き取
られる。
【００２４】たとえば、前記第１のワイヤリール１２Ａ
から繰り出すワイヤ１４の繰出量が、何らかの原因によ
り瞬時的に多くなったとする。この場合、ワイヤ１４の
供給量が瞬時的に多くなるので、前記第１のワイヤリー
ル１２Ａと前記溝付ローラ１８との間を走行するワイヤ
１４は瞬時的に撓むこととなる。前記第１のワイヤリー
ル１２Ａと溝付ローラ１８との間を走行するワイヤ１４
が撓むと、前記第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重
は減少し、その結果、第１のダンサローラ２４Ａは下方
に変位する。
から繰り出すワイヤ１４の繰出量が、何らかの原因によ
り瞬時的に多くなったとする。この場合、ワイヤ１４の
供給量が瞬時的に多くなるので、前記第１のワイヤリー
ル１２Ａと前記溝付ローラ１８との間を走行するワイヤ
１４は瞬時的に撓むこととなる。前記第１のワイヤリー
ル１２Ａと溝付ローラ１８との間を走行するワイヤ１４
が撓むと、前記第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重
は減少し、その結果、第１のダンサローラ２４Ａは下方
に変位する。
【００２５】このように、前記第１のダンサローラ２４
Ａが変位するには、まず、ワイヤ１４が撓み（ワイヤ１
４にかかる張力が減少し）、前記第１のダンサローラ２
４Ａにかかる荷重が減少して、ダンサローラが変位する
という過程を経る。本実施の形態のワイヤ走行制御装置
では、この第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重を第
１のロードセル４２Ａで検出しているので、この第１の
ロードセル４２Ａの検出値に基づき、前記第１のワイヤ
リール１２Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を調整す
る。
Ａが変位するには、まず、ワイヤ１４が撓み（ワイヤ１
４にかかる張力が減少し）、前記第１のダンサローラ２
４Ａにかかる荷重が減少して、ダンサローラが変位する
という過程を経る。本実施の形態のワイヤ走行制御装置
では、この第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重を第
１のロードセル４２Ａで検出しているので、この第１の
ロードセル４２Ａの検出値に基づき、前記第１のワイヤ
リール１２Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を調整す
る。
【００２６】すなわち、前記第１のダンサローラ２４Ａ
は、該第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重変動に応
じて上下動するので、この第１のダンサローラ２４Ａに
かかる荷重変動に応じて、前記第１のワイヤリール１２
Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を増減させる。この
結果、本実施の形態のワイヤ走行制御装置によるワイヤ
１４の走行制御は、次のようになる。
は、該第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重変動に応
じて上下動するので、この第１のダンサローラ２４Ａに
かかる荷重変動に応じて、前記第１のワイヤリール１２
Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を増減させる。この
結果、本実施の形態のワイヤ走行制御装置によるワイヤ
１４の走行制御は、次のようになる。
【００２７】まず、前記第１のダンサローラ２４Ａにか
かる荷重が第１のロードセル４２Ａによって検出され
る。この第１のロードセル４２Ａの検出値は、制御装置
４０に出力される。制御装置４０は、その検出値を基準
値、すなわち、ワイヤ１４の走行が定常状態にあるとき
における第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重と比較
する。そして、その比較の結果、前記第１のロードセル
４２Ａによる検出値の方が小さかった場合、この場合
は、前記第１のワイヤリール１２Ａから繰り出すワイヤ
１４の繰出量が多すぎる場合なので、前記基準値からの
減少分（基準値と検出値との差分）に応じて前記第１の
ワイヤリール１２Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を
減少させる。すなわち、前記第１のモータ２２Ａの回転
速度を遅くする。
かる荷重が第１のロードセル４２Ａによって検出され
る。この第１のロードセル４２Ａの検出値は、制御装置
４０に出力される。制御装置４０は、その検出値を基準
値、すなわち、ワイヤ１４の走行が定常状態にあるとき
における第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重と比較
する。そして、その比較の結果、前記第１のロードセル
４２Ａによる検出値の方が小さかった場合、この場合
は、前記第１のワイヤリール１２Ａから繰り出すワイヤ
１４の繰出量が多すぎる場合なので、前記基準値からの
減少分（基準値と検出値との差分）に応じて前記第１の
ワイヤリール１２Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を
減少させる。すなわち、前記第１のモータ２２Ａの回転
速度を遅くする。
【００２８】一方、前記比較の結果、前記第１のロード
セル４２Ａによる検出値の方が大きかった場合、この場
合は、前記第１のワイヤリール１２Ａから繰り出すワイ
ヤ１４の繰出量が少なすぎる場合なので、前記基準値か
らの増加分に応じて前記第１のワイヤリール１２Ａから
繰り出すワイヤ１４の繰出量を増加させる。すなわち、
前記第１のモータ２２Ａの回転速度を速くする。
セル４２Ａによる検出値の方が大きかった場合、この場
合は、前記第１のワイヤリール１２Ａから繰り出すワイ
ヤ１４の繰出量が少なすぎる場合なので、前記基準値か
らの増加分に応じて前記第１のワイヤリール１２Ａから
繰り出すワイヤ１４の繰出量を増加させる。すなわち、
前記第１のモータ２２Ａの回転速度を速くする。
【００２９】このように、第１のダンサローラ２４Ａに
係る荷重変動に応じて前記第１のワイヤリール１２Ａか
ら繰り出すワイヤ１４の繰出量を増減することにより、
第１のダンサローラ２４Ａが動きだす前にワイヤ１４の
走行安定化が図れ、極めて応答性の高いワイヤ走行制御
が可能になる。なお、この方法でワイヤ１４の走行制御
を行った場合、第１のダンサローラ２４Ａの荷重変動に
対する第１のワイヤリール１２Ａからのワイヤ繰出量が
適正でないと、結果として、第１のワイヤリール２４Ａ
が動きだすこととなるが、この場合は、従来通り、第１
のダンサローラ２４Ａの基準点からの変位量に基づいて
第１のワイヤリール１２Ａからのワイヤ繰出量を調整す
る。
係る荷重変動に応じて前記第１のワイヤリール１２Ａか
ら繰り出すワイヤ１４の繰出量を増減することにより、
第１のダンサローラ２４Ａが動きだす前にワイヤ１４の
走行安定化が図れ、極めて応答性の高いワイヤ走行制御
が可能になる。なお、この方法でワイヤ１４の走行制御
を行った場合、第１のダンサローラ２４Ａの荷重変動に
対する第１のワイヤリール１２Ａからのワイヤ繰出量が
適正でないと、結果として、第１のワイヤリール２４Ａ
が動きだすこととなるが、この場合は、従来通り、第１
のダンサローラ２４Ａの基準点からの変位量に基づいて
第１のワイヤリール１２Ａからのワイヤ繰出量を調整す
る。
【００３０】第２のワイヤリール１２Ｂにおけるワイヤ
１４の巻取量の調整も、上述した第１のワイヤリール１
２Ａの場合と同様の操作で行う。すなわち、第２のダン
サローラ２４Ｂにかかる荷重の変動に応じて、前記第２
のワイヤリール１２Ｂで巻き取るワイヤ１４の巻取量を
増減させる。このように、本実施の形態のワイヤ走行制
御装置によれば、瞬時的にワイヤ１４が撓んだような場
合であっても、迅速にワイヤ１４の走行安定化を図るこ
とができる。また、その構成もきわめてシンプルであ
る。
１４の巻取量の調整も、上述した第１のワイヤリール１
２Ａの場合と同様の操作で行う。すなわち、第２のダン
サローラ２４Ｂにかかる荷重の変動に応じて、前記第２
のワイヤリール１２Ｂで巻き取るワイヤ１４の巻取量を
増減させる。このように、本実施の形態のワイヤ走行制
御装置によれば、瞬時的にワイヤ１４が撓んだような場
合であっても、迅速にワイヤ１４の走行安定化を図るこ
とができる。また、その構成もきわめてシンプルであ
る。
【００３１】なお、本実施の形態では、ダンサローラに
かかる荷重変動からワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を調整するようにしたが、ガイドローラ１６にかか
る荷重の変動からワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取
量を調整するようにしても同様の制御を行なうことがで
きる。この場合、ロードセルはワイヤ列２０の両側に形
成されている各ワイヤ走行路中の１つのガイドローラに
設置する。
かかる荷重変動からワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を調整するようにしたが、ガイドローラ１６にかか
る荷重の変動からワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取
量を調整するようにしても同様の制御を行なうことがで
きる。この場合、ロードセルはワイヤ列２０の両側に形
成されている各ワイヤ走行路中の１つのガイドローラに
設置する。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダンサローラ又はガイドローラにかかる荷重を検出し、
その検出値に応じてワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を調整しているので応答性の高いワイヤ走行制御を
行うことができる。
ダンサローラ又はガイドローラにかかる荷重を検出し、
その検出値に応じてワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を調整しているので応答性の高いワイヤ走行制御を
行うことができる。
【図１】本発明に係るワイヤ走行制御装置が適用された
ワイヤソーの全体構成図
ワイヤソーの全体構成図
【図２】図１の要部拡大図
１０…ワイヤソー １２Ａ…第１のワイヤリール １２Ｂ…第２のワイヤリール １４…ワイヤ １６…ガイドローラ １８…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２２Ａ…第１のモータ ２２Ｂ…第２のモータ ２４Ａ…第１のダンサローラ ２４Ｂ…第２のダンサローラ ２６Ａ…第１のデッドウェイト ２６Ｂ…第２のデッドウェイト ２８…インゴット ３４Ａ…第１の変位検出装置 ３４Ｂ…第２の変位検出装置 ４０…制御装置 ４２Ａ…第１のロードセル ４２Ｂ…第２のロードセル
Claims (2)
- 【請求項１】 繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤ
リールとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻
きかけてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加
工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、 前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置
され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間
を走行するワイヤに所定の張力を与えるダンサローラ
と、 前記ダンサローラに設けられ、該ダンサローラにかかる
荷重を検出する荷重検出器と、 前記荷重検出器の検出値に応じて前記ワイヤリールのワ
イヤ繰出量又は巻取量を可変するように前記ワイヤリー
ルを制御する制御装置と、からなることを特徴とするワ
イヤソーのワイヤ走行制御装置。 - 【請求項２】 繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤ
リールとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻
きかけてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加
工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、 前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置
され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間
を走行するワイヤをガイドするガイドローラと、 前記ガイドローラに設けられ、該ガイドローラにかかる
荷重を検出する荷重検出器と、 前記荷重検出器の検出値に応じて前記ワイヤリールのワ
イヤ繰出量又は巻取量を可変するように前記ワイヤリー
ルを制御する制御装置と、からなることを特徴とするワ
イヤソーのワイヤ走行制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27963696A JPH10119031A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ワイヤソーのワイヤ走行制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27963696A JPH10119031A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ワイヤソーのワイヤ走行制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10119031A true JPH10119031A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17613749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27963696A Pending JPH10119031A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ワイヤソーのワイヤ走行制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10119031A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6237585B1 (en) | 1998-08-20 | 2001-05-29 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | Wire-sawing machine |
| US6242709B1 (en) | 1998-07-29 | 2001-06-05 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for manufacturing conductive wafers, method for manufacturing thin-plate sintered compacts, method for manufacturing ceramic substrates for thin-film magnetic head, and method for machining conductive wafers |
| KR101051887B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2011-07-26 | 오성엘에스티(주) | 와이어쏘 장치의 장력조절유닛 및 이를 이용한 장력조절방법 |
| CN102555093A (zh) * | 2011-12-01 | 2012-07-11 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种硅片多线切割张力控制***及控制方法 |
| CN103252845A (zh) * | 2012-02-19 | 2013-08-21 | 上海日进机床有限公司 | 双向金刚线硅棒截断机 |
| KR20190091895A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 한국생산기술연구원 | 와이어쏘의 와이어 공급량 조절장치 및 그 조절방법 |
| US11504857B2 (en) | 2015-11-16 | 2022-11-22 | Takatori Corporation | Wire saw device, and processing method and processing device for workpiece |
-
1996
- 1996-10-22 JP JP27963696A patent/JPH10119031A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6242709B1 (en) | 1998-07-29 | 2001-06-05 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for manufacturing conductive wafers, method for manufacturing thin-plate sintered compacts, method for manufacturing ceramic substrates for thin-film magnetic head, and method for machining conductive wafers |
| US6237585B1 (en) | 1998-08-20 | 2001-05-29 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | Wire-sawing machine |
| EP1110652A1 (en) * | 1998-08-20 | 2001-06-27 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | A wire sawing machine with saw wire tension control |
| KR101051887B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2011-07-26 | 오성엘에스티(주) | 와이어쏘 장치의 장력조절유닛 및 이를 이용한 장력조절방법 |
| CN102555093A (zh) * | 2011-12-01 | 2012-07-11 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种硅片多线切割张力控制***及控制方法 |
| CN103252845A (zh) * | 2012-02-19 | 2013-08-21 | 上海日进机床有限公司 | 双向金刚线硅棒截断机 |
| US11504857B2 (en) | 2015-11-16 | 2022-11-22 | Takatori Corporation | Wire saw device, and processing method and processing device for workpiece |
| KR20190091895A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 한국생산기술연구원 | 와이어쏘의 와이어 공급량 조절장치 및 그 조절방법 |
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