JPH0978228A - 薄膜樹脂マトリックスの製造方法 - Google Patents
薄膜樹脂マトリックスの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｃｒ膜のブラックマトリックスに替わる安全
で高特性なブラックマトリックスや高特性なカラー表示
薄膜を製造する。 【解決手段】 １種以上の有機顔料を蒸発させ、プラズ
マ成膜法により基板上に膜付けする。また、場合によ
り、膜付けに際し、金属または合金も蒸発励起させ、混
合複合膜とする。
で高特性なブラックマトリックスや高特性なカラー表示
薄膜を製造する。 【解決手段】 １種以上の有機顔料を蒸発させ、プラズ
マ成膜法により基板上に膜付けする。また、場合によ
り、膜付けに際し、金属または合金も蒸発励起させ、混
合複合膜とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、薄膜樹脂マトリ
ックスの製造方法に関するものである。さらに詳しく
は、この発明は、ＴＦＴやＳＴＮ等の液晶カラーディス
プレイのブラックマトリックスや各種のカラー表示等に
好適に用いることのできる製造が簡易で、高品質な成膜
を可能とする、新しい薄膜樹脂マトリックスの製造方法
に関するものである。
ックスの製造方法に関するものである。さらに詳しく
は、この発明は、ＴＦＴやＳＴＮ等の液晶カラーディス
プレイのブラックマトリックスや各種のカラー表示等に
好適に用いることのできる製造が簡易で、高品質な成膜
を可能とする、新しい薄膜樹脂マトリックスの製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】ＴＦＴやＳＴＮなどの液晶カ
ラーディスプレイには、カラー表示のために赤色
（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色のカラーフィル
ターがガラスなどの透明電極基板上に設けられており、
この透明電極基板への印加電圧を調整することにより３
色のカラーフィルターそれぞれを透過する光量を制御し
てカラー表示を行っている。しかし、実際には、３色の
カラーフィルターのみによるカラー表示ではその鮮明度
などに難点があるため、発色効果やコントラストを向上
させるために遮光性を有するブラックマトリックスと呼
ばれる膜が透明電極基板上、各ＲＧＢカラーフィルター
の間に形成されている。
ラーディスプレイには、カラー表示のために赤色
（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色のカラーフィル
ターがガラスなどの透明電極基板上に設けられており、
この透明電極基板への印加電圧を調整することにより３
色のカラーフィルターそれぞれを透過する光量を制御し
てカラー表示を行っている。しかし、実際には、３色の
カラーフィルターのみによるカラー表示ではその鮮明度
などに難点があるため、発色効果やコントラストを向上
させるために遮光性を有するブラックマトリックスと呼
ばれる膜が透明電極基板上、各ＲＧＢカラーフィルター
の間に形成されている。
【０００３】たとえば従来の顔料分散法プロセスによる
ＴＦＴ用カラーフィルターの構成の一例を示すと、透明
電極基板であるガラス基板上には、赤色カラーフィルタ
ー、緑色カラーフィルター、青色カラーフィルターの３
色のカラーフィルターが設けられており、さらにこれら
のカラーフィルターを区画するように各カラーフィルタ
ーの間にＣｒ膜のブラックマトリックスが設けられてい
る。そして、これらのカラーフィルターとブラックマト
リックスを覆うようにガラス基板上にオーバーコートが
設けられ、さらにオーバーコート上にはＩＴＯ導電膜が
設けられている。このように、３色のカラーフィルター
を区画するようにブラックマトリックスを形成させるこ
とにより、より高精細なカラー表示を行っている。
ＴＦＴ用カラーフィルターの構成の一例を示すと、透明
電極基板であるガラス基板上には、赤色カラーフィルタ
ー、緑色カラーフィルター、青色カラーフィルターの３
色のカラーフィルターが設けられており、さらにこれら
のカラーフィルターを区画するように各カラーフィルタ
ーの間にＣｒ膜のブラックマトリックスが設けられてい
る。そして、これらのカラーフィルターとブラックマト
リックスを覆うようにガラス基板上にオーバーコートが
設けられ、さらにオーバーコート上にはＩＴＯ導電膜が
設けられている。このように、３色のカラーフィルター
を区画するようにブラックマトリックスを形成させるこ
とにより、より高精細なカラー表示を行っている。
【０００４】従来より、このような液晶カラーディスプ
レイ用カラーフィルターのブラックマトリックスとして
は、上記の通り、金属Ｃｒ膜が用いられている。この金
属Ｃｒ膜のブラックマトリックスは、解像性や遮光性に
優れていたために多用されている。しかしながら、この
金属Ｃｒは有毒物性を有する劇毒物であるため、環境や
人体への影響が懸念されている。そこで、近年、他の物
質への変換が検討されており、Ｃｒブラックマトリック
スに替わるものとして樹脂ブラックマトリックスが注目
されはじめている。このような樹脂ブラックマトリック
スの製造方法としては、有機溶媒・顔料の混合インキを
スピンコーターにより膜付けする湿式法や、電解液中に
おいて分散する有機物質を電気泳動方式により膜付けす
る電着法などが提案されてもいる。
レイ用カラーフィルターのブラックマトリックスとして
は、上記の通り、金属Ｃｒ膜が用いられている。この金
属Ｃｒ膜のブラックマトリックスは、解像性や遮光性に
優れていたために多用されている。しかしながら、この
金属Ｃｒは有毒物性を有する劇毒物であるため、環境や
人体への影響が懸念されている。そこで、近年、他の物
質への変換が検討されており、Ｃｒブラックマトリック
スに替わるものとして樹脂ブラックマトリックスが注目
されはじめている。このような樹脂ブラックマトリック
スの製造方法としては、有機溶媒・顔料の混合インキを
スピンコーターにより膜付けする湿式法や、電解液中に
おいて分散する有機物質を電気泳動方式により膜付けす
る電着法などが提案されてもいる。
【０００５】しかしながら、この湿式法や電着法による
樹脂ブラックマトリックスの製造法では、その製造工程
が複雑であり反応速度も遅く、大量生産に適さないとい
った欠点がある。また一方で、各種のカラー表示におい
ては薄膜の利用が期待されているが、これまでの技術は
いずれも塗装方法が主流となっており、その操作や取扱
いは面倒であった。しかも、各種の金属や無機物の気相
蒸着によるカラー表示も知られているが、カラーのバリ
エーションに制約があり、製造技術としては自由度が乏
しいのが実情である。
樹脂ブラックマトリックスの製造法では、その製造工程
が複雑であり反応速度も遅く、大量生産に適さないとい
った欠点がある。また一方で、各種のカラー表示におい
ては薄膜の利用が期待されているが、これまでの技術は
いずれも塗装方法が主流となっており、その操作や取扱
いは面倒であった。しかも、各種の金属や無機物の気相
蒸着によるカラー表示も知られているが、カラーのバリ
エーションに制約があり、製造技術としては自由度が乏
しいのが実情である。
【０００６】そこで、この発明は、上記のような従来技
術の欠点を解決するために創案されたものであり、Ｃｒ
膜のブラックマトリックスに替わる安全で高特性なブラ
ックマトリックスや各種のカラー表示のための薄膜を容
易に、かつ高品質なものとして製造することのできる、
新しい薄膜樹脂マトリックスの製造方法を提供すること
を目的としている。
術の欠点を解決するために創案されたものであり、Ｃｒ
膜のブラックマトリックスに替わる安全で高特性なブラ
ックマトリックスや各種のカラー表示のための薄膜を容
易に、かつ高品質なものとして製造することのできる、
新しい薄膜樹脂マトリックスの製造方法を提供すること
を目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、１種以上の有機顔料を蒸発さ
せ、プラズマ成膜法により基板上に膜付けすることを特
徴とする薄膜樹脂マトリックスの製造方法を提供する。
さらにまた、この発明は、１種以上の有機顔料を蒸発さ
せ、プラズマ成膜法により基板上に膜付けする際に、有
機顔料とともに金属もしくは合金をも蒸発させて励起
し、基板上に混合複合膜からなる樹脂マトリックスを製
造することを特徴とする薄膜樹脂マトリックスの製造方
法をも提供する。
を解決するものとして、１種以上の有機顔料を蒸発さ
せ、プラズマ成膜法により基板上に膜付けすることを特
徴とする薄膜樹脂マトリックスの製造方法を提供する。
さらにまた、この発明は、１種以上の有機顔料を蒸発さ
せ、プラズマ成膜法により基板上に膜付けする際に、有
機顔料とともに金属もしくは合金をも蒸発させて励起
し、基板上に混合複合膜からなる樹脂マトリックスを製
造することを特徴とする薄膜樹脂マトリックスの製造方
法をも提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明の薄膜樹脂マトリックス
の製造方法では、上記の通り、有機顔料を蒸発させ、プ
ラズマ成膜法によりガラス、その他の基板上に膜付けす
る。この方法の場合、プラズマ成膜法としては、いわゆ
るグロー放電プラズマにより成膜する各種の方法が採用
されるが、なかでも成膜による付着強度、薄膜組織の均
一性等の観点からは、高周波励起によるイオンプレーテ
ィングや反応性イオンプレーティング法がその好適な代
表例として挙げられる。
の製造方法では、上記の通り、有機顔料を蒸発させ、プ
ラズマ成膜法によりガラス、その他の基板上に膜付けす
る。この方法の場合、プラズマ成膜法としては、いわゆ
るグロー放電プラズマにより成膜する各種の方法が採用
されるが、なかでも成膜による付着強度、薄膜組織の均
一性等の観点からは、高周波励起によるイオンプレーテ
ィングや反応性イオンプレーティング法がその好適な代
表例として挙げられる。
【０００９】このようなプラズマ成膜法においては、た
とえば真空度１×１０-6〜１×１０ -4Ｔｏｒｒレベルに
まで真空排気した反応槽内において、有機顔料、もしく
は有機顔料と金属または合金とを蒸発させ、蒸発粒子を
プラズマ励起して成膜することになる。このプラズマ成
膜においては、たとえばアルゴン（Ａｒ）圧１×１０-4
〜１×１０-2Ｔｏｒｒレベルにおいて基板を加熱して、
または加熱することなく成膜することができる。蒸発は
抵抗加熱、誘導加熱、あるいは電子ビーム照射等によっ
て行うことができる。
とえば真空度１×１０-6〜１×１０ -4Ｔｏｒｒレベルに
まで真空排気した反応槽内において、有機顔料、もしく
は有機顔料と金属または合金とを蒸発させ、蒸発粒子を
プラズマ励起して成膜することになる。このプラズマ成
膜においては、たとえばアルゴン（Ａｒ）圧１×１０-4
〜１×１０-2Ｔｏｒｒレベルにおいて基板を加熱して、
または加熱することなく成膜することができる。蒸発は
抵抗加熱、誘導加熱、あるいは電子ビーム照射等によっ
て行うことができる。
【００１０】この発明の樹脂ブラックマトリックスは、
有機顔料分子、その架橋物、プラズマ重合物、さらには
これらと金属もしくは合金との混合複合膜として成膜さ
れることになる。有機顔料としてはカーボンブラック等
の黒色顔料や、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料、黄色顔
料等の各種のものの単独、もしくはその混合が、成膜さ
れる樹脂マトリックスの反射率、膜密着性等を考慮して
使用される。配合割合の選択も同様である。金属もしく
は合金についても、同様にＡｌ、Ｔｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、
Ｗ、Ｍｏ、Ａｇ等の各種のものが選択使用される。
有機顔料分子、その架橋物、プラズマ重合物、さらには
これらと金属もしくは合金との混合複合膜として成膜さ
れることになる。有機顔料としてはカーボンブラック等
の黒色顔料や、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料、黄色顔
料等の各種のものの単独、もしくはその混合が、成膜さ
れる樹脂マトリックスの反射率、膜密着性等を考慮して
使用される。配合割合の選択も同様である。金属もしく
は合金についても、同様にＡｌ、Ｔｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、
Ｗ、Ｍｏ、Ａｇ等の各種のものが選択使用される。
【００１１】また、基板としては、ガラス、ガラス・Ｉ
ＴＯ透明電極をはじめ、各種の無機物、あるいは有機ポ
リマー、金属もしくは合金等が使用される。そして、こ
の発明では、有機顔料のみの場合、あるいは有機顔料の
金属もしくは合金の複合の場合も、複数の顔料物質を用
いてよく、これらの別異の有機顔料は順次に積層膜付け
してもよいし、別異の有機顔料を別々の蒸発源より同時
に蒸発させて膜付けすることや、別異の有機顔料をあら
かじめ混合した蒸発源より蒸発させて膜付けすることで
あってもよい。
ＴＯ透明電極をはじめ、各種の無機物、あるいは有機ポ
リマー、金属もしくは合金等が使用される。そして、こ
の発明では、有機顔料のみの場合、あるいは有機顔料の
金属もしくは合金の複合の場合も、複数の顔料物質を用
いてよく、これらの別異の有機顔料は順次に積層膜付け
してもよいし、別異の有機顔料を別々の蒸発源より同時
に蒸発させて膜付けすることや、別異の有機顔料をあら
かじめ混合した蒸発源より蒸発させて膜付けすることで
あってもよい。
【００１２】有機顔料とともに金属もしくは合金を用い
る場合には、その割合は、蒸発使用量としておおむね１
００：１〜３０（重量比）程度とする。なお、成膜に際
して、基板表面をプラズマにさらしてボンバード処理す
ることも有効である。以上の方法により得られるこの発
明の薄膜樹脂マトリックスは、硬度、密着強度、反射率
特性等に優れ、Ｃｒブラックマトリックスに代わり得る
ものとして、また各種のカラー表示薄膜のためのマトリ
ックスとして極めて高品質である。
る場合には、その割合は、蒸発使用量としておおむね１
００：１〜３０（重量比）程度とする。なお、成膜に際
して、基板表面をプラズマにさらしてボンバード処理す
ることも有効である。以上の方法により得られるこの発
明の薄膜樹脂マトリックスは、硬度、密着強度、反射率
特性等に優れ、Ｃｒブラックマトリックスに代わり得る
ものとして、また各種のカラー表示薄膜のためのマトリ
ックスとして極めて高品質である。
【００１３】以下、実施例を示し、さらに詳しくこの発
明の実施の形態について説明する。もちろんこの発明は
以下の例によって限定されるものではない。
明の実施の形態について説明する。もちろんこの発明は
以下の例によって限定されるものではない。
【００１４】
【実施例】図１は、この発明の方法として、高周波励起
方式によるプラズマ成膜のための装置構成の概要を例示
したものである。すなわち、たとえば、この図１に例示
したように、反応槽（１）内に、蒸発ボートに入れた蒸
発源（２）（３）と、基板ホルダーに支持した基板
（４）、シャッター（５）、高周波励起コイル（６）を
配置し、真空排気口（７）、Ａｒ（アルゴン）ガス等不
活性ガスや反応性ガス等のガス導入口（８）、さらには
真空計（９）、膜厚計（１０）を備えている。
方式によるプラズマ成膜のための装置構成の概要を例示
したものである。すなわち、たとえば、この図１に例示
したように、反応槽（１）内に、蒸発ボートに入れた蒸
発源（２）（３）と、基板ホルダーに支持した基板
（４）、シャッター（５）、高周波励起コイル（６）を
配置し、真空排気口（７）、Ａｒ（アルゴン）ガス等不
活性ガスや反応性ガス等のガス導入口（８）、さらには
真空計（９）、膜厚計（１０）を備えている。
【００１５】このような構成からなる成膜装置におい
て、以下のような操作条件を採用した。 真空度：１×１０-5Ｔｏｒｒ 成膜圧：Ａｒ １×１０-3Ｔｏｒｒ 高周波電力：２０Ｗ（１３．５６ＭＨｚ） 蒸発手段：抵抗加熱 基板と蒸発源との距離：２００ｍｍ 基板：ガラス 基板ボンバード：Ａｒ、２×１０-4Ｔｏｒｒ、１０分間 蒸発温度：３７０℃ 成膜速度：１７〜２０Å／ｓｅｃ 以上の操作条件において、図１の蒸発源（１）として順
次有機顔料としてペリレンレッド（赤色顔料）および銅
フタロシアニンブルー（青色顔料）を用い、これを順次
５０００Å毎に成膜して多層膜（膜厚１００００Å）を
形成した。得られた薄膜樹脂マトリックスは、鉛筆硬度
ＨＢで、スコッチテープ法による密着試験での剥離はな
く、反射率は、図２にも示したが、膜面よりの測定（島
津製作所ＵＶ−２１００Ｓ、レファレンスはＡｌ）によ
り、ほぼ２％であることが確認された。
て、以下のような操作条件を採用した。 真空度：１×１０-5Ｔｏｒｒ 成膜圧：Ａｒ １×１０-3Ｔｏｒｒ 高周波電力：２０Ｗ（１３．５６ＭＨｚ） 蒸発手段：抵抗加熱 基板と蒸発源との距離：２００ｍｍ 基板：ガラス 基板ボンバード：Ａｒ、２×１０-4Ｔｏｒｒ、１０分間 蒸発温度：３７０℃ 成膜速度：１７〜２０Å／ｓｅｃ 以上の操作条件において、図１の蒸発源（１）として順
次有機顔料としてペリレンレッド（赤色顔料）および銅
フタロシアニンブルー（青色顔料）を用い、これを順次
５０００Å毎に成膜して多層膜（膜厚１００００Å）を
形成した。得られた薄膜樹脂マトリックスは、鉛筆硬度
ＨＢで、スコッチテープ法による密着試験での剥離はな
く、反射率は、図２にも示したが、膜面よりの測定（島
津製作所ＵＶ−２１００Ｓ、レファレンスはＡｌ）によ
り、ほぼ２％であることが確認された。
【００１６】ちなみに、図３は、この従来のカラーフィ
ルターに用いられている金属Ｃｒ膜のブラックマトリッ
クスの反射率特性を示したものである。これら図２及び
図３から明らかなように、この発明により製造された樹
脂マトリックスの反射率は、その膜厚が従来の金属Ｃｒ
膜のブラックマトリックスの膜厚に比べて厚いものの、
波長３８０〜７００ｎｍの可視光領域全域において反射
率約２％のフラットな特性を有し、従来の金属Ｃｒ膜の
ブラックマトリックスの高反射率に比べると、非常に低
い反射率であることがかる。液晶ディスプレイに用いら
れているカラーフィルターのブラックマトリックスの反
射率は、カラー表示の鮮明度を大きく左右するものであ
り、たとえば、強い外光の下での表示の際には表示コン
トラストを高めるためにその反射率を低く抑える必要が
ある。したがって、この発明による樹脂マトリックスは
優れた低反射率を有するために、これを用いたカラーフ
ィルターはコントラストの良いカラー表示を行うことが
できる。
ルターに用いられている金属Ｃｒ膜のブラックマトリッ
クスの反射率特性を示したものである。これら図２及び
図３から明らかなように、この発明により製造された樹
脂マトリックスの反射率は、その膜厚が従来の金属Ｃｒ
膜のブラックマトリックスの膜厚に比べて厚いものの、
波長３８０〜７００ｎｍの可視光領域全域において反射
率約２％のフラットな特性を有し、従来の金属Ｃｒ膜の
ブラックマトリックスの高反射率に比べると、非常に低
い反射率であることがかる。液晶ディスプレイに用いら
れているカラーフィルターのブラックマトリックスの反
射率は、カラー表示の鮮明度を大きく左右するものであ
り、たとえば、強い外光の下での表示の際には表示コン
トラストを高めるためにその反射率を低く抑える必要が
ある。したがって、この発明による樹脂マトリックスは
優れた低反射率を有するために、これを用いたカラーフ
ィルターはコントラストの良いカラー表示を行うことが
できる。
【００１７】また、この発明の樹脂マトリックスの光学
濃度は３以下となり、波長３８０〜７００ｎｍの可視光
領域全域においてその光学濃度が３以上とならなければ
ならないと言うブラックマトリックスの使用条件を十分
に満たすものとなる。なお、上記の２種の有機顔料を、
別々の蒸発源から同時に蒸発させて膜付けした場合にも
ほぼ上記の同様の優れた結果が得られた。
濃度は３以下となり、波長３８０〜７００ｎｍの可視光
領域全域においてその光学濃度が３以上とならなければ
ならないと言うブラックマトリックスの使用条件を十分
に満たすものとなる。なお、上記の２種の有機顔料を、
別々の蒸発源から同時に蒸発させて膜付けした場合にも
ほぼ上記の同様の優れた結果が得られた。
【００１８】次に、図１の蒸発源（２）として金属Ｇｅ
（ゲルマニウム）を用い、蒸発源（１）として、順次、
上記の通りペリレンレッド、銅フタロシアニンブルーを
用い、同時に蒸発励起させ、ペリレンレッド−Ｇｅ混合
複合膜（膜厚５０００Å）および銅フタロシアニンブル
ー−Ｇｅ混合複合膜（膜厚５３００Å）を積層成膜し
た。
（ゲルマニウム）を用い、蒸発源（１）として、順次、
上記の通りペリレンレッド、銅フタロシアニンブルーを
用い、同時に蒸発励起させ、ペリレンレッド−Ｇｅ混合
複合膜（膜厚５０００Å）および銅フタロシアニンブル
ー−Ｇｅ混合複合膜（膜厚５３００Å）を積層成膜し
た。
【００１９】得られた膜厚１０３００Åの樹脂マトリッ
クスは、鉛筆硬度５Ｈで、剥離はなく、その反射率は、
図４に例示した通り、約２％であった。非常に硬質の、
低反射膜が得られた。なお、上記の２種の有機顔料を、
別々の蒸発源から同時に蒸発させて膜付けした場合にも
ほぼ上記の同様の優れた結果が得られた。
クスは、鉛筆硬度５Ｈで、剥離はなく、その反射率は、
図４に例示した通り、約２％であった。非常に硬質の、
低反射膜が得られた。なお、上記の２種の有機顔料を、
別々の蒸発源から同時に蒸発させて膜付けした場合にも
ほぼ上記の同様の優れた結果が得られた。
【００２０】
【発明の効果】この発明は、以上詳しく説明した通り、
Ｃｒ膜のブラックマトリックスに替わる安全で高特性な
樹脂マトリックスを容易に製造することができ、また、
高特性なカラー表示薄膜を容易に製造することができ
る。
Ｃｒ膜のブラックマトリックスに替わる安全で高特性な
樹脂マトリックスを容易に製造することができ、また、
高特性なカラー表示薄膜を容易に製造することができ
る。
【図１】この発明の方法のための装置構成を例示した断
面図である。
面図である。
【図２】実施例としての薄膜樹脂マトリックスの反射率
特性図である。
特性図である。
【図３】従来のカラーフィルターに用いられている金属
Ｃｒ膜のブラックマトリックスの反射率特性図である。
Ｃｒ膜のブラックマトリックスの反射率特性図である。
【図４】この発明の別の実施例としての薄膜樹脂マトリ
ックスの反射率特性図である。
ックスの反射率特性図である。
１ 反応槽 ２ 蒸発源 ３ 蒸発源 ４ 基板 ５ シャッター ６ 高周波励起コイル ７ 真空排気口 ８ ガス導入口 ９ 真空計 １０ 膜厚計
Claims (11)
- 【請求項１】 １種以上の有機顔料を蒸発させ、プラズ
マ成膜法により基板上に膜付けすることを特徴とする薄
膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項２】 別異の有機顔料を順次に積層膜付けする
請求項１の薄膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項３】 別異の有機顔料を別々の蒸発源より同時
に蒸発させて膜付けする請求項１の薄膜樹脂マトリック
スの製造方法。 - 【請求項４】 別異の有機顔料をあらかじめ混合した蒸
発源より蒸発させて膜付けする請求項１の薄膜樹脂マト
リックスの製造方法。 - 【請求項５】 有機顔料が、赤色顔料、青色顔料、緑色
顔料および黄色顔料の少くとも１種である請求項１ない
し４の薄膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項６】 １種以上の有機顔料を蒸発させ、プラズ
マ成膜法により基板上に膜付けする際に、有機顔料とと
もに金属もしくは合金をも蒸発させて励起し、基板上に
混合複合膜からなる樹脂マトリックスを製造することを
特徴とする薄膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項７】 別異の有機顔料を順次に金属もしくは合
金とともに蒸発させて積層膜付けする請求項１の薄膜樹
脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項８】 別異の有機顔料を別々の蒸発源より同時
に金属もしくは合金とともに蒸発させて膜付けする請求
項１の薄膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項９】 別異の有機顔料をあらかじめ混合した蒸
発源より金属もしくは合金とともに蒸発させて膜付けす
る請求項１の薄膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項１０】 有機顔料が、赤色顔料、青色顔料、緑
色顔料および黄色顔料の少くとも１種である請求項６な
いし１０の薄膜樹脂マトリックスの製造方法。 - 【請求項１１】 高周波励起によりプラズマ成膜するこ
とを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかの薄膜樹
脂マトリックスの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23886195A JPH0978228A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | 薄膜樹脂マトリックスの製造方法 |
| EP95309529A EP0763388A3 (en) | 1995-09-18 | 1995-12-29 | Method for manufacturing a thin layer of resin matrix |
| US08/974,998 US5853817A (en) | 1995-09-18 | 1997-11-20 | Method for producing a thin film resin matrix |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23886195A JPH0978228A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | 薄膜樹脂マトリックスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0978228A true JPH0978228A (ja) | 1997-03-25 |
Family
ID=17036357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23886195A Pending JPH0978228A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | 薄膜樹脂マトリックスの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5853817A (ja) |
| EP (1) | EP0763388A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0978228A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006171781A (ja) * | 2006-01-11 | 2006-06-29 | Mitsubishi Chemicals Corp | 遮光性感光性組成物の製造方法、遮光性感光性組成物、及びカラーフィルター |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2874606B1 (fr) * | 2004-08-26 | 2006-10-13 | Saint Gobain | Procede de transfert d'une molecule organique fonctionnelle sur un substrat transparent |
| KR102650149B1 (ko) * | 2015-11-10 | 2024-03-20 | 노발레드 게엠베하 | 금속 함유 층을 제조하는 공정 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5266798A (en) * | 1975-11-29 | 1977-06-02 | Sumitomo Chemical Co | Powder coating method of cloth |
| JPS60195035A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-03 | Unitika Ltd | 防眩性透明成型物 |
| DE4137606C1 (ja) * | 1991-11-15 | 1992-07-30 | Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De | |
| FR2708626B1 (fr) * | 1993-08-02 | 1998-06-05 | Director General Agency Ind | Film ultramince transparent et conducteur et procédé pour sa fabrication. |
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1995
- 1995-09-18 JP JP23886195A patent/JPH0978228A/ja active Pending
- 1995-12-29 EP EP95309529A patent/EP0763388A3/en not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-11-20 US US08/974,998 patent/US5853817A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006171781A (ja) * | 2006-01-11 | 2006-06-29 | Mitsubishi Chemicals Corp | 遮光性感光性組成物の製造方法、遮光性感光性組成物、及びカラーフィルター |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5853817A (en) | 1998-12-29 |
| EP0763388A3 (en) | 1997-10-29 |
| EP0763388A2 (en) | 1997-03-19 |
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