JPH10118600A - Fluid injection device and washing and drying device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To inject a washing liquid and drying air evenly to the inner sides and edges of vessels by injecting fluid toward the inside surfaces of the vessels in a headstand state while rotating >=3 pieces of vessel holding members which have peripheral surfaces of the diameter decreasing from the base parts toward the front ends and are arranged radially within a horizontal plane. SOLUTION: This fluid injection device hold six pieces of the vessel holding members 1 rotatably around their axial lines as the center of rotation and radially within the horizontal plane on a pedestal 2. Annular taper surfaces 1c are disposed between the cylindrical surfaces 1a of the vessel holding members 1 and the outer peripheral parts of the annular members 1b. Nozzles 31 spout various kinds of liquids, such as medicinal liquids and detergent liquids, or various kinds of gases, such as air, to wash a crucible. At this time, this crucible is rotated, by which the edges of the vessel are prevented from being covered by the vessel holding members 1 at all times while the inside surface of the vessel is kept washed. The edges are exposed together with rotation of the vessel. The water or the washing liquid is thereby made to flow at the edge as well, by which the edge are washed over the entire part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体噴射装置及び
洗浄乾燥装置に関し、特に容器の内側に硫酸若しくはフ
ッ化水素酸等の無機酸、水、洗浄剤等の洗浄液を噴射し
てこの容器の内側を洗浄するのに用いられる流体噴射装
置、及び乾燥空気を噴射してこの容器の内側を乾燥する
のに用いられる流体噴射装置、並びにこれらを組み合わ
せて容器の内側を洗浄し、乾燥することのできる洗浄乾
燥装置に関する。本発明は、中でも、シリコン単結晶を
製造するのに用いられる坩堝の内側に、硫酸若しくはフ
ッ化水素酸等の無機酸、水及び洗浄剤等の洗浄液を噴射
してこの坩堝の内側を洗浄するのに用いられる流体噴射
装置、洗浄後の坩堝の内側に乾燥空気を噴射してこの坩
堝の内側を乾燥するのに用いられる流体噴射装置、並び
にこれらを組み合わせて容器の内側を洗浄し、乾燥する
ことのできる洗浄乾燥装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid ejecting apparatus and a washing / drying apparatus, and more particularly to an apparatus for ejecting a cleaning liquid such as an inorganic acid such as sulfuric acid or hydrofluoric acid, water, and a cleaning agent into a container. A fluid ejecting device used to clean the inside, and a fluid ejecting device used to inject dry air to dry the inside of the container, and a combination thereof to wash and dry the inside of the container. The present invention relates to a washing and drying apparatus that can be used. The present invention cleans the inside of the crucible by spraying a cleaning liquid such as an inorganic acid such as sulfuric acid or hydrofluoric acid, water, and a cleaning agent into the inside of a crucible used for manufacturing a silicon single crystal, among others. A fluid ejecting apparatus used to dry the inside of the crucible by injecting dry air into the crucible after the washing, and a fluid ejecting apparatus used to dry the inside of the crucible; The present invention relates to a washing / drying apparatus that can perform the cleaning.

【０００２】[0002]

【従来の技術】引上げ法でシリコン単結晶を製造する際
には、シリコン多結晶及びドーピング剤を坩堝に投入し
て溶解し、溶解したシリコンに種結晶を接触させてゆっ
くりと引き上げるという方法によって製造されている。2. Description of the Related Art When producing a silicon single crystal by a pulling method, a polycrystalline silicon and a doping agent are put into a crucible and dissolved, and a seed crystal is brought into contact with the dissolved silicon and slowly pulled up. Have been.

【０００３】そして、前記の坩堝は、シリコン単結晶を
製造後、まずフッ化水素酸及び硫酸で洗浄され、次いで
純水で洗浄され、その後乾燥される。[0003] After manufacturing a silicon single crystal, the crucible is washed with hydrofluoric acid and sulfuric acid, then with pure water, and then dried.

【０００４】このような坩堝を自動的に洗浄する装置に
ついては、従来から各種検討されてきた。[0004] Various devices for automatically cleaning such crucibles have been studied.

【０００５】このような洗浄装置の一例を図１４に示
す。この洗浄装置は、坩堝をその上に伏せた状態で載せ
ることができるように固定された坩堝載置部材１’と、
この坩堝載置部材１’に対して回転可能なように取りつ
けた流体噴射手段３’とを有している。尚、図１４中１
００は坩堝を示す。FIG. 14 shows an example of such a cleaning apparatus. The cleaning device includes a crucible placing member 1 ′ fixed so that the crucible can be placed on the crucible in a state of being placed on the crucible,
Fluid injection means 3 'rotatably attached to the crucible mounting member 1'. In addition, 1 in FIG.
00 indicates a crucible.

【０００６】流体噴射手段３’は、前記坩堝載置部材
１’に載せられた坩堝の内側に洗浄液を噴射するノズル
３１’と前記ノズル３１’に噴射すべき流体を供給する
流体供給手段３２’とを有する。[0006] The fluid ejecting means 3 'includes a nozzle 31' for ejecting a cleaning liquid inside the crucible placed on the crucible placing member 1 'and a fluid supply means 32' for supplying a fluid to be ejected to the nozzle 31 '. And

【０００７】坩堝載置部材１’は、台座２’に固定され
ており、流体供給手段３２’は台座２’に回転可能に取
り付けられている。台座２’には、流体供給手段３２’
を回転させる駆動手段４’が取り付けられている。The crucible placing member 1 'is fixed to the pedestal 2', and the fluid supply means 32 'is rotatably mounted on the pedestal 2'. The pedestal 2 'has fluid supply means 32'
A driving means 4 ′ for rotating the is mounted.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の洗浄装
置においては、坩堝載置部材と坩堝の縁とが当接する箇
所に洗浄液が中々届かなかったので、坩堝の縁のこの部
分が洗浄されないままになってしまうことが多かった。However, in the above-described cleaning apparatus, since the cleaning liquid does not reach the portion where the crucible placing member and the edge of the crucible abut, the portion of the edge of the crucible is not cleaned. It was often the case.

【０００９】本発明の目的は、容器の内側に硫酸若しく
はフッ化水素酸等の無機酸、水、洗浄剤等の洗浄液を噴
射してこの容器の内側及び縁部を洗浄するのに用いられ
る流体噴射装置を提供することにある。An object of the present invention is to spray a cleaning liquid such as an inorganic acid such as sulfuric acid or hydrofluoric acid, water, or a cleaning agent into the inside of a container to clean the inside and the edge of the container. An object of the present invention is to provide an injection device.

【００１０】本発明の目的は、乾燥空気を噴射してこの
容器の内側及び縁を乾燥するのに用いられる乾燥装置と
して有用な流体噴射装置を提供することにある。[0010] It is an object of the present invention to provide a fluid ejecting apparatus useful as a drying apparatus which is used for drying the inside and the edge of the container by ejecting dry air.

【００１１】本発明の目的は、前記流体噴射装置と前記
乾燥装置として使用される流体噴射装置とを組み合わせ
て容器の内側及び縁を洗浄し、乾燥することのできる洗
浄乾燥装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a cleaning / drying apparatus capable of cleaning and drying the inside and the edge of a container by combining the fluid ejecting apparatus and the fluid ejecting apparatus used as the drying apparatus. is there.

【００１２】本発明の目的は、シリコン単結晶を製造す
るのに用いられる坩堝の内側に、硫酸若しくはフッ化水
素酸等の無機酸、水及び洗浄剤等の洗浄液を噴射してこ
の坩堝の内側及び縁を完全に洗浄することのできる流体
噴射装置を提供することにある。An object of the present invention is to spray a cleaning liquid such as an inorganic acid such as sulfuric acid or hydrofluoric acid, water and a cleaning agent into the inside of a crucible used for manufacturing a silicon single crystal. Another object of the present invention is to provide a fluid ejecting apparatus capable of completely cleaning an edge.

【００１３】本発明の目的は、洗浄後の坩堝の内側に乾
燥空気を噴射してこの坩堝の内側及び縁部を乾燥する乾
燥装置として用いられる流体噴射装置を提供することに
ある。An object of the present invention is to provide a fluid ejecting apparatus which is used as a drying apparatus for injecting dry air into a crucible after washing to dry the inside and the edge of the crucible.

【００１４】本発明の目的は、シリコン単結晶を製造す
るのに用いられる坩堝の内側及び縁部を完全に洗浄し、
乾燥することのできる洗浄乾燥装置特に坩堝洗浄乾燥装
置を提供することにある。An object of the present invention is to completely clean the inside and the edge of a crucible used to produce a silicon single crystal,
An object of the present invention is to provide a washing / drying apparatus which can be dried, particularly a crucible washing / drying apparatus.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決すること
を目的とする手段は、（１） その軸線を回転中心にし
て回転可能に保持され、その基部から先端部に向かって
直径が縮小する周面を有し、且つ水平面内で放射状に配
置された３本以上の容器保持部材と、前記容器保持部材
を回転させる駆動手段と、上記容器保持部材によって保
持された倒立状態の容器の内面に向かって流体を噴射す
る流体噴射手段とを備えてなることを特徴とする流体噴
射装置であり、（２） 前記容器保持部材は、その基部
から先端部に向かって段階的に直径が縮小する２以上の
円筒面を有している前記（１）に記載の流体噴射装置で
あり、（３） 前記容器保持部材は、それによって保持
されている容器の位置がずれるのを防止する鍔状部材を
前記周面上に有している前記（１）に記載の流体噴射装
置であり、（４） 前記容器保持部材は、それによって
保持されている容器の位置がずれるのを防止する鍔状部
材を前記周面上に有し、且つ前記鍔状部材と前記周面と
の間には環状テーパー面が形成されてなる前記（１）に
記載の流体噴射装置であり、（５） 前記容器保持部材
は、前記１の容器保持部材の軸線が属する垂直面に対し
て他の容器保持部材が互いに面対称になるように配置さ
れている前記（１）に記載の流体噴射装置であり、
（６） 前記容器保持部材は６本設けられてなる前記
（１）に記載の流体噴射装置であり、（７） 前記容器
保持部材は、それが有する軸線を回転中心にして回転可
能に、且つ水平面内に放射状に配置されるように、前記
容器保持部材を保持する台座に保持されてなる前記
（１）に記載の流体噴射装置であり、（８） 前記駆動
手段は、回転力を発生する回転原動機と、この回転原動
機で発生した回転力を前記容器保持部材に伝達する回転
力伝達部材とを有してなる前記（１）に記載の流体噴射
装置であり、（９） 前記流体噴射手段は、上記容器保
持部材によって保持された容器の内面に向かって流体を
噴射するノズルと、前記ノズルに流体を供給する流体供
給手段とを有してなる前記（１）に記載の流体噴射装置
であり、（１０） その軸線を回転中心にして回転可能
に保持され、その基部から先端部に向かって直径が縮小
する周面を有し、且つ水平面内で放射状に配置された３
本以上の容器保持部材と、前記容器保持部材を回転させ
る駆動手段と、上記容器保持部材によって保持された倒
立状態の容器の内面に向かって洗浄液を噴射する洗浄液
噴射手段とを備えてなる洗浄液噴射装置と、その軸線を
回転中心にして回転可能に保持され、その基部から先端
部に向かって直径が縮小する周面を有し、且つ水平面内
で放射状に配置された３本以上の容器保持部材と、前記
容器保持部材を回転させる駆動手段と、上記容器保持部
材によって保持された倒立状態の容器の内面に向かって
気体を噴射する気体噴射手段とを備えてなる気体噴射装
置と、容器を前記洗浄液噴射装置における容器保持部材
に容器を載置し、洗浄後の容器を前記容器保持部材から
取り出して前記気体噴射装置における容器保持部材に容
器を載置し、乾燥後の容器を前記容器保持部材から取り
出す容器搬送装置とを有してなることを特徴とする洗浄
乾燥装置である。Means for solving the above-mentioned problems are as follows: (1) It is held so as to be rotatable around its axis, and its diameter decreases from its base toward its tip. Three or more container holding members having a peripheral surface and radially arranged in a horizontal plane, driving means for rotating the container holding member, and an inner surface of the inverted container held by the container holding member A fluid ejecting means for ejecting the fluid toward the fluid ejecting device, wherein (2) the container holding member has a diameter gradually decreasing from a base to a tip thereof. The fluid ejecting apparatus according to the above (1), which has the above-described cylindrical surface, (3) the container holding member includes a flange-shaped member that prevents a position of a container held by the container from shifting. Have on the peripheral surface (4) The container holding member has a flange-shaped member on the peripheral surface for preventing a position of a container held by the container holding member from shifting, and The fluid ejecting apparatus according to (1), wherein an annular tapered surface is formed between the flange-shaped member and the peripheral surface. (5) The container holding member may be configured as the container holding member according to (1). The fluid ejecting apparatus according to (1), wherein the other container holding members are arranged so as to be plane-symmetric with respect to a vertical plane to which the axis belongs,
(6) The fluid ejecting apparatus according to (1), wherein the six container holding members are provided. (7) The container holding member is rotatable around an axis of the container holding member, and The fluid ejecting apparatus according to the above (1), wherein the fluid ejecting apparatus is held on a pedestal holding the container holding member so as to be radially arranged in a horizontal plane, and (8) the driving unit generates a rotational force. (9) The fluid ejection device according to (1), further including: a rotating motor; and a rotating force transmitting member that transmits a rotating force generated by the rotating motor to the container holding member. The fluid ejecting apparatus according to (1), further including: a nozzle that ejects a fluid toward an inner surface of the container held by the container holding member; and a fluid supply unit that supplies a fluid to the nozzle. Yes, (10) the axis Is rolling center to rotatably held, has a circumferential surface that reduces in diameter toward the tip portion from the base portion, it was and arranged radially in a horizontal plane 3
A cleaning liquid sprayer comprising: at least one container holding member; driving means for rotating the container holding member; and cleaning liquid jetting means for jetting a cleaning liquid toward an inner surface of the inverted container held by the container holding member. Apparatus and three or more container holding members rotatably held about the axis thereof, having a peripheral surface whose diameter decreases from the base to the tip, and radially arranged in a horizontal plane A driving means for rotating the container holding member, a gas injection device comprising gas injection means for injecting gas toward the inner surface of the inverted container held by the container holding member, and the container The container is placed on the container holding member in the cleaning liquid ejecting apparatus, the container after cleaning is taken out from the container holding member, and the container is placed on the container holding member in the gas ejecting apparatus, and dried. Is a container washing drying apparatus characterized by comprising and a vessel conveying device to take out from the container holding member.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】図１は、本発明の流体噴射装置の
一実施例を示す斜視図であり、図２は、図１に示された
流体噴射装置における台座の内部構造を示す部分切断図
である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a fluid ejecting apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a partial cutaway showing an internal structure of a base in the fluid ejecting apparatus shown in FIG. FIG.

【００１７】図１の流体噴射装置においては、６本の容
器保持部材１が、その軸線を回転中心にして回転可能
に、且つ水平面内に放射状に台座２に保持されている。
そして、隣り合った容器保持部材１の軸線同士のなす角
度は、どの隣り合った容器保持部材１においても６０°
である。このように、複数の容器保持部材１が、隣り合
う容器保持部材同士の中心角が６０度になるように、各
容器保持部材１の配置関係が決定されているので、逆さ
まに伏せたような状態の容器たとえば坩堝が、放射状に
配置された容器保持部材１上に、安定に配置されること
になる。In the fluid ejecting apparatus shown in FIG. 1, six container holding members 1 are rotatably supported on the pedestal 2 in a horizontal plane so as to be rotatable about their axes.
The angle between the axes of the adjacent container holding members 1 is 60 ° in any of the adjacent container holding members 1.
It is. As described above, since the arrangement relationship of the plurality of container holding members 1 is determined such that the central angle between the adjacent container holding members is 60 degrees, the container holding members 1 may be turned upside down. The container in the state, for example, the crucible, is stably arranged on the container holding member 1 arranged radially.

【００１８】容器保持部材１は、その基部すなわち台座
２側の端部から先端部に向かって段階的に直径が縮小す
る５つの円筒面１ａと、隣接する２つの円筒面１ａの間
に１つづつ設けられた、容器保持部材１によって保持さ
れている容器の位置がずれるのを防止する４つの鍔状部
材１ｂを有している。そして、前記円筒面１ａと前記鍔
状部材１ｂの外周部との間には、環状テーパー面１ｃが
設けられている。The container holding member 1 has five cylindrical surfaces 1a whose diameters gradually decrease from the base, that is, the end on the side of the pedestal 2 toward the front end, and one between two adjacent cylindrical surfaces 1a. It has four flange-shaped members 1b provided to prevent the position of the container held by the container holding member 1 from being shifted. An annular tapered surface 1c is provided between the cylindrical surface 1a and the outer periphery of the flange-shaped member 1b.

【００１９】図２に示されるように、容器保持部材１に
は、それぞれ、その中心に第２の駆動軸１１が固定され
ており、各容器保持部材１の軸線と、これに固定されて
いる第２の駆動軸の中心とはそれぞれ実質的に一致して
いる。そして、第２の駆動軸１１は台座２に回転可能に
支持されている。これによって、容器保持部材１は、そ
れぞれ、その軸線を回転中心にして回転可能に台座２に
保持される。As shown in FIG. 2, a second drive shaft 11 is fixed to the center of each of the container holding members 1, and the axis of each of the container holding members 1 is fixed to the second driving shaft 11. The centers of the second drive shafts respectively substantially coincide with each other. The second drive shaft 11 is rotatably supported by the pedestal 2. Thereby, the container holding members 1 are each held on the pedestal 2 so as to be rotatable about the axis thereof.

【００２０】第２の駆動軸１１においては、容器保持部
材１の基部に対応する部分に段差１１’が設けられてい
る。そして、この段差１１’を境として、第２の駆動軸
１１では、容器保持部材１に貫通する部分の直径が、容
器保持部材１に貫通しない台座２寄りの部分の直径より
も一段と小さくなっている。容器保持部材１の中心に
は、第２の駆動軸１１の容器保持部材１に貫通する部分
の直径と実質的に等しい内径の貫通孔が開けられてい
る。したがって、容器保持部材１が、前記段差１１’よ
りも台座２寄りに移動することがこれによって防止され
る。In the second drive shaft 11, a step 11 ′ is provided at a portion corresponding to the base of the container holding member 1. With the step 11 ′ as a boundary, in the second drive shaft 11, the diameter of the portion penetrating the container holding member 1 is smaller than the diameter of the portion near the pedestal 2 that does not penetrate the container holding member 1. I have. At the center of the container holding member 1, a through hole having an inner diameter substantially equal to the diameter of a portion of the second drive shaft 11 penetrating the container holding member 1 is formed. Therefore, the container holding member 1 is prevented from moving closer to the pedestal 2 than the step 11 '.

【００２１】第２の駆動軸１１の容器保持部材１に貫通
する部分の長さすなわち貫通部分長さは、容器保持部材
１そのものの長さよりも長くなっており、且つこの駆動
軸１１の先端部１１”には螺子が切られている。したが
って、容器保持部材１の貫通孔に第２の駆動軸１１を挿
入すると、前記駆動軸１１の先端部１１”は容器保持部
材１の先端部から突出する。そして、この部分には固定
ナット１３が取り付けられている。これによって、第２
の駆動軸１１は容器保持部材１に固定され、第２の駆動
軸１１から容器保持部材１が抜け出て脱落することがな
い。The length of the portion of the second drive shaft 11 that penetrates the container holding member 1, that is, the length of the penetrating portion, is longer than the length of the container holding member 1 itself, and the tip of the drive shaft 11. 11 ″ is threaded. Therefore, when the second drive shaft 11 is inserted into the through hole of the container holding member 1, the tip 11 ″ of the drive shaft 11 projects from the tip of the container holding member 1. I do. A fixing nut 13 is attached to this portion. This allows the second
The drive shaft 11 is fixed to the container holding member 1 so that the container holding member 1 does not fall out of the second drive shaft 11 and fall off.

【００２２】台座２は、基板２１、側板２２及び上面板
２３を有しており、基板２１には、第２の駆動軸１１を
支持する支持部材２４が取り付けられている。基板２１
及び上面版２３のいずれも円板状である。前記支持部材
２４には、軸受け２５が取り付けられており、第２の駆
動軸１１は、軸受け２５を介して支持部材２４で支承さ
れている。The pedestal 2 has a substrate 21, a side plate 22 and an upper plate 23, and a support member 24 for supporting the second drive shaft 11 is attached to the substrate 21. Substrate 21
Each of the upper plate 23 and the upper plate 23 has a disk shape. A bearing 25 is attached to the support member 24, and the second drive shaft 11 is supported by the support member 24 via the bearing 25.

【００２３】基板２１には、更に、第１の駆動軸４１と
軸受け４３と第１の傘歯車４２とを有する回転伝達手段
を有するところの、容器保持部材１を回転させる駆動手
段４が設けられている。駆動手段４の内、第１の駆動軸
４１は軸受け４３を介して基板２１に回転可能に取り付
けられている。第１の駆動軸４１は、中空軸であり、図
示されないモーターによって回転するとともに、その先
端には第１の傘歯車４２が固定されている。一方、前記
第２の駆動軸１１の容器保持部材１が固定されている側
とは反対の端部にはそれぞれ第２の傘歯車１２が固定さ
れている。そしてそれぞれの第２の傘歯車１２は、前記
第１の傘歯車４２と噛み合っている。したがって、第１
の駆動軸４１が、図１及び図２において矢印で示すよう
に右回りに回転すると、第１の傘歯車４２も図２に示す
ように右回りに回転する。一方、第２の傘歯車１２は前
記第１の傘歯車４２と噛み合っているから、図２におい
て向かって左側に位置する第２の傘歯車１２は手前側に
回転し、向かって右側に位置する第２の傘歯車１２は向
こう側に回転する。これらの第２の傘歯車には第２の駆
動軸１１が固定され、第２の駆動軸１１には容器保持部
材１が固定されているから、やはり図２において矢印で
示すように、台座２の左側に位置する容器保持部材１は
手前側に回転し、台座２の右側に位置する容器保持部材
１は向こう側に回転する。したがって、６本の容器保持
部材１は、全てその先端部から見て右側に回転する。The substrate 21 is further provided with a driving means 4 for rotating the container holding member 1 having a rotation transmitting means having a first driving shaft 41, a bearing 43, and a first bevel gear 42. ing. The first drive shaft 41 of the drive means 4 is rotatably attached to the substrate 21 via the bearing 43. The first drive shaft 41 is a hollow shaft, is rotated by a motor (not shown), and has a first bevel gear 42 fixed to the end thereof. On the other hand, a second bevel gear 12 is fixed to an end of the second drive shaft 11 opposite to the side where the container holding member 1 is fixed. Each second bevel gear 12 meshes with the first bevel gear 42. Therefore, the first
When the drive shaft 41 rotates clockwise as shown by an arrow in FIGS. 1 and 2, the first bevel gear 42 also rotates clockwise as shown in FIG. On the other hand, since the second bevel gear 12 is meshed with the first bevel gear 42, the second bevel gear 12 located on the left side in FIG. 2 rotates forward and is located on the right side in FIG. The second bevel gear 12 rotates away. Since the second drive shaft 11 is fixed to these second bevel gears and the container holding member 1 is fixed to the second drive shaft 11, the pedestal 2 is also fixed as shown by the arrow in FIG. The container holding member 1 located on the left side of the base 2 rotates forward, and the container holding member 1 located on the right side of the pedestal 2 rotates away. Therefore, all the six container holding members 1 rotate rightward when viewed from the tip.

【００２４】図１及び図２に示された本発明の流体噴射
装置の実施例においては、流体噴射手段３は、流体供給
管３２及びノズル３１を備えている。そして、流体供給
管３２は、前記第１の駆動軸の内側を通り、前記台座２
の上面板２３に直立した状態で固定されている。In the embodiment of the fluid ejecting apparatus of the present invention shown in FIGS. 1 and 2, the fluid ejecting means 3 includes a fluid supply pipe 32 and a nozzle 31. Then, the fluid supply pipe 32 passes through the inside of the first drive shaft, and
Is fixed to the upper surface plate 23 in an upright state.

【００２５】ノズル３１は、水、薬液、洗浄液等の各種
液体又は空気等の各種気体を噴出させるのに通常に用い
られるノズルであり、流体供給管３２の周囲に縦方向に
４列に並べて取り付けられている。ノズル３１の隣り合
う列は、１／４周づつ隔たるように配置されている。そ
して、隣り合う列同士の間では位置が互い違いになるよ
うに、ノズル３１が配置されている。更に、流体供給管
３２の頂部にもノズル３１が取り付けられている。The nozzle 31 is a nozzle normally used for ejecting various liquids such as water, chemicals, and cleaning liquids, or various gases such as air, and is attached around the fluid supply pipe 32 in four rows in the vertical direction. Have been. Adjacent rows of the nozzles 31 are arranged so as to be separated by 1/4 turn. The nozzles 31 are arranged so that the positions are alternated between adjacent rows. Further, the nozzle 31 is also attached to the top of the fluid supply pipe 32.

【００２６】図３は、図１及び図２に示された流体噴射
装置で容器特に坩堝を洗浄しているところを示す概略図
である。図３においては、坩堝については縦断面を示し
て、水又は洗浄液がノズル３１から坩堝の内面に噴射さ
れる様子が示されるようにした。尚、図３及び図８〜１
３において１００は坩堝を示す。FIG. 3 is a schematic view showing a container, especially a crucible, being cleaned by the fluid ejecting apparatus shown in FIGS. In FIG. 3, the crucible is shown in a vertical cross section so that water or a cleaning liquid is sprayed from the nozzle 31 onto the inner surface of the crucible. 3 and FIGS.
In 3, 100 indicates a crucible.

【００２７】図３に示されるように、洗浄しようとする
坩堝は、６本の容器保持部材１の上に平均に載るよう
に、且つ伏せた状態で載置される。As shown in FIG. 3, the crucibles to be cleaned are placed on the six container holding members 1 so as to be placed on an average and face down.

【００２８】第１の駆動軸４１を右回りに回転させる
と、向かって左側の容器保持部材１は手前側に回転し、
向かって右側の容器保持部材１は向こう側に回転する。
したがって、容器保持部材１の上に載置された坩堝は左
回りに回転する。When the first drive shaft 41 is rotated clockwise, the container holding member 1 on the left side rotates forward,
The container holding member 1 on the right side rotates toward the other side.
Therefore, the crucible placed on the container holding member 1 rotates counterclockwise.

【００２９】坩堝が回転することにより、坩堝の開口部
の縁つまり縁部が、回転する容器保持部材の円筒面上を
通過しては他の容器保持部材の円筒面上に至り、そして
その円筒面上も通過する。したがって、容器の内面を洗
浄している間、容器の縁部が容器保持部材１により終始
覆われることがなく、容器の回転と共に縁部が露出す
る。よって、この縁部にも水又は洗浄液が流れることに
より、縁部全体が洗浄されることになる。As the crucible rotates, the edge of the opening of the crucible, that is, the edge, passes on the cylindrical surface of the rotating container holding member, reaches the cylindrical surface of the other container holding member, and then moves to the cylindrical surface. It also passes on the surface. Therefore, while the inner surface of the container is being washed, the edge of the container is not always covered by the container holding member 1, and the edge is exposed as the container rotates. Therefore, when the water or the cleaning liquid flows also to the edge, the entire edge is washed.

【００３０】一方、流体噴射手段３並びにこれが備える
ノズル３１及び流体供給管３２は台座２に対して固定さ
れている。On the other hand, the fluid ejecting means 3 and the nozzles 31 and fluid supply pipes 32 provided therein are fixed to the base 2.

【００３１】したがって、上述したように坩堝が容器保
持部材１によって回転するに従い、坩堝の内面及び縁部
全体に水又は洗浄液が供給されて洗浄が行われる。Therefore, as described above, as the crucible is rotated by the container holding member 1, water or a cleaning liquid is supplied to the inner surface and the entire edge of the crucible to perform cleaning.

【００３２】なお、図１〜３に示される容器保持部材１
がこの発明における容器保持部材に相当し、第１の駆動
軸４１と軸受け４３と第１の傘歯車４２とを有する回転
伝達手段およびこの回転伝達手段を介して容器保持部材
１に回転運動を与える駆動源がこの発明における駆動手
段に相当し、流体供給管３２及びノズル３１がこの発明
における流体噴射手段に相当する。なお、この発明にお
ける流体噴射手段は容器保持部材によって保持された倒
立状態の容器の内面に向かって流体たとえば洗浄液を噴
射する全体的構造であると考えるときには、流体噴射手
段は、流体供給管３２、ノズル３１、流体供給管３２中
に流体を供給する図示しない流体供給手段たとえば流体
を輸送する配管及びこの配管中に流体を圧出する流体供
給源を有する全体構成であると言える。The container holding member 1 shown in FIGS.
Corresponds to the container holding member of the present invention, and has a rotation transmitting means having a first drive shaft 41, a bearing 43, and a first bevel gear 42, and imparts rotational movement to the container holding member 1 via the rotation transmitting means. The driving source corresponds to the driving means in the present invention, and the fluid supply pipe 32 and the nozzle 31 correspond to the fluid ejecting means in the present invention. When the fluid ejecting means in the present invention is considered to have an overall structure for ejecting a fluid, for example, a cleaning liquid, toward the inner surface of the inverted container held by the container holding member, the fluid ejecting means includes a fluid supply pipe 32, It can be said that the overall configuration includes a fluid supply unit (not shown) for supplying a fluid to the nozzle 31 and the fluid supply pipe 32, for example, a pipe for transporting the fluid, and a fluid supply source for forcing the fluid into the pipe.

【００３３】以上、本発明に係る流体噴射装置の一実施
例について説明してきたが、本発明に係る流体噴射装置
は上記の態様には限定されない。Although the embodiment of the fluid ejecting apparatus according to the present invention has been described above, the fluid ejecting apparatus according to the present invention is not limited to the above embodiment.

【００３４】以下、本発明に係る流体噴射装置が備える
各要素について詳細に説明する。Hereinafter, each element of the fluid ejecting apparatus according to the present invention will be described in detail.

【００３５】この発明における容器保持部材は、内面を
洗浄又は乾燥しようとする容器を伏せた状態で保持し、
且つこの容器を伏せた状態を保ちつつ回転させる部材で
ある。ここで容器には、坩堝の他、椀、丼、グラス、及
びカップのような食器類も含まれる。The container holding member according to the present invention holds the container whose inner surface is to be cleaned or dried in a prone state,
And it is a member for rotating this container while keeping it in a prone state. Here, the container includes not only a crucible but also tableware such as a bowl, a bowl, a glass, and a cup.

【００３６】容器保持部材は、基部から先端部に向かっ
て直径が縮小する周面を有している。このような容器保
持部材の一例として、前記の実施例で示したような、そ
の基部から先端部に向かって段階的に直径が縮小する５
つの円筒面と、隣接する２つの円筒面の間に１つづつ設
けられた４つの鍔状部材、及び前記円筒面と前記鍔状部
材との間に設けられた環状テーパー面を有する容器保持
部材がある。ここで、鍔状部材は、容器保持部材によっ
て保持されている容器の位置がずれるのを防止する働き
を有しており、容器保持部材の軸線に垂直な面に対して
平行に設けられている。The container holding member has a peripheral surface whose diameter decreases from the base to the tip. As an example of such a container holding member, as shown in the above-described embodiment, the diameter gradually decreases from the base to the tip.
Container holding member having two cylindrical surfaces, four flange members provided one by one between two adjacent cylindrical surfaces, and an annular tapered surface provided between the cylindrical surface and the flange member There is. Here, the flange-shaped member has a function of preventing the position of the container held by the container holding member from shifting, and is provided in parallel with a plane perpendicular to the axis of the container holding member. .

【００３７】しかし、本発明においては、容器保持部材
は、前記実施例に示されたような態様には限定されな
い。However, in the present invention, the container holding member is not limited to the mode shown in the above embodiment.

【００３８】容器保持部材の他の例としては、その基部
から先端部に向かって段階的に直径が縮小する２以上の
円筒面と、その間に設けられた鍔状部材から構成されて
おり、且つ、容器保持部材の軸線が属する平面で切った
前記鍔状部材の断面が略半円形であるような態様も可能
である。Another example of the container holding member is composed of two or more cylindrical surfaces whose diameter gradually decreases from the base to the tip, and a flange-shaped member provided therebetween. A mode is also possible in which the cross section of the flange-shaped member cut by a plane to which the axis of the container holding member belongs is substantially semicircular.

【００３９】この鍔状部材は、容器保持部材のある円筒
面に接する容器の縁が洗浄中に隣接する他の円筒面にず
れるのを防止する機能を有するのであればよいのである
から、容器保持部材の軸線が属する平面で切った前記鍔
状部材の断面が略半円形であることの外に種々の断面形
状の鍔部材が時に応じて設計されることができる。The collar-shaped member may have any function as long as it has a function of preventing the edge of the container in contact with the cylindrical surface of the container holding member from shifting to another adjacent cylindrical surface during cleaning. In addition to the fact that the cross section of the flange-shaped member cut by a plane to which the axis of the member belongs is substantially semicircular, flange members having various cross-sectional shapes can be designed as needed.

【００４０】又、基部から先端部に向かって段階的に直
径が縮小する２以上の円筒面の間に鍔状部材を設けない
態様の容器保持部材も好ましい。又、このような容器保
持部材において、隣り合う２つの円筒面の間に環状テー
パー面を設けた態様も好ましい。Further, a container holding member in which a flange-shaped member is not provided between two or more cylindrical surfaces whose diameter gradually decreases from the base portion to the tip portion is also preferable. Further, in such a container holding member, an embodiment in which an annular tapered surface is provided between two adjacent cylindrical surfaces is also preferable.

【００４１】更に、容器保持部材としては、基部から先
端部に向かって段階的に直径が縮小する２以上の円錐面
から構成された周面を有する態様も好ましい。又、この
態様において、隣り合う２つの円錐面の間に鍔状部材を
設けた態様の容器保持部材も好ましい。Further, it is preferable that the container holding member has a peripheral surface composed of two or more conical surfaces whose diameter gradually decreases from the base to the tip. In this aspect, a container holding member in which a flange-shaped member is provided between two adjacent conical surfaces is also preferable.

【００４２】容器保持部材としては、その基部から先端
部に向かって段階的に直径が縮小する周面を有する態様
の他、その基部から先端部に向かって連続的に直径が縮
小する周面を有する態様も好ましい。As the container holding member, in addition to a mode having a peripheral surface whose diameter gradually decreases from the base to the distal end, a peripheral surface whose diameter continuously decreases from the base to the distal end is used. The aspect which has is also preferable.

【００４３】このような態様の容器保持部材としては、
例えばその基部から先端部に向かって連続的に直径が縮
小する円錐面からなる周面を有する容器保持部材があ
る。As the container holding member of such an embodiment,
For example, there is a container holding member having a peripheral surface formed of a conical surface whose diameter continuously decreases from its base toward its tip.

【００４４】他には、その基部から先端部に向かって連
続的に直径が縮小する凹曲面からなる周面を有する容器
保持部材、及びその基部から先端部に向かって連続的に
直径が縮小する凸曲面からなる周面を有する容器保持部
材がある。In addition, a container holding member having a peripheral surface formed of a concave curved surface whose diameter continuously decreases from its base to its tip, and its diameter continuously decreases from its base to its tip There is a container holding member having a peripheral surface formed of a convex curved surface.

【００４５】前記容器保持部材は、少なくとも１の容器
保持部材の軸線が属する垂直面に対して、残りの容器保
持部材が互いに面対称になるように配置されていること
が好ましい。そして、本発明の流体噴射装置が容器保持
部材を偶数本有する場合には、少なくとも１組の向かい
合う２本の容器保持部材の軸線が一致していることが好
ましい。本発明の流体噴射装置においては、容器保持部
材がこのように配置されていれば、容器が、常に安定し
て前記容器保持部材上で回転することができるからであ
る。The container holding member is preferably arranged such that the remaining container holding members are plane-symmetric with respect to a vertical plane to which the axis of at least one container holding member belongs. When the fluid ejecting apparatus of the present invention has an even number of container holding members, it is preferable that at least one pair of opposed container holding members have the same axis. This is because, in the fluid ejection device of the present invention, if the container holding member is arranged in this manner, the container can always stably rotate on the container holding member.

【００４６】本発明の流体噴射装置においては、容器保
持部材の本数は３本以上、好ましくは４〜１０本、より
好ましくは４〜８本、特に好ましくは４〜６本である。In the fluid ejecting apparatus of the present invention, the number of container holding members is 3 or more, preferably 4 to 10, more preferably 4 to 8, and particularly preferably 4 to 6.

【００４７】容器保持部材は、その軸線を回転中心とし
て回転可能に保持され、且つ、水平面内に放射状に配置
されていれば、どのように保持されていてもよい。The container holding member may be held in any manner as long as it is held rotatably about its axis as a center of rotation and is arranged radially in a horizontal plane.

【００４８】このような保持方法の一例として、前記の
実施例で示したように、容器保持部材の中心に駆動軸を
固定し、この駆動軸を台座に回転可能に保持するという
方法がある。As an example of such a holding method, as shown in the above embodiment, there is a method in which a drive shaft is fixed to the center of the container holding member, and this drive shaft is rotatably held on the base.

【００４９】ここで台座としては、例えば、前記の実施
例にあるように、容器保持部材を支持する支持部材と、
この支持部材を支持する基板とを備えてなる態様の台座
がある。Here, as the pedestal, for example, as in the above embodiment, a support member for supporting the container holding member,
There is a pedestal including a substrate that supports the support member.

【００５０】台座は、前記支持部材及び基板の他に、側
面を形成する側板及び上面を形成する上面板を有してい
てもよい。そして、前記支持部材は、基板に直接固定さ
れていてもよく、又側板を介して基板に固定されていて
もよい。The pedestal may have a side plate forming a side surface and an upper surface plate forming an upper surface in addition to the support member and the substrate. The support member may be directly fixed to the substrate, or may be fixed to the substrate via a side plate.

【００５１】前記側板と上面板とは、プレス成形等によ
って一体に形成されていてもよい。前記側板と上面板と
を一体として形成した態様の台座は、洗浄液として硫酸
及び／又はフッ化水素酸等の腐食性薬品を噴射する流体
噴射装置においては特に好ましい。The side plate and the top plate may be formed integrally by press molding or the like. The pedestal in which the side plate and the top plate are integrally formed is particularly preferable in a fluid ejecting apparatus which ejects a corrosive chemical such as sulfuric acid and / or hydrofluoric acid as a cleaning liquid.

【００５２】前記基板の形状としては、前記実施例で例
示された円板状の他、三角形、正方形、生五角形、正六
角形、正七角形、及び正八角形等の多角形状の形状も好
ましい。As the shape of the substrate, in addition to the disk shape exemplified in the above embodiment, a polygonal shape such as a triangle, a square, a raw pentagon, a regular hexagon, a regular heptagon, and a regular octagon is preferable.

【００５３】容器保持部材を保持する方法としては、前
記の方法の他、３本以上の軸状部材を水平面内に放射状
に延在させ、これらの軸状部材のそれぞれに容器保持部
材を回転可能に保持する方法も可能である。３本以上の
軸状部材を水平面内に放射状に延在させる態様として
は、これらの軸状部材が全て水平面内に放射状に配置さ
れるように、これらの軸状部材の一端部を固定すること
が挙げられる。軸状部材を固定する方法としては、継手
による固定、接着による固定、及び溶接による固定等が
ある。As a method for holding the container holding member, in addition to the above-described method, three or more shaft members are radially extended in a horizontal plane, and the container holding member can be rotated on each of these shaft members. Is also possible. As an embodiment in which three or more shaft members are radially extended in a horizontal plane, one end of these shaft members is fixed so that all of the shaft members are radially arranged in the horizontal plane. Is mentioned. As a method of fixing the shaft-shaped member, there are fixing by a joint, fixing by bonding, fixing by welding, and the like.

【００５４】又、前記の台座が有する支持部材に軸状部
材を固定し、これらの軸状部材のそれぞれに容器保持部
材を回転可能に保持してもよい。Further, a shaft-like member may be fixed to the support member of the pedestal, and the container holding member may be rotatably held by each of these shaft-like members.

【００５５】前記容器保持部材は、伏せた状態でその上
に載置された容器を回転させるべく、駆動手段によって
回転させられる。The container holding member is rotated by driving means so as to rotate the container placed thereon in a prone state.

【００５６】前記駆動手段は、回転力を発生する駆動源
例えば回転原動機を備えている。The driving means has a driving source for generating a rotational force, for example, a rotary motor.

【００５７】回転原動機としては、直流モーター、交流
モーター、空気モーター、油圧モーター、及び水圧モー
ター等が用いられる。As the rotary motor, a DC motor, an AC motor, an air motor, a hydraulic motor, a hydraulic motor, or the like is used.

【００５８】前記駆動手段においては、前記回転原動機
で発生した回転力を、回転力を伝達する回転伝達手段を
通して容器保持部材に伝達しているが、容器保持部材に
回転原動機の回転軸を直結してこの容器保持部材を直接
に回転させてもよい。In the driving means, the rotating force generated by the rotating motor is transmitted to the container holding member through the rotation transmitting means for transmitting the rotating force. The rotating shaft of the rotating motor is directly connected to the container holding member. The lever holding member may be directly rotated.

【００５９】回転伝達手段としては、例えば、前記実施
例に示されたような、先端に第１の傘歯車を有し、且つ
回転原動機によって回転する第１の駆動軸と、前記第１
の傘歯車に噛み合う第２の傘歯車を一端に有するととも
に前記第２の傘歯車からの回転力によって回転する、前
記容器保持部材に固定された第２の駆動軸とからなる回
転伝達手段がある。この回転伝達手段において、第１の
駆動軸は中空軸であっても中実軸であってもよい。そし
て第２の駆動軸も中空軸であっても中実軸であってもよ
い。又、第１の駆動軸は、台座の基板若しくは上面板又
は基板と上面板の両方で、回転可能に支持されていても
よい。As the rotation transmitting means, for example, a first drive shaft having a first bevel gear at the tip and rotating by a rotary motor as shown in the above embodiment,
And a second drive shaft fixed to the container holding member, having a second bevel gear meshing with the bevel gear at one end and rotating by the rotational force from the second bevel gear. . In this rotation transmitting means, the first drive shaft may be a hollow shaft or a solid shaft. The second drive shaft may be a hollow shaft or a solid shaft. Further, the first drive shaft may be rotatably supported by the base plate or the top plate or both the base plate and the top plate of the pedestal.

【００６０】前記の駆動手段において使用することがで
きる回転伝達手段としては、この他に、回転原動機によ
って回転する第１の駆動軸と、容器保持部材に固定され
た第２の駆動軸と、前記第１の駆動軸と第２の駆動軸と
を連結する自在継手等の継手とを有する回転伝達手段が
ある。As the rotation transmitting means that can be used in the above-mentioned driving means, other than the above, a first driving shaft rotated by a rotary motor, a second driving shaft fixed to a container holding member, There is a rotation transmission unit having a joint such as a universal joint that connects the first drive shaft and the second drive shaft.

【００６１】第１の駆動軸から第２の駆動軸に回転力を
伝達する部材としては、この他に、ベルト、チェーン、
及び摩擦車等がある。The members for transmitting the rotational force from the first drive shaft to the second drive shaft include belts, chains,
And friction wheels.

【００６２】更に、回転原動機によって駆動される油圧
ポンプと、この油圧ポンプからの油圧によって駆動され
る油圧モーターと、前記油圧モーターによって回転する
第２の駆動軸からなる回転伝達手段も好ましい。Further, a rotation transmitting means including a hydraulic pump driven by a rotary motor, a hydraulic motor driven by hydraulic pressure from the hydraulic pump, and a second drive shaft rotated by the hydraulic motor is also preferable.

【００６３】前記回転伝達手段を介さずに直接に前記回
転原動機で容器保持部材を回転させる態様の駆動手段と
しては、例えば、台座に回転原動機を固定し、容器保持
部材に固定された駆動軸をこの回転原動機によって回転
させる態様の駆動手段がある。回転原動機を台座に固定
するには、台座を構成する基板に直接固定してもよい
し、取り付け部材を介して前記基板に固定してもよい。
更に、台座が側板を備えている場合には、この側板に前
記回転原動機を固定してもよい。更に、容器保持部材内
部に回転原動機の回転子そのものを固定しておき、この
回転原動機の固定子を台座に固定する態様も駆動手段と
しては好ましい。前記回転原動機の固定子を台座に固定
する態様としては、基板に直接固定子を固定する態様の
他、取り付け部材を介して固定子を前記基板に固定する
態様も可能である。更に、台座が側板を備えている場合
には、この側板に前記固定子を固定してもよい。The driving means for rotating the container holding member by the rotary motor directly without passing through the rotation transmitting means includes, for example, a rotary motor fixed to a pedestal and a drive shaft fixed to the container holding member. There is a driving means in a mode of rotating by this rotary motor. In order to fix the rotary motor to the pedestal, it may be fixed directly to a substrate constituting the pedestal, or may be fixed to the substrate via a mounting member.
Further, when the pedestal has a side plate, the rotary motor may be fixed to the side plate. Further, a mode in which the rotor itself of the rotary motor is fixed inside the container holding member and the stator of the rotary motor is fixed to the base is also preferable as the driving means. As a mode of fixing the stator of the rotary motor to the pedestal, in addition to a mode in which the stator is directly fixed to the substrate, a mode in which the stator is fixed to the substrate via an attachment member is also possible. Further, when the pedestal has a side plate, the stator may be fixed to the side plate.

【００６４】本発明における流体噴射手段は、前記容器
保持部材によって保持された容器の内面に向かって流体
を噴射するノズルと、前記ノズルに流体を供給する流体
供給手段とを有していて、前記流体供給手段により供給
された流体をノズルから噴射することができるように形
成されていてもよい。The fluid ejecting means according to the present invention has a nozzle for ejecting a fluid toward an inner surface of a container held by the container holding member, and a fluid supply means for supplying a fluid to the nozzle. It may be formed so that the fluid supplied by the fluid supply means can be ejected from the nozzle.

【００６５】前記ノズルから噴射し得る流体としては、
硫酸、塩酸、及びフッ化水素酸等の無機酸水溶液、アニ
オン性界面活性剤水溶液、ノニオン性界面活性剤水溶
液、及びカチオン性界面活性剤水溶液、水、並びにアル
カリ水溶液等の各種洗浄液、並びに空気等の気体が挙げ
られる。The fluid that can be ejected from the nozzle includes:
Various cleaning solutions such as aqueous solutions of inorganic acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid, and hydrofluoric acid, aqueous solutions of anionic surfactants, aqueous solutions of nonionic surfactants, and aqueous solutions of cationic surfactants, water, and aqueous alkaline solutions, and air Gas.

【００６６】前記ノズルとしては、これらの洗浄液又は
気体を噴射するのに通常用いられるノズルであれば、ど
のようなノズルでも用いることができる。又、後述する
流体供給管に適宜の孔径の孔径の穴を１つ以上開け、こ
れをノズルとしてもよい。As the nozzle, any nozzle can be used as long as it is a nozzle normally used to inject these cleaning liquids or gases. Further, one or more holes having an appropriate hole diameter may be formed in a fluid supply pipe described later, and this may be used as a nozzle.

【００６７】流体供給手段としては、前記ノズルが１個
以上取り付けられているとともに一端には流体供給ポン
プが接続されている流体供給管と、流体供給ポンプと、
流体貯留槽とを有する流体供給手段とで形成することが
できる。The fluid supply means includes a fluid supply pipe having one or more nozzles attached thereto and one end connected to a fluid supply pump, a fluid supply pump,
And a fluid supply means having a fluid storage tank.

【００６８】この流体供給手段において、流体貯留槽中
に貯留された洗浄液等の流体は、前記流体供給ポンプに
よって流体供給管を通って前記ノズルに供給され、前記
ノズルから噴射される。In this fluid supply means, the fluid such as the cleaning liquid stored in the fluid storage tank is supplied to the nozzle through the fluid supply pipe by the fluid supply pump, and is ejected from the nozzle.

【００６９】又、前記ノズルから噴射すべき流体が空気
のような気体である場合は、流体供給手段としては、ノ
ズルが１個以上接続された流体供給管と、コンプレッサ
ーと、前記コンプレッサーと流体供給管の間に挿入され
た気体乾燥機を有する流体供給手段を用いることができ
る。When the fluid to be jetted from the nozzle is a gas such as air, the fluid supply means includes a fluid supply pipe to which one or more nozzles are connected, a compressor, and the compressor and the fluid supply pipe. A fluid supply having a gas dryer inserted between the tubes can be used.

【００７０】前記流体供給手段においては、流体供給管
と、流体供給ポンプと、流体貯留槽とを全て、前記台座
が有する基板に、固定することができる。又、流体供給
管のみを前記台座に固定してもよい。流体供給管のみを
前記台座に固定する場合には、流体供給管を、前記台座
が有する基板に固定してもよいし、前記台座の上面板に
固定してもよい。又、中空軸からなる第１の駆動軸が前
記台座に回転可能に支持されている場合には、第１の駆
動軸の内側に前記流体供給管を設けてもよい。In the fluid supply means, the fluid supply pipe, the fluid supply pump, and the fluid storage tank can all be fixed to the substrate of the pedestal. Further, only the fluid supply pipe may be fixed to the base. When only the fluid supply pipe is fixed to the pedestal, the fluid supply pipe may be fixed to a substrate of the pedestal or may be fixed to a top plate of the pedestal. When a first drive shaft composed of a hollow shaft is rotatably supported by the pedestal, the fluid supply pipe may be provided inside the first drive shaft.

【００７１】図４及び図５は、図１〜３に示された流体
噴射装置において、容器保持部材の周面の形状が異なる
態様の流体噴射装置の実施例を示す斜視図である。FIGS. 4 and 5 are perspective views showing an embodiment of the fluid ejecting apparatus shown in FIGS. 1 to 3 in which the shape of the peripheral surface of the container holding member is different.

【００７２】図４及び図５に示された流体噴射装置にお
いては、図１及び図２に示された流体噴射装置と同様
に、容器保持部材１が６本設けられている。そして、隣
り合った容器保持部材１の軸線同士のなす角度は、どの
隣り合った容器保持部材においても６０°である。In the fluid ejecting apparatus shown in FIGS. 4 and 5, as in the fluid ejecting apparatus shown in FIGS. 1 and 2, six container holding members 1 are provided. The angle between the axes of the adjacent container holding members 1 is 60 ° in any adjacent container holding members.

【００７３】そして、台座２が、基板２１、側板２２及
び上面板２３とを有しており、基板２１には、第２の駆
動軸１１を支持する支持部材２４が取り付けられている
点、基板２１及び上面版２３のいずれも円板状である
点、及び前記支持部材２４には、軸受け２５が取り付け
られており、第２の駆動軸１１がこの支持部材２４で回
転可能に支持されている点においても、両者は共通して
いる。The pedestal 2 has a substrate 21, a side plate 22, and an upper plate 23, and a support member 24 for supporting the second drive shaft 11 is attached to the substrate 21. A bearing 25 is attached to a point where both the 21 and the upper surface plate 23 are disc-shaped and the support member 24, and the second drive shaft 11 is rotatably supported by the support member 24. In both respects, they are common.

【００７４】更に、図４及び図５に示された流体噴射装
置においても、容器保持部材１を回転させる駆動手段
が、図示されていない駆動源であるモーターで回転する
第１の駆動軸と、容器保持部材１に固定された第２の駆
動軸と、前記第１の駆動軸から第２の駆動軸に回転力を
伝達する手段とを有している。尚、図４及び図５におい
ても、１３は容器保持部材１のそれぞれに第２の駆動軸
１１を固定する固定ナットを示す。Further, in the fluid ejecting apparatus shown in FIGS. 4 and 5, the driving means for rotating the container holding member 1 also includes a first driving shaft rotated by a motor which is a driving source (not shown); It has a second drive shaft fixed to the container holding member 1 and means for transmitting a rotational force from the first drive shaft to the second drive shaft. 4 and 5, reference numeral 13 denotes a fixing nut for fixing the second drive shaft 11 to each of the container holding members 1.

【００７５】流体噴射手段３が流体供給管３２及びノズ
ル３１を有している点でも、両者は共通している。The fluid injection means 3 is also common in that it has a fluid supply pipe 32 and a nozzle 31.

【００７６】しかし、図４に示された流体噴射装置にお
いては、図１及び図２に示された流体噴射装置とは異な
り、容器保持部材１は、その基部から先端部に向かって
直径が縮小する５つの円筒面と、これらの円筒面のうち
隣り合う２つの円筒面の間に設けられた環状テーパー面
からなる円周面を有している。However, in the fluid ejecting apparatus shown in FIG. 4, unlike the fluid ejecting apparatus shown in FIGS. 1 and 2, the diameter of the container holding member 1 decreases from the base to the tip. And five cylindrical surfaces, and a circumferential surface formed of an annular tapered surface provided between two adjacent cylindrical surfaces among these cylindrical surfaces.

【００７７】一方、図５に示された流体噴射装置におい
ては、容器保持部材１は、その基部から先端部に向かっ
て直径が縮小する円錐面からなる周面を有している。On the other hand, in the fluid ejecting apparatus shown in FIG. 5, the container holding member 1 has a peripheral surface having a conical surface whose diameter decreases from the base to the tip.

【００７８】但し、いずれの流体噴射装置においても、
容器保持部材には鍔状部材は設けられていない。However, in any of the fluid ejection devices,
No flange member is provided on the container holding member.

【００７９】図６は、台座２に固定したモーター４０に
よって容器保持部材１を直接に回転させる態様の流体噴
射装置の一実施例を示す、台座２を部分的に切断した部
分切断図である。FIG. 6 is a partially cut-away view of the pedestal 2 partially showing an embodiment of the fluid ejecting apparatus in which the container holding member 1 is directly rotated by the motor 40 fixed to the pedestal 2.

【００８０】図６に示された流体噴射装置においても、
図１及び図２に示された流体噴射装置と同様に、容器保
持部材１が６本設けられている。そして、隣り合った容
器保持部材１の軸線同士のなす角度は、どの隣り合った
容器保持部材においても６０°である。但し、図６にお
いては、台座２の左右に保持された２本の容器保持部材
以外の容器保持部材は省略されている。In the fluid ejecting apparatus shown in FIG.
As in the fluid ejection device shown in FIGS. 1 and 2, six container holding members 1 are provided. The angle between the axes of the adjacent container holding members 1 is 60 ° in any adjacent container holding members. However, in FIG. 6, container holding members other than the two container holding members held on the left and right sides of the pedestal 2 are omitted.

【００８１】又、容器保持部材１が、その基部から先端
部に向けて段階的に細くなる円筒面１ａ、隣り合う円筒
面の間に設けられた鍔状部材１ｂ、及び円筒面１ａと鍔
状部材１ｂとの間に設けられた環状テーパー面を有して
いる点、及び容器保持部材１のそれぞれにに第２の駆動
軸１１が固定ナット１３によって固定されている点にお
いても、図６に示された流体噴射装置は図１〜３に示さ
れた流体噴射装置と共通している。Further, the container holding member 1 has a cylindrical surface 1a tapered stepwise from the base to the tip, a flange-shaped member 1b provided between adjacent cylindrical surfaces, and a flange-shaped member provided between the cylindrical surface 1a and the flange. FIG. 6 also shows that the second drive shaft 11 is fixed to each of the container holding members 1 by the fixing nuts 13 in that it has an annular tapered surface provided between the container holding member 1b. The fluid ejection device shown is common to the fluid ejection device shown in FIGS.

【００８２】そして、台座２が、基板２１、側板２２及
び上面板２３とを有している点、及び基板２１及び上面
板２３のいずれも円板状である点においても、両者は共
通している。Also, in that the pedestal 2 has the substrate 21, the side plate 22 and the upper plate 23, and that both the substrate 21 and the upper plate 23 are disc-shaped, both are common. I have.

【００８３】更に、流体噴射手段３が流体供給管３２及
びノズル３１を有している点でも、両者は共通してい
る。Further, the fluid ejection means 3 is common in that it has a fluid supply pipe 32 and a nozzle 31.

【００８４】しかし、図６に示された流体噴射装置にお
いては、図１〜３に示された流体噴射装置とは全く異な
り、６台のモーター４０が、それぞれ取り付け部材２６
によって、その回転軸１１が水平方向に放射状に配置さ
れるように、台座２が有する基板２１及び上面板２３に
固定されている。回転軸１１は、更に、基板２１に取り
付けられた支持部材２４に軸受け２５を介して支承され
る。そして、容器保持部材は、モーター４０の回転軸１
１に直接固定されている。それぞれのモーター４０には
電線４４によって電流が供給される。６台のモーター４
０の回転速度は、モーター毎にそれぞれ図示されない制
御装置によって制御される。However, the fluid ejecting apparatus shown in FIG. 6 is completely different from the fluid ejecting apparatus shown in FIGS.
Thus, the rotating shaft 11 is fixed to the substrate 21 and the upper surface plate 23 of the pedestal 2 so as to be radially arranged in the horizontal direction. The rotation shaft 11 is further supported via a bearing 25 on a support member 24 attached to the substrate 21. Then, the container holding member is a rotating shaft 1 of the motor 40.
Fixed directly to 1. Electric current is supplied to each motor 40 by an electric wire 44. 6 motors 4
The rotation speed of 0 is controlled by a control device (not shown) for each motor.

【００８５】図７は、容器保持部材の内部にモーターの
回転子が固定されている態様の流体噴射装置の一実施例
を示す、台座２を部分的に切断した部分切断図である。FIG. 7 is a partially cutaway view of the base 2 partially showing an embodiment of the fluid ejecting apparatus in which the rotor of the motor is fixed inside the container holding member.

【００８６】図７に示された流体噴射装置においても、
図１及び図２に示された流体噴射装置と同様に、容器保
持部材１が６本設けられている。そして、隣り合った容
器保持部材１の軸線同士のなす角度は、どの隣り合った
容器保持部材においても６０°である。但し、図７にお
いても、台座２の左右に保持された２本の容器保持部材
以外の容器保持部材は省略されている。In the fluid ejecting apparatus shown in FIG.
As in the fluid ejection device shown in FIGS. 1 and 2, six container holding members 1 are provided. The angle between the axes of the adjacent container holding members 1 is 60 ° in any adjacent container holding members. However, also in FIG. 7, container holding members other than the two container holding members held on the left and right sides of the pedestal 2 are omitted.

【００８７】又、容器保持部材１が、その基部から先端
部に向けて段階的に細くなる円筒面１ａ、隣り合う円筒
面の間に設けられた鍔状部材１ｂ、及び円筒面１ａと鍔
状部材１ｂとの間に設けられた環状テーパー面を有して
いる点においても、図７に示された流体噴射装置は図１
〜３に示された流体噴射装置と共通している。The container holding member 1 has a cylindrical surface 1a tapered stepwise from the base to the tip, a flange-shaped member 1b provided between adjacent cylindrical surfaces, and a cylindrical surface 1a and a flange-shaped member. The point that the fluid ejection device shown in FIG. 7 has an annular tapered surface provided between the
3 is common to the fluid ejecting apparatuses shown in FIGS.

【００８８】そして、台座２が、基板２１、側板２２及
び上面板２３とを有している点、及び基板２１及び上面
版２３のいずれも円板状である点においても、両者は共
通している。Also, in that the pedestal 2 has the substrate 21, the side plate 22 and the upper plate 23, and that both the substrate 21 and the upper plate 23 are disc-shaped, both are common. I have.

【００８９】更に、流体噴射手段３が流体供給管３２及
びノズル３１を有している点でも、両者は共通してい
る。Further, both are common in that the fluid ejection means 3 has a fluid supply pipe 32 and a nozzle 31.

【００９０】しかし、図７に示された流体噴射装置にお
いては、モーター４０の回転子４０ａが容器保持部材１
の内部に固定されている。そして、容器保持部材１は、
軸受け１４及び１５を介して固定ナット１３によって軸
状部材１６に回転可能に取り付けられている。軸状部材
１６には、更に、モーター４０の固定子４０ｂが固定さ
れている。軸状部材１６は固定ナット１７によって台座
２２の側板２２に固定されている。モーター４０の固定
子４０ｂには電線４４によって電流が供給される。However, in the fluid ejecting apparatus shown in FIG. 7, the rotor 40a of the motor 40 is
Is fixed inside. And the container holding member 1 is
It is rotatably attached to the shaft-like member 16 by the fixing nut 13 via the bearings 14 and 15. The stator 40b of the motor 40 is further fixed to the shaft-shaped member 16. The shaft member 16 is fixed to the side plate 22 of the pedestal 22 by a fixing nut 17. Electric current is supplied to the stator 40 b of the motor 40 by the electric wire 44.

【００９１】電線４４によってモーター４０の固定子４
０ｂに電流か供給されると、モーター４０の固定子４０
ｂと回転子４０ａとの間に回転力が発生する。固定子４
０ｂは軸状部材１６に固定されているから、この回転力
によって回転子４０ａが固定子４０ｂの回りに回転し、
この回転子４０ａに固定された容器保持部材１も回転す
る。The electric motor 44 connects the stator 4 of the motor 40
0b is supplied with current, the stator 40 of the motor 40
A rotational force is generated between b and the rotor 40a. Stator 4
Since 0b is fixed to the shaft-like member 16, the rotating force rotates the rotor 40a around the stator 40b,
The container holding member 1 fixed to the rotor 40a also rotates.

【００９２】図８は、流体噴射手段が、隣り合った２本
の容器保持部材の間を通過するように設けられた流体噴
射手段の一例を示す概略図である。尚、図８において、
洗浄しようとする坩堝は点線で示されている。FIG. 8 is a schematic view showing an example of the fluid ejecting means provided so that the fluid ejecting means passes between two adjacent container holding members. In FIG. 8,
The crucible to be cleaned is indicated by a dotted line.

【００９３】図８に示された流体噴射装置においても、
図１及び図２に示された流体噴射装置と同様に、容器保
持部材１が６本設けられている。そして、隣り合った容
器保持部材１の軸線同士のなす角度は、どの隣り合った
容器保持部材においても６０°である。但し、図８にお
いても、台座２の左右に保持された２本の容器保持部材
以外の容器保持部材は省略されている。In the fluid ejection device shown in FIG.
As in the fluid ejection device shown in FIGS. 1 and 2, six container holding members 1 are provided. The angle between the axes of the adjacent container holding members 1 is 60 ° in any adjacent container holding members. However, also in FIG. 8, the container holding members other than the two container holding members held on the left and right of the pedestal 2 are omitted.

【００９４】又、容器保持部材１が、その基部から先端
部に向けて段階的に細くなる円筒面１ａ、隣り合う円筒
面の間に設けられた鍔状部材１ｂ、及び円筒面１ａと鍔
状部材１ｂとの間に設けられた環状テーパー面を有して
いる点においても、図７に示された流体噴射装置は図１
〜３に示された流体噴射装置と共通している。Further, the container holding member 1 has a cylindrical surface 1a tapered stepwise from the base to the distal end, a flange-shaped member 1b provided between adjacent cylindrical surfaces, and a flange-shaped member provided between the cylindrical surface 1a and the flange. The point that the fluid ejection device shown in FIG. 7 has an annular tapered surface provided between the
3 is common to the fluid ejecting apparatuses shown in FIGS.

【００９５】そして、台座２が、基板２１、側板２２及
び上面板２３とを有している点、及び基板２１及び上面
版２３のいずれも円板状である点においても、両者は共
通している。Also, in that the pedestal 2 has the substrate 21, the side plate 22 and the upper plate 23, and that both the substrate 21 and the upper plate 23 are disc-shaped, both are common. I have.

【００９６】更に、容器保持部材１を回転させる駆動手
段は、図示されていないモーターで回転する第１の駆動
軸と、容器保持部材１に固定された第２の駆動軸と、前
記第１の駆動軸から第２の駆動軸に回転力を伝達する手
段とを有している。尚、図８においても、１３は容器保
持部材１のそれぞれに第２の駆動軸１１を固定する固定
ナットを示す。Further, the driving means for rotating the container holding member 1 includes a first driving shaft rotated by a motor (not shown), a second driving shaft fixed to the container holding member 1, and the first driving shaft. Means for transmitting torque from the drive shaft to the second drive shaft. In FIG. 8, reference numeral 13 denotes a fixing nut for fixing the second drive shaft 11 to each of the container holding members 1.

【００９７】しかし、図８の流体噴射装置においては、
流体噴射手段３は、図示されていない基台に、隣り合う
２本の容器保持部材１の間を通過するように固定されて
いる。尚、台座２も、図示されていない取り付け部材に
よってこの基台に固定されている。However, in the fluid ejection device of FIG.
The fluid ejecting means 3 is fixed to a base (not shown) so as to pass between two adjacent container holding members 1. The pedestal 2 is also fixed to the base by a mounting member (not shown).

【００９８】そして、流体噴射手段３は、ノズル３１と
このノズル３１が取り付けられた流体供給管３２を有し
ている。この流体供給管３２には、長さ方向に沿って３
つのノズルが取り付けられ、先端部に１つのノズルが取
り付けられている。The fluid jetting means 3 has a nozzle 31 and a fluid supply pipe 32 to which the nozzle 31 is attached. The fluid supply pipe 32 has a length of 3
One nozzle is attached, and one nozzle is attached to the tip.

【００９９】次に、本発明の洗浄乾燥装置について例を
挙げて説明する。Next, the washing and drying apparatus of the present invention will be described with reference to examples.

【０１００】図９は、本発明の洗浄乾燥装置の一例であ
る坩堝洗浄乾燥装置を示す正面図及び上面図であり、図
１０は、図９に示された坩堝洗浄乾燥装置のＡ−Ａ方向
から見た断面図である。FIG. 9 is a front view and a top view showing a crucible washing / drying apparatus which is an example of the washing / drying apparatus of the present invention. FIG. 10 is an AA direction of the crucible washing / drying apparatus shown in FIG. It is sectional drawing seen from.

【０１０１】図９に示された洗浄乾燥装置においては、
向かって左側から順に、洗浄前の坩堝を保管する第１の
坩堝保管棚６、前記坩堝の内面に向かって硫酸又はフッ
化水素酸を噴射する第１の洗浄液噴射装置１０ａ、坩堝
の内面に向かって純水を噴射する第２の洗浄液噴射装置
１０ｂ、坩堝の内面に向かって乾燥空気を噴射する空気
噴射装置１０ｃ、乾燥した坩堝を包装する坩堝包装装置
７、並びに洗浄後の坩堝を保管する第２の坩堝保管棚８
が設けられている。これらの装置の前方には、軌道５６
が設けられてなり、その上を容器搬送装置５が走行す
る。In the cleaning / drying apparatus shown in FIG.
From the left side, a first crucible storage shelf 6 for storing the crucible before cleaning, a first cleaning liquid spraying device 10a for spraying sulfuric acid or hydrofluoric acid toward the inner surface of the crucible, and toward the inner surface of the crucible. A second cleaning liquid spraying device 10b for spraying pure water, an air spraying device 10c for spraying dry air toward the inner surface of the crucible, a crucible packaging device 7 for packing the dried crucible, and a second crucible for storing the washed crucible. 2 crucible storage shelves 8
Is provided. In front of these devices, track 56
Is provided, on which the container transport device 5 travels.

【０１０２】容器搬送装置５は、前記軌道５６を走行し
つつ、第１の坩堝保管棚６から前記坩堝を取り出し、こ
れを第１の洗浄液噴射装置１０ａの容器保持部材１上、
第２の洗浄液噴射装置１０ｂの容器保持部材１上、次い
で空気噴射装置１０ｃの容器保持部材１上に載置する。
そして、前記容器搬送装置５は、第１の洗浄液噴射装置
１０ａ及び第２の洗浄液噴射装置１０ｂで洗浄され空気
噴射装置１０ｃで乾燥された坩堝を包装装置７に搬送す
る。最後に、容器搬送装置５は、包装装置７で包装され
た坩堝を第２の坩堝保管棚８に搬送する。The container transfer device 5 takes out the crucible from the first crucible storage shelf 6 while traveling on the track 56, and places it on the container holding member 1 of the first cleaning liquid injection device 10a.
It is placed on the container holding member 1 of the second cleaning liquid injection device 10b and then on the container holding member 1 of the air injection device 10c.
Then, the container transporting device 5 transports the crucible cleaned by the first cleaning liquid ejecting device 10a and the second cleaning liquid ejecting device 10b and dried by the air ejecting device 10c to the packaging device 7. Finally, the container transport device 5 transports the crucible packaged by the packaging device 7 to the second crucible storage shelf 8.

【０１０３】第１の坩堝保管棚６は、直径の小さな坩堝
を載せる第１の回転棚６１及び直径の大きな坩堝を載せ
る第２の回転棚６２を備えてなる。第１の回転棚６１及
び第２の回転棚６２には、それぞれ切り込み部６１ａ及
び６２ａが設けられている。尚、切り込み部６１ａは図
９においては省略されている。切り込み部６１ａ及び６
２ａがそれぞれ第１の回転棚６１及び第２の回転棚６２
に設けられているのは次のような理由による。容器搬送
装置５は、後述するように腕５１を２本有し、それぞれ
の腕５１の先端には、坩堝を載置する板状の部材である
板状部材５１ａが設けられてなる。そして、腕５１を上
昇させて上記の板状部材５１ａに坩堝を載置させること
によって、第１の回転棚６１又は第２の回転棚６２から
坩堝を持ち上げる。腕５１を上昇させる際に、上記の板
状部材５１ａが第１の回転棚６１及び第２の回転棚６２
に当たることがないように、これらの回転棚には切り込
み部６１ａ及び６２ａが設けられている。The first crucible storage shelf 6 includes a first rotating shelf 61 for placing a small diameter crucible and a second rotating shelf 62 for placing a large diameter crucible. The first rotating shelf 61 and the second rotating shelf 62 are provided with cut portions 61a and 62a, respectively. Note that the notch 61a is omitted in FIG. Notches 61a and 6
2a are a first rotating shelf 61 and a second rotating shelf 62, respectively.
Is provided for the following reasons. The container transporting device 5 has two arms 51 as described later, and a plate-shaped member 51a, which is a plate-shaped member on which the crucible is placed, is provided at the tip of each arm 51. Then, the crucible is lifted from the first rotating shelf 61 or the second rotating shelf 62 by raising the arm 51 and placing the crucible on the plate-shaped member 51a. When the arm 51 is raised, the plate-like member 51a is moved between the first rotating shelf 61 and the second rotating shelf 62.
The rotating shelves are provided with cutouts 61a and 62a so as not to cause a collision.

【０１０４】第１の回転棚６１及び第２の回転棚６２は
何れも軸６３に固定されてなる。軸６３はモーター６４
によって回転する。第１の回転棚６１及び第２の回転棚
６２の上には、例えばシリコン単結晶の製造等に使用さ
れた坩堝が載置される。図９に示されるように第１の回
転棚６１及び第２の回転棚６２のどちらにも坩堝が４つ
づつ載置されている。したがって、第１の回転棚６１及
び第２の回転棚６２は１／４回転毎に停止し、これらの
回転棚上に載置されている坩堝が容器搬送装置５によっ
て取り出される。The first rotating shelf 61 and the second rotating shelf 62 are both fixed to a shaft 63. The shaft 63 is a motor 64
Rotate by. On the first rotating shelf 61 and the second rotating shelf 62, for example, a crucible used for producing a silicon single crystal or the like is placed. As shown in FIG. 9, four crucibles are placed on each of the first rotating shelf 61 and the second rotating shelf 62. Therefore, the first rotating shelf 61 and the second rotating shelf 62 stop every １ ／ rotation, and the crucible placed on these rotating shelves is taken out by the container transfer device 5.

【０１０５】第１の洗浄液噴射装置１０ａ及び第２の洗
浄液噴射装置１０ｂは、いずれも、洗浄しようとする坩
堝を伏せた状態で保持する容器保持部材１と、前記容器
保持部材を回転させる駆動手段４と、前記坩堝の内面に
向かって洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段３ａ、３ｂと
を備えてなる洗浄液噴射装置であり、具体的には図５に
示されたような態様の洗浄液噴射装置である。Each of the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a and the second cleaning liquid ejecting apparatus 10b has a container holding member 1 for holding a crucible to be washed in a prone state, and a driving means for rotating the container holding member. 4 and a cleaning liquid spraying device including a cleaning liquid spraying means 3a and 3b for spraying a cleaning liquid toward the inner surface of the crucible, specifically, a cleaning liquid spraying device having an embodiment as shown in FIG. .

【０１０６】第１の洗浄液噴射装置１０ａ及び第２の洗
浄液噴射装置１０ｂにおいては、図９に示されているよ
うに、容器保持部材１は、台座２の回りに６本取り付け
られている。そして、隣り合った容器保持部材１の軸線
同士のなす角度は、どの隣り合った容器保持部材１にお
いても６０°である。In the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a and the second cleaning liquid ejecting apparatus 10b, six container holding members 1 are mounted around the pedestal 2, as shown in FIG. The angle between the axes of the adjacent container holding members 1 is 60 ° in any adjacent container holding members 1.

【０１０７】台座２は、基板２１、側板２２、及び上面
板２３とを有しており、基板２１には、図９及び図１０
には図示されていない支持部材を介して、容器保持部材
１を駆動する第２の駆動軸１１が回転可能に取り付けら
れている。第２の駆動軸１１には、第２の傘歯車１２が
固定されており、第１の駆動軸４１に固定された第１の
傘歯車４２と噛み合っている。第１の駆動軸は、図示さ
れていない駆動源であるモーターによって回転する。The pedestal 2 has a substrate 21, a side plate 22, and an upper surface plate 23.
, A second drive shaft 11 for driving the container holding member 1 is rotatably mounted via a support member (not shown). A second bevel gear 12 is fixed to the second drive shaft 11, and meshes with a first bevel gear 42 fixed to the first drive shaft 41. The first drive shaft is rotated by a motor, which is a drive source (not shown).

【０１０８】台座２には、洗浄液噴射手段３ａ又は３ｂ
が固定されてなる。洗浄液噴射手段３ａ及び３ｂは、そ
れぞれ、後述するノズル３１ａ、３１ｂに洗浄液を供給
する洗浄液供給管３２ａ、３２ｂ、及び洗浄液が噴射さ
れるノズル３１ａ、３１ｂを備えている。そして、ノズ
ル３１ａ、３１ｂは、何れも洗浄液供給管３２ａ、３２
ｂの左側の側面にそれぞれ１個、同右側の側面にそれぞ
れ２個、洗浄液供給管３２ａ、３２ｂの頂点にそれぞれ
１個、それぞれ合計４個づつ取り付けられている。硫酸
及びフッ化水素酸等の洗浄液並びに純水は洗浄液供給管
３２ａ、３２ｂを通して供給され、ノズル３１ａ、３１
ｂから坩堝の内側に向かって噴射される。尚、図９及び
図１０に示された洗浄乾燥装置においては、第１の洗浄
液噴射装置１０ａでは硫酸及び／又はフッ化水素酸等の
洗浄液が噴射され、第２の洗浄液噴射装置１０ｂでは純
水が噴射される。The pedestal 2 is provided with the cleaning liquid jetting means 3a or 3b.
Is fixed. The cleaning liquid jetting means 3a and 3b include cleaning liquid supply pipes 32a and 32b for supplying a cleaning liquid to nozzles 31a and 31b, respectively, and nozzles 31a and 31b from which the cleaning liquid is jetted. Each of the nozzles 31a, 31b is provided with a cleaning liquid supply pipe 32a, 32b.
The cleaning liquid supply pipes 32a and 32b each have a total of four pieces, one each on the left side face, two pieces on the right side face, and one each on the top of the cleaning liquid supply pipes 32a and 32b. Cleaning liquid such as sulfuric acid and hydrofluoric acid and pure water are supplied through cleaning liquid supply pipes 32a and 32b, and nozzles 31a and 31b are supplied.
b is injected toward the inside of the crucible. In the cleaning / drying apparatus shown in FIGS. 9 and 10, a cleaning liquid such as sulfuric acid and / or hydrofluoric acid is injected in the first cleaning liquid injection apparatus 10a, and pure water is injected in the second cleaning liquid injection apparatus 10b. Is injected.

【０１０９】前記の洗浄乾燥装置においては、更に、第
２の洗浄液供給管３４ａ、３４ｂが、前記容器保持部材
１よりも外側に取り付けられている。第２の洗浄液供給
管３４ａ、３４ｂには、第２のノズル３３ａ、３３ｂが
それぞれ４個づつ取り付けられている。硫酸及びフッ化
水素酸等の洗浄液並びに純水は、洗浄液供給管３４ａ、
３４ｂを通して供給され、ノズル３３ａ、３３ｂから坩
堝の外側に向かって噴射される。尚、前記洗浄乾燥装置
においては、第１の洗浄液噴射装置１０ａでは硫酸及び
／又はフッ化水素酸等の洗浄液が噴射され、第２の洗浄
液噴射装置１０ｂでは純水が噴射される。In the above-mentioned cleaning / drying apparatus, the second cleaning liquid supply pipes 34a and 34b are further mounted outside the container holding member 1. Four second nozzles 33a, 33b are attached to the second cleaning liquid supply pipes 34a, 34b, respectively. A cleaning liquid such as sulfuric acid and hydrofluoric acid and pure water are supplied to a cleaning liquid supply pipe 34a,
It is supplied through the nozzle 34b and is injected from the nozzles 33a and 33b toward the outside of the crucible. In the cleaning / drying apparatus, a cleaning liquid such as sulfuric acid and / or hydrofluoric acid is injected in the first cleaning liquid injection apparatus 10a, and pure water is injected in the second cleaning liquid injection apparatus 10b.

【０１１０】空気噴射装置１０ｃは、前記第１の洗浄液
噴射装置１０ａ及び第２の洗浄液噴射装置１０ｂと同様
に、容器保持部材１と、台座２と、駆動手段４とを備え
てなり、これらの構成要素は、台座２が上面から見て六
角形状の平面形を有している以外は、前記第１の洗浄液
噴射装置１０ａ及び第２の洗浄液噴射装置１０ｂと同様
の構成を有している。The air injection device 10c comprises a container holding member 1, a pedestal 2, and a driving means 4, similarly to the first cleaning liquid injection device 10a and the second cleaning liquid injection device 10b. The components have the same configuration as the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a and the second cleaning liquid ejecting apparatus 10b, except that the pedestal 2 has a hexagonal planar shape when viewed from above.

【０１１１】しかし、前記空気噴射装置１０ｃにおい
て、前記第１の洗浄液噴射装置１０ａ及び第２の洗浄液
噴射装置１０ｂにおける洗浄液噴射手段３ａ及び３ｂに
対応する空気噴射手段３ｃは、洗浄液噴射手段３ａ及び
３ｂとは異なる形態を有している。即ち、前記空気噴射
手段３ｃは、洗浄液噴射手段３ａ及び３ｂとは異なり、
水平方向に対して斜めに開口したスリット状の開口部が
頂部に設けられてなる円筒状の空気噴射口３１ｃを備え
ている。前記空気噴射手段３ｃの基部には、図９及び図
１０には図示されていないコンプレッサー及び空気乾燥
機が備えられている。However, in the air jetting device 10c, the air jetting device 3c corresponding to the cleaning liquid jetting devices 3a and 3b in the first cleaning liquid jetting device 10a and the second cleaning liquid jetting device 10b is different from the cleaning liquid jetting devices 3a and 3b. It has a different form. That is, the air injection unit 3c is different from the cleaning liquid injection units 3a and 3b,
A cylindrical air injection port 31c is provided at the top with a slit-shaped opening that is opened at an angle to the horizontal direction. At the base of the air injection means 3c, a compressor and an air dryer not shown in FIGS. 9 and 10 are provided.

【０１１２】空気噴射装置１０ｃには、更に、容器保持
部材１の外側に、第２の空気噴射手段３３ｃが設けられ
ている。The air injection device 10c is further provided with a second air injection means 33c outside the container holding member 1.

【０１１３】坩堝包装装置７は、包装しようとする坩堝
が伏せた状態で載置される回転台７１と、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、又はエチレン・プロピレンランダ
ム共重合体等のフィルムを上記回転台７１上に供給する
フィルム供給装置７２と、上記フィルム供給装置７２か
ら回転台７１に供給されたフィルムで、上記回転台７１
上に載置された坩堝に被せて包装する包装装置７３とを
備えている。尚。図９において、９０は、上記プラスチ
ックフィルムを示す。The crucible packaging apparatus 7 comprises a rotating table 71 on which a crucible to be packaged is placed face down, and a film such as polyethylene, polypropylene or an ethylene / propylene random copolymer, which is placed on the rotating table 71. A film supply device 72 for supplying the film, and a film supplied from the film supply device 72 to the turntable 71.
And a packaging device 73 for packaging the crucible placed thereon. still. In FIG. 9, reference numeral 90 denotes the plastic film.

【０１１４】回転台７１は、図示されていないモーター
により回転する。The turntable 71 is rotated by a motor (not shown).

【０１１５】フィルム供給装置７２は、ロール状に巻か
れたフィルムであるロール状フィルム７２ａ、上記ロー
ル状フィルム７２ａに接触しつつ逆方向に回転し、上記
ロール状フィルム７２ａからフィルムを送り出すフィル
ム送り出しロール７２ｂ、上記フィルム送り出しロール
７２ｂによって送り出されたフィルムを所定の長さにす
るフィルム裁断装置７２ｃ、及び上記送り出しロール７
２ｂによって送り出されたフィルムを掴んで引き出すフ
ィルム掴み装置７２ｄを備えている。The film supply device 72 includes a roll film 72a, which is a film wound in a roll, and a film delivery roll which rotates in the opposite direction while contacting the roll film 72a and delivers the film from the roll film 72a. 72b, a film cutting device 72c for making the film delivered by the film delivery roll 72b a predetermined length, and the delivery roll 7
A film gripping device 72d for gripping and pulling out the film fed by 2b is provided.

【０１１６】包装装置７３は、上記フィルム供給装置７
２によって供給されたフィルムで、回転台７１上に載置
されている坩堝を包装する装置である。The packaging device 73 includes the film supply device 7
2 is a device for packaging the crucible placed on the turntable 71 with the film supplied by 2.

【０１１７】回転台７１は、最初は停止している。この
状態の回転台７１に、フィルム供給装置７２からフィル
ムが供給され載置される。先ず、ロール状フィルム７２
ａが右回転しフィルム送り出しロール７２ｂが左回転し
て、フィルムを左側に向かって送り出す。送り出された
フィルムの先端を、フィルム掴み装置７２ｄが掴む。上
記フィルムを掴んだフィルム掴み装置７２ｄは、図９に
おいて二点鎖線で示された軌跡に従って移動する。フィ
ルム掴み装置７２ｄは、図９において図示されている位
置まで移動する。一方、上記フィルムは、フィルム送り
出しロール７２ｂによって所定の長さだけ送り出される
と、フィルム裁断装置７２ｃによって裁断される。The turntable 71 is initially stopped. The film is supplied from the film supply device 72 and placed on the turntable 71 in this state. First, the roll film 72
a rotates to the right and the film delivery roll 72b rotates to the left to deliver the film to the left. The film gripping device 72d grips the leading end of the fed film. The film gripping device 72d that has gripped the film moves in accordance with the trajectory shown by the two-dot chain line in FIG. The film grabber 72d moves to the position shown in FIG. On the other hand, when the film is fed by a predetermined length by the film feed roll 72b, the film is cut by the film cutting device 72c.

【０１１８】回転台７１にフィルムが載置されると、洗
浄及び乾燥が終わった坩堝が伏せた状態でその上に載置
される。坩堝が載置されると、包装装置７３によってフ
ィルムの四隅が掴まれ一点に合わせられ、このフィルム
で坩堝が包まれる。包装装置７３によってフィルムの四
隅が掴まれ一点に合わせられた状態で、回転台７１が回
転し、且つ、上記包装装置７３によって、フィルムの一
点に合わせられた箇所が熱融着される。When the film is placed on the turntable 71, the crucible that has been washed and dried is placed on the crucible in a prone state. When the crucible is placed, the four corners of the film are gripped and aligned at one point by the packaging device 73, and the crucible is wrapped with this film. In a state where the four corners of the film are gripped and aligned at one point by the packaging device 73, the turntable 71 is rotated, and the location adjusted to one point of the film is thermally fused by the packaging device 73.

【０１１９】第２の坩堝保管棚８は、直径の小さな坩堝
を載せる第１の回転棚８１及び直径の大きな坩堝を載せ
る第２の回転棚８２を備えてなる。第１の回転棚８１及
び第２の回転棚８２は何れも軸８３に固定されてなる。
軸８３は図示されていないモーターによって回転する。
第１の回転棚８１及び第２の回転棚８２の何れにも、坩
堝が４つづつ載置できるようになっている。したがっ
て、第１の回転棚８１及び第２の回転棚８２は１／４回
転毎に停止し、洗浄、乾燥、及び包装が終了した坩堝
が、容器搬送装置５によってこれらの回転棚上に載置さ
れる。The second crucible storage shelf 8 includes a first rotating shelf 81 on which a small diameter crucible is placed and a second rotating shelf 82 on which a large diameter crucible is placed. Both the first rotating shelf 81 and the second rotating shelf 82 are fixed to a shaft 83.
The shaft 83 is rotated by a motor (not shown).
On each of the first rotating shelf 81 and the second rotating shelf 82, four crucibles can be placed one by one. Therefore, the first rotating shelf 81 and the second rotating shelf 82 are stopped every ４ rotation, and the crucibles that have been washed, dried and packed are placed on these rotating shelves by the container transport device 5. Is done.

【０１２０】容器搬送装置５は、板状部材５１ａがその
先端に水平に設けられてなる腕５１と、腕５１相互の間
隔が帰られるようにこの腕５１が左右に各１本、計２本
取り付けられている箱状の本体５２と、この箱状の本体
５２が乗っている伸縮可能な脚５３と、この脚５３が載
っているとともに軌道５６ａ及び５６ｂ上を走行する台
車５４とを備えている。ここで、板状部材５１ａは、上
でも述べたように、搬送時に坩堝が載置される部材であ
る。[0120] The container transporting device 5 has an arm 51 having a plate-shaped member 51a horizontally provided at the tip thereof, and one arm 51 on each side so that the distance between the arms 51 can be returned. A box-shaped main body 52 is attached, an extendable leg 53 on which the box-shaped main body 52 is mounted, and a carriage 54 on which the leg 53 is mounted and runs on tracks 56a and 56b. I have. Here, the plate-shaped member 51a is a member on which the crucible is placed at the time of transportation, as described above.

【０１２１】腕５１は、本体５２のそれぞれの側面に取
り付けられた油圧装置５２ａを介して、本体５２の側面
に１本づつ取り付けられている。腕５１は、油圧装置５
２ａが伸縮することによって横方向に移動する。これに
よって腕５１相互の間隔を変更することができる。この
ことは、図９に示された洗浄乾燥装置の上面図からも明
らかである。The arms 51 are mounted one by one on the side surfaces of the main body 52 via hydraulic devices 52a mounted on the respective side surfaces of the main body 52. The arm 51 is connected to the hydraulic device 5
As 2a expands and contracts, it moves in the horizontal direction. Thereby, the interval between the arms 51 can be changed. This is clear from the top view of the cleaning / drying apparatus shown in FIG.

【０１２２】本体５２は、伸縮可能な脚５３の上部に固
定されている。したがって、脚５３が伸縮するのに応じ
て本体５２も上下する。The main body 52 is fixed to the upper part of the extendable leg 53. Therefore, the main body 52 moves up and down as the leg 53 expands and contracts.

【０１２３】脚５３は、シリンダ５３ａ及びそれに嵌合
するプランジャ５３ｂとを有してなる。プランジャ５３
ｂは、油圧によって上下し、これによって脚５３は伸縮
する。尚、プランジャ５３ｂの外側には伸縮自在な蛇腹
状の被い５５が被せられてなる。この被い５５は、プラ
ンジャ５３ｂを被い、プランジャ５３ｂとシリンダ５３
ａとの間の隙間からシリンダ５３ａに塵埃が侵入するこ
とを防ぐ。The leg 53 has a cylinder 53a and a plunger 53b fitted to the cylinder 53a. Plunger 53
b moves up and down by the hydraulic pressure, whereby the leg 53 expands and contracts. The plunger 53b is covered with an elastic bellows-like cover 55 outside the plunger 53b. This cover 55 covers the plunger 53b and the plunger 53b and the cylinder 53.
This prevents dust from entering the cylinder 53a through a gap between the cylinder 53a and the cylinder 53a.

【０１２４】脚５３の下端は台車５４に固定されてい
る。そして台車５４は軌道５６上を走行する。尚、軌道
５６は、図９において洗浄乾燥装置の上面図に示された
ように、この洗浄乾燥装置の長手方向に平行な軌道５６
ａと、この軌道に対して直角であって、この洗浄乾燥装
置が備えている、第１の坩堝保管棚６、第１の洗浄液噴
射装置１０ａ、第２の洗浄液噴射装置１０ｂ、空気噴射
装置１０ｃ、坩堝包装装置７、及び第２の坩堝保管棚８
のそれぞれの装置の前面にまで通じている軌道５６ｂと
からなっている。The lower end of the leg 53 is fixed to the carriage 54. The truck 54 runs on a track 56. The track 56 is, as shown in the top view of the washing and drying apparatus in FIG. 9, a track 56 parallel to the longitudinal direction of the washing and drying apparatus.
and a first crucible storage shelf 6, a first cleaning liquid jetting device 10a, a second cleaning liquid jetting device 10b, and an air jetting device 10c which are at right angles to this track and which are provided in the washing and drying device. , Crucible packaging device 7, and second crucible storage shelf 8
And a track 56b leading to the front of each device.

【０１２５】以下、図９及び図１０に示された洗浄乾燥
装置の動作について説明する。The operation of the washing / drying apparatus shown in FIGS. 9 and 10 will be described below.

【０１２６】先ず、坩堝搬送装置５が、洗浄乾燥装置の
長手方向に平行な軌道５６ａ上を移動し、第１の坩堝保
管棚６の前で停止する。この時、坩堝搬送装置５が備え
る腕５１は開いており、腕５１間の間隔は、搬送しよう
とする坩堝の直径よりも大きくなっている。一方、第１
の坩堝保管棚６においては、第１の回転棚６１又は第２
の回転棚６２が回転し、洗浄しようとする坩堝が前記坩
堝搬送装置と対向する位置に来たら、これらの回転棚は
停止する。First, the crucible conveying device 5 moves on a track 56a parallel to the longitudinal direction of the washing and drying device, and stops in front of the first crucible storage shelf 6. At this time, the arms 51 included in the crucible conveying device 5 are open, and the interval between the arms 51 is larger than the diameter of the crucible to be conveyed. Meanwhile, the first
The first rotating shelf 61 or the second rotating shelf 61
Are rotated, and when the crucible to be washed comes to a position facing the crucible transport device, the rotating shelves stop.

【０１２７】次いで、坩堝搬送装置５は、洗浄乾燥装置
の長手方向に対して直角な軌道５６ｂ上を前進し、腕５
１に設けられた板状部材５１ａが、洗浄しようとする坩
堝の丁度左右の位置まで来たら停止する。Next, the crucible conveying device 5 advances on a track 56b perpendicular to the longitudinal direction of the washing and drying device,
When the plate-like member 51a provided in 1 comes to the right and left positions of the crucible to be cleaned, the operation is stopped.

【０１２８】そして、坩堝搬送装置５の本体５２に設け
られた油圧装置５２ａが収縮することによって、腕５１
は２本とも内側に移動し、腕５１の間の間隔は狭くな
る。そして、腕５１の間隔が坩堝の直径とほぼ同一にな
ったら、腕５１は停止する。このとき、上記板状部材５
１ａが、上記坩堝とこの坩堝が載置されている第１の回
転棚６１又は第２の回転棚６２との間に挿入される。Then, when the hydraulic device 52a provided on the main body 52 of the crucible conveying device 5 contracts, the arm 51
Are moved inward, and the space between the arms 51 is reduced. When the interval between the arms 51 becomes substantially equal to the diameter of the crucible, the arms 51 stop. At this time, the plate member 5
1a is inserted between the above crucible and the first rotating shelf 61 or the second rotating shelf 62 on which the crucible is placed.

【０１２９】この状態で、脚５３を伸長させる。このと
き、上記坩堝は、伏せた状態で板状部材５１ａに載置さ
れ、回転棚６１又は６２から持ち上げられる。In this state, the leg 53 is extended. At this time, the crucible is placed on the plate member 51a in a prone state and lifted from the rotating shelf 61 or 62.

【０１３０】この状態で、坩堝搬送装置５は軌道５６ｂ
上を後退し、次いで軌道５６ａ上を右に移動し、第１の
洗浄液噴射装置１０ａの前で停止する。第１の洗浄液噴
射装置１０ａの前で停止した坩堝搬送装置５は、軌道５
６ｂ上を移動し、第１の洗浄装置１０ａが有する台座２
のほぼ真上に坩堝が位置した時点で停止する。そこで、
脚５３を収縮させると、上記坩堝は、腕５１に設けられ
た板状部材５１ａに載置された状態で下降し、第１の洗
浄液噴射装置１０ａの有する容器保持部材１上に載置さ
れる。第１の洗浄液噴射装置１０ａの有する容器保持部
材１上に坩堝が載置されたら、坩堝搬送装置５が後退す
る際に上記板状部材５１ａが容器保持部材１等に当接し
ないように、腕５１の間の間隔を広げ、この状態で坩堝
搬送装置５は軌道５６ｂ上を軌道５６ａまで後退する。In this state, the crucible transfer device 5
It retreats upward, then moves to the right on the track 56a, and stops in front of the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a. The crucible transport device 5 stopped in front of the first cleaning liquid injection device 10a
6b, the pedestal 2 of the first cleaning device 10a
Stops when the crucible is located almost directly above. Therefore,
When the leg 53 is contracted, the crucible descends while being placed on the plate member 51a provided on the arm 51, and is placed on the container holding member 1 of the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a. . When the crucible is placed on the container holding member 1 of the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a, the arm is used so that the plate-shaped member 51a does not come into contact with the container holding member 1 or the like when the crucible transporting device 5 retreats. The distance between the first and second crucibles 51 is widened, and in this state, the crucible conveying device 5 retreats on the track 56b to the track 56a.

【０１３１】一方、第１の洗浄液噴射装置１０ａにおい
ては、容器保持部材１上に坩堝が載置されると、容器保
持部材１が回転を開始し、それに伴い坩堝も回転する。
それとともに、ノズル３１ａから上記坩堝の内面に向か
って、硫酸、次いでフッ化水素酸が噴射されるととも
に、ノズル３３ａからは上記坩堝の外面に硫酸又はフッ
化水素酸が噴射され、坩堝が洗浄される。On the other hand, in the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a, when the crucible is placed on the container holding member 1, the container holding member 1 starts to rotate, and accordingly, the crucible also rotates.
At the same time, sulfuric acid and then hydrofluoric acid are sprayed from the nozzle 31a toward the inner surface of the crucible, and sulfuric acid or hydrofluoric acid is sprayed from the nozzle 33a to the outer surface of the crucible to wash the crucible. You.

【０１３２】洗浄が終了したら、再び坩堝搬送装置５が
軌道５６ｂ上を前進し、容器保持部材１から坩堝を持ち
上げる。そして、この状態で、坩堝搬送装置５は軌道５
６ｂ上を軌道５６ａまで後退する。When the washing is completed, the crucible transport device 5 advances on the track 56b again, and lifts the crucible from the container holding member 1. Then, in this state, the crucible conveying device 5
6b retreats to the track 56a.

【０１３３】次いで、坩堝搬送装置５は、軌道５６ａ上
を更に右に移動し、第２の洗浄液噴射装置１０ｂの前で
停止する。第２の洗浄液噴射装置１０ｂの前で停止した
坩堝搬送装置５は、軌道５６ｂ上を移動し、第２の洗浄
液噴射装置１０ｂの台座２の真上に坩堝が位置した時点
で停止する。そこで、第１の洗浄装置１０ａの場合と同
じように脚５３を収縮させると、上記坩堝は、上でも述
べたように、腕５１に設けられた板状部材５１ａに載置
された状態で下降し、第２の洗浄装置１０ｂの有する容
器保持部材１上に載置される。第２の洗浄液噴射装置１
０ｂの有する容器保持部材１上に坩堝が載置されたら、
腕５１の間の間隔が拡大せられ、この状態で坩堝搬送装
置５は軌道５６ｂ上を軌道５６ａまで後退する。Next, the crucible transport device 5 moves further rightward on the track 56a and stops before the second cleaning liquid injection device 10b. The crucible conveying device 5 stopped before the second cleaning liquid ejecting device 10b moves on the track 56b and stops when the crucible is positioned directly above the pedestal 2 of the second cleaning liquid ejecting device 10b. Therefore, when the leg 53 is contracted in the same manner as in the case of the first cleaning device 10a, the crucible is lowered while being placed on the plate member 51a provided on the arm 51, as described above. Then, it is placed on the container holding member 1 of the second cleaning device 10b. Second cleaning liquid injection device 1
When the crucible is placed on the container holding member 1 of
The distance between the arms 51 is enlarged, and in this state, the crucible transport device 5 retreats on the track 56b to the track 56a.

【０１３４】一方、第２の洗浄液噴射装置１０ｂにおい
ては、容器保持部材１上に坩堝が載置されると、容器保
持部材１が回転を開始し、それに伴い坩堝も回転する。
そしてノズル３１ｂから上記坩堝の内面に向かって純水
が噴射されるとともに、ノズル３３ｂからは上記坩堝の
外面に純水が噴射され、坩堝が水洗され、第１の洗浄液
噴射装置で噴射された硫酸及びフッ化水素酸が濯ぎ落と
される。On the other hand, in the second cleaning liquid ejecting apparatus 10b, when the crucible is placed on the container holding member 1, the container holding member 1 starts to rotate, and accordingly, the crucible also rotates.
Then, while pure water is sprayed from the nozzle 31b toward the inner surface of the crucible, pure water is sprayed from the nozzle 33b to the outer surface of the crucible, the crucible is washed with water, and sulfuric acid sprayed by the first cleaning liquid spray device is sprayed. And the hydrofluoric acid is rinsed off.

【０１３５】水洗が終了したら、再び容器搬送装置５が
軌道５６ｂ上を前進し、容器保持部材１から坩堝を持ち
上げる。そして、この状態で、坩堝搬送装置５は軌道５
６ｂ上を軌道５６ａまで後退する。After the completion of the water washing, the container conveying device 5 advances again on the track 56b, and lifts the crucible from the container holding member 1. Then, in this state, the crucible conveying device 5
6b retreats to the track 56a.

【０１３６】容器搬送装置５は、軌道５６ａまで後退し
た後、軌道５６ｂ上を更に右方向に移動する。そして、
坩堝は、第１の洗浄液噴射装置１０ａ及び第２の洗浄液
噴射装置１０ｂのところで述べたのと同様にして、空気
噴射装置１０ｃの容器保持部材１上に載置される。After retreating to the track 56a, the container transfer device 5 moves further rightward on the track 56b. And
The crucible is placed on the container holding member 1 of the air injection device 10c in the same manner as described for the first cleaning liquid injection device 10a and the second cleaning liquid injection device 10b.

【０１３７】空気噴射装置１０ｃにおいても、坩堝は、
内面と外面との両方から乾燥空気を噴射される。これに
よって、坩堝は乾燥する。Also in the air injection device 10c, the crucible is
Dry air is injected from both the inner and outer surfaces. Thereby, the crucible dries.

【０１３８】乾燥後の坩堝は、坩堝搬送装置５によっ
て、坩堝包装装置７の回転台７２上に載置される。The dried crucible is placed on the turntable 72 of the crucible packaging device 7 by the crucible transport device 5.

【０１３９】回転台７２上に載置された坩堝は、上で述
べたようにしてポリエチレン等のフィルムで包装され
る。The crucible placed on the turntable 72 is packaged with a film of polyethylene or the like as described above.

【０１４０】包装後の坩堝は、坩堝搬送装置５によって
第２の坩堝保管棚８の回転棚８１又は８２上に載置され
る。The crucible after packaging is placed on the rotating shelf 81 or 82 of the second crucible storage shelf 8 by the crucible transport device 5.

【０１４１】図９及び図１０に示された洗浄乾燥装置に
おいて、第１の洗浄液噴射装置１０ａ、及び第２の洗浄
液噴射装置１０ｂは、本発明の洗浄乾燥装置における洗
浄液噴射装置に相当し、気体噴射装置１０ｃは、本発明
の洗浄乾燥装置における気体噴射装置に相当し、容器搬
送装置５は、本発明の洗浄乾燥装置における容器搬送装
置に相当する。In the cleaning / drying apparatus shown in FIGS. 9 and 10, a first cleaning liquid spraying apparatus 10a and a second cleaning liquid spraying apparatus 10b correspond to the cleaning liquid spraying apparatus in the cleaning / drying apparatus of the present invention. The injection device 10c corresponds to a gas injection device in the cleaning and drying device of the present invention, and the container transport device 5 corresponds to a container transport device in the cleaning and drying device of the present invention.

【０１４２】以上、本発明に係る洗浄乾燥装置の一例に
ついて説明してきたが、本発明に係る洗浄乾燥装置は、
上記の態様には限定されない。The above description has been directed to an example of the cleaning / drying apparatus according to the present invention.
It is not limited to the above embodiment.

【０１４３】この他の態様としては、例えば洗浄液噴射
装置と気体噴射装置とを１つづつ備える洗浄乾燥装置が
ある。この洗浄乾燥装置では、洗浄液噴射手段におい
て、最初に硫酸、塩酸、フッ化水素酸等の洗浄液を噴射
し、次いで純水を噴射して坩堝等の内部を濯ぐようにす
るのが好ましい。又、気体噴射装置においては、常温の
乾燥空気の代わりに加熱空気又は乾燥窒素ガス等を噴射
してもよい。As another embodiment, there is a cleaning / drying apparatus provided with, for example, one cleaning liquid injection device and one gas injection device. In this cleaning / drying apparatus, it is preferable that the cleaning liquid injection means first injects a cleaning liquid such as sulfuric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid, and the like, and then jets pure water to rinse the inside of the crucible or the like. In the gas injection device, heated air or dry nitrogen gas may be injected instead of dry air at room temperature.

【０１４４】又、本発明の洗浄乾燥装置は、坩堝以外の
容器、例えば、椀、丼、グラス、及びカップ等の食器類
の洗浄及び乾燥にも好ましく用いることができる。The washing and drying apparatus of the present invention can also be preferably used for washing and drying containers other than crucibles, such as bowls, bowls, glasses, and cups.

【０１４５】以下、本発明の洗浄乾燥装置を構成する各
要素について詳しく説明する。Hereinafter, each element constituting the cleaning / drying apparatus of the present invention will be described in detail.

【０１４６】洗浄液噴射装置は、その軸線を回転中心に
して回転可能に保持され、その基部から先端部に向かっ
て直径が縮小する周面を有し、且つ水平面内で放射状に
配置された３本以上の容器保持部材と、前記容器保持部
材を回転させる駆動手段と、上記容器保持部材によって
保持された倒立状態の容器の内面に向かって洗浄液を噴
射する洗浄液噴射手段とを備えてなる装置である。The cleaning liquid spraying device is rotatably held about its axis, has a peripheral surface whose diameter decreases from its base toward its tip, and is radially arranged in a horizontal plane. An apparatus comprising the above-described container holding member, driving means for rotating the container holding member, and cleaning liquid jetting means for jetting a cleaning liquid toward the inner surface of the inverted container held by the container holding member. .

【０１４７】上記の洗浄液噴射装置において、容器保持
部材、駆動手段洗浄、及び洗浄液噴射手段は、何れも先
に本発明に係る流体噴射装置のところで容器保持部材、
駆動手段洗浄、及び流体噴射手段について述べたのと同
様の構成を有する。但し、洗浄液噴射手段においては、
硫酸、塩酸、及びフッ化水素酸等の無機酸の水溶液、ア
ニオン性界面活性剤溶液、カチオン性界面活性剤溶液、
及びノニオン性界面活性剤溶液等の界面活性剤溶液、ア
ルカリ溶液、水、並びにエタノール、アセトン、及びイ
ソプロパノール等有機溶媒等の液体が噴射されるのであ
るから、噴射ノズルは、液体用の噴射ノズルであり、且
つ広角度で液体を噴射できるノズルであることが好まし
い。In the above-described cleaning liquid ejecting apparatus, the container holding member, the cleaning means for the driving means, and the cleaning liquid ejecting means are all the same as those in the fluid ejecting apparatus of the present invention.
It has a configuration similar to that described for the drive unit cleaning and the fluid ejection unit. However, in the cleaning liquid injection means,
Sulfuric acid, hydrochloric acid, and aqueous solutions of inorganic acids such as hydrofluoric acid, anionic surfactant solutions, cationic surfactant solutions,
Since a liquid such as a surfactant solution such as a nonionic surfactant solution, an alkaline solution, water, and an organic solvent such as ethanol, acetone, and isopropanol is sprayed, the spray nozzle is a spray nozzle for liquid. It is preferable that the nozzle be capable of ejecting liquid at a wide angle.

【０１４８】気体噴射装置も、前記の洗浄液噴射装置と
同様、容器保持部材と、前記容器保持部材を回転させる
駆動手段とを備え、容器内側に気体を噴射する気体噴射
手段とを備えてなる。The gas injection device, like the cleaning liquid injection device, includes a container holding member, driving means for rotating the container holding member, and gas injection means for injecting gas into the container.

【０１４９】気体噴射装置においても、容器保持部材及
び駆動手段、及び気体噴射手段は、何れも先に本発明に
係る流体噴射装置のところで述べたのと同様である。但
し、気体噴射手段は、乾燥空気等の気体を容器の内側に
噴射して乾燥する手段であり、容器の内側に高速で大量
の気体を噴射し得ることが、洗浄後の容器を短時間で乾
燥させる上で好ましい。故に、気体噴射手段は、水平方
向に対して斜めに開講したスリット状の開口部が先端部
に設けられてなる形態のノズルを有することが好まし
い。In the gas ejecting apparatus, the container holding member, the driving means, and the gas ejecting means are all the same as those described above for the fluid ejecting apparatus according to the present invention. However, the gas injection means is a means for injecting a gas such as dry air into the inside of the container for drying, and being able to inject a large amount of gas at a high speed inside the container can quickly clean the container after cleaning. It is preferable for drying. Therefore, it is preferable that the gas injection unit has a nozzle having a form in which a slit-shaped opening that is opened obliquely to the horizontal direction is provided at the tip end.

【０１５０】容器搬送装置は、上にも述べたように、容
器を前記洗浄液噴射装置における容器保持部材に容器を
載置し、洗浄後の容器を前記容器保持部材から取り出し
て前記気体噴射装置における容器保持部材に容器を載置
し、乾燥後の容器を前記容器保持部材から取り出す装置
である。As described above, the container transport device places the container on the container holding member of the cleaning liquid ejecting device, takes out the washed container from the container holding member, and removes the container from the container holding member. This is an apparatus in which a container is placed on a container holding member and the dried container is taken out from the container holding member.

【０１５１】容器搬送装置は、上記の機能を満たし得る
装置であればどのような装置でも用いることができる。
このような装置としては、例えば、容器を上下方向に搬
送する腕と、水平方向に走行する台車と、この走行装置
と腕とを結合する脚とを備える装置がある。As the container conveying device, any device can be used as long as it can satisfy the above functions.
As such a device, for example, there is a device provided with an arm for vertically transporting a container, a bogie traveling in a horizontal direction, and a leg connecting the traveling device and the arm.

【０１５２】上記の装置としては、例えば上記の実施例
で示されたような、容器を坩堝を載置する板状の部材で
ある平板状部材が、その先端に水平に設けられてなる腕
と、腕相互の間隔が変えられるように左右の側面に各１
本、計２本上記の腕が取り付けられている箱状の本体
と、この箱状の本体が乗っている伸縮可能な脚と、この
脚が載っているとともに軌道上を走行する台車とを備え
てなる容器搬送装置がある。As the above-mentioned apparatus, for example, as shown in the above-mentioned embodiment, a flat plate-like member which is a plate-like member on which a crucible is placed as a container is provided with an arm horizontally provided at the end thereof. , Each one on the left and right side so that the distance between the arms can be changed
A box-shaped main body to which the above-mentioned two arms are attached, an extendable leg on which the box-shaped main body is mounted, and a cart on which the leg is mounted and which runs on a track. Container transport device.

【０１５３】容器搬送装置としては、上記の態様を有す
る容器搬送装置の他に、例えば、支点を中心として鋏状
に開閉する２本の腕と、上記の支点がその上端に取り付
けられてなる伸縮可能な脚と、上記脚の下端に取り付け
られてなる走行可能な台車とを備える容器搬送装置があ
る。As the container transfer device, in addition to the container transfer device having the above-described mode, for example, two arms that open and close in a scissor shape around a fulcrum, and a telescopic device having the fulcrum attached to the upper end thereof There is a container transport device including a possible leg and a movable carriage mounted on the lower end of the leg.

【０１５４】この容器搬送装置においては、容器の側面
の曲面にほぼ一致する曲面を有し、且つゴム等の摩擦の
大きな材料で構成された容器保持面を備える容器保持部
材が、鋏状に開閉する上記の２本の腕の先端部に取り付
けられていることが好ましい。そして、この容器保持部
材は、上記容器保持面が内側を向くように、それぞれの
腕に取り付けられていることが好ましい。２本の腕が閉
じると、この容器保持面が容器の側面に当接する。これ
によって、容器が保持される。In this container transport device, a container holding member having a curved surface substantially corresponding to the curved surface of the side surface of the container and having a container holding surface made of a material having large friction such as rubber is opened and closed like scissors. Preferably, it is attached to the tips of the two arms described above. The container holding member is preferably attached to each arm such that the container holding surface faces inward. When the two arms are closed, the container holding surface abuts the side of the container. Thereby, the container is held.

【０１５５】上記の２本の腕が有する支点は、上記脚に
対して、回転可能に取り付けられていてもよいし、固定
されていてもよい。上記支点が、脚に対して回転可能に
取り付けられている場合には、支点、又は脚の頂部に、
サーボモーター、ステッピングモーター、油圧モータ
ー、又は空気モーター等を取り付け、これによって支点
が回転するように構成することが好ましい。上記脚は、
その下端において、回転可能に台車に取り付けられてい
てもよいし、台車に固定されていてもよい。The fulcrum of the two arms may be rotatably attached to the legs or may be fixed. When the fulcrum is rotatably attached to the leg, at the fulcrum or the top of the leg,
It is preferable to attach a servo motor, a stepping motor, a hydraulic motor, an air motor, or the like, and thereby rotate the fulcrum. The above legs are
At its lower end, it may be rotatably attached to the trolley or may be fixed to the trolley.

【０１５６】台車は、上記の実施例で示された容器搬送
装置に用いられていた台車のように、軌道の上を走行す
る形式の台車であってもよいし、又、ゴムタイヤ若しく
は無限軌道によって自由走行する形式の台車であっても
よい。後者の形式の台車においては、容器搬送装置が走
行すべき経路に沿って、機械的ガイド、磁気的ガイド又
は光学的ガイドを設け、これらのガイドによって機械
的、磁気的又は光学的に台車を誘導してもよい。ここ
で、機械的ガイドとしては、洗浄乾燥装置の設置されて
いる床面にガイドレール等を設け、水平に取り付けられ
た誘導車輪をこのガイドレールに接触させ、この誘導車
輪によって台車の進行方向を制御する形式のガイド等が
可能である。磁気的ガイドとしては、洗浄乾燥装置の設
置されている床面に磁性塗料で線を描き、この線を磁気
的に検出することによって台車をその線の通りに誘導す
るという形式のガイド等が可能である。又、光学的ガイ
ドとしては、洗浄乾燥装置の設置されている床面に、白
色又は黒色等、周囲と明度が著しく異なる色彩の塗料で
線を描き、この線を光学センサー等で検出して、この線
にそって台車を誘導する形式のガイド等がある。尚、磁
気的ガイド及び光学的ガイドにおいては、床面に描かれ
る線の幅には特に制限はないが、５〜３０ｃｍの範囲が
好ましい。The carriage may be a carriage that travels on a track, such as the carriage used in the container transporting apparatus shown in the above-described embodiment, or may be a rubber tire or an endless track. A free-running trolley may be used. In the latter type of truck, mechanical guides, magnetic guides, or optical guides are provided along the path along which the container transport device travels, and these guides guide the truck mechanically, magnetically, or optically. May be. Here, as a mechanical guide, a guide rail or the like is provided on the floor surface on which the washing and drying device is installed, and a guide wheel mounted horizontally is brought into contact with the guide rail, and the traveling direction of the bogie is changed by the guide wheel. A guide or the like in a controlled form is possible. As a magnetic guide, a guide that draws a line with magnetic paint on the floor where the washing and drying equipment is installed and guides the bogie along the line by detecting this line magnetically is possible. It is. Also, as an optical guide, draw a line on the floor where the washing and drying device is installed, using paint of a color that is significantly different from the surroundings, such as white or black, and detect this line with an optical sensor or the like, There are guides and the like that guide the bogie along this line. In the magnetic guide and the optical guide, the width of the line drawn on the floor is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 to 30 cm.

【０１５７】尚、本発明の洗浄乾燥装置においては、洗
浄前の坩堝が保管されている坩堝保管棚から坩堝が取り
出す動作、この坩堝を洗浄液噴射装置上に載置する動
作、洗浄液噴射装置において坩堝を洗浄する動作、洗浄
後の坩堝を、気体噴射装置上に載置する動作、気体噴射
装置において坩堝を乾燥する動作、乾燥後の坩堝を別の
坩堝保管棚に載置するという一連の動作は、運転者が、
坩堝の様子を洗浄乾燥装置の外部から観察しつつ手動で
行ってもよいし、コンピューターで自動的に行ってもよ
い。In the cleaning / drying apparatus of the present invention, the operation of taking out the crucible from the crucible storage shelf in which the crucible before cleaning is stored, the operation of placing this crucible on the cleaning liquid jetting device, and the operation of the crucible in the cleaning liquid jetting device The operation of washing, the operation of placing the washed crucible on the gas injection device, the operation of drying the crucible in the gas injection device, and the operation of placing the dried crucible on another crucible storage shelf are as follows: , The driver
It may be performed manually while observing the state of the crucible from the outside of the washing and drying apparatus, or may be automatically performed by a computer.

【０１５８】本発明の洗浄乾燥装置の他の例を以下に示
す。Another example of the washing / drying apparatus of the present invention will be described below.

【０１５９】図１１は、図９及び図１０に示された洗浄
乾燥装置において、容器搬送装置５として、支点５７を
中心として鋏状に開閉する２本の腕５１と、上記の支点
５７がその上端に取り付けられてなる伸縮可能な脚５３
と、上記脚５３の下端に取り付けられてなる台車５４と
を備える容器搬送装置５を用いてなる洗浄乾燥装置の一
例を示す上面図である。FIG. 11 shows the cleaning and drying apparatus shown in FIGS. 9 and 10, in which the container transfer device 5 includes two arms 51 that open and close in a scissor shape around a fulcrum 57 and the fulcrum 57 described above. Telescopic legs 53 attached to the upper end
It is a top view which shows an example of the washing | cleaning drying apparatus using the container conveyance apparatus 5 provided with the bogie 54 attached to the lower end of the said leg 53, and the said.

【０１６０】そして、図１２は、図１１に示された洗浄
乾燥装置において、容器搬送装置５によって第１洗浄液
噴射装置の容器保持部材上に坩堝が載置される様子を示
す側面図である。FIG. 12 is a side view showing a state in which the crucible is placed on the container holding member of the first cleaning liquid spraying device by the container conveying device 5 in the cleaning and drying device shown in FIG.

【０１６１】図１１に示された洗浄乾燥装置において
は、図９に示された洗浄乾燥装置と同様、向かって左側
から順に、洗浄前の坩堝を保管する第１の坩堝保管棚
６、前記坩堝の内面に向かって硫酸又はフッ化水素酸を
噴射する第１の洗浄液噴射装置１０ａ、坩堝の内面に向
かって純水を噴射する第２の洗浄液噴射装置１０ｂ、坩
堝の内面に向かって乾燥空気を噴射する空気噴射装置１
０ｃ、乾燥した坩堝を包装する坩堝包装装置７、並びに
洗浄後の坩堝を保管する第２の坩堝保管棚８が設けられ
ている。これらの装置の前方には、軌道５６が設けられ
てなり、その上を容器搬送装置５の台車５４が走行す
る。In the cleaning / drying apparatus shown in FIG. 11, similarly to the cleaning / drying apparatus shown in FIG. 9, a first crucible storage shelf 6 for storing crucibles before cleaning, A first cleaning liquid injector 10a for injecting sulfuric acid or hydrofluoric acid toward the inner surface of the crucible, a second cleaning liquid injector 10b for injecting pure water toward the inner surface of the crucible, and dry air toward the inner surface of the crucible. Injecting air injection device 1
0c, a crucible packaging device 7 for packaging the dried crucible, and a second crucible storage shelf 8 for storing the crucible after washing. A track 56 is provided in front of these devices, and the truck 54 of the container transport device 5 runs on the track 56.

【０１６２】そして、容器搬送装置５が、第１の坩堝保
管棚６から第１の洗浄液噴射装置１０ａに坩堝を搬送
し、次いで第２の洗浄液噴射装置１０ｂにこの坩堝を搬
送し、洗浄、水洗の終了した坩堝を、空気噴射装置１０
ｃ、次いで包装装置７に搬送し、包装装置７で包装され
た坩堝を、最後に第２の坩堝保管棚８に搬送する点も、
図９に示された洗浄乾燥装置と同様である。Then, the container transfer device 5 transfers the crucible from the first crucible storage shelf 6 to the first cleaning liquid injection device 10a, and then transfers the crucible to the second cleaning liquid injection device 10b for washing and water washing. Of the crucible that has been completed
c, and then transported to the packaging device 7 and finally transported the crucible packaged by the packaging device 7 to the second crucible storage shelf 8,
This is the same as the washing / drying apparatus shown in FIG.

【０１６３】しかし、図１１に示された洗浄乾燥装置に
おいて使用されている容器搬送装置５においては、坩堝
の側面の曲面にほぼ一致する曲面を有し、且つゴム等の
摩擦の大きな材料で構成された容器保持面５１ｂを備え
る容器保持部材５１ｃが、鋏状に開閉する上記の２本の
腕５１の先端部に取り付けられている。そして、この容
器保持部材５１ｃは、上記容器保持面５１ｂが内側を向
くように、それぞれの腕５１に取り付けられている。２
本の腕５１が閉じると、両方の腕に設けられたの容器保
持面５１ａが坩堝の側面に当接し、これによって腕５１
に坩堝が保持される。However, the container transporting apparatus 5 used in the washing and drying apparatus shown in FIG. 11 has a curved surface substantially matching the curved surface of the side surface of the crucible, and is made of a material having large friction such as rubber. A container holding member 51c having a container holding surface 51b is attached to the distal ends of the two arms 51 that open and close like scissors. The container holding member 51c is attached to each arm 51 such that the container holding surface 51b faces inward. 2
When the arms 51 of the book are closed, the container holding surfaces 51a provided on both arms abut against the side surfaces of the crucible.
The crucible is held.

【０１６４】図１１に示された洗浄乾燥装置も、図９に
示された洗浄乾燥装置と同様にして作動する。但し、容
器搬送装置５によって坩堝が搬送される状態は、図９に
示された洗浄乾燥装置のそれとは大きく異なる。この坩
堝が搬送される状態を、第１の坩堝保管棚６から坩堝が
取り出され、第１の洗浄液噴射装置上にこの坩堝が載置
されるまでの状態を例にとって説明する。The cleaning / drying apparatus shown in FIG. 11 operates similarly to the cleaning / drying apparatus shown in FIG. However, the state in which the crucible is carried by the container carrying device 5 is significantly different from that of the washing / drying device shown in FIG. The state in which the crucible is transported will be described by taking as an example a state in which the crucible is taken out of the first crucible storage shelf 6 and is placed on the first cleaning liquid ejecting apparatus.

【０１６５】図１２は、第１の洗浄液噴射装置上に坩堝
が載置される様子を示す概略図である。FIG. 12 is a schematic diagram showing a state in which a crucible is placed on the first cleaning liquid injection device.

【０１６６】図１２に示されるように、第１の洗浄液噴
射装置１０ａは、容器保持部材１と、容器保持部材が回
転可能に取り付けられている台座２と、台座２に固定さ
れた洗浄液噴射手段３とを備える。より詳細には、容器
保持部材１に固定された第２の駆動軸１１が台座２に回
転可能に取り付けられてなり、この第２の駆動軸１１に
は、第２の傘歯車１２が固定されている。この第２の傘
歯車１２は、第１の駆動軸４１に固定された第１の傘歯
車４２と噛み合っている。したがって、第１の駆動軸４
１が回転すると、第１の傘歯車、第２の傘歯車、及び第
２の駆動軸１２を介して容器保持部材１が回転する。As shown in FIG. 12, the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a comprises a container holding member 1, a pedestal 2 on which the container holding member is rotatably mounted, and a cleaning liquid ejecting means fixed to the pedestal 2. 3 is provided. More specifically, a second drive shaft 11 fixed to the container holding member 1 is rotatably mounted on the pedestal 2, and a second bevel gear 12 is fixed to the second drive shaft 11. ing. The second bevel gear 12 meshes with a first bevel gear 42 fixed to a first drive shaft 41. Therefore, the first drive shaft 4
When 1 rotates, the container holding member 1 rotates via the first bevel gear, the second bevel gear, and the second drive shaft 12.

【０１６７】洗浄液噴射手段３ａは、洗浄液供給管３２
ａ及びノズル３１ａを備えている。そして、ノズル３１
ａは、何れも洗浄液供給管３２ａの左側の側面に１個、
同右側の側面に２個、同頂点に１個、合計４個取り付け
られている。硫酸及びフッ化水素酸等の洗浄液は洗浄液
供給管３２ａを通して供給され、ノズル３１ａから坩堝
の内側に向かって噴射される。The cleaning liquid injection means 3a is provided with a cleaning liquid supply pipe 32.
a and a nozzle 31a. And the nozzle 31
a is one on the left side surface of the cleaning liquid supply pipe 32a,
Two on the right side and one on the vertex, for a total of four. A cleaning liquid such as sulfuric acid and hydrofluoric acid is supplied through a cleaning liquid supply pipe 32a, and is injected from a nozzle 31a toward the inside of the crucible.

【０１６８】容器搬送装置５において、上記の２本の腕
が有する支点５７は、上記脚５３に対して固定されてい
る。脚５３は、その下端において台車５４に固定されて
いる。In the container transfer device 5, the fulcrum 57 of the two arms is fixed to the leg 53. The leg 53 is fixed to the carriage 54 at its lower end.

【０１６９】脚５３は、シリンダ５３ａ及びそれに嵌合
するプランジャ５３ｂとを有してなり、プランジャ５３
ｂは油圧によって上下し、これによって脚５３は伸縮す
る。尚、プランジャ５３ｂの外側には伸縮自在な蛇腹状
の被い５５が被せられてなる。この被い５５は、プラン
ジャ５３ｂを被い、プランジャ５３ｂとシリンダ５３ａ
との間の隙間からシリンダ５３ａに塵埃が侵入すること
を防ぐ。The leg 53 has a cylinder 53a and a plunger 53b fitted to the cylinder 53a.
b rises and falls by hydraulic pressure, and thereby the leg 53 expands and contracts. The plunger 53b is covered with an elastic bellows-like cover 55 outside the plunger 53b. The cover 55 covers the plunger 53b, and the plunger 53b and the cylinder 53a.
To prevent dust from entering the cylinder 53a from a gap between the cylinder 53a and the cylinder 53a.

【０１７０】容器搬送装置５は、腕５１が開いた状態
で、第１の坩堝保管棚６の回転棚６２上に載置された、
搬送しようとする坩堝に接近する。上記の容器保持面５
１ｂが坩堝の真横に位置したら、腕５１を閉じ、両方の
容器保持面５１ｂを坩堝に当接させる。この状態で脚５
３を伸長させ、坩堝を持ち上げる。坩堝が持ち上げられ
たら、軌道５６ｂ上を台車５４が後方に走行することに
よって坩堝搬送装置５は後退し、次いで坩堝搬送装置５
は軌道５６ａ上を右に移動し、第１の洗浄液噴射装置１
０ａの前で停止する。第１の洗浄液噴射装置１０ａの前
で停止後、坩堝搬送装置５は、軌道５６ｂ上を移動し、
第１の洗浄液噴射装置１０ａの有する台座２のほぼ真上
に坩堝が位置した時点で停止する。このとき、図１２に
おいて二点鎖線で示されたように、脚５３を収縮させる
と、腕５１とともに坩堝も降下し、第１の洗浄液噴射装
置１０ａが有する容器保持部材１上に坩堝が載置され
る。The container transporting device 5 is placed on the rotating shelf 62 of the first crucible storage shelf 6 with the arm 51 opened.
Approach the crucible to be transported. The above container holding surface 5
When 1b is positioned right beside the crucible, the arm 51 is closed and both container holding surfaces 51b are brought into contact with the crucible. Leg 5 in this state
Extend 3 and lift the crucible. When the crucible is lifted, the carriage 54 travels backward on the track 56b, so that the crucible transport device 5 retreats, and then the crucible transport device 5
Moves to the right on the track 56a, and the first cleaning liquid injection device 1
Stop before 0a. After stopping in front of the first cleaning liquid injection device 10a, the crucible transport device 5 moves on the track 56b,
It stops when the crucible is located almost directly above the pedestal 2 of the first cleaning liquid injection device 10a. At this time, as shown by the two-dot chain line in FIG. 12, when the leg 53 is contracted, the crucible is also lowered together with the arm 51, and the crucible is placed on the container holding member 1 of the first cleaning liquid ejecting apparatus 10a. Is done.

【０１７１】容器保持部材１上に坩堝が載置されたら、
腕５１を開いて、容器保持面５１ａを坩堝の側面から離
し、次いで脚５３を伸長させる。そして、容器搬送装置
５は軌道５６ａの位置まで下がる。When the crucible is placed on the container holding member 1,
The arm 51 is opened, the container holding surface 51a is separated from the side of the crucible, and then the leg 53 is extended. Then, the container transport device 5 moves down to the position of the track 56a.

【０１７２】図１３は、図１１に示された洗浄乾燥装置
において、第２の洗浄液噴射装置１０ｂを省略した態様
の洗浄乾燥装置を示す上面図である。FIG. 13 is a top view showing a cleaning / drying apparatus in which the second cleaning liquid ejecting apparatus 10b is omitted from the cleaning / drying apparatus shown in FIG.

【０１７３】図１３に示された洗浄乾燥装置において
は、向かって左側から順に、洗浄前の坩堝を保管する第
１の坩堝保管棚６、前記坩堝の内面に向かって硫酸又は
フッ化水素酸及び純水を噴射する第１の洗浄液噴射装置
１０ａ、坩堝の内面に向かって乾燥空気を噴射する空気
噴射装置１０ｃ、乾燥した坩堝を包装する坩堝包装装置
７、並びに洗浄後の坩堝を保管する第２の坩堝保管棚８
が設けられている。これらの装置の前方には、軌道５６
が設けられてなり、その上を容器搬送装置５の台車５４
が走行する。In the cleaning / drying apparatus shown in FIG. 13, a first crucible storage shelf 6 for storing a crucible before cleaning, and sulfuric acid or hydrofluoric acid and A first cleaning liquid injection device 10a for injecting pure water, an air injection device 10c for injecting dry air toward the inner surface of the crucible, a crucible packaging device 7 for packaging the dried crucible, and a second for storing the crucible after washing. Crucible storage shelf 8
Is provided. In front of these devices, track 56
Is provided, and a cart 54 of the container transfer device 5 is provided thereon.
Runs.

【０１７４】図１３の洗浄乾燥装置においても、第１の
坩堝保管棚６、空気噴射装置１０ｃ、坩堝包装装置７、
並びに第２の坩堝保管棚８の構成及び動作は図９及び図
１１に示された洗浄乾燥装置と同一である。しかし、第
１の洗浄液噴射装置において、硫酸又はフッ化水素酸を
噴射した後、純水を噴射して坩堝を濯ぐ点が、これらの
洗浄乾燥装置とは異なっている。In the cleaning / drying apparatus shown in FIG. 13, the first crucible storage shelf 6, the air injection device 10c, the crucible packaging device 7,
The configuration and operation of the second crucible storage shelf 8 are the same as those of the washing and drying apparatus shown in FIGS. 9 and 11. However, the first cleaning liquid injection device differs from these cleaning and drying devices in that sulfuric acid or hydrofluoric acid is injected, and then pure water is injected to rinse the crucible.

【０１７５】[0175]

【発明の効果】本発明の流体噴射装置においては、容器
保持部材が、その先端部からみて同一の方向に回転する
から、その上に伏せた状態で載置された坩堝等の容器も
回転した状態で保持される。したがって、容器の内側に
洗浄液又は乾燥空気を噴射した場合、容器の内側及び縁
にまんべんなく洗浄液及び乾燥空気が噴射される。According to the fluid ejecting apparatus of the present invention, since the container holding member rotates in the same direction as viewed from the distal end thereof, the container such as a crucible placed in a prone state also rotates. Held in state. Therefore, when the cleaning liquid or the dry air is injected into the inside of the container, the cleaning liquid and the dry air are evenly injected into the inside and the edge of the container.

【０１７６】しかも、容器保持部材は、先端部に向かっ
て直径が縮小する周面を有しているから、容器保持部材
で保持されている容器が、回転中に所定の位置から外れ
た場合、容器を元の位置に戻そうとする力が働くから、
容器保持部材上に、容器は安定に保持される。In addition, since the container holding member has a peripheral surface whose diameter decreases toward the distal end, when the container held by the container holding member comes out of a predetermined position during rotation, Because the force works to return the container to its original position,
The container is stably held on the container holding member.

【０１７７】したがって、本発明の流体噴射装置は、容
器の内側に、各種の洗浄液及び乾燥空気を噴射して、こ
の容器を洗浄及び乾燥するという用途に好ましく用いら
れる。Therefore, the fluid ejecting apparatus of the present invention is preferably used for the purpose of injecting various cleaning liquids and dry air into the inside of a container to wash and dry the container.

【０１７８】本発明の流体噴射装置は、特に、前記流体
噴射装置と前記乾燥装置として使用される流体噴射装置
とを組み合わせることによって、容器の内側及び縁を洗
浄し、乾燥することのできる洗浄乾燥装置を構成するこ
とができる。The fluid ejecting apparatus of the present invention is particularly capable of washing and drying the inside and the edge of the container and drying by combining the fluid ejecting apparatus and the fluid ejecting apparatus used as the drying apparatus. The device can be configured.

【０１７９】本発明の洗浄乾燥装置は、シリコン単結晶
を製造するのに用いられる坩堝を、硫酸若しくはフッ化
水素酸等の無機酸、水及び洗浄剤等の洗浄液を用いて洗
浄するという用途に、特に好ましく用いられる。The cleaning and drying apparatus of the present invention is used for cleaning a crucible used for producing a silicon single crystal using an inorganic acid such as sulfuric acid or hydrofluoric acid, water, and a cleaning liquid such as a cleaning agent. Are particularly preferably used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】図１は、本発明の流体噴射装置の一実施例を示
す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of a fluid ejection device of the present invention.

【図２】図２は、図１に示された流体噴射装置における
台座の内部構造を示す部分切断図である。FIG. 2 is a partial cutaway view showing an internal structure of a pedestal in the fluid ejection device shown in FIG.

【図３】図３は、図１及び図２に示された流体噴射装置
で坩堝を洗浄しているところを示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a state where the crucible is being cleaned by the fluid ejection device shown in FIGS. 1 and 2;

【図４】図４は、容器保持部材が、その基部から先端部
に向かって直径が縮小する５つの円筒面と、これらの円
筒面のうち隣り合う２つの円筒面の間に設けられた環状
テーパー面からなる円周面を有している流体噴射装置の
一例を示す斜視図である。FIG. 4 is a view showing a container holding member having five cylindrical surfaces whose diameters decrease from a base portion to a distal end portion thereof, and an annular shape provided between two adjacent cylindrical surfaces among these cylindrical surfaces; FIG. 3 is a perspective view illustrating an example of a fluid ejection device having a circumferential surface formed of a tapered surface.

【図５】図５は、容器保持部材が、その基部から先端部
に向かって直径が縮小する円錐面からなる周面を有して
いる流体噴射装置の一例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a fluid ejecting apparatus in which the container holding member has a peripheral surface formed of a conical surface whose diameter decreases from a base to a distal end thereof.

【図６】図６は、台座に固定したモーターによって容器
保持部材を直接に回転させる態様の流体噴射装置の一実
施例を示す、台座２を部分的に切断した部分切断図であ
る。FIG. 6 is a partially cut-away view of the pedestal 2 showing one embodiment of a fluid ejecting apparatus in which the container holding member is directly rotated by a motor fixed to the pedestal.

【図７】図７は、容器保持部材の内部にモーターの回転
子が固定されている態様の流体噴射装置の一実施例を示
す、台座２を部分的に切断した部分切断図である。FIG. 7 is a partially cut-away view of the pedestal 2 partially showing an embodiment of the fluid ejecting apparatus in which the rotor of the motor is fixed inside the container holding member.

【図８】図８は、流体噴射手段が、隣り合った２本の容
器保持部材の間を通過するように設けられた流体噴射手
段の一例を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an example of a fluid ejecting unit provided so that the fluid ejecting unit passes between two adjacent container holding members.

【図９】図９は、本発明の洗浄乾燥装置の一例である坩
堝洗浄乾燥装置を示す正面図及び上面図である。FIG. 9 is a front view and a top view showing a crucible cleaning / drying apparatus which is an example of the cleaning / drying apparatus of the present invention.

【図１０】図１０は、図９に示された坩堝洗浄乾燥装置
をＡ−Ａ方向から見た断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the crucible cleaning / drying apparatus shown in FIG. 9 as viewed from the direction AA.

【図１１】図１１は、図９及び図１０に示された洗浄乾
燥装置において、容器搬送装置として、支点を中心とし
て鋏状に開閉する２本の腕と、上記の支点がその上端に
取り付けられてなる伸縮可能な脚と、上記脚の下端に取
り付けられてなる台車とを備える容器搬送装置５を用い
てなる態様を有する洗浄乾燥装置の一例を示す上面図で
ある。FIG. 11 is a perspective view of the washing and drying apparatus shown in FIGS. 9 and 10, wherein two arms that open and close in a scissor-like manner around a fulcrum and the above-mentioned fulcrum are attached to the upper end thereof as a container carrier It is a top view which shows an example of the washing | drying-drying apparatus which has an aspect which uses the container conveyance apparatus 5 provided with the expandable leg which is provided, and the bogie attached to the lower end of the said leg.

【図１２】図１２は、図１１に示された洗浄乾燥装置に
おいて、容器搬送装置によって第１洗浄液噴射装置の容
器保持部材上に坩堝が載置される様子を示す概略図であ
る。FIG. 12 is a schematic diagram showing a state in which a crucible is placed on a container holding member of a first cleaning liquid ejecting device by a container transport device in the cleaning and drying device shown in FIG. 11;

【図１３】図１３は、図１１に示された洗浄乾燥装置に
おいて、第２の洗浄液噴射装置を省略した態様の洗浄乾
燥装置を示す上面図である。FIG. 13 is a top view showing a cleaning / drying apparatus in which the second cleaning liquid ejecting apparatus is omitted from the cleaning / drying apparatus shown in FIG. 11;

【図１４】図１４は、従来の坩堝自動洗浄装置の一例を
示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing an example of a conventional automatic crucible cleaning apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・容器保持部材、１ａ・・・円筒面、１ｂ・・・
鍔状部材、１ｃ・・・環状テーパー面、２・・・台座、
３・・・流体噴射手段、４・・・駆動手段、５・・・容
器搬送装置、６・・・第１の坩堝保管棚、７・・・坩堝
包装装置、８・・・第２の坩堝保管棚、１０ａ・・・第
１の洗浄液噴射装置、１０ｂ・・・第２の洗浄液噴射装
置、１０ｃ・・・空気噴射装置、１１・・・第２の駆動
軸、１２・・・第２の傘歯車、１３・・・固定ナット、
２１・・・基板、２２・・・側板、２３・・・上面板、
２４・・・支持部材、２５・・・軸受け、３１、３１
ａ、３１ｂ・・・ノズル、３２・・・流体供給管、３２
ａ、３２ｂ・・・洗浄液供給管、４０・・・モーター、
４０ａ・・・回転子、４０ｂ・・・固定子、４１・・・
第１の駆動軸、４２・・・第１の傘歯車、４３・・・軸
受け、４４・・・電線、５１・・・腕、５１ａ・・・板
状部材、５６・・・軌道、６１・・・第１の回転棚、６
２・・・第２の回転棚、６１ａ、６２ａ・・・切り込み
部、６３・・・軸、６４・・・モーター、７１・・・回
転台、７２・・・フィルム供給装置、７２ａ・・・ロー
ル状フィルム、７２ｂ・・・フィルム送り出しロール、
７２ｃ・・・フィルム裁断装置、７２ｄ・・・フィルム
掴み装置、７３・・・包装装置、８１・・・第１の回転
棚、８２・・・第２の回転棚、８３・・・軸、９０・・
・フィルム、１００・・・坩堝DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Container holding member, 1a ... Cylindrical surface, 1b ...
Flange-shaped member, 1c: annular tapered surface, 2: pedestal,
3 ... Fluid injection means, 4 ... Drive means, 5 ... Container transfer device, 6 ... First crucible storage shelf, 7 ... Crucible packaging device, 8 ... Second crucible Storage shelf, 10a: first cleaning liquid injection device, 10b: second cleaning liquid injection device, 10c: air injection device, 11: second drive shaft, 12: second Bevel gear, 13 ... fixed nut,
21 ... substrate, 22 ... side plate, 23 ... top plate,
24: Supporting member, 25: Bearing, 31, 31
a, 31b: nozzle, 32: fluid supply pipe, 32
a, 32b: cleaning liquid supply pipe, 40: motor,
40a ... rotor, 40b ... stator, 41 ...
First drive shaft, 42 first bevel gear, 43 bearing, 44 electric wire, 51 arm, 51a plate member, 56 track, 61 ..First rotating shelf, 6
2 2nd rotating shelf, 61a, 62a ... cut section, 63 ... shaft, 64 ... motor, 71 ... rotating table, 72 ... film supply device, 72a ... Roll-shaped film, 72b ... film delivery roll,
72c: film cutting device, 72d: film gripping device, 73: packaging device, 81: first rotating shelf, 82: second rotating shelf, 83: shaft, 90・ ・
・ Film, 100 ・ ・ ・ Crucible

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/208 Ｈ０１Ｌ 21/208 Ｐ ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁶ Identification code FI H01L 21/208 H01L 21/208 P

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 その軸線を回転中心にして回転可能に保
持され、その基部から先端部に向かって直径が縮小する
周面を有し、且つ水平面内で放射状に配置された３本以
上の容器保持部材と、前記容器保持部材を回転させる駆
動手段と、上記容器保持部材によって保持された倒立状
態の容器の内面に向かって流体を噴射する流体噴射手段
とを備えてなることを特徴とする流体噴射装置。1. Three or more containers that are rotatably held around their axis and have a peripheral surface whose diameter decreases from a base to a tip, and are radially arranged in a horizontal plane. A fluid comprising: a holding member; driving means for rotating the container holding member; and fluid ejecting means for ejecting fluid toward an inner surface of the inverted container held by the container holding member. Injection device. 【請求項２】 前記容器保持部材は、その基部から先端
部に向かって段階的に直径が縮小する２以上の円筒面を
有している請求項１に記載の流体噴射装置。2. The fluid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the container holding member has two or more cylindrical surfaces whose diameter gradually decreases from a base to a tip. 【請求項３】 前記容器保持部材は、それによって保持
されている容器の位置がずれるのを防止する鍔状部材を
前記周面上に有している請求項１に記載の流体噴射装
置。3. The fluid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the container holding member has a flange-shaped member on the peripheral surface for preventing a position of the container held by the container holding member from shifting. 【請求項４】 前記容器保持部材は、それによって保持
されている容器の位置がずれるのを防止する鍔状部材を
前記周面上に有し、且つ前記鍔状部材と前記周面との間
には環状テーパー面が形成されてなる請求項１に記載の
流体噴射装置。4. The container holding member has a flange member on the peripheral surface for preventing a position of the container held by the container member from shifting, and between the flange member and the peripheral surface. The fluid ejecting apparatus according to claim 1, wherein an annular tapered surface is formed in the fluid ejecting device. 【請求項５】 前記容器保持部材は、前記１の容器保持
部材の軸線が属する垂直面に対して他の容器保持部材が
互いに面対称になるように配置されている請求項１に記
載の流体噴射装置。5. The fluid according to claim 1, wherein the container holding member is arranged such that another container holding member is plane-symmetric with respect to a vertical plane to which an axis of the one container holding member belongs. Injection device. 【請求項６】 前記容器保持部材は６本設けられてなる
請求項１に記載の流体噴射装置。6. The fluid ejecting apparatus according to claim 1, wherein six container holding members are provided. 【請求項７】 前記容器保持部材は、それが有する軸線
を回転中心にして回転可能に、且つ水平面内に放射状に
配置されるように、前記容器保持部材を保持する台座に
保持されてなる請求項１に記載の流体噴射装置。7. The container holding member is held on a pedestal holding the container holding member such that the container holding member is rotatable about an axis of the container holding member and is radially arranged in a horizontal plane. Item 2. The fluid ejection device according to Item 1. 【請求項８】 前記駆動手段は、回転力を発生する回転
原動機と、この回転原動機で発生した回転力を前記容器
保持部材に伝達する回転力伝達部材とを有してなる請求
項１に記載の流体噴射装置。8. The drive unit according to claim 1, wherein the driving unit includes a rotary motor that generates a rotary force, and a rotary force transmitting member that transmits the rotary force generated by the rotary motor to the container holding member. Fluid ejection device. 【請求項９】 前記流体噴射手段は、上記容器保持部材
によって保持された容器の内面に向かって流体を噴射す
るノズルと、前記ノズルに流体を供給する流体供給手段
とを有してなる請求項１に記載の流体噴射装置。9. The fluid ejecting means includes a nozzle for ejecting a fluid toward an inner surface of a container held by the container holding member, and a fluid supply means for supplying a fluid to the nozzle. 2. The fluid ejection device according to 1. 【請求項１０】 その軸線を回転中心にして回転可能に
保持され、その基部から先端部に向かって直径が縮小す
る周面を有し、且つ水平面内で放射状に配置された３本
以上の容器保持部材と、前記容器保持部材を回転させる
駆動手段と、上記容器保持部材によって保持された倒立
状態の容器の内面に向かって洗浄液を噴射する洗浄液噴
射手段とを備えてなる洗浄液噴射装置と、その軸線を回
転中心にして回転可能に保持され、その基部から先端部
に向かって直径が縮小する周面を有し、且つ水平面内で
放射状に配置された３本以上の容器保持部材と、前記容
器保持部材を回転させる駆動手段と、上記容器保持部材
によって保持された倒立状態の容器の内面に向かって気
体を噴射する気体噴射手段とを備えてなる気体噴射装置
と、容器を前記洗浄液噴射装置における容器保持部材に
容器を載置し、洗浄後の容器を前記容器保持部材から取
り出して前記気体噴射装置における容器保持部材に容器
を載置し、乾燥後の容器を前記容器保持部材から取り出
す容器搬送装置とを有してなることを特徴とする洗浄乾
燥装置。10. Three or more containers which are rotatably held around the axis of rotation, have a peripheral surface whose diameter decreases from a base to a tip, and are radially arranged in a horizontal plane. A cleaning liquid ejecting apparatus comprising: a holding member; driving means for rotating the container holding member; and cleaning liquid ejecting means for ejecting a cleaning liquid toward an inner surface of the inverted container held by the container holding member. Three or more container holding members that are rotatably held around an axis as a center of rotation, have a peripheral surface whose diameter decreases from a base to a tip thereof, and are radially arranged in a horizontal plane; A gas injection device comprising: driving means for rotating a holding member; gas injection means for injecting gas toward an inner surface of the inverted container held by the container holding member; and The container is placed on the container holding member of the liquid ejecting apparatus, the container after cleaning is taken out of the container holding member, the container is placed on the container holding member of the gas ejecting apparatus, and the dried container is placed on the container holding member. A washing and drying device, comprising: