JPH0964161A - 薄板用支持容器 - Google Patents
薄板用支持容器Info
- Publication number
- JPH0964161A JPH0964161A JP21055295A JP21055295A JPH0964161A JP H0964161 A JPH0964161 A JP H0964161A JP 21055295 A JP21055295 A JP 21055295A JP 21055295 A JP21055295 A JP 21055295A JP H0964161 A JPH0964161 A JP H0964161A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rib
- wafer
- thin plate
- support
- supporting
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
を抑えて高い寸法精度を確保する。 【解決手段】 ウエハ11を多段にかつ等間隔に支持す
べく多数のリブ片15Aを多段に配設して支持用リブ1
5を構成すると共に、この支持用リブ15を並列に相対
向してウエハ11を挟むように備えたウエハキャリア1
0である。少なくとも支持用リブ15を中空構造にし
た。これにより、凹凸の多い部分でも肉厚をほぼ均一に
することができる。これにより、成形時の熱収縮率がほ
ぼ一定になり、寸法精度が大幅に向上する。
Description
薄板を複数枚等間隔にかつ多段に収納支持して、保管や
運搬等を行う薄板用支持容器に関する。
の処理を行う薄板用支持容器としては、例えば薄板とし
て半導体ウエハを用いた半導体ウエハキャリア1が知ら
れている。この半導体ウエハキャリア1を図5及び図6
に基づいて説明する。図5は半導体ウエハキャリア1の
対向する一対の側壁の一方のみを内側から示す一部破断
斜視図、図6は半導体ウエハキャリア1の正面断面図で
ある。
て構成されウエハ7を導入及び導出するウエハ導入出口
2Aを有する筐体2と、この筐体2の互いに対向した2
枚の側壁3,4の内側面にそれぞれ多段に設けられ、多
数のウエハ7を並列にかつ多段に収納支持する支持用リ
ブ5とから概略構成されている。
をおいて並列に設けられた多数のリブ片5Aから構成さ
れている。各支持用リブ5の最奥部(図5中の下端部)
には互いに内側へ向け湾曲させて成形された最奥支持部
5Bが設けられ、挿入されたウエハ7の挿入限度を規制
し位置決めをするようになっている。
は、この筐体2を縦(内部に挿入されたウエハ7を水平
に支持する状態)に置いたときに、内部に挿入されたウ
エハ7が水平になるように筐体2を支持する水平支持板
部6が設けられている。
ブ5等はすべて合成樹脂で、全体を中実に成形されてい
る。
1では、多数のウエハ7を並列にかつ多段に挿入支持し
て、保管や運搬等を行う。
ウエハ7の導入及び導出に際しては、ロボットで自動的
に行われる。
な半導体ウエハキャリア1では、筐体2、側壁3,4及
び支持用リブ5等が全部中実に成形されているため、こ
のキャリアボックス1の成形時に肉厚部分と肉薄部分と
で熱収縮率が異なってひけ等が生じ、寸法精度が悪いと
いう問題点がある。
で、成形時の熱収縮による悪影響を抑えて高い寸法精度
を確保できる薄板用支持容器を提供することを目的とす
る。
に本発明は、薄板を多段にかつ等間隔に支持すべく多数
のリブ片を多段に配設して支持用リブを構成すると共
に、この支持用リブを並列に相対向して前記薄板を挟む
ように備えた薄板用支持容器において、少なくとも前記
支持用リブが、中空構造によって構成されたことを特徴
とする。
ることで、凹凸の多い部分でも肉厚をほぼ均一にするこ
とができるようになる。これにより、成形時の熱収縮率
がほぼ一定になり、寸法精度が大幅に向上する。
図面に基づいて説明する。本発明の薄板用支持容器は、
半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶板等の薄板を複数枚
並列に支持する容器である。以下、従来例と同様に、薄
板として半導体ウエハを、薄板用支持容器として半導体
ウエハキャリアを用いた場合を例に説明する。図1はリ
ブ片15Aにウエハ11を載置した状態を示す要部断面
図、図2は半導体ウエハキャリア10を示す正面断面図
である。
0の全体構成は前述した従来の半導体ウエハキャリア1
とほぼ同様である。具体的には、図2に示すように、一
方を開口して構成し半導体ウエハ11を導入及び導出す
るウエハ導入出口12Aを有する筐体12と、この筐体
12の互いに対向した2枚の側壁13,14の内側面に
それぞれ多段に設けられて多数のウエハ11を並列にか
つ多段に収納支持する支持用リブ15とから構成されて
いる。
4を上側及び下側(図2中の手前側及び奥側)の連接板
(図示せず)で互いに接続支持して構成されている。各
側壁13,14の間隔は円形のウエハ11の最大直径よ
りも多少大きい程度の寸法に設定されている。
一定間隔をおいて並列に設けられた多数のリブ片15A
から構成されている。そして、支持用リブ15は、図1
に示すように、各リブ片15Aを含めて全体が、外殻の
みからなる中空構造となっている。この中空構造の支持
用リブ15は次のようにして成形される。即ち、図3に
示すように、既知のガスアシスト装置を備えた射出成形
機等によって行なう。金型21にノズル22を接続し、
このノズル22のうち樹脂ノズル部23から合成樹脂を
注入すると共に、ガスノズル部24からガス又はガス発
生液体を注入する。これにより、金型21内でガスに押
圧された合成樹脂が金型21の内壁に圧接して外殻だけ
の中空構造の成形品ができ上がる。
0は、図4に示すように、キャリアボックス31に収容
されることがある。
開口して形成されて内部に前記ウエハキャリア10を収
納する筐体32と、この筐体32の開口部33を塞ぐ蓋
体34とから構成されている。
ア10が収納されて、保管、運搬等が行なわれる。
を縦に載置してウエハ11が水平に支持された状態で、
ロボット(図示せず)によって自動的に導入又は導出さ
れる。
中空構造にしたので、リブ片15Aのような凹凸部分で
も、肉厚をほぼ均一にすることができるようになる。こ
れにより、全体的に成形時の熱収縮率がほぼ一定にする
ことができ、寸法精度が大幅に向上する。
入出の際に、高い寸法精度に保たれた各リブ片15Aに
よって、ウエハ11とリブ片15Aやウエハ11とロボ
ットのフォーク等が互いに接触することがなくなり、ウ
エハ11の導入又は導出が容易になる。
が一般に知られており、各リブ片15Aの強度が増すこ
とで、このリブ片15Aの寸法精度を高い状態に維持す
ることができる。
4の足部13A,14Aが開くことがなくなり、各側壁
13,14の反りもなくなる。
化を図ることもできる。
壁13,14及び支持用リブ15を中空構造としたが、
この部分だけでなく、他の部分も含めて全体的に中空構
造としてもよい。
く、キャリアボックス31も含めて中空構造としてもよ
い。これによっても、前記同様の効果を奏することがで
きる。
持容器によれば、少なくとも支持用リブを中空構造にし
たので、凹凸部分でも肉厚をほぼ均一にすることができ
るようになり、成形時の熱収縮の影響を排除して、各部
の寸法精度を向上させることができる。
を示す要部断面図である。
る。
部断面図である。
収納した状態を示す斜視図である。
側壁の一方のみを内側から示す一部破断斜視図である。
る。
2…筐体、13,14…側壁、15…支持用リブ、15
A…リブ片。
Claims (1)
- 【請求項1】 薄板を多段にかつ等間隔に支持すべく多
数のリブ片を多段に配設して支持用リブを構成すると共
に、この支持用リブを並列に相対向して前記薄板を挟む
ように備えた薄板用支持容器において、 少なくとも前記支持用リブが、中空構造によって構成さ
れたことを特徴とする薄板用支持容器。
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21055295A JPH0964161A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 薄板用支持容器 |
TW084111144A TW296361B (ja) | 1995-06-26 | 1995-10-21 | |
US08/599,928 US5782361A (en) | 1995-06-26 | 1996-02-12 | Thin-plate supporting container |
DE69635602T DE69635602T2 (de) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Stützbehälter für dünne Scheiben |
EP04019624A EP1480256B1 (en) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Thin-plate supporting container |
EP04019625A EP1494266B1 (en) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Thin-plate supporting container |
EP96102467A EP0751551B1 (en) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Thin-plate supporting container |
EP04019623A EP1480255A3 (en) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Thin-plate supporting container |
DE69638036T DE69638036D1 (de) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Stützbehälter für dünne Scheiben |
DE69636583T DE69636583T2 (de) | 1995-06-26 | 1996-02-19 | Stützbehälter für dünne Scheiben |
US08/718,847 US5706946A (en) | 1995-06-26 | 1996-09-24 | Thin-plate supporting container |
US08/718,845 US5725101A (en) | 1995-06-26 | 1996-09-24 | Thin-plate supporting container |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21055295A JPH0964161A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 薄板用支持容器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0964161A true JPH0964161A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16591217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21055295A Pending JPH0964161A (ja) | 1995-06-26 | 1995-08-18 | 薄板用支持容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0964161A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999039994A1 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
US6474474B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-05 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
US6491177B1 (en) | 1999-04-06 | 2002-12-10 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate accommodating/transporting container |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP21055295A patent/JPH0964161A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999039994A1 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
US6474474B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-05 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
KR100460309B1 (ko) * | 1998-02-06 | 2004-12-04 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 박판지지용기 |
US6491177B1 (en) | 1999-04-06 | 2002-12-10 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate accommodating/transporting container |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050927 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060822 |