JPH0996821A - 液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法 - Google Patents
液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法Info
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- JPH0996821A JPH0996821A JP25520195A JP25520195A JPH0996821A JP H0996821 A JPH0996821 A JP H0996821A JP 25520195 A JP25520195 A JP 25520195A JP 25520195 A JP25520195 A JP 25520195A JP H0996821 A JPH0996821 A JP H0996821A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、ＲＧＢの各カラーフィルタでのコン
トラストを整え、スペーサ分布の安定した測定を実現で
きる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法を提供す
る。 【解決手段】顕微鏡の透過光源１５からの光路上のミラ
ー１７とコンデンサ１８の間に、ＣＦ基板上のＲＧＢの
各フィルタの透過率と、光源１５の分光特性を勘案した
カラー（ライト）バランスフィルタ２５を挿入可能にし
ている。
トラストを整え、スペーサ分布の安定した測定を実現で
きる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法を提供す
る。 【解決手段】顕微鏡の透過光源１５からの光路上のミラ
ー１７とコンデンサ１８の間に、ＣＦ基板上のＲＧＢの
各フィルタの透過率と、光源１５の分光特性を勘案した
カラー（ライト）バランスフィルタ２５を挿入可能にし
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
（以下、ＬＣＤと称する。）の２枚のガラス基板間隔を
制御するスペーサの分布を測定する液晶ディスプレイの
スペーサ分布測定方法に関する。
（以下、ＬＣＤと称する。）の２枚のガラス基板間隔を
制御するスペーサの分布を測定する液晶ディスプレイの
スペーサ分布測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＬＣＤパネルの２枚のガラスの
間隔は、ＴＦＴ−ＬＣＤなら５μｍ、位相差を利用した
ＳＴＮ−ＬＣＤでは１μｍ程度であり、この間隔は、最
適の値に保てないとＬＣＤパネルの表示性能に著しい影
響が出るため、厳しく管理されている。
間隔は、ＴＦＴ−ＬＣＤなら５μｍ、位相差を利用した
ＳＴＮ−ＬＣＤでは１μｍ程度であり、この間隔は、最
適の値に保てないとＬＣＤパネルの表示性能に著しい影
響が出るため、厳しく管理されている。
【０００３】このことから、ＬＣＤパネルの製造過程
で、ガラス基板の間隔を制御するためガラスや樹脂から
なる同一径の球状または糸状のスペーサを基板上全面に
散布するようにしているが、かかるスペーサの分布状態
をチェックし、スペーサが固まっていないか、凝集して
いないかなどを確認することが重要である。
で、ガラス基板の間隔を制御するためガラスや樹脂から
なる同一径の球状または糸状のスペーサを基板上全面に
散布するようにしているが、かかるスペーサの分布状態
をチェックし、スペーサが固まっていないか、凝集して
いないかなどを確認することが重要である。
【０００４】そこで、従来では、顕微鏡により標本を観
察しながら作業者がスペースの数を計数することが行わ
れていたが、スペーサ数が多い場合は時間がかかり、ま
た数え間違えることも多かった。
察しながら作業者がスペースの数を計数することが行わ
れていたが、スペーサ数が多い場合は時間がかかり、ま
た数え間違えることも多かった。
【０００５】そのため、顕微鏡からの観察像をモノクロ
のＣＣＤカメラより撮像することで取り込み、この撮像
画像を処理し、スペーサのみを取り出しマップ状に表わ
したり、画面中のスペーサ数を計測したりする方法が実
用化されている。
のＣＣＤカメラより撮像することで取り込み、この撮像
画像を処理し、スペーサのみを取り出しマップ状に表わ
したり、画面中のスペーサ数を計測したりする方法が実
用化されている。
【０００６】このような方法をＬＣＤパネルの製造過程
に適用すると、まず、ＬＣＤの片側電極を構成するガラ
ス基板にスペーサが散布された状態を計測するような場
合、照明として落射の暗視野やリング照明を用いると、
図６に示すようにモニター１の画面中にスペーサ２が暗
い背景の中に明るく光ってみえる。
に適用すると、まず、ＬＣＤの片側電極を構成するガラ
ス基板にスペーサが散布された状態を計測するような場
合、照明として落射の暗視野やリング照明を用いると、
図６に示すようにモニター１の画面中にスペーサ２が暗
い背景の中に明るく光ってみえる。
【０００７】そして、このようなモニター１の画面中の
スペーサ２をカウントする最も簡単な処理として２値化
法が用いられる。図７は、上述の図６に示す画面中のＡ
−Ａ上での明るさの変化を示すもので、ここで、所定の
２値化レベルＬを設定することにより所定輝度以上の明
点のみを残すようにし、次いで、スペーサ２の大きさを
考慮して、ある一定ドット以上と以下を切り取ることに
より、図８に示すようにスペーサ２のドットのみを残
し、これをカウントするようにしている。
スペーサ２をカウントする最も簡単な処理として２値化
法が用いられる。図７は、上述の図６に示す画面中のＡ
−Ａ上での明るさの変化を示すもので、ここで、所定の
２値化レベルＬを設定することにより所定輝度以上の明
点のみを残すようにし、次いで、スペーサ２の大きさを
考慮して、ある一定ドット以上と以下を切り取ることに
より、図８に示すようにスペーサ２のドットのみを残
し、これをカウントするようにしている。
【０００８】しかして、このような方法は、例えば、Ｓ
ＴＮ−ＬＣＤのように電極が透明で、構成の簡単なもの
については有効であるが、ＴＦＴ−ＬＣＤのようにガラ
ス基板上に形成されるトランジスタ部の形状が複雑で、
かつ高さ寸法も大きくなるもので、さらに、配線を構成
するＡｌやＣｒにノイズの明点が多く発生するもので
は、スペーサとノイズの区別が極めて難しくなり、スペ
ーサの正確な分布測定が難しくなる。
ＴＮ−ＬＣＤのように電極が透明で、構成の簡単なもの
については有効であるが、ＴＦＴ−ＬＣＤのようにガラ
ス基板上に形成されるトランジスタ部の形状が複雑で、
かつ高さ寸法も大きくなるもので、さらに、配線を構成
するＡｌやＣｒにノイズの明点が多く発生するもので
は、スペーサとノイズの区別が極めて難しくなり、スペ
ーサの正確な分布測定が難しくなる。
【０００９】そこで、このようなＴＦＴ−ＬＣＤについ
ては、一般に透過明視野を用いることにより図９に示す
ような撮像画像を得るようにしている。同図において、
３は配線部、４はトランジスタ部で、これら配線部３お
よびトランジスタ部４の斜線部は暗部で表示され、残り
の明部にスペーサ２が暗点として表示される。
ては、一般に透過明視野を用いることにより図９に示す
ような撮像画像を得るようにしている。同図において、
３は配線部、４はトランジスタ部で、これら配線部３お
よびトランジスタ部４の斜線部は暗部で表示され、残り
の明部にスペーサ２が暗点として表示される。
【００１０】ところが、このようにすると暗部となる配
線部３およびトランジスタ部４に重なる部分のスペーサ
２は見えないことになるため、この状態で実際のスペー
サ分布数を求めるには、全体面積を考慮する必要があ
り、このため、下式により求めるようにしている。
線部３およびトランジスタ部４に重なる部分のスペーサ
２は見えないことになるため、この状態で実際のスペー
サ分布数を求めるには、全体面積を考慮する必要があ
り、このため、下式により求めるようにしている。
【００１１】実際の分布数＝スペーサ２のカウント数×
（全体の面積−斜線部） なお、透過偏光の場合は、スペーサ２が透過明視野とは
逆に光ってみえるが、この場合、配線部３部分も真黒に
なり、面積計算をすることができない。
（全体の面積−斜線部） なお、透過偏光の場合は、スペーサ２が透過明視野とは
逆に光ってみえるが、この場合、配線部３部分も真黒に
なり、面積計算をすることができない。
【００１２】次に、２枚のガラス基板が貼り合わされた
状態で、スペーサの散布状態を計測する場合は、落射の
暗視野では、図１０に示すように２枚のガラス基板５、
６の間の空気層のため、落射暗視野照明光７がスペーサ
２に届きにくくなり、スペーサ２での散乱光がとれない
ため使用できず、この場合は、透過の明視野が採用され
る。
状態で、スペーサの散布状態を計測する場合は、落射の
暗視野では、図１０に示すように２枚のガラス基板５、
６の間の空気層のため、落射暗視野照明光７がスペーサ
２に届きにくくなり、スペーサ２での散乱光がとれない
ため使用できず、この場合は、透過の明視野が採用され
る。
【００１３】そして、液晶が封入されたのちにスペーサ
の散布状態を計測する場合は、スペーサ２と液晶の屈折
率があまり変わらないので落射でみても透過で見てもス
ペーサ２のコントラストが低下して、画像処理の２値化
レベルが微妙なものになるが、ここまでは充分に処理で
きる範囲にある。
の散布状態を計測する場合は、スペーサ２と液晶の屈折
率があまり変わらないので落射でみても透過で見てもス
ペーサ２のコントラストが低下して、画像処理の２値化
レベルが微妙なものになるが、ここまでは充分に処理で
きる範囲にある。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】ところで最近のＬＣＤ
パネルは、特にＴＦＴ−ＬＣＤについては、ほとんどカ
ラーになっており、このため、カラーフィルタを形成し
たガラス基板（ＣＦ基板）に散布されたスペーサや、片
方のガラス基板にＣＦ基板を用いたＬＣＤパネルのスペ
ーサの分布を測定することが増えている。
パネルは、特にＴＦＴ−ＬＣＤについては、ほとんどカ
ラーになっており、このため、カラーフィルタを形成し
たガラス基板（ＣＦ基板）に散布されたスペーサや、片
方のガラス基板にＣＦ基板を用いたＬＣＤパネルのスペ
ーサの分布を測定することが増えている。
【００１５】ところが、ＣＦ基板でのＲＧＢの各フィル
タは、光源の波長特性により透過率や反射率が異なるた
め、各フィルタ部の色によって明るさに大きな差が生じ
てしまうことがある。このため、例えば、図１１に示す
ように、ブラックマトリクス７１による暗部（斜線
部）、ＲＧＢの各カラーフィルタ８、９、１０による明
部、そして、これら各フィルタ８、９、１０の明部に暗
点で表されるスペーサ２からなる画面が得られたような
場合、同画面中のＢ−Ｂ上での明るさの変化は、図１２
に示すようになることがある。
タは、光源の波長特性により透過率や反射率が異なるた
め、各フィルタ部の色によって明るさに大きな差が生じ
てしまうことがある。このため、例えば、図１１に示す
ように、ブラックマトリクス７１による暗部（斜線
部）、ＲＧＢの各カラーフィルタ８、９、１０による明
部、そして、これら各フィルタ８、９、１０の明部に暗
点で表されるスペーサ２からなる画面が得られたような
場合、同画面中のＢ−Ｂ上での明るさの変化は、図１２
に示すようになることがある。
【００１６】このような場合は、２値化を行うときの２
値化レベルをどのように設定してもスペーサを取り残す
ことになり、また、２値化レベルを設定可能な場合で
も、その設定可能な２値化レベルの範囲が狭くなるた
め、最適な２値化レベルを決定するのが困難になる。さ
らに、２値化レベルの設定可能範囲が狭いと、照明光の
強さなどの測定条件の変化により取り込む画像の状態が
変化する度に２値化レベルの設定をやり直ししなければ
ならない。
値化レベルをどのように設定してもスペーサを取り残す
ことになり、また、２値化レベルを設定可能な場合で
も、その設定可能な２値化レベルの範囲が狭くなるた
め、最適な２値化レベルを決定するのが困難になる。さ
らに、２値化レベルの設定可能範囲が狭いと、照明光の
強さなどの測定条件の変化により取り込む画像の状態が
変化する度に２値化レベルの設定をやり直ししなければ
ならない。
【００１７】このため、各フィルタ部を含めた視野全体
のスペーサ数を計数するには、２値化レベルを変えて数
回に分けて計測を行うか、２値化レベルを頻繁に変更し
ながら計測を行うなど面倒な操作を必要とする問題点が
あった。
のスペーサ数を計数するには、２値化レベルを変えて数
回に分けて計測を行うか、２値化レベルを頻繁に変更し
ながら計測を行うなど面倒な操作を必要とする問題点が
あった。
【００１８】また、ＬＣＤパネルとして特に液晶が封入
された後は、さらにスペーサ像のコントラストが悪化
し、２値化処理が難しくなるという問題点もあった。本
発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ＲＧＢの各
カラーフィルタでのコントラストを整え、スペーサ分布
の安定した測定を実現できる液晶ディスプレイのスペー
サ分布測定方法を提供することを目的とする。
された後は、さらにスペーサ像のコントラストが悪化
し、２値化処理が難しくなるという問題点もあった。本
発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ＲＧＢの各
カラーフィルタでのコントラストを整え、スペーサ分布
の安定した測定を実現できる液晶ディスプレイのスペー
サ分布測定方法を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
液晶ディスプレイの少なくともＲＧＢの各フィルタを形
成した基板上に散布されたスペーサの分布状態を顕微鏡
を用いて測定するスペーサ分布測定方法において、前記
顕微鏡の照明光源の光路中に該光源の分光特性を補償す
るカラーバランスフィルタを挿入し前記基板のＲＧＢの
各フィルタからの光量が一定になるように調整するよう
にしている。
液晶ディスプレイの少なくともＲＧＢの各フィルタを形
成した基板上に散布されたスペーサの分布状態を顕微鏡
を用いて測定するスペーサ分布測定方法において、前記
顕微鏡の照明光源の光路中に該光源の分光特性を補償す
るカラーバランスフィルタを挿入し前記基板のＲＧＢの
各フィルタからの光量が一定になるように調整するよう
にしている。
【００２０】また、請求項２記載の発明は、液晶が封入
された液晶ディスプレイパネルでのスペーサの分布状態
を顕微鏡を用いて測定するスペーサ分布測定方法におい
て、前記顕微鏡の光学系で前記パネルの前後に一方を回
転可能にした一対の偏光手段を挿入し、他方の偏光手段
の偏光方向と前記パネルの偏光方向を合わせた後、前記
一方の偏光手段を回転させ、該一方の偏光手段の偏光方
向と前記他方の偏光手段の偏光方向を合わせるようにし
ている。
された液晶ディスプレイパネルでのスペーサの分布状態
を顕微鏡を用いて測定するスペーサ分布測定方法におい
て、前記顕微鏡の光学系で前記パネルの前後に一方を回
転可能にした一対の偏光手段を挿入し、他方の偏光手段
の偏光方向と前記パネルの偏光方向を合わせた後、前記
一方の偏光手段を回転させ、該一方の偏光手段の偏光方
向と前記他方の偏光手段の偏光方向を合わせるようにし
ている。
【００２１】また、請求項３記載の発明は、液晶ディス
プレイの少なくともＲＧＢの各フィルタを形成した基板
上に散布されたスペーサの分布状態を顕微鏡を用いて測
定するスペーサ分布測定方法において、前記顕微鏡より
観察される前記基板のカラー撮像画像をＲＧＢの３画像
として取り込み、これら画像を合成した合成画像につい
て画像処理を行いスペーサ分布を測定するようにしてい
る。
プレイの少なくともＲＧＢの各フィルタを形成した基板
上に散布されたスペーサの分布状態を顕微鏡を用いて測
定するスペーサ分布測定方法において、前記顕微鏡より
観察される前記基板のカラー撮像画像をＲＧＢの３画像
として取り込み、これら画像を合成した合成画像につい
て画像処理を行いスペーサ分布を測定するようにしてい
る。
【００２２】この結果、請求項１記載の発明によれば、
光源の分光特性を補償し、ＲＧＢの各フィルタでのコン
トラストを整えることが可能になり、画像処理の際の２
値化レベルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定
した測定を実現できる。
光源の分光特性を補償し、ＲＧＢの各フィルタでのコン
トラストを整えることが可能になり、画像処理の際の２
値化レベルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定
した測定を実現できる。
【００２３】また、請求項２記載の発明によれば、一対
の偏光手段のパネルに対する偏光方向の調整により、ス
ペーサがコントラストよく表われるようになり、２値化
処理がスムーズになり、スペーサ分布の安定した測定を
実現できる。
の偏光手段のパネルに対する偏光方向の調整により、ス
ペーサがコントラストよく表われるようになり、２値化
処理がスムーズになり、スペーサ分布の安定した測定を
実現できる。
【００２４】また、請求項３記載の発明によれば、ＲＧ
Ｂの各フィルタを形成した基板のカラー撮像画像をＲＧ
Ｂの３画像として取り込み、これら画像を合成すること
で、ＲＧＢの各フィルタでの明るさを揃えることがで
き、画像処理の際の２値化レベルの設定が容易になっ
て、スペーサ分布の安定した測定を実現できる。
Ｂの各フィルタを形成した基板のカラー撮像画像をＲＧ
Ｂの３画像として取り込み、これら画像を合成すること
で、ＲＧＢの各フィルタでの明るさを揃えることがで
き、画像処理の際の２値化レベルの設定が容易になっ
て、スペーサ分布の安定した測定を実現できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明が適用される偏光
観察顕微鏡の概略構成を示している。図において、１１
は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１１には、観察像を撮
像するＣＣＤカメラ１２を有し、このＣＣＤカメラ１２
に画像処理装置１３を接続し、この画像処理装置１３に
モニター１４を接続している。
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明が適用される偏光
観察顕微鏡の概略構成を示している。図において、１１
は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１１には、観察像を撮
像するＣＣＤカメラ１２を有し、このＣＣＤカメラ１２
に画像処理装置１３を接続し、この画像処理装置１３に
モニター１４を接続している。
【００２６】顕微鏡本体１１は、透過光源１５と落射光
源１６を有している。この場合、これら透過光源１５お
よび落射光源１６には、ハロゲンランプが用いられる。
透過光源１５からの光束を視野絞り（ＦＳ）を介してミ
ラー１７で反射させ、開口絞り（ＡＳ）、コンデンサ１
８を介してステージ１９上の標本２０に照射するように
している。そして、標本２０を透過した光束を対物レン
ズ２１に与え、この対物レンズ２１からの観察光をハー
フミラー２２、結像レンズ２３を介して接眼レンズ２４
およびＣＣＤカメラ１２に与えるようにしている。一
方、落射光源１６からの光束を開口絞り（ＡＳ）、視野
絞り（ＦＳ）を介してハーフミラー２２で反射させ、対
物レンズ２１を介してステージ１９上の標本２０に照射
するようにしている。そして、標本２０で反射された光
束を対物レンズ２１に与え、この対物レンズ２１からの
観察光をハーフミラー２２、結像レンズ２３を介して接
眼レンズ２４およびＣＣＤカメラ１２に与えるようにし
ている。
源１６を有している。この場合、これら透過光源１５お
よび落射光源１６には、ハロゲンランプが用いられる。
透過光源１５からの光束を視野絞り（ＦＳ）を介してミ
ラー１７で反射させ、開口絞り（ＡＳ）、コンデンサ１
８を介してステージ１９上の標本２０に照射するように
している。そして、標本２０を透過した光束を対物レン
ズ２１に与え、この対物レンズ２１からの観察光をハー
フミラー２２、結像レンズ２３を介して接眼レンズ２４
およびＣＣＤカメラ１２に与えるようにしている。一
方、落射光源１６からの光束を開口絞り（ＡＳ）、視野
絞り（ＦＳ）を介してハーフミラー２２で反射させ、対
物レンズ２１を介してステージ１９上の標本２０に照射
するようにしている。そして、標本２０で反射された光
束を対物レンズ２１に与え、この対物レンズ２１からの
観察光をハーフミラー２２、結像レンズ２３を介して接
眼レンズ２４およびＣＣＤカメラ１２に与えるようにし
ている。
【００２７】しかして、顕微鏡本体１１のステージ１９
上に標本２０としてＲＧＢのカラーフィルタを形成した
ガラス基板（ＣＦ基板）や片方のガラス基板にＣＦ基板
を用いたＬＣＤパネルが載置されると、まず、ＣＣＤカ
メラ１２が受けるＲＧＢの各フィルタからの光量Ｌは、 Ｌ＝光源の分光光量×Ｒ、Ｇ、Ｂの分光透過率×ＣＣＤ
の感光特性 として求められる。
上に標本２０としてＲＧＢのカラーフィルタを形成した
ガラス基板（ＣＦ基板）や片方のガラス基板にＣＦ基板
を用いたＬＣＤパネルが載置されると、まず、ＣＣＤカ
メラ１２が受けるＲＧＢの各フィルタからの光量Ｌは、 Ｌ＝光源の分光光量×Ｒ、Ｇ、Ｂの分光透過率×ＣＣＤ
の感光特性 として求められる。
【００２８】従って、ＲＧＢの各フィルタからの光量Ｌ
は、これら光源の分光光量、ＲＧＢの各フィルタの分光
透過率およびＣＣＤの感光特性により影響を受けること
になるが、このうちのＣＣＤカメラ１２の感光特性につ
いては、ＲＧＢそれぞれに対して一定になっているの
で、これ以外の光源の分光光量とＲＧＢの各フィルタの
分光透過率が問題になる。
は、これら光源の分光光量、ＲＧＢの各フィルタの分光
透過率およびＣＣＤの感光特性により影響を受けること
になるが、このうちのＣＣＤカメラ１２の感光特性につ
いては、ＲＧＢそれぞれに対して一定になっているの
で、これ以外の光源の分光光量とＲＧＢの各フィルタの
分光透過率が問題になる。
【００２９】そして、ＲＧＢの各フィルタの分光透過率
は、図２に示すようになり、これらの積算透過率も同図
に示すようになっている。また、光源の分光光量につい
ては、透過光源１５にハロゲンランプを使用しているこ
とから、その分光特性は、図３に示すようになってい
る。
は、図２に示すようになり、これらの積算透過率も同図
に示すようになっている。また、光源の分光光量につい
ては、透過光源１５にハロゲンランプを使用しているこ
とから、その分光特性は、図３に示すようになってい
る。
【００３０】しかして、図２からも明らかなように積算
透過率は、可視域でほぼ一定になるのに対し、光源の分
光光量については、図３に示すハロゲンランプの場合、
可視領域０．４〜０．８μｍでは、波長の短い方から長
い方に対して直線的に光量が上昇することから、このよ
うなハロゲンランプの分光特性が、ＲＧＢの各フィルタ
からの光量の一定化に障害になっていることが理解でき
る。
透過率は、可視域でほぼ一定になるのに対し、光源の分
光光量については、図３に示すハロゲンランプの場合、
可視領域０．４〜０．８μｍでは、波長の短い方から長
い方に対して直線的に光量が上昇することから、このよ
うなハロゲンランプの分光特性が、ＲＧＢの各フィルタ
からの光量の一定化に障害になっていることが理解でき
る。
【００３１】そこで、本発明では、このようなハロゲン
ランプの特性を補償してＣＣＤカメラ１２でＲＧＢの各
フィルタからの光量が一定になるようなフィルタを透過
光源１５の光路に挿入することで、この問題を解決して
いる。具体的には、透過光源１５からの光路上のミラー
１７とコンデンサ１８の間に、ＲＧＢの各フィルタの透
過率と光源の分光特性を勘案したカラー（ライト）バラ
ンスフィルタ２５を挿入可能にしている。この場合のカ
ラーバランスフィルタ２５としては、図４中（ａ）で示
すような特性を有するＬＢ−２００を採用すればよい。
ランプの特性を補償してＣＣＤカメラ１２でＲＧＢの各
フィルタからの光量が一定になるようなフィルタを透過
光源１５の光路に挿入することで、この問題を解決して
いる。具体的には、透過光源１５からの光路上のミラー
１７とコンデンサ１８の間に、ＲＧＢの各フィルタの透
過率と光源の分光特性を勘案したカラー（ライト）バラ
ンスフィルタ２５を挿入可能にしている。この場合のカ
ラーバランスフィルタ２５としては、図４中（ａ）で示
すような特性を有するＬＢ−２００を採用すればよい。
【００３２】これにより、透過光源１５をなすハロゲン
ランプの分光特性を補償し、ＲＧＢの各フィルタでのコ
ントラストを整えることが可能となることから、画像処
理の際の２値化レベルの設定が容易になって、スペーサ
分布の安定した測定を実現できる。
ランプの分光特性を補償し、ＲＧＢの各フィルタでのコ
ントラストを整えることが可能となることから、画像処
理の際の２値化レベルの設定が容易になって、スペーサ
分布の安定した測定を実現できる。
【００３３】次に、ＬＣＤパネルに液晶が封入される
と、スペーサ像のコントラストが悪化して２値化処理が
難しくなることは、先に述べた通りであるが、この場
合、スペーサは、球または円柱状をなしていて、強い偏
光特性を持っていることと、液晶自体が封入された状態
で偏光軸（方向）を持つことから、これらを利用するこ
とで高いコントラストのスペーサ像が得られる。
と、スペーサ像のコントラストが悪化して２値化処理が
難しくなることは、先に述べた通りであるが、この場
合、スペーサは、球または円柱状をなしていて、強い偏
光特性を持っていることと、液晶自体が封入された状態
で偏光軸（方向）を持つことから、これらを利用するこ
とで高いコントラストのスペーサ像が得られる。
【００３４】そこで、本発明では、透過光源１５からの
光路上のミラー１７とコンデンサ１８の間に、偏光子
（ＰＯＬ）２６を挿入可能にするとともに、ハーフミラ
ー２２と結像レンズ２３の間に検光子（ＡＮＡ）２７を
挿入可能にしている。そして、偏光子（ＰＯＬ）２６の
偏光方向とＬＣＤパネルの偏光方向を合わせた上で、検
光子（ＡＮＡ）２７を回転させて、この検光子（ＡＮ
Ａ）２７の偏光方向と偏光子（ＰＯＬ）２６の偏光方向
を合わせるようにする。すると、明るいバックに暗いス
ペーサがコントラストよく表われるようになり、その後
の２値化処理をスムーズに行うことができる。 （第２の実施の形態）この場合、顕微鏡本体１１は、図
１で述べたと同様なものが用いられ、また、ＣＣＤカメ
ラ１２には、カラーＣＣＤカメラが用いられ、このカラ
ーＣＣＤカメラ１２より画像処理装置１３に対してＲＧ
Ｂの３画像を各別に取り込むようにしている。
光路上のミラー１７とコンデンサ１８の間に、偏光子
（ＰＯＬ）２６を挿入可能にするとともに、ハーフミラ
ー２２と結像レンズ２３の間に検光子（ＡＮＡ）２７を
挿入可能にしている。そして、偏光子（ＰＯＬ）２６の
偏光方向とＬＣＤパネルの偏光方向を合わせた上で、検
光子（ＡＮＡ）２７を回転させて、この検光子（ＡＮ
Ａ）２７の偏光方向と偏光子（ＰＯＬ）２６の偏光方向
を合わせるようにする。すると、明るいバックに暗いス
ペーサがコントラストよく表われるようになり、その後
の２値化処理をスムーズに行うことができる。 （第２の実施の形態）この場合、顕微鏡本体１１は、図
１で述べたと同様なものが用いられ、また、ＣＣＤカメ
ラ１２には、カラーＣＣＤカメラが用いられ、このカラ
ーＣＣＤカメラ１２より画像処理装置１３に対してＲＧ
Ｂの３画像を各別に取り込むようにしている。
【００３５】しかして、図示しないスペーサを散布され
たガラス基板や、ガラス基板を張り合わせたＬＣＤパネ
ルなどの標本２０が、顕微鏡本体１１のステージ１９上
に載置され、作業者が接眼レンズ２４またはモニター１
４を見ながら、透過照明１５または落射照明１６によっ
て標本のスペーサを観察可能な状態にする。
たガラス基板や、ガラス基板を張り合わせたＬＣＤパネ
ルなどの標本２０が、顕微鏡本体１１のステージ１９上
に載置され、作業者が接眼レンズ２４またはモニター１
４を見ながら、透過照明１５または落射照明１６によっ
て標本のスペーサを観察可能な状態にする。
【００３６】この時、標本２０のスペーサは、透過照明
１５の場合は、明るい背景に黒い点として、また、落射
照明１６の場合は、暗い背景に白く光って見える。この
状態から、画像処理装置１３の制御用のパソコンにより
画像処理を開始すると、画像処理装置１３は、カラーＣ
ＣＤ１２からの画像をＲＧＢの３画面として取り込むよ
うになる。
１５の場合は、明るい背景に黒い点として、また、落射
照明１６の場合は、暗い背景に白く光って見える。この
状態から、画像処理装置１３の制御用のパソコンにより
画像処理を開始すると、画像処理装置１３は、カラーＣ
ＣＤ１２からの画像をＲＧＢの３画面として取り込むよ
うになる。
【００３７】この場合、画像処理装置１３に取り込まれ
る３つの画像は、Ｒ画面では、Ｒフィルタ部がコントラ
ストのよい画像になっており、Ｇ画面では、Ｇフィルタ
部がコントラストのよい画像になっており、そして、Ｂ
画面では、Ｂフィルタ部がコントラストのよい画像にな
っている。
る３つの画像は、Ｒ画面では、Ｒフィルタ部がコントラ
ストのよい画像になっており、Ｇ画面では、Ｇフィルタ
部がコントラストのよい画像になっており、そして、Ｂ
画面では、Ｂフィルタ部がコントラストのよい画像にな
っている。
【００３８】つまり、ＲＧＢの３画面は、それぞれＲＧ
Ｂフィルタ部に対する明るさが図５（ａ）〜（ｃ）に示
すようになる。そして、これら取り込んだ３画像の各明
るさを、例えば、Ｒ画像は１倍、Ｇ画像はｍ倍、Ｂ画像
はｎ倍とし、このようにして得られた３画面を足し合わ
せて合成し、図５（ｄ）に示すような１画面とする。こ
の場合、各画像の倍数１、ｍ、ｎを旨く選ぶことによっ
て、カラーフィルタの各フィルタ部の明るさを揃えるこ
とができる。
Ｂフィルタ部に対する明るさが図５（ａ）〜（ｃ）に示
すようになる。そして、これら取り込んだ３画像の各明
るさを、例えば、Ｒ画像は１倍、Ｇ画像はｍ倍、Ｂ画像
はｎ倍とし、このようにして得られた３画面を足し合わ
せて合成し、図５（ｄ）に示すような１画面とする。こ
の場合、各画像の倍数１、ｍ、ｎを旨く選ぶことによっ
て、カラーフィルタの各フィルタ部の明るさを揃えるこ
とができる。
【００３９】これによって、画像処理の際の２値化レベ
ルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定した測定
を実現できることになる。つまり、このようにして合成
された画像を用いて、画像のフィルタリングや２値化な
どの画像処理を行い、背景やごみ、配線パターンなどを
取り除いて、スペーサの部分だけが残るようにし、そし
て、残った部分の数をカウントし、この結果を出力す
る。
ルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定した測定
を実現できることになる。つまり、このようにして合成
された画像を用いて、画像のフィルタリングや２値化な
どの画像処理を行い、背景やごみ、配線パターンなどを
取り除いて、スペーサの部分だけが残るようにし、そし
て、残った部分の数をカウントし、この結果を出力す
る。
【００４０】従って、このようにすれば、取り込んだＲ
ＧＢの３画像を用い、カラーフィルタ標本の各フィルタ
部の明るさの揃った画像を合成することにより、画像処
理の際の２値化レベルが設定可能になるので、カラーフ
ィルタ標本のスペーサ分布の安定した測定を実現でき
る。また、２値化レベルの設定可能範囲が広がるため、
２値化レベルの設定が容易になり、さらに照明光の強度
の変化などの測定条件の変化にも強くなる。その上、色
合いの違うカラーフィルタ標本を測定する場合、光学部
品やハードウェアの追加、交換なしにソフトウェア的に
変更（倍数１、ｍ、ｎの変更）するだけで対応できる。
ＧＢの３画像を用い、カラーフィルタ標本の各フィルタ
部の明るさの揃った画像を合成することにより、画像処
理の際の２値化レベルが設定可能になるので、カラーフ
ィルタ標本のスペーサ分布の安定した測定を実現でき
る。また、２値化レベルの設定可能範囲が広がるため、
２値化レベルの設定が容易になり、さらに照明光の強度
の変化などの測定条件の変化にも強くなる。その上、色
合いの違うカラーフィルタ標本を測定する場合、光学部
品やハードウェアの追加、交換なしにソフトウェア的に
変更（倍数１、ｍ、ｎの変更）するだけで対応できる。
【００４１】なお、この実施の形態では、画像処理装置
への取り込みは、ＲＧＢの３画像を取り込んでいるが、
カラー画像として取り込んだ後に、画像処理装置内部
で、３画像に分離するようにしてもよい。
への取り込みは、ＲＧＢの３画像を取り込んでいるが、
カラー画像として取り込んだ後に、画像処理装置内部
で、３画像に分離するようにしてもよい。
【図１】本発明の第１の実施の形態に適用される顕微鏡
の概略構成を示す図。
の概略構成を示す図。
【図２】ＣＦ基板のＲＧＢの各フィルタの分光透過率を
示す図。
示す図。
【図３】光源としてのハロゲンランプの分光特性を示す
図。
図。
【図４】第１の実施の形態に適用されるカラーバランス
フィルタの特性を示す図。
フィルタの特性を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態を説明するための
図。
図。
【図６】従来のモニター画面中に表示されるスペーサの
状態を示す図。
状態を示す図。
【図７】図６に示す画面中のＡ−Ａ上での明るさの変化
を示す図。
を示す図。
【図８】処理画像の一例を示す図。
【図９】ＴＦＴ−ＬＣＤについて透過明視野を用いた場
合の画像を示す図。
合の画像を示す図。
【図１０】２枚のガラス基板が貼り合わされた状態での
落射の暗視野を説明する図。
落射の暗視野を説明する図。
【図１１】ＣＦ基板でのＲＧＢの各フィルタ上に表示さ
れるスペーサの状態を示す図。
れるスペーサの状態を示す図。
【図１２】図１１に示す画面中のＢ−Ｂ上での明るさの
変化を示す図。
変化を示す図。
１１…顕微鏡本体、 １２…ＣＣＤカメラ、 １３…画像処理装置、 １４…モニター、 １５…透過光源、 １６…落射光源、 １７…ミラー、 １８…コンデンサ、 １９…ステージ、 ２０…標本、 ２１…対物レンズ、 ２２…ハーフミラー、 ２３…結像レンズ、 ２４…接眼レンズ、 ２５…カラー（ライト）バランスフィルタ、 ２６…偏光子（ＰＯＬ）、 ２７…検光子（ＡＮＡ）。
Claims (3)
- 【請求項１】 液晶ディスプレイの少なくともＲＧＢの
各フィルタを形成した基板上に散布されたスペーサの分
布状態を顕微鏡を用いて測定するスペーサ分布測定方法
において、 前記顕微鏡の照明光源の光路中に該光源の分光特性を補
償するカラーバランスフィルタを挿入し前記基板のＲＧ
Ｂの各フィルタからの光量が一定になるように調整する
ことを特徴とする液晶ディスプレイのスペーサ分布測定
方法。 - 【請求項２】 液晶が封入された液晶ディスプレイパネ
ルでのスペーサの分布状態を顕微鏡を用いて測定するス
ペーサ分布測定方法において、 前記顕微鏡の光学系で前記パネルの前後に一方を回転可
能にした一対の偏光手段を挿入し、他方の偏光手段の偏
光方向と前記パネルの偏光方向を合わせた後、前記一方
の偏光手段を回転させ、該一方の偏光手段の偏光方向と
前記他方の偏光手段の偏光方向を合わせるようにしたこ
とを特徴とする液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方
法。 - 【請求項３】 液晶ディスプレイの少なくともＲＧＢの
各フィルタを形成した基板上に散布されたスペーサの分
布状態を顕微鏡を用いて測定するスペーサ分布測定方法
において、 前記顕微鏡より観察される前記基板のカラー撮像画像を
ＲＧＢの３画像として取り込み、これら画像を合成した
合成画像について画像処理を行いスペーサ分布を測定す
ることを特徴とする液晶ディスプレイのスペーサ分布測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25520195A JP3645629B2 (ja) | 1995-10-02 | 1995-10-02 | 液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25520195A JP3645629B2 (ja) | 1995-10-02 | 1995-10-02 | 液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0996821A true JPH0996821A (ja) | 1997-04-08 |
| JP3645629B2 JP3645629B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=17275432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25520195A Expired - Fee Related JP3645629B2 (ja) | 1995-10-02 | 1995-10-02 | 液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3645629B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001033706A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
| JP2006039119A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Bridgestone Corp | 画像表示装置およびその製造方法 |
-
1995
- 1995-10-02 JP JP25520195A patent/JP3645629B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001033706A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
| JP4608038B2 (ja) * | 1999-07-23 | 2011-01-05 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
| JP2006039119A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Bridgestone Corp | 画像表示装置およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3645629B2 (ja) | 2005-05-11 |
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