JPH0994449A - 気液接触反応装置 - Google Patents

気液接触反応装置

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JPH0994449A
JPH0994449A JP25436895A JP25436895A JPH0994449A JP H0994449 A JPH0994449 A JP H0994449A JP 25436895 A JP25436895 A JP 25436895A JP 25436895 A JP25436895 A JP 25436895A JP H0994449 A JPH0994449 A JP H0994449A
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liquid
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JP25436895A
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Shuzo Matsumura
修三 松村
Koji Ishida
宏司 石田
Hideki Iwabe
秀樹 岩部
Hirokazu Minami
南  宏和
Yasuhiro Yoshizaki
耕大 吉崎
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Kubota Corp
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Kubota Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトな気液接触反応装置を提供する。 【解決手段】 筒体2の内部に管状の気体透過膜3を配
置し、筒体2と気体透過膜3との間の空間6と気体透過
膜3の内側の空間のうち、一方の空間を液体が通過する
液体流路となし、他方の空間を気体が通過する気体流路
となす。これにより、気体流路内の気体を、気体透過膜
の全長にわたり気体透過膜を通じて液体流路内の液体中
に流入させることができるので、液体と気体との接触率
を高くできる。よって、装置高さおよびデッドスペース
を低減できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、浄水、廃水等のオ
ゾン処理や食品の消毒などを行うに際し、液体と気体と
を効率よく接触させるために用いられる気液接触反応装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、浄水、廃水等のオゾン処理など、
被処理液にこの被処理液を処理するための気体を接触さ
せる処理方法が行われており、被処理液と気体とを効率
よく接触させる装置としてたとえば気液接触反応塔が用
いられている。
【0003】気液接触反応塔は、塔内に導入された被処
理液に対して気体を注入するように構成されたものであ
るが、1度に多量の気体を注入するよりも、2〜3段な
いしそれ以上で分注する方が気体の吸収効率や気体利用
効率が高くなり、注入した気体が有効利用されると考え
られるため、複数段で気体を注入するとともに、後段ほ
どその注入率を少なくしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、気液接
触反応塔は一般に、被処理液と気体との接触率を高める
ために、気体の塔内滞留時間をできるだけ長くする必要
があり、通常は水深を4m程度としているので、装置高
さが高くなってしまうという問題がある。また、処理量
を多くして設計した気液接触反応塔では、デッドスペー
スの発生は避けられない。
【0005】本発明は上記問題を解決するもので、気体
吸収効率が高く、よって被処理液の水深および装置高さ
を低くでき、吹き出し気体量の制御を容易に行えるとと
もに、デッドスペースが生じないコンパクトな気液接触
反応装置を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の請求項1記載の気液接触反応装置は、液体
と気体とを効率よく接触させる気液接触反応装置であっ
て、筒体の内部に流体通路をなす気体透過膜を配置し、
筒体と気体透過膜との間の空間と気体透過膜の内側の空
間のうち、一方の空間を液体が通過する液体流路とな
し、他方の空間を気体が通過する気体流路となして、気
体流路内の気体が気体透過膜を通じて液体流路内の液体
中に注入されるように構成したものである。
【0007】また請求項2記載の気液接触反応装置は、
筒体の内部に流体通路をなす気体透過膜を複数本配置
し、筒体と気体透過膜の一端部どうしおよび他端部どう
しをそれぞれヘッダで連結するとともに、ヘッダの内部
に各気体透過膜の内側の空間を連通する流体室を形成し
てモジュールとなし、前記ヘッダは、一端が筒体と各気
体透過膜との間の空間に連通し、他端がヘッダの外部で
開口する第1ノズルと、一端が前記流体室に連通し、他
端がヘッダの外部で開口する第2ノズルとを有して構成
したものである。
【0008】また請求項3記載の気液接触反応装置は、
内部に流体通路をなす気体透過膜を二重管状に配置した
筒体を複数本配置し、筒体と気体透過膜の一端部どうし
および他端部どうしをそれぞれヘッダで連結するととも
に、ヘッダの内部に、各筒体における筒体と気体透過膜
との間の空間を連通する第1流体室と各気体透過膜の内
側の空間を連通する第2流体室とを形成してモジュール
となし、前記ヘッダは、一端が第1流体室に連通し、他
端がヘッダの外部で開口する第1ノズルと、一端が第2
流体室に連通し、他端がヘッダの外部で開口する第2ノ
ズルとを有して構成したものである。
【0009】また請求項4記載の気液接触反応装置は、
複数個のモジュールを、液体流路が直列または並列とな
るように連結したものである。上記において、気体透過
膜とは、気体のみ通過させて液体を通過させない多孔質
の膜をいい、たとえばガラス粉を半融させて作製した多
孔質ガラス膜がある。
【0010】上記した請求項1記載の構成によれば、こ
のような気体透過膜を筒体の内部に配置し、筒体と気体
透過膜との間の空間と気体透過膜の内側の空間とを、液
体流路と気体流路となしたので、気体流路内を通過する
気体は、気体透過膜全長にわたり気体透過膜を通じて、
液体流路内を通過する液体中に十字流をなして流入して
いく。したがって、液体と気体との接触率が高くなる。
【0011】請求項2記載の構成によれば、モジュール
に2つの流路、すなわち、一端部側のヘッダの第1ノズ
ルと流体室、筒体と各気体透過膜との間の空間、他端部
側のヘッダの流体室と第1ノズルからなる流路と、一端
部側のヘッダの第2ノズル、各気体透過膜の内側の空
間、他端部側のヘッダの第2ノズルからなる流路とが形
成される。したがって、一端部側または他端部側のいず
れか一方の第1ノズルから液体または気体を導入して他
方の第1ノズルより流出させ、一端部側または他端部側
のいずれか一方の第2ノズルから気体または液体を導入
して他方の第2ノズルより流出させると、一方の流路が
液体流路となり他方の流路が気体流路となって、筒体内
に配置した気体透過膜ごとに液体中への気体の注入が起
こる。
【0012】請求項3記載の構成によれば、モジュール
に2つの流路、すなわち、一端部側のヘッダの第1ノズ
ルと第1流体室、各筒体における筒体と気体透過膜との
間の空間、他端部側のヘッダの第1流体室と第1ノズル
からなる流路と、一端部側のヘッダの第2ノズルと第2
流体室、各気体透過膜の内側の空間、他端部側のヘッダ
の第2流体室と第2ノズルからなる流路とが形成され
る。そして、これらのうち一方の流路が液体流路となり
他方の流路が気体流路となって、筒体内に配置した気体
透過膜ごとに液体中への気体の注入が起こる。
【0013】請求項4記載の構成によれば、複数個のモ
ジュールが液体流路が直列になるように連結されたとき
は、液体中への気体の注入が多段に行われ、液体流路が
並列になるように連結されたときは、液体の処理量が大
きくなる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しながら説明する。図1〜図3において、気液接触
モジュール1は、被処理液とこの被処理液を処理するた
めのオゾンなどの気体とを効率よく接触させるものであ
り、筒体2の内部に管状の気体透過膜3を1本、あるい
は図示したように適当間隔で複数本配置し、筒体2と気
体透過膜3の一端部どうしおよび他端部どうしをヘッダ
4,5で連結することにより構成されている。
【0015】ヘッダ4は、一端が筒体2と各気体透過膜
3との間の空間6に連通し、他端がヘッダ4の外部で開
口するノズル7と、各気体透過膜3の内側の空間8を連
通する流体室9と、一端が流体室9の内部に連通し、他
端がヘッダ4の外部で開口するノズル10とを有してい
る。
【0016】同様に、ヘッダ5は、一端が筒体2と各気
体透過膜3との間の空間6に連通し、他端がヘッダ4の
外部で開口するノズル11と、各気体透過膜3の内側の
空間8を連通する流体室12と、一端が流体室12に連
通し、他端がヘッダ4の外部で開口するノズル13とを
有している。
【0017】ヘッダ4のノズル7とヘッダ5のノズル1
1とは、両者間の距離がなるべく大きくなるように対角
の位置に配置されている。上記構成によれば、気液接触
モジュール1に、ヘッダ4のノズル7、筒体2と気体透
過膜3との間の空間6、ヘッダ5のノズル11からなる
第1流路と、ヘッダ4のノズル10と流体室9、各気体
透過膜3の内側の空間8、ヘッダ5の流体室12とノズ
ル13からなる第2流路とが形成される。
【0018】したがって、ヘッダ4のノズル7から被処
理液14を導入し、ヘッダ5のノズル13から気体15
を導入すると、被処理液14は第1流路を通ってヘッダ
5のノズル11から流出し、気体15は第2流路を通っ
てヘッダ4のノズル10から流出する。
【0019】このとき、導入する気体15の圧力を適当
圧に調節しておくと、気体透過膜3が多孔質であるた
め、第2流路内を通過する気体15が気体透過膜3を通
じて第1流路内を通過する被処理液14中に流入する。
つまり、気体15と被処理液14とが気体透過膜3の全
長にわたり接触する。
【0020】このような接触は、無数の散気管を連続配
置して散気管式連続多段注入を行うのと同等とみなすこ
とができ、気液接触モジュール1は、散気管式連続多段
注入をミクロに形成したのと同等の効果をもたらす。し
たがって、被処理液14と気体15との接触率が高くな
り、両者の反応が速やかに進行して、被処理液14は気
体15により良好に処理される。
【0021】なお、上記した実施形態においては、第1
流路に被処理液14を導入し、第2流路に気体15を導
入するようにしたが、逆に、第2流路に被処理液14を
導入し、第1流路に気体15を導入するようにしてもよ
い。また、第1流路における被処理液14の流れと、第
2流路における気体15の流れとが向流となるように、
被処理液14と気体15を導入したが、並流となるよう
に両者を導入してもよい。
【0022】また、上記した実施形態においては、被処
理液14とこの被処理液を処理するための気体15とを
導入するものとして説明したが、気体中の水溶性成分を
水中に吸収するために水と被処理気体とを導入すること
なども考えられる。
【0023】さらに、気液接触モジュールを以下のよう
に構成することもできる。図4に示したように、気液接
触モジュール16は、筒体17の内部に管状の気体透過
膜18を二重管状に配置したもの複数本を、一端部どう
しヘッダ19で連結し、他端部どうしヘッダ(図示せ
ず)で連結することにより構成されている。
【0024】一端部側のヘッダ19は、各筒体17にお
ける筒体17と気体透過膜18との間の空間20を連通
する第1流体室21と、各気体透過膜18の内側の空間
22を連通する第2流体室23とを有するとともに、一
端が第1流体室21に連通し、他端がヘッダ19の外部
で開口する第1ノズル24と、一端が第2流体室23に
連通し、他端がヘッダ19の外部で開口する第2ノズル
25とを有している。他端部側のヘッダも同様に構成さ
れている。
【0025】上記した構成によれば、気液接触モジュー
ル16に、一端部側のヘッダ19の第1ノズル24と第
1流体室21、各筒体17における筒体17と気体透過
膜18との間の空間20、他端部側のヘッダの第1流体
室と第1ノズルからなる第1流路と、一端部側のヘッダ
19の第2ノズル25と第2流体室23、各気体透過膜
18内側の空間22、他端部側のヘッダの第2流体室と
第2ノズルからなる第2流路とが形成される。
【0026】この構成によっても、第1流路と第2流路
のうち、いずれか一方を被処理液流路とし、他方を気体
流路とすることによって、被処理液と気体との接触率を
高めることができる。
【0027】次に、上記したような気液接触モジュール
を複数個配列した実施形態を図5および図6により説明
する。各実施形態においては、先に図1〜図3、または
図4を用いて説明したような気液接触モジュール26,
27,28が3段に配置されており、各気液接触モジュ
ール26,27,28は、第1流路が被処理液流路とさ
れ、第2流路が気体流路とされている。
【0028】図5に示した実施形態では、気液接触モジ
ュール26,27,28は、第1流路(すなわち被処理
液流路)が直列となるように、被処理液導管29,3
0,31,32により連結されるとともに、第2流路
(すなわち気体流路)が互いに並列になるように、気体
導管33,34,35,36,37,38,39により
連結されている。なお、気体導管33,34,35はこ
の順に気体供給量が低くなるよう調整されていて、被処
理液に上流側で比較的多量の気体が供給され、下流側で
比較的少量の気体が供給されるようになっている。
【0029】上記構成により、被処理液は、モジュール
26,モジュール27,モジュール28に順次導入さ
れ、各モジュール26,27,28において、気体導管
33,34,35より個別に供給される気体と多段に接
触する結果、気体との接触率がより高くなり良好に処理
される。このとき、上流側ほど多量の気体が供給される
ので、気体の利用効率も高い。各モジュール26,2
7,28から流出した気体は気体導管36,37,3
8,39によって気体処理系へ導かれる。
【0030】図6に示した実施形態では、気液接触モジ
ュール26,27,28は、第1流路(すなわち被処理
液流路)と第2流路(すなわち気体流路)とがそれぞれ
直列となるように、被処理液導管40,41,42,4
3により連結されるとともに、気体導管44,45,4
6,47,により連結されており、図示したように、被
処理液と気体とは並流で流れるようになっている。
【0031】この構成においても、被処理液は、モジュ
ール28,モジュール27,モジュール26に順次導入
され、各モジュール28,27,26において気体と多
段に接触する結果、気体との接触率がより高くなり良好
に処理される。このとき、気体は、モジュール28,モ
ジュール27,モジュール26に順次流入して濃度が低
下するので、図5に示した実施形態で濃度調整した気体
を供給したのと同様に、濃度勾配をもって各モジュール
に供給される。モジュール26から流出した気体は気体
導管44によって気体処理系へ導かれる。
【0032】なお、図6に示した実施形態において、各
モジュール26,27,28にわたり、被処理液と気体
とが向流で流れるようにしてもよい。また、図5または
図6に示した実施形態において、第1流路を気体流路と
し、第2流路を被処理液流路としてもよい。
【0033】さらに、図5または図6に示した実施形態
において、各モジュール26,27,28をそれぞれ、
第1流路すなわち被処理液流路が並列となるように連結
してもよく、このような構成によれば、液体の処理量が
大きくなる。
【0034】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、筒体の内
部に流体通路をなす気体透過膜を配置し、筒体と気体透
過膜との間の空間と気体透過膜の内側の空間のうち一方
を液体流路となし他方を気体流路となしたので、気体透
過膜の全長にわたり気体透過膜を通じて液体と気体とが
接触することになり、液体と気体との接触率が高まる。
したがって、従来の気液接触反応塔のように水深を深く
して気体の塔内滞留時間を長くする必要はなく、装置高
さおよびデッドスペースを低減してコンパクトな気液接
触反応装置を実現できる。
【0035】また本発明によれば、筒体の内部に流体通
路をなす気体透過膜を複数本配置し、その一端部および
他端部に、各気体透過膜の内側の空間を連通する流体室
を形成したヘッダを配置してモジュールとなし、筒体と
各気体透過膜との間の空間を含む流路と、各気体透過膜
の内側の空間を含む流路のうち、一方を液体流路、他方
を気体流路としたので、各気体透過膜ごとに液体と気体
との接触が起こり、接触率が向上する。このような装置
は操作が容易である。
【0036】また本発明によれば、内部に流体通路をな
す気体透過膜を二重管状に配置した筒体を複数本配置
し、その一端部および他端部に、各筒体における筒体と
気体透過膜との間の空間を連通する第1流体室と各気体
透過膜の内側の空間を連通する第2流体室とを形成した
ヘッダを配置してモジュールとなすようにした。この構
成によっても、各筒体における筒体と各気体透過膜との
間の空間を含む流路と、各気体透過膜の内側の空間を含
む流路のうち、一方を液体流路、他方を気体流路とする
ことで、各気体透過膜ごとに液体と気体との接触が起こ
り、接触率が向上する。装置の操作も容易である。
【0037】さらに本発明によれば、複数個のモジュー
ルを連結するようにしたため、液体流路が直列になるよ
うに連結したときは液体と気体との接触を多段にして接
触率をさらに向上させることができ、液体流路が並列に
なるように連結したときは液体の処理量を大きくでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の気液接触反応装置の斜視
図である。
【図2】図1に示した気液接触反応装置のA−A断面図
である。
【図3】図1に示した気液接触反応装置のB−B断面図
である。
【図4】本発明の他の実施形態の気液接触反応装置を示
した要部横断面図である。
【図5】本発明の気液接触反応装置を複数個連結した実
施形態を示した説明図である。
【図6】本発明の気液接触反応装置を複数個連結した他
の実施形態を示した説明図である。
【符号の説明】
1 気液接触モジュール 2 筒体 3 気体透過膜 4,5 ヘッダ 6 空間 8 空間 7,11 第1ノズル 9,12 流体室 10, 13 第2ノズル 16 気液接触モジュール 17 筒体 18 気体透過膜 19 ヘッダ 20 空間 21 第1流体室 22 空間 23 第2流体室 24 第1ノズル 25 第2ノズル 26, 27, 28 気液接触モジュール 29, 30, 31, 32 被処理液導管 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39 気体導管 40, 41, 42, 43 被処理液導管 44, 45, 46, 47 気体導管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石田 宏司 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目2番47号 株式会社クボタ内 (72)発明者 岩部 秀樹 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目2番47号 株式会社クボタ内 (72)発明者 南 宏和 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目2番47号 株式会社クボタ内 (72)発明者 吉崎 耕大 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目2番47号 株式会社クボタ内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液体と気体とを効率よく接触させる気液
    接触反応装置であって、筒体の内部に流体通路をなす気
    体透過膜を配置し、筒体と気体透過膜との間の空間と気
    体透過膜の内側の空間のうち、一方の空間を液体が通過
    する液体流路となし、他方の空間を気体が通過する気体
    流路となして、気体流路内の気体が気体透過膜を通じて
    液体流路内の液体中に注入されるように構成したことを
    特徴とする気液接触反応装置。
  2. 【請求項2】 筒体の内部に流体通路をなす気体透過膜
    を複数本配置し、筒体と気体透過膜の一端部どうしおよ
    び他端部どうしをそれぞれヘッダで連結するとともに、
    ヘッダの内部に各気体透過膜の内側の空間を連通する流
    体室を形成してモジュールとなし、前記ヘッダは、一端
    が筒体と各気体透過膜との間の空間に連通し、他端がヘ
    ッダの外部で開口する第1ノズルと、一端が前記流体室
    に連通し、他端がヘッダの外部で開口する第2ノズルと
    を有することを特徴とする請求項1記載の気液接触反応
    装置。
  3. 【請求項3】 内部に流体通路をなす気体透過膜を二重
    管状に配置した筒体を複数本配置し、筒体と気体透過膜
    の一端部どうしおよび他端部どうしをそれぞれヘッダで
    連結するとともに、ヘッダの内部に、各筒体における筒
    体と気体透過膜との間の空間を連通する第1流体室と各
    気体透過膜の内側の空間を連通する第2流体室とを形成
    してモジュールとなし、前記ヘッダは、一端が第1流体
    室に連通し、他端がヘッダの外部で開口する第1ノズル
    と、一端が第2流体室に連通し、他端がヘッダの外部で
    開口する第2ノズルとを有することを特徴とする請求項
    1記載の気液接触反応装置。
  4. 【請求項4】 複数個のモジュールを、液体流路が直列
    または並列となるように連結したことを特徴とする請求
    項2または請求項3のいずれかに記載の気液接触反応装
    置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001051187A1 (fr) * 2000-01-12 2001-07-19 Sekisui Chemical Co., Ltd. Appareil de traitement d'ozone
JP2001330969A (ja) * 2000-05-23 2001-11-30 Sekisui Chem Co Ltd フォトレジスト除去装置
JP2009226230A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Shibaura Mechatronics Corp 微小気泡生成装置および微小気泡生成方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001051187A1 (fr) * 2000-01-12 2001-07-19 Sekisui Chemical Co., Ltd. Appareil de traitement d'ozone
US6955758B2 (en) * 2000-01-12 2005-10-18 Sekisui Chemical Co., Ltd. Ozone treating apparatus
JP2001330969A (ja) * 2000-05-23 2001-11-30 Sekisui Chem Co Ltd フォトレジスト除去装置
JP2009226230A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Shibaura Mechatronics Corp 微小気泡生成装置および微小気泡生成方法

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