JPH0966459A - ワイヤソー装置及びワイヤの巻き取り方法 - Google Patents
ワイヤソー装置及びワイヤの巻き取り方法Info
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- JPH0966459A JPH0966459A JP22425695A JP22425695A JPH0966459A JP H0966459 A JPH0966459 A JP H0966459A JP 22425695 A JP22425695 A JP 22425695A JP 22425695 A JP22425695 A JP 22425695A JP H0966459 A JPH0966459 A JP H0966459A
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- reel
- traverser
- winding
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤの巻き取りに際して、巻き崩れや、食
い込み等の発生を防止する。 【解決手段】 タッチローラ64,65、センサとして
のエンコーダ66,67及び制御手段26によってトラ
バーサ29の反転端の位置の補正手段が構成される。ト
ラバーサ29が上下方向に往復移動するとき、所定往復
回数毎に、例えば十往復に一度の割合でトラバーサ29
に巻き取りリール14の上部軸端の位置を超過移動させ
る。ワイヤ6が接触してタッチローラ65が回転し始め
るまでの間に、トラバーサ29が移動する距離△Lは装
置固有のものである。よって、タッチローラ65の回転
が感知されたときのトラバーサ29の位置から△Lの距
離の分だけリール14側へ戻ったとこの位置が、常に補
正された新たな上部反転端の位置となる。
い込み等の発生を防止する。 【解決手段】 タッチローラ64,65、センサとして
のエンコーダ66,67及び制御手段26によってトラ
バーサ29の反転端の位置の補正手段が構成される。ト
ラバーサ29が上下方向に往復移動するとき、所定往復
回数毎に、例えば十往復に一度の割合でトラバーサ29
に巻き取りリール14の上部軸端の位置を超過移動させ
る。ワイヤ6が接触してタッチローラ65が回転し始め
るまでの間に、トラバーサ29が移動する距離△Lは装
置固有のものである。よって、タッチローラ65の回転
が感知されたときのトラバーサ29の位置から△Lの距
離の分だけリール14側へ戻ったとこの位置が、常に補
正された新たな上部反転端の位置となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体材
料、磁性材料、セラミック等の脆弱性材料をワイヤによ
り切断するワイヤソー装置に関するものである。
料、磁性材料、セラミック等の脆弱性材料をワイヤによ
り切断するワイヤソー装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の装置においては、ワイヤを加工
用ローラ側へ繰り出すリールと、切断を終えたワイヤを
巻き取るためのリールとを備えたリール機構がフレーム
上に装設されている。そして、複数の加工用ローラ間に
ワイヤが多数回螺旋状に巻掛けられる。そして、その加
工用ローラの回転によりワイヤが走行され、その走行中
のワイヤに対してワークが接触されるとともに、その接
触部に砥粒を含むスラリーが供給されて、ワークがワイ
ヤによりウエハー状にスライスされる。
用ローラ側へ繰り出すリールと、切断を終えたワイヤを
巻き取るためのリールとを備えたリール機構がフレーム
上に装設されている。そして、複数の加工用ローラ間に
ワイヤが多数回螺旋状に巻掛けられる。そして、その加
工用ローラの回転によりワイヤが走行され、その走行中
のワイヤに対してワークが接触されるとともに、その接
触部に砥粒を含むスラリーが供給されて、ワークがワイ
ヤによりウエハー状にスライスされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、装置の
運転中、リールは熱膨張やワイヤの巻付圧力のために軸
方向に伸張する。よって、リールの巻付胴の端部の位置
が定まらず、このため巻き取りが一定範囲を往復動する
トラバーサに案内されるにもかかわらず、リールに対す
るワイヤの巻き取り端部の位置が定位置にならないおそ
れがある。従って、巻き崩れが起こったり、すでに巻か
れたワイヤ間に新たに巻き付けられたワイヤが食い込ん
だりする。その結果、ワイヤ送りの向きを反転してワイ
ヤを繰り出すとき、ワイヤには大きな張力変動が働い
て、ワイヤが断線したりするおそれがある。
運転中、リールは熱膨張やワイヤの巻付圧力のために軸
方向に伸張する。よって、リールの巻付胴の端部の位置
が定まらず、このため巻き取りが一定範囲を往復動する
トラバーサに案内されるにもかかわらず、リールに対す
るワイヤの巻き取り端部の位置が定位置にならないおそ
れがある。従って、巻き崩れが起こったり、すでに巻か
れたワイヤ間に新たに巻き付けられたワイヤが食い込ん
だりする。その結果、ワイヤ送りの向きを反転してワイ
ヤを繰り出すとき、ワイヤには大きな張力変動が働い
て、ワイヤが断線したりするおそれがある。
【0004】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的
は、ワイヤの巻き取りの際にワイヤがリールの巻胴部に
巻き崩れ、及び巻き不足が生じたりすることなく均一に
巻き取られるようなワイヤソー装置及びその巻き取り方
法を提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的
は、ワイヤの巻き取りの際にワイヤがリールの巻胴部に
巻き崩れ、及び巻き不足が生じたりすることなく均一に
巻き取られるようなワイヤソー装置及びその巻き取り方
法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明では、リールにワイヤを均一
に巻き取るために、トラバーサの反転端の位置を補正す
る補正手段を設けている。
め、請求項1に記載の発明では、リールにワイヤを均一
に巻き取るために、トラバーサの反転端の位置を補正す
る補正手段を設けている。
【0006】請求項2に記載の発明では、前記補正手段
は、トラバーサを所定往復回数毎に前記リールの巻付端
より超過して移動させ、センサがその超過を検出したと
きにおけるトラバーサの位置から新たな反転端の位置を
演算して補正するようにしたものである。
は、トラバーサを所定往復回数毎に前記リールの巻付端
より超過して移動させ、センサがその超過を検出したと
きにおけるトラバーサの位置から新たな反転端の位置を
演算して補正するようにしたものである。
【0007】請求項3に記載の発明では、前記リールは
巻付胴の軸線に対してほぼ直角な内面を有するフランジ
を設けている。請求項4に記載の発明では、前記リール
をその中心軸線が鉛直方向を指向するように支持すると
ともに、前記トラバーサをリールの軸線方向に沿って往
復移動可能になるように配置したものである。
巻付胴の軸線に対してほぼ直角な内面を有するフランジ
を設けている。請求項4に記載の発明では、前記リール
をその中心軸線が鉛直方向を指向するように支持すると
ともに、前記トラバーサをリールの軸線方向に沿って往
復移動可能になるように配置したものである。
【0008】請求項5に記載の発明では、トラバーサを
所定往復回数毎にリールの巻付端より超過して移動さ
せ、センサがその超過を検出したときのトラバーサの位
置から反転端の位置を演算して補正するようにしたもの
である。
所定往復回数毎にリールの巻付端より超過して移動さ
せ、センサがその超過を検出したときのトラバーサの位
置から反転端の位置を演算して補正するようにしたもの
である。
【0009】請求項6に記載の発明では、前記リールの
両端部のうち少なくとも一方の外面を圧縮ばねを介して
保持したものである。従って、請求項1に記載の発明で
は、トラバーサの反転端の位置が補正されながらワイヤ
がリールの巻付胴の端から端へ均一に巻き取られる。
両端部のうち少なくとも一方の外面を圧縮ばねを介して
保持したものである。従って、請求項1に記載の発明で
は、トラバーサの反転端の位置が補正されながらワイヤ
がリールの巻付胴の端から端へ均一に巻き取られる。
【0010】請求項2に記載の発明では、トラバーサが
所定往復回数毎にリールの巻付端より超過して移動さ
れ、センサがその超過を検出したときにおけるトラバー
サの位置の検出信号からトラバーサの新たな反転端の位
置が自動的に演算され補正される。
所定往復回数毎にリールの巻付端より超過して移動さ
れ、センサがその超過を検出したときにおけるトラバー
サの位置の検出信号からトラバーサの新たな反転端の位
置が自動的に演算され補正される。
【0011】請求項3に記載の発明では、前記リールの
巻付胴の軸線に対して直角な内面を有するフランジの付
け根の部分までワイヤが均一に巻き取られ、ワイヤの巻
き取り量が減少することがない。
巻付胴の軸線に対して直角な内面を有するフランジの付
け根の部分までワイヤが均一に巻き取られ、ワイヤの巻
き取り量が減少することがない。
【0012】請求項4に記載の発明では、上部反転端位
置のみ補正が行われる。請求項5に記載の発明では、装
置の運転中にトラバーサが所定往復回数毎にリールの巻
付端より超過して移動され、センサがその超過を検出し
たときにおけるトラバーサの位置から新たな反転端の位
置が演算され補正される。
置のみ補正が行われる。請求項5に記載の発明では、装
置の運転中にトラバーサが所定往復回数毎にリールの巻
付端より超過して移動され、センサがその超過を検出し
たときにおけるトラバーサの位置から新たな反転端の位
置が演算され補正される。
【0013】請求項6に記載の発明では、前記リールが
熱膨張やワイヤ巻付圧力等によって伸長しようとしたと
き、一方の端部に設けられた圧縮ばねによってそのリー
ルの伸長が許容される。
熱膨張やワイヤ巻付圧力等によって伸長しようとしたと
き、一方の端部に設けられた圧縮ばねによってそのリー
ルの伸長が許容される。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化したワイ
ヤソー装置の一実施形態を、図面に基づいて説明する。
ヤソー装置の一実施形態を、図面に基づいて説明する。
【0015】図1及び図2に示すように、基台1は床面
上に設置され、その上面にはフレーム2,3,4が立設
されている。切断機構5はフレーム2上に装設されてい
る。この切断機構5は平行に延びる加工用ローラとして
の駆動溝ローラ7及び従動溝ローラ8を備え、それらの
外周には環状をなす多数の溝7a,8aが所定ピッチで
形成されている。なお、図面において理解を容易にする
ために、溝7a,8aの数を実際よりも少なく描いてい
る。一本の切断用ワイヤ6は前記溝ローラ7,8の各溝
7a,8aに連続的に巻回されている。ワイヤ走行用モ
ータ9は基台1上に配設され、このモータ9により駆動
溝ローラ7が直接回転される。そして、溝ローラ7,8
の往復回転によって、ワイヤ6が一方向又は双方向に走
行される。例えば、溝ローラ7,8の往復回転により、
ワイヤ6が10メートル往動した後、9メートル復動す
るということを繰り返す。ワーク支持機構10はフレー
ム3の左側面に前記切断機構5の上方において上下動可
能に支持され、その下部にはワーク11がセットされ
る。そして、ワイヤ6が溝ローラ7a,8a間で走行さ
れながら、ワーク支持機構10が下降される。このと
き、ワイヤ6上へ砥粒を含むスラリーが図示しないスラ
リー供給装置から供給されるとともに、そのワイヤ6に
対し、ワーク11が押し付けられ、ラッピング作用によ
ってワーク11がスライス加工される。
上に設置され、その上面にはフレーム2,3,4が立設
されている。切断機構5はフレーム2上に装設されてい
る。この切断機構5は平行に延びる加工用ローラとして
の駆動溝ローラ7及び従動溝ローラ8を備え、それらの
外周には環状をなす多数の溝7a,8aが所定ピッチで
形成されている。なお、図面において理解を容易にする
ために、溝7a,8aの数を実際よりも少なく描いてい
る。一本の切断用ワイヤ6は前記溝ローラ7,8の各溝
7a,8aに連続的に巻回されている。ワイヤ走行用モ
ータ9は基台1上に配設され、このモータ9により駆動
溝ローラ7が直接回転される。そして、溝ローラ7,8
の往復回転によって、ワイヤ6が一方向又は双方向に走
行される。例えば、溝ローラ7,8の往復回転により、
ワイヤ6が10メートル往動した後、9メートル復動す
るということを繰り返す。ワーク支持機構10はフレー
ム3の左側面に前記切断機構5の上方において上下動可
能に支持され、その下部にはワーク11がセットされ
る。そして、ワイヤ6が溝ローラ7a,8a間で走行さ
れながら、ワーク支持機構10が下降される。このと
き、ワイヤ6上へ砥粒を含むスラリーが図示しないスラ
リー供給装置から供給されるとともに、そのワイヤ6に
対し、ワーク11が押し付けられ、ラッピング作用によ
ってワーク11がスライス加工される。
【0016】リール機構12はフレーム4上に装設され
ている。このリール機構12は、ワイヤ6を繰り出し、
巻き取るための一対のリール13,14を備えている。
なお、両リール13,14は巻き取り、繰り出しの両機
能を有するが、以降の説明においては、説明を簡略化す
るために一例として一方のリール13を繰り出しリー
ル、他方のリール14を巻き取りリールとした場合を述
べる。後述する一対のリール回転用モータ31,32は
基台1に配設され、これらのモータ31,32により繰
り出しリール13及び巻き取りリール14が個別に回転
される。
ている。このリール機構12は、ワイヤ6を繰り出し、
巻き取るための一対のリール13,14を備えている。
なお、両リール13,14は巻き取り、繰り出しの両機
能を有するが、以降の説明においては、説明を簡略化す
るために一例として一方のリール13を繰り出しリー
ル、他方のリール14を巻き取りリールとした場合を述
べる。後述する一対のリール回転用モータ31,32は
基台1に配設され、これらのモータ31,32により繰
り出しリール13及び巻き取りリール14が個別に回転
される。
【0017】トラバース機構15はリール機構12に隣
接してフレーム4上に装設され、繰り出しリール13か
らのワイヤ6の繰り出し及び巻き取りリール14へのワ
イヤ6の巻き取りを上下にトラバースしながら案内す
る。そして、両リール13,14の回転及び溝ローラの
回転により繰り出しリール13から切断機構5へワイヤ
6が繰り出されるとともに、加工動作後に巻き取りリー
ル14に巻き取られる。
接してフレーム4上に装設され、繰り出しリール13か
らのワイヤ6の繰り出し及び巻き取りリール14へのワ
イヤ6の巻き取りを上下にトラバースしながら案内す
る。そして、両リール13,14の回転及び溝ローラの
回転により繰り出しリール13から切断機構5へワイヤ
6が繰り出されるとともに、加工動作後に巻き取りリー
ル14に巻き取られる。
【0018】一対のダンサアーム17はフレーム3の前
面に回転軸を介して回動可能に支持され、それらの先端
にはガイドローラ18及びウェイト19がそれぞれ取付
けられている。そして、両ダンサアーム17に付設され
たウェイト19の重力により、溝ローラ7,8間のワイ
ヤ6に所定の張力が付与される。なお、21,23,2
4,25はワイヤ6の走行を案内するためのガイドロー
ラを示す。
面に回転軸を介して回動可能に支持され、それらの先端
にはガイドローラ18及びウェイト19がそれぞれ取付
けられている。そして、両ダンサアーム17に付設され
たウェイト19の重力により、溝ローラ7,8間のワイ
ヤ6に所定の張力が付与される。なお、21,23,2
4,25はワイヤ6の走行を案内するためのガイドロー
ラを示す。
【0019】ワイヤ6は繰り出しリール13から繰り出
されてローラ23、ダンサアーム17のローラ18、ガ
イドローラ25及び一組のガイドローラ21を経て切断
機構5に至る。そして、その切断機構5からもう一組の
ガイドローラ21、ガイドローラ25、ダンサアーム1
7のローラ18及びローラ24を経て巻き取りリール1
4に巻き取られる。
されてローラ23、ダンサアーム17のローラ18、ガ
イドローラ25及び一組のガイドローラ21を経て切断
機構5に至る。そして、その切断機構5からもう一組の
ガイドローラ21、ガイドローラ25、ダンサアーム1
7のローラ18及びローラ24を経て巻き取りリール1
4に巻き取られる。
【0020】制御手段を構成する制御装置26は前記基
台1の後方に近接して配置され、その前面には各種の操
作キーや表示ランプ等を備えた制御パネル27が取り付
けられている。
台1の後方に近接して配置され、その前面には各種の操
作キーや表示ランプ等を備えた制御パネル27が取り付
けられている。
【0021】次に、この実施形態の主要部の構成を詳細
に説明する。図3に示すように、前記制御装置26はC
PU50、ROM51、RAM52を有している。CP
U50は装置全体の動作を制御し、ROM51には後述
のプログラムが格納され、RAM52は各種のデータを
一時的に記憶する。CPU50には後述のセンサ66,
67及び前記モータ31,32が接続されている。
に説明する。図3に示すように、前記制御装置26はC
PU50、ROM51、RAM52を有している。CP
U50は装置全体の動作を制御し、ROM51には後述
のプログラムが格納され、RAM52は各種のデータを
一時的に記憶する。CPU50には後述のセンサ66,
67及び前記モータ31,32が接続されている。
【0022】図4、図5及び図6に示すように、回転方
向及び回転速度を変更可能な前記一対のモータ31,3
2はフレーム4に装着され、その上面にはモータ軸31
a,32aが突設されている。回転軸33は各モータ3
1,32に対応するように、複数の軸受34を介してフ
レーム4内に回転可能に支持され、それらの上端には大
径部33aが一体形成されている。カップリング35は
モータ軸31a,32aを各回転軸33に連結するよう
に、それらの間に取り付けられている。
向及び回転速度を変更可能な前記一対のモータ31,3
2はフレーム4に装着され、その上面にはモータ軸31
a,32aが突設されている。回転軸33は各モータ3
1,32に対応するように、複数の軸受34を介してフ
レーム4内に回転可能に支持され、それらの上端には大
径部33aが一体形成されている。カップリング35は
モータ軸31a,32aを各回転軸33に連結するよう
に、それらの間に取り付けられている。
【0023】前記繰り出しリール13及び巻き取りリー
ル14は、ドライブピン36により各回転軸33の大径
部33a上に位置決めされた状態でネジ37により圧縮
ばね40を介して大径部33aに保持され、その巻胴4
2が鉛直線上に位置するとともに、フランジ41の内面
が巻胴42の軸線に対してほぼ直角をなしている。よっ
て、リール13,14の上端が開放しているため、ワイ
ヤ巻付圧力、熱膨張等によって両リール13,14が軸
方向に伸縮する自由度が残され、圧縮ばね40によって
押さえつけられている。
ル14は、ドライブピン36により各回転軸33の大径
部33a上に位置決めされた状態でネジ37により圧縮
ばね40を介して大径部33aに保持され、その巻胴4
2が鉛直線上に位置するとともに、フランジ41の内面
が巻胴42の軸線に対してほぼ直角をなしている。よっ
て、リール13,14の上端が開放しているため、ワイ
ヤ巻付圧力、熱膨張等によって両リール13,14が軸
方向に伸縮する自由度が残され、圧縮ばね40によって
押さえつけられている。
【0024】また、演算プログラムにより両リール1
3,14のワイヤ繰り出し量が算出され、ワイヤ6が同
一速度で両リール13,14間を走行されるように、両
リール13,14の巻径の変化にともないモータ31,
32の回転速度がそれぞれ制御される。
3,14のワイヤ繰り出し量が算出され、ワイヤ6が同
一速度で両リール13,14間を走行されるように、両
リール13,14の巻径の変化にともないモータ31,
32の回転速度がそれぞれ制御される。
【0025】図5及び図6に示すように、一対の取付板
46はフレーム4上に所定間隔をおいて立設され、この
両取付板46間には上下一対の回転軸47,48が回転
可能に支持されている。回転方向及び回転速度の変更可
能な一対のモータ49は後部取付板46の外面に装着さ
れ、それらのモータ軸がカップリングを介して回転軸4
7,48にそれぞれ連結されている。
46はフレーム4上に所定間隔をおいて立設され、この
両取付板46間には上下一対の回転軸47,48が回転
可能に支持されている。回転方向及び回転速度の変更可
能な一対のモータ49は後部取付板46の外面に装着さ
れ、それらのモータ軸がカップリングを介して回転軸4
7,48にそれぞれ連結されている。
【0026】一対の下部駆動スプロケット56は前記下
部回転軸48に所定間隔をおいて固定されている。一対
の上部従動スプロケット57は上部回転軸47上に軸受
を介して回転可能に支持され、各従動スプロケット57
と駆動スプロケット56との間にはチェーン59がそれ
ぞれ掛装されている。
部回転軸48に所定間隔をおいて固定されている。一対
の上部従動スプロケット57は上部回転軸47上に軸受
を介して回転可能に支持され、各従動スプロケット57
と駆動スプロケット56との間にはチェーン59がそれ
ぞれ掛装されている。
【0027】移動体61は前記各対のチェーン59の途
中に支持され、それらのチェーン59の回転により、巻
き取りリール14の長手方向へ往復移動される。水平ガ
イドローラ62は移動体61の下面に垂直軸線の周りで
回転可能に支持され、巻き取りリール14に巻き取られ
るワイヤ6がほぼ水平方向に走行するように規制する。
垂直ガイドローラ63は移動体61の側面に水平軸線の
周りで回転可能に支持され、前記ワイヤ6が上下方向に
走行するように規制する。
中に支持され、それらのチェーン59の回転により、巻
き取りリール14の長手方向へ往復移動される。水平ガ
イドローラ62は移動体61の下面に垂直軸線の周りで
回転可能に支持され、巻き取りリール14に巻き取られ
るワイヤ6がほぼ水平方向に走行するように規制する。
垂直ガイドローラ63は移動体61の側面に水平軸線の
周りで回転可能に支持され、前記ワイヤ6が上下方向に
走行するように規制する。
【0028】図5に示すように、上下各一対のタッチロ
ーラ64,65は上下方向へ所定の微小間隙をおいて隣
接配置されるように、前記各移動体61に回転可能に支
持され、このタッチローラ64,65間の間隙中にワイ
ヤ6が挿通されている。センサとしてのエンコーダ6
6,67は各タッチローラ64,65の回転軸に連結さ
れ、タッチローラ64,65がワイヤ6との接触によっ
て回転されたときに検出信号を出力する。
ーラ64,65は上下方向へ所定の微小間隙をおいて隣
接配置されるように、前記各移動体61に回転可能に支
持され、このタッチローラ64,65間の間隙中にワイ
ヤ6が挿通されている。センサとしてのエンコーダ6
6,67は各タッチローラ64,65の回転軸に連結さ
れ、タッチローラ64,65がワイヤ6との接触によっ
て回転されたときに検出信号を出力する。
【0029】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置の動作、特にワイヤ巻き取りの動作について詳述す
る。前記のように構成されたトラバース機構15におい
ては、装置の運転時に前記各モータ49が、繰り出しリ
ール13及び巻き取りリール14上のワイヤ6の巻径の
変化に応じてワイヤ6の走行速度が一定になるように適
宜の速度で回転される。
装置の動作、特にワイヤ巻き取りの動作について詳述す
る。前記のように構成されたトラバース機構15におい
ては、装置の運転時に前記各モータ49が、繰り出しリ
ール13及び巻き取りリール14上のワイヤ6の巻径の
変化に応じてワイヤ6の走行速度が一定になるように適
宜の速度で回転される。
【0030】そして、モータ49により回転軸47,4
8が回転され、前記両移動体61がそれぞれ垂直方向に
往復移動される。これにより、ワイヤ6が繰り出しリー
ル13上から長手方向にトラバースされながら繰り出さ
れ、また、ワイヤ6が巻き取りリール14上に長手方向
へトラバースされながら巻き取られる。
8が回転され、前記両移動体61がそれぞれ垂直方向に
往復移動される。これにより、ワイヤ6が繰り出しリー
ル13上から長手方向にトラバースされながら繰り出さ
れ、また、ワイヤ6が巻き取りリール14上に長手方向
へトラバースされながら巻き取られる。
【0031】このようにトラバーサ29は、制御装置2
6に記憶された両リール13、14の巻胴42の両端位
置間を端から端へと往復移動してワイヤ6を案内する。
しかしながら、ワイヤソー装置の運転中には熱膨張やワ
イヤ6の巻付圧力によって巻き取りリール14の巻胴4
2が軸方向へ伸長する。その結果、トラバーサ29が一
定範囲を往復してワイヤ6を案内していたのでは、リー
ル14の巻胴42の伸長した分だけ巻き取りに隙間が生
じてしまう。その結果、巻き崩れや、ワイヤの食い込み
等が起こるおそれがある。
6に記憶された両リール13、14の巻胴42の両端位
置間を端から端へと往復移動してワイヤ6を案内する。
しかしながら、ワイヤソー装置の運転中には熱膨張やワ
イヤ6の巻付圧力によって巻き取りリール14の巻胴4
2が軸方向へ伸長する。その結果、トラバーサ29が一
定範囲を往復してワイヤ6を案内していたのでは、リー
ル14の巻胴42の伸長した分だけ巻き取りに隙間が生
じてしまう。その結果、巻き崩れや、ワイヤの食い込み
等が起こるおそれがある。
【0032】この不具合を防止するため、装置の運転中
に、トラバーサ29の往復移動距離、すなわちトラバー
サ29の反転端の位置を適宜補正しながらワイヤ6を巻
き取っていくことが必要である。本実施形態では、セン
サとしてのエンコーダ66,67及び制御装置26によ
ってトラバーサ29の反転端の位置の補正手段を構成し
た。
に、トラバーサ29の往復移動距離、すなわちトラバー
サ29の反転端の位置を適宜補正しながらワイヤ6を巻
き取っていくことが必要である。本実施形態では、セン
サとしてのエンコーダ66,67及び制御装置26によ
ってトラバーサ29の反転端の位置の補正手段を構成し
た。
【0033】このトラバーサ29の動作を図7及び図8
に示すフローチャートに基づいて説明する。図8に示す
ように、ステップS1でトラバーサ29が往復移動範囲
の上端に位置したことが検出されると、ステップS2に
おいてワイヤ6の巻き取り時か否かが判別される。な
お、スタート時トラバーサ29が移動範囲の上端に位置
したことの判別は予めプログラムされたデータに基づ
く。
に示すフローチャートに基づいて説明する。図8に示す
ように、ステップS1でトラバーサ29が往復移動範囲
の上端に位置したことが検出されると、ステップS2に
おいてワイヤ6の巻き取り時か否かが判別される。な
お、スタート時トラバーサ29が移動範囲の上端に位置
したことの判別は予めプログラムされたデータに基づ
く。
【0034】ステップS2における判別がYESの場合
は、ステップS3において上端に位置した回数がカウン
トされ、判別がNOの場合には、すなわちワイヤ6の繰
り出し時には、移動回数データがカウントされない。
は、ステップS3において上端に位置した回数がカウン
トされ、判別がNOの場合には、すなわちワイヤ6の繰
り出し時には、移動回数データがカウントされない。
【0035】そして、ステップS4においてステップS
3におけるカウント値が所定値に達したか否かが判別さ
れ、カウント値が予め定められた値、例えば「10」に
達した場合にはステップS5に進行する。すなわち、ト
ラバーサ29がワイヤ6の巻き取り時において往復移動
範囲の上端に達した回数が10回になると、ステップS
5でトラバーサ29が移動範囲を若干超過するように同
方向へさらに移動される。
3におけるカウント値が所定値に達したか否かが判別さ
れ、カウント値が予め定められた値、例えば「10」に
達した場合にはステップS5に進行する。すなわち、ト
ラバーサ29がワイヤ6の巻き取り時において往復移動
範囲の上端に達した回数が10回になると、ステップS
5でトラバーサ29が移動範囲を若干超過するように同
方向へさらに移動される。
【0036】したがって、図7に示すようにワイヤ6が
リール14のフランジ41の内面に沿うとともに、同フ
ランジの外周縁にかかって斜状になる。このため、ワイ
ヤ6がローラ65に接する状態になり、ステップS6に
おいてセンサとしてのエンコーダ67がオンされたタイ
ミングにおけるトラバーサ29の位置がメモリされる。
そして、ステップS7において、その位置から予め設定
された所定量△Lだけリール14側へ戻ったところの位
置が次回以降のトラバーサ29の上部側反転端位置とし
て補正設定される。その後、ステップS8においてカウ
ント値がクリアされ、再びステップS1に戻って上記過
程をたどって反転端補正が行われる。
リール14のフランジ41の内面に沿うとともに、同フ
ランジの外周縁にかかって斜状になる。このため、ワイ
ヤ6がローラ65に接する状態になり、ステップS6に
おいてセンサとしてのエンコーダ67がオンされたタイ
ミングにおけるトラバーサ29の位置がメモリされる。
そして、ステップS7において、その位置から予め設定
された所定量△Lだけリール14側へ戻ったところの位
置が次回以降のトラバーサ29の上部側反転端位置とし
て補正設定される。その後、ステップS8においてカウ
ント値がクリアされ、再びステップS1に戻って上記過
程をたどって反転端補正が行われる。
【0037】つまり、トラバーサ29の上部反転端の位
置を補正するには、例えば十往復に一度の割合でトラバ
ーサ29を、リール14上の端部を超過して移動させ
て、タッチローラ65が回り始めるときのトラバーサ2
9の位置をエンコーダ67によって検出するのみでその
補正を行うことができる。
置を補正するには、例えば十往復に一度の割合でトラバ
ーサ29を、リール14上の端部を超過して移動させ
て、タッチローラ65が回り始めるときのトラバーサ2
9の位置をエンコーダ67によって検出するのみでその
補正を行うことができる。
【0038】本実施形態では、反転端の補正をリール1
4の上端についてのみ行ったのは、リールの下端は固定
されており、リールの伸縮は上端側で現れるからであ
る。このようにすれば、ワイヤ6が巻き取りリール14
にほぼ完全に均一に巻き取られることになり、巻き崩れ
が起こったり、ワイヤ6の食い込みが起こったりするお
それがなくなる。
4の上端についてのみ行ったのは、リールの下端は固定
されており、リールの伸縮は上端側で現れるからであ
る。このようにすれば、ワイヤ6が巻き取りリール14
にほぼ完全に均一に巻き取られることになり、巻き崩れ
が起こったり、ワイヤ6の食い込みが起こったりするお
それがなくなる。
【0039】また本実施形態では、十往復に一度の割合
で反転端の補正を行うこととしたため、リール14の巻
胴42の端部付近にワイヤ6が集中して巻き取られるこ
とはない。この補正頻度は、リール14の巻径等の装置
の使用条件を考慮して定めるのが望ましい。
で反転端の補正を行うこととしたため、リール14の巻
胴42の端部付近にワイヤ6が集中して巻き取られるこ
とはない。この補正頻度は、リール14の巻径等の装置
の使用条件を考慮して定めるのが望ましい。
【0040】本実施形態では前記のようにワイヤソー装
置を構成したため、以下の効果を有する。 (1)トラバーサ29の反転端の位置が、装置の運転中
に適宜補正されるため、ワイヤ6が巻き取りリール14
に均一に巻き取られて巻き崩れや、ワイヤ6の食い込み
等が起こるおそれはない。 (2)リールの巻付端からの超過量で反転端の位置を検
出させるため、ワイヤの巻径の大小にかかわらず補正量
が安定して得られる。 (3)上記反転端の補正を自動的に行うようにしたた
め、作業者の負担を軽減し、省力化にもつながる。 (4)リールを垂直に配置した場合には、巻き取りリー
ル14の上端部のみで反転端の補正を行えば足り、下端
については反転端の補正をする必要がないため、プログ
ラム構成が簡単である。 (5)リール13,14の上端部が圧縮ばね40により
押えられており、巻付け圧力により仮にフランジ41が
上方へ湾曲しても、それを許容できる。これに対して、
リールのフランジ部41をナットにより押さえつけた場
合には、フランジの湾曲によりナットを緩めることがで
きなくなり、リール13,14を外すことが不可能にな
るおそれがある。 尚、この発明は前記実施形態に限定
されるものではなく、各部の構成を例えば以下のように
変更して具体化することも可能である。 (1)トラバーサ29の反転端の補正の頻度を、適当な
範囲内で変更して行うこと。 (2)トラバーサ29の反転端の補正を、巻き取りリー
ル14の下端についても行うこと。このようにすれば、
ワイヤ6がリール14にさらに均一に巻き取られて、巻
き崩れや、ワイヤの食い込みがなくなる。 (3)繰り出しリール13および巻き取りリール14
を、その中心軸線が水平になるように支持したワイヤソ
ー装置において、そのリールの両端についてトラバーサ
29の反転端の補正を適宜行いながらワイヤを巻き取っ
ていくようにすること。
置を構成したため、以下の効果を有する。 (1)トラバーサ29の反転端の位置が、装置の運転中
に適宜補正されるため、ワイヤ6が巻き取りリール14
に均一に巻き取られて巻き崩れや、ワイヤ6の食い込み
等が起こるおそれはない。 (2)リールの巻付端からの超過量で反転端の位置を検
出させるため、ワイヤの巻径の大小にかかわらず補正量
が安定して得られる。 (3)上記反転端の補正を自動的に行うようにしたた
め、作業者の負担を軽減し、省力化にもつながる。 (4)リールを垂直に配置した場合には、巻き取りリー
ル14の上端部のみで反転端の補正を行えば足り、下端
については反転端の補正をする必要がないため、プログ
ラム構成が簡単である。 (5)リール13,14の上端部が圧縮ばね40により
押えられており、巻付け圧力により仮にフランジ41が
上方へ湾曲しても、それを許容できる。これに対して、
リールのフランジ部41をナットにより押さえつけた場
合には、フランジの湾曲によりナットを緩めることがで
きなくなり、リール13,14を外すことが不可能にな
るおそれがある。 尚、この発明は前記実施形態に限定
されるものではなく、各部の構成を例えば以下のように
変更して具体化することも可能である。 (1)トラバーサ29の反転端の補正の頻度を、適当な
範囲内で変更して行うこと。 (2)トラバーサ29の反転端の補正を、巻き取りリー
ル14の下端についても行うこと。このようにすれば、
ワイヤ6がリール14にさらに均一に巻き取られて、巻
き崩れや、ワイヤの食い込みがなくなる。 (3)繰り出しリール13および巻き取りリール14
を、その中心軸線が水平になるように支持したワイヤソ
ー装置において、そのリールの両端についてトラバーサ
29の反転端の補正を適宜行いながらワイヤを巻き取っ
ていくようにすること。
【0041】上記実施形態から把握できる請求項以外の
技術的思想について、以下にその効果とともに記載す
る。 (1)請求項4において、前記リールをその中心軸線が
鉛直方向を指向するように支持するとともに、前記トラ
バーサをリールの軸線方向に往復移動可能になるように
配置したワイヤソー装置において、トラバーサをリール
の少なくとも上部巻付端についてのみ超過して移動さ
せ、センサがその超過を検出したときにおけるトラバー
サの位置から反転端の位置を演算して補正するようにし
たワイヤソー装置。
技術的思想について、以下にその効果とともに記載す
る。 (1)請求項4において、前記リールをその中心軸線が
鉛直方向を指向するように支持するとともに、前記トラ
バーサをリールの軸線方向に往復移動可能になるように
配置したワイヤソー装置において、トラバーサをリール
の少なくとも上部巻付端についてのみ超過して移動さ
せ、センサがその超過を検出したときにおけるトラバー
サの位置から反転端の位置を演算して補正するようにし
たワイヤソー装置。
【0042】このように構成すれば、リールの下部巻付
端についてはトラバーサの反転端の補正をする必要がな
くなる。
端についてはトラバーサの反転端の補正をする必要がな
くなる。
【0043】
【発明の効果】請求項1に記載の発明では、リールの巻
付胴の端から端へワイヤが均一に巻き取られるため、ワ
イヤの巻き崩れや、食い込み等が起こるおそれがない。
付胴の端から端へワイヤが均一に巻き取られるため、ワ
イヤの巻き崩れや、食い込み等が起こるおそれがない。
【0044】請求項2に記載の発明では、トラバーサの
反転端の位置がセンサによる検出信号から自動的に演算
され補正されるため、作業者の負担を軽減することがで
き、省力化につながる。
反転端の位置がセンサによる検出信号から自動的に演算
され補正されるため、作業者の負担を軽減することがで
き、省力化につながる。
【0045】請求項3に記載の発明では、フランジがリ
ールの巻付胴の軸線に対してほぼ直角な内面を有するた
め、その付け根の部分までワイヤが均一に巻き取られ
て、ワイヤの巻き取り量が減少することがない。
ールの巻付胴の軸線に対してほぼ直角な内面を有するた
め、その付け根の部分までワイヤが均一に巻き取られ
て、ワイヤの巻き取り量が減少することがない。
【0046】請求項4に記載の発明では、リールの上部
反転端位置についてのみ補正を行えば足りるため、下端
については補正をする必要がなく、トラバーサ制御が簡
単になる。
反転端位置についてのみ補正を行えば足りるため、下端
については補正をする必要がなく、トラバーサ制御が簡
単になる。
【0047】請求項5に記載の発明では、装置の運転中
にトラバーサを所定往復回数毎にリールの軸端より超過
して移動させてトラバーサの新たな反転端の位置を演算
し補正しているため、リールの巻付胴の端から端へワイ
ヤが均一に巻き取られてワイヤの巻き崩れや、食い込み
等が起こるおそれがない。また、トラバーサを毎回リー
ルの軸端より超過して移動させて反転端の位置を補正す
るのでないため、リールの巻付端にワイヤが集中して巻
き取られることはなく、リールのフランジが破損するお
それがない。
にトラバーサを所定往復回数毎にリールの軸端より超過
して移動させてトラバーサの新たな反転端の位置を演算
し補正しているため、リールの巻付胴の端から端へワイ
ヤが均一に巻き取られてワイヤの巻き崩れや、食い込み
等が起こるおそれがない。また、トラバーサを毎回リー
ルの軸端より超過して移動させて反転端の位置を補正す
るのでないため、リールの巻付端にワイヤが集中して巻
き取られることはなく、リールのフランジが破損するお
それがない。
【0048】請求項6に記載の発明では、前記リールの
フランジがワイヤ巻付圧力や熱膨張等によって湾曲して
も、圧縮ばねがその湾曲を許容するため、リールが取り
外し不能にロックされるのを防止できる。
フランジがワイヤ巻付圧力や熱膨張等によって湾曲して
も、圧縮ばねがその湾曲を許容するため、リールが取り
外し不能にロックされるのを防止できる。
【図1】ワイヤソー装置の全体構成を示す正面図。
【図2】ワイヤソー装置の平面図。
【図3】制御装置を示すブロック図。
【図4】ワイヤの繰り出し及び巻き取り機構を拡大して
示す部分破断側面図。
示す部分破断側面図。
【図5】ワイヤのトラバース機構を拡大して示す部分切
欠き正面図。
欠き正面図。
【図6】同じくトラバース機構の部分平面図。
【図7】トラバーサの反転端の補正手段を示す部分側面
図。
図。
【図8】トラバーサの動作を示すフローチャート。
5…切断機構、6…ワイヤ、7…駆動溝ローラ、8…従
動溝ローラ、11…ワーク、12…リール機構、13…
繰り出しリール、14…巻き取りリール、15…トラバ
ース機構、29…トラバーサ、40…圧縮ばね、64,
65…タッチローラ、66,67…エンコーダ。
動溝ローラ、11…ワーク、12…リール機構、13…
繰り出しリール、14…巻き取りリール、15…トラバ
ース機構、29…トラバーサ、40…圧縮ばね、64,
65…タッチローラ、66,67…エンコーダ。
Claims (6)
- 【請求項1】 一方のリールから繰り出された一本のワ
イヤを、複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けると
ともに、該ワイヤを他方のリールにトラバーサを介して
巻き取り、前記加工用ローラ間においてワイヤによりワ
ークに対して切断加工を施すようにしたワイヤソー装置
において、 リールにワイヤを均一に巻き取るために、トラバーサの
反転端の位置を補正する補正手段を設けたワイヤソー装
置。 - 【請求項2】 前記補正手段は、トラバーサを所定往復
回数毎に前記リールの巻付端より超過して移動させ、セ
ンサがその超過を検出したときにおけるトラバーサの位
置から新たな反転端の位置を演算して補正するようにし
たことを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー装置。 - 【請求項3】 前記リールは巻付胴の軸線に対してほぼ
直角な内面を有するフランジを設けた請求項2に記載の
ワイヤソー装置。 - 【請求項4】 前記リールをその中心軸線が鉛直方向を
指向するように支持するとともに、前記トラバーサをリ
ールの軸線方向に沿って往復移動可能になるように配置
した請求項1〜3のいずれかに記載のワイヤソー装置。 - 【請求項5】 一方のリールから繰り出された一本のワ
イヤを、複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けると
ともに、該ワイヤを他方のリールにトラバーサを介して
巻き取り、前記加工用ローラ間においてワイヤによりワ
ークに対して切断加工を施すようにしたワイヤソー装置
のワイヤの巻き取り方法において、 トラバーサを所定往復回数毎にリールの巻付端より超過
して移動させ、センサがその超過を検出したときにおけ
るトラバーサの位置から反転端の位置を演算して補正す
るワイヤの巻き取り方法。 - 【請求項6】 一方のリールから繰り出された一本のワ
イヤを、複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けると
ともに、該ワイヤを他方のリールにトラバーサを介して
巻き取り、前記加工用ローラ間においてワイヤによりワ
ークに対して切断加工を施すようにしたワイヤソー装置
において、 前記リールの両端部のうち少なくとも一方の外面を圧縮
ばねを介して保持したワイヤソー装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22425695A JPH0966459A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ワイヤソー装置及びワイヤの巻き取り方法 |
AT00203452T ATE253997T1 (de) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Drahtsäge |
PCT/JP1995/002003 WO1996010470A1 (fr) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Fil de decoupe |
EP00203452A EP1068920B1 (en) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Wire saw |
EP95932951A EP0732173A4 (en) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | WIRE SAW |
DE69532147T DE69532147T2 (de) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Drahtsäge |
KR1019950033326A KR100367760B1 (ko) | 1994-09-30 | 1995-09-30 | 와이어쏘 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22425695A JPH0966459A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ワイヤソー装置及びワイヤの巻き取り方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0966459A true JPH0966459A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16810937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22425695A Pending JPH0966459A (ja) | 1994-09-30 | 1995-08-31 | ワイヤソー装置及びワイヤの巻き取り方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0966459A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010284755A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sumco Corp | ワイヤーソーによる加工方法 |
CN107826899A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-03-23 | 国网山东省电力公司龙口市供电公司 | 一种具备电缆切断功能的电缆卷绕装置 |
CN113002900A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-06-22 | 鹰潭申江科技有限公司 | 一种大容量电线捆扎装置 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22425695A patent/JPH0966459A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010284755A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sumco Corp | ワイヤーソーによる加工方法 |
CN107826899A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-03-23 | 国网山东省电力公司龙口市供电公司 | 一种具备电缆切断功能的电缆卷绕装置 |
CN107826899B (zh) * | 2017-11-20 | 2024-01-12 | 国网山东省电力公司龙口市供电公司 | 一种具备电缆切断功能的电缆卷绕装置 |
CN113002900A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-06-22 | 鹰潭申江科技有限公司 | 一种大容量电线捆扎装置 |
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