JPH0990216A - テレセントリックｆθレンズ - Google Patents
テレセントリックｆθレンズInfo
- Publication number
- JPH0990216A JPH0990216A JP24484695A JP24484695A JPH0990216A JP H0990216 A JPH0990216 A JP H0990216A JP 24484695 A JP24484695 A JP 24484695A JP 24484695 A JP24484695 A JP 24484695A JP H0990216 A JPH0990216 A JP H0990216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- object side
- concave surface
- telecentricity
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型軽量で低コストで、収差を良好に補正
し、ｆθ特性、テレセントリック性が良好なｆθレンズ
を得る。 【構成】 物体側から、物体側に凹面が向く負メニスカ
スレンズの第１レンズ１、物体側に凹面が向く正メニス
カスレンズの第２レンズ２、物体側に凹面が向く正のメ
ニスカスレンズの第３レンズ３、正レンズの第４レンズ
４が順に配され、全系の焦点距離ｆ、第１、第２、第３
レンズの焦点距離ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 、偏向装置の偏向面
から第１レンズ１までの距離ｄ0 、第１レンズ１の入射
面の曲率半径ｒ1 が、それぞれ、−１．０＜ｆ1 ／ｆ＜
−０．４、０．５＜ｆ2 ／ｆ＜２．１、１．４＜ｆ3 ／
ｆ＜２．１、−０．９＜ｒ1 ／ｄ0 ＜−０．５を満足す
る。
し、ｆθ特性、テレセントリック性が良好なｆθレンズ
を得る。 【構成】 物体側から、物体側に凹面が向く負メニスカ
スレンズの第１レンズ１、物体側に凹面が向く正メニス
カスレンズの第２レンズ２、物体側に凹面が向く正のメ
ニスカスレンズの第３レンズ３、正レンズの第４レンズ
４が順に配され、全系の焦点距離ｆ、第１、第２、第３
レンズの焦点距離ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 、偏向装置の偏向面
から第１レンズ１までの距離ｄ0 、第１レンズ１の入射
面の曲率半径ｒ1 が、それぞれ、−１．０＜ｆ1 ／ｆ＜
−０．４、０．５＜ｆ2 ／ｆ＜２．１、１．４＜ｆ3 ／
ｆ＜２．１、−０．９＜ｒ1 ／ｄ0 ＜−０．５を満足す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テレセントリックな特
性を有する４枚構成のｆθレンズ系に関するものであ
る。
性を有する４枚構成のｆθレンズ系に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】レーザプリンタやファクシミリ、またレ
ーザ検査装置やレーザ加工装置等において光走査装置が
用いられている。光源からの光束を回転多面鏡等の偏向
装置により偏向し、偏向された光束を結像レンズ系によ
って走査面上にスポットとして結像させる光走査装置に
おいて、ｆθレンズは偏向装置により等角速度的に偏向
された光束を走査面上にスポットとして結像させ、かつ
前記スポットの等速度的な走査を可能にするレンズであ
る。
ーザ検査装置やレーザ加工装置等において光走査装置が
用いられている。光源からの光束を回転多面鏡等の偏向
装置により偏向し、偏向された光束を結像レンズ系によ
って走査面上にスポットとして結像させる光走査装置に
おいて、ｆθレンズは偏向装置により等角速度的に偏向
された光束を走査面上にスポットとして結像させ、かつ
前記スポットの等速度的な走査を可能にするレンズであ
る。
【０００３】このとき、焦点距離をｆとすると、走査面
上像高Ｙと、偏向装置により光軸より偏向された角度θ
との間に、等速性を示すｆθ特性といわれる Ｙ＝ｆ・θ なる関係が成立する。
上像高Ｙと、偏向装置により光軸より偏向された角度θ
との間に、等速性を示すｆθ特性といわれる Ｙ＝ｆ・θ なる関係が成立する。
【０００４】一般的なｆθレンズはテレセントリックで
はなく、走査面がデフォーカスするとｆθ特性が得られ
ない等の問題が生じ、画像形成に影響するほか、レーザ
検査装置やレーザ加工装置等においては特に、レーザが
斜めに入射して突出部の影になる部分の検査が不備にな
ったり、奥行きのある加工が傾斜してしまうと云った問
題が生じる。
はなく、走査面がデフォーカスするとｆθ特性が得られ
ない等の問題が生じ、画像形成に影響するほか、レーザ
検査装置やレーザ加工装置等においては特に、レーザが
斜めに入射して突出部の影になる部分の検査が不備にな
ったり、奥行きのある加工が傾斜してしまうと云った問
題が生じる。
【０００５】テレセントリック性を有するｆθレンズと
しては、例えば特開昭６２−２５４１１２号公報、特開
平２−９３５１１号公報に開示されている。このものは
最低６枚構成とすることで所望の特性が得られるように
している。
しては、例えば特開昭６２−２５４１１２号公報、特開
平２−９３５１１号公報に開示されている。このものは
最低６枚構成とすることで所望の特性が得られるように
している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のレンズのように最低６枚構成となるのでは、テレセ
ントリック性が得られ、また各種の収差を補正しやすい
ものであっても、全体が長くて大きいので、今日の小型
化、軽量化、低コスト化の要請に応え難い。一方４枚構
成程度のもので各種収差が十分に補正でき、テレセット
リック性やｆθ性を十分に満足するものはまだ提供され
ていない。
来のレンズのように最低６枚構成となるのでは、テレセ
ントリック性が得られ、また各種の収差を補正しやすい
ものであっても、全体が長くて大きいので、今日の小型
化、軽量化、低コスト化の要請に応え難い。一方４枚構
成程度のもので各種収差が十分に補正でき、テレセット
リック性やｆθ性を十分に満足するものはまだ提供され
ていない。
【０００７】そこで本発明者等は種々研究し、検討を重
ねた結果、４枚４群構成のｆθレンズ系において、各種
レンズの組合せと、各レンズおよび全体の焦点距離の相
互関係、さらに偏向面から第１レンズまでの距離および
第１レンズの入射面の曲率半径の相互関係等が、ｆθレ
ンズ系全体の主要な特性、例えば球面収差、像面湾曲、
ｆθ特性、テレセントリック性を大きく、左右すること
が判明した。
ねた結果、４枚４群構成のｆθレンズ系において、各種
レンズの組合せと、各レンズおよび全体の焦点距離の相
互関係、さらに偏向面から第１レンズまでの距離および
第１レンズの入射面の曲率半径の相互関係等が、ｆθレ
ンズ系全体の主要な特性、例えば球面収差、像面湾曲、
ｆθ特性、テレセントリック性を大きく、左右すること
が判明した。
【０００８】本発明は上記知見に基づき従来の問題点を
解決することを課題とし、４枚構成で、収差を良好に補
正し、ｆθ特性、テレセントリック性が良好なｆθレン
ズを提供することを目的とする。
解決することを課題とし、４枚構成で、収差を良好に補
正し、ｆθ特性、テレセントリック性が良好なｆθレン
ズを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のテレセントリックｆθレンズは、物体側か
ら像側に向かって順に、物体側に凹面を向けた負のメニ
スカスレンズの第１レンズと、物体側に凹面を向けた正
のメニスカスレンズの第２レンズと、物体側に凹面を向
けた正のメニスカスレンズの第３レンズと、正レンズの
第４レンズとからなる４群４枚構成のレンズ系で、全系
の焦点距離をｆ、第１、第２、第３レンズの焦点距離を
ｆ1 、ｆ2 、ｆ3、偏向装置の偏向面から第１レンズま
での距離をｄ0 、第１レンズの入射面の曲率半径をｒ1
とするとき、 （１）−１．０＜ｆ1 ／ｆ＜−０．４ （２） ０．５＜ｆ2 ／ｆ＜ ２．１ （３） １．４＜ｆ3 ／ｆ＜ ２．１ （４）−０．９＜ｒ1 ／ｄ0 ＜−０．５ なる条件を満足することを特徴とするものである。
めに本発明のテレセントリックｆθレンズは、物体側か
ら像側に向かって順に、物体側に凹面を向けた負のメニ
スカスレンズの第１レンズと、物体側に凹面を向けた正
のメニスカスレンズの第２レンズと、物体側に凹面を向
けた正のメニスカスレンズの第３レンズと、正レンズの
第４レンズとからなる４群４枚構成のレンズ系で、全系
の焦点距離をｆ、第１、第２、第３レンズの焦点距離を
ｆ1 、ｆ2 、ｆ3、偏向装置の偏向面から第１レンズま
での距離をｄ0 、第１レンズの入射面の曲率半径をｒ1
とするとき、 （１）−１．０＜ｆ1 ／ｆ＜−０．４ （２） ０．５＜ｆ2 ／ｆ＜ ２．１ （３） １．４＜ｆ3 ／ｆ＜ ２．１ （４）−０．９＜ｒ1 ／ｄ0 ＜−０．５ なる条件を満足することを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】上記条件（１）〜（４）は、上記特定の４群４
枚構成のレンズ系の球面収差、像面湾曲、ｆθ特性、テ
レセントリック性と云った主要な特性を所要の範囲に抑
えるのに有効に働き、上記条件（１）の上限を越えると
球面収差がオーバーに、主・副走査方向の像面湾曲、ｆ
θ特性、テレセントリック性がアンダーになる。
枚構成のレンズ系の球面収差、像面湾曲、ｆθ特性、テ
レセントリック性と云った主要な特性を所要の範囲に抑
えるのに有効に働き、上記条件（１）の上限を越えると
球面収差がオーバーに、主・副走査方向の像面湾曲、ｆ
θ特性、テレセントリック性がアンダーになる。
【００１１】また、下限を越えると球面収差がアンダー
に、ｆθ特性、テレセントリック性がオーバーになる。
に、ｆθ特性、テレセントリック性がオーバーになる。
【００１２】上記条件（２）の上限を越えると、主・副
走査方向の像面湾曲、ｆθ特性、テレセントリック性が
アンダーになる。また、下限を越えると球面収差がアン
ダーに、ｆθ特性、テレセントリック性がオーバーにな
る。
走査方向の像面湾曲、ｆθ特性、テレセントリック性が
アンダーになる。また、下限を越えると球面収差がアン
ダーに、ｆθ特性、テレセントリック性がオーバーにな
る。
【００１３】上記条件（３）の上限を越えるとｆθ特性
がアンダーになる。また、下限を越えると主・副走査方
向の像面湾曲アンダーになる。
がアンダーになる。また、下限を越えると主・副走査方
向の像面湾曲アンダーになる。
【００１４】上記条件（４）の上限を越えると球面収差
がオーバーに、、主・副走査方向の像面湾曲、ｆθ特
性、テレセントリック性がアンダーになる。また、下限
を越えると球面収差がアンダーに、ｆθ特性、テレセン
トリック性がオーバーになる。
がオーバーに、、主・副走査方向の像面湾曲、ｆθ特
性、テレセントリック性がアンダーになる。また、下限
を越えると球面収差がアンダーに、ｆθ特性、テレセン
トリック性がオーバーになる。
【００１５】したがって上記の条件（１）〜（４）を満
足することによって、４枚構成で、収差を良好に補正
し、ｆθ特性、テレセントリック性が良好なｆθレンズ
を得ることができる。
足することによって、４枚構成で、収差を良好に補正
し、ｆθ特性、テレセントリック性が良好なｆθレンズ
を得ることができる。
【００１６】
【実施の形態】以下、本発明の実施の形態について２つ
の実施例とともに図面を参照しながら説明する。
の実施例とともに図面を参照しながら説明する。
【００１７】本発明の実施の形態では図１、図３に示す
第１、第２の実施例で明らかなように、物体側から像側
に向かって順に、物体側に凹面を向けた負のメニスカス
レンズの第１レンズ１と、物体側に凹面を向けた正のメ
ニスカスレンズの第２レンズ２と、物体側に凹面を向け
た正のメニスカスレンズの第３レンズ３と、正レンズの
第４レンズ４とからなる４群４枚構成のレンズ系を基本
構成としている。
第１、第２の実施例で明らかなように、物体側から像側
に向かって順に、物体側に凹面を向けた負のメニスカス
レンズの第１レンズ１と、物体側に凹面を向けた正のメ
ニスカスレンズの第２レンズ２と、物体側に凹面を向け
た正のメニスカスレンズの第３レンズ３と、正レンズの
第４レンズ４とからなる４群４枚構成のレンズ系を基本
構成としている。
【００１８】このような基本構成を持ったレンズ系で
は、第１〜第４の各レンズ１〜４の焦点距離ｆ1 〜ｆ4
とレンズ系全体の焦点距離ｆとの各関係、および入射瞳
である偏向装置の偏向面から第１レンズ１までの距離ｄ
0 と第１レンズ１の入射面の曲率半径ｒ1 との関係等
が、レンズ系全体の主要な特性、例えば球面収差、像面
湾曲、ｆθ特性、テレセントリック性等を大きく左右す
る。
は、第１〜第４の各レンズ１〜４の焦点距離ｆ1 〜ｆ4
とレンズ系全体の焦点距離ｆとの各関係、および入射瞳
である偏向装置の偏向面から第１レンズ１までの距離ｄ
0 と第１レンズ１の入射面の曲率半径ｒ1 との関係等
が、レンズ系全体の主要な特性、例えば球面収差、像面
湾曲、ｆθ特性、テレセントリック性等を大きく左右す
る。
【００１９】そこで、本発明者等は、各種条件を種々に
操作して、レンズ系全体の各種特性の変化を見たとこ
ろ、ｆ1 ／ｆ、ｆ2 ／ｆ、ｆ3 ／ｆ、およびｒ1 ／ｄ0
が重要である。
操作して、レンズ系全体の各種特性の変化を見たとこ
ろ、ｆ1 ／ｆ、ｆ2 ／ｆ、ｆ3 ／ｆ、およびｒ1 ／ｄ0
が重要である。
【００２０】そして、ｆ1 ／ｆについては−０．４を上
回ると球面収差がオーバーに、主・副走査方向の像面湾
曲、ｆθ特性、テレセントリック性がアンダーになる。
また、−１．０を下回ると球面収差がアンダーに、ｆθ
特性、テレセントリック性がオーバーになる。
回ると球面収差がオーバーに、主・副走査方向の像面湾
曲、ｆθ特性、テレセントリック性がアンダーになる。
また、−１．０を下回ると球面収差がアンダーに、ｆθ
特性、テレセントリック性がオーバーになる。
【００２１】ｆ2 ／ｆについては、２．１を上回ると、
主・副走査方向の像面湾曲、ｆθ特性、テレセントリッ
ク性がアンダーになる。また、０．５を下回ると球面収
差がアンダーに、ｆθ特性、テレセントリック性がオー
バーになる。
主・副走査方向の像面湾曲、ｆθ特性、テレセントリッ
ク性がアンダーになる。また、０．５を下回ると球面収
差がアンダーに、ｆθ特性、テレセントリック性がオー
バーになる。
【００２２】ｆ3 ／ｆについては２．１を上回るとθ特
性がアンダーになる。また、１．４を下回ると主・副走
査方向の像面湾曲がアンダーになる。
性がアンダーになる。また、１．４を下回ると主・副走
査方向の像面湾曲がアンダーになる。
【００２３】ｒ1 ／ｄ0 については、−０．５を上回る
と球面収差がオーバーに、、主・副走査方向の像面湾
曲、ｆθ特性、テレセントリック性がアンダーになる。
また、−０．９を下回ると球面収差がアンダーに、ｆθ
特性、テレセントリック性がオーバーになる。
と球面収差がオーバーに、、主・副走査方向の像面湾
曲、ｆθ特性、テレセントリック性がアンダーになる。
また、−０．９を下回ると球面収差がアンダーに、ｆθ
特性、テレセントリック性がオーバーになる。
【００２４】したがって、 （１）−１．０＜ｆ1 ／ｆ＜−０．４ （２） ０．５＜ｆ2 ／ｆ＜ ２．１ （３） １．４＜ｆ3 ／ｆ＜ ２．１ （４）−０．９＜ｒ1 ／ｄ0 ＜−０．５ を満足するのが好適であり、収差を良好に補正し、ｆθ
特性、テレセントリック性が良好なｆθレンズを４枚構
成で、得ることができた。
特性、テレセントリック性が良好なｆθレンズを４枚構
成で、得ることができた。
【００２５】次に実施例について説明すると、図１、図
３に示す第１、第２の各実施例において、ｆは全系の焦
点距離、物体側から第ｉ番目のレンズの焦点距離を
ｆ1 、Ｆはレンズ系のＦナンバー、２ωは偏向角、物体
側から第ｉ番目のレンズ面の曲率半径をｒi （i ＝１〜
８）、偏向装置の偏向面から第１レンズまでの距離をｄ
0、第ｉ番目と第ｉ＋１番目の面間隔をｄi （i ＝１〜
７）、第ｊ番目のレンズの屈折率をｎj （j ＝１〜４）
とする。
３に示す第１、第２の各実施例において、ｆは全系の焦
点距離、物体側から第ｉ番目のレンズの焦点距離を
ｆ1 、Ｆはレンズ系のＦナンバー、２ωは偏向角、物体
側から第ｉ番目のレンズ面の曲率半径をｒi （i ＝１〜
８）、偏向装置の偏向面から第１レンズまでの距離をｄ
0、第ｉ番目と第ｉ＋１番目の面間隔をｄi （i ＝１〜
７）、第ｊ番目のレンズの屈折率をｎj （j ＝１〜４）
とする。
【００２６】全系の焦点距離をｆ、第１、第２、第３レ
ンズの焦点距離をｆ1 、ｆ2 、ｆ3、偏向装置の偏向面
から第１レンズまでの距離をｄ0 、第１レンズの入射面
の曲率半径をｒ1 とするとき、 （実施例１）
ンズの焦点距離をｆ1 、ｆ2 、ｆ3、偏向装置の偏向面
から第１レンズまでの距離をｄ0 、第１レンズの入射面
の曲率半径をｒ1 とするとき、 （実施例１）
【００２７】
【表１】
【００２８】図１は実施例１のレンズ断面を、図２の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はレンズの諸収差を示す。
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はレンズの諸収差を示す。
【００２９】（実施例２）
【００３０】
【表２】
【００３１】図３は実施例２のレンズ断面を、図４の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はレンズの諸収差を示す。
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はレンズの諸収差を示す。
【００３２】以上で明らかなように、図１、図３の各実
施例はいずれも本発明の目的を達成するものである。
施例はいずれも本発明の目的を達成するものである。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明は、４枚構成と小型
で、収差を良好に補正し、ｆθ特性、テレセントリック
性が良好なｆθレンズを実現できるものである。
で、収差を良好に補正し、ｆθ特性、テレセントリック
性が良好なｆθレンズを実現できるものである。
【図１】本発明の実施の形態における第１実施例のレン
ズ系を示す断面図である。
ズ系を示す断面図である。
【図２】図１のレンズ系の諸収差を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態における第２実施例のレン
ズ系の断面図である。
ズ系の断面図である。
【図４】図３のレンズ系の諸収差を示す図である。 １ 第１レンズ ２ 第２レンズ ３ 第３レンズ ４ 第４レンズ ｆ レンズ系の焦点距離 ｆ1 第１レンズの焦点距離 ｆ2 第２レンズの焦点距離 ｆ3 第３レンズの焦点距離 ｒ1 第１レンズの入射面の曲率半径 ｄ0 偏向装置の偏向面から第１レンズまでの距離
Claims (1)
- 【請求項１】 物体側から像側に向かって順に、物体側
に凹面を向けた負のメニスカスレンズの第１レンズと、
物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズの第２レン
ズと、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズの第
３レンズと、正レンズの第４レンズとからなる４群４枚
構成のレンズ系で、 全系の焦点距離をｆ，第１、第２、第３レンズの焦点距
離をｆ1 、ｆ2 、ｆ3、偏向装置の偏向面から第１レン
ズまでの距離をｄ0 、第１レンズの入射面の曲率半径を
ｒ1 とするとき、 （１）−１．０＜ｆ1 ／ｆ＜−０．４ （２） ０．５＜ｆ2 ／ｆ＜ ２．１ （３） １．４＜ｆ3 ／ｆ＜ ２．１ （４）−０．９＜ｒ1 ／ｄ0 ＜−０．５ なる条件を満足することを特徴とするテレセントリック
ｆθレンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24484695A JPH0990216A (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | テレセントリックｆθレンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24484695A JPH0990216A (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | テレセントリックｆθレンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0990216A true JPH0990216A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17124850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24484695A Pending JPH0990216A (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | テレセントリックｆθレンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0990216A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007328364A (ja) * | 2007-08-06 | 2007-12-20 | Canon Inc | 走査型表示光学系 |
| WO2009132538A1 (zh) * | 2008-04-28 | 2009-11-05 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 光学镜头 |
| US8331043B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-12-11 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Optical lens |
| US8331044B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-12-11 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Fixed focal length optical lens system |
| US8363338B2 (en) | 2008-04-28 | 2013-01-29 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Fixed focal length optical lens system |
| WO2014067097A1 (zh) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种远红外激光加工用Fθ镜头及激光加工设备 |
| CN104122647A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-10-29 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 光学镜头 |
-
1995
- 1995-09-22 JP JP24484695A patent/JPH0990216A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007328364A (ja) * | 2007-08-06 | 2007-12-20 | Canon Inc | 走査型表示光学系 |
| WO2009132538A1 (zh) * | 2008-04-28 | 2009-11-05 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 光学镜头 |
| US8331043B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-12-11 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Optical lens |
| US8331044B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-12-11 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Fixed focal length optical lens system |
| US8339717B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-12-25 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Optical lens |
| US8363338B2 (en) | 2008-04-28 | 2013-01-29 | Han's Laser Technology Co., Ltd. | Fixed focal length optical lens system |
| WO2014067097A1 (zh) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种远红外激光加工用Fθ镜头及激光加工设备 |
| US9739984B2 (en) | 2012-10-31 | 2017-08-22 | Han's Laser Technology Industry Group Co., Ltd. | F-theta lens and laser processing device for far-infrared laser processing |
| CN104122647A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-10-29 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 光学镜头 |
| CN104122647B (zh) * | 2014-07-16 | 2017-01-11 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 光学镜头 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6226444B2 (ja) | ||
| EP0360233B1 (en) | Telecentric f-theta lens system | |
| JPH1130710A (ja) | 反射型走査光学系 | |
| JPH0310924B2 (ja) | ||
| JPH0990216A (ja) | テレセントリックｆθレンズ | |
| JPH07113706B2 (ja) | 光ビーム走査用レンズ | |
| JPH05215986A (ja) | 面倒れ補正機能を有する走査光学系 | |
| JP3339934B2 (ja) | ｆ・θレンズ | |
| JPH08190062A (ja) | 走査レンズ及び光走査装置 | |
| JPH10148755A (ja) | 走査光学装置及び走査光学装置用の走査光学レンズ | |
| JPH0462562B2 (ja) | ||
| US6670980B1 (en) | Light-scanning optical system | |
| EP1376195B1 (en) | Optical scanner | |
| JP3018852B2 (ja) | 走査装置 | |
| JPH1068876A (ja) | ｆθレンズ | |
| JPS61175607A (ja) | 走査光学系 | |
| JPH0364724A (ja) | ｆ・θレンズ | |
| JPS63104009A (ja) | 等速度走査レンズ | |
| JPH0252307A (ja) | ｆθレンズ | |
| JPH1039205A (ja) | 走査用レンズ | |
| JPH06109995A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH10213740A (ja) | レーザー走査装置 | |
| JPH10186258A (ja) | ｆθレンズ系 | |
| JPH01307722A (ja) | 走査光学系 | |
| JP3364525B2 (ja) | 走査結像レンズおよび光走査装置 |