JPH0963771A - 有機薄膜発光素子 - Google Patents
有機薄膜発光素子Info
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- JPH0963771A JPH0963771A JP7217130A JP21713095A JPH0963771A JP H0963771 A JPH0963771 A JP H0963771A JP 7217130 A JP7217130 A JP 7217130A JP 21713095 A JP21713095 A JP 21713095A JP H0963771 A JPH0963771 A JP H0963771A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
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- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/816—Multilayers, e.g. transparent multilayers
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 仕事関数がインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）よ
りも大きな金属酸化物薄膜を陽極に用いることで、正孔
輸送層あるいは発光層とのエネルギー障壁を低減させ、
低電圧で発光可能でかつ発光効率が高い有機薄膜発光素
子を提供する。 【解決手段】 基板１０上に陽極１２が形成され、その
上に正孔輸送層１８、発光層１６等の有機化合物層及び
陰極１４が形成されている有機薄膜発光素子であって、
陽極１２が、仕事関数がＩＴＯよりも大きな金属酸化物
薄膜あるいはＩＴＯとの２層構造薄膜により形成されて
いる。
りも大きな金属酸化物薄膜を陽極に用いることで、正孔
輸送層あるいは発光層とのエネルギー障壁を低減させ、
低電圧で発光可能でかつ発光効率が高い有機薄膜発光素
子を提供する。 【解決手段】 基板１０上に陽極１２が形成され、その
上に正孔輸送層１８、発光層１６等の有機化合物層及び
陰極１４が形成されている有機薄膜発光素子であって、
陽極１２が、仕事関数がＩＴＯよりも大きな金属酸化物
薄膜あるいはＩＴＯとの２層構造薄膜により形成されて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平面発光ディスプレ
イに用いる発光素子に関するものであり、特に発光物質
として蛍光性有機化合物を利用した有機薄膜発光素子の
改良に関するものである。
イに用いる発光素子に関するものであり、特に発光物質
として蛍光性有機化合物を利用した有機薄膜発光素子の
改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報化社会の進歩に伴い、従来の
ＣＲＴよりも低消費電力でかつ薄型のディスプレイへの
ニーズが高まっている。この様なディスプレイとしては
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイがあり、すで
に実用化されている。しかし、時代のニーズはさらに高
度化し、さらに低消費電力化、鮮明なフルカラー化が望
まれている。
ＣＲＴよりも低消費電力でかつ薄型のディスプレイへの
ニーズが高まっている。この様なディスプレイとしては
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイがあり、すで
に実用化されている。しかし、時代のニーズはさらに高
度化し、さらに低消費電力化、鮮明なフルカラー化が望
まれている。
【０００３】最近、それらのニーズを背景に、有機化合
物を利用した有機薄膜発光素子への期待が高まってい
る。これまでに報告されている素子の構造としては、陽
極および陰極の間に１層または複数層の有機化合物層が
挟まれた構造となっており、有機化合物層としては２層
構造あるいは３層構造がある。
物を利用した有機薄膜発光素子への期待が高まってい
る。これまでに報告されている素子の構造としては、陽
極および陰極の間に１層または複数層の有機化合物層が
挟まれた構造となっており、有機化合物層としては２層
構造あるいは３層構造がある。
【０００４】２層構造の例としては、陽極と陰極との間
に正孔輸送層と発光層が形成された構造（特開昭５９−
１９４３９３、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５１，
９１３（１９８７））又は陽極と陰極との間に発光層と
電子輸送層とが形成された構造（ＵＳＰ Ｎｏ．５，０
８５９４７、特開平２−２５０９５２、Ａｐｐｌ．Ｐｈ
ｙｓ．Ｌｅｔｔ．５５．Ｐ１４８９（１９８９））があ
る。また、３層構造の例としては、陽極と陰極との間に
正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが形成された構造
（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５７，５３１（１９
９０））がある。また、単一層に全ての役割を持たせた
単層構造（Ｎａｔｕｒｅ，３４７，５３９（１９９
０）、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６１，７６１
（１９９２））も高分子や混合系で報告されている。こ
れらの素子構造が図６，７，８，９に示される。
に正孔輸送層と発光層が形成された構造（特開昭５９−
１９４３９３、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５１，
９１３（１９８７））又は陽極と陰極との間に発光層と
電子輸送層とが形成された構造（ＵＳＰ Ｎｏ．５，０
８５９４７、特開平２−２５０９５２、Ａｐｐｌ．Ｐｈ
ｙｓ．Ｌｅｔｔ．５５．Ｐ１４８９（１９８９））があ
る。また、３層構造の例としては、陽極と陰極との間に
正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが形成された構造
（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５７，５３１（１９
９０））がある。また、単一層に全ての役割を持たせた
単層構造（Ｎａｔｕｒｅ，３４７，５３９（１９９
０）、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６１，７６１
（１９９２））も高分子や混合系で報告されている。こ
れらの素子構造が図６，７，８，９に示される。
【０００５】図６には、基板１０上に設けられた陽極１
２と陰極１４との間に単一の有機化合物層である発光層
１６が形成された単層構造の例が示される。この場合の
発光層１６は、正孔輸送層及び電子輸送層の機能も果た
している。
２と陰極１４との間に単一の有機化合物層である発光層
１６が形成された単層構造の例が示される。この場合の
発光層１６は、正孔輸送層及び電子輸送層の機能も果た
している。
【０００６】図７には、基板１０上に設けられた陽極１
２と陰極１４との間に有機化合物層である発光層１６と
正孔輸送層１８とが形成された２層構造の例が示され
る。この場合の発光層１６は、電子輸送層の機能も果た
している。
２と陰極１４との間に有機化合物層である発光層１６と
正孔輸送層１８とが形成された２層構造の例が示され
る。この場合の発光層１６は、電子輸送層の機能も果た
している。
【０００７】図８には、基板１０上に設けられた陽極１
２と陰極１４との間に有機化合物層である発光層１６と
電子輸送層２０とが形成された２層構造の例が示され
る。この場合の発光層１６は、正孔輸送層の機能も果た
している。
２と陰極１４との間に有機化合物層である発光層１６と
電子輸送層２０とが形成された２層構造の例が示され
る。この場合の発光層１６は、正孔輸送層の機能も果た
している。
【０００８】図９には、基板１０上に設けられた陽極１
２と陰極１４との間に有機化合物層である発光層１６と
正孔輸送層１８と電子輸送層２０とが形成された３層構
造の例が示される。
２と陰極１４との間に有機化合物層である発光層１６と
正孔輸送層１８と電子輸送層２０とが形成された３層構
造の例が示される。
【０００９】これら有機薄膜発光素子における発光メカ
ニズムは、陽極から注入された正孔と陰極から注入され
た電子とが、正孔輸送層１８あるいは電子輸送層２０を
介して発光層１６に到達し、そこで再結合することによ
って発光層１６を構成する有機化合物の励起状態を作り
出し、その励起状態が基底状態に戻るときに有機化合物
の蛍光と同じ波長の光を放出するというものである。
ニズムは、陽極から注入された正孔と陰極から注入され
た電子とが、正孔輸送層１８あるいは電子輸送層２０を
介して発光層１６に到達し、そこで再結合することによ
って発光層１６を構成する有機化合物の励起状態を作り
出し、その励起状態が基底状態に戻るときに有機化合物
の蛍光と同じ波長の光を放出するというものである。
【００１０】発光層用材料として用いられる有機化合物
は強い蛍光性を示す材料である。上記正孔輸送層１８、
発光層１６、電子輸送層２０に使用可能な材料として
は、これまで様々な有機化合物が報告されている。たと
えば、正孔輸送層１８の材料としては、芳香族３級アミ
ンが報告されている。
は強い蛍光性を示す材料である。上記正孔輸送層１８、
発光層１６、電子輸送層２０に使用可能な材料として
は、これまで様々な有機化合物が報告されている。たと
えば、正孔輸送層１８の材料としては、芳香族３級アミ
ンが報告されている。
【００１１】また、発光層１６の材料としては、以下の
化学式で表されるアルミニウムトリスオキシン（特開昭
５９−１９４３９３、特開昭６３−２９５６９５）
化学式で表されるアルミニウムトリスオキシン（特開昭
５９−１９４３９３、特開昭６３−２９５６９５）
【化１】 や、スチリルアミン誘導体、スチリルベンゼン誘導体
（特開平２−２０９９８８）が報告されている。
（特開平２−２０９９８８）が報告されている。
【００１２】また、電子輸送層２０の材料としては、オ
キサジアゾール誘導体等（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔ
ｔ．６３，２０３２（１９９３））が報告されている。
キサジアゾール誘導体等（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔ
ｔ．６３，２０３２（１９９３））が報告されている。
【００１３】これら低分子量の化合物ばかりではなく、
高分子量の化合物でも多くの報告例があり、特にポリ
（Ｐ−フェニレンビニレン）系誘導体（Ｎａｔｕｒｅ，
３４７，５３９（１９９０））は、単層構造の素子でも
良好な特性が得られている。
高分子量の化合物でも多くの報告例があり、特にポリ
（Ｐ−フェニレンビニレン）系誘導体（Ｎａｔｕｒｅ，
３４７，５３９（１９９０））は、単層構造の素子でも
良好な特性が得られている。
【００１４】これらの材料を使用した有機薄膜発光素子
は、その発光色や明るさから見て、発光素子としての性
能は十分に実用レベルにある。
は、その発光色や明るさから見て、発光素子としての性
能は十分に実用レベルにある。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら有機薄
膜発光素子は未だ実用に至っていない。その最大の原因
は素子の耐久性が乏しいことにある。
膜発光素子は未だ実用に至っていない。その最大の原因
は素子の耐久性が乏しいことにある。
【００１６】これまで、様々な素子構造および有機化合
物を採用することにより、初期的には数１０００ｃｄ／
ｍ2 の高輝度が直流電圧１０Ｖ程度で達成されている
が、連続駆動あるいは長期保存によって輝度の低下と駆
動電圧の上昇といった特性の劣化が起り、これが有機薄
膜発光素子の実用化を妨げている。この素子寿命を支配
している要因は幾つか報告されているが、従来は薄膜の
耐熱性がその主要因であると考えられていた。そのた
め、有機化合物層の膜構造を安定化させるために、熱安
定性に優れた、つまり軟化温度（Ｔｇ）や融点の高い有
機化合物の合成が試みられている（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．Ｌｅｔｔ．６１，２５０３（１９９２））。
物を採用することにより、初期的には数１０００ｃｄ／
ｍ2 の高輝度が直流電圧１０Ｖ程度で達成されている
が、連続駆動あるいは長期保存によって輝度の低下と駆
動電圧の上昇といった特性の劣化が起り、これが有機薄
膜発光素子の実用化を妨げている。この素子寿命を支配
している要因は幾つか報告されているが、従来は薄膜の
耐熱性がその主要因であると考えられていた。そのた
め、有機化合物層の膜構造を安定化させるために、熱安
定性に優れた、つまり軟化温度（Ｔｇ）や融点の高い有
機化合物の合成が試みられている（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．Ｌｅｔｔ．６１，２５０３（１９９２））。
【００１７】しかし最近、以下の化学式で表される芳香
族３級アミンのトリフェニルジアミン誘導体
族３級アミンのトリフェニルジアミン誘導体
【化２】 を中心にした系統的な実験から、素子の寿命はこれら軟
化温度や融点よりも正孔輸送層のイオン化ポテンシャル
に関係していることが報告されている（Ａｐｐｌ．Ｐｈ
ｙｓ．Ｌｅｔｔ．，６６，２６７９（１９９５））。こ
れは、陽極である酸化錫インジウム（ＩＴＯ）と正孔輸
送層のエネルギー障壁すなわちＩＴＯ電極のフェルミ準
位と正孔輸送層の最高占有準位のエネルギー差が小さい
ほど素子の寿命が長くなることを意味している。
化温度や融点よりも正孔輸送層のイオン化ポテンシャル
に関係していることが報告されている（Ａｐｐｌ．Ｐｈ
ｙｓ．Ｌｅｔｔ．，６６，２６７９（１９９５））。こ
れは、陽極である酸化錫インジウム（ＩＴＯ）と正孔輸
送層のエネルギー障壁すなわちＩＴＯ電極のフェルミ準
位と正孔輸送層の最高占有準位のエネルギー差が小さい
ほど素子の寿命が長くなることを意味している。
【００１８】一般に、ＩＴＯ電極のフェルミ準位は４．
６ｅＶ（Ｎａｔｕｒｅ，Ｖｏｌ．３７０，３５４（１９
９４））であることが知られており、この値は仕事関数
に対応している。また、正孔輸送層に使用される代表的
なジアミン誘導体であるトリフェニルジアミン（ＴＰ
Ｄ）の最高占有準位は５．５ｅＶ（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．Ｌｅｔｔ．，６１，２５０３（１９９２））である
ことが知られており、この値はイオン化ポテンシャルに
対応している。
６ｅＶ（Ｎａｔｕｒｅ，Ｖｏｌ．３７０，３５４（１９
９４））であることが知られており、この値は仕事関数
に対応している。また、正孔輸送層に使用される代表的
なジアミン誘導体であるトリフェニルジアミン（ＴＰ
Ｄ）の最高占有準位は５．５ｅＶ（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．Ｌｅｔｔ．，６１，２５０３（１９９２））である
ことが知られており、この値はイオン化ポテンシャルに
対応している。
【００１９】上述のＴＰＤを正孔輸送層に使用する場
合、正孔キャリアにとってはＩＴＯ電極と正孔輸送層と
の間に約０．９ｅＶの障壁が存在することになる。この
エネルギー差が小さければ障壁部に無理な電圧がかかる
必要がなく、素子の発熱が抑えられる。多くのジアミン
誘導体でイオン化ポテンシャルの大きな材料の合成が試
みられているが、有機材料からのアプローチだけでは障
壁低減に限界がある。従って、電極材料を改良して、従
来のＩＴＯよりも仕事関数の大きな透明電極を開発する
ことが望まれている。
合、正孔キャリアにとってはＩＴＯ電極と正孔輸送層と
の間に約０．９ｅＶの障壁が存在することになる。この
エネルギー差が小さければ障壁部に無理な電圧がかかる
必要がなく、素子の発熱が抑えられる。多くのジアミン
誘導体でイオン化ポテンシャルの大きな材料の合成が試
みられているが、有機材料からのアプローチだけでは障
壁低減に限界がある。従って、電極材料を改良して、従
来のＩＴＯよりも仕事関数の大きな透明電極を開発する
ことが望まれている。
【００２０】尚、発光層が正孔輸送層の機能も果たして
いる型の素子の場合は、陽極と発光層との間のエネルギ
ー障壁が問題となる。例えば、イオン化ポテンシャルが
５．０ｅＶのポリ（Ｐ−フェニレンビニレン）の場合、
０．４ｅＶの障壁が存在することになる（Ｎａｔｕｒ
ｅ，３７０，３５４（１９９０））。
いる型の素子の場合は、陽極と発光層との間のエネルギ
ー障壁が問題となる。例えば、イオン化ポテンシャルが
５．０ｅＶのポリ（Ｐ−フェニレンビニレン）の場合、
０．４ｅＶの障壁が存在することになる（Ｎａｔｕｒ
ｅ，３７０，３５４（１９９０））。
【００２１】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
のであり、その目的は、仕事関数が従来の陽極材料であ
るＩＴＯよりも大きい金属酸化物薄膜を用いて正孔輸送
層あるいは発光層とのエネルギー障壁を低減させ、駆動
電圧が低下でき発光性能が長時間に亘って保持できる耐
久性に優れた有機薄膜発光素子を提供することにある。
のであり、その目的は、仕事関数が従来の陽極材料であ
るＩＴＯよりも大きい金属酸化物薄膜を用いて正孔輸送
層あるいは発光層とのエネルギー障壁を低減させ、駆動
電圧が低下でき発光性能が長時間に亘って保持できる耐
久性に優れた有機薄膜発光素子を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、陽極および陰極と、これら
に挟まれた１層または複数層の有機化合物層より構成さ
れる有機薄膜発光素子において、前記陽極が、仕事関数
が酸化錫インジウム（ＩＴＯ）よりも大きな金属酸化物
薄膜からなることを特徴とする。
に、請求項１記載の発明は、陽極および陰極と、これら
に挟まれた１層または複数層の有機化合物層より構成さ
れる有機薄膜発光素子において、前記陽極が、仕事関数
が酸化錫インジウム（ＩＴＯ）よりも大きな金属酸化物
薄膜からなることを特徴とする。
【００２３】請求項２記載の発明は、請求項１記載の有
機薄膜発光素子において、前記陽極を、膜厚５００オン
グストロームから２０００オングストロームの範囲のＩ
ＴＯ薄膜と５０オングストロームから３００オングスト
ロームの範囲の金属酸化物薄膜とにより２層構造とした
ことを特徴とする。
機薄膜発光素子において、前記陽極を、膜厚５００オン
グストロームから２０００オングストロームの範囲のＩ
ＴＯ薄膜と５０オングストロームから３００オングスト
ロームの範囲の金属酸化物薄膜とにより２層構造とした
ことを特徴とする。
【００２４】請求項３記載の発明は、請求項１記載の有
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が発光層で
あることを特徴とする。
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が発光層で
あることを特徴とする。
【００２５】請求項４記載の発明は、請求項１記載の有
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が正孔輸送
層と発光層とからなることを特徴とする。
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が正孔輸送
層と発光層とからなることを特徴とする。
【００２６】請求項５記載の発明は、請求項１記載の有
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が発光層と
電子輸送層とからなることを特徴とする。
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が発光層と
電子輸送層とからなることを特徴とする。
【００２７】請求項６記載の発明は、請求項１記載の有
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が正孔輸送
層と発光層と電子輸送層とからなることを特徴とする。
機薄膜発光素子において、前記有機化合物層が正孔輸送
層と発光層と電子輸送層とからなることを特徴とする。
【００２８】請求項７記載の発明は、請求項１記載の有
機薄膜発光素子において、前記金属酸化物は、酸化バナ
ジウム、酸化ルテニウム、酸化モリブデンなどの仕事関
数が４．６ｅＶよりも大きな酸化物であることを特徴と
する。
機薄膜発光素子において、前記金属酸化物は、酸化バナ
ジウム、酸化ルテニウム、酸化モリブデンなどの仕事関
数が４．６ｅＶよりも大きな酸化物であることを特徴と
する。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。
を図面に基づいて説明する。
【００３０】図１には、本発明に係る有機薄膜発光素子
の断面図が示される。図１において、ガラス等の基板１
０の上に陽極１２が形成され、陽極１２の上にＴＰＤか
らなる正孔輸送層１８が形成され、正孔輸送層１８の上
にアルミキノリノール錯体（Ａｌｑ）からなる発光層１
６が形成され、発光層１６の上にＭｇＡｇ合金からなる
陰極１４が形成されている。
の断面図が示される。図１において、ガラス等の基板１
０の上に陽極１２が形成され、陽極１２の上にＴＰＤか
らなる正孔輸送層１８が形成され、正孔輸送層１８の上
にアルミキノリノール錯体（Ａｌｑ）からなる発光層１
６が形成され、発光層１６の上にＭｇＡｇ合金からなる
陰極１４が形成されている。
【００３１】陽極１２としては、従来の陽極材料である
ＩＴＯよりも仕事関数が大きく導電性が高い材料が使用
される。たとえば、ルテニウム酸化物（ＲｕＯx ）、モ
リブデン酸化物（ＭｏＯx ）、バナジウム酸化物（ＶＯ
x ）などが好ましい。
ＩＴＯよりも仕事関数が大きく導電性が高い材料が使用
される。たとえば、ルテニウム酸化物（ＲｕＯx ）、モ
リブデン酸化物（ＭｏＯx ）、バナジウム酸化物（ＶＯ
x ）などが好ましい。
【００３２】表１には、各金属酸化物薄膜の仕事関数の
例が示される。これらの値は、大気中紫外光電子分光法
で実測したものである。表１に示された金属酸化物薄膜
の仕事関数は、ＩＴＯよりも大きな値となっており、本
発明に係る有機薄膜発光素子の陽極材料として使用が可
能である。
例が示される。これらの値は、大気中紫外光電子分光法
で実測したものである。表１に示された金属酸化物薄膜
の仕事関数は、ＩＴＯよりも大きな値となっており、本
発明に係る有機薄膜発光素子の陽極材料として使用が可
能である。
【００３３】
【表１】 これらの金属酸化物薄膜の中で光の透過性の乏しいもの
はＩＴＯとの２層構造の電極とする。この例が図２に示
される。図２においては、基板１０の上にＩＴＯ層２２
が形成され、ＩＴＯ層２２の上に金属酸化物薄膜２４が
形成されて２層構造の陽極１２が構成されている。尚、
金属酸化物薄膜２４の上には所定の有機化合物層及び陰
極が形成されているが図示は省略した。
はＩＴＯとの２層構造の電極とする。この例が図２に示
される。図２においては、基板１０の上にＩＴＯ層２２
が形成され、ＩＴＯ層２２の上に金属酸化物薄膜２４が
形成されて２層構造の陽極１２が構成されている。尚、
金属酸化物薄膜２４の上には所定の有機化合物層及び陰
極が形成されているが図示は省略した。
【００３４】陽極を２層構造とした場合の金属酸化物薄
膜２４の膜厚は３００オングストローム以下で５０オン
グストローム以上が好ましい。ＩＴＯの膜厚は５００オ
ングストロームから２０００オングストロームの範囲と
する。金属酸化物薄膜の作製は、電子ビーム蒸着、直流
スパッタ法、ＲＦマグネトロンスパッタ法、ＩＣＢ蒸着
法など、酸化物薄膜を作製するのに用いられる方法であ
れば、その作製方法は限定されない。
膜２４の膜厚は３００オングストローム以下で５０オン
グストローム以上が好ましい。ＩＴＯの膜厚は５００オ
ングストロームから２０００オングストロームの範囲と
する。金属酸化物薄膜の作製は、電子ビーム蒸着、直流
スパッタ法、ＲＦマグネトロンスパッタ法、ＩＣＢ蒸着
法など、酸化物薄膜を作製するのに用いられる方法であ
れば、その作製方法は限定されない。
【００３５】本発明に用いることができる有機化合物
は、図１に示されたものだけではなく、従来公知の材料
すべてが適用される。たとえば、正孔輸送層材料として
は、芳香族３級アミン（ＵＳＰ Ｎｏ．４，１７５，９
６０，ＵＳＰ Ｎｏ．４，５３９，５０７、Ｐｈｉｌ．
Ｍａｇ．Ｂ，５３，１９３（１９８６））、フタロシア
ニン誘導体やピラゾリン誘導体が挙げられ、特に芳香族
３級アミンは最も有用な化合物である。発光層用材料と
しては、金属キレート化オキシノイド化合物（特開昭５
９−１９４３９３）、オキサジアゾール誘導体、ブタジ
エン誘導体、ペリレン誘導体、スチリルベンゼン誘導体
（特開平２−２４７２７７）、ペリノン誘導体等が挙げ
られる。電子輸送層材料としては、オキサジアゾール化
合物（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５５，１４８９
（１９８９））、ブタジエン誘導体、ペリレン誘導体な
どが挙げられ、また、金属キレート化オキシノイド化合
物（特開昭５９−１９４３９３）も使用できる。
は、図１に示されたものだけではなく、従来公知の材料
すべてが適用される。たとえば、正孔輸送層材料として
は、芳香族３級アミン（ＵＳＰ Ｎｏ．４，１７５，９
６０，ＵＳＰ Ｎｏ．４，５３９，５０７、Ｐｈｉｌ．
Ｍａｇ．Ｂ，５３，１９３（１９８６））、フタロシア
ニン誘導体やピラゾリン誘導体が挙げられ、特に芳香族
３級アミンは最も有用な化合物である。発光層用材料と
しては、金属キレート化オキシノイド化合物（特開昭５
９−１９４３９３）、オキサジアゾール誘導体、ブタジ
エン誘導体、ペリレン誘導体、スチリルベンゼン誘導体
（特開平２−２４７２７７）、ペリノン誘導体等が挙げ
られる。電子輸送層材料としては、オキサジアゾール化
合物（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５５，１４８９
（１９８９））、ブタジエン誘導体、ペリレン誘導体な
どが挙げられ、また、金属キレート化オキシノイド化合
物（特開昭５９−１９４３９３）も使用できる。
【００３６】陰極材料は、仕事関数の小さい銀、錫、マ
グネシウム、アルミニウム、カルシウム、あるいはこれ
らの合金が用いられる。また、アルミニウムやゲルマニ
ウムをドープした酸化亜鉛も透明な陰極として利用でき
る。陽極と陰極の少なくとも一方は素子の発光波長域で
十分に透明であることが望ましい。
グネシウム、アルミニウム、カルシウム、あるいはこれ
らの合金が用いられる。また、アルミニウムやゲルマニ
ウムをドープした酸化亜鉛も透明な陰極として利用でき
る。陽極と陰極の少なくとも一方は素子の発光波長域で
十分に透明であることが望ましい。
【００３７】本発明に係る有機薄膜発光素子は、図１に
示されるように、以上の各層をガラス基板やシリコンな
どの半導体基板上に順次積層することで素子として構成
される。これらは、素子の安定性、特に大気中の水分に
対する保護のために、シリコンオイル等と一緒にガラス
セルに封入するようにしてもよい。
示されるように、以上の各層をガラス基板やシリコンな
どの半導体基板上に順次積層することで素子として構成
される。これらは、素子の安定性、特に大気中の水分に
対する保護のために、シリコンオイル等と一緒にガラス
セルに封入するようにしてもよい。
【００３８】尚、本発明に係る有機薄膜発光素子は、図
１に示される構造に限られるものではなく、必要により
図６，７，８，９に示されるような構造とすることもで
きる。
１に示される構造に限られるものではなく、必要により
図６，７，８，９に示されるような構造とすることもで
きる。
【００３９】以下、本発明に係る有機薄膜発光素子の具
体例を実施例によりさらに詳細に説明する。
体例を実施例によりさらに詳細に説明する。
【００４０】
【実施例】 実施例１．本実施例では、金属酸化物薄膜の作製方法と
その特性について示す。
その特性について示す。
【００４１】表１に示された各材料を使用してガラス基
板上に高周波マグネトロンスパッタ法により金属酸化物
薄膜を形成した。この金属酸化物薄膜の形成条件及び特
性が表２に示される。
板上に高周波マグネトロンスパッタ法により金属酸化物
薄膜を形成した。この金属酸化物薄膜の形成条件及び特
性が表２に示される。
【００４２】
【表２】 基板温度は１５０℃で、スパッタガス圧は２×１０-3Ｔ
ｏｒｒ（０．２７Ｐａ）とした。酸化モリブデン薄膜と
酸化ルテニウム薄膜が高い導電性を示し、酸化バナジウ
ム薄膜は半導体的であった。これらの金属酸化物薄膜は
着色しており、表２に示されるように可視域での光の透
過性が低いので、上述の通りＩＴＯとともに２層構造と
するのが好ましい。表２には、各金属酸化物薄膜の典型
的な組成も参考として示される。この組成は、スパッタ
成膜の条件（ガスの圧力、ガスの種類）によって若干変
動する。
ｏｒｒ（０．２７Ｐａ）とした。酸化モリブデン薄膜と
酸化ルテニウム薄膜が高い導電性を示し、酸化バナジウ
ム薄膜は半導体的であった。これらの金属酸化物薄膜は
着色しており、表２に示されるように可視域での光の透
過性が低いので、上述の通りＩＴＯとともに２層構造と
するのが好ましい。表２には、各金属酸化物薄膜の典型
的な組成も参考として示される。この組成は、スパッタ
成膜の条件（ガスの圧力、ガスの種類）によって若干変
動する。
【００４３】表３には、ＩＴＯと前述の金属酸化物薄膜
とを積層した、図２に示されるような２層構造電極の導
電性と光透過率が示される。金属酸化物薄膜の膜厚は透
明性を高めるために、３００オングストローム以下にし
た。また、ＩＴＯの膜厚は１２００オングストロームと
した。
とを積層した、図２に示されるような２層構造電極の導
電性と光透過率が示される。金属酸化物薄膜の膜厚は透
明性を高めるために、３００オングストローム以下にし
た。また、ＩＴＯの膜厚は１２００オングストロームと
した。
【００４４】本実施例の場合、電極を２層構造とするこ
とで、その表面抵抗は約２５Ω／□に設定することがで
きた。また、光透過率は、表２に示された各金属酸化物
薄膜の値よりも向上させることができた。
とで、その表面抵抗は約２５Ω／□に設定することがで
きた。また、光透過率は、表２に示された各金属酸化物
薄膜の値よりも向上させることができた。
【００４５】
【表３】 実施例２．本実施例では、図１に示される構造の有機薄
膜発光素子を製作し、その特性を評価した。
膜発光素子を製作し、その特性を評価した。
【００４６】ガラス基板上に実施例１の方法により約１
５００オングストロームの酸化バナジウム薄膜からなる
陽極を形成した。その陽極上に、真空蒸着法により、真
空度約２×１０-7Ｔｏｒｒ（２．７×１０-5Ｐａ）、蒸
着速度約３０オングストローム／分の条件でＴＰＤを約
５００オングストローム形成し、正孔輸送層とした。発
光層としてはアルミキノリノール錯体を用いた。陰極と
しては、真空度１×１０-6Ｔｏｒｒ（１．３×１０-4Ｐ
ａ）、蒸着速度約１５０オングストローム／分でＭｇと
Ａｇの合金（Ｍｇ：Ａｇ＝１０：１）を約１８００オン
グストローム形成した。素子１個のサイズは３ｍｍ×３
ｍｍであり、２５ｍｍ×３５ｍｍの基板上に１５個作製
した。
５００オングストロームの酸化バナジウム薄膜からなる
陽極を形成した。その陽極上に、真空蒸着法により、真
空度約２×１０-7Ｔｏｒｒ（２．７×１０-5Ｐａ）、蒸
着速度約３０オングストローム／分の条件でＴＰＤを約
５００オングストローム形成し、正孔輸送層とした。発
光層としてはアルミキノリノール錯体を用いた。陰極と
しては、真空度１×１０-6Ｔｏｒｒ（１．３×１０-4Ｐ
ａ）、蒸着速度約１５０オングストローム／分でＭｇと
Ａｇの合金（Ｍｇ：Ａｇ＝１０：１）を約１８００オン
グストローム形成した。素子１個のサイズは３ｍｍ×３
ｍｍであり、２５ｍｍ×３５ｍｍの基板上に１５個作製
した。
【００４７】以上のように作製した有機薄膜発光素子の
陽極側に正、陰極側に負の直流電圧を印加し、ガラス基
板側からの発光を観察したところ、印加電圧３Ｖで１ｃ
ｄ／ｍ2 で緑色の発光を開始し、緑色発光が長時間に亘
って観察された。従って、１ｃｄ／ｍ2 の輝度が得られ
る印加電圧を発光開始電圧とすれば、本実施例の素子の
発光開始電圧は３Ｖであった。更に、５Ｖ印加では２０
ｃｄ／ｍ2 の輝度を示した。最高輝度は印加電圧１２Ｖ
で３００ｃｄ／ｍ2 であった。
陽極側に正、陰極側に負の直流電圧を印加し、ガラス基
板側からの発光を観察したところ、印加電圧３Ｖで１ｃ
ｄ／ｍ2 で緑色の発光を開始し、緑色発光が長時間に亘
って観察された。従って、１ｃｄ／ｍ2 の輝度が得られ
る印加電圧を発光開始電圧とすれば、本実施例の素子の
発光開始電圧は３Ｖであった。更に、５Ｖ印加では２０
ｃｄ／ｍ2 の輝度を示した。最高輝度は印加電圧１２Ｖ
で３００ｃｄ／ｍ2 であった。
【００４８】比較例１．ガラス基板上に高周波マグネト
ロンスパッタ法でＩＴＯを１５００オングストローム成
膜して陽極とし、その上に、実施例２と同様の方法で、
正孔輸送層、発光層、ＭｇＡｇ電極を真空蒸着し、比較
用の素子を作製した。この比較用の素子では、１ｃｄ／
ｍ2 の輝度が得られる印加電圧すなわち発光開始電圧は
５Ｖであった。最高輝度は印加電圧１５Ｖで５０００ｃ
ｄ／ｍ2 の性能が得られた。駆動電流１０ｍＡ／ｃｍ2
での発光効率は約０．８５ｌｍ／Ｗであった。この素子
の発光寿命を１０ｍＡ／ｃｍ2 の駆動条件で測定したと
ころ、図４に示されるように、半減寿命（初期輝度の半
分に低下するまでの時間）が８０時間であった。
ロンスパッタ法でＩＴＯを１５００オングストローム成
膜して陽極とし、その上に、実施例２と同様の方法で、
正孔輸送層、発光層、ＭｇＡｇ電極を真空蒸着し、比較
用の素子を作製した。この比較用の素子では、１ｃｄ／
ｍ2 の輝度が得られる印加電圧すなわち発光開始電圧は
５Ｖであった。最高輝度は印加電圧１５Ｖで５０００ｃ
ｄ／ｍ2 の性能が得られた。駆動電流１０ｍＡ／ｃｍ2
での発光効率は約０．８５ｌｍ／Ｗであった。この素子
の発光寿命を１０ｍＡ／ｃｍ2 の駆動条件で測定したと
ころ、図４に示されるように、半減寿命（初期輝度の半
分に低下するまでの時間）が８０時間であった。
【００４９】比較例２．ガラス基板上に高周波マグネト
ロンスパッタ法でＩｎ2 Ｏ3 を１５００オングストロー
ム成膜し、その上に、実施例２と同様の方法で、正孔輸
送層、発光層、ＭｇＡｇ電極を真空蒸着し、比較用の素
子を作製した。この比較用の素子では、１ｃｄ／ｍ2 の
輝度が得られる発光開始電圧は７Ｖで、最高輝度は印加
電圧１５Ｖで４０００ｃｄ／ｍ2 であった。
ロンスパッタ法でＩｎ2 Ｏ3 を１５００オングストロー
ム成膜し、その上に、実施例２と同様の方法で、正孔輸
送層、発光層、ＭｇＡｇ電極を真空蒸着し、比較用の素
子を作製した。この比較用の素子では、１ｃｄ／ｍ2 の
輝度が得られる発光開始電圧は７Ｖで、最高輝度は印加
電圧１５Ｖで４０００ｃｄ／ｍ2 であった。
【００５０】比較例３．ガラス基板上に高周波マグネト
ロンスパッタ法でＳｎＯ2 を１５００オングストローム
成膜し、その上に、実施例２と同様の方法で、正孔輸送
層、発光層、ＭｇＡｇ電極を真空蒸着した。この素子で
は、１ｃｄ／ｍ2 の輝度が得られる発光開始電圧は７Ｖ
で、最高輝度は印加電圧１５Ｖで４０００ｃｄ／ｍ2 で
あった。
ロンスパッタ法でＳｎＯ2 を１５００オングストローム
成膜し、その上に、実施例２と同様の方法で、正孔輸送
層、発光層、ＭｇＡｇ電極を真空蒸着した。この素子で
は、１ｃｄ／ｍ2 の輝度が得られる発光開始電圧は７Ｖ
で、最高輝度は印加電圧１５Ｖで４０００ｃｄ／ｍ2 で
あった。
【００５１】このように、実施例２と比較例１、２、３
とを比較すると、本発明による素子では発光開始電圧が
低減していることが分った。しかし、酸化バナジウム電
極の光透過性が低いため、十分な輝度が達成できなかっ
た。そこで、ＩＴＯ薄膜との積層によって光透過性を改
善した２層電極での実施例を次に示す。
とを比較すると、本発明による素子では発光開始電圧が
低減していることが分った。しかし、酸化バナジウム電
極の光透過性が低いため、十分な輝度が達成できなかっ
た。そこで、ＩＴＯ薄膜との積層によって光透過性を改
善した２層電極での実施例を次に示す。
【００５２】実施例３．高周波マグネトロンスパッタ法
で、ガラス基板上に１２００オングストロームのＩＴＯ
と３００オングストロームの酸化バナジウム薄膜を連続
して成膜して２層構造電極（透明電極）を形成した。こ
の電極上に実施例２と同様に、正孔輸送層を約５００オ
ングストローム、発光層を約５００オングストローム、
ＭｇＡｇ電極を約１８００オングストローム成膜して有
機薄膜発光素子を作製した。この有機薄膜発光素子の発
光開始電圧と発光効率を測定した結果が表４に示され
る。
で、ガラス基板上に１２００オングストロームのＩＴＯ
と３００オングストロームの酸化バナジウム薄膜を連続
して成膜して２層構造電極（透明電極）を形成した。こ
の電極上に実施例２と同様に、正孔輸送層を約５００オ
ングストローム、発光層を約５００オングストローム、
ＭｇＡｇ電極を約１８００オングストローム成膜して有
機薄膜発光素子を作製した。この有機薄膜発光素子の発
光開始電圧と発光効率を測定した結果が表４に示され
る。
【００５３】
【表４】 表４に示されるように、この素子の発光開始電圧は３Ｖ
であった。また、図５に示されるように、わずか５Ｖの
印加で１００ｃｄ／ｍ2 もの輝度が観察された。最高輝
度は１２Ｖで５０００ｃｄ／ｍ2 であり、発光効率は
０．９２ｌｍ／Ｗ（駆動電流１０ｍＡ／ｃｍ2 ）であっ
た。この素子の半減寿命を１０ｍＡ／ｃｍ2 の駆動条件
で測定したところ、図４に示されるように、１００時間
以上であった。ＩＴＯのみを用いた素子にくらべ、より
低い印加電圧で強い発光が可能であり発光効率も改善さ
れ、かつ、発光寿命も長くなることが分った。
であった。また、図５に示されるように、わずか５Ｖの
印加で１００ｃｄ／ｍ2 もの輝度が観察された。最高輝
度は１２Ｖで５０００ｃｄ／ｍ2 であり、発光効率は
０．９２ｌｍ／Ｗ（駆動電流１０ｍＡ／ｃｍ2 ）であっ
た。この素子の半減寿命を１０ｍＡ／ｃｍ2 の駆動条件
で測定したところ、図４に示されるように、１００時間
以上であった。ＩＴＯのみを用いた素子にくらべ、より
低い印加電圧で強い発光が可能であり発光効率も改善さ
れ、かつ、発光寿命も長くなることが分った。
【００５４】更に、酸化バナジウム薄膜を１００オング
ストロームとした２層構造電極の場合、発光開始電圧は
３Ｖで上述の例と変わらなかったが、最高輝度が高くな
り、発光効率は１．０ｌｍ／Ｗとなった。
ストロームとした２層構造電極の場合、発光開始電圧は
３Ｖで上述の例と変わらなかったが、最高輝度が高くな
り、発光効率は１．０ｌｍ／Ｗとなった。
【００５５】実施例４．ガラス基板上に１４００オング
ストロームのＩＴＯと３００オングストロームの酸化ル
テニウム薄膜を成膜した２層構造電極の上に、実施例２
と同様に、正孔輸送層を約５００オングストローム、発
光層を約５００オングストローム、ＭｇＡｇ電極を約１
８００オングストローム成膜して有機薄膜発光素子を作
製し、実施例３と同様に発光開始電圧と発光効率を測定
した。
ストロームのＩＴＯと３００オングストロームの酸化ル
テニウム薄膜を成膜した２層構造電極の上に、実施例２
と同様に、正孔輸送層を約５００オングストローム、発
光層を約５００オングストローム、ＭｇＡｇ電極を約１
８００オングストローム成膜して有機薄膜発光素子を作
製し、実施例３と同様に発光開始電圧と発光効率を測定
した。
【００５６】表４に示されるように、この素子の発光開
始電圧は３．５Ｖであった。また、５Ｖ印加で３０ｃｄ
／ｍ2 の輝度が観察された（図４）。発光効率は０．８
５ｌｍ／Ｗであった。
始電圧は３．５Ｖであった。また、５Ｖ印加で３０ｃｄ
／ｍ2 の輝度が観察された（図４）。発光効率は０．８
５ｌｍ／Ｗであった。
【００５７】本実施例においては、酸化ルテニウムの膜
厚をさらに薄くすれば電極の光透過率が改善され、効率
がさらに向上する。
厚をさらに薄くすれば電極の光透過率が改善され、効率
がさらに向上する。
【００５８】実施例５．ガラス基板上に、１２００オン
グストロームのＩＴＯと３００オングストロームの酸化
モリブデンを連続成膜した２層構造電極を形成し、その
上に実施例２と同様に、正孔輸送層、発光層、電極を真
空蒸着して有機薄膜発光素子を作製し、実施例３と同様
に発光開始電圧と発光効率を測定した。
グストロームのＩＴＯと３００オングストロームの酸化
モリブデンを連続成膜した２層構造電極を形成し、その
上に実施例２と同様に、正孔輸送層、発光層、電極を真
空蒸着して有機薄膜発光素子を作製し、実施例３と同様
に発光開始電圧と発光効率を測定した。
【００５９】表４に示されるように、この素子の発光開
始電圧は３．５Ｖで、印加電圧５Ｖでは３０ｃｄ／ｍ2
の輝度を示した（図５）。
始電圧は３．５Ｖで、印加電圧５Ｖでは３０ｃｄ／ｍ2
の輝度を示した（図５）。
【００６０】実施例６．次に、上部電極（陰極）から、
光を取り出す場合の素子についての実施例を示す。
光を取り出す場合の素子についての実施例を示す。
【００６１】図３には、本実施例に係る有機薄膜発光素
子の断面図が示される。図３において、ガラス基板１０
上に、酸化ルテニウムを１５００オングストローム成膜
して陽極１２とし、その上に、実施例２と同様に、正孔
輸送層１８と発光層１６とを真空蒸着した。最後に、陰
極１４として、仕事関数の小さなアルミ添加酸化亜鉛を
高周波スパッタ法で約１２００オングストローム成膜し
た。
子の断面図が示される。図３において、ガラス基板１０
上に、酸化ルテニウムを１５００オングストローム成膜
して陽極１２とし、その上に、実施例２と同様に、正孔
輸送層１８と発光層１６とを真空蒸着した。最後に、陰
極１４として、仕事関数の小さなアルミ添加酸化亜鉛を
高周波スパッタ法で約１２００オングストローム成膜し
た。
【００６２】この素子で、酸化ルテニウム電極（陽極１
２）に正の電圧を印加し、酸化亜鉛電極（陰極１４）を
通して光を観測したところ、透明な陰極１４側から明瞭
な発光が観察された。この場合、酸化ルテニウム電極が
黒色であるためＭｇＡｇ金属電極の場合よりもコントラ
スト比の高い発光が得られた。
２）に正の電圧を印加し、酸化亜鉛電極（陰極１４）を
通して光を観測したところ、透明な陰極１４側から明瞭
な発光が観察された。この場合、酸化ルテニウム電極が
黒色であるためＭｇＡｇ金属電極の場合よりもコントラ
スト比の高い発光が得られた。
【００６３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
金属酸化物薄膜電極と正孔輸送層あるいは発光層とのエ
ネルギー障壁を小さくでき、正孔輸送層や発光層への正
孔注入が容易となり、低い印加電圧で素子駆動が可能と
なる。その結果、発光効率が改善され、素子の長寿命化
が達成できる。よって、本発明の発光素子は各種ディス
プレイ分野への応用が可能となる。
金属酸化物薄膜電極と正孔輸送層あるいは発光層とのエ
ネルギー障壁を小さくでき、正孔輸送層や発光層への正
孔注入が容易となり、低い印加電圧で素子駆動が可能と
なる。その結果、発光効率が改善され、素子の長寿命化
が達成できる。よって、本発明の発光素子は各種ディス
プレイ分野への応用が可能となる。
【図１】 本発明に係る有機薄膜発光素子の断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明に係る２層構造電極の断面図である。
【図３】 本発明に係る陰極から光を取り出す有機薄膜
発光素子の断面図である。
発光素子の断面図である。
【図４】 各種素子の駆動時間に対する発光輝度の変化
を示す図である。
を示す図である。
【図５】 各種素子の印加電圧と発光輝度との関係を示
す図である。
す図である。
【図６】 単層構造の有機薄膜発光素子の断面図であ
る。
る。
【図７】 正孔輸送層を有する２層構造有機薄膜発光素
子の断面図である。
子の断面図である。
【図８】 電子輸送層を有する２層構造有機薄膜発光素
子の断面図である。
子の断面図である。
【図９】 ３層構造の有機薄膜発光素子の断面図であ
る。
る。
１０ 基板、１２ 陽極、１４ 陰極、１６ 発光層、
１８ 正孔輸送層、２０ 電子輸送層、２２ ＩＴＯ
層、２４ 金属酸化物薄膜。
１８ 正孔輸送層、２０ 電子輸送層、２２ ＩＴＯ
層、２４ 金属酸化物薄膜。
Claims (7)
- 【請求項１】 陽極および陰極と、これらに挟まれた１
層または複数層の有機化合物層より構成される有機薄膜
発光素子において、前記陽極が、仕事関数が酸化錫イン
ジウム（ＩＴＯ）よりも大きな金属酸化物薄膜からなる
ことを特徴とする有機薄膜発光素子。 - 【請求項２】 請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、前記陽極を、膜厚５００オングストロームから２０
００オングストロームの範囲のＩＴＯ薄膜と５０オング
ストロームから３００オングストロームの範囲の金属酸
化物薄膜とにより２層構造としたことを特徴とする有機
薄膜発光素子。 - 【請求項３】 請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、前記有機化合物層が発光層であることを特徴とする
有機薄膜発光素子。 - 【請求項４】 請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、前記有機化合物層が正孔輸送層と発光層とからなる
ことを特徴とする有機薄膜発光素子。 - 【請求項５】 請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、前記有機化合物層が発光層と電子輸送層とからなる
ことを特徴とする有機薄膜発光素子。 - 【請求項６】 請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、前記有機化合物層が正孔輸送層と発光層と電子輸送
層とからなることを特徴とする有機薄膜発光素子。 - 【請求項７】 請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、前記金属酸化物は、酸化バナジウム、酸化ルテニウ
ム、酸化モリブデンなどの仕事関数が４．６ｅＶよりも
大きな酸化物であることを特徴とする有機薄膜発光素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7217130A JP2824411B2 (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 有機薄膜発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7217130A JP2824411B2 (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 有機薄膜発光素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963771A true JPH0963771A (ja) | 1997-03-07 |
| JP2824411B2 JP2824411B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=16699330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7217130A Expired - Lifetime JP2824411B2 (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 有機薄膜発光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2824411B2 (ja) |
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