JPH0999553A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH0999553A JPH0999553A JP26141295A JP26141295A JPH0999553A JP H0999553 A JPH0999553 A JP H0999553A JP 26141295 A JP26141295 A JP 26141295A JP 26141295 A JP26141295 A JP 26141295A JP H0999553 A JPH0999553 A JP H0999553A
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- JP
- Japan
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- ink
- pressure
- pressure plate
- plate
- nozzle
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加圧板に圧電素子をガイドして位置決めする
溝を設けたインクジェットヘッドに関し、インクの飛翔
特性を改善して印字品質を高めることができるインクジ
ェットヘッドの提供を目的とする。 【解決手段】 インク６を噴射させるノズル９を有する
ノズル板12と、インク６を押し出す加圧板17と、ノズル
板12及び加圧板17を接続し、インク供給口16を有する壁
部材14と、ノズル板12、壁部材14及び加圧板17で形成さ
れ、インク供給口16からインクが供給される圧力室13
と、加圧板17を駆動させる圧電素子８とを複数組備え、
圧電素子８に電圧を印加して駆動して、圧力室13に供給
されたインクをノズル９から噴射するインクジェットヘ
ッドであって、加圧板17の片面に、複数の圧電素子８の
端部を夫々ガイドして当接し、少なくとも一方向の中心
からの位置ずれに対する拘束性を有する形状の凹部19を
形成した構成とする。
溝を設けたインクジェットヘッドに関し、インクの飛翔
特性を改善して印字品質を高めることができるインクジ
ェットヘッドの提供を目的とする。 【解決手段】 インク６を噴射させるノズル９を有する
ノズル板12と、インク６を押し出す加圧板17と、ノズル
板12及び加圧板17を接続し、インク供給口16を有する壁
部材14と、ノズル板12、壁部材14及び加圧板17で形成さ
れ、インク供給口16からインクが供給される圧力室13
と、加圧板17を駆動させる圧電素子８とを複数組備え、
圧電素子８に電圧を印加して駆動して、圧力室13に供給
されたインクをノズル９から噴射するインクジェットヘ
ッドであって、加圧板17の片面に、複数の圧電素子８の
端部を夫々ガイドして当接し、少なくとも一方向の中心
からの位置ずれに対する拘束性を有する形状の凹部19を
形成した構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタのインクジェットヘッドに係り、特に加圧板に圧
電素子をガイドして位置決めする溝を設けたインクジェ
ットヘッドに関するものである。
リンタのインクジェットヘッドに係り、特に加圧板に圧
電素子をガイドして位置決めする溝を設けたインクジェ
ットヘッドに関するものである。
【０００２】近来、印字媒体にインクの微粒子を直接吹
きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒体
に対する制限がなく、且つ高速印字ができて、低騒音で
あり、カラー化が容易であることから急速に普及しつつ
ある。
きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒体
に対する制限がなく、且つ高速印字ができて、低騒音で
あり、カラー化が容易であることから急速に普及しつつ
ある。
【０００３】このインクジェットプリンタのヘッドは、
例えば、ノズルを有するノズル板、壁部材、弾性部材及
び加圧板で形成した圧力室を複数備え、夫々の加圧板に
圧電素子を配置して、圧電素子に選択的に電圧を印加し
てその電歪による変位で、加圧板を介してインクを満た
した各圧力室に圧力を与えて、ノズルからインクを噴射
して用紙にドット印字を形成するものである。
例えば、ノズルを有するノズル板、壁部材、弾性部材及
び加圧板で形成した圧力室を複数備え、夫々の加圧板に
圧電素子を配置して、圧電素子に選択的に電圧を印加し
てその電歪による変位で、加圧板を介してインクを満た
した各圧力室に圧力を与えて、ノズルからインクを噴射
して用紙にドット印字を形成するものである。
【０００４】この場合に、夫々の加圧板に圧電素子を配
置する位置の精度が出しにくく、圧電素子の位置がずれ
ると、各加圧板による圧力室の圧力上昇に差異が出て、
噴射するインクの飛翔特性（粒量及び噴射速度）にバラ
ツキが生じて印字品質が低下するので、圧電素子の位置
のずれを防止する方法が望まれている。
置する位置の精度が出しにくく、圧電素子の位置がずれ
ると、各加圧板による圧力室の圧力上昇に差異が出て、
噴射するインクの飛翔特性（粒量及び噴射速度）にバラ
ツキが生じて印字品質が低下するので、圧電素子の位置
のずれを防止する方法が望まれている。
【０００５】
【従来の技術】図９にインクジェットプリンタの概要を
示す。図に示すように、インクジェットヘッド（以下印
字ヘッドという)1を搭載したキャリア２にガイドシャフ
ト３が嵌合し、また、プーリP1,P2 に掛けられたタイミ
ングベルト（以下ベルトという)4にキャリア２が固定さ
れ、プーリP1はモータM1に連結されている。
示す。図に示すように、インクジェットヘッド（以下印
字ヘッドという)1を搭載したキャリア２にガイドシャフ
ト３が嵌合し、また、プーリP1,P2 に掛けられたタイミ
ングベルト（以下ベルトという)4にキャリア２が固定さ
れ、プーリP1はモータM1に連結されている。
【０００６】キャリア２は板状のプラテン５の上方に配
置され、モータM1の正逆方向回転によりベルト４によっ
てプラテン５に平行に矢印Ａ、Ｂ方向に移動する。プラ
テン５の前段にモータM2に連結された送りローラＲが配
置されている。
置され、モータM1の正逆方向回転によりベルト４によっ
てプラテン５に平行に矢印Ａ、Ｂ方向に移動する。プラ
テン５の前段にモータM2に連結された送りローラＲが配
置されている。
【０００７】印字ヘッド１は、ヘッド部10及びインクタ
ンク11から成り、ヘッド部10は、プラテン５に所定の間
隙を介して対向し、先端に後述する複数のノズルを有し
ている。インクタンク11は、複数のノズルに共通し、ヘ
ッド部10に供給するインクが収容されている。
ンク11から成り、ヘッド部10は、プラテン５に所定の間
隙を介して対向し、先端に後述する複数のノズルを有し
ている。インクタンク11は、複数のノズルに共通し、ヘ
ッド部10に供給するインクが収容されている。
【０００８】従って、キャリア２が移動しながら、印字
ヘッド１はノズルからインクを噴射して印字用紙７にマ
トリックスドットによって印字を形成する。印字用紙７
は送りローラＲの回転によって矢印Ｃ方向に行送りされ
る。
ヘッド１はノズルからインクを噴射して印字用紙７にマ
トリックスドットによって印字を形成する。印字用紙７
は送りローラＲの回転によって矢印Ｃ方向に行送りされ
る。
【０００９】次にヘッド部10については、本出願人によ
り、特願平３−５１１６８５号により、壁部材の一部を
弾性部材で構成し、圧電素子の電歪によって加圧板を弾
性的に変位させて圧力室のインクの圧力を変化させてイ
ンクを噴射するインクジェットヘッドが提案されている
が、以下に概要を説明する。
り、特願平３−５１１６８５号により、壁部材の一部を
弾性部材で構成し、圧電素子の電歪によって加圧板を弾
性的に変位させて圧力室のインクの圧力を変化させてイ
ンクを噴射するインクジェットヘッドが提案されている
が、以下に概要を説明する。
【００１０】図１０及び図１１に示すように、ヘッド部
10は、圧電素子81,82,…と、ノズル91,92,…（例えば、
孔径30〜50μｍ) が夫々設けられたノズル板121,122,
…、圧力室131,132,…、インク供給口161,162,…を夫々
有する壁部材141,142,…、シリコーンゴムで形成された
弾性部材151,152,…及びガラス板で形成された加圧板17
1,172,…で構成されている。
10は、圧電素子81,82,…と、ノズル91,92,…（例えば、
孔径30〜50μｍ) が夫々設けられたノズル板121,122,
…、圧力室131,132,…、インク供給口161,162,…を夫々
有する壁部材141,142,…、シリコーンゴムで形成された
弾性部材151,152,…及びガラス板で形成された加圧板17
1,172,…で構成されている。
【００１１】圧電素子81,82,…は、個々には矩形板状
で、複数の矩形板状の部分と連結された部分で櫛歯状に
一体に形成され、矩形板状の部分の一端面が加圧板171,
172,…の外側に接着され、両面に電極18a1,18a2,…、18
b1,18b2,…（例えば、電極18a1,18a2 は個別電極、電極
18b1,18b2,…は共通電極とする) が設けられている。
で、複数の矩形板状の部分と連結された部分で櫛歯状に
一体に形成され、矩形板状の部分の一端面が加圧板171,
172,…の外側に接着され、両面に電極18a1,18a2,…、18
b1,18b2,…（例えば、電極18a1,18a2 は個別電極、電極
18b1,18b2,…は共通電極とする) が設けられている。
【００１２】また、ノズル板121,122,…に壁部材141,14
2,…が接合され、壁部材141,142,…の他面は弾性部材15
1,152,…を介して加圧板171,172,…に接合し、これらに
囲まれた空間部により圧力室131,132,…が形成されてい
る。インク供給口161,162,…は、前記のインクタンク11
に接続されている。
2,…が接合され、壁部材141,142,…の他面は弾性部材15
1,152,…を介して加圧板171,172,…に接合し、これらに
囲まれた空間部により圧力室131,132,…が形成されてい
る。インク供給口161,162,…は、前記のインクタンク11
に接続されている。
【００１３】ノズル板121,122,…、壁部材141,142,…及
び加圧板171,172,…は、夫々が一体に形成されて、ノズ
ル板121,122,…と壁部材141,142,…は静電接合 (或いは
拡散接合) 或いは接着剤等によって接合されている。
び加圧板171,172,…は、夫々が一体に形成されて、ノズ
ル板121,122,…と壁部材141,142,…は静電接合 (或いは
拡散接合) 或いは接着剤等によって接合されている。
【００１４】また、弾性部材151,152,…は、加圧板171,
172,…上にスクリーン印刷等の方法によって液状の弾性
部材が塗布され、上記のノズル板121,122,…を結合した
壁部材141,142,…の他面とで弾性部材を挟んで、加熱硬
化させて形成される。
172,…上にスクリーン印刷等の方法によって液状の弾性
部材が塗布され、上記のノズル板121,122,…を結合した
壁部材141,142,…の他面とで弾性部材を挟んで、加熱硬
化させて形成される。
【００１５】弾性部材151,152,…を形成する理由は、圧
電素子81,82,…の電歪によって圧力室131,132,…を変形
させてインク6aに圧力を与えた時に、壁部材141,142,…
が外側に膨れるように変形して、圧力がインク6aに効率
良く加えられないので、これを改善するために、弾性部
材151,152,…の弾力を利用したものである。
電素子81,82,…の電歪によって圧力室131,132,…を変形
させてインク6aに圧力を与えた時に、壁部材141,142,…
が外側に膨れるように変形して、圧力がインク6aに効率
良く加えられないので、これを改善するために、弾性部
材151,152,…の弾力を利用したものである。
【００１６】従って、圧電素子81,82,…の電極18a1,18a
2,…、18b1,18b2,…に選択的に電圧を印加して、圧電素
子81,82,…の電気歪みの変位量により対応する加圧板17
1,17 2,…を振動させることによって、圧力室131,132,…
に圧力を加えて、インク供給口161,162,…から供給され
たインク6aが上記のようにノズル91,92,…から噴射す
る。
2,…、18b1,18b2,…に選択的に電圧を印加して、圧電素
子81,82,…の電気歪みの変位量により対応する加圧板17
1,17 2,…を振動させることによって、圧力室131,132,…
に圧力を加えて、インク供給口161,162,…から供給され
たインク6aが上記のようにノズル91,92,…から噴射す
る。
【００１７】なお、加圧板171,172,…と壁部材141,142,
…、或いはノズル板121,122,…と壁部材141,142,…を一
体として、例えば電鋳法で形成したヘッド部もある。ま
た、ステンレス鋼板或いは感光ガラスをエッチングして
形成したノズル板、壁部材及び加圧板を使用したヘッド
部もある。
…、或いはノズル板121,122,…と壁部材141,142,…を一
体として、例えば電鋳法で形成したヘッド部もある。ま
た、ステンレス鋼板或いは感光ガラスをエッチングして
形成したノズル板、壁部材及び加圧板を使用したヘッド
部もある。
【００１８】図１２(a) に示すように、圧電素子81,82,
…は櫛歯状に形成されており、形成方法は、圧電体ブロ
ックBLにダイシングソウで所定位置までスリットを入
れ、次に各圧電素子81,82,…に電極18a1,18a2,…、18
b1,18b2,…を形成するために無電解メッキ（Ｎｉ−Ａｕ
等）を施して、櫛歯の根元でメッキ層を切断して絶縁切
りを行う。なお、櫛歯の端面は予め研磨（Raで 500Å程
度) しておくことでメッキが付着しない。
…は櫛歯状に形成されており、形成方法は、圧電体ブロ
ックBLにダイシングソウで所定位置までスリットを入
れ、次に各圧電素子81,82,…に電極18a1,18a2,…、18
b1,18b2,…を形成するために無電解メッキ（Ｎｉ−Ａｕ
等）を施して、櫛歯の根元でメッキ層を切断して絶縁切
りを行う。なお、櫛歯の端面は予め研磨（Raで 500Å程
度) しておくことでメッキが付着しない。
【００１９】次いで、ヘッド部10に必要な、縦に並んだ
圧電素子81,82,…の列数に対応する幅にブロック状に切
り出して圧電素子部Baを形成する。図１２(b) に２列
（図においてＡ列及びＢ列）をブロックとした場合を示
している。
圧電素子81,82,…の列数に対応する幅にブロック状に切
り出して圧電素子部Baを形成する。図１２(b) に２列
（図においてＡ列及びＢ列）をブロックとした場合を示
している。
【００２０】この圧電素子部Baの各圧電素子81,82,…を
各加圧板171,172,…に位置決めして接着することによ
り、前記のようなヘッド部10が形成される。
各加圧板171,172,…に位置決めして接着することによ
り、前記のようなヘッド部10が形成される。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】上記従来方法によれ
ば、圧電体ブロックにダイシングソウによりスリットを
入れて櫛形状に圧電素子を形成しており、櫛形状のため
に圧電素子の先端と加圧板との接触面積が小さく、大き
な圧力を発生させるのが困難である。しかも、スリット
加工による各圧電素子の先端間のピッチに誤差を生じ、
そのまま夫々対応する加圧板に当接して接合しているの
で、接合位置のずれが避けられず、圧電素子の駆動によ
る圧力室の変位体積量（圧力変化効率）にバラツキが生
じて、各ノズルのインクの飛翔特性（粒量及び噴射速
度）に相違が出て印字品質が損なわれる。従って、最も
効率の良い圧力室の中心に対応する位置に圧電素子が当
接する必要がある。という問題点がある。
ば、圧電体ブロックにダイシングソウによりスリットを
入れて櫛形状に圧電素子を形成しており、櫛形状のため
に圧電素子の先端と加圧板との接触面積が小さく、大き
な圧力を発生させるのが困難である。しかも、スリット
加工による各圧電素子の先端間のピッチに誤差を生じ、
そのまま夫々対応する加圧板に当接して接合しているの
で、接合位置のずれが避けられず、圧電素子の駆動によ
る圧力室の変位体積量（圧力変化効率）にバラツキが生
じて、各ノズルのインクの飛翔特性（粒量及び噴射速
度）に相違が出て印字品質が損なわれる。従って、最も
効率の良い圧力室の中心に対応する位置に圧電素子が当
接する必要がある。という問題点がある。
【００２２】本発明は、圧電素子の先端の位置及びピッ
チのバラツキを修正して加圧板に接合することにより、
インクの飛翔特性を改善することができ、印字品質を高
めることができるインクジェットヘッドを提供すること
を目的としている。
チのバラツキを修正して加圧板に接合することにより、
インクの飛翔特性を改善することができ、印字品質を高
めることができるインクジェットヘッドを提供すること
を目的としている。
【００２３】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図１において、６はインク、８は圧電素子、
9 はノズル、16はインク供給口、12はインク６を噴射さ
せるノズル９を有するノズル板、17は片面の中心に凹部
19が形成され、インク６を押し出す加圧板、19は加圧板
14に設けられ、圧電素子８の端部がガイドされて当接
し、少なくとも一方向の中心からの位置ずれに対する拘
束性を有する形状に形成された凹部、14はノズル板12及
び加圧板17を接続し、インク供給口16を有する壁部材、
13はノズル板12、壁部材14及び加圧板17で形成され、イ
ンク供給口16からインクが供給される圧力室である。
図である。図１において、６はインク、８は圧電素子、
9 はノズル、16はインク供給口、12はインク６を噴射さ
せるノズル９を有するノズル板、17は片面の中心に凹部
19が形成され、インク６を押し出す加圧板、19は加圧板
14に設けられ、圧電素子８の端部がガイドされて当接
し、少なくとも一方向の中心からの位置ずれに対する拘
束性を有する形状に形成された凹部、14はノズル板12及
び加圧板17を接続し、インク供給口16を有する壁部材、
13はノズル板12、壁部材14及び加圧板17で形成され、イ
ンク供給口16からインクが供給される圧力室である。
【００２４】圧力室13及び圧電素子８を複数組備え、圧
電素子８に選択的に電圧を印加することによって加圧板
17を駆動させて、圧力室13に圧力変化を与えて、圧力室
13に供給されたインク６をノズル９から噴射するように
構成されている。
電素子８に選択的に電圧を印加することによって加圧板
17を駆動させて、圧力室13に圧力変化を与えて、圧力室
13に供給されたインク６をノズル９から噴射するように
構成されている。
【００２５】従って、加圧板17の中心位置に設けられた
凹部19によって圧電素子８の端部がガイドされるので、
複数の圧電素子８の端部間のピッチのずれが修正されて
凹部19に当接し、加圧板17への位置決めが容易となり、
圧力室13の圧力変化のバラツキをなくして均一化するこ
とができ、飛翔特性が改善して印字品質を高めることが
できる。
凹部19によって圧電素子８の端部がガイドされるので、
複数の圧電素子８の端部間のピッチのずれが修正されて
凹部19に当接し、加圧板17への位置決めが容易となり、
圧力室13の圧力変化のバラツキをなくして均一化するこ
とができ、飛翔特性が改善して印字品質を高めることが
できる。
【００２６】請求項２：壁部材14は、少なくとも一部が
弾性部材で形成される構成とする。従って、圧電素子８
による加圧板17の駆動で壁部材14の外側方向への変形が
防止され、圧力室13の圧力変化の効率を高めることがで
きる。
弾性部材で形成される構成とする。従って、圧電素子８
による加圧板17の駆動で壁部材14の外側方向への変形が
防止され、圧力室13の圧力変化の効率を高めることがで
きる。
【００２７】請求項３：凹部19の開口部が底面より広が
っている構成とする。従って、開口部の広がりによって
圧電素子８の端部がガイドされて凹部19の底面に当接
し、容易に位置決めすることができる。
っている構成とする。従って、開口部の広がりによって
圧電素子８の端部がガイドされて凹部19の底面に当接
し、容易に位置決めすることができる。
【００２８】請求項４：凹部19は、底面が形成された薄
い部分が他の部分よりヤング率が高い構成とする。従っ
て、薄い部分でも剛性が高いので、効率良く圧力室13に
圧力の伝達を行うことができる。
い部分が他の部分よりヤング率が高い構成とする。従っ
て、薄い部分でも剛性が高いので、効率良く圧力室13に
圧力の伝達を行うことができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、図２〜図８により本発明の
実施例及び異なる実施例を説明する。全図を通じて同一
符号は同一対象物を示す。
実施例及び異なる実施例を説明する。全図を通じて同一
符号は同一対象物を示す。
【００３０】図２は本発明の実施例を示す構成図、図３
及び図４は加圧板の凹部を示す説明図、図５は圧電素子
部を説明する斜視図、図６は凹部の作成方法を示す説明
図、図７は加圧板と圧電素子の接合を示す説明図であ
る。
及び図４は加圧板の凹部を示す説明図、図５は圧電素子
部を説明する斜視図、図６は凹部の作成方法を示す説明
図、図７は加圧板と圧電素子の接合を示す説明図であ
る。
【００３１】図２(a) 及び(b) に示すように、ヘッド部
10ａにおいて、加圧板17a1,17a2,…には、夫々の中心位
置（即ち、圧力室131,132,…の中心位置に対応する) に
凹部191,192,…が形成され、圧電素子部Baの櫛形状の圧
電素子81,82,…の先端が接合されている。
10ａにおいて、加圧板17a1,17a2,…には、夫々の中心位
置（即ち、圧力室131,132,…の中心位置に対応する) に
凹部191,192,…が形成され、圧電素子部Baの櫛形状の圧
電素子81,82,…の先端が接合されている。
【００３２】図３(a) 及び(b) に示すように、凹部191,
192,…は、開口部21が底面20より広がった形状に斜面22
が形成され、圧電素子81,82,…の先端が凹部191,192,…
の斜面22にガイドされて底面20に当接し、図４(a) に示
すように、前後左右の位置ずれに対する拘束性を有する
ように、四辺形の窪みに形成されている。なお、図４
(b) に一方向だけの位置ずれに対して拘束性を有する、
縦方向の溝とした凹部19a1,19a2,…を形成した場合を示
している。
192,…は、開口部21が底面20より広がった形状に斜面22
が形成され、圧電素子81,82,…の先端が凹部191,192,…
の斜面22にガイドされて底面20に当接し、図４(a) に示
すように、前後左右の位置ずれに対する拘束性を有する
ように、四辺形の窪みに形成されている。なお、図４
(b) に一方向だけの位置ずれに対して拘束性を有する、
縦方向の溝とした凹部19a1,19a2,…を形成した場合を示
している。
【００３３】図５に示すように、圧電素子部Baは、例え
ば、２列（図２に示した圧電素子部Baは４列の場合）の
圧電素子部Baの場合の寸法を示し、長さＬ1 ６×幅Ｗ1
３.2×高さＨ1 ５ｍｍ、圧電素子81,82,…の寸法：幅Ｗ
2 ０.1×長さＬ21.325×高さＨ2 ３ｍｍ、ピッチＰ０.2
82ｍｍに形成されている。また、サイド部の厚さＴは0.
512ｍｍ、Ａ列とＢ列の間隔Ｇは0.55ｍｍに設定してい
る。
ば、２列（図２に示した圧電素子部Baは４列の場合）の
圧電素子部Baの場合の寸法を示し、長さＬ1 ６×幅Ｗ1
３.2×高さＨ1 ５ｍｍ、圧電素子81,82,…の寸法：幅Ｗ
2 ０.1×長さＬ21.325×高さＨ2 ３ｍｍ、ピッチＰ０.2
82ｍｍに形成されている。また、サイド部の厚さＴは0.
512ｍｍ、Ａ列とＢ列の間隔Ｇは0.55ｍｍに設定してい
る。
【００３４】次に、図６により、加圧板17a1,17a2,…の
凹部191,192,…の形成方法を説明する。 まず、ガラス板170(複数の加圧板17a1,17a2,…に対応
して一体に形成され、例えば、厚さ０.1ｍｍのガラス基
板) の片面にシリコーンゴム (弾性部材151,15 2,…とな
る)171をスクリーン印刷法により塗布（例えば、厚さ50
μｍ）する。
凹部191,192,…の形成方法を説明する。 まず、ガラス板170(複数の加圧板17a1,17a2,…に対応
して一体に形成され、例えば、厚さ０.1ｍｍのガラス基
板) の片面にシリコーンゴム (弾性部材151,15 2,…とな
る)171をスクリーン印刷法により塗布（例えば、厚さ50
μｍ）する。
【００３５】次に、ノズル板121,122,…に一端を接着
した壁部材141,142,…の他端面に、シリコーンゴム171
を塗布したガラス板170 のシリコーンゴム171 側を貼り
付け、120 ℃、60分でシリコーンゴム171 を硬化し、図
６(a) に示すように、壁部材141,142,…にシリコーンゴ
ム171 及びガラス板170 を積層接着する。
した壁部材141,142,…の他端面に、シリコーンゴム171
を塗布したガラス板170 のシリコーンゴム171 側を貼り
付け、120 ℃、60分でシリコーンゴム171 を硬化し、図
６(a) に示すように、壁部材141,142,…にシリコーンゴ
ム171 及びガラス板170 を積層接着する。
【００３６】接着したガラス板170 の面にポジフォト
レジストをスピナー回転により塗布(例えば、膜厚１μ
ｍ）し、フォトファブリケーション(Photo Fabricatio
n) によりレジストパターンを作成し、ガラス板170 を
エッチング液 (例えば、フッ酸) によって浸食させてハ
ーフエッチングし、凹部191,192,…を形成する。この場
合、図６(b) に示すように、等方性エッチングでも45°
のパターン周辺に開口部21が広がった（例えば、Ｗ4 約
0.21ｍｍ）斜面22が形成される。（例えば、深さＨ3 0.
03ｍｍ、底面20の幅Ｗ3 0.15ｍｍ：加圧板17a1,17a2,…
の幅0.19ｍｍから、エッチング精度とピッチのバラツキ
から底面20の幅を設定した。) ダイサーで圧力室131,132,…に対応する大きさに分離
カットして、図６(c)に示すように、加圧板17a1,17a2,
…を形成する。
レジストをスピナー回転により塗布(例えば、膜厚１μ
ｍ）し、フォトファブリケーション(Photo Fabricatio
n) によりレジストパターンを作成し、ガラス板170 を
エッチング液 (例えば、フッ酸) によって浸食させてハ
ーフエッチングし、凹部191,192,…を形成する。この場
合、図６(b) に示すように、等方性エッチングでも45°
のパターン周辺に開口部21が広がった（例えば、Ｗ4 約
0.21ｍｍ）斜面22が形成される。（例えば、深さＨ3 0.
03ｍｍ、底面20の幅Ｗ3 0.15ｍｍ：加圧板17a1,17a2,…
の幅0.19ｍｍから、エッチング精度とピッチのバラツキ
から底面20の幅を設定した。) ダイサーで圧力室131,132,…に対応する大きさに分離
カットして、図６(c)に示すように、加圧板17a1,17a2,
…を形成する。
【００３７】このように形成した加圧板17a1,17a2,…の
凹部191,192,…に紫外線硬化性接着剤 (商品名ロックタ
イト363:ロックタイト社製) を塗布し、図７に示すよう
に、凹部191,192,…に圧電素子81,82,…の先端を当てが
うと、先端が開口部21から斜面22にガイドされて底面20
に位置決めされ、紫外線の照射（15ｍｊ／ｃｍ、90S)に
よって硬化して接着する。
凹部191,192,…に紫外線硬化性接着剤 (商品名ロックタ
イト363:ロックタイト社製) を塗布し、図７に示すよう
に、凹部191,192,…に圧電素子81,82,…の先端を当てが
うと、先端が開口部21から斜面22にガイドされて底面20
に位置決めされ、紫外線の照射（15ｍｊ／ｃｍ、90S)に
よって硬化して接着する。
【００３８】図８に異なる実施例を示す。異なる実施例
が上記実施例と異なるのは、ガラス板に凹部を形成する
方法に代えて、ガラス板に貼ったドライフィルムに凹部
を形成する方法としたことである。
が上記実施例と異なるのは、ガラス板に凹部を形成する
方法に代えて、ガラス板に貼ったドライフィルムに凹部
を形成する方法としたことである。
【００３９】即ち、図８に示すように、ヘッド部10ｂに
おいて、加圧板17b1,17b2,…には、圧電素子部Baの櫛形
状の圧電素子81,82,…の先端に対応する接合位置に、夫
々凹部19b1,19b2,…が形成されている。凹部19b1,19b2,
…は、上記実施例の凹部191,192,…と同形状に形成され
ている。
おいて、加圧板17b1,17b2,…には、圧電素子部Baの櫛形
状の圧電素子81,82,…の先端に対応する接合位置に、夫
々凹部19b1,19b2,…が形成されている。凹部19b1,19b2,
…は、上記実施例の凹部191,192,…と同形状に形成され
ている。
【００４０】凹部19b1,19b2,…の形成方法は、前記実施
例の図６(a) で積層したガラス板170 の面に、有機樹脂
材で形成されたドライフィルム172 をラミネートし、ド
ライフィルム172 の面に、実施例と同様にフォトレジス
トを塗布する。
例の図６(a) で積層したガラス板170 の面に、有機樹脂
材で形成されたドライフィルム172 をラミネートし、ド
ライフィルム172 の面に、実施例と同様にフォトレジス
トを塗布する。
【００４１】次いで、フォトファブリケーションにより
レジストパターンを作成し、ドライフィルム172 をドラ
イフィルム現像液によってハーフエッチングして、凹部
19b1,19b2,…を形成する。更に、底面20だけをキュア
（６０℃に加熱）して硬化させる。従って、他の部分よ
り底面20のヤング率が高くなり、圧電素子81,82,…の駆
動により効率良く圧力室131,132,…へ圧力を伝達するこ
とができる。
レジストパターンを作成し、ドライフィルム172 をドラ
イフィルム現像液によってハーフエッチングして、凹部
19b1,19b2,…を形成する。更に、底面20だけをキュア
（６０℃に加熱）して硬化させる。従って、他の部分よ
り底面20のヤング率が高くなり、圧電素子81,82,…の駆
動により効率良く圧力室131,132,…へ圧力を伝達するこ
とができる。
【００４２】このようにして、位置決めした圧電素子
81,82,…の圧力室131,132,…に対する位置ずれを調査し
た結果、著しく位置ずれが減少していることが確認さ
れ、圧力変化の効率が向上し、且つ、すべてのノズル
91,92,…からインク6aが均一に噴射するヘッド部10a,10
b が得られた。従って、インクの飛翔特性を改善するこ
とができて、印字品質を高めることができる。
81,82,…の圧力室131,132,…に対する位置ずれを調査し
た結果、著しく位置ずれが減少していることが確認さ
れ、圧力変化の効率が向上し、且つ、すべてのノズル
91,92,…からインク6aが均一に噴射するヘッド部10a,10
b が得られた。従って、インクの飛翔特性を改善するこ
とができて、印字品質を高めることができる。
【００４３】上記実施例では、紫外線硬化性の接着剤を
使用した場合を説明したが、他の接着剤、例えば、エボ
キシ系の接着剤を使用しても良い。また、上記例では、
ガラス板170 或いはドライフィルム172 を使用してエッ
チングにより凹部191,192,…或いは凹部19b1,19b2,…を
形成した場合を説明したが、樹脂材等の射出成型によっ
て加圧板と一緒に凹部パターンを形成する方法としても
良い。
使用した場合を説明したが、他の接着剤、例えば、エボ
キシ系の接着剤を使用しても良い。また、上記例では、
ガラス板170 或いはドライフィルム172 を使用してエッ
チングにより凹部191,192,…或いは凹部19b1,19b2,…を
形成した場合を説明したが、樹脂材等の射出成型によっ
て加圧板と一緒に凹部パターンを形成する方法としても
良い。
【００４４】更に、上記例では、壁部材141,142,…と加
圧板17a1,17a2,…或いは加圧板17b1,17b2,…の間に弾性
部材151,152,…を配置したゴム171 でガラス板170 を接
合したヘッド部10a,10b の場合を説明したが、弾性部材
151,152,…を用いないヘッドの場合にも同様に適用する
ことができる。この場合には、壁部材141,142,…にガラ
ス板170 を接着剤で接着する。
圧板17a1,17a2,…或いは加圧板17b1,17b2,…の間に弾性
部材151,152,…を配置したゴム171 でガラス板170 を接
合したヘッド部10a,10b の場合を説明したが、弾性部材
151,152,…を用いないヘッドの場合にも同様に適用する
ことができる。この場合には、壁部材141,142,…にガラ
ス板170 を接着剤で接着する。
【００４５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、加
圧板の凹部によって圧電素子の端部がガイドされて、複
数の圧電素子の端部間のピッチのずれが修正されて凹部
に当接し、加圧板への位置決めが容易となり、圧力室の
圧力変化のバラツキをなくして噴射インクの飛翔特性が
改善されて印字品質を高めることができるという効果が
ある。
圧板の凹部によって圧電素子の端部がガイドされて、複
数の圧電素子の端部間のピッチのずれが修正されて凹部
に当接し、加圧板への位置決めが容易となり、圧力室の
圧力変化のバラツキをなくして噴射インクの飛翔特性が
改善されて印字品質を高めることができるという効果が
ある。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 本発明の実施例を示す構成図
【図３】 加圧板の凹部を示す説明図（その１）
【図４】 加圧板の凹部を示す説明図（その２）
【図５】 圧電素子部を説明する斜視図
【図６】 凹部の作成方法を示す説明図
【図７】 加圧板と圧電素子の接合を示す説明図
【図８】 本発明の異なる実施例を示す構成図
【図９】 インクジェットプリンタの概要を示す斜視図
【図１０】 ヘッド部の一部を破断して示す斜視図
【図１１】 ヘッド部を例示する構成図
【図１２】 櫛歯状圧電素子の形成方法の説明図
６,6a はインク、 ８,81,82は圧電素子、 ９,91,
92はノズル、12,121,122はノズル板、13,131,132は圧力
室、 14,141,142は壁部材、16,161,162はインク供給
口、17,171,172,17a1,17a2,17b1,17b2は加圧板、19,1
91,192,19a1,19a2,19b1,19b2は凹部、 20は底面、
21は開口部、 22は斜面
92はノズル、12,121,122はノズル板、13,131,132は圧力
室、 14,141,142は壁部材、16,161,162はインク供給
口、17,171,172,17a1,17a2,17b1,17b2は加圧板、19,1
91,192,19a1,19a2,19b1,19b2は凹部、 20は底面、
21は開口部、 22は斜面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三田 剛 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 児玉 淳 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 インクの粒子を噴射させるノズルを有す
るノズル板と、 インクを押し出す加圧板と、 ノズル板及び加圧板を接続し、インク供給口を有する壁
部材と、 ノズル板、壁部材及び加圧板で形成され、インク供給口
からインクが供給される圧力室と、 該加圧板を駆動させる圧電素子とを複数組備え、 該圧電素子に電圧を印加することによって駆動させて、
該圧力室に供給されたインクを該ノズルから噴射するイ
ンクジェットヘッドであって、 前記加圧板の片面に、前記複数の圧電素子の端部を夫々
ガイドして当接し、少なくとも一方向の中心からの位置
ずれに対する拘束性を有する形状の凹部を形成したこと
を特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記壁部材は、少なくとも一部が弾性部
材で形成されることを特徴とする請求項１のインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項３】 前記凹部の開口部が底面より広がってい
ることを特徴とする請求項１のインクジェットヘッド。 - 【請求項４】 前記凹部は、底面が形成された薄い部分
が他の部分よりヤング率が高いことを特徴とする請求項
１或いは請求項２のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26141295A JPH0999553A (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26141295A JPH0999553A (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0999553A true JPH0999553A (ja) | 1997-04-15 |
Family
ID=17361516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26141295A Withdrawn JPH0999553A (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0999553A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9713643B2 (en) | 2002-10-25 | 2017-07-25 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable carriers |
| US9795564B2 (en) | 2007-12-07 | 2017-10-24 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Oil-based foamable carriers and formulations |
| US9849142B2 (en) | 2009-10-02 | 2017-12-26 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Methods for accelerated return of skin integrity and for the treatment of impetigo |
| US9884017B2 (en) | 2009-04-28 | 2018-02-06 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable vehicles and pharmaceutical compositions comprising aprotic polar solvents and uses thereof |
| US10029013B2 (en) | 2009-10-02 | 2018-07-24 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Surfactant-free, water-free formable composition and breakable foams and their uses |
| US10092588B2 (en) | 2009-07-29 | 2018-10-09 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable compositions, breakable foams and their uses |
| US10117812B2 (en) | 2002-10-25 | 2018-11-06 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable composition combining a polar solvent and a hydrophobic carrier |
| US10322085B2 (en) | 2002-10-25 | 2019-06-18 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Dicarboxylic acid foamable vehicle and pharmaceutical compositions thereof |
| US10350166B2 (en) | 2009-07-29 | 2019-07-16 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Non surface active agent non polymeric agent hydro-alcoholic foamable compositions, breakable foams and their uses |
| US10369102B2 (en) | 2007-08-07 | 2019-08-06 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Wax foamable vehicle and pharmaceutical compositions thereof |
| US10398641B2 (en) | 2016-09-08 | 2019-09-03 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Compositions and methods for treating rosacea and acne |
| US10821077B2 (en) | 2002-10-25 | 2020-11-03 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Dicarboxylic acid foamable vehicle and pharmaceutical compositions thereof |
-
1995
- 1995-10-09 JP JP26141295A patent/JPH0999553A/ja not_active Withdrawn
Cited By (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US11103454B2 (en) | 2007-08-07 | 2021-08-31 | Vyne Therapeutics Inc. | Wax foamable vehicle and pharmaceutical compositions thereof |
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| US11433025B2 (en) | 2007-12-07 | 2022-09-06 | Vyne Therapeutics Inc. | Oil foamable carriers and formulations |
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| US10213384B2 (en) | 2009-04-28 | 2019-02-26 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable vehicles and pharmaceutical compositions comprising aprotic polar solvents and uses thereof |
| US10363216B2 (en) | 2009-04-28 | 2019-07-30 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable vehicles and pharmaceutical compositions comprising aprotic polar solvents and uses thereof |
| US9884017B2 (en) | 2009-04-28 | 2018-02-06 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Foamable vehicles and pharmaceutical compositions comprising aprotic polar solvents and uses thereof |
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| US11219631B2 (en) | 2009-07-29 | 2022-01-11 | Vyne Pharmaceuticals Inc. | Foamable compositions, breakable foams and their uses |
| US10350166B2 (en) | 2009-07-29 | 2019-07-16 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Non surface active agent non polymeric agent hydro-alcoholic foamable compositions, breakable foams and their uses |
| US10137200B2 (en) | 2009-10-02 | 2018-11-27 | Foamix Pharmaceuticals Ltd. | Surfactant-free water-free foamable compositions, breakable foams and gels and their uses |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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