JPH0992714A - 半導体ウエハ収納用帯電防止容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 円板状半導体ウエハの運搬、保管、収納・取
出し作業に適し、かつこれらの最中における静電気によ
る各種の弊害を排除することができるウエハ収納用帯電
防止容器を提供する。 【解決手段】 円板状の半導体ウエハを多数枚重ねて収
納可能な有底円筒状の容器本体２と、容器本体の円筒部
２ｂの外周を覆う筒部３ａを有する蓋体３とで構成し、
容器本体の円筒部外面と蓋体の筒部内面との間に１５°
〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ２
ｆ，３ｇを設け、容器本体の底部を円形状または正方形
状とし、蓋体の筒部を正四角柱形状に構成してなる半導
体ウエハ収納用帯電防止容器であって、容器本体および
蓋体が永久帯電防止樹脂からなることを特徴とする。永
久帯電防止樹脂は透明であることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円板状の半導体ウ
エハ（以下、「ウエハ」と言う）を運搬、保管する際に
使用するウエハ用の容器に関し、詳しくは、ウエハの運
搬、保管、収納・取出し作業に適し、かつこれらの最中
における静電気による各種の弊害を排除することができ
るウエハ収納用帯電防止容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウエハの運搬、保管に使用する容器とし
て、従来、ＵＳＰ４，７８７，５０８に記載のものが知
られている。このウエハ収納用帯電防止容器は、図７に
示すように、円板状のウエハを多数枚重ねて収納可能な
有底円筒状の容器本体ａと、容器本体ａの円筒部ｂの外
周を覆う円筒部ｃを有する蓋体ｄとで構成され、容器本
体ａの底部ｅの上面に設けられた雄ねじｆと、蓋体ｄの
円筒部ｃの先端内面に設けられた雌ねじｇとにより、容
器本体ａと蓋体ｄとが着脱できるように構成されてい
る。また、容器本体ａの底部ｅ外周面には連続した筋状
の凹凸からなる滑り止め用ローレットが形成され、蓋体
ｄの上面には同様のローレットを外周面に形成した円形
の着脱用凸部ｈが設けられており、上記着脱を容易とす
るような構成が施されている。

【０００３】さらに、上記のウエハ収納用帯電防止容器
においては、容器本体ａの円筒部ｂに、その全長に亙る
大気開放用のスリットｉが複数条設けられ、円筒部ｂ内
に収納されたウエハを真空吸着等により取出すことがで
きるように構成されている。加えて、蓋体ｄの上面に
は、前記着脱用凸部ｈの周囲にリング状突起ｊが形成さ
れ、その外周面が他の容器本体ａの底部ｅ下面側に嵌合
することで、多数のウエハ収納用帯電防止容器を相互に
上下方向に積み重ねて一体化できるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来の
ウエハ収納用帯電防止容器は、蓋体ｄの周面形状が円形
であって横置きすると転がるため、ウエハの運搬、保管
にあたっては縦置きせざるを得ない。しかし、縦置きに
すると、多数のウエハを上下に重ねて収納したとき、下
部に収納されたウエハはその上方に収納されたウエハ等
の重量により破壊する危険がある。

【０００５】また、容器本体ａと蓋体ｄとの着脱は、容
器本体ａ側の雄ねじｆと蓋体ｄ側の雌ねじｇとのねじ嵌
合により行うので、両者を少なくとも３６０°相対回転
させる必要があり、着脱作業が面倒である。しかも、こ
の着脱作業用として設けられたローレットを有する容器
本体ａの底部ｅ外周面は、例えば直径が１５０ｍｍもあ
り、通常、作業員が把持できない大きさとなっており、
この点からも容器本体ａと蓋体ｄとの着脱作業が面倒で
ある。このようなことから、容器本体ａから蓋体ｄを取
り外す場合には、ウエハ収納用帯電防止容器を空中に持
ち上げ、全体を抱え込むようにして容器本体ａに対して
蓋体ｄを回転せざるを得ず、ウエハは作業ミスによる落
下の危険に晒されるという問題がある。

【０００６】さらに、従来のウエハ収納用帯電防止容器
は、ポリエチレン、ホリプロピレン、ＡＢＳ樹脂、ポリ
塩化ビニル等の絶縁性の通常の熱可塑性樹脂を材料とし
ており、容器本体ａや蓋体ｄに静電気が帯電した場合に
はその除去が難しく、静電気ショックによって高価なウ
エハが損傷する危険がある。

【０００７】上記のような種々の問題点を解消するため
に、本発明者らは先に、円板状のウエハを多数枚重ねて
収納可能な有底円筒状の容器本体と、容器本体の円筒部
外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成し、容器本体の円
筒部外面と蓋体の筒部内面との間に１５°〜４５°の相
対回動角度で両者を着脱できる部分ねじを設け、容器本
体の底部を円形状または正方形状とし、蓋体の筒部を正
四角柱形状に構成したウエハ収納用帯電防止容器を提案
している（特開平６−６９３８２号公報参照）（以下、
「先提案」と言う）。また、先提案では、容器本体およ
び蓋体を導電性プラスチックス（カーボンブラックや金
属繊維等の導電性フィラーを添加した導電性プラスチッ
クス、あるいはポリマーアロイによる導電性プラスチッ
クス）にて構成し、静電気の帯電を防止して、電気ショ
ックからのウエハの保護を図ることをも開示している。

【０００８】しかし、導電性フィラーを添加した導電性
プラスチックスにおいては、導電性フィラーに起因する
発塵性が懸念されるばかりか、容器が不透明となり、容
器内部を目視により認識する必要がある場合には使用不
可能となる外、高コストで、しかも導電性フィラーによ
るプラスチックスの物性低下の問題もある。これに対
し、ポリマーアロイによる導電性プラスチックスにおい
ては、このような懸念もないし、透明を要する場合には
透明な導電性プラスチックスの設計をすることも容易で
あるが、コストが高いと言う難点がある。

【０００９】なお、一般の静電気の帯電防止対策として
は、界面活性剤を材料樹脂に混練したり、容器表面に塗
布する手法もあるが、この手法においては、ウエハ収納
用帯電防止容器の再使用に先立って行う布拭きや水洗の
際に界面活性剤が除去され易く、効果の持続性に乏し
く、また使用中に界面活性剤が表面にブリードアウトし
てウエハを汚染することも懸念される。

【００１０】ところで、上記先提案後の研究により、本
発明者らは、先提案の構造を有するウエハ収納用帯電防
止容器の場合、先提案で開示したような導電性プラスチ
ックスの中で、透明でしかも特定の帯電防止性能を有す
る樹脂を用いることが、該容器を繰り返し使用する際
に、該容器への、延いては該容器内に収納したウエハへ
の静電気の帯電を効果的に防止する上で好ましいことを
見出した。

【００１１】本発明は、以上のような実情の下でなされ
たものであって、容器本体と蓋体との着脱作業を迅速か
つ容易に行うことができると共に、これら本体および蓋
体の素材として、透明な、そして特定の帯電防止性能を
有する樹脂を使用することにより、容器内収納ウエハを
開蓋の要なく観察でき、しかも特に長期間に渡って繰り
返し使用の際の容器延いては容器内収納ウエハへの静電
気の帯電を効果的に防止することができるウエハ収納用
帯電防止容器を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のウエハ収納用帯電防止容器は、円板状の半
導体ウエハを多数枚重ねて収納可能な有底円筒状の容器
本体と、容器本体の円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体
とで構成し、容器本体の円筒部外面と蓋体の筒部内面と
の間に１５°〜４５°の相対回動角度で両者を着脱でき
る部分ねじを設け、容器本体の底部を円形状または正方
形状とし、蓋体の筒部を正四角柱形状に構成してなる半
導体ウエハ収納用帯電防止容器であって、容器本体およ
び蓋体を永久帯電防止樹脂を素材として形成してなるこ
と、を特徴とする。

【００１３】また、本発明のウエハ収納用帯電防止容器
は、（１）上記の永久帯電防止樹脂が透明であること、
（２）該容器の表面抵抗値が、該容器製造から１日経過
後の無処理状態（以下、「製造後無処理」と記す）にお
いて１×１０^１０〜９×１０^１２Ω・ｃｍであり、６カ
月経過後の無処理状態（以下、「半年後無処理」と記
す）においても１×１０^１０〜９×１０^１２Ω・ｃｍで
あること、をも特徴とする。

【００１４】なお、蓋体の上面や容器本体の下部底面に
は、容器本体との着脱作業を容易にするための着脱用凹
凸部等を設けることができるし、これらの凹凸部等には
ローレットを形成することができる。また、上記凹凸部
は、相互に嵌合できるように構成してもよいし、またこ
れとは別個に容器本体の下部底面および蓋体の上面に相
互に嵌合可能な凹凸部を設けることもできる。

【００１５】本発明における永久帯電防止樹脂は、透明
であるものが好ましい。すなわち、容器内に収納したウ
エハは、収納状態や大きさを確認したり、あるいはウエ
ハの種類やウエハに設けられた回路の種類等を書き込み
ウエハ等に貼着したバーコードを読む等の必要性が生じ
ることがある。これらの要求に対し、容器本体および蓋
体の素材としての永久帯電防止樹脂が透明であれば、開
蓋することなく、言い換えれば容器の密封状態を解くこ
となく、容器外から容易に対処できることができ、ウエ
ハの汚染を防止する上で極めて好適である。

【００１６】また、本発明における永久帯電防止樹脂
は、上記構成を有するウエハ収納用帯電防止容器として
の表面抵抗値が上記の範囲内にあるものが好ましい。す
なわち、容器本体と蓋体との間には、１５°〜４５°の
相対回動角度で両者を着脱できる、部分ねじ（従来、一
般には、リード角《雌ねじ側の傾斜角》は大きく設定さ
れている）が設けられており、容器本体と蓋体とをこの
角度だけ相対回動させることで両者の着脱が行われる。
この程度の相対回動角度の場合、容器本体と蓋体との回
動（摩擦）による静電気を防ぐのに、容器本体と蓋体
は、上記程度の表面抵抗値を有する言わば永久帯電防止
性能を有していれば充分である。静電気の発生要因は、
これ以外に、容器内へのウエハの収納の際、該容器の移
動や保管の際等における容器同志、他の器物、あるいは
作業員等との摩擦、その他が考えられるが、上記程度の
表面抵抗値を有する永久帯電防止樹脂であれば、これら
の要因で発生する静電気にも充分対処することができ
る。

【００１７】また、ウエハ収納用帯電防止容器は、収納
したウエハを長期間に渡って保管したり、あるいは繰り
返して使用されるが、これらいずれの場合においても、
該容器製造当初の優れた帯電防止性能を維持する必要が
ある。しかも、長期間の保管や繰り返し使用に際して、
該容器内外に対して行われる空拭きや水洗に対しても、
該容器製造当初の優れた帯電防止性能を失うことなく維
持する必要がある。本発明における永久帯電防止樹脂で
あれば、これらの要求特性をも充分に満たすことができ
る。

【００１８】本発明において、上記のような性能を有す
る永久帯電防止樹脂であれば、その種類は特に制限され
ないが、例えば、ＡＢＳ、ポリプロピレン、ハイインパ
クトポリスチレン（ＨＩＰＳ）、ポリカーボネート系等
の永久帯電防止樹脂が好ましく使用できる。

【００１９】

【作用】このような手段を採用した本発明によるウエハ
収納用帯電防止容器は、容器本体を覆う蓋体の筒部が正
四角柱形状をなすので、従来同様に縦置きすることは勿
論のこと、横置きすることも自在であるため、安定した
状態で多数の収納用帯電防止容器の運搬や保管を行うこ
とができる。

【００２０】また、容器本体と蓋体との間には、１５°
〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじが
設けられているので、容器本体と蓋体とを上記角度だけ
相対回動させることで両者の着脱が行われる。相対回動
角度は、小さすぎると、容器本体と蓋体との嵌合が強固
でなくなるし、大きすぎると着脱作業が迅速かつ容易に
行うことができなくなる。このため、相対回動角度は上
記１５°〜４５°の範囲内としてあり、通常は３０°程
度とすることが好ましい。

【００２１】容器本体の底部を正方形状に構成した場合
には、この容器本体底部の角部を一方の手で挟み込み、
他方の手で蓋部を回動させることも容易となるので、従
来のようにウエハ収納用帯電防止容器を空中に持ち上
げ、全体を抱え込むようにして容器本体ａに対して蓋体
ｄを回転させなくても、テーブル等の上に収納用帯電防
止容器を置いた状態で、容器本体から蓋体を取り外すこ
ともできる。

【００２２】なお、蓋体の上面に着脱用凹凸部を設けた
場合には、上記蓋体の取り外しがより容易となる。もち
ろん、ウエハ収納用帯電防止容器を空中に持ち上げて蓋
体を取り外すこともでき、この場合には、下部底面に着
脱用凹凸部が形成された容器本体が好適に用いられる。
上記蓋体上面や容器本体下部底面に設けられた着脱用凹
凸部を把持して蓋体を３０°程度回転すれば、蓋体は容
易に容器本体から取り外される。これにより、作業ミス
によるウエハ収納用帯電防止容器の落下の危険性は、蓋
体を容器本体に対して３６０°以上回転させなければ取
り外すことができない従来の収納用帯電防止容器の場合
と比較して、大幅に低減される。

【００２３】さらに、容器本体および蓋体は、永久帯電
防止樹脂を素材として成形されているため、静電気の帯
電を防止することができ、電気ショックからのウエハの
保護が図られる。この場合、永久帯電防止樹脂が透明で
あれば、ウエハの収納状態の確認や、バーコードの読み
込み等を、容器の密封状態を解くことなく、容器外から
行うことができ、ウエハの汚染防止が図られる。

【００２４】また、上記の永久帯電防止樹脂が、上記構
成を有するウエハ収納用帯電防止容器としての表面抵抗
値において、１×１０^１０〜９×１０^１２Ω・ｃｍにあ
る場合、上記程度の相対回動角度での回動（摩擦）によ
る着脱や、ウエハの収納、容器の移動、保管の際、その
他各種の摩擦発生時において、静電気の帯電が防止でき
る。しかも、長期間に渡る保管や、繰り返し使用におい
ても、あるいは空拭きや水洗に対しても、容器製造当初
の優れた帯電防止性能が維持される。

【００２５】大気開放口が容器本体の筒部周面に設けら
れている場合には、容器本体内に収納されたウエハを真
空吸着等の手段により取り出すことが容易となり、容器
本体の底部下面および蓋体の上面に相互に嵌合可能な凹
凸部が設けられている場合には、多数のウエハ収納用帯
電防止容器を相互に上下方向に積み重ねて一体化するこ
とができる。なお、通常、蓋部上面の嵌合用凹凸部は、
上記蓋部上面に設けられる着脱用凹凸部と共用される。
また、容器本体の底部下面に設けられる嵌合用凹凸を着
脱用凹凸部として使用することもできる。

【００２６】

【好適な実施の態様】図１〜図３は、本発明のウエハ収
納用帯電防止容器（以下、単に「ウエハ収納容器」と言
う）の一実施例を示す図であり、図１は、その全体構造
を一部断面として示す分解斜視図、図２は同じく半断面
として示す平面図、図３は同じく半断面として示す側面
図（図２におけるＵ矢視図）である。図１〜図３におい
て、ウエハ収納容器１は、図示省略した円板状のウエハ
（公称５インチ、６インチ、８インチ等のサイズがある
が、本実施例では例えば６インチのものとする）を多数
枚重ねて収納可能な有底円筒状の容器本体２と、この容
器本体２に被せられる蓋体３とで構成されている。

【００２７】容器本体２は、正方形状の基底部２ａ上に
円筒部２ｂが突設されたもので、この円筒部２ｂには、
その先端部から基端部に亙る所定幅のスリット２ｃが円
周方向に４等配した位置に形成されている。通常、正方
形の一辺の長さは後述する角筒部３ａの側辺の長さと同
一とされる。なお、上記基底部２ａを、円形状とするこ
ともできるが、基底部２ａを正方形状に構成したとき
は、容器本体２の底部２ａの角部を一方の手で挟み込
み、他方の手で蓋部を回動させることも容易となるの
で、ウエハを収納用帯電防止容器を空中に持ち上げて蓋
体の取外しを行う、と言った作業の必要はなくなる。一
方、蓋体３は、全体が正四角柱状をなし、円筒部３ａ
と、この円筒部３ａに外接する角筒部３ｂとにより構成
されている。この円筒部３ａは、容器本体２の円筒部２
ｂを覆い、下端部が容器本体２の基底部２ａの一部を残
して覆っている。なお、円筒部３ａは、本発明容器にお
いては必須ではないが、本実施例では、該円筒部３ａ
は、蓋体３と容器本体２との着脱の際の、案内手段等と
しての役割をなしている。

【００２８】図３にも示すように、蓋体３の上面には、
円形台状の突起からなる着脱用凸部３ｃが形成されてい
る。着脱用凸部３ｃは、作業員が把持できるように直径
が１００ｍｍ程度となっており、その外周面には滑り止
め用のローレットが形成されている。さらに、蓋体３の
上面には、着脱用凸部３ｃと所定の間隔を開けてその周
囲にリング状突起３ｄが同心円をなして形成されてい
る。これに対応して容器本体２の基底部２ａの下面に
は、リング状突起３ｄの外周面が嵌合する外周壁２ｅが
形成されており、これらで多数のウエハ収納容器１を相
互に上下方向に積み重ねて一体化させる凹凸部が構成さ
れている。図１〜図３に示した蓋体３では、着脱用凸部
３ｃとリングリング状突起３ｄにてリング状の溝を形成
したが、例えば図４に示すように、蓋体３の上面部Ｓ
に、親指あるいは親指以外の４指が入る着脱用の断続的
な溝３ｊを形成することもできる。ところで、ローレッ
トを着脱用の滑り止めに使用する場合、手垢等が該ロー
レットの微細な溝内に付着する場合があるが、手垢等が
付着したウエハ収納容器を、クリーンルーム内に持ち込
むことは、防塵の観点から好ましいことではない。蓋体
３を、図４のように構成する場合には、溝３ｊの内側面
には図１に示したようなローレットを形成しなくても、
蓋体３の着脱を容易に行うことができる。なお、図示は
しないが、容器本体２の基底部２ａも上記と同様に形成
できる。

【００２９】容器本体２の基底部２ａ上面（容器側内
面）は同心円状の複数の補強リブが突出する凹凸形状と
なっているが、これらの上端は同一面上に位置してお
り、ウエハを水平に載置できるようになっている。また
この基底部２ａの上面に対向する蓋体３の内面も同様に
構成されている。ここで、図５の要部拡大断面図および
図６の同じく断面図（図５のＶ矢視断面図）に示すよう
に、容器本体２の円筒部２ｂ外面と蓋体３の円筒部３ａ
内面との間には、両者を着脱するための部分ねじが構成
されている。すなわち、容器本体２のスリット２ｃで４
分割された円筒部２ｂの各部分において、その外周面上
端部の幅方向中央部には、部分雄ねじとして長さ約２０
ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の突条体２ｆが約６．５°の右ね
じリード角を以ってそれぞれ突設されている。

【００３０】一方、蓋体３の円筒部３ａの上端部には、
容器本体２の円筒部２ｂの上端部が嵌まる小径部３ｅが
段部３ｆを介して形成され、この小径部３ｅ内周面に
は、上記４個の突条体２ｆがそれぞれ嵌合する部分雌ね
じとしての長さ約６５ｍｍｍの４個の傾斜溝３ｇが円周
方向に４等配した位置にそれぞれ形成されている。そし
て各傾斜溝３ｇの下端部は上記段部３ｆに開口した周長
約２５ｍｍの突条体導入口３ｈに連続しており、この突
条体導入口３ｈに導入された上記突条体２ｆは容器本体
２と蓋体３とが約３０°相対回動することで傾斜溝３ｇ
に沿ってウエハ収納容器１の高さ方向に約９ｍｍ移動す
るようになっている。なお、部分ねじは、蓋体３の円筒
部の外側下端部に突条体を設け、容器本体の内側下端部
に、図５および図６で示される雌ねじ部を形成してもよ
いが、本発明容器を金型成形する場合には、スライド金
型が用いられるが、前述したように、本体筒部の上端部
に突状体を設ける場合の方が、金型が複雑にならず有利
である。

【００３１】図５中符号３ｉで示すものは、容器本体２
の円筒部２ｂの上端部内周面を案内するように蓋体３の
内面に突設された円弧状突起３ｉであり、図２に示すよ
うに円周方向に４等配して設けられている。

【００３２】このような構造を有するウエハ収納容器１
の容器本体２および蓋体３は、透明で、かつ表面抵抗値
が製造後無処理で１×１０^１０〜９×１０^１２Ω・ｃ
ｍ、製造後水洗した後も１×１０^１０〜９×１０^１２Ω
・ｃｍ、半年後においても１×１０^１０〜９×１０^１２
Ω・ｃｍ、半年後水洗した後も１×１０^１０〜９×１０
^１２Ω・ｃｍの永久帯電防止性能を有する永久帯電防止
樹脂を素材として一体成形されている。

【００３３】次に、上記ウエハ収納容器１について、そ
の作用を説明する。まず、ウエハを運搬あるいは保管す
る場合、ウエハは容器本体２の円筒部２ｂ内に収納す
る。その際、多数のウエハを収納する場合には、所定枚
数毎にクッションシート、導電シート、あるいは導電紙
等（本願出願人による平成７年９月１３日特許出願の名
称「導電紙および該導電紙を使用した複合材料」参照）
を介在させるのが好ましい。そして収納されたウエハ上
に隙間がある場合には、ウエハの踊りを防止する意味で
クッションシートを適当厚さ分載せ、この状態で容器本
体２に蓋体３を被ぶせて組み付ける。

【００３４】ここで、容器本体２に対する蓋体３の組み
付け作業は、まず容器本体２の円筒部２ｂに蓋体３の円
筒部３ａを被ぶせ、その上端部内面の段部３ｆに開口す
る各突条体導入口３ｈを円筒部２ｂ上端部の各突条体２
ｆに合致させ、両者を右ねじ方向に相対回動させる。こ
の作業は、テーブル等の平坦な場所に、容器本体２を置
いた状態で行うこともできるし、蓋体３の着脱用凸部３
ｃと容器本体２の下部側面とを両手にそれぞれ把持して
行うこともできる。容器本体２の基底部２ａが正方形状
である場合には、正方形の角部を一方の手で押さえ付け
ることで、容器本体２をテーブル等に固定できるので、
上記作業を一層迅速かつ容易に行うことができる。な
お、蓋体３が、容器本体２の全体を覆うような場合に
は、下端部が（すなわち、容器本体２の下部側面を把持
できないような場合）には、容器本体の底部下面にも、
着脱用凸部を設けておく（通常、嵌合用凹凸部と共用さ
れる）こともできる。

【００３５】上記相対回動により、各突条体２ｆは突条
体導入口３ｈから傾斜溝３ｇに沿ってウエハ収納容器１
の高さ方向に約９ｍｍ移動する。この移動は、３０°程
度の回動に伴って行われ、容器本体２に対する蓋体３の
組み付け作業が終了する。傾斜溝３ｇの先端の幅を、突
条体２ｆの幅と同じくする等の手段を講じることで、組
み付けの強度を強化することもできる。なお、収納用帯
電防止容器１内のウエハを取り出すべく、容器本体２か
ら蓋体３を取り外す作業は、上記と逆の手順で行われ
る。このようにして、容器本体２と蓋体３との着脱作業
は極めて迅速かつ容易に行われる。

【００３６】ウエハを収納した収納用帯電防止容器１
は、容器本体２の基底部２ａを下にして縦置きすること
は勿論できるが、蓋体３の角筒部３ｂにより周面形状が
四角形をなすので、角筒部３ｂの一面を下にして横置き
することも自在である。そこで、多数のウエハを収納し
た収納用帯電防止容器１は横置きするのが好ましい場合
もある。こうすることで、各ウエハは垂直姿勢に保持さ
れるから、多数のウエハが水平姿勢で積み重ねられる場
合に発生するウエハの破壊を未然に防止することができ
る。

【００３７】さらに、このようにウエハ収納容器１は縦
置き、横置き自在であるので、運搬時に専用箱等へ収納
する際には、縦置き、または横置きを任意に組み合わせ
ることで隙間なく収納することができ、収納スペースを
有効に活用できる。なお、多数のウエハ収納容器１を縦
置きする場合には、下に位置するウエハ収納容器１の蓋
体３に形成されたリング状突起３ｄと上に位置するウエ
ハ収納容器１の容器本体２に形成された外周壁２ｅとを
嵌合させることで、多数のウエハ収納容器１を相互に上
下方向に積み重ねて一体化することができる。

【００３８】ウエハ収納容器１内に保管されたウエハを
取り出すには、前述のように容器本体２から蓋体３を取
り外し、適宜の吸着具を用いてウエハを容器本体２の円
筒部２ｂから取り出す。この場合、容器本体２の円筒部
２ｂにはその先端部から基端部に亙る所定幅の大気開放
用のスリット２ｃが形成されているので、ウエハは破損
することなく容易かつ確実に取り出される。

【００３９】なお、図７に示したような、従来のウエハ
収納容器を射出成形により製造する場合には、成形品を
捩じりつつ脱型する工程が必要となる。これに対し、本
発明のウエハ収納容器は、部分ねじを用いているので、
上記のような工程を必要としないので、製造コストを低
減することができる。

【００４０】

【具体例】径８インチのウエハ用の収納用帯電防止容器
を、以下に示す永久帯電防止樹脂を使用し、以下に示す
成形技術により製造し、製造後無処理、製造後水洗、半
年後無処理、半年後水洗の表面抵抗値を測定した。

【００４１】例１ ＡＢＳ系永久帯電防止樹脂（旭化成株式会社製商品名
“アディオンＡ Ａ−１００”）を使用し、樹脂温度２
４０℃、金型温度５０℃、射出圧力１５００ｋｇ／ｃｍ
^２で射出成形して、図１〜図６に示すウエハ収納容器を
製造した。この容器について、次の要領により、透明
性、耐衝撃性、表面ベタ付、表面抵抗値変化（すなわ
ち、製造後無処理、製造後水洗、半年後無処理、半年後
水洗の表面抵抗値）を測定し、その結果を表１に示し
た。

【００４２】透明性：容器内部に、表面にラベルを貼着
した８インチのフロッピーディスクを収納し、ラベルに
記載されている文字が容器外から鮮明に読める場合を
○、ぼやけてはいるが読める場合を△、全く読めない場
合を×とした。

【００４３】耐衝撃性：容器を高さ１ｍから自由落下さ
せ、容器の損傷度合いを観察し、割れが発生していない
場合を○、割れが発生している場合を×とした。

【００４４】表面ベタ付：製造後１カ月放置したもの
を、２３℃、５０％ＲＨの条件下に４８時間置き、容器
表面状態を触手にて観察した。

【００４５】表面抵抗変化：三菱油化株式会社製の抵抗
計“ハイレスタ”，“ロレスタ”を使用して、次のよう
にして測定した。 １）製造後無処理；製造後１日経過したものを、２３
℃、５０％ＲＨの条件下に４８時間置き、測定した。 ２）製造後水洗；製造後１日経過したものを、５分間流
水中に浸漬後、水分を拭き取り、２３℃、５０％ＲＨの
条件下に４８時間置き、測定した。 ３）半年後無処理；製造後６カ月経過したものを、２３
℃、５０％ＲＨの条件下に４８時間置き、測定した。 ４）半年後水洗；製造後６カ月経過したものを、５分間
流水中に浸漬後、水分を拭き取り、２３℃、５０％ＲＨ
の条件下に４８時間置き、測定した。

【００４６】例２ ＨＩＰＳ系永久帯電防止樹脂（旭化成株式会社製商品名
“アディオンＨ Ｈ−１００”）を使用し、樹脂温度２
３０℃、金型温度４０℃、射出圧力１２００ｋｇ／ｃｍ
^２で射出成形して、例１と同じウエハ収納容器を製造し
た。この容器について、例１と同じ要領にて、透明性、
耐衝撃性、表面ベタ付、表面抵抗値変化を測定し、その
結果を表１に併せて示した。

【００４７】例３ ＡＢＳ系永久帯電防止樹脂（東レ株式会社製商品名“ト
ヨラックパレル ＴＵ−０６”）を使用し、樹脂温度２
３０℃、金型温度４０℃、射出圧力１２００ｋｇ／ｃｍ
^２で射出成形して、例１と同じウエハ収納容器を製造し
た。この容器について、例１と同じ要領にて、透明性、
耐衝撃性、表面ベタ付、表面抵抗値変化を測定し、その
結果を表１に併せて示した。

【００４８】例４ ＡＢＳ系帯電防止剤入り樹脂（花王株式会社製商品名
“エレクトロストリッパＳ−１５００”なる帯電防止剤
を１重量部添加した東レ株式会社製商品名“トヨラック
５００”）を使用し、樹脂温度２４０℃、金型温度５０
℃、射出圧力１５００ｋｇ／ｃｍ^２で射出成形して、例
１と同じウエハ収納容器を製造した。この容器につい
て、例１と同じ要領にて、透明性、耐衝撃性、表面ベタ
付、表面抵抗値変化を測定し、その結果を表１に併せて
示した。

【００４９】例５ ＰＰ系帯電防止剤入り樹脂（出光石油化学株式会社製商
品名“Ｊ−２０２１ＧＲ”）を使用し、樹脂温度２４０
℃、金型温度５０℃、射出圧力１３００ｋｇ／ｃｍ^２で
射出成形して、例１と同じウエハ収納容器を製造した。
この容器について、例１と同じ要領にて、透明性、耐衝
撃性、表面ベタ付、表面抵抗値変化を測定し、その結果
を表１に併せて示した。

【００５０】例６ ＰＰ系カーボンブラック入り樹脂（大日本インキ化学工
業株式会社製商品名“ダイエレックＳ ＰＰ−５５
０”）を使用し、樹脂温度２３０℃、金型温度５０℃、
射出圧力１５００ｋｇ／ｃｍ^２で射出成形して、例１と
同じウエハ収納容器を製造した。この容器について、例
１と同じ要領にて、透明性、耐衝撃性、表面ベタ付、表
面抵抗値変化を測定し、その結果を表１に併せて示し
た。

【００５１】例７ ＰＰ系マイクロステンレス鋼繊維入り樹脂（川鉄テクノ
リサーチ株式会社製商品名“ＧＣ３００／ＰＰ”）を使
用し、樹脂温度２４０℃、金型温度５０℃、射出圧力１
４００ｋｇ／ｃｍ^２で射出成形して、例１と同じウエハ
収納容器を製造した。この容器について、例１と同じ要
領にて、透明性、耐衝撃性、表面ベタ付、表面抵抗値変
化を測定し、その結果を表１に併せて示した。

【００５２】

【表１】

【００５３】表１から明らかなように、永久帯電防止樹
脂を素材とする例１〜３では、表面抵抗直の変化がな
く、耐衝撃性があり、表面ベタ付がなく、優れたウエハ
収納容器が得られている。帯電防止剤入り樹脂を素材と
する例４，５では、表面抵抗直の変化が大きく、表面ベ
タ付（帯電防止剤のブリードによる）があり、長期間の
使用には問題がある。カーボンブラック入り樹脂を素材
とする例６では、表面抵抗直は安定しているが、耐衝撃
性の点で問題がある。マイクロステンレス鋼入り樹脂を
素材とする例７では、例１〜３の場合と同様に、表面抵
抗直が安定し、耐衝撃性があり、表面ベタ付性がなく、
ウエハ収納容器が得られているが、不透明であり、透明
性を必要とする容器には不向きである。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、以
下の効果を奏することができる。 （１）容器本体を覆う蓋体の周面形状が四角形をなすの
で、ウエハ収納容器は従来同様に縦置きすることは勿論
のこと、横置きすることも自在である。これにより、多
数のウエハを収納する場合にはウエハ収納容器を横置き
し、各ウエハを垂直姿勢に保持することもできる。した
がって、多数のウエハが水平姿勢で積み重ねられる場合
に発生するウエハの破壊を未然に防止することができ
る。また、運搬時にウエハ収納容器を専用箱等へ収納す
る際には、縦置き、または横置きを任意に組み合わせる
ことで隙間なく収納することができ、収納スペースを有
効に活用できる。

【００５５】（２）容器本体と蓋体との間には、１５°
〜４５°、好ましくは３０°程度の相対回動角度で両者
を着脱できる部分ねじを設けたので、容器本体と蓋体と
の着脱作業を、該収納用帯電防止容器を空中に持ち上げ
ることなく行うことが可能となった。これにより、該着
脱作業を迅速かつ容易に行うことができ、さらに作業ミ
スによるウエハ収納容器の落下の危険性が、著しく低減
された。

【００５６】（３）容器本体および蓋体を永久帯電防止
樹脂を素材として成形しているので、長期間に渡って静
電気の帯電を効果的に防止することができ、特に透明な
永久帯電防止樹脂の場合には、内部に収納したウエハの
状態等を、容器の密封状態を確保したまま、容器外から
容易に観察することができる。特に、長期間に渡って繰
り返し使用する場合において、そして空拭きや水洗が繰
り返し行われる場合において、長期間安定した帯電防止
性能を得ることができる。しかも、素材樹脂からの添加
剤のブリードアウトと言った問題もなく、ウエハの汚染
を回避することができる。

【００５７】（４）容器本体の筒部周面に大気開放口を
設けた場合には、容器本体内に収納されたウエハを真空
吸着等により取り出すことが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるウエハ収納容器の一実施例の全体
構造を一部断面として示す分解斜視図である。

【図２】図１のウエハ収納容器を半断面として示す平面
図である。

【図３】図１のウエハ収納容器を半断面として示す側面
図である。

【図４】ウエハ収納容器の蓋体上面に断続的な溝が形成
された、実施例を示す図である。

【図５】図１〜図４に示すウエハ収納容器の要部拡大断
面図である。

【図６】図５のＶ矢視図である。

【図７】従来のウエハ収納容器の全体構造を一部断面と
して示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１ ウエハ収納容器 ２ 容器本体 ２ａ 基底部 ２ｂ 円筒部 ２ｃ スリット ２ｄ 着脱用ローレット ２ｅ 外周壁 ２ｆ 突条体 ３ 蓋体 ３ａ 円筒部 ３ｂ 角筒部 ３ｃ 着脱用凸部 ３ｄ リング状突起 ３ｅ 小径部 ３ｆ 段部 ３ｇ 傾斜溝 ３ｈ 突条体導入口 ３ｉ 円弧状突起 ３ｊ 着脱用溝

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状の半導体ウエハを多数枚重ねて収
   納可能な有底円筒状の容器本体と、容器本体の円筒部外
   周を覆う筒部を有する蓋体とで構成し、 容器本体の円筒部外面と蓋体の筒部内面との間に１５°
   〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじを
   設け、 容器本体の底部を円形状または正方形状とし、蓋体の筒
   部を正四角柱形状に構成してなる半導体ウエハ収納用帯
   電防止容器であって、 容器本体および蓋体を永久帯電防止樹脂を素材してと形
   成してなることを特徴とする半導体ウエハ収納用帯電防
   止容器。
2. 【請求項２】 永久帯電防止樹脂が透明であることを特
   徴とする請求項１記載の半導体ウエハ収納用帯電防止容
   器。
3. 【請求項３】 半導体ウエハ収納用帯電防止容器の表面
   抵抗値が、 １×１０^１０〜９×１０^１２Ω・ｃｍであり、 ６カ月経過においても、１×１０^１０〜９×１０^１２Ω
   ・ｃｍであることを特徴とする請求項１〜２記載の半導
   体ウエハ収納用帯電防止容器。