JPH0964486A - Laser light source device - Google Patents
Laser light source deviceInfo
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- JPH0964486A JPH0964486A JP21794195A JP21794195A JPH0964486A JP H0964486 A JPH0964486 A JP H0964486A JP 21794195 A JP21794195 A JP 21794195A JP 21794195 A JP21794195 A JP 21794195A JP H0964486 A JPH0964486 A JP H0964486A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、周波数間隔一定の
側帯波をもつレーザ光を発生する光周波数コム発生器を
用いて構成した発振周波数が広範囲に亘って可変設定可
能なレーザ光源装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser light source device capable of variably setting an oscillation frequency formed by using an optical frequency comb generator that generates laser light having sidebands with a constant frequency interval. Is.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、２つのレーザ光をヘテロダイ
ン検波させてその差周波数を測定あるいは制御する場
合、その帯域は受光素子の帯域で制限され、おおむね数
十ＧＨｚ程度であるので、光周波数コム発生器を用いて
広帯域なヘテロダイン検波系を構築するようにしてい
る。光周波数コム発生器は、入射したレーザ光の側帯波
を等周波数間隔毎に数百本発生させるもので、発生され
る側帯波の周波数安定度はもとのレーザ光のそれとほぼ
同等である。そこで、この側帯波と他のレーザ光をヘテ
レロダイン検波させれば、数ＴＨｚに亘る広帯域なヘテ
ロダイン検波系を構築することができる。2. Description of the Related Art Conventionally, when two laser beams are heterodyne-detected to measure or control the difference frequency, the band is limited by the band of the light receiving element and is about several tens GHz, so that the optical frequency comb is used. A broadband heterodyne detection system is constructed using a generator. The optical frequency comb generator generates several hundred sidebands of the incident laser light at equal frequency intervals, and the frequency stability of the generated sidebands is almost the same as that of the original laser light. Therefore, if this sideband wave and other laser light are subjected to heterodyne detection, a broadband heterodyne detection system over several THz can be constructed.
【０００３】例えば図８に示すように、周波数を安定化
させたマスタレーザ光を出射するマスタレーザ光源２１
と、上記マスタレーザ光源２１からのマスタレーザ光が
入射される光周波数コム発生器２２と、スレーブレーザ
光を出射する発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光
源２３と、上記スレーブレーザ光源２３からのスレーブ
レーザ光を外部に取り出す光カプラ２４と、上記光周波
数コム発生器２２による上記マスタレーザの各側帯波と
上記スレーブレーザ光源２３からのスレーブレーザ光を
合波する光カプラ２５と、合波により発生されたヘテロ
ダイン検波信号を検出する光検出器６と、この光検出器
２６により検出されたヘテロダイン検波信号に基づいて
上記スレーブレーザ光源２３の発振周波数を帰還制御す
るヘテロダイン信号制御回路２７とによって、発振周波
数が広範囲に亘って可変設定可能なレーザ光源装置が構
成される。For example, as shown in FIG. 8, a master laser light source 21 for emitting a master laser light whose frequency is stabilized
An optical frequency comb generator 22 on which the master laser light from the master laser light source 21 is incident, a slave laser light source 23 capable of varying the oscillation frequency for emitting slave laser light, and a slave from the slave laser light source 23. An optical coupler 24 for extracting laser light to the outside, an optical coupler 25 for combining each sideband of the master laser by the optical frequency comb generator 22 and a slave laser light from the slave laser light source 23, and an optical coupler 25 Oscillation by the photodetector 6 for detecting the heterodyne detection signal thus generated and the heterodyne signal control circuit 27 for feedback-controlling the oscillation frequency of the slave laser light source 23 based on the heterodyne detection signal detected by the photodetector 26. A laser light source device whose frequency can be variably set over a wide range is configured.
【０００４】このレーザ光源装置では、図９に示すよう
に、マスタレーザ光の周波数をνM、上記光周波数コム
発生器２３が出力する側帯波の次数をｎ、上記側帯波の
間隔をｆm 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波
数をνh とすると、上記スレーブレーザ光の発振周波数
νS は、 νS ＝νM ＋ｎ×ｆm ＋νh となる。従って、スレーブレーザ光の周波数νS は、原
理的に、上記次数ｎと差周波数νh を任意に選択するこ
とにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することで
きる。In this laser light source device, as shown in FIG. 9, the frequency of the master laser light is ν M , the order of the sideband waves output from the optical frequency comb generator 23 is n, and the interval between the sideband waves is f m. Assuming that the difference frequency between the sideband wave and the slave laser light is ν h , the oscillation frequency ν S of the slave laser light is ν S = ν M + n × f m + ν h . Therefore, in principle, the frequency ν S of the slave laser light can be freely set within the sideband generation range by arbitrarily selecting the order n and the difference frequency ν h .
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の如き構
成の従来のレーザ光源装置では、次のような問題点があ
る。However, the conventional laser light source device having the above-mentioned structure has the following problems.
【０００６】先ず、上記光検出器２６により検出される
ヘテロダイン検波信号は、側帯波とスレーブレーザ光の
周波数が接近し過ぎると図１０に示すように１／ｆノイ
ズとレーザの発振線幅の影響を受ける。このため、上記
差周波数νh は、約１０ＭＨｚ以下とするすることがで
きない。また、図１１に示すようにスレーブレーザ光の
周波数νS を２本の側帯波νn ，νn+1 の中間付近に設
定すると、図１２に示すように低周波側の側帯波νn と
高周波側の側帯波νn+1 からの２つのヘテロダイン検波
信号が上記光検出器２６により検出されてしまい、これ
らのヘテロダイン周波数｜νS −νn ｜，｜νS −ν
n+1 ｜が接近しているのでを分離することができず、上
記スレーブレーザ光源２３の発振周波数すなわちスレー
ブレーザ光の周波数νS を上記テロダイン信号制御回路
２７により正常に帰還制御することができない。すなわ
ち、スレーブレーザ光の周波数νS は、原理的には任意
に設定可能なのであるが、実際には上述の如き１／ｆノ
イズとレーザの発振線幅の影響などによって、設定でき
ない周波数があった。First, in the heterodyne detection signal detected by the photodetector 26, if the frequencies of the sideband wave and the slave laser light are too close to each other, as shown in FIG. Receive. Therefore, the difference frequency ν h cannot be set to about 10 MHz or less. Further, when the frequency ν S of the slave laser light is set near the midpoint between the two sidebands ν n and ν n + 1 as shown in FIG. 11, it becomes the sideband ν n on the low frequency side as shown in FIG. Two heterodyne detection signals from the sideband ν n + 1 on the high frequency side are detected by the photodetector 26, and these heterodyne frequencies | ν S −ν n |, | ν S −ν
Since n + 1 | is close to each other, it cannot be separated, and the oscillation frequency of the slave laser light source 23, that is, the frequency ν S of the slave laser light cannot be normally feedback-controlled by the Telodyne signal control circuit 27. . That is, the frequency ν S of the slave laser light can be set arbitrarily in principle, but in reality, there is a frequency that cannot be set due to the influence of the 1 / f noise and the laser oscillation line width as described above. .
【０００７】そこで、本発明の目的は、１／ｆノイズな
どの影響などを回避して、発振周波数を広範囲に可変設
定可能としたレーザ光源装置を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a laser light source device capable of variably setting the oscillation frequency while avoiding the influence of 1 / f noise and the like.
【０００８】また、本発明の他の目的は、他の側帯波か
らのヘテロダイン信号の影響を回避して、発振周波数を
広範囲に可変設定可能としたレーザ光源装置を提供する
ことにある。Another object of the present invention is to provide a laser light source device in which the influence of a heterodyne signal from another sideband is avoided and the oscillation frequency can be variably set in a wide range.
【０００９】さらに、本発明の目的は、スレーブレーザ
光源が発振可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の発
振周波数を可変設定することができる光シンセサイザと
して機能するレーザ光源装置を提供することにある。A further object of the present invention is to provide a laser light source device that functions as an optical synthesizer capable of variably setting the oscillation frequency of slave laser light over the entire range in which the slave laser light source can oscillate. .
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ光源
装置は、発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源
と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ
光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波
数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレー
ザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレ
ーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生され
た側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン
検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出され
たヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ
光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッ
ク手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレ
ーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により
発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記
マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレ
ーザ制御手段とを備えることを特徴とする。A laser light source device according to the present invention includes a master laser light source whose oscillation frequency is stabilized, and a side band at predetermined frequency intervals with respect to the master laser light incident from the master laser light source. Optical frequency comb generator for generating waves, slave laser light source with variable oscillation frequency, slave laser light emitted from the slave laser light source, and hederodyne component of sideband wave generated by the optical frequency comb generator A heterodyne detection means for detecting, a frequency offset lock means for feedback controlling the oscillation frequency of the slave laser light source based on the hederodyne detection signal detected by the heterodyne detection means, and a slave laser light emitted from the slave laser light source. Frequency of the sideband wave generated by the optical frequency comb generator When it is near the wave number, characterized in that it comprises a master laser control means for shifting the oscillation frequency of the master laser light source.
【００１１】また、本発明に係るレーザ光源装置は、発
振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマス
タレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所
定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器
と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上
記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光
と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波との
ヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上
記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光
の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣
接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とする。Further, the laser light source device according to the present invention generates a sideband wave at a predetermined frequency interval with respect to the master laser light source whose oscillation frequency is stabilized and the master laser light incident from this master laser light source. An optical frequency comb generator, a slave laser light source whose oscillation frequency is variable, and a heterodyne that detects a hederodyne component of the slave laser light emitted from the slave laser light source and the sideband generated by the optical frequency comb generator. Detection means,
Frequency offset lock means for feedback controlling the oscillation frequency of the slave laser light source based on the hederodyne detection signal detected by the heterodyne detection means, and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source is the optical frequency comb generation. Optical frequency comb control means for switching the interval of the sidebands generated by the optical frequency comb generator when the frequency is close to the middle of the adjacent sidebands generated by the optical frequency comb generator. To do.
【００１２】さらに、本発明に係るレーザ光源装置は、
発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマ
スタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して
所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生
器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、
上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロ
ダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発
振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段
と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレ
ーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生さ
れた側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタ
レーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制
御手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレ
ーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により
発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍に
なったときに、上記光周波数コム発生器により発生され
る側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを
備えることを特徴とする。Further, the laser light source device according to the present invention is
A master laser light source whose oscillation frequency is stabilized, an optical frequency comb generator that generates sidebands at predetermined frequency intervals with respect to the master laser light incident from this master laser light source, and a slave whose oscillation frequency is variable Laser light source,
Heterodyne detection means for detecting the hederodyne component of the slave laser light emitted from the slave laser light source and the sidebands generated by the optical frequency comb generator, and based on the hederodyne detection signal detected by the heterodyne detection means. The frequency offset lock means for feedback controlling the oscillation frequency of the slave laser light source, and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source become close to the frequency of the sideband generated by the optical frequency comb generator. Sometimes, the master laser control means for shifting the oscillation frequency of the master laser light source and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source are near the middle of adjacent sidebands generated by the optical frequency comb generator. When the frequency is close to Characterized in that it comprises an optical frequency comb control means for switching intervals of sidebands generated by the wave number comb generator.
【００１３】[0013]
【発明に実施の形態】以下、本発明の実施の形態に実施
例について、図面を参照しながら詳細に説明する。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.
【００１４】本発明に係るレーザ光源装置は、例えば図
１に示すように構成される。The laser light source device according to the present invention is constructed, for example, as shown in FIG.
【００１５】この図１に示したレーザ光源装置は、マス
タレーザ光を出射するマスタレーザ光源１と、上記マス
タレーザ光源１からのマスタレーザ光が入射される光周
波数コム発生器３と、スレーブレーザ光を出射する発振
周波数が可変可能なスレーブレーザ光源３と、上記スレ
ーブレーザ光源３からのスレーブレーザ光を外部に取り
出す光カプラ４と、上記光周波数コム発生器２による上
記マスタレーザの各側帯波と上記スレーブレーザ光源２
からのスレーブレーザ光を合波する光カプラ５をと、合
波により発生されたヘテロダイン検波信号を検出する光
検出器６と、この光検出器６により検出されたヘテロダ
イン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源３の発
振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッキング回
路(FOLC:Frequency Offset Locking Circuit) ７と、こ
れらを制御するコンピュータ８などから構成されてい
る。The laser light source device shown in FIG. 1 includes a master laser light source 1 for emitting a master laser light, an optical frequency comb generator 3 on which the master laser light from the master laser light source 1 is incident, and a slave laser. A slave laser light source 3 that emits light and has a variable oscillation frequency, an optical coupler 4 that extracts the slave laser light from the slave laser light source 3 to the outside, and each sideband of the master laser by the optical frequency comb generator 2. And the above slave laser light source 2
An optical coupler 5 for combining the slave laser light from the optical detector, a photodetector 6 for detecting a heterodyne detection signal generated by the combination, and the slave based on the heterodyne detection signal detected by the photodetector 6. It is composed of a frequency offset locking circuit (FOLC: Frequency Offset Locking Circuit) 7 for feedback controlling the oscillation frequency of the laser light source 3, a computer 8 for controlling these.
【００１６】上記マスタレーザ光源１は、気体原子や分
子の吸収線によって発振周波数が安定化された第１のレ
ーザ光源１１と、この第１のレーザ光源１１が出射して
いる第１のレーザ光との差周波数を周波数オフセットロ
ッキング回路(FOLC:Frequency Offset Locking Circui
t) １７により安定化させた第２のレーザ光源１２とを
備える。すなわち、上記第１のレーザ光源１１の発振周
波数は、該第１のレーザ光源１１からの第１のレーザ光
が光吸収セル１３を介して光検出器１４により検出さ
れ、この光検出器１２による検出出力で帰還制御されて
いる。これにより、上記第１のレーザ光源１１は、その
発振周波数が気体原子や分子の吸収線によって安定化さ
れている。また、上記第２のレーザ光源１２の発振周波
数は、該第２のレーザ光源１２が出射している第２のレ
ーザ光と上記第１のレーザ光源１１が出射している第１
のレーザ光とのヘテロダイン信号が光検出器１６により
検出され、この光検出器１６による検出出力に基づいて
ＦＯＬＣ１７により帰還制御される殊によって、上記第
１のレーザ光源１１が出射している第１のレーザ光との
差周波数が安定化されている。The master laser light source 1 has a first laser light source 11 whose oscillation frequency is stabilized by absorption lines of gas atoms and molecules, and a first laser light emitted from the first laser light source 11. The frequency difference between the frequency and the frequency offset locking circuit (FOLC: Frequency Offset Locking Circui
t) The second laser light source 12 stabilized by 17. That is, as for the oscillation frequency of the first laser light source 11, the first laser light from the first laser light source 11 is detected by the photodetector 14 via the light absorption cell 13, Feedback control is performed by the detection output. Thereby, the oscillation frequency of the first laser light source 11 is stabilized by the absorption lines of gas atoms and molecules. The oscillation frequency of the second laser light source 12 is the same as the second laser light emitted by the second laser light source 12 and the first laser light emitted by the first laser light source 11.
The heterodyne signal with the laser light is detected by the photodetector 16, and feedback control is performed by the FOLC 17 based on the detection output by the photodetector 16. In particular, the first laser light source 11 emits light. The frequency difference from the laser light is stabilized.
【００１７】上記ＦＯＬＣ１７には、上記コンピュータ
８により発振周波数が切換設定される発振器１８から周
波数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給さ
れている。そして、上記ＦＯＬＣ１７は、この基準周波
数信号と上記光検出器１６による検出出力とを位相比較
して、その比較出力で上記第２のレーザ光源１２の駆動
電流源を制御することにより、上記第１のレーザ光との
差周波数が基準周波数信号の周波数と等しくなるように
上記第２のレーザ光源１２の発振周波数を制御する。The FOLC 17 is supplied with a reference frequency signal for frequency offset locking from an oscillator 18 whose oscillation frequency is switched and set by the computer 8. Then, the FOLC 17 compares the phase of the reference frequency signal with the detection output of the photodetector 16, and controls the drive current source of the second laser light source 12 with the comparison output, thereby the first The oscillating frequency of the second laser light source 12 is controlled so that the difference frequency from the laser light is equal to the frequency of the reference frequency signal.
【００１８】このような構成のマスタレーザ光源１で
は、上記ＦＯＬＣ１７に供給する周波数オフセットロッ
キング用の基準周波数信号の周波数すなわち上記発振器
１８の発振周波数が上記コンピュータ８により切換設定
されることによって、上記第２のレーザ光源１２の発振
周波数が切換設定される。In the master laser light source 1 having such a configuration, the frequency of the reference frequency signal for frequency offset locking supplied to the FOLC 17, that is, the oscillation frequency of the oscillator 18 is switched and set by the computer 8 to set the first frequency. The oscillation frequency of the second laser light source 12 is switched and set.
【００１９】そして、このマスタレーザ光源１は、上記
第２のレーザ光源１２が出射する第２のレーザ光をマス
タレーザ光として、上記光周波数コム発生器２に入射す
る。The master laser light source 1 makes the second laser light emitted from the second laser light source 12 enter the optical frequency comb generator 2 as a master laser light.
【００２０】上記光周波数コム発生器２には、上記コン
ピュータ８により発振周波数が切換設定される発振器９
から側帯波発生用の変調信号が供給されている。The optical frequency comb generator 2 has an oscillator 9 whose oscillation frequency is switched and set by the computer 8.
Is supplied with a modulation signal for sideband generation.
【００２１】この光周波数コム発生器２は、上記マスタ
レーザ光源１から入射されたマスタレーザ光からの差周
波数が、上記発振器９から入力された側帯波発生用の変
調信号の周波数ｆμの整数倍となる側帯波を発生する。In this optical frequency comb generator 2, the difference frequency from the master laser light incident from the master laser light source 1 is an integer multiple of the frequency fμ of the sideband wave generating modulation signal input from the oscillator 9. Sideband wave is generated.
【００２２】上記光周波数コム発生器２により発生され
る各側帯波の中心周波数は、上記側帯波発生用の変調信
号の周波数ｆμすなわち上記発振器９の発振周波数が上
記コンピュータ８により切換設定されることによって、
シフトされる。Regarding the center frequency of each sideband generated by the optical frequency comb generator 2, the frequency fμ of the modulation signal for generating the sideband, that is, the oscillation frequency of the oscillator 9 is switched and set by the computer 8. By
Be shifted.
【００２３】そして、上記光検出器６では、上記光周波
数コム発生器２により発生された各側帯波と上記スレー
ブレーザ光源３から出射されたスレーブレーザ光とのヘ
テロダイン検波信号を検出し、そのヘテロダイン検波信
号を上記ＦＯＬＣ７に供給する。The photodetector 6 detects the heterodyne detection signal of each sideband generated by the optical frequency comb generator 2 and the slave laser light emitted from the slave laser light source 3, and the heterodyne detection signal is detected. The detection signal is supplied to the FOLC 7.
【００２４】このＦＯＬＣ７には、上記コンピュータ８
により発振周波数が切換設定される発振器１０から周波
数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給され
ている。そして、上記ＦＯＬＣ７は、この基準周波数信
号と上記光検出器６による検出出力とを位相比較して、
その比較出力で上記スレーブレーザ光源３の駆動電流源
を制御することにより、上記側帯波との差周波数が基準
周波数信号の周波数と等しくなるように上記スレーブレ
ーザ光源３の発振周波数を制御する。The FOLC 7 includes the computer 8 described above.
A reference frequency signal for frequency offset locking is supplied from an oscillator 10 whose oscillation frequency is switched and set by. Then, the FOLC 7 compares the phase of the reference frequency signal with the detection output of the photodetector 6,
By controlling the drive current source of the slave laser light source 3 with the comparison output, the oscillation frequency of the slave laser light source 3 is controlled so that the difference frequency from the sideband becomes equal to the frequency of the reference frequency signal.
【００２５】このような構成のレーザ光源装置では、マ
スタレーザ光の周波数をνM 、上記光周波数コム発生器
２が出力する側帯波の次数をｎ、上記側帯波の間隔をｆ
m 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数をνh
とすると、上記スレーブレーザ光の周波数νS は、 νS ＝νM ＋ｎ×ｆm ＋νh となり、上記次数ｎと差周波数νh を任意に選択するこ
とにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することで
きる。上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数νh
は、上記ＦＯＬＣ７に供給される基準周波数信号の周波
数すなわち上記発振器１０の発振周波数によって決定さ
れる。In the laser light source device having such a configuration, the frequency of the master laser light is ν M , the order of the sideband waves output from the optical frequency comb generator 2 is n, and the interval between the sideband waves is f.
m , the difference frequency between the above sideband and the slave laser light is ν h
Then, the frequency ν S of the slave laser light is ν S = ν M + n × f m + ν h , and by freely selecting the order n and the difference frequency ν h , the frequency can be freely set within the sideband generation range. Can be set to. Difference frequency between the above sideband and slave laser light ν h
Is determined by the frequency of the reference frequency signal supplied to the FOLC 7, that is, the oscillation frequency of the oscillator 10.
【００２６】ここで、上記光周波数コム発生器２には、
位相変調器及び光共振器にＴｉ−ＬｉＮｂＯ3 導波路を
用いた導波路型光周波数コム発生器を採用した。この光
周波数コム発生器２に採用した導波路型光周波数コム発
生器の基本性能は、共振器長＝３８ｍｍ、フリースペク
トルレンジ（ＦＳＲ）＝１．８７ＧＨｚ、フィネス＝３
０、変調指数＝２πである。上記光周波数コム発生器２
により発生させ光周波数コムの包絡線を分解能が０．１
ｎｍ（＝１３ＧＨｚ）の光スペクトラムアナライザで観
測した結果を図２に示す。光周波数コムの発生条件は、
入射レーザ光量＝１０ｍＷ、変調周波数ｆμ＝１３．０
９０ＧＨｚ（＝７ＦＳＲ）であった。この図２により明
らかなように、５．１ＴＨｚの範囲に−８０ｄＢｍ以上
のパワーを持つ側帯波を発生することができる。Here, the optical frequency comb generator 2 includes:
Employing a waveguide type optical frequency comb generator using the Ti-LiNbO 3 waveguide phase modulator and an optical resonator. The basic performance of the waveguide type optical frequency comb generator used for the optical frequency comb generator 2 is as follows: resonator length = 38 mm, free spectrum range (FSR) = 1.87 GHz, finesse = 3.
0, modulation index = 2π. Optical frequency comb generator 2
The envelope of the optical frequency comb generated by
FIG. 2 shows the result of observation with an optical spectrum analyzer of nm (= 13 GHz). The generation condition of the optical frequency comb is
Incident laser light amount = 10 mW, modulation frequency fμ = 13.0
It was 90 GHz (= 7 FSR). As is clear from FIG. 2, a sideband having a power of -80 dBm or more can be generated in the range of 5.1 THz.
【００２７】また、上記マスタレーザ光とスレーブレー
ザ光の間の差周波数｜νS −νM ｜を０．６５４５７Ｔ
Ｈｚに設定したときのスペクトルを図３に示す。図３の
（ａ）は光スペクトルアナライザで測定した結果を示
し、（ｂ）は側帯波とのマスタレーザ光の関係を略図で
示したものである。さらに、１３．０８９ＧＨｚ間隔で
発生している側帯波の５０番目とヘテロダイン検波を行
った場合のヘテロダイン信号を図４に示す。ここでは、
基準信号周波数を調整とすることにより、ヘテロダイン
周波数を約１２０ＭＨｚに設定しており、上記マスタレ
ーザ光とスレーブレーザ光の間の差周波数｜νS −νM
｜ は、１３．０８９×５０＋０．１２＝６５４．５７
ＧＨｚに制御されている。Further, the difference frequency | ν S −ν M | between the master laser light and the slave laser light is 0.65457T.
The spectrum when set to Hz is shown in FIG. FIG. 3A shows the result measured by the optical spectrum analyzer, and FIG. 3B shows the relationship between the sideband wave and the master laser light in a schematic view. Further, FIG. 4 shows the 50th sideband wave generated at 13.089 GHz and the heterodyne signal when the heterodyne detection is performed. here,
By adjusting the reference signal frequency, the heterodyne frequency is set to about 120 MHz, and the difference frequency between the master laser light and the slave laser light | ν S −ν M
| Is 13.089 × 50 + 0.12 = 654.57
It is controlled to GHz.
【００２８】また、上記５０番目の側帯波とスレーブレ
ーザ光の間のヘテロダイン信号の制御時とフリーランニ
ング時における周波数揺らぎのアラン分散の平方根を図
５に示す。この図５において、●は制御時におけるアラ
ン分散の平方根を示し、また＋はフリーランニング時に
おけるアラン分散の平方根を示している。この図５から
明らかなように、フリーフリーランニング時にはσS ＝
１０-9であった差周波数変動が、周波数オフセットロッ
ク制御によってσS ＝３×１０-12τ-1まで安定化され
ている。マスタレーザ光の周波数揺らぎσM 、変調周波
数揺らぎをσμ、ｎ番目の側帯波とスレーブレーザ光の
間の差周波数揺らぎをσS とすれば、スレーブレーザの
周波数揺らぎσslave は、 σslave 2 ＝σM 2＋ｎ× σμ2＋σS 2 と表される。気体原子、分子の吸収線を周波数基準に用
いたマスタレーザの周波数揺らぎσM は、σM＝１０-10
（τ＝１秒）程度であり、σM》σSといえる。また、レ
ーザ光の周波数変動に対して変調周波数の変動は無視で
きる。従って、上記スレーブレーザ光の周波数揺らぎσ
slave は、 σslave＝σM ＝１０-10 とみることができる。FIG. 5 shows the square root of the Allan variance of frequency fluctuations during the control of the heterodyne signal between the 50th sideband and the slave laser light and during free running. In FIG. 5, ● indicates the square root of Allan variance during control, and + indicates the square root of Allan variance during free running. As is clear from FIG. 5, σ S = during free free running
The difference frequency fluctuation of 10 −9 is stabilized to σ S = 3 × 10 −12 τ −1 by the frequency offset lock control. If the frequency fluctuation of the master laser light is σ M , the modulation frequency fluctuation is σ μ, and the difference frequency fluctuation between the nth sideband and the slave laser light is σ S , the frequency fluctuation of the slave laser σ slave is σ slave 2 = It is expressed as σ M 2 + n × σ μ 2 + σ S 2 . The frequency fluctuation σ M of the master laser using the absorption lines of gas atoms and molecules as the frequency reference is σ M = 10 −10
(Τ = 1 second), and it can be said that σ M >> σ S. Further, the fluctuation of the modulation frequency can be ignored with respect to the frequency fluctuation of the laser light. Therefore, the frequency fluctuation σ of the slave laser light is
The slave can be seen as σ slave = σ M = 10 −10 .
【００２９】そして、このレーザ光源装置では、側帯波
とスレーブレーザ光の発振周波数νS が接近した場合
に、１／ｆノイズの影響を回避するために、上記コンピ
ュータ８により発振器１８の発振周波数を切換制御して
マスタレーザ光の発振周波数νM をシフトさせる。これ
により、上記光周波数コム発生器２で発生する側帯波全
体の周波数をシフトさせて、１／ｆノイズの影響を回避
して、安定に周波数オフセットロックを行うことができ
る。すなわち、図６に示すＡ領域及びＣ領域のスレーブ
レーザ光の周波数νS を設定する場合には、側帯波をシ
フトさせずに周波数オフセットロックを行い、図６に示
すＢ領域にスレーブレーザ光の周波数νSを設定する場
合には、側帯波を−２×ｆ1/f だけ周波数シフトさせて
周波数オフセットロックを行う。これにより、スレーブ
レーザ光の周波数νS をどの領域に設定させた場合に
も、ヘテロダイン周波数すなわち上記差周波数νh を常
にｆ1/f 以上ととすることができる。すなわち、上記差
周波数νh を１０ＭＨｚよりも高い周波数に設定して、
１／ｆノイズの影響を回避して、安定に周波数オフセッ
トロックを行うことができる。In this laser light source device, when the sideband wave and the oscillation frequency ν S of the slave laser light are close to each other, the oscillation frequency of the oscillator 18 is controlled by the computer 8 in order to avoid the influence of 1 / f noise. Switching control is performed to shift the oscillation frequency ν M of the master laser light. As a result, the frequency of the entire sideband generated in the optical frequency comb generator 2 is shifted, the influence of 1 / f noise is avoided, and the frequency offset lock can be stably performed. That is, when the frequency ν S of the slave laser light in the A region and the C region shown in FIG. 6 is set, the frequency offset lock is performed without shifting the sidebands, and the slave laser light in the B region shown in FIG. When the frequency ν S is set, the side band wave is frequency-shifted by −2 × f 1 / f to perform frequency offset lock. As a result, the heterodyne frequency, that is, the difference frequency ν h can always be set to f 1 / f or more regardless of which region the frequency ν S of the slave laser light is set. That is, the difference frequency ν h is set to a frequency higher than 10 MHz,
The frequency offset lock can be stably performed by avoiding the influence of 1 / f noise.
【００３０】また、スレーブレーザ光の周波数νS が２
本の側帯波の中間付近に近づいた場合には、他の側帯波
からのヘテロダイン信号の影響を回避するために、側帯
波の間隔を変える。すなわち、側帯波の間隔ｆm は、光
周波数コム発生器の光共振器のフリースペクトルレンジ
（ＦＳＲ）の整数倍で設定可能であるから、図７のＡ領
域、Ｃ領域、Ｄ領域及びＦ領域にスレーブレーザ光の周
波数νS を設定する場合には、変調周波数ｆμ＝２×Ｆ
ＳＲとし、側帯波の中間付近であるＢ領域及びＦ領域に
スレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、変
調周波数ｆμ＝４×ＦＳＲに切り換える。これにより、
最も低いヘテロダイン周波数をｆ1 、２番目に低いヘテ
ロダイン周波数をｆ2 とすると、常にｆ1 ＜２ｆ2 とな
り、フィルタによりｆ1 の信号のみを取り出して周波数
オフセットロックを行うことができる。Further, the frequency ν S of the slave laser light is 2
When approaching the middle of the sidebands of the book, the sideband spacing is changed in order to avoid the influence of the heterodyne signal from other sidebands. That is, the interval f m between the sidebands can be set by an integral multiple of the free spectral range (FSR) of the optical resonator of the optical frequency comb generator, and therefore the A region, C region, D region, and F region of FIG. When the frequency ν S of the slave laser light is set to, the modulation frequency fμ = 2 × F
When SR is set and the frequency ν S of the slave laser light is set in the B region and the F region near the middle of the sideband, the modulation frequency is switched to fμ = 4 × FSR. This allows
If the lowest heterodyne frequency is f 1 and the second lowest heterodyne frequency is f 2 , then f 1 <2f 2 and the frequency offset lock can be performed by extracting only the signal of f 1 by the filter.
【００３１】従って、上述の如き構成のレーザ光源装置
は、上記スレーブレーザ光源３が発振可能な全範囲に亘
ってスレーブレーザ光の周波数νS を可変設定すること
ができ、光シンセサイザとして機能する。Therefore, the laser light source device having the above-described structure can variably set the frequency ν S of the slave laser light over the entire range in which the slave laser light source 3 can oscillate, and functions as an optical synthesizer.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明に係るレーザ光源装置では、スレ
ーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波
数が光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波
数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の発振周波
数をシフトさせることによって、１／ｆノイズの影響を
回避して、スレーブレーザ光源の発振周波数を安定に周
波数オフセットロックを行うことができ、スレーブレー
ザ光の周波数を広範囲に可変設定することができる。In the laser light source device according to the present invention, when the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source becomes close to the frequency of the sideband generated by the optical frequency comb generator, By shifting the oscillation frequency of the light source, the influence of 1 / f noise can be avoided, and the oscillation frequency of the slave laser light source can be stably frequency-offset locked, and the frequency of the slave laser light can be variably set in a wide range. be able to.
【００３３】また、本発明に係るレーザ光源装置では、
スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の
周波数が光周波数コム発生器により発生された隣接する
側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記
光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切
り換えることによって、他の側帯波からのヘテロダイン
信号の影響を回避して、スレーブレーザ光源の発振周波
数を安定に周波数オフセットロックを行うことができ、
スレーブレーザ光の周波数を広範囲に可変設定すること
ができる。In the laser light source device according to the present invention,
The sideband generated by the optical frequency comb generator when the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source becomes close to the frequency near the middle of the adjacent sideband waves generated by the optical frequency comb generator. By switching the wave interval, the effect of the heterodyne signal from other sidebands can be avoided, and the oscillation frequency of the slave laser light source can be stably frequency offset locked,
The frequency of the slave laser light can be variably set in a wide range.
【００３４】さらに、本発明に係るレーザ光源装置で
は、スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が光周波数コム発生器により発生された側帯
波の周波数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の
発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と、上
記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光
の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣
接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
によって、１／ｆノイズ及び他の側帯波からのヘテロダ
イン信号の影響を回避して、スレーブレーザ光の周波数
を広範囲に可変設定することができる。Further, in the laser light source device according to the present invention, when the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source becomes close to the frequency of the sideband generated by the optical frequency comb generator, The master laser control means for shifting the oscillation frequency of the light source and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source become close to the frequency near the middle of the adjacent sidebands generated by the optical frequency comb generator. And an optical frequency comb control means for switching the interval of the sidebands generated by the optical frequency comb generator, thereby avoiding the influence of the 1 / f noise and the heterodyne signal from other sidebands. The frequency of the slave laser light can be variably set in a wide range.
【００３５】従って、本発明によれば、スレーブレーザ
光と側帯波間のヘテロダイン信号検出可能な全範囲に亘
ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定すること
ができる光シンセサイザとして機能するレーザ光源装置
を提供することができる。Therefore, according to the present invention, there is provided a laser light source device which functions as an optical synthesizer capable of variably setting the oscillation frequency of the slave laser light over the entire range in which the heterodyne signal between the slave laser light and the sideband can be detected. Can be provided.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明に係るレーザ光源装置の構成を示すブロ
ックである。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a laser light source device according to the present invention.
【図２】上記レーザ光源装置の光周波数コム発生器に採
用した導波路型光周波数コム発生器により発生した光周
波数コムの包絡線の観測結果を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an observation result of an envelope of an optical frequency comb generated by a waveguide type optical frequency comb generator used in the optical frequency comb generator of the laser light source device.
【図３】上記レーザ光源装置における上記光周波数コム
発生器が発生した側帯波とスレーブレーザ光の関係を示
すスペクトル図である。FIG. 3 is a spectrum diagram showing a relationship between sideband waves generated by the optical frequency comb generator in the laser light source device and slave laser light.
【図４】上記側帯波とスレーブレーザ光の間のヘテロダ
イン信号を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a heterodyne signal between the sideband wave and a slave laser beam.
【図５】上記側帯波とスレーブレーザ光の間の差周波数
のアラン分散の平方根を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a square root of Allan dispersion of a difference frequency between the sideband wave and the slave laser light.
【図６】上記スレーブレーザ光の周波数とヘテロダイン
周波数の関係を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the frequency of the slave laser light and the heterodyne frequency.
【図７】上記スレーブレーザ光の設定周波数とヘテロダ
イン検波させる側帯波の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a set frequency of the slave laser light and a sideband wave to be heterodyne detected.
【図８】従来のレーザ光源装置の構成を示すブロックで
ある。FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of a conventional laser light source device.
【図９】従来のレーザ光源装置におけるマスタレーザ光
の周波数νM 、側帯波の次数ｎ及びスレーブレーザ光の
周波数νS の関係を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the frequency ν M of the master laser light, the order n of the sidebands, and the frequency ν S of the slave laser light in the conventional laser light source device.
【図１０】従来のレーザ光源装置において光検出器で検
出されるヘテロダイン信号の周波数特性を示す図であ
る。FIG. 10 is a diagram showing frequency characteristics of a heterodyne signal detected by a photodetector in a conventional laser light source device.
【図１１】従来のレーザ光源装置においてスレーブレー
ザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態
を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a state in which a frequency ν S of slave laser light is set near the center between sidebands in a conventional laser light source device.
【図１２】従来のレーザ光源装置においてスレーブレー
ザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態
でのヘテロダイン信号を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a heterodyne signal in a state where the frequency ν S of slave laser light is set near the center between sidebands in the conventional laser light source device.
１ マスタレーザ光源 ２ 光周波数コム発生器 ３ スレーブレーザ光源 ４，５ 光カップラ ６，１４，１６ 光検出器 ７，１７ 周波数オフセットロック回路 ８ コンピュータ ９，１０，１８ 発振器 １１ 第１のレーザ光源 １２ 第２のレーザ光源 １３ 光吸収セル 1 Master Laser Light Source 2 Optical Frequency Comb Generator 3 Slave Laser Light Source 4,5 Optical Coupler 6,14,16 Photo Detector 7,17 Frequency Offset Lock Circuit 8 Computer 9,10,18 Oscillator 11 First Laser Light Source 12th 2 laser light source 13 light absorption cell
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 崇記 神奈川県厚木市林381−１ コーポエメラ ルド201 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takaki Saito 381-1 Hayashi, Atsugi City, Kanagawa Prefecture Corp Emerald 201
Claims (5)
光源と、 このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に
対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コ
ム発生器と、 発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、 上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、 上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレー
ザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手
段とを備えることを特徴とするレーザ光源装置。1. A master laser light source whose oscillation frequency is stabilized, an optical frequency comb generator that generates a sideband at a predetermined frequency interval with respect to a master laser light incident from the master laser light source, and an oscillation frequency. A variable slave laser light source, a slavedyne laser light emitted from the slave laser light source, a heterodyne detection means for detecting the hederodyne component of the sidebands generated by the optical frequency comb generator, and the heterodyne detection means Frequency offset lock means for feedback controlling the oscillation frequency of the slave laser light source based on the detected hederodyne detection signal, and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source is generated by the optical frequency comb generator. When the frequency of the sideband is approached, the master The laser light source device characterized by comprising a master laser control means for shifting the oscillation frequency of the light source.
分子の吸収線を周波数基準として発振周波数が安定化さ
れた第１のレーザ光源と、周波数オフセットロック手段
により上記第１のレーザ光源から出射された第１のレー
ザ光との差周波数が安定化された第１のレーザ光をマス
タレーザ光として出射する第２のレーザ光源とからな
り、 上記マスタレーザ制御手段は、上記周波数オフセットロ
ック手段により安定化される上記第１のレーザ光源から
出射された第１のレーザ光との差周波数を切換設定する
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ光源装置。2. The master laser light source emits from the first laser light source whose oscillation frequency is stabilized with an absorption line of a gas atom or molecule as a frequency reference, and a frequency offset lock means. And a second laser light source that emits a first laser light whose difference frequency with the first laser light is stabilized as a master laser light, wherein the master laser control means is stabilized by the frequency offset lock means. 2. The laser light source device according to claim 1, wherein the difference frequency between the first laser light source and the first laser light emitted from the first laser light source is switched and set.
光源と、 このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に
対して所定周波数ｆｍ間隔毎に側帯波を発生する光周波
数コム発生器と、 発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、 上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、 上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とするレーザ光源装置。3. A master laser light source whose oscillation frequency is stabilized, an optical frequency comb generator for generating sidebands at intervals of a predetermined frequency fm with respect to the master laser light incident from the master laser light source, and oscillation. A slave laser light source having a variable frequency, a heterodyne detection means for detecting a hederodyne component of the slave laser light emitted from the slave laser light source and the sideband generated by the optical frequency comb generator, and the heterodyne detection means. The frequency offset lock means for feedback controlling the oscillation frequency of the slave laser light source based on the hederodyne detection signal detected by, and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source is generated by the optical frequency comb generator. Became close to the frequency near the middle of the adjacent sideband Come to a laser light source device characterized by comprising an optical frequency comb control means for switching intervals of sidebands generated by the optical frequency comb generator.
光源と、 このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に
対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コ
ム発生器と、 発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、 上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、 上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレー
ザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手
段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とするレーザ光源装置。4. A master laser light source whose oscillation frequency is stabilized, an optical frequency comb generator for generating sidebands at predetermined frequency intervals with respect to the master laser light incident from the master laser light source, and an oscillation frequency. A variable slave laser light source, a slavedyne laser light emitted from the slave laser light source, a heterodyne detection means for detecting the hederodyne component of the sidebands generated by the optical frequency comb generator, and the heterodyne detection means Frequency offset lock means for feedback controlling the oscillation frequency of the slave laser light source based on the detected hederodyne detection signal, and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source is generated by the optical frequency comb generator. When the frequency of the sideband is approached, the master The master laser control means for shifting the oscillation frequency of the light source, and the frequency of the slave laser light emitted from the slave laser light source become close to the frequency near the middle of the adjacent sidebands generated by the optical frequency comb generator. The laser light source device further comprises: an optical frequency comb control means for switching the interval of the sidebands generated by the optical frequency comb generator.
分子の吸収線を周波数基準として発振周波数が安定化さ
れた第１のレーザ光源と、周波数オフセットロック手段
により上記第１のレーザ光源から出射された第１のレー
ザ光との差周波数が安定化された第１のレーザ光をマス
タレーザ光として出射する第２のレーザ光源とからな
り、 上記マスタレーザ制御手段は、上記周波数オフセットロ
ック手段により安定化される上記第１のレーザ光源から
出射された第１のレーザ光との差周波数を切換設定する
ことを特徴とする請求項４記載のレーザ光源装置。5. The master laser light source emits from the first laser light source whose oscillation frequency is stabilized with an absorption line of a gas atom or molecule as a frequency reference, and a frequency offset lock means. And a second laser light source that emits a first laser light whose difference frequency with the first laser light is stabilized as a master laser light, wherein the master laser control means is stabilized by the frequency offset lock means. 5. The laser light source device according to claim 4, wherein a difference frequency between the first laser light source and the first laser light emitted from the first laser light source is changed and set.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21794195A JP3570581B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Laser light source device |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21794195A JP3570581B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Laser light source device |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH0964486A true JPH0964486A (en) | 1997-03-07 |
| JP3570581B2 JP3570581B2 (en) | 2004-09-29 |
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ID=16712115
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|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002043685A (en) * | 2000-07-19 | 2002-02-08 | Anritsu Corp | Frequency variable light source |
| JP2011203550A (en) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Neoark Corp | Heterodyne light source, and light absorption/light loss measuring instrument and spectroscopic analyzer using the same |
| JP2021118258A (en) * | 2020-01-27 | 2021-08-10 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Optical frequency sweep laser light source |
-
1995
- 1995-08-25 JP JP21794195A patent/JP3570581B2/en not_active Expired - Fee Related
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