JPH10119031A - Wire running controlling device of wire saw - Google Patents
Wire running controlling device of wire sawInfo
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- JPH10119031A JPH10119031A JP27963696A JP27963696A JPH10119031A JP H10119031 A JPH10119031 A JP H10119031A JP 27963696 A JP27963696 A JP 27963696A JP 27963696 A JP27963696 A JP 27963696A JP H10119031 A JPH10119031 A JP H10119031A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
走行制御装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
クス等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ走行制
御装置に関する。The present invention relates to a wire running control device for a wire saw, and more particularly to a wire running control device for a wire saw for cutting brittle materials such as silicon, glass, and ceramics.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のワイヤソーにおいて、一
対のワイヤリール間を走行するワイヤの走行制御は、一
定荷重が付与されたダンサローラの変位を検出し、その
変位がゼロになるように両ワイヤリールの繰出量と巻取
量を調整することにより行っている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a wire saw of this type, travel control of a wire traveling between a pair of wire reels detects a displacement of a dancer roller to which a constant load is applied, and controls both wires so that the displacement becomes zero. This is done by adjusting the reel feeding amount and the reeling amount.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の走行制御方法では、ワイヤが撓んでから実際に
ダンサローラが動きだすまでには時間がかかるため、応
答性が悪いという欠点がある。また、通常、ダンサロー
ラは、リニアガイド等でスライド自在に支持されている
が、そのガイド部が汚れたり、磨耗したりすると、動作
抵抗が増し、安定した走行制御ができないという欠点が
ある。However, the above-described conventional traveling control method has a disadvantage that the response is poor because it takes time from the bending of the wire to the actual movement of the dancer roller. In addition, the dancer roller is normally slidably supported by a linear guide or the like. However, if the guide portion becomes dirty or worn, there is a disadvantage that the operating resistance increases and stable traveling control cannot be performed.
【０００４】一方、このような問題を解決する手段とし
て、特開平７−２７６２１７号公報に両ワイヤリールを
差動装置に連結して、ワイヤの走行を制御する方法も開
示されているが、構造が複雑となるという欠点がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、応
答性の高いワイヤ走行制御を行うことができるワイヤソ
ーのワイヤ走行制御装置を提供することを目的とする。On the other hand, as means for solving such a problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-276217 discloses a method of connecting both wire reels to a differential device and controlling the running of the wires. Has the disadvantage that it becomes complicated.
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a wire running control device for a wire saw capable of performing highly responsive wire running control.
【０００５】[0005]
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤリー
ルとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きか
けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該被
加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に
設置され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラと
の間を走行するワイヤに所定の張力を与えるダンサロー
ラと、前記ダンサローラに設けられ、該ダンサローラに
かかる荷重を検出する荷重検出器と、前記荷重検出器の
検出値に応じて前記ワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を可変するように前記ワイヤリールを制御する制御
装置と、からなることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention is to wrap a wire running between a pay-out wire reel and a take-up wire reel around a plurality of grooved rollers. Forming a row, and pressing the workpiece while supplying a processing liquid containing abrasive grains to the wire row, the wire reel and the plurality of grooves in a wire saw for cutting the workpiece into a large number of wafers. A dancer roller installed between the wire roller and the plurality of grooved rollers to apply a predetermined tension to a wire traveling between the wire reel and the plurality of grooved rollers; and a load provided on the dancer roller and detecting a load applied to the dancer roller. A control unit for controlling the wire reel so as to vary a wire feeding amount or a winding amount of the wire reel according to a detection value of the load detector. The features.
【０００６】本発明は、ダンサローラにかかる荷重を検
出し、その検出結果に応じて両ワイヤリールのワイヤ繰
出量又は巻取量を調整する。具体的には、ダンサローラ
にかかる荷重が増加した場合は、繰出側のワイヤリール
では繰出量を増加し、巻取側のワイヤリールでは巻取量
を減少させる。逆に、ダンサローラにかかる荷重が減少
した場合は、繰出側のワイヤリールでは繰出量を減少さ
せ、巻取側のワイヤリールでは巻取量を増加させる。こ
れにより、例えば、ワイヤが瞬時的に撓んだような場合
であっても、瞬時にワイヤの走行を安定させることがで
きる。According to the present invention, the load applied to the dancer roller is detected, and the wire feeding amount or winding amount of both wire reels is adjusted according to the detection result. Specifically, when the load applied to the dancer roller increases, the feeding amount is increased in the wire reel on the feeding side, and the winding amount is reduced in the wire reel on the winding side. Conversely, when the load applied to the dancer roller decreases, the feeding amount is reduced on the payout side wire reel, and the winding amount is increased on the winding side wire reel. Thus, for example, even when the wire is instantaneously bent, the running of the wire can be instantaneously stabilized.
【０００７】また、本発明は前記目的を達成するため
に、繰出側のワイヤリールと巻取側のワイヤリールとの
間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけてワ
イヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給
しながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物
を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記
ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置さ
れ、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間を
走行するワイヤをガイドするガイドローラと、前記ガイ
ドローラに設けられ、該ガイドローラにかかる荷重を検
出する荷重検出器と、前記荷重検出器の検出値に応じて
前記ワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取量を可変する
ように前記ワイヤリールを制御する制御装置と、からな
ることを特徴とする。Further, in order to achieve the above object, the present invention forms a wire row by winding a wire running between a wire reel on a feeding side and a wire reel on a winding side around a plurality of grooved rollers. In a wire saw that cuts the workpiece into a large number of wafers by pressing the workpiece while supplying a processing liquid containing abrasive grains to the wire row, the wire reel and the plurality of grooved rollers A guide roller installed between the wire reels and guiding the wire traveling between the wire reel and the plurality of grooved rollers, a load detector provided on the guide roller, and detecting a load applied to the guide roller, A control device for controlling the wire reel so as to vary a wire feeding amount or a winding amount of the wire reel according to a detection value of the load detector.
【０００８】本発明は、ワイヤをガイドするガイドロー
ラにかかる荷重を検出し、その検出値に応じて両ワイヤ
リールのワイヤ繰出量又は巻取量を調整する。According to the present invention, a load applied to a guide roller for guiding a wire is detected, and a wire feeding amount or a winding amount of both wire reels is adjusted according to the detected value.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ走行制御装置の好ましい実施の形
態について詳説する。まず、ワイヤソー１０の全体構成
について説明する。図１に示すように、一方のワイヤリ
ール１２Ａ（以下、第１のワイヤリール１２Ａとい
う。）から繰り出されたワイヤ１４は、ガイドローラ１
６、１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の
溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられる。この
３本の溝付ローラ１８、１８、１８の外周部には、それ
ぞれ多数の溝が一定ピッチで形成されており、前記ワイ
ヤ１４は、この溝付ローラ１８の溝に順次巻き掛けられ
て水平なワイヤ列２０を形成する。そして、ワイヤ列２
０を形成したワイヤ１４は、前記３本の溝付ローラ１
８、１８、１８を挟んで左右対称に形成された他方側の
ワイヤ走行路を通って他方側のワイヤリール１２Ｂ（以
下、第２のワイヤリール１２Ｂという。）に巻き取られ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a wire running control device for a wire saw according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. First, the overall configuration of the wire saw 10 will be described. As shown in FIG. 1, a wire 14 paid out from one of the wire reels 12A (hereinafter, referred to as a first wire reel 12A) is connected to a guide roller 1A.
Are wound around three grooved rollers 18, 18, 18 through a wire running path formed by 6, 16,.... A large number of grooves are formed at a constant pitch on the outer peripheral portions of the three grooved rollers 18, 18, and 18, respectively. The wire row 20 is formed. And wire row 2
0 is formed on the three grooved rollers 1.
The wire is wound around a wire reel 12B on the other side (hereinafter, referred to as a second wire reel 12B) through a wire running path on the other side formed symmetrically with respect to 8, 18, 18.
【００１０】ここで、前記第１、第２のワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂには、それぞれモータ２２Ａ、２２Ｂが連
結されており（以下、第１のワイヤリール１２Ａに連結
されたモータ２２Ａを第１のモータ２２Ａといい、第２
のワイヤリール１２Ｂに連結されたモータ２２Ｂを第２
のモータ２２Ｂという。）、この第１、第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂを同期させて駆動することにより、前記ワ
イヤ１４は前記第１、第２のワイヤリール１２Ａ、１２
Ｂ間を高速で往復走行する。Here, the first and second wire reels 1
Motors 22A and 22B are connected to 2A and 12B, respectively (hereinafter, the motor 22A connected to the first wire reel 12A is referred to as a first motor 22A,
The motor 22B connected to the wire reel 12B of the second
Motor 22B. ), The first and second motors 2
The wires 14 are driven in synchronization with each other, whereby the wire 14 is connected to the first and second wire reels 12A, 12A.
It travels back and forth between B at high speed.
【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されたワイ
ヤ走行路には、それぞれダンサローラ２４Ａ、２４Ｂが
配設されており（以下、第１のワイヤリール１２Ａ側に
配設されたダンサローラ１２Ａを第１のダンサローラ２
４Ａといい、第２のワイヤリール１２Ｂ側に配設された
ダンサローラ１２Ｂを第２のダンサローラ２４Ｂとい
う。）、該第１、第２のダンサローラ２４Ａ、２４Ｂ
は、それぞれ所定重量のデッドウェイト２６Ａ、２６Ｂ
が吊設されて、走行するワイヤ１４に所定の張力を付与
している。Dancer rollers 24A and 24B are provided on the wire running paths formed on both sides of the wire row 20 (hereinafter, the dancer rollers 12A provided on the first wire reel 12A side are connected to the first wire reel 12A). Dancer Roller 2
4A, the dancer roller 12B disposed on the second wire reel 12B side is referred to as a second dancer roller 24B. ), The first and second dancer rollers 24A, 24B
Are dead weights 26A, 26B of a predetermined weight, respectively.
Is suspended to apply a predetermined tension to the traveling wire 14.
【００１２】以上ように構成されたワイヤソー１０にお
いて、被加工物であるインゴット２８の切断は、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット２８を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、図示しな
いスラリ噴射ノズルを介してスラリが供給され、インゴ
ット２８は、このスラリ中に含有される砥粒のラッピン
グ作用でウェーハに切断される。In the wire saw 10 configured as described above, the ingot 28 as a workpiece is cut by pressing the ingot 28 against the wire row 20 running at a high speed. At this time, a slurry is supplied to the wire row 20 via a slurry injection nozzle (not shown), and the ingot 28 is cut into wafers by a lapping action of abrasive grains contained in the slurry.
【００１３】次に、本発明に係るワイヤソーのワイヤ走
行制御装置について説明する。図２に示すように、前記
第１のダンサローラ２４Ａは、ワイヤソー１０の装置本
体に設けられたリニアガイド３０Ａ上をスライダ３２Ａ
にガイドされてスライド自在に支持されている。この第
１のダンサローラ２４Ａには、第１のダンサローラ２４
Ａの変位量を検出する第１の変位検出装置３４Ａが設け
られており、該第１の変位検出装置３４Ａは、次のよう
に構成される。Next, a wire running control device for a wire saw according to the present invention will be described. As shown in FIG. 2, the first dancer roller 24A has a slider 32A on a linear guide 30A provided on the apparatus main body of the wire saw 10.
And is slidably supported. The first dancer roller 24A includes a first dancer roller 24A.
A first displacement detection device 34A for detecting the displacement of A is provided, and the first displacement detection device 34A is configured as follows.
【００１４】図２に示すように、前記第１のダンサロー
ラ２４Ａには、カウンターウェイト３５Ａが設けられて
おり、該カウンターウェイト３５Ａは前記リニアガイド
３０Ａの上方に設けられたプーリ３６Ａによって吊設さ
れている。このプーリ３６Ａにはエンコーダ３８Ａが接
続されており、該エンコーダ３８Ａは前記プーリ３６Ａ
の回転数を検出し、その検出値を制御装置４０に出力す
る。制御装置４０は、そのプーリ３６Ａの回転数から、
前記第１のダンサローラ２４Ａの基準点からの変位量を
算出する。As shown in FIG. 2, the first dancer roller 24A is provided with a counterweight 35A, which is suspended by a pulley 36A provided above the linear guide 30A. I have. An encoder 38A is connected to the pulley 36A, and the encoder 38A is connected to the pulley 36A.
, And outputs the detected value to the control device 40. The control device 40 determines from the rotation speed of the pulley 36A that
The amount of displacement of the first dancer roller 24A from the reference point is calculated.
【００１５】また、前記第１のダンサローラ２４Ａに
は、前記スライダ３２Ａとの連結部２４ａに第１のロー
ドセル４２Ａが設けられている。この第１のロードセル
４２Ａは前記第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重を
検出し、その検出結果を前記制御装置４０に出力する。
前記第２のダンサローラ２４Ｂにも、前記第１のダンサ
ローラ２４Ａに設けられた第１の変位検出器３４Ａと同
様の構成の第２の変位検出装置３４Ｂと、第２のロード
セル４２Ｂが設けられており、前記第２のダンサローラ
２４Ｂの基準点からの変位量と、前記第２のダンサロー
ラ２４Ｂにかかる荷重が検出される。そして、その検出
結果は、それぞれ前記制御装置４０に出力される。Further, the first dancer roller 24A is provided with a first load cell 42A at a connection portion 24a with the slider 32A. The first load cell 42A detects a load applied to the first dancer roller 24A, and outputs the detection result to the control device 40.
The second dancer roller 24B is also provided with a second displacement detection device 34B having the same configuration as the first displacement detector 34A provided on the first dancer roller 24A, and a second load cell 42B. The amount of displacement of the second dancer roller 24B from the reference point and the load applied to the second dancer roller 24B are detected. The detection results are output to the control device 40, respectively.
【００１６】図１に示すように、前記制御装置４０は、
前記第１の変位検出装置３４Ａの検出結果（第１のダン
サローラ２４Ａの基準点からの変位量）と、前記第１の
ロードセル４２Ａの検出結果（第１のダンサローラ２４
Ａにかかる荷重）とから、前記第１のワイヤリール１２
Ａのワイヤ繰出量又は巻取量を調整する。これと同時
に、前記制御装置４０は、前記第２の変位検出装置３４
Ｂの検出結果（第２のダンサローラ２４Ｂの基準点から
の変位量）と、前記第２のロードセル４２Ｂの検出結果
（第１のダンサローラ２４Ｂにかかる荷重）とから、前
記第２のワイヤリール１２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量
を調整する。As shown in FIG. 1, the control device 40 comprises:
The detection result of the first displacement detection device 34A (the displacement amount of the first dancer roller 24A from the reference point) and the detection result of the first load cell 42A (the first dancer roller 24A)
A), the first wire reel 12
The wire feeding amount or winding amount of A is adjusted. At the same time, the control device 40 controls the second displacement detection device 34
B (the amount of displacement of the second dancer roller 24B from the reference point) and the detection result of the second load cell 42B (the load applied to the first dancer roller 24B) from the detection result of the second wire reel 12B. Adjust the wire feeding amount or winding amount.
【００１７】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのワイヤ走行制御装置の実施の形態の作用は次の
通りである。まず、ワイヤソー１０における一般的なワ
イヤ走行方式について説明する。ワイヤソーのワイヤ走
行方式には、ワイヤ１４を一方向のみに走行させる一方
向送り方式と、ワイヤ１４を往復走行させる双方向送り
方式の２通り走行方式がある。The operation of the embodiment of the wire running control apparatus for a wire saw according to the present invention having the above-described structure is as follows. First, a general wire running method in the wire saw 10 will be described. The wire traveling method of the wire saw includes a two-way traveling method of a one-way feeding method in which the wire 14 travels in only one direction and a two-way feeding method in which the wire 14 travels back and forth.
【００１８】一方向送り方式の場合は、たとえば、図１
において、第１のワイヤリール１２Ａを繰出側とし、当
該第１のワイヤリール１２Ａから繰り出したワイヤ１４
を第２のワイヤリール１２Ｂで巻き取るという方式であ
る。一方、双方向送り方式の場合は、基本的にワイヤ１
４を一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間で往復走行さ
せるが、このとき、第１のワイヤリール１２Ａから第２
のワイヤリール１２Ｂに向かう方向（往方向）のワイヤ
送り量を、第２のワイヤリール１２Ｂから第１のワイヤ
リール１２Ａに向かう方向（復方向）のワイヤ送り量よ
りも多くすることにより、結果的に、第１のワイヤリー
ル１２Ａから第２のワイヤリール１２Ｂに向かう方向
（往方向）にワイヤ１４を供給するようにしている。In the case of the unidirectional feed system, for example, FIG.
, The first wire reel 12A is set as a payout side, and the wire 14 paid out from the first wire reel 12A is
Is wound on the second wire reel 12B. On the other hand, in the case of the bidirectional feed system, basically, the wire 1
4 is reciprocated between the pair of wire reels 12A and 12B.
The wire feed amount in the direction (forward direction) toward the wire reel 12B is larger than the wire feed amount in the direction (return direction) from the second wire reel 12B to the first wire reel 12A. Then, the wire 14 is supplied in a direction (forward direction) from the first wire reel 12A to the second wire reel 12B.
【００１９】そして、一方向送り方式、双方向送り方式
のいずれの場合であっても、ワイヤ１４は、あらかじめ
制御装置４０に設定された走行プログラムに従って走行
する。すなわち、制御装置４０は、あらかじめ設定され
た走行プログラムに従って第１、第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂを駆動制御し、前記第１、第２のワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂ間を走行するワイヤ１４の走行制御を行
う。The wire 14 travels in accordance with a travel program preset in the control device 40 in either the one-way feed system or the two-way feed system. That is, the control device 40 controls the first and second motors 22A, 22A in accordance with the traveling program set in advance.
22B, and controls the first and second wire reels 1
The traveling control of the wire 14 traveling between 2A and 12B is performed.
【００２０】たとえば、通常、ワイヤ１４は、インゴッ
ト２８の下端部（上端部）を切断する時よりも、インゴ
ット２８の中央部を切断する時の方が、ワイヤ１４の磨
耗量が多い（インゴット２８との接触部の面積が、イン
ゴット２８の下端部を切断する時よりも、インゴット２
８の中央部を切断する時の方が多いので、磨耗量も多く
なる。）。このため、ワイヤ１４の磨耗量を均一にする
ために、一方送り方式の場合では、インゴット２８の中
央部を切断する時のワイヤ１４の走行速度を、インゴッ
ト２８の下端部を切断する時のワイヤ１４の走行速度よ
りも速く設定している。また、双方向送り方式の場合
は、往方向のワイヤ送り量と復方向のワイヤ送り量との
差（新線供給量）を、インゴット２８の下端部を切断す
る時よりも、インゴット２８の中央部を切断する時の方
が多くなるように設定している。For example, the wire 14 usually wears more when cutting the center of the ingot 28 than when cutting the lower end (upper end) of the ingot 28 (the ingot 28). The area of the contact portion with the ingot 2 is smaller than when the lower end of the ingot 28 is cut.
8 is more often cut off at the center, so that the amount of wear increases. ). Therefore, in order to make the amount of wear of the wire 14 uniform, in the case of the one-way feed system, the running speed of the wire 14 when cutting the central portion of the ingot 28 is set to 14 is set faster than the traveling speed. Also, in the case of the bidirectional feed system, the difference between the forward wire feed amount and the backward wire feed amount (new wire supply amount) is set at the center of the ingot 28 more than when the lower end of the ingot 28 is cut. The setting is made so that the number of cuts is larger.
【００２１】そして、前記一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂ間を走行するワイヤ１４が、前記走行プログラム
通りに走行している場合、すなわち、両ワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂを駆動する第１、第２のモータ２２Ａ、２
２Ｂが完全に同期し、両ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂの
ワイヤ繰出量又は巻取量が適正な場合、各ワイヤ走行路
に設置されたダンサローラ２４Ａ、２４Ｂは所定の位置
（基準位置）から変位することはない。Then, the pair of wire reels 12A,
When the wire 14 running between the wire reels 12B runs according to the running program,
2A, 12B, the first and second motors 22A, 22A,
When 2B is completely synchronized and the wire feeding amount or winding amount of both wire reels 12A and 12B is proper, the dancer rollers 24A and 24B installed on each wire running path are displaced from predetermined positions (reference positions). There is no.
【００２２】しかしながら、両ワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量が適正でない場合、ダン
サローラ２４Ａ、２４Ｂは基準位置から変位する。たと
えば、第１のワイヤリール１２Ａの繰出量が正規の値よ
りも多すぎる場合は、第１のダンサローラ２４Ａは下方
に変位し、少なすぎる場合は上方に変位する。このよう
に、両ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂのワイヤ繰出量又は
巻取量に狂いが生じた場合は、直ちに補正し、ワイヤ１
４の走行を安定させる必要がある。この両ワイヤリール
１２Ａ、１２Ｂのワイヤ繰出量又は巻取量の補正を、本
実施の形態のワイヤ走行制御装置で以下のように行う。However, both wire reels 12A, 12A,
When the wire feeding amount or winding amount of 2B is not appropriate, the dancer rollers 24A and 24B are displaced from the reference position. For example, if the feed amount of the first wire reel 12A is too large than the normal value, the first dancer roller 24A is displaced downward, and if it is too small, it is displaced upward. As described above, when the wire feeding amount or the winding amount of the two wire reels 12A and 12B is out of order, it is corrected immediately and the wire 1
4 needs to be stabilized. The correction of the wire feeding amount or the winding amount of both wire reels 12A and 12B is performed by the wire traveling control device of the present embodiment as follows.
【００２３】なお、本実施の形態のワイヤ走行制御装置
は、一方向送り方式、双方向送り方式のいずれのワイヤ
走行方式に適用した場合であっても基本動作は同一なの
で、以下、一方向送り方式の場合に適用した例で説明す
る。この場合、ワイヤ１４は、第１のワイヤリール１２
Ａから繰り出され、第２のワイヤリール１２Ｂに巻き取
られる。The basic operation of the wire travel control device of the present embodiment is the same regardless of whether it is applied to the one-way feed system or the two-way feed system. An example applied to the method will be described. In this case, the wire 14 is connected to the first wire reel 12.
A is taken out from A and wound up on the second wire reel 12B.
【００２４】たとえば、前記第１のワイヤリール１２Ａ
から繰り出すワイヤ１４の繰出量が、何らかの原因によ
り瞬時的に多くなったとする。この場合、ワイヤ１４の
供給量が瞬時的に多くなるので、前記第１のワイヤリー
ル１２Ａと前記溝付ローラ１８との間を走行するワイヤ
１４は瞬時的に撓むこととなる。前記第１のワイヤリー
ル１２Ａと溝付ローラ１８との間を走行するワイヤ１４
が撓むと、前記第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重
は減少し、その結果、第１のダンサローラ２４Ａは下方
に変位する。For example, the first wire reel 12A
It is assumed that the amount of wire 14 fed from the wire 14 is instantaneously increased for some reason. In this case, since the supply amount of the wire 14 increases instantaneously, the wire 14 traveling between the first wire reel 12A and the grooved roller 18 is instantaneously bent. The wire 14 traveling between the first wire reel 12A and the grooved roller 18
Is bent, the load on the first dancer roller 24A decreases, and as a result, the first dancer roller 24A is displaced downward.
【００２５】このように、前記第１のダンサローラ２４
Ａが変位するには、まず、ワイヤ１４が撓み（ワイヤ１
４にかかる張力が減少し）、前記第１のダンサローラ２
４Ａにかかる荷重が減少して、ダンサローラが変位する
という過程を経る。本実施の形態のワイヤ走行制御装置
では、この第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重を第
１のロードセル４２Ａで検出しているので、この第１の
ロードセル４２Ａの検出値に基づき、前記第１のワイヤ
リール１２Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を調整す
る。As described above, the first dancer roller 24
In order for A to be displaced, first, the wire 14 is bent (wire 1).
4), the first dancer roller 2
The load applied to 4A is reduced, and the dancer roller is displaced. In the wire traveling control device of the present embodiment, since the load applied to the first dancer roller 24A is detected by the first load cell 42A, the first wire is controlled based on the detected value of the first load cell 42A. The feeding amount of the wire 14 fed from the reel 12A is adjusted.
【００２６】すなわち、前記第１のダンサローラ２４Ａ
は、該第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重変動に応
じて上下動するので、この第１のダンサローラ２４Ａに
かかる荷重変動に応じて、前記第１のワイヤリール１２
Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を増減させる。この
結果、本実施の形態のワイヤ走行制御装置によるワイヤ
１４の走行制御は、次のようになる。That is, the first dancer roller 24A
Moves up and down in response to a change in load applied to the first dancer roller 24A, so that the first wire reel 12 moves in response to a change in load applied to the first dancer roller 24A.
The feed amount of the wire 14 fed from A is increased or decreased. As a result, travel control of the wire 14 by the wire travel control device of the present embodiment is as follows.
【００２７】まず、前記第１のダンサローラ２４Ａにか
かる荷重が第１のロードセル４２Ａによって検出され
る。この第１のロードセル４２Ａの検出値は、制御装置
４０に出力される。制御装置４０は、その検出値を基準
値、すなわち、ワイヤ１４の走行が定常状態にあるとき
における第１のダンサローラ２４Ａにかかる荷重と比較
する。そして、その比較の結果、前記第１のロードセル
４２Ａによる検出値の方が小さかった場合、この場合
は、前記第１のワイヤリール１２Ａから繰り出すワイヤ
１４の繰出量が多すぎる場合なので、前記基準値からの
減少分（基準値と検出値との差分）に応じて前記第１の
ワイヤリール１２Ａから繰り出すワイヤ１４の繰出量を
減少させる。すなわち、前記第１のモータ２２Ａの回転
速度を遅くする。First, the load applied to the first dancer roller 24A is detected by the first load cell 42A. The detected value of the first load cell 42A is output to the control device 40. Control device 40 compares the detected value with a reference value, that is, the load applied to first dancer roller 24A when traveling of wire 14 is in a steady state. As a result of the comparison, if the value detected by the first load cell 42A is smaller, in this case, the amount of wire 14 to be paid out from the first wire reel 12A is too large, From the first wire reel 12A is reduced in accordance with the amount of decrease (the difference between the reference value and the detected value) from the first wire reel 12A. That is, the rotation speed of the first motor 22A is reduced.
【００２８】一方、前記比較の結果、前記第１のロード
セル４２Ａによる検出値の方が大きかった場合、この場
合は、前記第１のワイヤリール１２Ａから繰り出すワイ
ヤ１４の繰出量が少なすぎる場合なので、前記基準値か
らの増加分に応じて前記第１のワイヤリール１２Ａから
繰り出すワイヤ１４の繰出量を増加させる。すなわち、
前記第１のモータ２２Ａの回転速度を速くする。On the other hand, as a result of the comparison, if the value detected by the first load cell 42A is larger, in this case, the amount of the wire 14 to be paid out from the first wire reel 12A is too small. The amount of wire 14 to be paid out from the first wire reel 12A is increased in accordance with the increase from the reference value. That is,
The rotation speed of the first motor 22A is increased.
【００２９】このように、第１のダンサローラ２４Ａに
係る荷重変動に応じて前記第１のワイヤリール１２Ａか
ら繰り出すワイヤ１４の繰出量を増減することにより、
第１のダンサローラ２４Ａが動きだす前にワイヤ１４の
走行安定化が図れ、極めて応答性の高いワイヤ走行制御
が可能になる。なお、この方法でワイヤ１４の走行制御
を行った場合、第１のダンサローラ２４Ａの荷重変動に
対する第１のワイヤリール１２Ａからのワイヤ繰出量が
適正でないと、結果として、第１のワイヤリール２４Ａ
が動きだすこととなるが、この場合は、従来通り、第１
のダンサローラ２４Ａの基準点からの変位量に基づいて
第１のワイヤリール１２Ａからのワイヤ繰出量を調整す
る。As described above, by increasing or decreasing the amount of the wire 14 to be paid out from the first wire reel 12A in accordance with the change in the load on the first dancer roller 24A,
Before the first dancer roller 24A starts to move, the running of the wire 14 can be stabilized, and a very responsive wire running control becomes possible. When the traveling control of the wire 14 is performed by this method, if the wire feeding amount from the first wire reel 12A with respect to the load variation of the first dancer roller 24A is not appropriate, as a result, the first wire reel 24A
Will start to move, but in this case, the first
The wire feed amount from the first wire reel 12A is adjusted based on the displacement amount of the dancer roller 24A from the reference point.
【００３０】第２のワイヤリール１２Ｂにおけるワイヤ
１４の巻取量の調整も、上述した第１のワイヤリール１
２Ａの場合と同様の操作で行う。すなわち、第２のダン
サローラ２４Ｂにかかる荷重の変動に応じて、前記第２
のワイヤリール１２Ｂで巻き取るワイヤ１４の巻取量を
増減させる。このように、本実施の形態のワイヤ走行制
御装置によれば、瞬時的にワイヤ１４が撓んだような場
合であっても、迅速にワイヤ１４の走行安定化を図るこ
とができる。また、その構成もきわめてシンプルであ
る。The adjustment of the winding amount of the wire 14 on the second wire reel 12B is also performed by the first wire reel 1B.
Perform the same operation as in 2A. That is, the second dancer roller 24B changes the second
The winding amount of the wire 14 wound by the wire reel 12B is increased or decreased. As described above, according to the wire traveling control device of the present embodiment, even when the wire 14 is instantaneously bent, the traveling of the wire 14 can be quickly stabilized. The configuration is also very simple.
【００３１】なお、本実施の形態では、ダンサローラに
かかる荷重変動からワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を調整するようにしたが、ガイドローラ１６にかか
る荷重の変動からワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻取
量を調整するようにしても同様の制御を行なうことがで
きる。この場合、ロードセルはワイヤ列２０の両側に形
成されている各ワイヤ走行路中の１つのガイドローラに
設置する。In the present embodiment, the wire reeling-out amount or the winding amount of the wire reel is adjusted based on the variation in the load applied to the dancer roller. Alternatively, the same control can be performed by adjusting the winding amount. In this case, the load cells are installed on one guide roller in each wire running path formed on both sides of the wire row 20.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダンサローラ又はガイドローラにかかる荷重を検出し、
その検出値に応じてワイヤリールのワイヤ繰出量又は巻
取量を調整しているので応答性の高いワイヤ走行制御を
行うことができる。As described above, according to the present invention,
Detects the load on the dancer roller or guide roller,
Since the wire reeling-out amount or the winding amount of the wire reel is adjusted according to the detected value, it is possible to perform highly responsive wire running control.
【図１】本発明に係るワイヤ走行制御装置が適用された
ワイヤソーの全体構成図FIG. 1 is an overall configuration diagram of a wire saw to which a wire travel control device according to the present invention is applied.
【図２】図１の要部拡大図FIG. 2 is an enlarged view of a main part of FIG. 1;
１０…ワイヤソー １２Ａ…第１のワイヤリール １２Ｂ…第２のワイヤリール １４…ワイヤ １６…ガイドローラ １８…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２２Ａ…第１のモータ ２２Ｂ…第２のモータ ２４Ａ…第１のダンサローラ ２４Ｂ…第２のダンサローラ ２６Ａ…第１のデッドウェイト ２６Ｂ…第２のデッドウェイト ２８…インゴット ３４Ａ…第１の変位検出装置 ３４Ｂ…第２の変位検出装置 ４０…制御装置 ４２Ａ…第１のロードセル ４２Ｂ…第２のロードセル DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Wire saw 12A ... 1st wire reel 12B ... 2nd wire reel 14 ... Wire 16 ... Guide roller 18 ... Grooved roller 20 ... Wire row 22A ... 1st motor 22B ... 2nd motor 24A ... 1st Dancer roller 24B Second dancer roller 26A First dead weight 26B Second dead weight 28 Ingot 34A First displacement detection device 34B Second displacement detection device 40 Control device 42A First load cell 42B ... second load cell
Claims (2)
リールとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻
きかけてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加
工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、 前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置
され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間
を走行するワイヤに所定の張力を与えるダンサローラ
と、 前記ダンサローラに設けられ、該ダンサローラにかかる
荷重を検出する荷重検出器と、 前記荷重検出器の検出値に応じて前記ワイヤリールのワ
イヤ繰出量又は巻取量を可変するように前記ワイヤリー
ルを制御する制御装置と、からなることを特徴とするワ
イヤソーのワイヤ走行制御装置。1. A processing fluid including a wire row formed by winding a wire running between a wire reel on a pay-out side and a wire reel on a winding side around a plurality of grooved rollers, the wire row including abrasive grains. By pressing the workpiece while supplying
In a wire saw for cutting the workpiece into a large number of wafers, a wire saw is provided between the wire reel and the plurality of grooved rollers, and a wire running between the wire reel and the plurality of grooved rollers has a predetermined shape. A dancer roller that applies tension to the dancer roller; a load detector that is provided on the dancer roller and detects a load applied to the dancer roller; and varies a wire feeding amount or a winding amount of the wire reel according to a detection value of the load detector. And a controller for controlling the wire reel as described above.
リールとの間を走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻
きかけてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加
工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、
該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
いて、 前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間に設置
され、前記ワイヤリールと前記複数の溝付ローラとの間
を走行するワイヤをガイドするガイドローラと、 前記ガイドローラに設けられ、該ガイドローラにかかる
荷重を検出する荷重検出器と、 前記荷重検出器の検出値に応じて前記ワイヤリールのワ
イヤ繰出量又は巻取量を可変するように前記ワイヤリー
ルを制御する制御装置と、からなることを特徴とするワ
イヤソーのワイヤ走行制御装置。2. A processing fluid including a wire row formed by winding a wire running between a wire reel on a pay-out side and a wire reel on a take-up side around a plurality of grooved rollers, the wire row including abrasive grains. By pressing the workpiece while supplying
In a wire saw for cutting the workpiece into a large number of wafers, a wire saw installed between the wire reel and the plurality of grooved rollers guides a wire running between the wire reel and the plurality of grooved rollers. A guide roller that is provided on the guide roller, a load detector that detects a load applied to the guide roller, and a wire feeding amount or a winding amount of the wire reel that varies according to a detection value of the load detector. And a controller for controlling the wire reel as described above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27963696A JPH10119031A (en) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | Wire running controlling device of wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27963696A JPH10119031A (en) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | Wire running controlling device of wire saw |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10119031A true JPH10119031A (en) | 1998-05-12 |
Family
ID=17613749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27963696A Pending JPH10119031A (en) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | Wire running controlling device of wire saw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10119031A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-10-22 JP JP27963696A patent/JPH10119031A/en active Pending
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