JPH0996842A - 導波路入出力装置 - Google Patents
導波路入出力装置Info
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- JPH0996842A JPH0996842A JP7252616A JP25261695A JPH0996842A JP H0996842 A JPH0996842 A JP H0996842A JP 7252616 A JP7252616 A JP 7252616A JP 25261695 A JP25261695 A JP 25261695A JP H0996842 A JPH0996842 A JP H0996842A
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
- G02F1/335—Acousto-optical deflection devices having an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/34—Optical coupling means utilising prism or grating
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/30—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 grating
- G02F2201/302—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 grating grating coupler
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- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 導波路型の音響光学偏向素子に用いる導波路
入出力装置において、装置出射光の強度分布が、導波光
の進行方向及びこの進行方向に対して垂直な方向に正確
にガウス分布となる導波路入出力装置を提供することに
ある。 【解決手段】 導波路入出力装置は、薄膜導波路２上に
入射用グレーティング７と出射用グレーティングが設け
られている。入射用グレーティング７の高さは導波光の
進行方向に一定で、表面弾性波の進行方向に、すなわち
導波光の進行方向に対して垂直な方向に漸次高くなって
いる。出射用グレーティングの高さは導波光の進行方向
に漸次高くなっており、導波光の進行方向に対して垂直
な方向に一定になっている。
入出力装置において、装置出射光の強度分布が、導波光
の進行方向及びこの進行方向に対して垂直な方向に正確
にガウス分布となる導波路入出力装置を提供することに
ある。 【解決手段】 導波路入出力装置は、薄膜導波路２上に
入射用グレーティング７と出射用グレーティングが設け
られている。入射用グレーティング７の高さは導波光の
進行方向に一定で、表面弾性波の進行方向に、すなわち
導波光の進行方向に対して垂直な方向に漸次高くなって
いる。出射用グレーティングの高さは導波光の進行方向
に漸次高くなっており、導波光の進行方向に対して垂直
な方向に一定になっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導波路入出力装
置、特に、光コンピュータの光スイッチや光変調器、光
通信の光スイッチや光分波器や光変調器、レーザビーム
プリンタ・複写機・スキャナ等の光偏向器や光変調器等
の導波路入出力装置に関する。
置、特に、光コンピュータの光スイッチや光変調器、光
通信の光スイッチや光分波器や光変調器、レーザビーム
プリンタ・複写機・スキャナ等の光偏向器や光変調器等
の導波路入出力装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、薄膜導波路を進行する光（以
下、導波光という）は薄膜導波路を伝搬する表面弾性波
と音響光学相互作用（フラッグ回折）することによって
偏向させられるという周知の技術を利用する導波路型の
音響光学偏向素子に用いる導波路入出力装置が種々提案
されている。
下、導波光という）は薄膜導波路を伝搬する表面弾性波
と音響光学相互作用（フラッグ回折）することによって
偏向させられるという周知の技術を利用する導波路型の
音響光学偏向素子に用いる導波路入出力装置が種々提案
されている。
【０００３】ところで、導波路入出力装置においては、
装置から出射される光の強度分布がガウス分布であるこ
とが要求される。ガウス分布でなければ、後の集束光学
系で光を微小スポットに絞れず、集光特性が悪くなるか
らである。この対策として、例えば特開昭６０−１１１
２２０号公報に記載されているように、出射用グレーテ
ィングの高さを導波光の進行方向に漸次高くしたり、あ
るいは、特開平１−１７８９１８号公報に記載されてい
るように、くし形電極対を導波光の幅方向略中央位置に
配設するものが提案されている。
装置から出射される光の強度分布がガウス分布であるこ
とが要求される。ガウス分布でなければ、後の集束光学
系で光を微小スポットに絞れず、集光特性が悪くなるか
らである。この対策として、例えば特開昭６０−１１１
２２０号公報に記載されているように、出射用グレーテ
ィングの高さを導波光の進行方向に漸次高くしたり、あ
るいは、特開平１−１７８９１８号公報に記載されてい
るように、くし形電極対を導波光の幅方向略中央位置に
配設するものが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
６０−１１１２２０号公報に記載された導波路入出力装
置にあっては、導波光が進行する方向（以下、導波方向
とする）の装置出射光の強度分布はガウス分布となる
が、表面弾性波の伝搬方向の、すなわち導波方向に対し
て垂直な方向の装置出射光の強度分布についてはガウス
分布になっておらず、良好な集光特性が得られない。な
ぜなら、導波路型の音響光学偏向素子用の導波路入出力
装置の場合、表面弾性波の伝搬損失があるので、垂直な
方向についてもガウス分布であることが要求されるから
である。同様に、特開平１−１７８９１８号公報に記載
されたものについても、導波方向に対して垂直な方向の
装置出射光の強度分布は正確にガウス分布にならない。
６０−１１１２２０号公報に記載された導波路入出力装
置にあっては、導波光が進行する方向（以下、導波方向
とする）の装置出射光の強度分布はガウス分布となる
が、表面弾性波の伝搬方向の、すなわち導波方向に対し
て垂直な方向の装置出射光の強度分布についてはガウス
分布になっておらず、良好な集光特性が得られない。な
ぜなら、導波路型の音響光学偏向素子用の導波路入出力
装置の場合、表面弾性波の伝搬損失があるので、垂直な
方向についてもガウス分布であることが要求されるから
である。同様に、特開平１−１７８９１８号公報に記載
されたものについても、導波方向に対して垂直な方向の
装置出射光の強度分布は正確にガウス分布にならない。
【０００５】そこで、本発明の目的は、導波路型の音響
光学偏向素子において、装置出射光の強度分布が、導波
光の進行方向及び表面弾性波の伝搬方向に正確にガウス
分布となる導波路入出力装置を提供することにある。
光学偏向素子において、装置出射光の強度分布が、導波
光の進行方向及び表面弾性波の伝搬方向に正確にガウス
分布となる導波路入出力装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明に係る導波路型の音響光学偏向素子用の導波
路入出力装置は、出射用グレーティングの高さを、薄膜
導波路を進行する光の進行方向に漸次高くし、かつ、出
射用グレーティングの高さ又は入射用グレーティングの
高さのいずれか一方を、表面弾性波の伝搬方向に漸次高
くしたことを特徴とする。
め、本発明に係る導波路型の音響光学偏向素子用の導波
路入出力装置は、出射用グレーティングの高さを、薄膜
導波路を進行する光の進行方向に漸次高くし、かつ、出
射用グレーティングの高さ又は入射用グレーティングの
高さのいずれか一方を、表面弾性波の伝搬方向に漸次高
くしたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】以上の構成により、装置出射光の強度分布は導
波光の進行方向及び表面弾性波の伝搬方向に正確にガウ
ス分布となる。
波光の進行方向及び表面弾性波の伝搬方向に正確にガウ
ス分布となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る導波路入出力
装置の一実施形態について添付図面を参照して説明す
る。図１に示すように、導波路入出力装置は、概略、基
板１と、この基板１上に形成された薄膜導波路２と、ト
ランスジューサ３と信号発生手段４と、入射用グレーテ
ィング７及び出射用グレーティング８とで構成されてい
る。
装置の一実施形態について添付図面を参照して説明す
る。図１に示すように、導波路入出力装置は、概略、基
板１と、この基板１上に形成された薄膜導波路２と、ト
ランスジューサ３と信号発生手段４と、入射用グレーテ
ィング７及び出射用グレーティング８とで構成されてい
る。
【０００９】薄膜導波路２は、圧電性材料からなり、例
えばＺｎＯ，ＬｉＮｂＯ3等が用いられる。薄膜導波路
２は、基板１上にレーザアブレーション法、スパッタリ
ング法、ＣＶＤ法等の手段で形成される。トランスジュ
ーサ３は、薄膜導波路２の中央部手前寄りに配置され、
インターデジタルトランスジューサが用いられている。
トランスジューサ３は、信号発生手段４で発生した高周
波信号が印加されると、薄膜導波路２に表面弾性波５を
励起する。信号発生手段４は、例えばＶＣＯ（電圧制御
発振器）が用いられる。
えばＺｎＯ，ＬｉＮｂＯ3等が用いられる。薄膜導波路
２は、基板１上にレーザアブレーション法、スパッタリ
ング法、ＣＶＤ法等の手段で形成される。トランスジュ
ーサ３は、薄膜導波路２の中央部手前寄りに配置され、
インターデジタルトランスジューサが用いられている。
トランスジューサ３は、信号発生手段４で発生した高周
波信号が印加されると、薄膜導波路２に表面弾性波５を
励起する。信号発生手段４は、例えばＶＣＯ（電圧制御
発振器）が用いられる。
【００１０】入射用グレーティング７及び出射用グレー
ティング８は、それぞれ薄膜導波路２の左右両側部に配
置されている。入射用グレーティング７は光源から放射
された導波光Ｌを薄膜導波路２に入射させるためのもの
である。出射用グレーティング８は、薄膜導波路２を進
行する導波光Ｌを外部に出射するためのものである。こ
れらグレーティング７，８は、それぞれ薄膜導波路２上
に一定のピッチで設けられており、その材料として例え
ば薄膜導波路２と同様の材料が使用される。グレーティ
ング７，８は電子線描画法、フォトリソグラフィ法、二
光束干渉法等の手段で形成される。
ティング８は、それぞれ薄膜導波路２の左右両側部に配
置されている。入射用グレーティング７は光源から放射
された導波光Ｌを薄膜導波路２に入射させるためのもの
である。出射用グレーティング８は、薄膜導波路２を進
行する導波光Ｌを外部に出射するためのものである。こ
れらグレーティング７，８は、それぞれ薄膜導波路２上
に一定のピッチで設けられており、その材料として例え
ば薄膜導波路２と同様の材料が使用される。グレーティ
ング７，８は電子線描画法、フォトリソグラフィ法、二
光束干渉法等の手段で形成される。
【００１１】ここに、入射用及び出射用グレーティング
７，８の形状について説明する。図２（ａ）は入射用グ
レーティング７の右側面図、（ｂ）は正面図である。入
射用グレーティング７は断面形状が矩形のものである。
入射用グレーティング７の高さは導波方向に一定で、表
面弾性波の伝搬方向に、すなわち導波方向に対して垂直
な方向に漸次高くなっており、これにより導波方向と垂
直な方向における装置出射光の強度分布をガウス分布に
することができる。
７，８の形状について説明する。図２（ａ）は入射用グ
レーティング７の右側面図、（ｂ）は正面図である。入
射用グレーティング７は断面形状が矩形のものである。
入射用グレーティング７の高さは導波方向に一定で、表
面弾性波の伝搬方向に、すなわち導波方向に対して垂直
な方向に漸次高くなっており、これにより導波方向と垂
直な方向における装置出射光の強度分布をガウス分布に
することができる。
【００１２】より詳細に説明すると、光源から放射され
た導波光Ｌの強度は、導波方向と垂直な方向にガウス分
布している。一方、グレーティングの放射損失係数（結
合効率）はグレーティングの高さに依存しており（図３
参照）、放射損失係数をα、グレーティング７の高さを
ｈとすると、単調増加領域においては、以下の（１）式
が得られる。
た導波光Ｌの強度は、導波方向と垂直な方向にガウス分
布している。一方、グレーティングの放射損失係数（結
合効率）はグレーティングの高さに依存しており（図３
参照）、放射損失係数をα、グレーティング７の高さを
ｈとすると、単調増加領域においては、以下の（１）式
が得られる。
【００１３】 α＝Ａｈ2 （Ａ：定数） ……（１） また、トランスジューサ３によって励起された表面弾性
波５は薄膜導波路２を伝搬するにつれて減衰する。表面
弾性波５には材料によって決まる伝搬損失があるからで
ある。そこで、薄膜導波路２を伝搬する表面弾性波の強
度をＩ、トランスジューサ３によって励起された初期強
度をＩ0、薄膜導波路２の材料によって決まる表面弾性
波の損失係数をＢ、トンラスジューサ３からの伝搬長を
ｘとすると、以下の（２）式が得られる。
波５は薄膜導波路２を伝搬するにつれて減衰する。表面
弾性波５には材料によって決まる伝搬損失があるからで
ある。そこで、薄膜導波路２を伝搬する表面弾性波の強
度をＩ、トランスジューサ３によって励起された初期強
度をＩ0、薄膜導波路２の材料によって決まる表面弾性
波の損失係数をＢ、トンラスジューサ３からの伝搬長を
ｘとすると、以下の（２）式が得られる。
【００１４】 Ｉ＝Ｉ0・ｅ-Bx ……（２） すなわち、図４に示すように、表面弾性波５の強度Ｉ
は、伝搬長ｘが長くなるにつれて指数関数的に減衰す
る。さらに、表面弾性波５による導波光Ｌの回折効率を
η、表面弾性波５の強度をＩ、導波光Ｌと音響光学相互
作用する表面弾性波５の幅をＷとすると、以下の（３）
式が得られる。
は、伝搬長ｘが長くなるにつれて指数関数的に減衰す
る。さらに、表面弾性波５による導波光Ｌの回折効率を
η、表面弾性波５の強度をＩ、導波光Ｌと音響光学相互
作用する表面弾性波５の幅をＷとすると、以下の（３）
式が得られる。
【００１５】 η＝ｓｉｎ2｛Ｃ（Ｉ・Ｗ）1/2｝ （Ｃ：定数） ……（３） すなわち、表面弾性波５の強度Ｉが低下するにつれて回
折効率ηは低下する。導波方向に対して垂直な方向にお
ける装置出射光の強度分布をガウス分布にするには、回
折効率ηと放射損失係数αを乗じたものが常に一定値に
なればよいから、η×α＝Ｄ（Ｄ：定数）を満足するよ
うにグレーティング７の高さｈを設定すればよい。すな
わち、前記（１）式、（２）式及び（３）式より、以下
の（４）式が得られる。
折効率ηは低下する。導波方向に対して垂直な方向にお
ける装置出射光の強度分布をガウス分布にするには、回
折効率ηと放射損失係数αを乗じたものが常に一定値に
なればよいから、η×α＝Ｄ（Ｄ：定数）を満足するよ
うにグレーティング７の高さｈを設定すればよい。すな
わち、前記（１）式、（２）式及び（３）式より、以下
の（４）式が得られる。
【００１６】 ｓｉｎ2｛Ｃ（Ｉ0・ｅ-Bx・Ｗ）1/2｝×Ａｈ2＝Ｄ ｈ＝Ｄ1/2／［Ａｓｉｎ2｛Ｃ（Ｉ0・ｅ-Bx・Ｗ）1/2｝］1/2……（４） この（４）式より、入射用グレーティング７の高さｈ
は、表面弾性波５の伝搬方向に、すなわち、導波光Ｌの
進行方向に対して垂直な方向にトランスジューサ３から
離れるにつれて漸次高くすればよいことがわかる。
は、表面弾性波５の伝搬方向に、すなわち、導波光Ｌの
進行方向に対して垂直な方向にトランスジューサ３から
離れるにつれて漸次高くすればよいことがわかる。
【００１７】さらに、具体的数値を用いて、入射用グレ
ーティング７の導波方向に対して垂直な方向の高さｈを
（４）式を用いて算出する。基板１にはガラス基板を用
い、薄膜導波路２には膜厚が１μｍのＺｎＯ薄膜を用い
る。トランスジューサ３にはアルミニウムを用い、電極
周期は２．５μｍ、トランスジューサ３の幅Ｗは０．５
ｍｍ、中心周波数は１ＧＨｚに設定する。入射用及び出
射用グレーティング７，８はＺｎＯからなり、周期は
０．６μｍ、導波光Ｌが入射用グレーティング７に入射
する角度は６６．２°、導波光Ｌは波長が０．６３３μ
ｍで発振モードがＴＥ0モードのＨｅ−Ｎｅレーザ、幅
Ｈは１０ｍｍである。表面弾性波５の損失係数Ｂは７
５．５／ｍである。
ーティング７の導波方向に対して垂直な方向の高さｈを
（４）式を用いて算出する。基板１にはガラス基板を用
い、薄膜導波路２には膜厚が１μｍのＺｎＯ薄膜を用い
る。トランスジューサ３にはアルミニウムを用い、電極
周期は２．５μｍ、トランスジューサ３の幅Ｗは０．５
ｍｍ、中心周波数は１ＧＨｚに設定する。入射用及び出
射用グレーティング７，８はＺｎＯからなり、周期は
０．６μｍ、導波光Ｌが入射用グレーティング７に入射
する角度は６６．２°、導波光Ｌは波長が０．６３３μ
ｍで発振モードがＴＥ0モードのＨｅ−Ｎｅレーザ、幅
Ｈは１０ｍｍである。表面弾性波５の損失係数Ｂは７
５．５／ｍである。
【００１８】ここで、放射損失係数αが単調増加領域に
なる最大のグレーティング７の高さｈは０．１９μｍで
あるが、余裕を考慮して伝搬長ｘが１０ｍｍのときのグ
レーティング７の高さｈx=10を０．１５μｍに設定する
と、（４）式より、以下の（５）式が得られる。 ｈ＝０．１３×１０-6／［ｓｉｎ｛１．５６（ｅ-75.5x）1/2｝］ （ｍ） …（５） （５）式より、伝搬長ｘが０ｍｍのときのグレーティン
グ７の高さは０．１３μｍとなる。従って、グレーティ
ング７の高さｈは、導波光Ｌの進行方向に対して垂直な
方向にトランスジューサ３から離れるにつれて０．１３
μｍから０．１５μｍに漸次高くなる。
なる最大のグレーティング７の高さｈは０．１９μｍで
あるが、余裕を考慮して伝搬長ｘが１０ｍｍのときのグ
レーティング７の高さｈx=10を０．１５μｍに設定する
と、（４）式より、以下の（５）式が得られる。 ｈ＝０．１３×１０-6／［ｓｉｎ｛１．５６（ｅ-75.5x）1/2｝］ （ｍ） …（５） （５）式より、伝搬長ｘが０ｍｍのときのグレーティン
グ７の高さは０．１３μｍとなる。従って、グレーティ
ング７の高さｈは、導波光Ｌの進行方向に対して垂直な
方向にトランスジューサ３から離れるにつれて０．１３
μｍから０．１５μｍに漸次高くなる。
【００１９】次に、出射用グレーティング８の形状につ
いて説明する。図５（ａ）は出射用グレーティング８の
右側面図、（ｂ）は正面図である。出射用グレーティン
グ８は断面形状が矩形のものである。出射用グレーティ
ング８の高さは導波方向に漸次高くなっており、導波方
向に対して垂直な方向に一定である。これにより、導波
方向における装置出射光の強度分布をガウス分布にする
ことができる。
いて説明する。図５（ａ）は出射用グレーティング８の
右側面図、（ｂ）は正面図である。出射用グレーティン
グ８は断面形状が矩形のものである。出射用グレーティ
ング８の高さは導波方向に漸次高くなっており、導波方
向に対して垂直な方向に一定である。これにより、導波
方向における装置出射光の強度分布をガウス分布にする
ことができる。
【００２０】より詳細に説明すると、光源から放射され
た導波光Ｌの強度は、導波方向にガウス分布している。
一方、出射用グレーティング８の高さが導波方向に一定
であると仮定すると、グレーティング８の放射損失係数
α（結合効率）は導波方向に一定であり、導波光Ｌは進
行するにつれて強度が減少するので導波方向の装置出射
光の強度分布は徐々に減少する。ところで、前述した如
くグレーティングの放射損失係数αはグレーティングの
高さに依存しており（図３参照）、単調増加領域におい
ては前記（１）式が得られる。従って、導波方向の装置
出力光の強度分布をガウス分布にするには、出射用グレ
ーティング８の高さを導波光Ｌの進行方向に漸次高くす
ればよい。
た導波光Ｌの強度は、導波方向にガウス分布している。
一方、出射用グレーティング８の高さが導波方向に一定
であると仮定すると、グレーティング８の放射損失係数
α（結合効率）は導波方向に一定であり、導波光Ｌは進
行するにつれて強度が減少するので導波方向の装置出射
光の強度分布は徐々に減少する。ところで、前述した如
くグレーティングの放射損失係数αはグレーティングの
高さに依存しており（図３参照）、単調増加領域におい
ては前記（１）式が得られる。従って、導波方向の装置
出力光の強度分布をガウス分布にするには、出射用グレ
ーティング８の高さを導波光Ｌの進行方向に漸次高くす
ればよい。
【００２１】なお、本発明に係る導波路入出力装置は前
記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内
で種々に変更することができる。グレーティングの形状
は、必らずしも前記実施例のように、入射用グレーティ
ングの高さが導波光の進行方向に対して垂直な方向に漸
次高くなり、出射用グレーティングの高さが導波光の進
行方向に漸次高くなるように設定する必要はなく、図６
（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）に示すように、
入射用グレーティング１７の高さは両方向に一定に保
ち、出射用グレーティング１８の高さが導波光の進行方
向及びこの進行方向に対して垂直な方向に漸次高くなる
ように設定してもよい。この場合、入射用グレーティン
グ１７の替わりに入射用プリズムを用いてもよい。
記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内
で種々に変更することができる。グレーティングの形状
は、必らずしも前記実施例のように、入射用グレーティ
ングの高さが導波光の進行方向に対して垂直な方向に漸
次高くなり、出射用グレーティングの高さが導波光の進
行方向に漸次高くなるように設定する必要はなく、図６
（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）に示すように、
入射用グレーティング１７の高さは両方向に一定に保
ち、出射用グレーティング１８の高さが導波光の進行方
向及びこの進行方向に対して垂直な方向に漸次高くなる
ように設定してもよい。この場合、入射用グレーティン
グ１７の替わりに入射用プリズムを用いてもよい。
【００２２】また、グレーティングの断面は矩形に限る
ものではなく、三角形、ガウス形等であってもよい。
ものではなく、三角形、ガウス形等であってもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、出射用グレーティングの高さを、前記薄膜導波
路を進行する光の進行方向に漸次高くし、かつ、出射用
グレーティングの高さ又は入射用グレーティングの高さ
のいずれか一方を、表面弾性波の伝搬方向に漸次高くし
たので、装置外部に出射される光ビームの強度分布が導
波方向及び表面弾性波の伝搬方向に正確にガウス分布と
なる。この結果、後の集束光学系で光を微小スポットに
絞ることができ、集光特性を向上させることができる。
よれば、出射用グレーティングの高さを、前記薄膜導波
路を進行する光の進行方向に漸次高くし、かつ、出射用
グレーティングの高さ又は入射用グレーティングの高さ
のいずれか一方を、表面弾性波の伝搬方向に漸次高くし
たので、装置外部に出射される光ビームの強度分布が導
波方向及び表面弾性波の伝搬方向に正確にガウス分布と
なる。この結果、後の集束光学系で光を微小スポットに
絞ることができ、集光特性を向上させることができる。
【図１】本発明に係る導波路入出力装置の一実施例を示
す斜視図。
す斜視図。
【図２】入射用グレーティングの形状を示すもので
（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
【図３】放射損失係数とグレーティングの高さとの関係
を示すグラフ。
を示すグラフ。
【図４】表面弾性波の強度と伝搬長との関係を示すグラ
フ。
フ。
【図５】出射用グレーティングの形状を示すもので
（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
【図６】他の実施形態の入射用グレーティングの形状を
示すもので（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
示すもので（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
【図７】他の実施形態の出射用グレーティングの形状を
示すもので（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
示すもので（ａ）は右側面図、（ｂ）は正面図。
１…基板 ２…薄膜導波路 ７…入射用グレーティング ８…出射用グレーティング Ｌ…導波光
Claims (1)
- 【請求項１】 導波路型の音響光学偏向素子へのレーザ
光の入出力をグレーティングにて行う導波路入出力装置
において、 出射用グレーティングの高さを、前記薄膜導波路を進行
する光の進行方向に漸次高くし、かつ、前記出射用グレ
ーティングの高さ又は入射用グレーティングの高さのい
ずれか一方を、表面弾性波の伝搬方向に漸次高くしたこ
とを特徴とする導波路入出力装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7252616A JPH0996842A (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 導波路入出力装置 |
| US08/714,362 US5835643A (en) | 1995-09-29 | 1996-09-16 | Waveguide input/output device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7252616A JPH0996842A (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 導波路入出力装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0996842A true JPH0996842A (ja) | 1997-04-08 |
Family
ID=17239850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7252616A Pending JPH0996842A (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 導波路入出力装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5835643A (ja) |
| JP (1) | JPH0996842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019040041A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | パイオニア株式会社 | 光偏向モジュール |
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| DE19832647C1 (de) * | 1998-07-13 | 2000-03-30 | Las Laser Analytical Systems G | Verfahren zur Erzeugung Gaußscher Intensitätsverteilungen im Strahlprofil einer durch Frequenzverdopplung erzeugten Strahlung |
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| US7245803B2 (en) * | 2003-02-11 | 2007-07-17 | Luxtera, Inc. | Optical waveguide grating coupler |
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| US7773836B2 (en) | 2005-12-14 | 2010-08-10 | Luxtera, Inc. | Integrated transceiver with lightpipe coupler |
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| CN107037613A (zh) * | 2017-06-02 | 2017-08-11 | 电子科技大学 | 基于石墨烯‑二硫化钼异质结的带可调谐光栅的m‑z电光调制器 |
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| US11054647B1 (en) * | 2018-03-06 | 2021-07-06 | Snap Inc. | Eyelens waveguide |
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| US4961632A (en) * | 1987-12-29 | 1990-10-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Light beam deflector/modulator |
| JPH0694939A (ja) * | 1992-09-09 | 1994-04-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光導波路素子 |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP7252616A patent/JPH0996842A/ja active Pending
-
1996
- 1996-09-16 US US08/714,362 patent/US5835643A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019040041A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | パイオニア株式会社 | 光偏向モジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5835643A (en) | 1998-11-10 |
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