JPH0981922A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型の磁気ヘッドのスライダー部においても
容易に識別可能な大きさと必要な文字数を有する識別手
段を付与することができる磁気ヘッドを提供すること。 【解決手段】 円盤状の磁気記録媒体１６からの信号を
記録再生する素子部３５を具備して磁気記録媒体１６の
回転により誘起される空気流により浮上する機能を持つ
スライダー部１１と、このスライダー部１１を支えて所
定の荷重がかかる第１方向とこの第１方向とは異なる第
２方向の自由度を持つ弾性支持部材１２と、を有する磁
気ヘッドＨにおいて、その磁気ヘッドを他の磁気ヘッド
を区別するための識別手段５０を、磁気記録媒体１６の
面に相対するスライダー部１１の部位に具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば情報処理装
置用の大容量の記憶装置に用いられる磁気記録媒体に対
して信号を記録再生するための磁気ヘッドに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】情報処理装置には、大容量記憶装置とし
て、円盤状の磁気記録媒体に信号を記録再生する形式の
記憶装置が用いられる。この種の円盤状の磁気記録媒体
は、例えばハードディスクである。この円盤状の磁気記
録媒体を磁気ディスクと呼ぶことにすると、磁気ヘッド
が磁気ディスクに対して信号を記録したり、磁気ディス
クの信号を再生する。この種の薄膜の磁気ヘッドにおい
ては、磁気ヘッドの初期性能および信頼性が、ウェハー
単位およびプロセス単位により製造工程で把握すること
ができる。

【０００３】そこで、磁気ヘッドの性能および信頼性を
向上するために、磁気ヘッドの製造時のプロセス情報や
設備情報、ロッド情報、初期性能および信頼性情報など
を迅速にかつ正確に把握することが望まれている。

【０００４】そこで従来では、図７に示すように、磁気
ヘッドのスライダー部１の裏面２側にシリアルナンバー
５を付与している。この裏面２は、表面３とは反対側に
あり、この表面３はヘッドチップのような素子部４を備
えている。この素子部４は、薄膜により形成されたもの
であり磁気ディスクからの信号を記録したり、磁気ディ
スクの信号を再生するようになっている。このようにす
ることにより、スライダー部１が完成した時には、スラ
イダーリーディング部の側面に各々の磁気ヘッドのスラ
イダー部１のシリアルナンバーを付与することができ
る。

【０００５】従来のこのようなシリアルナンバー５を付
与する方法は、図８乃至図１０に示している。図８のウ
ェハーＷの表面６に対して、所定数の素子部４を形成す
るとともに、図９に示すようにウェハーＷの裏面７には
各素子部４に対応する位置にシリアルナンバー５を描画
するようにしている。シリアルナンバー５は、素子部４
と同一のピッチでウェハーＷの裏面７側に描画されるこ
とになる。シリアルナンバーは、通常レーザー光線にて
直接描画する。描画は薄膜磁気ヘッド作成前のウェハー
Ｗの裏面７に対して、オリフラ基準でなされる場合と、
ウェハーＷの表面６側に素子部４を作成後行われる場合
とがある。このオリフラ基準でなされる場合とは、ウェ
ハーの方向を確認する切り欠き部（オリフラ）からの寸
法位置を基準に両面とも処理されることである。

【０００６】このようにしてシリアルナンバー５がウェ
ハーＷに多数刻印された後、図１０（ａ）に示すよう
に、ウェハーＷは切断線８に沿って切断される。これに
より図１０（ｂ）で示すように多数の薄いブロック９が
得られる。このブロック９は、グラインディングプロセ
ス（研磨工程）において、所定の研磨が行われる。ブロ
ック９の表面９ａには、上述した素子部４が形成されて
いるとともに、裏面９ｂにはシリアルナンバー５が図１
０（ｃ）に示すように設けられている状態になってい
る。そして図１０（ｃ）のブロック９の切断線９ｃにお
いてブロック９を切断することにより、図７に示すよう
なスライダー部１を作ることができる。図７のスライダ
ー部１は、２つの空気摺動面（又は空気潤滑面ともい
う：ＡＩＲ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ：ＡＢ
Ｓ）を備えている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように図７のスラ
イダー部１の裏面２にはシリアルナンバー５が付与され
ているのであるが、このシリアルナンバー５は勿論容易
に後から識別できる程度の大きさを有し、かつ元のウェ
ハーＷ上の座標およびロッド番号を示す程度の文字数で
構成されている必要がある。ところが、磁気記録装置の
小型化と耐震性能の向上の要求のために、磁気ヘッドの
小型化、すなわちスライダー部１の小型化が望まれてい
るので、従来のスライダー部１の裏面２の面積が小さく
なり、裏面２に従来通りの大きさの文字と必要数の文字
のシリアルナンバー５を付与することができなくなって
いる。そこで本発明は上記課題を解消するためになされ
たものであり、小型の磁気ヘッドのスライダー部におい
ても容易に識別可能な大きさと必要な文字数を有する識
別手段を付与することができる磁気ヘッドを提供するこ
とを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、円盤状の磁気記録媒体からの信号を記録再生す
る素子部を具備して磁気記録媒体の回転により誘起され
る空気流により浮上する機能を持つスライダー部と、こ
のスライダー部を支えて所定の荷重がかかる第１方向と
この第１方向とは異なる第２方向の自由度を持つ弾性支
持部材と、を有する磁気ヘッドにおいて、その磁気ヘッ
ドを他の磁気ヘッドを区別するための識別手段を、磁気
記録媒体の面に相対するスライダー部の部位に具備する
磁気ヘッドにより、達成される。本発明では、その磁気
ヘッドと他の磁気ヘッドを区別するための識別手段が、
磁気記録媒体の面に相対するスライダー部の部位に具備
するので、従来のようなスライダー部の裏面（端面）に
識別手段を形成するのと異なり、広い面積を確保するこ
とができる。特に、本発明は、小型のサイズのスライダ
ー部に識別手段を付与する場合に有利である。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。図１は、本発明の磁気ヘッドを備える磁気ディスク
装置の好ましい実施の形態を示している。この磁気ディ
スク装置は、本体１０と、磁気ヘッドＨと、本体１０側
に配置される磁気ディスク１６およびアーム１３および
アーム駆動部１４などを有している。

【００１０】磁気ディスク１６は、本体１０において、
スピンドルモータ１５により矢印方向に連続回転するよ
うになっている。磁気ヘッドＨは、弾性支持部材１２
と、スライダー部（ヘッドスライダー部ともいう）１１
を有している。このスライダー部１１は、弾性支持部材
１２により支えられており、弾性支持部材１２は、アー
ム１３に取付けられている。アーム１３は、アーム駆動
部１４により、矢印Ａ方向（磁気ディスク１６の半径方
向）に沿って移動可能になっている。このアーム駆動部
１４は、例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を採用す
ることができる。

【００１１】スライダー部１１は、磁気ディスク１６か
らの信号を記録再生する素子部２０を具備している。そ
してスライダー部１１は、磁気ディスク１６の回転に誘
起される空気流により浮上する機能を有している。つま
りスピンドルモータ１５が駆動すると磁気ディスク１６
が回転を始めて、スライダー部１１が磁気ディスク１６
の上を摺動あるいは浮上して、素子部２０が磁気ディス
ク１６に対して磁気的に情報信号を記録したり、磁気デ
ィスク１６の磁気的な情報信号を再生することができる
ようになっている。弾性支持部材１２は、このスライダ
ー部１１などの荷重のかかる第１方向（図１において紙
面の下向き）Ｘ１方向、およびこの第１方向Ｘ１方向と
は異なる第２の方向Ｘ２方向（図１において紙面上方
向）の合計２軸の自由度を持つサスペンションである。

【００１２】ところで、現在使用されているスライダー
部１１のサイズは、概略ミニスライダー（Ｍｉｎｉ−Ｓ
ｌｉｄｅｒ）で長さＬ＝４ｍｍ、幅Ｗ＝３．２ｍｍ、厚
みＴ＝０．８６ｍｍであり、マイクロスライダー（Ｍｉ
ｃｒｏ−Ｓｌｉｄｅｒ）では、その長さＬ＝２．５ｍ
ｍ、幅Ｗ＝２．２ｍｍ、厚みＴ＝０．５８ｍｍである。
またナノスライダー（Ｍａｎｏ−Ｓｌｉｄｅｒ）では、
その長さＬ＝２ｍｍ、幅Ｗ＝１．６ｍｍ、厚みＴ＝０．
４３ｍｍであり、ピコスライダー（Ｐｉｃｏ−Ｓｌｉｄ
ｅｒ）では、その長さＬ＝１．２ｍｍ、幅Ｗ＝１．０ｍ
ｍ、厚みＴ＝０．３ｍｍである。

【００１３】本発明の実施の形態は、特に従来のシリア
ルナンバーを付与する技術で対応が困難になっているピ
コスライダーをも含むより小型なスライダーサイズに特
に適用することができるものである。図２は、本発明の
磁気ヘッドのスライダー部を製造するためのウェハーＷ
を示している。このウェハーＷの表面３１の一部を拡大
して示すように、所定の数の素子部３５が縦横配列して
形成されている。このウェハーＷの裏面３２が図３に示
されており、従来と異なりウェハーＷの裏面３２にはシ
リアルナンバー等何も刻印されてはいない。図４のウェ
ハーＷは、図４（ａ）に示すように、所定数の切断線３
３に沿って切断される。これにより、図４（ｂ）のブロ
ック４０が作り出される。このブロック４０は、グライ
ンディング工程（研磨工程）で所定の研磨が施される。
ブロック４０の表面４１には、上述した図２に示す素子
部３５が配置されている。一方ブロック４０の裏面４２
には何も刻印も形成もされていない。

【００１４】次に図４（ｃ）に示すように、ブロック４
０の上面４３には所定のマスキング部４４を形成する。
このマスキング部４４は、例えばほぼＨ型の形状を有し
ており、後で説明する空気摺動面（空気潤滑面ともい
う：ＡＢＳ）６０に対応する部分である。このマスキン
グ部４４を形成する。

【００１５】次に、図４（ｄ）に示すように、アルゴン
イオンなどの雰囲気下で、ブロック４０のドライエッチ
ング加工を行うことにより、マスキング部４４の周囲部
分のエッチング加工をする。さらに、識別記号５０用の
マスキング部を形成してドライエッチングして識別記号
５０を形成する。そして、図４（ｅ）に示すように、マ
スキング部４４と識別記号５０用のマスキング部を剥離
して、ブロック４０の加工を完了する。

【００１６】次に、このブロック４０を、図４（ｅ）の
切断線５５で示すように、切断することにより、図５に
示すスライダー部１１が完成する。図４の製造過程を経
ることにより、スライダー部１１は、その長手方向両側
に空気摺動面（ＡＢＳ）６０，６０を備えている。しか
も空気摺動面６０，６０は接続部６１を有している。こ
の接続部６１はスライダー部１１の浮上設計上、負圧を
発生する機能を有している。識別記号５０は、空気摺動
面６０，６０の間の位置における凹部７０の底面に配置
されている。スライダー部１１の一方の部分には、素子
部３５が勿論配置されている。このようにして図５に示
すようなスライダー部１１を作成することにより、例え
ピコスライダークラスの小型のスライダー部であって
も、容易に識別できる大きさの文字と必要な文字数を有
する識別記号５０を、比較的広い面積を有するスライダ
ー部１１の凹部７０の底面に形成することができる。こ
のスライダー部１１の凹部７０と空気摺動面６０，６０
は、図１の磁気ディスク１６の面に相対する面側であ
り、空気摺動面６０，６０は、磁気ディスク１６に摺動
し、磁気ディスク１６の回転により誘起され空気流によ
りスライダー部１１を浮上させる機能を有している部分
である。

【００１７】図６の実施の形態は、図５の実施の形態と
は多少異なり、図６のスライダー部１１１は素子部３５
を備え、かつ磁気ディスクに相対する空気摺動面１６
０，１６０の間の凹部１７０に識別記号１５０が描画さ
れている。この実施の形態は、図５の実施の形態と異な
り、図５の接続部分６１がないので、識別記号１５０が
空気摺動面１６０の長手方向に沿って形成することがで
きる。従ってこの実施の形態は、より多くの文字数を描
画できるとともに各文字の大きさをより大きくすること
ができる。

【００１８】ところで本発明は上記実施の形態に限定さ
れるものではない。図４（ｄ）において、識別記号５０
はドライエッチング法で形成しているが、これに限ら
ず、識別信号５０のみをレーザ光で描画してもよい。こ
の場合レーザ光はたとえばエキシマレーザ、ＣＯ₂ レー
ザ、ＹＡＧレーザ等を用いる。

【００１９】以上述べたように、本発明によれば、例え
ピコスライダー程度の小型のスライダー部に対しても、
容易に識別できる大きさと必要な文字数を有する識別記
号が確実に付与でき、これによって磁気ヘッドの初期性
能および信頼性の評価および把握がこの識別記号の付与
により確実に行える。また従来に比べ識別記号の文字の
大きさを大きくすることができるので、文字の識別が容
易になる。つまり、磁気ヘッドの完成品の状態で、その
識別記号を読む場合に、従来のようにスライダー部１の
裏面側に識別記号を付与するよりは、本発明の実施の形
態のように磁気ディスクと相対するスライダー部の面側
に形成する方がより読み取り易くなる。また磁気ヘッド
の浮上量の低下を図ることが求められているが、磁気ヘ
ッドの浮上量の低下とともに、従来の２レールテーパー
フラット形状のスライダー部や負圧形のスライダー等の
形式のスライダー部がエッチング技術により作成されつ
つある。このために、この識別記号は、同一エッチング
プロセスで加工を実施することにより工程削減が可能で
あり、ひいては安価なヘッドを供給することに寄与する
ことになる。

【００２０】なお、本発明の実施の形態の識別記号は、
図示した例ではアルファベットおよび数字のような記号
の組合せにより構成しているが、これに限らず他の記号
を用いることも勿論可能である。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型の磁気ヘッドのスライダー部においても容易に識別
可能な大きさと必要な文字数を有する識別手段を付与す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドを備える磁気ディスク装置
の例を示す平面図。

【図２】図１のスライダー部を形成するためのウェハー
の表面を示す図。

【図３】ウェハーの裏面を示す図。

【図４】ウェハーを切断してマスキングし、識別記号を
付与し、ドライエッチングを施してその後マスキング部
の剥離を行う工程を示す図。

【図５】図４のブロックを切断して得られる１つのスラ
イダー部を示すスライダー部の磁気ディスクの相対する
面（摺動側の面）を示す斜視図。

【図６】図５のスライダー部とは異なる別の実施の形態
のスライダー部を示す斜視図。

【図７】従来の磁気ヘッドのスライダー部の磁気ディス
クに相対する面側を示す斜視図。

【図８】従来のスライダー部を形成するためのウェハー
の表面を示す図。

【図９】従来のウェハーの裏面を示す図。

【図１０】従来におけるウェハーを切断して図７のスラ
イダー部を作るまでの工程を示す図。

【符号の説明】

１１ スライダー部 １２ 弾性支持部材 １３ アーム １４ アーム駆動部 １６ 磁気ディスク（磁気記録媒体） ３５ 素子部 ５０ 識別記号（識別手段） ６０ 空気摺動面 ７０ 凹部（磁気記録媒体の面に相対するスライダー部
の部位） Ｈ 磁気ヘッド

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円盤状の磁気記録媒体からの信号を記録
   再生する素子部を具備して磁気記録媒体の回転により誘
   起される空気流により浮上する機能を持つスライダー部
   と、このスライダー部を支えて所定の荷重がかかる第１
   方向とこの第１方向とは異なる第２方向の自由度を持つ
   弾性支持部材と、を有する磁気ヘッドにおいて、 その磁気ヘッドを他の磁気ヘッドを区別するための識別
   手段を、磁気記録媒体の面に相対するスライダー部の部
   位に具備することを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 識別手段は識別記号であり、ドライエッ
   チングで加工されている請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 識別手段のドライエッチング加工は、ス
   ライダー部に形成される空気摺動面のドライエッチング
   加工と同じプロセスで行う請求項２に記載の磁気ヘッ
   ド。
4. 【請求項４】 識別手段は識別記号であり、レーザ加工
   で形成される請求項１に記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 識別手段は、空気摺動面と空気摺動面の
   間の部分に形成される請求項３に記載の磁気ヘッド。