JPH0982224A - 露光装置用補正レンズの測定装置 - Google Patents
露光装置用補正レンズの測定装置Info
- Publication number
- JPH0982224A JPH0982224A JP22989495A JP22989495A JPH0982224A JP H0982224 A JPH0982224 A JP H0982224A JP 22989495 A JP22989495 A JP 22989495A JP 22989495 A JP22989495 A JP 22989495A JP H0982224 A JPH0982224 A JP H0982224A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction lens
- laser
- lens
- displacement sensor
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 補正レンズのレンズ表面微小角度を非接触に
て測定する。 【構成】 補正レンズ7にレーザ発振器15よりレーザ
光を投射し、その透過光をレーザオートコリメータ16
で受光し、レーザオートコリメータ16の受光点21を
画像処理装置30で画像処理して透過光屈折角度γを算
出し、この透過光屈折角度γを主制御プロセッサ34で
処理して補正レンズ7の表面微小角度θを算出する。
て測定する。 【構成】 補正レンズ7にレーザ発振器15よりレーザ
光を投射し、その透過光をレーザオートコリメータ16
で受光し、レーザオートコリメータ16の受光点21を
画像処理装置30で画像処理して透過光屈折角度γを算
出し、この透過光屈折角度γを主制御プロセッサ34で
処理して補正レンズ7の表面微小角度θを算出する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ブラウン管の蛍光面パ
ターンを形成する露光装置に用いる補正レンズの測定装
置に関する。
ターンを形成する露光装置に用いる補正レンズの測定装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】露光装置用の補正レンズは、レンズ表面
角度設計単位1mrad、厚さ設計単位1μmと微小であ
る。このため、従来、補正レンズのレンズ表面角度と厚
さを非接触にて測定することは困難とされていた。接触
方式では、3次元測定器などもあるが、測定にかかる時
間が非常に多くなり、数百点の測定点数を有する補正レ
ンズの測定では実用性がない。
角度設計単位1mrad、厚さ設計単位1μmと微小であ
る。このため、従来、補正レンズのレンズ表面角度と厚
さを非接触にて測定することは困難とされていた。接触
方式では、3次元測定器などもあるが、測定にかかる時
間が非常に多くなり、数百点の測定点数を有する補正レ
ンズの測定では実用性がない。
【0003】また基準面に対して傾きが異なる複数個の
平面で構成される補正レンズは、材質がアクリルである
ため、接触方式で測定するとレンズ面を傷付ける恐れが
ある。現状の補正レンズの品質管理は、ブラウン管製造
ライン、塗布工程現場側にて、試作生産することで対処
しているため、補正レンズの加工具合を確認するには、
多くの時間を必要としている。
平面で構成される補正レンズは、材質がアクリルである
ため、接触方式で測定するとレンズ面を傷付ける恐れが
ある。現状の補正レンズの品質管理は、ブラウン管製造
ライン、塗布工程現場側にて、試作生産することで対処
しているため、補正レンズの加工具合を確認するには、
多くの時間を必要としている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第1の課題
は、補正レンズのレンズ表面微小角度を非接触にて測定
することができる露光装置用補正レンズの測定装置を提
供することにある。
は、補正レンズのレンズ表面微小角度を非接触にて測定
することができる露光装置用補正レンズの測定装置を提
供することにある。
【0005】本発明の第2の課題は、補正レンズの厚さ
を非接触にて測定することができる露光装置用補正レン
ズの測定装置を提供することにある。
を非接触にて測定することができる露光装置用補正レン
ズの測定装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記第1の課題を解決す
るための第1の手段は、基準面に対して傾きが異なる複
数個の平面或いは曲面で構成されたブラウン管の露光装
置用補正レンズの測定装置において、補正レンズにレー
ザ発振器よりレーザ光を投射し、その透過光をレーザオ
ートコリメータで受光し、レーザオートコリメータの受
光点を画像処理装置で画像処理して透過光屈折角度を算
出し、この透過光屈折角度を主制御プロセッサで処理し
て補正レンズの表面微小角度を算出することを特徴とす
る。
るための第1の手段は、基準面に対して傾きが異なる複
数個の平面或いは曲面で構成されたブラウン管の露光装
置用補正レンズの測定装置において、補正レンズにレー
ザ発振器よりレーザ光を投射し、その透過光をレーザオ
ートコリメータで受光し、レーザオートコリメータの受
光点を画像処理装置で画像処理して透過光屈折角度を算
出し、この透過光屈折角度を主制御プロセッサで処理し
て補正レンズの表面微小角度を算出することを特徴とす
る。
【0007】上記第2の課題を解決するための第2の手
段は、基準面に対して傾きが異なる複数個の平面或いは
曲面で構成されたブラウン管の露光装置用補正レンズの
測定装置において、補正レンズの両面に相対向して補正
レンズの設計値高さに検出作動距離を合わせてレーザ変
位センサを配設し、このレーザ変位センサによってレン
ズ設計位置とのずれ量を測定し、このずれ量を主制御プ
ロセッサで処理して補正レンズの厚さを算出することを
特徴とする。
段は、基準面に対して傾きが異なる複数個の平面或いは
曲面で構成されたブラウン管の露光装置用補正レンズの
測定装置において、補正レンズの両面に相対向して補正
レンズの設計値高さに検出作動距離を合わせてレーザ変
位センサを配設し、このレーザ変位センサによってレン
ズ設計位置とのずれ量を測定し、このずれ量を主制御プ
ロセッサで処理して補正レンズの厚さを算出することを
特徴とする。
【0008】上記第1及び第2の課題を解決するための
第3の手段は、上記第1及び第2の手段を有することを
特徴とする。
第3の手段は、上記第1及び第2の手段を有することを
特徴とする。
【0009】上記第1及び第2の課題を解決するための
第4の手段は、上記第2及び第3の手段において、補正
レンズの曲面側のレーザ変位センサは、上下駆動手段で
上下駆動されることを特徴とする。
第4の手段は、上記第2及び第3の手段において、補正
レンズの曲面側のレーザ変位センサは、上下駆動手段で
上下駆動されることを特徴とする。
【0010】上記第1及び第2の課題を解決するための
第5の手段は、上記第3の手段において、補正レンズ
は、XYテーブルに設けられた補正レンズ保持手段に位
置決め保持され、補正レンズの曲面側のレーザ変位セン
サは、上下駆動手段で上下駆動され、主制御プロセッサ
によって、前記XYテーブル及び前記上下駆動手段の移
動機構を補正レンズ設計データから演算した制御量を用
いて制御して測定処理を行い、これを各測定点について
繰り返し行なって各測定結果を補正レンズの設計データ
と合わせて演算処理し、補正レンズの表面微小角度と厚
さの値及び設計値とのずれ量を算出することを特徴とす
る。
第5の手段は、上記第3の手段において、補正レンズ
は、XYテーブルに設けられた補正レンズ保持手段に位
置決め保持され、補正レンズの曲面側のレーザ変位セン
サは、上下駆動手段で上下駆動され、主制御プロセッサ
によって、前記XYテーブル及び前記上下駆動手段の移
動機構を補正レンズ設計データから演算した制御量を用
いて制御して測定処理を行い、これを各測定点について
繰り返し行なって各測定結果を補正レンズの設計データ
と合わせて演算処理し、補正レンズの表面微小角度と厚
さの値及び設計値とのずれ量を算出することを特徴とす
る。
【0011】
【作用】上記第1の手段は、補正レンズにレーザ発振器
によりレーザ光を投射し、その透過光屈折角度をレーザ
オートコリメータで計測する。画像処理装置は、その受
光点の変位量と受光点の画像処理から透過光屈折角度を
算出する。主制御プロセッサは画像処理装置で算出され
た透過光屈折角度から補正レンズの表面微小角度θを算
出すると共に、表面微小角度の設計値とのずれ量を演算
する。
によりレーザ光を投射し、その透過光屈折角度をレーザ
オートコリメータで計測する。画像処理装置は、その受
光点の変位量と受光点の画像処理から透過光屈折角度を
算出する。主制御プロセッサは画像処理装置で算出され
た透過光屈折角度から補正レンズの表面微小角度θを算
出すると共に、表面微小角度の設計値とのずれ量を演算
する。
【0012】上記第2の手段は、補正レンズ7の両面に
相対向して配設されたレーザ変位センサによって、補正
レンズの設計位置との差を測定する。このずれ量を主制
御プロセッサで処理して補正レンズの厚さを算出する。
また上記第4の手段によれば、補正レンズの曲面側のレ
ーザ変位センサは、上下駆動させて補正レンズの各測定
点の厚さに合わせるようにする。これにより、レーザ変
位センサを常に測定リニアリティの良好な領域で使用す
ることができる。
相対向して配設されたレーザ変位センサによって、補正
レンズの設計位置との差を測定する。このずれ量を主制
御プロセッサで処理して補正レンズの厚さを算出する。
また上記第4の手段によれば、補正レンズの曲面側のレ
ーザ変位センサは、上下駆動させて補正レンズの各測定
点の厚さに合わせるようにする。これにより、レーザ変
位センサを常に測定リニアリティの良好な領域で使用す
ることができる。
【0013】上記第5の手段は、 前記した補正レンズ
の表面微小角度の測定及び厚さ測定において、主制御プ
ロセッサによって、補正レンズ設計データからXYテー
ブル及び補正レンズの曲面側のレーザ変位センサのXY
Zの各移動機構の制御量を演算し、最適測定状態へ補正
レンズ及びレーザ変位センサの移動制御を行なった後
に、測定処理を行なう。これを測定点の回数分繰り返し
て自動的に1枚の補正レンズの測定、評価を実施する。
測定、評価では、画像処理装置とレーザ変位センサ及び
磁気式位置検出センサの各測定結果を補正レンズ設計デ
ータと合わせて演算処理することで、最終的に補正レン
ズの表面微小角度と厚さの値及びこれらの設計値とのず
れ量を得る。
の表面微小角度の測定及び厚さ測定において、主制御プ
ロセッサによって、補正レンズ設計データからXYテー
ブル及び補正レンズの曲面側のレーザ変位センサのXY
Zの各移動機構の制御量を演算し、最適測定状態へ補正
レンズ及びレーザ変位センサの移動制御を行なった後
に、測定処理を行なう。これを測定点の回数分繰り返し
て自動的に1枚の補正レンズの測定、評価を実施する。
測定、評価では、画像処理装置とレーザ変位センサ及び
磁気式位置検出センサの各測定結果を補正レンズ設計デ
ータと合わせて演算処理することで、最終的に補正レン
ズの表面微小角度と厚さの値及びこれらの設計値とのず
れ量を得る。
【0014】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図6によ
り説明する。図1に示すように、除振台1上には門型ス
テー2が固定されており、門型ステー2内の除振台1上
には、図示しない駆動手段でXY方向に移動させられる
XYテーブル3が設置されている。XYテーブル3の上
面プレート4上には、図2に示すように、レンズホルダ
5の隣接する2辺を位置決めする3本の位置決めピン6
が設けられている。レンズホルダ5は、補正レンズ7よ
り一回り大きく、後記するレーザ光を通過させるために
中抜きタイプとなっている。またレンズホルダ5は、水
平面基準となる上面プレート4と平行に設置できるよう
に、3本のアジャストボルト8が螺合されている。レン
ズホルダ5には、補正レンズ7の周縁を支持する3本の
基準ピン9が設けられ、また補正レンズ7の隣接する2
辺を位置決めする3本の位置決めピン10が設けられて
いる。そこで、補正レンズ7を基準ピン9上に載置し、
図示しないバネ等で補正レンズ7を位置決めピン10に
押し付けて位置決めすると共に、位置ずれが生じないよ
うにする。
り説明する。図1に示すように、除振台1上には門型ス
テー2が固定されており、門型ステー2内の除振台1上
には、図示しない駆動手段でXY方向に移動させられる
XYテーブル3が設置されている。XYテーブル3の上
面プレート4上には、図2に示すように、レンズホルダ
5の隣接する2辺を位置決めする3本の位置決めピン6
が設けられている。レンズホルダ5は、補正レンズ7よ
り一回り大きく、後記するレーザ光を通過させるために
中抜きタイプとなっている。またレンズホルダ5は、水
平面基準となる上面プレート4と平行に設置できるよう
に、3本のアジャストボルト8が螺合されている。レン
ズホルダ5には、補正レンズ7の周縁を支持する3本の
基準ピン9が設けられ、また補正レンズ7の隣接する2
辺を位置決めする3本の位置決めピン10が設けられて
いる。そこで、補正レンズ7を基準ピン9上に載置し、
図示しないバネ等で補正レンズ7を位置決めピン10に
押し付けて位置決めすると共に、位置ずれが生じないよ
うにする。
【0015】図1及び図3に示すように、上面プレート
4の下方及びレンズホルダ5の上方には、補正レンズ7
の表面微小角度θを測定するためのレーザ発振器15及
びレーザオートコリメータ16が相対向して配設されて
いる。レーザオートコリメータ16は、コリメータレン
ズ17とその焦点位置に置かれた受光素子18より構成
されている。
4の下方及びレンズホルダ5の上方には、補正レンズ7
の表面微小角度θを測定するためのレーザ発振器15及
びレーザオートコリメータ16が相対向して配設されて
いる。レーザオートコリメータ16は、コリメータレン
ズ17とその焦点位置に置かれた受光素子18より構成
されている。
【0016】図1及び図6に示すように、レンズホルダ
5の下方及び上方には、補正レンズ7の厚さを測定する
ためのレーザ変位センサ25、26が相対向して配設さ
れている。上方側(補正レンズ7の曲面側)のレーザ変
位センサ26は、Z軸モータ27により上下駆動され、
Z軸モータ27の停止精度の影響を受けないように、レ
ーザ変位センサ26の移動量S3は磁気式位置検出セン
サ28により確認するようになっている。前記した補正
レンズ7のXY駆動手段、補正レンズ7の保持手段及び
測定機器等は、除振台1に配設することで振動系を1つ
のものとしている。
5の下方及び上方には、補正レンズ7の厚さを測定する
ためのレーザ変位センサ25、26が相対向して配設さ
れている。上方側(補正レンズ7の曲面側)のレーザ変
位センサ26は、Z軸モータ27により上下駆動され、
Z軸モータ27の停止精度の影響を受けないように、レ
ーザ変位センサ26の移動量S3は磁気式位置検出セン
サ28により確認するようになっている。前記した補正
レンズ7のXY駆動手段、補正レンズ7の保持手段及び
測定機器等は、除振台1に配設することで振動系を1つ
のものとしている。
【0017】図1に示すように、レーザオートコリメー
タ16の画像は画像処理装置30で処理される。XYテ
ーブル3の図示しないX軸モータ、Y軸モータ及びレー
ザ変位センサ26を上下動させるZ軸モータ27はXY
Z軸コントローラ31によって制御される。レーザ変位
センサ25の上下位置は、レーザ変位センサコントロー
ラ32によって制御される。また磁気式位置検出センサ
28は磁気式位置検出センサコントローラ33によって
制御される。またレーザ変位センサ25、26のZ方向
移動とXYテーブル3の移動制御を管理すると共に、画
像処理装置30とレーザ変位センサ25、26及び磁気
式位置検出センサ28の測定結果から補正レンズ7の表
面微小角度θと厚さの値とこれらの設計値とのずれ量を
演算する主制御プロセッサ34を有する。
タ16の画像は画像処理装置30で処理される。XYテ
ーブル3の図示しないX軸モータ、Y軸モータ及びレー
ザ変位センサ26を上下動させるZ軸モータ27はXY
Z軸コントローラ31によって制御される。レーザ変位
センサ25の上下位置は、レーザ変位センサコントロー
ラ32によって制御される。また磁気式位置検出センサ
28は磁気式位置検出センサコントローラ33によって
制御される。またレーザ変位センサ25、26のZ方向
移動とXYテーブル3の移動制御を管理すると共に、画
像処理装置30とレーザ変位センサ25、26及び磁気
式位置検出センサ28の測定結果から補正レンズ7の表
面微小角度θと厚さの値とこれらの設計値とのずれ量を
演算する主制御プロセッサ34を有する。
【0018】主制御プロセッサ34とXYZ軸コントロ
ーラ31、レーザ変位センサコントローラ32、磁気式
位置検出センサコントローラ33間、主制御プロセッサ
34とレーザ発振器15、レーザオートコリメータ1
6、レーザ変位センサ25、26間の通信には、本装置
ではRS−232Cを用いているが、他の通信手段でも
可能である。また主制御プロセッサ34によるモータ直
接制御も可能である。これら駆動部の制御及び測定機器
の制御、データ処理を行なう装置は、制御装置部35に
一括して設けられている。
ーラ31、レーザ変位センサコントローラ32、磁気式
位置検出センサコントローラ33間、主制御プロセッサ
34とレーザ発振器15、レーザオートコリメータ1
6、レーザ変位センサ25、26間の通信には、本装置
ではRS−232Cを用いているが、他の通信手段でも
可能である。また主制御プロセッサ34によるモータ直
接制御も可能である。これら駆動部の制御及び測定機器
の制御、データ処理を行なう装置は、制御装置部35に
一括して設けられている。
【0019】次に図3により、補正レンズ7の表面微小
角度θの測定方法について説明する。補正レンズ7にレ
ーザ発振器15によりレーザ光19を投射し、その透過
光屈折角度γをレーザオートコリメータ16で計測す
る。レーザオートコリメータ16は、受光素子18の受
光点20の変位aとbが受光角度γと比例関係あること
を利用したものである。画像処理装置30は、その受光
点20の変位量と受光点20の画像処理から透過光屈折
角度γを算出する。主制御プロセッサ34は画像処理装
置30で算出された透過光屈折角度γから補正レンズ7
の表面微小角度θを算出すると共に、表面微小角度θの
設計値とのずれ量を演算する。この表面微小角度θの測
定は、XYテーブル3を駆動させて補正レンズ7の各点
について行なう。
角度θの測定方法について説明する。補正レンズ7にレ
ーザ発振器15によりレーザ光19を投射し、その透過
光屈折角度γをレーザオートコリメータ16で計測す
る。レーザオートコリメータ16は、受光素子18の受
光点20の変位aとbが受光角度γと比例関係あること
を利用したものである。画像処理装置30は、その受光
点20の変位量と受光点20の画像処理から透過光屈折
角度γを算出する。主制御プロセッサ34は画像処理装
置30で算出された透過光屈折角度γから補正レンズ7
の表面微小角度θを算出すると共に、表面微小角度θの
設計値とのずれ量を演算する。この表面微小角度θの測
定は、XYテーブル3を駆動させて補正レンズ7の各点
について行なう。
【0020】図4は図3に示す補正レンズ7の表面微小
角度θの測定に先立ち、補正レンズ7側のXY軸とレー
ザオートコリメータ16側のX’Y’軸を合わせる方法
を示したものである。レンズホルダ5の位置決めピン1
0で決定する補正レンズ7のX軸と平行垂直な面40と
レーザ光透過穴41を有する治具42を位置決めピン1
0に位置決めする。この治具42上に一側面に対しての
み5°以下の角度成分θ0 を持つ透過型ウェッジ基板4
3を乗せ、面40と合わせる。そして、レーザ発振器1
5でレーザ光19を投射し、レーザオートコリメータ1
6で透過光21を受光する。受光点21は1成分の変位
となるため、これを基準としてレーザオートコリメータ
16側のX’Y’軸をソフトウェア上に形成するように
する。この方法によって、補正レンズ7側とレーザオー
トコリメータ16側のXY軸を一致させることが可能と
なる。
角度θの測定に先立ち、補正レンズ7側のXY軸とレー
ザオートコリメータ16側のX’Y’軸を合わせる方法
を示したものである。レンズホルダ5の位置決めピン1
0で決定する補正レンズ7のX軸と平行垂直な面40と
レーザ光透過穴41を有する治具42を位置決めピン1
0に位置決めする。この治具42上に一側面に対しての
み5°以下の角度成分θ0 を持つ透過型ウェッジ基板4
3を乗せ、面40と合わせる。そして、レーザ発振器1
5でレーザ光19を投射し、レーザオートコリメータ1
6で透過光21を受光する。受光点21は1成分の変位
となるため、これを基準としてレーザオートコリメータ
16側のX’Y’軸をソフトウェア上に形成するように
する。この方法によって、補正レンズ7側とレーザオー
トコリメータ16側のXY軸を一致させることが可能と
なる。
【0021】図5は図4の場合における屈折角度γを可
変とした場合を示す。図4に示す透過型ウェッジ基板4
3は、透明固体(ガラス等)で製作され、屈折角度γを
可変とすることは不可能である。本実施例は、屈折角度
γを可変としたものである。可変平行板45と、レンズ
ホルダ5に位置決め載置されるベース平行板46とを有
し、これら可変平行板45及びベース平行板46は光学
ガラスよりなっている。ベース平行板46には図4に示
す面40と同じ面47を形成し、可変平行板45の一側
面は面47の角部を中心として回動するようにクサビ状
48となっている。また可変平行板45の他側面には取
手49が設けられている。ベース平行板46には調整ネ
ジ50が回転自在に支承され、調整ネジ50のネジ部に
はスライドブロック51が螺合されている。ここで、ス
ライドブロック51は回転不可能で、調整ネジ50を回
すことにより上下動するようになっている。スライドブ
ロック51は前記取手49を挟持している。
変とした場合を示す。図4に示す透過型ウェッジ基板4
3は、透明固体(ガラス等)で製作され、屈折角度γを
可変とすることは不可能である。本実施例は、屈折角度
γを可変としたものである。可変平行板45と、レンズ
ホルダ5に位置決め載置されるベース平行板46とを有
し、これら可変平行板45及びベース平行板46は光学
ガラスよりなっている。ベース平行板46には図4に示
す面40と同じ面47を形成し、可変平行板45の一側
面は面47の角部を中心として回動するようにクサビ状
48となっている。また可変平行板45の他側面には取
手49が設けられている。ベース平行板46には調整ネ
ジ50が回転自在に支承され、調整ネジ50のネジ部に
はスライドブロック51が螺合されている。ここで、ス
ライドブロック51は回転不可能で、調整ネジ50を回
すことにより上下動するようになっている。スライドブ
ロック51は前記取手49を挟持している。
【0022】可変平行板45とベース平行板46間に水
52を注入する。可変平行板45の角度θ0 は5°以下
であるので、水52は表面張力によって可変平行板45
とベース平行板46間に保持される。そこで、調整ネジ
50を回転させると、スライドブロック51が上下動し
て取手49も上下動し、可変平行板45は面47の角部
を中心として回動する。これにより、可変平行板45の
角度θ0 が変わる。従って、レーザ光19の屈折角度γ
も変化する。このように、1つの装置で任意の屈折角度
γを得ることができる。このため、光学機器を使用する
検査装置などの調整時間の短縮が可能となる。また屈折
する媒体として水を使用している。水の屈折率は明確で
あるため、屈折角度データの信頼性が向上する。
52を注入する。可変平行板45の角度θ0 は5°以下
であるので、水52は表面張力によって可変平行板45
とベース平行板46間に保持される。そこで、調整ネジ
50を回転させると、スライドブロック51が上下動し
て取手49も上下動し、可変平行板45は面47の角部
を中心として回動する。これにより、可変平行板45の
角度θ0 が変わる。従って、レーザ光19の屈折角度γ
も変化する。このように、1つの装置で任意の屈折角度
γを得ることができる。このため、光学機器を使用する
検査装置などの調整時間の短縮が可能となる。また屈折
する媒体として水を使用している。水の屈折率は明確で
あるため、屈折角度データの信頼性が向上する。
【0023】次に図6により、補正レンズ7の厚さ測定
方法について説明する。レーザ変位センサ25の設置位
置は、レンズホルダ5の基準ピン9で形成される基準面
55に合うようにする。レーザ変位センサ26の設置位
置は、補正レンズ7の設計高さ56に、レーザ変位セン
サ26の検出作動距離Hを合わせるようにする。レーザ
変位センサ25、26は、検出作動距離中心位置の時、
0μmと検出するようになっている。そこで、補正レン
ズ7の設計位置との差S1、S2を測定する。補正レン
ズ7の曲面側のレーザ変位センサ26は、Z軸モータ2
7により上下駆動させ、補正レンズ7の各測定点の厚さ
に合わせるようにする。これは、レーザ変位センサ26
を常に測定リニアリティの良好な領域で使用するためで
ある。この時、Z軸モータ27の停止精度の影響を受け
ないように磁気式位置検出センサ28により移動位置を
確認する。そこで、図1に示す主制御プロセッサ34
は、レーザ変位センサ25、26と磁気式位置検出セン
サ28により補正レンズ7の厚さを演算する。
方法について説明する。レーザ変位センサ25の設置位
置は、レンズホルダ5の基準ピン9で形成される基準面
55に合うようにする。レーザ変位センサ26の設置位
置は、補正レンズ7の設計高さ56に、レーザ変位セン
サ26の検出作動距離Hを合わせるようにする。レーザ
変位センサ25、26は、検出作動距離中心位置の時、
0μmと検出するようになっている。そこで、補正レン
ズ7の設計位置との差S1、S2を測定する。補正レン
ズ7の曲面側のレーザ変位センサ26は、Z軸モータ2
7により上下駆動させ、補正レンズ7の各測定点の厚さ
に合わせるようにする。これは、レーザ変位センサ26
を常に測定リニアリティの良好な領域で使用するためで
ある。この時、Z軸モータ27の停止精度の影響を受け
ないように磁気式位置検出センサ28により移動位置を
確認する。そこで、図1に示す主制御プロセッサ34
は、レーザ変位センサ25、26と磁気式位置検出セン
サ28により補正レンズ7の厚さを演算する。
【0024】前記した補正レンズ7の表面微小角度θの
測定及び厚さ測定においては、主制御プロセッサ34に
よって、補正レンズ設計データから前記XYテーブル3
及びZ軸モータ27のXYZの各移動機構の制御量を演
算し、最適測定状態へ補正レンズ及びレーザ変位センサ
26の移動制御を行なった後に、測定処理を行なう。こ
れを測定点の回数分繰り返して自動的に1枚の補正レン
ズ7の測定、評価を実施する。測定、評価では、画像処
理装置30とレーザ変位センサ26及び磁気式位置検出
センサ28の各測定結果を補正レンズ設計データと合わ
せて演算処理することで、最終的に補正レンズ7の表面
微小角度θと厚さの値及びこれらの設計値とのずれ量を
得る。前記した補正レンズ7の表面微小角度θ及び厚さ
の演算結果は、プリンタで印字すると共に、データファ
イルやLANN等を介して設計用ホストコンピュータに
伝達し、レンズ設計段階へのフィードバックを実施す
る。
測定及び厚さ測定においては、主制御プロセッサ34に
よって、補正レンズ設計データから前記XYテーブル3
及びZ軸モータ27のXYZの各移動機構の制御量を演
算し、最適測定状態へ補正レンズ及びレーザ変位センサ
26の移動制御を行なった後に、測定処理を行なう。こ
れを測定点の回数分繰り返して自動的に1枚の補正レン
ズ7の測定、評価を実施する。測定、評価では、画像処
理装置30とレーザ変位センサ26及び磁気式位置検出
センサ28の各測定結果を補正レンズ設計データと合わ
せて演算処理することで、最終的に補正レンズ7の表面
微小角度θと厚さの値及びこれらの設計値とのずれ量を
得る。前記した補正レンズ7の表面微小角度θ及び厚さ
の演算結果は、プリンタで印字すると共に、データファ
イルやLANN等を介して設計用ホストコンピュータに
伝達し、レンズ設計段階へのフィードバックを実施す
る。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、補正レンズにレーザ発
振器よりレーザ光を投射し、その透過光をレーザオート
コリメータで受光し、レーザオートコリメータの受光点
を画像処理装置で画像処理して透過光屈折角度を算出
し、この透過光屈折角度を主制御プロセッサで処理して
補正レンズの表面微小角度を算出するので、補正レンズ
のレンズ表面微小角度を非接触にて測定することができ
る。
振器よりレーザ光を投射し、その透過光をレーザオート
コリメータで受光し、レーザオートコリメータの受光点
を画像処理装置で画像処理して透過光屈折角度を算出
し、この透過光屈折角度を主制御プロセッサで処理して
補正レンズの表面微小角度を算出するので、補正レンズ
のレンズ表面微小角度を非接触にて測定することができ
る。
【0026】また本発明によれば、補正レンズの両面に
相対向して補正レンズの設計値高さに検出作動距離を合
わせてレーザ変位センサを配設し、このレーザ変位セン
サによってレンズ設計位置とのずれ量を測定し、このず
れ量を主制御プロセッサで処理して補正レンズの厚さを
算出するので、補正レンズの厚さを非接触にて測定する
ことができる。
相対向して補正レンズの設計値高さに検出作動距離を合
わせてレーザ変位センサを配設し、このレーザ変位セン
サによってレンズ設計位置とのずれ量を測定し、このず
れ量を主制御プロセッサで処理して補正レンズの厚さを
算出するので、補正レンズの厚さを非接触にて測定する
ことができる。
【図1】本発明の露光装置用補正レンズの測定装置の一
実施例を示す概略構成図である。
実施例を示す概略構成図である。
【図2】補正レンズの保持手段を示し、(a)は平面
図、(b)は正面図である。
図、(b)は正面図である。
【図3】補正レンズの表面微小角度の測定方法を示す説
明図である。
明図である。
【図4】補正レンズのXY軸とレーザオートコリメータ
側のX’Y’軸を合わせる方法の1例を示す斜視図であ
る。
側のX’Y’軸を合わせる方法の1例を示す斜視図であ
る。
【図5】補正レンズのXY軸とレーザオートコリメータ
側のX’Y’軸を合わせる方法の他の例を示す斜視図で
ある。
側のX’Y’軸を合わせる方法の他の例を示す斜視図で
ある。
【図6】補正レンズの厚さ測定方法を示す説明図であ
る。
る。
3 XYテーブル 4 上面プレート 5 レンズホルダ 6 位置決めピン 7 補正レンズ 9 基準ピン 10 位置決めピン 15 レーザ発振器 16 レーザオートコリメータ 20 受光点 25、26 レーザ変位センサ 27 Z軸モータ 28 磁気式位置検出センサ 30 画像処理装置 34 主制御プロセッサ 35 制御装置部 θ 表面微小角度 γ 透過光屈折角度
フロントページの続き (72)発明者 宮越 良純 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 大橋 篤 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 松田 博美 千葉県茂原市早野3350番地 日立エレクト ロニックデバイシズ株式会社内 (72)発明者 吉岡 洋 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内
Claims (5)
- 【請求項1】 基準面に対して傾きが異なる複数個の平
面或いは曲面で構成されたブラウン管の露光装置用補正
レンズの測定装置において、補正レンズにレーザ発振器
よりレーザ光を投射し、その透過光をレーザオートコリ
メータで受光し、レーザオートコリメータの受光点を画
像処理装置で画像処理して透過光屈折角度を算出し、こ
の透過光屈折角度を主制御プロセッサで処理して補正レ
ンズの表面微小角度を算出することを特徴とする露光装
置用補正レンズの測定装置。 - 【請求項2】 基準面に対して傾きが異なる複数個の平
面或いは曲面で構成されたブラウン管の露光装置用補正
レンズの測定装置において、補正レンズの両面に相対向
して補正レンズの設計値高さに検出作動距離を合わせて
レーザ変位センサを配設し、このレーザ変位センサによ
ってレンズ設計位置とのずれ量を測定し、このずれ量を
主制御プロセッサで処理して補正レンズの厚さを算出す
ることを特徴とする露光装置用補正レンズの測定装置。 - 【請求項3】 基準面に対して傾きが異なる複数個の平
面或いは曲面で構成されたブラウン管の露光装置用補正
レンズの測定装置において、補正レンズにレーザ発振器
よりレーザ光を投射し、その透過光をレーザオートコリ
メータで受光し、レーザオートコリメータの受光点を画
像処理装置で画像処理して透過光屈折角度を算出し、こ
の透過光屈折角度を主制御プロセッサで処理して補正レ
ンズの表面微小角度を算出すると共に、補正レンズの両
面に相対向して補正レンズの設計値高さに検出作動距離
を合わせてレーザ変位センサを配設し、このレーザ変位
センサによってレンズ設計位置とのずれ量を測定し、こ
のずれ量を主制御プロセッサで処理して補正レンズの厚
さを算出することを特徴とする露光装置用補正レンズの
測定装置。 - 【請求項4】 補正レンズの曲面側のレーザ変位センサ
は、上下駆動手段で上下駆動されることを特徴とする請
求項2又は3記載の露光装置用補正レンズの測定装置。 - 【請求項5】 補正レンズは、XYテーブルに設けられ
た補正レンズ保持手段に位置決め保持され、補正レンズ
の曲面側のレーザ変位センサは、上下駆動手段で上下駆
動され、主制御プロセッサによって、前記XYテーブル
及び前記上下駆動手段の移動機構を補正レンズ設計デー
タから演算した制御量を用いて制御して測定処理を行
い、これを各測定点について繰り返し行なって各測定結
果を補正レンズの設計データと合わせて演算処理し、補
正レンズの表面微小角度と厚さの値及び設計値とのずれ
量を算出することを特徴とする請求項3記載の露光装置
用補正レンズの測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22989495A JPH0982224A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 露光装置用補正レンズの測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22989495A JPH0982224A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 露光装置用補正レンズの測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0982224A true JPH0982224A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16899396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22989495A Pending JPH0982224A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 露光装置用補正レンズの測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0982224A (ja) |
-
1995
- 1995-09-07 JP JP22989495A patent/JPH0982224A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1972975B1 (en) | Optical module and manufacturing method thereof | |
US5324381A (en) | Semiconductor chip mounting method and apparatus | |
TW528881B (en) | Position measuring apparatus | |
KR920016864A (ko) | 마스크 패턴을 반복적으로 영상화하는 방법 및 그 장치 | |
JPH09260274A (ja) | 露光装置および露光方法 | |
JPH07297240A (ja) | Lcd検査プローブの位置合せ方式及び装置 | |
TW202011125A (zh) | 層壓設備以及層壓方法 | |
JPH10123356A (ja) | 光伝送部材の位置測定方法および光デバイスの製造方法 | |
JPH0982224A (ja) | 露光装置用補正レンズの測定装置 | |
JP2003215528A (ja) | Lcd検査プローブの位置合わせ方法及び装置 | |
JP2560462B2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
JP2005017204A (ja) | 位置決め装置 | |
JPH09199573A (ja) | 位置決めステージ装置およびこれを用いた露光装置 | |
JPH0515819A (ja) | ペースト塗布機のノズル位置決め方法 | |
JPH07297106A (ja) | 拡大投影型露光装置における投影像のアライメント方法 | |
JP2761737B2 (ja) | ガラス基板のプリアライメント装置 | |
JP2595918Y2 (ja) | 位置調整用測定装置 | |
JPH09289160A (ja) | 露光装置 | |
JP2007086684A (ja) | 露光装置 | |
JP5166681B2 (ja) | ステップ式近接露光装置 | |
JPH1197327A (ja) | 露光装置のマスク取付機構 | |
JPH0694768A (ja) | プリント基板検査装置 | |
JPH11281319A (ja) | 光学素子の位置設定装置、及び光学素子の位置設定方法 | |
JPH10242248A (ja) | 移動ステージの位置測定方法と装置 | |
JPH06185942A (ja) | 間隙設定方法とその装置 |