JPH10115917A - 感光性樹脂組成物およびカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精細なカラーフィルタの製造を可能とする
感光性樹脂組成物と、この感光性樹脂組成物を使用し、
材料の使用効率に優れ、かつ、湿式の現像工程および洗
浄工程を含まず工程が簡便なカラーフィルタの製造方法
を提供する。 【解決手段】 ガラス転移温度Ｔｇが８０〜１２０℃の
範囲で重量平均分子量が１００００〜１０００００の範
囲であるポリマーと、２５℃における粘度が１０〜８０
００ｃｐｓの範囲である多官能のモノマーと、着色剤と
を少なくとも含有するような感光性樹脂組成物とし、こ
の感光性樹脂組成物を用いて、剥離現像、着色パターン
転写形成を２０〜３０℃の温度範囲で行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は感光性樹脂組成物お
よびカラーフィルタの製造方法に係り、特に常温で適度
な粘性を示す感光性樹脂組成物と、これを用いたカラー
フィルタの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）において
は、近年のカラー化の要請に対応するために、アクティ
ブマトリックス方式および単純マトリックス方式のいず
れの方式においてもカラーフィルタが用いられている。
例えば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いたアクティ
ブマトリックス方式の液晶ディスプレイでは、カラーフ
ィルタは赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の着色
パターンを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの画素に対応す
る電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとし
て作動し、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの画素を光が透過して
カラー表示が行われる。そして、色混合は２色以上の画
素に対応する液晶シャッタを開いて混色し別の色に見せ
る加色混合の原理により網膜上で視覚的に行われる。

【０００３】上記のカラーフィルタの製造方法の１種と
して、従来から着色感材法が用いられている。この着色
感材法では、透明な感光性樹脂に着色剤として染料、無
機顔料、有機顔料等を分散した感光性組成物をスピンコ
ート法等により透明基板上に塗布して感光性樹脂層を形
成し、この感光性樹脂層を所定のフォトマスクを介して
露光し、未露光部分の感光性樹脂層を溶解する現像液を
使用して湿式現像して着色パターンを形成する操作を
Ｒ，Ｇ，Ｂの３回行って各色の着色パターンが形成され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
着色感材法では、透明基板への感光性樹脂組成物のスピ
ンコート法等による塗布工程における材料ロスが避けら
れず、また、各色の着色パターン形成ごとに湿式現像工
程と洗浄工程があるため廃液処理が必要となり、材料使
用効率の向上や工程の簡略化が困難で製造コスト低減に
支障を来していた。

【０００５】このような着色感材法における問題を解消
するために、湿式現像工程を不要とする製造方法が開発
されている（特開平２−１５１８０５号公報）。このカ
ラーフィルタ製造方法は、支持シートＢに着色剤を含む
感光性樹脂層を塗布乾燥させた後、支持シートＡを積層
し、ついで感光性樹脂層を放射線硬化し、支持シートＢ
を支持シートＡから加熱して剥離し、支持シートＡに未
硬化のパターン部分の感光性樹脂層を保持させ、ついで
感光性樹脂層の未硬化パターン部分を支持シートＡとと
もにカラーフィルタ用の透明基板へ圧着または加熱圧着
し、支持シートＡの剥離後に未硬化のパターン部分を放
射線硬化し、このような操作を各色相の着色剤を含む感
光性樹脂層について同一の透明基板に対し順次繰り返す
ものである。

【０００６】しかし、上記のカラーフィルタの製造方法
は、湿式現像工程を省きうるという極めて優れた長所が
ある一方で、支持シートＡ上の感光性樹脂層パターンを
カラーフィルタ用の透明基板に対して正確に位置合わせ
をしながら転写することが現実的には難しく、色ずれや
色抜けの無い良品を高い歩留まりで製造すことは極めて
困難であるという問題点があった。すなわち、剥離現像
によってパターンを形成する際の剥離が加熱しながら行
われる結果、熱膨張により支持シート自体が加熱前に比
べて伸びるとともに、支持シートを保持するために加え
られていた張力に対する抵抗力が支持シートの温度上昇
と共に変化し、支持シートがさらに伸びてしまうという
不都合が生じた。これにより、剥離現像で支持シートに
形成されたパターンが、パターン露光によって潜像とし
て形成された際の配列に比較して、寸法に著しいずれを
生じることになる。

【０００７】このような問題を解消するために、常温付
近での一定温度範囲、例えば、２０〜３０℃の範囲に支
持シートの温度を維持してカラーフィルタの作製を行う
ことが考えられる。しかしながら、支持シートの温度を
上記の範囲に保つと、感光性樹脂層の粘性が不十分とな
り、剥離現像や転写に支障をきたし、パターンのエッジ
精度（直線性）が低下するという問題があった。

【０００８】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、高精細なカラーフィルタの製造を可能
とする感光性樹脂組成物と、この感光性樹脂組成物を使
用し、材料の使用効率に優れ、かつ、湿式の現像工程お
よび洗浄工程を含まず工程が簡便なカラーフィルタの製
造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の感光性樹脂組成物は、少なくともガ
ラス転移温度Ｔｇが８０〜１２０℃の範囲で重量平均分
子量が１００００〜１０００００の範囲であるポリマー
と、２５℃における粘度が１０〜８０００ｃｐｓの範囲
である多官能のモノマーと、着色剤とを含有するような
構成とした。

【００１０】また、上記の感光性樹脂組成物において、
前記ポリマーの含有量が１０〜４０重量％の範囲であ
り、前記モノマーの含有量が４０〜７０重量％の範囲で
あるような構成とした。

【００１１】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
述のような感光性樹脂組成物を用いて転写基材シートと
剥離フィルムの間に感光性樹脂層を形成する第１の工程
と、所定のフォトマスクを介して前記剥離フィルム側か
ら前記感光性樹脂層を露光する第２の工程と、前記剥離
フィルムを剥離することにより前記感光性樹脂層の露光
部を転写基材シート上から除去し、前記転写基材シート
上に前記感光性樹脂層の未露光部を残して感光性樹脂パ
ターンを形成する第３の工程と、前記転写基材シート上
に形成された前記感光性樹脂パターンに、カラーフィル
タ用の透明基板を位置合わせして圧着する第４の工程
と、前記透明基板側から前記感光性樹脂パターンを露光
し、その後、前記転写基材シートを剥離することによ
り、前記透明基板上に前記感光性樹脂パターンを転写し
て着色パターンを形成する第５の工程と、を少なくとも
第２の工程から第４の工程における前記転写基材シート
の温度を２０〜３０℃に保ちながら必要な色数分繰り返
すことにより、所望の色数の着色パターンを前記透明基
板上に形成するような構成とした。

【００１２】このような本発明では、感光性樹脂層を形
成するための感光性樹脂組成物が、少なくともガラス転
移温度Ｔｇが８０〜１２０℃の範囲で重量平均分子量が
１００００〜１０００００の範囲であるポリマーと、２
５℃における粘度が１０〜８０００ｃｐｓの範囲である
多官能のモノマーと、着色剤とを含有するので、形成さ
れた感光性樹脂層は２０〜３０℃の範囲で適度の粘性を
有し、所定のフォトマスクを介して剥離フィルム側から
感光性樹脂層を露光し、剥離フィルムを剥離して感光性
樹脂層の露光部を剥離フィルムとともに転写基材シート
から除去し感光性樹脂層の未露光部を感光性樹脂パター
ンとして転写基材シート上に残す剥離現像において良好
な膜切れ性を示し、また、カラーフィルタ用の透明基板
を感光性樹脂パターン上に位置合わせして圧着した後に
転写基材シートを剥離する着色パターンの転写形成にお
いて良好な転写性を示し、透明基板上へ高い精度で着色
パターンを形成することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１４】まず、本発明の感光性樹脂組成物について
説明する。

【００１５】本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも
ガラス転移温度Ｔｇが８０〜１２０℃の範囲で重量平均
分子量が１００００〜１０００００の範囲であるポリマ
ーと、２５℃における粘度が１０〜８０００ｃｐｓの範
囲である多官能のモノマーと、着色剤とを含有するもの
である。

【００１６】(i) 本発明の感光性樹脂組成物を構成す
るポリマーは、上記のようにガラス転移温度Ｔｇが８０
〜１２０℃の範囲で重量平均分子量が１００００〜１０
００００の範囲内のポリマーである。ガラス転移温度Ｔ
ｇが８０℃未満であると、最終的に得られるカラーフィ
ルタパターンの耐熱性が不足するという問題があり、ま
た、１２０℃を超えると、低粘度モノマーの配合による
粘着性の調節が困難となり好ましくない。また、重量平
均分子量が１００００未満であると、低粘度モノマーの
配合による粘着性の調節が困難であり、１０００００を
超えると、剥離現像の際の膜切れ性が低下することによ
り、ラインパターンのエッジの直線性が低くなり好まし
くない。

【００１７】このようなポリマーの具体例としては、ア
クリル樹脂、メタクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエス
テル樹脂、ポリスチレン、ポリカーボネート等を挙げる
ことができる。

【００１８】好ましくは、合わせて使用するモノマーと
の相溶性や熱に対する黄変性等の観点から、メタクリル
樹脂（ポリメタクリル酸メチルアクリレートおよびその
変性体等）、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を使用する
ことができる。

【００１９】このようなポリマーは、感光性樹脂組成物
に１０〜４０重量％の範囲で含有されることが好まし
い。ポリマーの含有量が１０重量％未満であると、多官
能で低分子量である光硬化性モノマーとの混合によって
粘着性を調節することが困難であり、また、４０重量％
を超えると、剥離現像の際の膜切れ性が低下することに
よりラインパターンのエッジの直線性が低くなり好まし
くない。

【００２０】(ii) 本発明の感光性樹脂組成物を構成す
るモノマーは、上記のように２５℃における粘度が１０
〜８０００ｃｐｓの範囲である多官能のモノマーであ
る。モノマーの粘度が上記の範囲外であると、感光性樹
脂組成物が適度な粘着性を備えることが困難となり好ま
しくない。ここで、モノマーの粘度は、ＪＩＳ Ｋ７１
１７に規定された測定方法により測定することができ
る。尚、単官能のモノマーは、後述するカラーフィルタ
の製造方法における露光工程での光硬化反応の進行が遅
く実用に供し得ない。

【００２１】このようなモノマーの具体例としては、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアク
リレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイ
ド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチ
レンオキサイド変性トリアクリレート、ペンタエリスリ
トールテトラアクリレート、ビスフェノールＡエチレン
オキサイド変性ジアクリレート、ペンタエリスリトール
ジアクリレートモノステアレート、テトラエチレングリ
コールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアク
リレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート等
を挙げることができる。

【００２２】上記のモノマーのなかで、特に好ましくは
トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレートを用いることができる。

【００２３】このようなモノマーは、感光性樹脂組成物
に４０〜７０重量％の範囲で含有されることが好まし
い。モノマーの含有量が４０重量％未満であると、最終
的に得られるカラーフィルタパターンの耐熱性が不足す
るという問題があり、また、７０重量％を超えると、ポ
リマーの配合により粘着性を実用的な値に調整すること
が困難となり好ましくない。

【００２４】(iii) 本発明の感光性樹脂組成物を構成
する着色剤としては、公知の顔料あるいは染料を用いる
ことができる。顔料を用いる場合は粒子の平均粒径が
０．４μｍ以下であることが望ましい。平均粒径が０．
４μｍを超えると、形成した着色パターンの可視光透過
率が極めて低くなり、カラーフィルタとしての実用性に
支障を来すようになる。

【００２５】着色剤として使用できる好ましい染料およ
び顔料の例としては、ビクトリア・ピュアブルーＢＯ
（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０
００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５
０）、モノライト・エローＧＴ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・
エロー１２）、パーマネント・エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・エロー１７）、パーマネント・エローＨＲ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８３）、パーマネント・
カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４
６）、ホスターパームレッドＥＳＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメン
トバイオレット１９）、パーマネント・ルビーＦＢＨ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１）、ファステル・ピ
ンクＢスブラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８１）、モ
ナストラル・ファスト・ブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメント・
ブルー１５）、モノライト・ファースト・ブラックＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１）、イルカジンレッ
ドＢＰＴ、銅フタロシアニン（緑）、フタロシアニンブ
ルー（青）、および、カーボン等を挙げることができ
る。

【００２６】さらに、カラーフィルタを形成するために
好ましい顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９
７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグ
メント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．Ｉ．
ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリー
ン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント
・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２２、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント
・ブルー６４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー８３、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレト２３等を挙げることが
できる。

【００２７】また特開平５−１１９２１３号公報に記載
の反応性染料をバインダーポリマーに反応させた系や、
特開平６−１０７６６３号公報に記載の含フッ素フタロ
シアニン化合物は、消偏性等の特性に優れた系として用
いることができる。

【００２８】感光性樹脂組成物に対する着色剤の含有割
合は、５〜３０重量％の範囲とすることが好ましい。

【００２９】(iv) 他の添加剤 本発明の感光性樹脂組成物には、光重合開始剤、分散
剤、増感剤、重合停止剤、連鎖移動剤、レベリング剤、
可塑剤、安定剤等が必要に応じて用いられる。

【００３０】光重合開始剤としては、例えばベンゾフェ
ノン、ミヒラーケトン、Ｎ，Ｎ´テトラメチル−４，４
´−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４´−ジ
メチルアミノベンゾフェノン、４，４´−ジエチルアミ
ノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェナ
ントレン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエ
ーテル等のベンゾインエーテル類、メチルベンゾイン、
エチルベンゾイン等のベンゾイン、２−（ｏ−クロロフ
ェニル）−４，５−フェニルイミダゾール２量体、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフ
ェニル）イミダゾ−ル２量体、２−（ｏ−フルオロフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾ−ル２量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾ−ル２量体、２，４，５−トリアリ−ルイミダゾ−ル
２量体、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４
−モルフォリノフェニル）−ブタノン、２−トリクロロ
メチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾ−
ル、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリ
ル）−１，３，４−オキサジアゾ−ル、２−トリクロロ
メチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−
オキサジアゾ−ル等のハロメチルチアゾ−ル系化合物、
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシ
スチリル−Ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロ
メチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−
１，３ブタジエニル）−Ｓ−トリアジン、２−トリクロ
ロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−Ｓ
−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビ
ストリクロロメチル−Ｓ−トリアジン、２−（４−エト
キシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロ
メチル−Ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト
−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−Ｓ−
トリアジン等のハロメチル−Ｓ−トリアジン系化合物、
２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−
オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニ
ル〕−２−モルフォリノプロパノン−１、２−ベンジル
−２−ジメチルアミノ−１（４−モルフォリノフェニ
ル）−ブタノン−１、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル
−フェニル−ケトン、イルガキュアー３６９（チバガイ
ギー社製）、イルガキュアー６５１（チバガイギー社
製）、イルガキュアー９０７（チバガイギー社製）等が
挙げられる。

【００３１】また、光硬化反応速度を高めるために、こ
れらの光重合開始剤を複数種混合して使用することも可
能である。

【００３２】光重合開始剤の添加量は、感光性樹脂組成
物の総固形分に対して０．１〜１０．０重量％の範囲が
望ましい。光重合開始剤の添加量が０．１重量％に満た
ない場合は、光重合開始剤の種類によらず、光重合開始
剤としての効果を発現させることが非常に困難となる。
また、１０．０重量％を超える場合は、光重合の反応速
度が非常に速くなる一方で、光重合開始剤が感光性樹脂
層の黄変を引き起こす度合いが大きくなり、カラーフィ
ルターとしての耐光性が低下してしまうという問題が生
じる。

【００３３】本発明の感光性樹脂組成物に使用できる分
散剤としては、ポリアクリル酸部分アルキルエステル、
ポリアルキレンポリアミン型高分子、ポリオキシエチレ
ンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリ
ルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン
グリコール、脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエ
チレン脂肪酸アミド、アミンオキシド等を挙げることが
できる。このような分散剤の添加量は、着色剤の２５〜
７５重量％の範囲が好ましい。

【００３４】尚、上述の本発明の感光性樹脂組成物は溶
剤を含有しないものであるが、後述するような感光性樹
脂層を形成するための塗布液を調製する場合には、本発
明の感光性樹脂組成物と溶剤とを併用してもよい。

【００３５】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
を説明する。

【００３６】図１乃至図３は本発明のカラーフィルタの
製造方法の一実施形態を説明するための工程図である。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述の本発明の
感光性樹脂組成物を使用し、第１の工程乃至第５の工程
からなる着色パターンの形成操作を、少なくとも第２の
工程から第４の工程における転写基材シートの温度を２
０〜３０℃に保ちながら、必要な色数分繰り返すことに
より透明基板上に所望の色数の着色パターンを備えたカ
ラーフィルタを製造するものである。ここでは、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の着色パターンを
備えたカラーフィルタを例にして説明する。 （１）赤色の着色パターン形成第１の工程 まず、第１の工程として、図１（Ａ）に示されるよう
に、転写基材シート１２と剥離フィルム１３の間に赤色
の着色剤を含有した感光性樹脂層１４Ｒを設けて複合体
１１Ｒを形成する。感光性樹脂層１４Ｒは、例えば、転
写基材シート１２上にダイレクトグラビアコーティング
法、グラビアリバースコーティング法、リバースロール
コーティング法、スライドダイコーティング法、スリッ
トダイコーティング法等の公知の塗布手段により、上述
の本発明の感光性樹脂組成物に適宜溶剤を添加して作成
した塗布液を塗布、乾燥し、この塗布膜上に剥離フィル
ム１３を重ねて圧着することにより形成することができ
る。また、剥離フィルム１３上に感光性樹脂組成物を含
む塗布液を塗布して乾燥し、この塗布膜上に転写基材シ
ート１２を重ねて圧着してもよい。尚、上記の複合体１
１Ｒ形成時の圧着は、加熱圧着でもよく、この場合、加
熱温度は感光性樹脂層１４Ｒの熱的物性に応じて適宜設
定することができる。感光性樹脂層１４Ｒの厚みは０．
５〜５．０μｍ程度、好ましくは１．０〜３．０μｍ程
度の範囲で設定することができる。

【００３７】赤色の着色パターン、緑色の着色パター
ン、青色の着色パターンの順序で透明基板上に着色パタ
ーンを形成する本実施形態では、感光性樹脂層１４Ｒの
厚みＡ１および後述の感光性樹脂層１４Ｇの厚みＡ２、
感光性樹脂層１４Ｂの厚みＡ３を、Ａ１≦Ａ２≦Ａ３の
関係を満足するように設定する必要がある。これは、後
述の緑色の着色パターン形成、青色の着色パターン形成
において、既に透明基板上に形成されている他の色の着
色パターンの谷間にはめ込むように着色パターンを転写
形成する必要があるためである。尚、Ａ１とＡ２、ある
いはＡ２とＡ３が等しくない場合、カラーフィルタに要
求される表面平滑性を考慮して、その差は小さいことが
好ましく、例えば、（Ａ２−Ａ１）がＡ１の１０％以
下、（Ａ３−Ａ２）がＡ２の１０％以下となるように設
定することが好ましい。

【００３８】ここで使用する転写基材シート１２は、後
述するように柔軟性を有し、かつ、張力もしくは圧力で
著しい変形を生じない材料を使用する必要がある。転写
基材シート１２は、剥離フィルム１３と感光性樹脂層１
４（上記の感光性樹脂層１４Ｒおよび後述の感光性樹脂
層１４Ｇ、１４Ｂを含む）の特性を考慮して選定するこ
とができる。すなわち、感光性樹脂層１４に対する転写
基材シート１２の密着力が、剥離フィルム１３と感光性
樹脂層１４との密着力よりも強くなるような転写基材シ
ート１２を使用する。このような転写基材シート１２の
厚みは０．０２〜２ｍｍ程度に設定することができる。
尚、転写基材シート１２には、感光性樹脂層１４との密
着力を高めるために、後述するようなプライマー層を形
成してもよい。

【００３９】また、剥離フィルム１３は、後述するよう
に柔軟性を有し、かつ、張力もしくは圧力で著しい変形
を生じず、さらに、感光性樹脂層１４Ｒに所望の露光量
での露光行うための光が透過する材料を使用する必要が
ある。この剥離フィルム１３は、上述のように、感光性
樹脂層１４（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）の特性を考慮し
て転写基材シート１２との関係から適宜選定することが
できる。

【００４０】尚、上述の転写基材シート１２および剥離
フィルム１３は、枚葉タイプでもよく、また、長尺体で
あってもよい。転写基材シート１２および剥離フィルム
１３を長尺体とすることにより、複合体１１Ｒをロール
状に巻き回して保管し、随時必要量を送り出してカラー
フィルタの製造に供することができる。第２の工程 次に、赤色の着色パターン用のフォトマスク２１Ｒを介
して、複合体１１Ｒの感光性樹脂層１４Ｒを露光する
（図１（Ｂ））。本発明では、この露光を剥離フィルム
１３側から行うことを必須とする。これにより、感光性
樹脂層１４Ｒの露光部は、剥離フィルム１３側から硬化
が優先的に進行して剥離フィルム１３に対する接着力が
大幅に増大し、一方、転写基材シート１２側では当初の
接着力のままで感光性樹脂層１４Ｒと転写基材シート１
２とが接着された状態となる。

【００４１】このような剥離フィルム１３側からの感光
性樹脂層１４Ｒの露光量は、感光性樹脂層１４Ｒの光硬
化反応が転写基材シート１２側まで進行しない範囲で適
宜設定することができ、例えば、感光性樹脂層１４Ｒの
光硬化反応が完全に進行するのに必要な最小露光量の２
〜６０％の範囲とすることができる。この露光におい
て、露光量が不足すると、転写基材シート１２と感光性
樹脂層１４Ｒの未露光部との接着力に対して、剥離フィ
ルム１３と感光性樹脂層１４Ｒとの露光による接着力上
昇が不十分となり、下記の剥離現像が良好に行えないこ
とになる。また、露光量が上記の最小露光量に近すぎる
と、転写基材シート１２と感光性樹脂層１４Ｒの露光部
との接着力が大きくなりすぎて、剥離フィルム１３と感
光性樹脂層１４Ｒの露光部との接着力に対して、その差
が不十分となり、やはり、下記の剥離現像が良好に行え
ない。上記のような露光量で剥離フィルム１３側から感
光性樹脂層１４Ｒを露光することにより、感光性樹脂層
１４Ｒの露光部では厚み方向で照射光到達量が剥離フィ
ルム１３側から徐々に減少し、感光性樹脂層１４Ｒの転
写基材シート１２側は未露光（未硬化）状態となる。

【００４２】本発明では、この第２の工程における転写
基材シート１２の温度を２０〜３０℃の範囲に保ち、転
写基材シートが熱により伸びを生じることを防止する。
このためには、例えば、上記の露光工程において光源か
ら放出される赤外線によって転写基材シート１２の温度
が上昇しないように照射光の赤外線成分を遮断したり、
冷風を適宜使用したり、２５℃に温度調節された金属に
転写基材シートを接触させる等の操作を行うことが好ま
しい。

【００４３】ここで、上述の感光性樹脂層１４の光硬化
反応進行率は、ゲル分率で規定することができる。すな
わち、一定面積の感光性樹脂層が形成されたサンプルＡ
を準備し、このサンプルＡにおける感光性樹脂層の重量
ａを測定する。次に、サンプルＡをテトラヒドロフラン
で定法にしたがって加熱還流させて可溶成分を抽出除去
し、不溶成分を分離した後乾燥させて得たサンプルＢの
重量ｂを測定する。次に、サンプルＡに任意の露光量の
紫外線を照射したサンプルＣの重量ｃを測定し、サンプ
ルＡと同様にテトラヒドロフランで抽出した後の溶剤不
溶成分Ｄの乾燥重量ｄを測定する。次に、下記の式
（１）によってサンプルＣに含まれる感光性樹脂組成物
含有量ｅを算出する。

【００４４】 ｅ＝ｄ−ｃ×ｂ÷ａ 式（１） さらに、下記の式（２）によってサンプルＣの全重量に
対する感光性樹脂組成物含有率、すなわち、ゲル分率ｆ
（％）を算出する。

【００４５】 ｆ＝（ｄ−ｃ×ｂ÷ａ）÷ｃ×１００ 式（２） サンプルＣに対する紫外線の露光量を変えながら各々の
ゲル分率ｆを測定し、露光量を増大してもゲル分率ｆが
変化しなくなったときのゲル分率ｆの値を最終感光性樹
脂組成物含有率ｇ、あるいは、最終ゲル分率ｇとし、ｇ
を与える最小露光量を光硬化反応完結露光量とする。ま
た、露光量の異なる各サンプルのゲル分率ｆを算出し、
下記の式（３）から各露光量に対する光硬化反応進行率
ｈが算出される。

【００４６】 ｈ＝ｆ÷ｇ×１００ 式（３）第３の工程 次に、剥離フィルム１３を剥離することにより感光性樹
脂層１４Ｒの露光部を剥離フィルム１３とともに転写基
材シート１２から除去し、感光性樹脂層１４Ｒの未露光
部の少なくとも一部を感光性樹脂パターン１５Ｒとして
転写基材シート１２上に残すような剥離現像を行う（図
１（Ｃ））。

【００４７】本発明では、この第３の工程における転写
基材シート１２の温度を２０〜３０℃の範囲に保ち、転
写基材シートが熱により伸びを生じることを防止する。
このためには、例えば、冷風を適宜使用したり、２５℃
に温度調節された金属に転写基材シートを接触させる等
の操作を行うことが好ましい。

【００４８】感光性樹脂層１４Ｒの露光が上述のような
露光量のもとで行われており、かつ、感光性樹脂層１４
Ｒが本発明の感光性樹脂組成物により形成されているた
め、この第３の工程における剥離現像では、感光性樹脂
層１４Ｒが常温、あるいは、その近傍の比較的低温に維
持されているにもかかわらず、感光性樹脂層１４Ｒの露
光部と未露光部の膜切れ性が良好であり、感光性樹脂パ
ターン１５Ｒはパターン形状が良好なものとなる。

【００４９】尚、感光性樹脂層１４Ｒの未露光部の全部
が感光性樹脂パターン１５Ｒとして転写基材シート１２
上に残るか、その厚み方向の一部が感光性樹脂パターン
１５Ｒとして残るかは、剥離フィルム１３と感光性樹脂
層１４Ｒとの密着力と、感光性樹脂層１４Ｒの凝集力と
の関係で決定されるものである。このため、感光性樹脂
パターン１５Ｒに必要とされる厚みに応じて、剥離フィ
ルム１３の材質、感光性樹脂層１４Ｒの構成材料、感光
性樹脂層１４Ｒの層厚等を適宜設定する必要がある。第４の工程 上述の第３の工程において転写基材シート１２上に形成
された感光性樹脂パターン１５Ｒに、カラーフィルタ用
の透明基板２を位置合わせした後に圧着する（図１
（Ｄ））。

【００５０】本発明では、この第４の工程における転写
基材シート１２の温度を２０〜３０℃の範囲に保ち、転
写基材シートが熱により伸びを生じることを防止する。
このためには、例えば、冷風を適宜使用したり、２５℃
に温度調節された金属に転写基材シートを接触させる等
の操作を行うことが好ましい。そして、感光性樹脂パタ
ーン１５Ｒは、常温、あるいは、その近傍の比較的低温
に維持されているにもかかわらず、十分な粘度を備えて
いるため、上記の圧着により透明基板２に適度の粘着力
で付着する。

【００５１】透明基板２と感光性樹脂パターン１５Ｒと
の位置合わせは、例えば、次のように行うことができ
る。すなわち、上述の第２の工程での露光において、４
隅と周辺部に見当印形成用の遮光部を設けたフォトマス
ク２１Ｒを使用し、感光性樹脂パターン１５Ｒ形成と同
時に転写基材シート１２上に位置合わせ用の見当印を形
成する。一方、カラーフィルタ用の透明基板２上にも、
この位置合わせを行う際の温度条件下において転写基材
シート１２上の見当印と同一の寸法精度を有する見当印
を予め設ける。そして、転写基材シート１２にしわが入
らないために必要な最小限の張力をかけながら、上記の
見当印を用いて透明基板２と転写基材シート１２の位置
合わせを行うことができる。尚、透明基板２上に設ける
位置合わせ用の見当印は、例えば、透明基板２に予めブ
ラックマトリックスを形成する場合には、このブラック
マトリックスの形成と同時に形成することができる。

【００５２】本発明では、少なくとも上述の第２の工程
から第４の工程の一連の操作において、転写基材シート
１２の温度を２０〜３０℃、すなわち温度差１０℃の範
囲に保つので、形成された感光性樹脂層１４Ｒは適度の
粘性を有し、剥離現像において良好な膜切れ性を示し、
また、転写基材シート１２の熱膨張や張力による伸びを
極めて少ないものとすることができる。このため、第２
の工程のおけるフォトマスク２１Ｒを使用した露光で形
成されたパターン潜像である感光性樹脂パターン１５Ｒ
を極めて高い精度で透明基板２に密着させることができ
る。第２の工程から第４の工程における転写基材シート
１２の温度が上記の温度範囲に保たれない場合、感光性
樹脂層１４Ｒが適度な粘性を示さなくなり、剥離現像に
おいて良好な膜切れ性が得られず、また、転写基材シー
ト１２の伸びが大きくなり、着色パターンを高い精度で
備えたカラーフィルタの製造が困難となる。

【００５３】尚、第４の工程における透明基板２と転写
基材シート１２上の感光性樹脂パターン１５Ｒとの位置
合わせ後の圧着が完了した後は、環境温度が変化しても
透明基板２に対する感光性樹脂パターンの圧着位置は変
化しない。このため、感光性樹脂パターン１５Ｒと透明
基板２との密着性を高めることを目的とした加熱工程を
第４の工程と後述する第５の工程との間に設けてもよ
い。第５の工程 次に、感光性樹脂パターン１５Ｒを露光する（図１
（Ｄ））。本発明では、この露光を透明基板２側から行
うことを必須とする。これにより、感光性樹脂パターン
１５Ｒは、透明基板２側で硬化が優先的に進行して透明
基板２に対する接着力が大幅に増大し、一方、転写基材
シート１２側では当初の接着力のままで感光性樹脂パタ
ーン１５Ｒと転写基材シート１２とが接着された状態で
ある。したがって、転写基材シート１２を剥離すること
によって、感光性樹脂パターン１５Ｒは透明基板２上に
転写され、赤色の着色パターン３Ｒが形成される（図１
（Ｅ））。その後、透明基板２上の着色パターン３Ｒを
露光あるいは加熱して硬化反応を完結させることによ
り、透明基板２上への赤色の着色パターンの形成が完了
する。

【００５４】上記のような透明基板２側からの感光性樹
脂パターン１５Ｒの露光は、感光性樹脂パターン１５Ｒ
の光硬化反応が転写基材シート１２側まで進行しない範
囲の露光量で行う行うことができ、例えば、感光性樹脂
パターン１５Ｒの光硬化反応が完全に進行するのに必要
な最小露光量の２〜６０％の範囲の露光量で行うことが
できる。この露光において、露光量が不足すると、透明
基板２と感光性樹脂パターン１５Ｒとの露光による接着
力上昇が不十分となり、透明基板２への着色パターン形
成が良好に行えない。また、露光量が上記の最小露光量
に近すぎると、転写基材シート１２と感光性樹脂パター
ン１５Ｒとの接着力が大きくなりすぎて、透明基板２と
感光性樹脂パターン１５Ｒとの接着力に対して、その差
が不十分となり、やはり、透明基板２への着色パターン
形成が良好に行えない。透明基板２側から上記のような
露光量で露光することにより、感光性樹脂パターン１５
Ｒは厚み方向で照射光到達量が透明基板２側から徐々に
減少し、感光性樹脂パターン１５Ｒの転写基材シート１
２側は未露光（未硬化）状態となる。ここで、感光性樹
脂パターン１５Ｒの光硬化反応進行率は、上述のゲル分
率で規定することができる。

【００５５】尚、上記の転写基材シート１２の剥離は、
転写基材シート１２を加熱しながら行ってもよい。 （２）緑色の着色パターン形成第１の工程 上述の赤色の着色パターン形成と同様に、本発明の感光
性樹脂組成物を使用し、転写基材シート１２と剥離フィ
ルム１３の間に緑色の着色剤を含有した感光性樹脂層１
４Ｇを設けて複合体１１Ｇを形成する（図２（Ａ））。

【００５６】尚、使用する転写基材シート１２および剥
離フィルム１３は、上述の赤色の着色パターン形成と同
様とすることができる。第２の工程 次に、緑色の着色パターン用のフォトマスク２１Ｇを介
して、剥離フィルム１３側から複合体１１Ｇの感光性樹
脂層１４Ｇを露光する（図２（Ｂ））。これにより、感
光性樹脂層１４Ｇの露光部は、剥離フィルム１３側から
硬化が優先的に進行して剥離フィルム１３に対する接着
力が大幅に増大し、一方、転写基材シート１２側では当
初の接着力のままで感光性樹脂層１４Ｇと転写基材シー
ト１２とが接着された状態となる。この露光も、感光性
樹脂層１４Ｇの光硬化反応が転写基材シート１２側まで
進行しない範囲の露光量で行うことができ、例えば、感
光性樹脂層１４Ｇの光硬化反応が完全に進行するのに必
要な最小露光量の２〜６０％の範囲の露光量で行うこと
ができる。

【００５７】この第２の工程においても、上述の赤色の
着色パターン形成と同様に、転写基材シート１２の温度
を２０〜３０℃に保持して、熱による転写基材シート１
２の伸びの発生を防止する。第３の工程 次に、剥離フィルム１３を剥離することにより感光性樹
脂層１４Ｇの露光部を剥離フィルム１３とともに転写基
材シート１２から除去し、感光性樹脂層１４Ｇの未露光
部の少なくとも一部を感光性樹脂パターン１５Ｇとして
転写基材シート１２上に残す（図２（Ｃ））。

【００５８】この第３の工程においても、上述の赤色の
着色パターン形成と同様に、転写基材シート１２の温度
を２０〜３０℃に保持して、熱による転写基材シート１
２の伸びの発生を防止する。そして、感光性樹脂層１４
Ｇが本発明の感光性樹脂組成物により形成されているた
め、この第３の工程における剥離現像では、感光性樹脂
層１４Ｇが常温、あるいは、その近傍の比較的低温に維
持されているにもかかわらず、感光性樹脂層１４Ｇの露
光部と未露光部の膜切れ性が良好であり、感光性樹脂パ
ターン１５Ｇはパターン形状が良好なものとなる。

【００５９】尚、感光性樹脂層１４Ｇの未露光部の全部
が感光性樹脂パターン１５Ｇとして転写基材シート１２
上に残るか、その一部が感光性樹脂パターン１５Ｇとし
て残るかは、剥離フィルム１３と感光性樹脂層１４Ｇと
の密着力と、感光性樹脂層１４Ｇの凝集力との関係で決
定されるものである。このため、感光性樹脂パターン１
５Ｇに必要とされる厚みに応じて、剥離フィルム１３の
材質、感光性樹脂層１４Ｇの構成材料、感光性樹脂層１
４Ｇの層厚等を適宜設定する必要がある。第４の工程 上述の第３の工程において転写基材シート１２上に形成
された感光性樹脂パターン１５Ｇに、既に赤色の着色パ
ターン３Ｒが形成されているカラーフィルタ用の透明基
板２を位置合わせして圧着する（図２（Ｄ））。この透
明基板２と感光性樹脂パターン１５Ｇとの位置合わせ
は、上述の赤色の着色パターン形成と同様に行うことが
できる。そして、この第４の工程においても転写基材シ
ート１２の温度を２０〜３０℃に保持して、熱による転
写基材シート１２の伸びの発生を防止する。そして、感
光性樹脂パターン１５Ｇは、常温、あるいは、その近傍
の比較的低温に維持されているにもかかわらず、十分な
粘度を備えているため、上記の圧着により透明基板に適
度の粘着力で付着する。

【００６０】尚、感光性樹脂パターン１５Ｇと透明基板
２との密着性を高めることを目的とした加熱工程を第４
の工程と後述する第５の工程との間に設けてもよい。第
５の工程次に、透明基板２側から感光性樹脂パターン１
５Ｇを露光する（図２（Ｄ））。これにより、感光性樹
脂パターン１５Ｇは、透明基板２側で硬化が優先的に進
行して透明基板２に対する接着力が大幅に増大し、一
方、転写基材シート１２側では当初の接着力のままで感
光性樹脂パターン１５Ｇと転写基材シート１２とが接着
された状態である。したがって、転写基材シート１２を
剥離することによって、感光性樹脂パターン１５Ｇは透
明基板２上に転写され、緑色の着色パターン３Ｇが形成
される（図２（Ｅ））。その後、透明基板２上の着色パ
ターン３Ｇを露光あるいは加熱して硬化反応を完結させ
ることにより、透明基板２上への緑色の着色パターンの
形成が完了する。

【００６１】上記のような透明基板２側からの感光性樹
脂パターン１５Ｇの露光は、感光性樹脂パターン１５Ｇ
の光硬化反応が転写基材シート１２側まで進行しない範
囲の露光量で行うことができ、例えば、感光性樹脂パタ
ーン１５Ｇの光硬化反応が完全に進行するのに必要な最
小露光量の２〜６０％の範囲の露光量で行うことができ
る。

【００６２】上述の緑色の着色パターン形成において
も、少なくとも第２の工程から第４の工程の一連の操作
で転写基材シート１２の温度を２０〜３０℃、すなわち
温度差１０℃の範囲に保つので、形成された感光性樹脂
層１４Ｇは適度の粘性を有し、剥離現像において良好な
膜切れ性を示し、また、転写基材シート１２の熱膨張や
張力による伸びを極めて少ないものとすることができ
る。このため、第２の工程のおけるフォトマスク２１Ｇ
を使用した露光で形成されたパターン潜像である感光性
樹脂パターン１５Ｇを極めて高い精度で透明基板２に密
着させることができ、その結果、色ずれや色抜け等の転
写不良を生じることなく緑色の着色パターン３Ｇを形成
することができる。 （３）青色の着色パターン形成第１の工程 上述の赤色の着色パターン形成と同様に、本発明の感光
性樹脂組成物を使用して転写基材シート１２と剥離フィ
ルム１３の間に青色の着色剤を含有した感光性樹脂層１
４Ｂを設けて複合体１１Ｂを形成する（図３（Ａ））。

【００６３】尚、使用する転写基材シート１２および剥
離フィルム１３は、上述の赤色の着色パターン形成と同
様とすることができる。第２の工程 次に、青色の着色パターン用のフォトマスク２１Ｂを介
して、剥離フィルム１３側から複合体１１Ｂの感光性樹
脂層１４Ｂを露光する（図３（Ｂ））。これにより、感
光性樹脂層１４Ｂの露光部は、剥離フィルム１３側から
硬化が優先的に進行して剥離フィルム１３に対する接着
力が大幅に増大し、一方、転写基材シート１２側では当
初の接着力のままで感光性樹脂層１４Ｂと転写基材シー
ト１２とが接着された状態となる。この露光も、感光性
樹脂層１４Ｂの光硬化反応が転写基材シート１２側まで
進行しない範囲の露光量で行うことができ、例えば、感
光性樹脂層１４Ｂの光硬化反応が完全に進行するのに必
要な最小露光量の２〜６０％の範囲の露光量で行うこと
ができる。

【００６４】この第２の工程においても、上述の赤色の
着色パターン形成と同様に、転写基材シート１２の温度
を２０〜３０℃に保持して、熱による転写基材シート１
２の伸びの発生を防止する。第３の工程 次に、剥離フィルム１３を剥離することにより感光性樹
脂層１４Ｂの露光部を剥離フィルム１３とともに転写基
材シート１２から除去し、感光性樹脂層１４Ｂの未露光
部の少なくとも一部を感光性樹脂パターン１５Ｂとして
転写基材シート１２上に残す（図３（Ｃ））。

【００６５】この第３の工程においても、上述の赤色の
着色パターン形成と同様に、転写基材シート１２の温度
を２０〜３０℃に保持して、熱による転写基材シート１
２の伸びの発生を防止する。そして、感光性樹脂層１４
Ｂが本発明の感光性樹脂組成物により形成されているた
め、この第３の工程における剥離現像では、感光性樹脂
層１４Ｂが常温、あるいは、その近傍の比較的低温に維
持されているにもかかわらず、感光性樹脂層１４Ｂの露
光部と未露光部の膜切れ性が良好であり、感光性樹脂パ
ターン１５Ｂはパターン形状が良好なものとなる。

【００６６】尚、感光性樹脂層１４Ｂの未露光部の全部
が感光性樹脂パターン１５Ｂとして転写基材シート１２
上に残るか、その一部が感光性樹脂パターン１５Ｂとし
て残るかは、剥離フィルム１３と感光性樹脂層１４Ｂと
の密着力と、感光性樹脂層１４Ｂの凝集力との関係で決
定されるものである。このため、感光性樹脂パターン１
５Ｂに必要とされる厚みに応じて、剥離フィルム１３の
材質、感光性樹脂層１４Ｂの構成材料、感光性樹脂層１
４Ｂの層厚等を適宜設定する必要がある。第４の工程 上述の第３の工程において転写基材シート１２上に形成
された感光性樹脂パターン１５Ｂに、既に赤色の着色パ
ターン３Ｒと緑色の着色パターン３Ｇが形成されている
カラーフィルタ用の透明基板２を位置合わせして圧着す
る（図３（Ｄ））。この透明基板２と感光性樹脂パター
ン１５Ｂとの位置合わせは、上述の赤色の着色パターン
形成と同様に行うことができる。そして、この第４の工
程においても転写基材シート１２の温度を２０〜３０℃
に保持して、熱による転写基材シート１２の伸びの発生
を防止する。そして、感光性樹脂パターン１５Ｇは、常
温、あるいは、その近傍の比較的低温に維持されている
にもかかわらず、十分な粘度を備えているため、上記の
圧着により透明基板に適度の粘着力で付着する。

【００６７】尚、感光性樹脂パターン１５Ｂと透明基板
２との密着性を高めることを目的とした加熱工程を第４
の工程と後述する第５の工程との間に設けてもよい。第５の工程 次に、透明基板２側から感光性樹脂パターン１５Ｂを露
光する（図３（Ｄ））。これにより、感光性樹脂パター
ン１５Ｂは、透明基板２側で硬化が優先的に進行して透
明基板２に対する接着力が大幅に増大し、一方、転写基
材シート１２側では当初の接着力のままで感光性樹脂パ
ターン１５Ｂと転写基材シート１２とが接着された状態
である。したがって、転写基材シート１２を剥離するこ
とによって、感光性樹脂パターン１５Ｂは透明基板２上
に転写され、青色の着色パターン３Ｂが形成される（図
３（Ｅ））。その後、透明基板２上の着色パターン３Ｂ
を露光あるいは加熱して硬化反応を完結させることによ
り、透明基板２上への青色の着色パターンの形成が完了
する。

【００６８】上記のような透明基板２側からの感光性樹
脂パターン１５Ｂの露光は、感光性樹脂パターン１５Ｂ
の光硬化反応が転写基材シート１２側まで進行しない範
囲の露光量で行うことができ、例えば、感光性樹脂パタ
ーン１５Ｂの光硬化反応が完全に進行するのに必要な最
小露光量の２〜６０％の範囲の露光量で行うことができ
る。

【００６９】上述の青色の着色パターン形成において
も、少なくとも第２の工程から第４の工程の一連の操作
で転写基材シート１２の温度を２０〜３０℃、すなわち
温度差１０℃の範囲に保つので、形成された感光性樹脂
層１４Ｇは適度の粘性を有し、剥離現像において良好な
膜切れ性を示し、また、転写基材シート１２の熱膨張や
張力による伸びを極めて少ないものとすることができ
る。このため、第２の工程のおけるフォトマスク２１Ｂ
を使用した露光で形成されたパターン潜像である感光性
樹脂パターン１５Ｂを極めて高い精度で透明基板２に密
着させることができ、その結果、色ずれや色抜け等の転
写不良を生じることなく青色の着色パターン３Ｂを形成
することができる。

【００７０】上述の（１）から（３）のように、第１の
工程から第５の工程を赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の
３色分繰り返すことにより、赤色の着色パターン３Ｒ、
緑色の着色パターン３Ｇ、青色の着色パターン３Ｂを透
明基板２上に備えたカラーフィルタ１を製造することが
できる。

【００７１】本発明では、第１の工程から第５の工程の
いずれも、スピンコート等による透明基板２上への塗布
工程が不要なので材料ロスがなく、かつ、湿式現像工程
や洗浄工程は不要であり、材料の使用効率が高く、工程
が簡便なものとなる。

【００７２】尚、本発明の第２の工程および第５の工程
における露光は、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、レーザー
等の公知の露光手段を使用して行うことができる。

【００７３】また、上述のカラーフィルタの製造方法で
は、各色の着色パターンを透明基板２上に形成するごと
に露光あるいは加熱して硬化反応を完結させているが、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のすべての着色パターン
を形成した後に、露光あるいは加熱により硬化反応を完
結させてもよい。

【００７４】また、上述のカラーフィルタの製造方法で
は、各色の着色パターン用のフォトマスク２１Ｒ，２１
Ｇ，２１Ｂを使用しているが、共通の着色パターン用の
フォトマスクを使用してもよい。

【００７５】さらに、カラーフィルタ用の透明基板２に
は、予めブラックマトリックスを形成し、このブラック
マトリックスの非形成部に各色の着色パターンを形成で
きることは勿論である。

【００７６】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
において使用する材料について詳細に説明する。転写基材シート まず、本発明で使用する転写基材シート１２について説
明する。転写基材シート１２は、柔軟性を有し、かつ、
張力もしくは圧力で著しい変形を生じない材料を使用す
る必要がある。

【００７７】転写基材シート１２に用いる材料として
は、まず、樹脂フィルムを挙げることができる。樹脂フ
ィルムの具体例としては、ポリエチレンフィルム、エチ
レンー酢酸ビニル共重合体フィルム、エチレン- ビニル
アルコール共重合体フィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリスチレンフィルム、ポリメタクリル酸フィル
ム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリビニルアルコールフ
ィルム、ポリビニルブチラールフィルム、ナイロンフィ
ルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリサル
フォンフィルム、ポリエーテルサルフォンフィルム、ポ
リテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニ
ルエーテルフィルム、ポリビニルフルオライドフィル
ム、テトラフルオロエチレン−エチレンフィルム、テト
ラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレンフィル
ム、ポリクロロトリフルオロエチレンフィルム、ポリビ
ニリデンフルオライドフィルム、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、
ポリエステルフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、
ポリカーボネートフィルム、ポリウレタンフィルム、ポ
リイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、これ
らの樹脂材料にフィラーを配合したフィルム、これらの
樹脂材料を用いたフィルムを１軸延伸もしくは２軸延伸
したもの、これらの樹脂材料を用いて流れ方向より幅方
向の延伸倍率を高めた２軸延伸フィルム、これらの樹脂
材料を用いて幅方向より流れ方向の延伸倍率を高めた２
軸延伸フィルム、これらのフィルムのうちの同種または
異種のフィルムを貼り合わせたもの、および、これらの
フィルムに用いられる原料樹脂から選ばれる同種または
異種の樹脂を共押し出しすることによって作成される複
合フィルム等を挙げることができる。

【００７８】また、転写基材シート１２として金属箔や
金属鋼帯を用いることもできる。このような金属箔や金
属鋼帯の具体例として、銅箔、銅鋼帯、アルミニウム
箔、アルミニウム鋼帯、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０１、
ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４２０Ｊ２およびＳＵＳ６３１等
のステンレス鋼帯、ベリリウム鋼帯等を挙げることがで
きる。このなかで、熱膨張率がカラーフィルタ用のガラ
ス基板の熱膨張率に近いという点で、好ましくはステン
レス鋼帯、特に好ましくはＳＵＳ４３０のステンレス鋼
帯を用いることができる。

【００７９】さらに、転写基材シート１２に用いる材料
として、上述の金属箔あるいは金属鋼帯を上述の樹脂フ
ィルムに貼り合わせたものを使用することもできる。金
属箔や金属鋼帯を樹脂フィルムと比較した場合、単位厚
み当たりの張力に対する抵抗力は金属箔や金属鋼帯の方
が勝るものが多い一方、単位厚み当たりの価格は樹脂フ
ィルムの方が安価であるものが多い。さらに、樹脂フィ
ルムは金属箔や金属鋼帯に比べ表面平滑性に優れたもの
が多く、カラーフィルタ画素パターンである着色パター
ン３Ｒ，３Ｇ，３Ｂを転写形成するための転写基材シー
ト１２として好ましく用いることができる。従って、金
属鋼帯や金属箔に樹脂フィルムを適宜貼り合わせて転写
基材シート１２とすることにより、単位厚み当たりの張
力に対する抵抗力と表面平滑性と材料価格の低さにバラ
ンスのとれた転写基材シート１２を得ることが可能とな
る。プライマー層 パターン露光前の感光性樹脂層１４（１４Ｒ，１４Ｇ，
１４Ｂ）と転写基材シート１２との接着力が不足してい
る場合、もしくはパターン露光後の感光性樹脂層１４と
転写基材シート１２間の接着力が高すぎる場合、両者間
の接着力を適度な値に調節するために、上記転写基材シ
ート１２に予めプライマー層を設けてもよい。また、こ
のようなプライマー層を設けることにより、転写基材シ
ート１２の表面が感光性樹脂層１４を形成するために必
要な表面平滑性を備えていない場合であっても、プライ
マー層材料を極めて平滑になるよう精密にコートするこ
とで、必要とされる表面平滑性を転写基材シート１２に
与えることも可能である。

【００８０】ここで、第３の工程において転写基材シー
ト１２から感光性樹脂層１４の露光部を剥離フィルム１
３とともに除去する際、感光性樹脂層１４に接するプラ
イマー層を共に剥離除去するためには、露光部と未露光
部の境界に沿ってプライマー層を切断する必要がある。
したがって、プライマー層の材料には切断が容易に行え
るような層内凝集力の低い材料を選択する必要がある。
しかし、このようなプライマー層を形成した場合は、剥
離現像によって転写基材シート１２上に形成された感光
性樹脂パターン１５（１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ）を第５
の工程でカラーフィルタ用の透明基板２に転写する際、
プライマー層内部の凝集力が低いため、転写基材シート
１２を剥離除去することにより透明基板２上に転写形成
された着色パターンの表面にプライマー層が付着してし
まうという不都合が生じる。従って、このような不都合
を防止するためには、転写基材シート１２から感光性樹
脂層１４の露光部を剥離フィルム１３に硬化接着させて
除去する際、プライマー層を全て転写基材シート１２に
保持しておくことが望ましい。

【００８１】このような性能を有するプライマー層を設
ける場合、転写基材シート１２とプライマー層間の接着
力は、露光前後の感光性樹脂層１４とプライマー層との
接着力、露光前後の感光性樹脂層１４と剥離フィルム１
３との接着力、露光前後の感光性樹脂層１４の凝集力、
露光前後のプライマー層の凝集力、のいずれに対しても
高いことが必要とされる。

【００８２】このようなプライマー層に用いることので
きる材料としては、エチエレン−酢酸ビニル共重合体、
エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレンビニル共重合
体、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合
体、ＡＢＳ樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレンメタ
クリル酸樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル
樹脂、ポリビニルアルコール、セルロースアセテートプ
ロピオネート、セルロースアセテートブチレート、ナイ
ロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカー
ボネート、ポリビニルアセタール、ポリエーテルエーテ
ルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサ
ルファイド、ポリアリレート、ポリビニルブチラール、
エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド系樹脂、ポ
リアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテ
ルイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、ポリビニ
ルホルマール、ポリビニルピロリドン、カルボキシメチ
ルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキ
シプロピルセルロース、メチルセルロース、エチルセル
ロール、カルボキシメチルエチルセルロース、エチルヒ
ドロキシエチルセルロース、ビスフェノールＡ型エポキ
シ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、
メラミン樹脂等を挙げることができる。

【００８３】また、後述するように感光性樹脂層１４
（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）のバインダーにアクリレー
トモノマー類の様な光硬化性低分子量体が配合されてい
る場合、プライマー層にはアクリレートモノマー等が拡
散しないような材料を用いることが好ましい。これはア
クリレートモノマー等がプライマー層に徐々に拡散した
場合、プライマー材料の軟化温度や粘着性や凝集力、あ
るいは、感光性樹脂層１４（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）
との接着力、あるいは、転写基材シート１２との接着力
がこれに伴って徐々に変化してしまう可能性が高まるた
めである。従って、アクリレートモノマー類のような光
硬化性低分子量体が拡散し難い材料を選定することが好
ましい。このような材料の一例として、ポリビニルアル
コール、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラー
ル、ポリビニルホルマール、ポリビニルピロリドン、カ
ルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロー
ス、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロー
ス、エチルセルロール、カルボキシメチルエチルセルロ
ース、エチルヒドロキシエチルセルロース等の水溶性樹
脂を挙げることができる。また、これらの水溶性樹脂を
複数種類混ぜ合わせて使用することも可能である。

【００８４】また、イソシアネート系架橋剤やキレート
系架橋剤等の架橋剤によって上記の樹脂を架橋したプラ
イマー層としてもよい。架橋剤は、架橋させる樹脂の反
応性官能基に応じて適宜選択することができ、公知のも
のから任意に選ぶことができる。架橋剤の一例として、
イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネ
ート、キシリレンジイソシアネート水添体、トリレンジ
イソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジ
フェニルメタンジイソシアネート、テトラメチルキシリ
レンジイソシアネート、前記のジイソシアネートをトリ
メチロールプロパンに付加させたアダクト体、前記のジ
イソシアネートのビウレット体、前記のジイソシアネー
トのトリマー体、エポキシ基やアジリジン基やオキザゾ
リン基を有する架橋剤、アルミニウム・亜鉛・チタン・
ジルコニウム等の金属原子を有するキレート化剤等を挙
げることができる。

【００８５】上述のようにプライマー層を架橋させる場
合、配合される架橋剤に応じて公知の触媒を添加するこ
とができる。例えば、イソシアネートを架橋剤に用いた
場合には、ジ−ｎ−ブチル錫ジラウレート、ジ−ｎ−オ
クチル錫ジラウレート、テトラメチルブタンジアミン、
Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−テトラメチル−１，３−ブタンジ
アミン、１，４−ジアザ−ビシクロ〔２，２，２〕オク
タン等を用いることができる。

【００８６】プライマー層を転写基材シート１２に形成
するには、転写基材シート１２の一方の面に、上記のよ
うな樹脂に必要に応じて架橋剤や架橋反応促進触媒等の
必要な添加剤を加えたものを、適当な有機溶剤または水
に溶解したり、有機溶剤と水の混合溶剤に溶解したり、
あるいは有機溶剤や水に分散させた分散体を、例えばグ
ラビアダイレクトコーティング法、グラビアリバースコ
ーティング法、リバースロールコーティング法、スライ
ドダイコーティング法、スリットダイコーティング法等
の手段により塗布・乾燥することができる。また、スラ
イドダイコーティング法を用いる場合、プライマー層と
感光性樹脂層１４を同時に塗布及び乾燥させることも可
能である。

【００８７】形成するプライマー層の厚みは０．０５〜
５μｍ、好ましくは０．１〜２μｍの範囲で設定するこ
とができる。プライマー層の厚みが０．０５μｍ未満で
ある場合は、プライマー層として必要とされる塗膜強度
が得られない。また、５μｍを超えると、塗膜の表面の
均一性を高めることが困難になるという問題点を生じ
る。

【００８８】プライマー層を転写基材シート１２上に設
けた場合であっても、第１の工程において感光性樹脂層
１４をプライマー層が設けられた転写基材シート１２に
塗布形成した後に剥離フィルム１３を加熱または加熱圧
着することも可能であり、あるいは剥離フィルム１３に
感光性樹脂層１４を塗布塗布した後に、プライマー層を
設けた転写基材シート１２を圧着または加熱圧着するこ
ともできる。剥離シート 次に、本発明で使用する剥離シート１３について説明す
る。剥離シート１３は、柔軟性を有し、かつ、張力もし
くは圧力で著しい変形を生じず、さらに、感光性樹脂層
１４（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）に所望の露光量での露
光行うための光が透過する材料を使用する必要がある。

【００８９】剥離フィルム１３の具体例としては、ポリ
エチレンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィ
ルム、エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム、
ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリ
メタクリル酸フィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ
ビニルアルコールフィルム、ポリビニルブチラールフィ
ルム、ナイロンフィルム、ポリエーテルエーテルケトン
フィルム、ポリサルフォンフィルム、ポリエーテルサル
フォンフィルム、ポリテトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテルフィルム、ポリビニルフ
ルオライドフィルム、テトラフルオロエチレン−エチレ
ンフィルム、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレンフィルム、ポリクロロトリフルオロエチレン
フィルム、ポリビニリデンフルオライドフィルム、ポリ
エチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタ
レートフィルム、ポリエステルフィルム、トリ酢酸セル
ロースフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリウレ
タンフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミ
ドフィルム、これらの樹脂材料にフィラーを配合したフ
ィルム、これらの樹脂材料を用いたフィルムを１軸延伸
もしくは２軸延伸したもの、これらの樹脂材料を用いて
流れ方向より幅方向の延伸倍率を高めた２軸延伸フィル
ム、これらの樹脂材料を用いて幅方向より流れ方向の延
伸倍率を高めた２軸延伸フィルム、これらのフィルムの
うちの同種または異種のフィルムを貼り合わせたもの、
および、これらのフィルムに用いられる原料樹脂から選
ばれる同種または異種の樹脂を共押し出しすることによ
って作成される複合フィルム等を挙げることができる。
これらのフィルムのうちで、特に２軸延伸ポリエステル
フィルムを使用することが好ましい。カラーフィルタ用の透明基板 上述の本発明のカラーフィルタの製造方法において使用
できるカラーフィルタ用の透明基板２には特に制限はな
く、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラス基
板、ホウケイ酸ガラス基板、石英ガラス基板、シリコン
基板等を使用することができる。

【００９０】また、感光性樹脂パターン（着色パター
ン）の接着性を向上させるために、カラーフィルタ用の
透明基板表面に表面処理を行うことができる。このよう
な目的のための表面処理には、従来公知の種々の手法を
用いることが可能である。その一例として、シランカッ
プリング剤を挙げることができる。使用するシランカッ
プリング剤としては、例えば、ビニルトリクロロシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルト
リメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジクロロ
シラン、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、
γ−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−（β−アミノエチ
ル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−
（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメ
トキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシ
ラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−
メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタ
クリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、ビニルト
リス（β−メトキシエトキシ）シラン、β−（３，４−
エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、
Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
等を挙げることができる。

【００９１】

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。 （実施例１）まず、ガラス転移温度（Ｔｇ）および重量
平均分子量（ＭＷ）が異なる下記の５種のポリマー（Ａ
〜Ｅ）を準備した。

【００９２】 ・ポリマーＡ ： Ｔｇ＝１０５℃、ＭＷ＝ ２５０００ ・ポリマーＢ ： Ｔｇ＝ ９０℃、ＭＷ＝ ８５０００ ・ポリマーＣ ： Ｔｇ＝１００℃、ＭＷ＝ ６５０００ ・ポリマーＤ ： Ｔｇ＝１５０℃、ＭＷ＝ ６００００ ・ポリマーＥ ： Ｔｇ＝ ５０℃、ＭＷ＝１６００００ また、２５℃における粘度が異なる下記の５種のモノマ
ー（Ｉ〜Ｖ）を準備した。尚、粘度はＪＩＳ Ｋ７１１
７に規定されている試験方法により測定した。

【００９３】 ・モノマーＩ ： 粘度＝ ９０ｃｐｓ ・モノマーII ： 粘度＝ ５５０ｃｐｓ ・モノマーIII ： 粘度＝ ７５００ｃｐｓ ・モノマーIV ： 粘度＝ ８ｃｐｓ ・モノマーＶ ： 粘度＝１２０００ｃｐｓ 次に、上記のポリマーおよびモノマーを使用し、下記の
組成の１１種の赤色着色パターン用の感光性樹脂組成物
（組成物１〜組成物１１）を調製した。尚、使用したポ
リマーおよびモノマーを下記の表１に示した。そして、
各感光性樹脂組成物１００重量部に対し溶剤としてメチ
ルエチルケトン２００重量部とトルエン２００重量部を
添加して塗布液を得た。赤色着色パターン用の感光性樹脂組成物 ・ポリマー … ３０重量部 ・モノマー … ５０重量部 ・光重合開始剤（チバガイギー社製イルガキュアー３６９）… ２重量部 ・イルカジンレッドＢＰＴ … ２０重量部 次に、転写基材シートとして厚み１００μｍの長尺状の
２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを準備
し、この転写基材シート上に上記の赤色の各感光性樹脂
組成物からなる１１種の塗布液をグラビアリバースコー
ティング法により塗布し乾燥して感光性樹脂層（厚み
２．０μｍ）を形成し、この感光性樹脂層に厚み１２μ
ｍの剥離フィルム（２軸延伸ポリエチレンテレフタレー
トフィルム）を重ねて、直径１００ｍｍのロール２本で
圧着して、１１種の赤色の複合体を作製した。（以上、
第１の工程） 次に、赤色の複合体の剥離フィルム側から、２７０μｍ
×８０μｍの長方形の開口部を所定のパターンで備えた
フォトマスク（縦３００ｍｍ×横４００ｍｍ）を介して
赤色の感光性樹脂層を露光した。フォトマスクとして
は、下記のガラス基板が備える位置合わせ見当印と同一
の寸法精度で見当印形成用の遮光部が４隅および周辺部
に設けられたものを使用した。また、この露光は超高圧
水銀灯を使用し、露光量は赤色の感光性樹脂層を完全に
硬化するのに必要な最小露光量２００００ｍＪの５％と
した。さらに、露光において超高圧水銀灯から放出され
る赤外線によってフォトマスクと転写基材シートの温度
が室温以上に上昇しないように、照射光の赤外線成分を
遮蔽し、かつ、冷風を適宜使用しながら露光を行った。
（以上、第２の工程） 次いで、上記複合体を水平に保持しながら剥離フィルム
を剥離して、感光性樹脂層の露光部を剥離フィルムとと
もに除去し、感光性樹脂層の未露光部を転写基材シート
上に残す剥離現像を行い、転写基材シート上に感光性樹
脂パターンおよび位置合わせ見当印を形成した。（以
上、第３の工程） 次に、クロム蒸着とパターンエッチングにより形成した
マトリックス状のブラックマトリックス（開口部２５０
μｍ×６０μｍ）および位置合わせ見当印を備えるカラ
ーフィルタ用のガラス基板（ホウケイ酸ガラス製、厚み
１ｍｍ、縦３００ｍｍ×横４００ｍｍ）を準備した。ガ
ラス基板に設けた見当印は、上記のフォトマスクの見当
印用の遮光部と同様のものであり、第２の工程における
露光時の温度条件でフォトマスクと同一の寸法精度を有
するものである。そして、このガラス基板の位置合わせ
見当印と上記の転写基材シートの位置合わせ見当印とを
用いて位置合わせを行い、転写基材シートにしわが入ら
ないために必要な必要最小限の張力をかけながら転写基
材シート上の感光性樹脂パターンとガラス基板とを重
ね、直径１００ｍｍのロール２本で圧着した。この際、
転写基材シートとガラス基板の温度を、上述の第２の工
程での露光時の転写基材シートの温度と同一となるよう
に冷風を用いて温度調節を行った。（以上、第４の工
程） 次いで、ガラス基板側から超高圧水銀灯を用いた紫外線
を照射する露光を行った。この露光における露光量は、
赤色の感光性樹脂パターンを完全に硬化するのに必要な
最小露光量２００００ｍＪの５％とした。

【００９４】その後、転写基材シートを剥離してガラス
基板上に赤色の感光性樹脂パターンを転写し、この感光
性樹脂パターン側から超高圧水銀灯を用いた紫外線を照
射する露光を行って光硬化反応を完結させ、赤色の着色
パターンを備えたカラーフィルタ（試料１〜１１）とし
た。この露光での露光量は、赤色着色パターンのテトラ
ヒドロフランに対する耐溶剤性がもはや変化しなくなる
のに必要な露光量とした。（以上、第５の工程） 上記の試料１〜１１の作製では、全工程の作業環境温度
Ｔ１を２５℃に調節し、また、第２の工程から第４の工
程が完了するまでの転写基材シートの温度が２５℃とな
るように、圧着ロールの温度や冷風または温風で温度調
節を行った。尚、転写基材シートの温度測定は、赤外線
放射温度計（堀場製作所（株）製 ＩＴ−３４０Ｓ）を
使用して行った。

【００９５】また、全工程の作業環境温度を２５℃と
し、第３の工程と第４の工程における転写基材シートの
温度を６０℃とした他は、上記の試料１と同様にしてカ
ラーフィルタ（試料１２）を作製した。

【００９６】上記のカラーフィルタ（試料１〜１２）に
ついて、４隅および周辺部での、ガラス基板のクロム蒸
着による見当印と、赤色着色パターンとともに転写形成
された見当印との位置のずれ幅を顕微鏡にて測定し、最
も大きいずれ幅の値をＺとして、下記の表１に示した。
また、赤色着色パターンのパターンエッジの形状を下記
の基準で評価して、結果を下記の表１に示した。パターンエッジの評価基準 Ａ：エッジの振れ幅は３μｍ以下であり、良好な直線性
を示し、カラーフィルタとして使用するために十分なエ
ッジ精度を有していた。

【００９７】Ｂ：エッジの振れ幅は５μｍ以下であり、
必要最低限度以上の直線性を示し、カラーフィルタとし
て使用するために必要なエッジ精度を有していた。

【００９８】Ｃ：エッジの振れ幅は５μｍより大きく、
必要最低限の直線性は得られず、カラーフィルタとして
使用するために必要なエッジ精度を有していなかった。

【００９９】Ｄ：露光された感光性樹脂層の全部または
大部分が剥離フィルムによって剥離除去されず、転写基
材シート上にカラーフィルタパターンが形成されなかっ
た。

【０１００】

【表１】 表１に示されるように、ガラス転移温度（Ｔｇ）が８０
〜１２０℃の範囲内であり、重量平均分子量（ＭＷ）が
１００００〜１０００００の範囲内であるポリマーと、
２５℃における粘度が１０〜８０００ｃｐｓの範囲にあ
るモノマーを含有する感光性樹脂組成物（組成物１〜
５）を使用して作製したカラーフィルタ（試料１〜５）
は、転写基材シートの温度が２５℃と比較的低く保持さ
れていたにもかかわらず、剥離現像や着色パターンの転
写形成における不良が発生せず、いずれも見当印の最大
ずれ幅Ｚが１０μｍ以下と小さく、パターンエッジの形
状が良好な高精度の着色パターンを備えたカラーフィル
タであることが確認された。

【０１０１】これに対して、ポリマーおよびモノマーの
少なくとも一方が上記の範囲からはずれる感光性樹脂組
成物（組成物６〜１１）を使用して作製したカラーフィ
ルタ（試料６〜１１）は、剥離現像において良好な膜切
れ性を示さず、パターンエッジの直線性が極めて低くな
るという不都合を生じ、あるいは、剥離によって露光パ
ターンに応じたパターンを得ることができない等の不都
合を生じたため、カラーフィルタとして実用に供し得な
いものであった。

【０１０２】また、転写基材シートの温度を６０℃とし
て作製したカラーフィルタ（試料１２）は、見当印の最
大ずれ幅Ｚが大きく、カラーフィルタとして実用に供し
得ないものであった。

【０１０３】尚、赤色着色剤（イルカジンレッドＢＰ
Ｔ）の代わりに緑色着色剤（銅フタロシアニン）を添加
して調製した緑色着色パターン用の感光性樹脂組成物を
使用して、上述の第１の工程から第５の工程による赤色
の着色パターン形成と同様に、緑色の着色パターンを同
一のガラス基板上に形成し、この着色パターンについ
て、上述のように見当印の最大ずれ幅Ｚを測定し、パタ
ーンエッジの形状を評価したところ、同様の結果が得ら
れた。

【０１０４】また、赤色着色剤（イルカジンレッドＢＰ
Ｔ）の代わりに青色着色剤（フタロシアニンブルー）を
添加して調製した青色着色パターン用の感光性樹脂組成
物を使用して、上述の第１の工程から第５の工程による
赤色の着色パターン形成と同様に、青の着色パターンを
同一のガラス基板上に形成し、この着色パターンについ
て、上述のように見当印の最大ずれ幅Ｚを測定し、パタ
ーンエッジの形状を評価したところ、同様の結果が得ら
れた。 （実施例２）実施例１において使用したのと同じポリマ
ーＡおよびモノマーＩを使用し、下記の組成の８種の赤
色着色パターン用の感光性樹脂組成物（組成物ａ〜組成
物ｈ）を調製した。尚、各感光性樹脂組成物のポリマー
の重量部Ｘ、モノマーの重量部Ｙは下記の表２に示し
た。そして、各感光性樹脂組成物１００重量部に対し溶
剤としてメチルエチルケトン２００重量部とトルエン２
００重量部を添加して８種の塗布液を得た。赤色着色パターン用の感光性樹脂組成物 ・ポリマー … Ｘ重量部 ・モノマー … Ｙ重量部 ・光重合開始剤（チバガイギー社製イルガキュアー３６９）… ２重量部 ・イルカジンレッドＢＰＴ … ２０重量部 この８種の感光性樹脂組成物（ａ〜ｈ）を使用した各塗
布液を用いた他は、実施例１の試料１と同様にしてカラ
ーフィルタ（試料１３〜２０）を作製した。

【０１０５】このように作製したカラーフィルタ（試料
１３〜２０）について、実施例１と同様にして、見当印
の最大ずれ幅Ｚを測定し、また、赤色着色パターンのパ
ターンエッジの形状を評価して、結果を下記の表２に示
した。

【０１０６】

【表２】 表２に示されるように、ポリマーの含有量が１０〜４０
重量％の範囲内であり、モノマーの含有量が４０〜７０
重量％の範囲内である感光性樹脂組成物（組成物ａ〜
ｄ）を使用して作製したカラーフィルタ（試料１３〜１
６）は、転写基材シートの温度が２５℃と比較的低く保
持されていたにもかかわらず、剥離現像や着色パターン
の転写形成における不良が発生せず、いずれも見当印の
最大ずれ幅Ｚが１０μｍ以下と小さく、パターンエッジ
の形状が良好な高精度の着色パターンを備えたカラーフ
ィルタであることが確認された。

【０１０７】これに対して、ポリマーの含有量およびモ
ノマーの含有量の少なくとも一方が上記の範囲からはず
れる感光性樹脂組成物（組成物ｅ〜ｈ）を使用して作製
したカラーフィルタ（試料１７〜２０）は、剥離現像の
際に感光性樹脂パターンが転写基材シート上に極めて不
完全にしか形成されないか、形成されていても直線パタ
ーン部分の直線性が非常に低いものしか得られなかっ
た。

【０１０８】尚、赤色着色剤（イルカジンレッドＢＰ
Ｔ）の代わりに緑色着色剤（銅フタロシアニン）を添加
して調製した緑色着色パターン用の感光性樹脂組成物を
使用して、上述の第１の工程から第５の工程による赤色
の着色パターン形成と同様に、緑色の着色パターンを同
一のガラス基板上に形成し、この着色パターンについ
て、上述のように見当印の最大ずれ幅Ｚを測定し、パタ
ーンエッジの形状を評価したところ、同様の結果が得ら
れた。

【０１０９】また、赤色着色剤（イルカジンレッドＢＰ
Ｔ）の代わりに青色着色剤（フタロシアニンブルー）を
添加して調製した青色着色パターン用の感光性樹脂組成
物を使用して、上述の第１の工程から第５の工程による
赤色の着色パターン形成と同様に、青の着色パターンを
同一のガラス基板上に形成し、この着色パターンについ
て、上述のように見当印の最大ずれ幅Ｚを測定し、パタ
ーンエッジの形状を評価したところ、同様の結果が得ら
れた。

【０１１０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば感
光性樹脂組成物は少なくともガラス転移温度Ｔｇが８０
〜１２０℃の範囲で重量平均分子量が１００００〜１０
００００の範囲であるポリマーと、２５℃における粘度
が１０〜８０００ｃｐｓの範囲である多官能のモノマー
と、着色剤とを含有するので、この感光性樹脂組成物を
使用して形成した感光性樹脂層は２０〜３０℃の範囲で
適度の粘性を有することになる。

【０１１１】そして、このような感光性樹脂組成物を使
用して、第１の工程で、転写基材シートと剥離フィルム
の間に着色剤を含有した感光性樹脂層を形成し、第２の
工程で、所定のフォトマスクを介して剥離フィルム側か
ら感光性樹脂層を露光し、第３の工程で、剥離フィルム
を剥離して感光性樹脂層の露光部を剥離フィルムととも
に転写基材シートから除去し感光性樹脂層の未露光部を
感光性樹脂パターンとして転写基材シート上に残し、第
４の工程で、カラーフィルタ用の透明基板を感光性樹脂
パターン上に位置合わせして圧着し、第５の工程で、透
明基板側から感光性樹脂パターンを露光し、転写基材シ
ートを剥離して感光性樹脂パターンを透明基板上に転写
して着色パターンを形成するような第１の工程から第５
の工程のうち、少なくとも第２の工程から第４の工程に
おける一連の操作を通じて、転写基材シートの温度を２
０〜３０℃に維持しても、第３の工程における剥離現像
において感光性樹脂層が良好な膜切れ性を示し、また、
第４の工程で透明基板上への感光性樹脂パターンの位置
合わせを高い精度で行うことができ、さらに、第５の工
程で転写基材シートを剥離する着色パターンの転写形成
において良好な転写性が得られ、したがって、透明基板
上へ高い精度で着色パターンを形成することができ、色
ずれや色抜け等のない高精細なカラーフィルタの製造が
可能である。また、上記の第１の工程から第５の工程の
いずれも、カラーフィルタ用の透明基板へのスピンコー
ト等による塗布工程がないので材料ロスが極めて少な
く、かつ、湿式現像工程や洗浄工程は不要で廃液処理の
必要がなく、第１の工程から第５の工程を必要な色数分
繰り返して、所望の色数の着色パターンを透明基板上に
形成することによってカラーフィルタを製造するので、
材料の使用効率が高く、工程が簡便なものとなり、した
がって、製造コストの低減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。

【図２】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。

【図３】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。

【符号の説明】

１…カラーフィルタ ２…透明基板 ３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ…着色パターン １１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ…複合体 １２…転写基材シート １３…剥離フィルム １４（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）…感光性樹脂層 １５（１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ）…感光性樹脂パターン ２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ…フォトマスク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ // Ｃ０８Ｆ 290/00 Ｃ０８Ｆ 290/00

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくともガラス転移温度Ｔｇが８０〜
   １２０℃の範囲で重量平均分子量が１００００〜１００
   ０００の範囲であるポリマーと、２５℃における粘度が
   １０〜８０００ｃｐｓの範囲である多官能のモノマー
   と、着色剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組
   成物。
2. 【請求項２】 前記ポリマーの含有量が１０〜４０重量
   ％の範囲であり、前記モノマーの含有量が４０〜７０重
   量％の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の感
   光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の感光性
   樹脂組成物を用いて転写基材シートと剥離フィルムの間
   に感光性樹脂層を形成する第１の工程と、 所定のフォトマスクを介して前記剥離フィルム側から前
   記感光性樹脂層を露光する第２の工程と、 前記剥離フィルムを剥離することにより前記感光性樹脂
   層の露光部を転写基材シート上から除去し、前記転写基
   材シート上に前記感光性樹脂層の未露光部を残して感光
   性樹脂パターンを形成する第３の工程と、 前記転写基材シート上に形成された前記感光性樹脂パタ
   ーンに、カラーフィルタ用の透明基板を位置合わせして
   圧着する第４の工程と、 前記透明基板側から前記感光性樹脂パターンを露光し、
   その後、前記転写基材シートを剥離することにより、前
   記透明基板上に前記感光性樹脂パターンを転写して着色
   パターンを形成する第５の工程と、 を少なくとも第２の工程から第４の工程における前記転
   写基材シートの温度を２０〜３０℃に保ちながら必要な
   色数分繰り返すことにより、所望の色数の着色パターン
   を前記透明基板上に形成することを特徴としたカラーフ
   ィルタの製造方法。