JPH10111217A - 非球面鏡用の光軸調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易な装置によって各種の非球面鏡に対し高
精度な光軸調整が可能な非球面鏡用の光軸調整装置を提
供すること。 【解決手段】 光源部５０と、光源部５０側からの出射
光を、一旦集束させた後発散させ、被調整鏡である軸外
し放物面鏡１０に入射させる対物レンズ６０と、この対
物レンズ６０を経て発散され軸外し放物面鏡１０で反射
された光束を逆方向に進行する逆進光束に反転させて軸
外し放物面鏡１０に再び導く平面鏡７０と、平面鏡７０
で反射された後に軸外し放物面鏡１０でさらに反射され
た逆進光束が軸外し放物面鏡１０によって再度集光され
る集光スポットＣＳの状態を対物レンズ６０を介して観
察可能にする観察光学系８０とを備える。集光スポット
ＣＳが最も小さくなるように、軸外し放物面鏡１０の配
置を微調整すると、検査装置１００側の光軸ＯＡと軸外
し放物面鏡１０の光軸とが一致して、軸外し放物面鏡１
０の配置調整が完了する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非球面鏡（放物面
鏡、楕円面鏡、双曲面鏡等）用の光軸調整装置に関し、
軸中心鏡、軸外し鏡共に適用される光軸調整装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】分光分析を行うための分光光度計やミラ
ープロジェクションタイプの半導体露光装置、そして、
高精度なイメージセッターにおいては、高精度な非球面
鏡が用いられる。これらの高精度な非球面鏡の性能を余
すところなく発揮させるためには、高精度な光軸調整が
欠かせない。さらに、これらの装置に用いられる非球面
鏡は、軸中心のない軸外し非球面鏡であることが多いた
め、光軸調整が困難なものとなっているが、このような
場合、例えば図１１に示すような調整方法が用いられて
いる。

【０００３】図示のように、被調整鏡が軸外し放物面鏡
１０の場合、レンズ等を用いた光学系２１とレーザー等
の光源装置２２とを備えるコリメーター装置２０によ
り、軸外し放物面鏡１０の開口にほぼ等しい大きさの平
行光を発生させて軸外し放物面鏡１０に一様に入射さ
せ、軸外し放物面１０によって集光された集光スポット
ＣＳの状態（コマ収差の発生状況）を拡大レンズ３０で
拡大して投影板４０等に投影する。そして、投影板４０
を観察しながら集光スポットＣＳが最も小さくなるよう
に、軸外し放物面鏡１０の配置を試行錯誤で調整する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような方法では、軸外し放物面鏡１０の開口が大きくな
ればなるほどコリメーター装置２０の開口も大きくする
必要があるため、光軸調整装置が大がかりなものとなっ
てしまうし、このコリメーター装置２０の性能により光
軸調整精度が左右され、十分な精度の光軸調整が達成で
きないといった場合も生じる。

【０００５】なお、図１１に示す方法の他に、干渉を利
用して光軸調整を行う様々な方法があるが（例えば特公
平８−２７４４４号公報）、干渉を利用する場合、被調
整鏡１０の面精度が測定波長程度（例えば０．６３３μ
ｍ）以下の限定された仕様の物である場合にしか適用で
きないという事情がある。

【０００６】そこで、この発明は、簡易な装置によって
各種の非球面鏡に対し高精度な光軸調整が可能な非球面
鏡用の光軸調整装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１の非球面鏡用の光軸調整装置は、光源と、前記
光源側からの出射光を、一旦集束させた後発散させ、３
次元的に調整可能に配置された非球面型の被調整鏡に入
射させる対物レンズと、対物レンズを経て被調整鏡で反
射された光束を逆方向に進行する逆進光束に反転させて
被調整鏡に再び導く反射手段と、反射手段で反射された
後被調整鏡でさらに反射された逆進光束が被調整鏡によ
って再度集光される状態を対物レンズを介して観察可能
にする観察光学系とを備えることを特徴とする。

【０００８】また、請求項２の非球面鏡用の光軸調整装
置は、観察光学系が、撮像装置と、光源からの出射光を
対物レンズに入射させるとともに対物レンズを通過した
逆進光束を撮像装置に入射させる分岐手段とを備えるこ
とを特徴とする。

【０００９】また、請求項３の非球面鏡用の光軸調整装
置は、観察光学系が、撮像装置に入射させる逆進光束の
結像倍率を調節する倍率調整手段を備えることを特徴と
する。

【００１０】また、請求項４の非球面鏡用の光軸調整装
置は、撮像装置が、固体撮像素子と、この固体撮像素子
からの画像信号を表示するディスプレイ装置とを備える
ことを特徴とする。

【００１１】また、請求項５の非球面鏡用の光軸調整装
置は、被調整鏡が、軸外し型の非球面鏡であり、観察光
学系が、光源側からの出射光を、対物レンズの入射瞳の
うちの光軸からずれた一部領域に入射させることを特徴
とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】

〔第１実施形態〕図１は、第１実施形態に係る非球面鏡
用の光軸調整装置の構造を説明する斜視図である。

【００１３】この光軸調整装置は、マルチビーム記録装
置に組み込まれる光記録ヘッドＲＨに組み込まれる軸外
し放物面鏡１０の光軸調整に利用されるもので、光源部
５０と、光源部５０側からの出射光を、一旦集束させた
後に発散させ、被調整鏡である軸外し放物面鏡１０に入
射させる対物レンズ６０と、この対物レンズ６０を経て
発散され軸外し放物面鏡１０で反射された光束を逆方向
に進行する逆進光束に反転させて軸外し放物面鏡１０に
再び導く平面鏡７０と、平面鏡７０で反射された後に軸
外し放物面鏡１０でさらに反射された逆進光束がこの軸
外し放物面鏡１０によって再度集光される集光スポット
ＣＳの状態を対物レンズ６０を介して観察可能にする観
察光学系８０とを備える。なお、観察光学系８０は、集
光スポットＣＳの像を電気信号に変換する撮像装置部８
１と、光源部５０からの出射光を対物レンズ６０に入射
させるとともに対物レンズ６０を通過した軸外し放物面
鏡１０からの逆進光束を撮像装置部８１に入射させる分
岐手段である光アイソレーター８２とを備える。

【００１４】図２は、マルチビーム記録装置に組み込ま
れる光記録ヘッドＲＨの役割と構造を間単に説明するも
のである。調整台であるベース９０上には、２次元的に
配置されたレーザーダイオード９１ａを備えるマルチビ
ーム光源９１と、マルチビーム光源９１からの記録用の
光線を反射して一旦集束させる軸外し放物面鏡１０と、
軸外し放物面鏡１０で反射された光線からマルチビーム
光源９１の縮小投影像を形成する立体射影レンズ９３
と、倍率調整用のズームレンズ９４と、縮小投影像を回
転ドラムＲＤの周囲に取り付けられた感光材料ＦＭ上に
投影するアフォーカル縮小レンズ９６とが、それらの配
置を精密に調整されて固定される。なお、回転ドラムＲ
Ｄは、主走査のため中心軸ＲＡの回りで回転し、ベース
９０は、副走査のため中心軸ＲＡの方向に同期して移動
する。

【００１５】図３は、図１の光軸調整装置中の光学系の
配置を説明する図である。光源部５０は、直線偏光光を
出射するＨｅ−Ｎｅレーザー５１と、Ｈｅ−Ｎｅレーザ
ー５１からの出射光のビーム径を平行光のままで拡大す
るビームエキスパンダー５２とから構成される。

【００１６】光源部５０からの出射光は、光アイソレー
ター８２を介して対物レンズ６０に導かれるが、この光
アイソレーター８２は、光源部５０からの特定偏光成分
（Ｓ偏光）の出射光を偏向させる偏光ビームスプリッタ
ーＰＢＳと、偏光ビームスプリッターＰＢＳで反射され
た出射光の偏光状態を直線偏光から円偏光に変化させる
λ／４板８５とから構成される。なお、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザー５１は、その出射光の偏光方向が偏光ビームスプリ
ッターＰＢＳの反射面に対して平行になるように設定さ
れる。

【００１７】光アイソレーター８２を通過した出射光
は、対物レンズ６０を経て集束し、対物レンズ６０の前
側焦点に集光点を一旦形成した後発散し、軸外し放物面
鏡１０に一様に入射する。軸外し放物面鏡１０に入射し
た光は、ほぼ平行光束として反射され、そのまま平面鏡
７０に入射する。ここにおいて、対物レンズ６０と軸外
し放物面鏡１０と平面鏡７０とは、いわばコリメーター
として機能している。平面鏡７０に入射した光は、ほぼ
平行光束のまま逆進光束として反射され、再び逆方向か
ら軸外し放物面鏡１０に入射する。軸外し放物面鏡１０
で再度反射された逆進光束は、対物レンズ６０の前側焦
点の近傍に一旦集束して集光スポットＣＳを形成した
後、対物レンズ６０に逆方向から入射する。対物レンズ
６０に入射した逆進光束は、ほぼ平行光に変換されてλ
／４板８５及び偏光ビームスプリッターＰＢＳを直進し
て、撮像装置部８１に入射する。

【００１８】撮像装置部８１は、偏光ビームスプリッタ
ーＰＢＳを通過した逆進光束を集束させる無限遠共役比
タイプの結像レンズ８７と、結像レンズ８７によって形
成された集光スポットＣＳの拡大像を光電変換する固体
撮像素子ＣＣＤを内蔵するＣＣＤカメラ８８とから構成
される。なお、ＣＣＤカメラ８８からの画像信号は、軸
外し放物面鏡１０の光軸調整時に観察しやすいようにデ
ィスプレイ装置８９に表示される。

【００１９】再び図１に戻って、軸外し放物面鏡１０及
び平面鏡７０の位置調整及び固定のための治具について
説明する。前者の軸外し放物面鏡１０は、ベース９０上
に設けた配置調整治具９８に取り付けられており、３次
元的な位置の微調整が可能となっている。軸外し放物面
鏡１０を支える支持板９８ａは、ｙ軸に対して平行移動
可能であり、ピン９８ｂに軸支されてｘ軸に平行な軸の
回りに回転可能になっている。また、配置調整治具９８
全体は、ｘ、ｚ軸それぞれに対して平行移動可能であ
り、ｙ軸に平行な軸の回りに回転可能になっている。一
方、後者の平面鏡７０は、後の組立行程でマルチビーム
光源９１（図２参照）を取り付けるための固定板７０に
固定的に取り付けられていて、位置調整はできないが、
その反射面７０ａがマルチビーム光源９１の基準面と一
致した状態、すなわち反射面７０ａが光軸ＯＡ（調整完
了後の軸外し放物面鏡１０の光軸と一致する）に垂直な
状態で、ベース９０上に固定されることになる。

【００２０】なお、軸外し放物面鏡１０と平面鏡７０と
を載置しているベース９０は、光源部５０、対物レンズ
６０、及び観察光学系８０からなる検査装置１００に対
して、適当な基準面を利用して位置合わせされており、
この位置合わせ後に、軸外し放物面鏡１０の光軸調整が
行われる。さらに、ベース９０を検査装置１００に対し
て位置合わせする以前には、予め検査装置１００自体に
ついても、これを構成するＨｅ−Ｎｅレーザー５１、ビ
ームエキスパンダー５２、偏光ビームスプリッターＰＢ
Ｓ等の各要素について精密な位置合わせを行っている。

【００２１】図４は、対物レンズ６０に光源部５０側か
ら入射させる入射光ＩＢの状態を説明する図である。観
察光学系８０は、入射光ＩＢを対物レンズ６０の入射瞳
のうちの光軸ＯＡからずれた一部領域に入射させる。こ
の結果、対物レンズ６０で集束された入射光ＩＢは、光
軸ＯＡからずれた方向から対物レンズ６０の前側焦点で
ある集光点ＣＰに入射することになるが、これにより、
軸外し放物面鏡１０のみを一様に無駄なく照明すること
ができる。ここで、入射光ＩＢが対物レンズ６０に入射
する位置の調整は、偏光ビームスプリッターＰＢＳを光
軸ＯＡ方向に沿って微動させることにより行う。具体的
には、偏光ビームスプリッターＰＢＳで反射された入射
光ＩＢの光路が当初光軸ＯＡ及びその近傍上にあったも
のとすると、偏光ビームスプリッターＰＢＳを対物レン
ズ６０から遠ざける方向に移動させることで、この移動
量に対応した量ｄだけ、入射光ＩＢが対物レンズ６０に
入射する位置を光軸ＯＡからずらすことができ、これに
対応して、対物レンズ６０の入射瞳のうちの光軸ＯＡか
らずれた一部領域にのみ入射光ＩＢを入射させることが
できる。

【００２２】図１及び図３に示す光軸調整装置を利用し
た光軸調整は、基本的には、軸外し放物面鏡１０によっ
て対物レンズ６０の前方に形成される集光スポットＣＳ
の状態を観察光学系８０で観察しながら、軸外し放物面
鏡１０の位置を配置調整治具９８を利用して微調整する
ことによって行う。すなわち、対物レンズ６０によって
当初形成された集光点ＣＰが平面鏡７０を介して軸外し
放物面鏡１０で２度反射されることによって形成される
集光スポットＣＳに関し、そのコマ収差の発生状況等を
ディスプレイ装置８９を利用して観察する。そして、こ
の集光スポットＣＳが最も小さくなるように、軸外し放
物面鏡１０の配置を微調整する。集光スポットＣＳが最
も小さくなったときは、集光スポットＣＳが対物レンズ
６０の前側焦点である集光点ＣＰと一致し、検査装置１
００側の光軸ＯＡと軸外し放物面鏡１０の光軸とが一致
して、軸外し放物面鏡１０の配置調整が完了した状態と
なっている。

【００２３】図５〜図７は、図１の光軸調整装置を用い
た具体的光軸調整の概要を説明するための図であり、軸
外し放物面鏡１０の調整ずれと集光スポットＣＳの状態
との関係をシミュレーションしたいわゆるスポットダイ
ヤグラムである。図５は、軸外し放物面鏡１０を対物レ
ンズ６０に対し光軸ＯＡ方向にのみ変位させた場合の集
光スポットＣＳの状態を示し、図６は、軸外し放物面鏡
１０を対物レンズ６０に対し光軸ＯＡ方向に垂直なｘ、
ｙ方向のいずれか一方のみに変位させた場合を示し、図
７は、軸外し放物面鏡１０を対物レンズ６０に対し光軸
ＯＡ方向に垂直なｘ、ｙ方向の双方に変位させた場合を
示す。なお、図において、軸外し放物面鏡１０に収差は
ないものとし、さらに検査装置１００にも収差がないも
のとして、集光スポットＣＳの状態を示してある。ま
た、軸外し放物面鏡１０の光軸ＯＡをｘ，ｙ方向のいず
れか一方のみに変位させた場合（図６）や、ｘ，ｙ方向
の双方に変位させた場合（図７）においては、光を観察
光学系８０に入射させるために、軸外し放物面鏡１０の
光軸ＯＡをわずかに傾斜させている。

【００２４】図５（ａ）に示すように、軸外し放物面鏡
１０が対物レンズ６０に対し光軸ＯＡ方向にわずかに近
づいている場合、集光スポットＣＳはほぼ均一に円形に
広がる。一方、図５（ｃ）に示すように、軸外し放物面
鏡１０が対物レンズ６０に対し光軸ＯＡ方向にわずかに
離れている場合も、集光スポットＣＳはほぼ均一に円形
に広がる。図５（ｂ）に示すように、軸外し放物面鏡１
０が対物レンズ６０に対し完全に位置合わせされた状態
では、集光スポットＣＳはほぼ点状となる。

【００２５】図６（ａ）に示すように、軸外し放物面鏡
１０の光軸がｘ方向（軸外しの方向）のみにわずかにず
れている場合、集光スポットＣＳは一点から長円状に広
がる。一方、図６（ｂ）に示すように、軸外し放物面鏡
１０の光軸がｙ方向のみにわずかにずれている場合、集
光スポットＣＳは一点から３角形状に広がる。

【００２６】図７（ａ）〜（ｅ）は、軸外し放物面鏡１
０の光軸ＯＡがｘ，ｙ方向の双方にわずかに変位した場
合に、対物レンズ６０に対する光軸ＯＡの変位量に対す
る集光スポットＣＳの変化を示し、対物レンズ６０にわ
ずかに近づいている状態からわずかに離れる状態までを
（ａ）から（ｅ）の順で示している。

【００２７】このように、図５〜図７は、軸外し放物面
鏡１０の調整ずれによって生じる集光スポットＣＳの状
態を理論的に示すものであるが、これを利用すれば、集
光スポットＣＳのコマ収差の発生状況から軸外し放物面
鏡１０の調整ずれの方向及び量をある程度逆算できるこ
とがわかる。

【００２８】〔第２実施形態〕図８は、第２実施形態に
係る非球面鏡用の光軸調整装置の構造を説明する図であ
る。なお、第２実施形態は、第１実施形態の変形例であ
るので、同一部分については同一符号を付して重複説明
を省略する。

【００２９】第２実施形態の光軸調整装置は、軸中心鏡
タイプの放物面鏡１１０の光軸調整のための装置であ
る。このため、平面鏡１７０は、放物面鏡１１０の形状
に対応して光軸ＯＡの周囲に配置されており、光軸ＯＡ
が通る中心部には、開口１７０ａが形成されている。

【００３０】なお、光アイソレーター８２は、入射光Ｉ
Ｂを対物レンズ６０の入射瞳のほぼ全体に入射させる。
つまり、光ビームスプリッターＰＢＳで反射された入射
光ＩＢの光路の中心は光軸ＯＡ上にあり、軸中心鏡タイ
プの放物面鏡１１０は光軸ＯＡを中心として均一に照明
される。

【００３１】図８の光軸調整装置において、放物面鏡１
１０の調整ずれと集光スポットＣＳの状態との関係は、
図５〜図７に示すものとは異なるものとなるが、集光ス
ポットＣＳが最も小さくなるように軸外し放物面鏡１１
０の配置を微調整することに変わりはない。

【００３２】〔第３実施形態〕図９は、第３実施形態に
係る非球面鏡用の光軸調整装置の構造を説明する図であ
る。第３実施形態は、第１実施形態の変形例である。

【００３３】第３実施形態の光軸調整装置は、軸外し楕
円鏡２１０の光軸調整のための装置である。このため、
平面鏡７０の代わりに軸外し配置された球面鏡２７０を
用いている。この場合、対物レンズ６０等は、被調整鏡
である軸外し楕円鏡２１０の一方の焦点となるべき点が
対物レンズ６０の集光点ＣＰと一致するように、予め位
置決めされて配置されている。また、球面鏡２７０も、
軸外し楕円鏡２１０の他方の焦点となるべき点がこの球
面鏡２７０の焦点と一致するように、対物レンズ６０に
対して予め位置決めされて配置されている。この第３実
施形態でも、入射光ＩＢを対物レンズ６０の入射瞳のう
ちの光軸ＯＡからずれた一部領域に入射させる。つま
り、入射光ＩＢのビーム径を絞って、偏光ビームスプリ
ッターＰＢＳを図示の位置から対物レンズ６０から遠ざ
ける方向に移動させて、対物レンズ６０の入射瞳のうち
の光軸ＯＡからずれた一部領域にのみ入射光ＩＢを入射
させる。

【００３４】なお、第３実施形態の光軸調整装置は、軸
中心鏡タイプの楕円鏡３１０の光軸調整のための装置と
しても利用できる。この場合、入射光ＩＢの中心を光軸
ＯＡと一致させるとともに、球面鏡２７０を光軸ＯＡの
周囲に配置するか、軸外し楕円鏡３１０の他方の焦点と
なるべき点に光軸ＯＡに垂直に配置される平面鏡に置き
換える。

【００３５】〔第４実施形態〕図１０は、第４実施形態
に係る非球面鏡用の光軸調整装置の構造を説明する図で
ある。第４実施形態は、第１実施形態の変形例である。

【００３６】第４実施形態の光軸調整装置は、軸外し双
曲面鏡４１０の光軸調整のための装置である。このた
め、平面鏡７０の代わりに軸外し配置された球面鏡４７
０を用いている。この場合、対物レンズ６０等は、被調
整鏡である軸外し双曲面鏡４１０の実像側焦点となるべ
き点が対物レンズ６０の集光点ＣＰと一致するように、
予め位置決めされて配置されている。また、球面鏡４７
０も、軸外し双曲面鏡４１０の虚像側焦点となるべき点
が球面鏡４７０の焦点と一致するように、対物レンズ６
０に対して予め位置決めされて配置されている。この第
４実施形態でも、入射光ＩＢを対物レンズ６０の入射瞳
のうちの光軸ＯＡからずれた一部領域に入射させる。つ
まり、入射光ＩＢのビーム径を絞って、偏光ビームスプ
リッターＰＢＳを図示の位置から対物レンズ６０から遠
ざける方向に移動させて、対物レンズ６０の入射瞳のう
ちの光軸ＯＡからずれた一部領域にのみ入射光ＩＢを入
射させる。

【００３７】なお、第４実施形態の光軸調整装置は、軸
中心鏡タイプの双曲面鏡５１０の光軸調整のための装置
としても利用することができる。この場合、球面鏡４７
０を光軸ＯＡの周囲に配置され中央に開口を有する球面
鏡５７０とする。

【００３８】以上、実施形態に即してこの発明を説明し
たが、この発明は、上記実施形態に限定されるものでは
ない。例えば偏光ビームスプリッターＰＢＳ及びλ／４
板８５に代えて半透鏡を用いて光アイソレーター８２を
構成することもできる。

【００３９】また、必要に応じて、結像レンズ８７を交
換してＣＣＤカメラ８８に投影される集光スポットＣＳ
の像の拡大率を変更することもできる。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、請求項１の非球面鏡用の
光軸調整装置によれば、光源と、光源側からの出射光
を、一旦集束させた後発散させ、３次元的に調整可能に
配置された非球面型の被調整鏡に入射させる対物レンズ
と、対物レンズを経て被調整鏡で反射された光束を逆方
向に進行する逆進光束に反転させて被調整鏡に再び導く
反射手段と、反射手段で反射された後被調整鏡でさらに
反射された逆進光束が被調整鏡によって再度集光される
状態を対物レンズを介して観察可能にする観察光学系と
を備えることとしているので、被調整鏡の３次元的配置
を調整しながら逆進光束が被調整鏡によって再度集光さ
れる状態を対物レンズを介して観察することにより、被
調整鏡の精密な光軸調整が可能となる。この際、請求項
１の装置では、コリメーター装置等を特別に設ける必要
がないので、簡易な装置によって各種の非球面鏡に対し
高精度な光軸調整が可能となる。また、光源からの光が
観察光学系に達するまでに、被調整鏡において順方向と
逆方向とで２度反射されるので、被調整鏡によって生じ
る波面の変化は、コリメーター装置等を用いた光軸調整
に比較して２倍となるので、調整精度は、このようなコ
リメーター装置等を用いた場合に比べて２倍となること
が期待され、より精密な調整が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の光軸調整装置の構造を
示す斜視図である。

【図２】被調整鏡がセットされたステージ図及び側面図
である。

【図３】図１の光軸調整装置の光学系の配置を説明する
図である。

【図４】図３の光学系を通る光の光路を説明する図であ
る。

【図５】図１の光軸調整装置を用いた光軸調整を説明す
る図である。

【図６】図１の光軸調整装置を用いた光軸調整を説明す
る図である。

【図７】図１の光軸調整装置を用いた光軸調整を説明す
る図である。

【図８】第２実施形態の光軸調整装置の光学系を示す図
である。

【図９】第３実施形態の光軸調整装置の光学系を示す図
である。

【図１０】第４実施形態の光軸調整装置の光学系を示す
図である。

【図１１】従来の光軸調整方法を説明する図である。

【符号の説明】

１０ 軸外し放物面鏡 ５０ 光源部 ６０ 対物レンズ ７０ 平面鏡 ８０ 観察光学系 ８１ 撮像装置部 ８２ 光アイソレーター ８７ 結像レンズ ８８ ＣＣＤカメラ ９０ ベース ９８ 配置調整治具 １００ 検査装置 ＣＳ 集光スポット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源と、 前記光源側からの出射光を、一旦集束させた後発散さ
   せ、３次元的に調整可能に配置された非球面型の被調整
   鏡に入射させる対物レンズと、 前記対物レンズを経て前記被調整鏡で反射された光束を
   逆方向に進行する逆進光束に反転させて前記被調整鏡に
   再び導く反射手段と、 前記反射手段で反射された後前記被調整鏡でさらに反射
   された前記逆進光束が前記被調整鏡によって再度集光さ
   れる状態を前記対物レンズを介して観察可能にする観察
   光学系とを備えることを特徴とする非球面鏡用の光軸調
   整装置。
2. 【請求項２】 前記観察光学系は、撮像装置と、前記光
   源からの前記出射光を前記対物レンズに入射させるとと
   もに前記対物レンズを通過した前記逆進光束を前記撮像
   装置に入射させる分岐手段とを備えることを特徴とする
   請求項１記載の非球面鏡用の光軸調整装置。
3. 【請求項３】 前記観察光学系は、前記撮像装置に入射
   させる前記逆進光束の結像倍率を調節する倍率調整手段
   を備えることを特徴とする請求項１記載の非球面鏡用の
   光軸調整装置。
4. 【請求項４】 前記撮像装置は、固体撮像素子と、当該
   固体撮像素子からの画像信号を表示するディスプレイ装
   置とを備えることを特徴とする請求項１記載の非球面鏡
   用の光軸調整装置。
5. 【請求項５】 前記被調整鏡は、軸外し型の非球面鏡で
   あり、前記観察光学系は、前記光源側からの出射光を、
   前記対物レンズの入射瞳のうちの光軸からずれた一部領
   域に入射させることを特徴とする請求項１記載の非球面
   鏡用の光軸調整装置。