JPH0961686A - プラスチックレンズ - Google Patents
プラスチックレンズInfo
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- JPH0961686A JPH0961686A JP7237782A JP23778295A JPH0961686A JP H0961686 A JPH0961686 A JP H0961686A JP 7237782 A JP7237782 A JP 7237782A JP 23778295 A JP23778295 A JP 23778295A JP H0961686 A JPH0961686 A JP H0961686A
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- plastic lens
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レンズ室を設けることなく、レンズ保持およ
びレンズ駆動が容易なプラスチックレンズ。 【解決手段】 レンズ鏡筒に組み込まれるようになった
プラスチックレンズにおいて、入射面および射出面の周
縁には、レンズ鏡筒の内周部と直接係合するための係合
部が設けられ、係合部は、レンズ鏡筒とプラスチックレ
ンズとの相対回転力をプラスチックレンズの光軸方向駆
動力に変換するように形成されている。
びレンズ駆動が容易なプラスチックレンズ。 【解決手段】 レンズ鏡筒に組み込まれるようになった
プラスチックレンズにおいて、入射面および射出面の周
縁には、レンズ鏡筒の内周部と直接係合するための係合
部が設けられ、係合部は、レンズ鏡筒とプラスチックレ
ンズとの相対回転力をプラスチックレンズの光軸方向駆
動力に変換するように形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプラスチックレンズ
に関し、特にレンズ保持およびレンズ駆動が容易なプラ
スチックレンズに関する。
に関し、特にレンズ保持およびレンズ駆動が容易なプラ
スチックレンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプラスチックレンズは、レンズ室
に固定され、このレンズ室を介してレンズ鏡筒に保持さ
れている。したがって、プラスチックレンズを光軸に沿
って駆動する場合、レンズ鏡筒を回転させることによ
り、レンズ鏡筒に設けられたヘリコイド（らせん状の凹
凸部）の案内によってレンズ室を光軸方向に移動させ
る。そして、このレンズ室の光軸方向移動に伴って、プ
ラスチックレンズを光軸方向に移動させるのが通常であ
る。
に固定され、このレンズ室を介してレンズ鏡筒に保持さ
れている。したがって、プラスチックレンズを光軸に沿
って駆動する場合、レンズ鏡筒を回転させることによ
り、レンズ鏡筒に設けられたヘリコイド（らせん状の凹
凸部）の案内によってレンズ室を光軸方向に移動させ
る。そして、このレンズ室の光軸方向移動に伴って、プ
ラスチックレンズを光軸方向に移動させるのが通常であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
プラスチックレンズは、レンズ室に固定された状態でレ
ンズ鏡筒に保持されている。このため、レンズ鏡筒全体
の所要径が大きくなり、重量が増大する傾向がある。そ
の結果、製造コストが高くなるとともに、レンズ駆動に
おける仕事量が大きくて駆動機構に負荷がかかるという
不都合があった。
プラスチックレンズは、レンズ室に固定された状態でレ
ンズ鏡筒に保持されている。このため、レンズ鏡筒全体
の所要径が大きくなり、重量が増大する傾向がある。そ
の結果、製造コストが高くなるとともに、レンズ駆動に
おける仕事量が大きくて駆動機構に負荷がかかるという
不都合があった。
【０００４】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、レンズ室を設けることなく、レンズ保持およ
びレンズ駆動が容易なプラスチックレンズを提供するこ
とを目的とする。
のであり、レンズ室を設けることなく、レンズ保持およ
びレンズ駆動が容易なプラスチックレンズを提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、レンズ鏡筒に組み込まれるよう
になったプラスチックレンズにおいて、入射面および射
出面の周縁には、前記レンズ鏡筒の内周部と直接係合す
るための係合部が設けられ、前記係合部は、前記レンズ
鏡筒と前記プラスチックレンズとの相対回転力を前記プ
ラスチックレンズの光軸方向駆動力に変換するように形
成されていることを特徴とするプラスチックレンズを提
供する。
に、本発明においては、レンズ鏡筒に組み込まれるよう
になったプラスチックレンズにおいて、入射面および射
出面の周縁には、前記レンズ鏡筒の内周部と直接係合す
るための係合部が設けられ、前記係合部は、前記レンズ
鏡筒と前記プラスチックレンズとの相対回転力を前記プ
ラスチックレンズの光軸方向駆動力に変換するように形
成されていることを特徴とするプラスチックレンズを提
供する。
【０００６】本発明の好ましい態様によれば、前記係合
部は、前記レンズ鏡筒の内周部に形成されたらせん状の
凹凸部と噛合するように形成された凹凸部を有する。ま
た、前記係合部は、前記入射面と前記射出面とで規定さ
れるレンズ光軸に関してほぼ対称に形成されていること
が好ましい。
部は、前記レンズ鏡筒の内周部に形成されたらせん状の
凹凸部と噛合するように形成された凹凸部を有する。ま
た、前記係合部は、前記入射面と前記射出面とで規定さ
れるレンズ光軸に関してほぼ対称に形成されていること
が好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】たとえば、特開昭６１−２１５５
１０号公報には、入射面および射出面の周縁に外周部を
有するプラスチックレンズが開示されている。この公報
では、プラスチックレンズをその外周部を介してレンズ
鏡筒に固定することによって、間隔環やレンズ室を省略
する構成が提案されている。
１０号公報には、入射面および射出面の周縁に外周部を
有するプラスチックレンズが開示されている。この公報
では、プラスチックレンズをその外周部を介してレンズ
鏡筒に固定することによって、間隔環やレンズ室を省略
する構成が提案されている。
【０００８】この場合、レンズ鏡筒に対してプラスチッ
クレンズが固定であってレンズ駆動の必要がなければ、
確かにレンズ室を省略することができ、有利である。し
かしながら、レンズ鏡筒に対してプラスチックレンズを
光軸方向に駆動しなければならないような場合には、レ
ンズ室を省略することができない。すなわち、プラスチ
ックレンズをレンズ室に固定し、このレンズ室をプラス
チックレンズと一体的にレンズ鏡筒に対して光軸方向に
駆動する必要がある。
クレンズが固定であってレンズ駆動の必要がなければ、
確かにレンズ室を省略することができ、有利である。し
かしながら、レンズ鏡筒に対してプラスチックレンズを
光軸方向に駆動しなければならないような場合には、レ
ンズ室を省略することができない。すなわち、プラスチ
ックレンズをレンズ室に固定し、このレンズ室をプラス
チックレンズと一体的にレンズ鏡筒に対して光軸方向に
駆動する必要がある。
【０００９】上述したように、本発明のプラスチックレ
ンズでは、入射面および射出面の周縁にはレンズ鏡筒の
内周部と直接係合するための係合部が設けられている。
そして、この係合部がレンズ鏡筒とプラスチックレンズ
との相対回転力をプラスチックレンズの光軸方向駆動力
に変換するように形成されている。したがって、レンズ
室を設けることなくプラスチックレンズをレンズ鏡筒に
よって直接保持するとともに、レンズ鏡筒とプラスチッ
クレンズとを相対的に回転させることによってプラスチ
ックレンズを光軸方向に駆動することが可能になる。
ンズでは、入射面および射出面の周縁にはレンズ鏡筒の
内周部と直接係合するための係合部が設けられている。
そして、この係合部がレンズ鏡筒とプラスチックレンズ
との相対回転力をプラスチックレンズの光軸方向駆動力
に変換するように形成されている。したがって、レンズ
室を設けることなくプラスチックレンズをレンズ鏡筒に
よって直接保持するとともに、レンズ鏡筒とプラスチッ
クレンズとを相対的に回転させることによってプラスチ
ックレンズを光軸方向に駆動することが可能になる。
【００１０】このように、本発明の構成では、レンズ室
が不要となるので、レンズ保持が容易になるばかりでな
く、レンズ鏡筒全体の径およびその重量が小さくなる。
その結果、レンズ駆動における仕事量（＝重量×駆動
量）が小さくなり、駆動機構に過大な負荷をかけること
なく、レンズ駆動を容易に行うことが可能となる。
が不要となるので、レンズ保持が容易になるばかりでな
く、レンズ鏡筒全体の径およびその重量が小さくなる。
その結果、レンズ駆動における仕事量（＝重量×駆動
量）が小さくなり、駆動機構に過大な負荷をかけること
なく、レンズ駆動を容易に行うことが可能となる。
【００１１】なお、係合部の具体的な構成として、レン
ズ鏡筒の内周部に形成された外ヘリコイド（らせん状の
凹凸部）と係合部に形成された内ヘリコイド（らせん状
の凹凸部に噛合するように形成された凹凸部）とを噛合
させ、レンズ鏡筒とプラスチックレンズとの相対回転に
したがってプラスチックレンズを光軸方向に駆動する構
成が考えられる。この場合、プラスチックレンズの係合
部をレンズ光軸に関してほぼ対称に形成すれば、さらに
構成を簡素化することができる。
ズ鏡筒の内周部に形成された外ヘリコイド（らせん状の
凹凸部）と係合部に形成された内ヘリコイド（らせん状
の凹凸部に噛合するように形成された凹凸部）とを噛合
させ、レンズ鏡筒とプラスチックレンズとの相対回転に
したがってプラスチックレンズを光軸方向に駆動する構
成が考えられる。この場合、プラスチックレンズの係合
部をレンズ光軸に関してほぼ対称に形成すれば、さらに
構成を簡素化することができる。
【００１２】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説
明する。図１は、本発明の第１実施例にかかるプラスチ
ックレンズの構成を概略的に示す断面図である。また、
図２は、図１のプラスチックレンズをレンズ鏡筒に組み
込んだ状態を示す断面図である。
明する。図１は、本発明の第１実施例にかかるプラスチ
ックレンズの構成を概略的に示す断面図である。また、
図２は、図１のプラスチックレンズをレンズ鏡筒に組み
込んだ状態を示す断面図である。
【００１３】図１のプラスチックレンズＬでは、光束が
入射する入射面１および光束が射出する射出面２の周縁
に、係合部３が形成されている。一方、図２では、図１
のプラスチックレンズＬのレンズ光軸ａｘが光学系の光
軸ＡＸと一致するように、プラスチックレンズＬがレン
ズ鏡筒に組み込まれている。この状態では、プラスチッ
クレンズＬの係合部３がレンズ保持部４の内周部と直接
係合することによって、プラスチックレンズＬがレンズ
鏡筒に保持されている。
入射する入射面１および光束が射出する射出面２の周縁
に、係合部３が形成されている。一方、図２では、図１
のプラスチックレンズＬのレンズ光軸ａｘが光学系の光
軸ＡＸと一致するように、プラスチックレンズＬがレン
ズ鏡筒に組み込まれている。この状態では、プラスチッ
クレンズＬの係合部３がレンズ保持部４の内周部と直接
係合することによって、プラスチックレンズＬがレンズ
鏡筒に保持されている。
【００１４】なお、図２に示すように、レンズ鏡筒４
（図中斜線部で示す）の内周部には、光軸ＡＸを中心と
するらせん状の凹凸部５が形成されている。そして、プ
ラスチックレンズＬの係合部３には、レンズ鏡筒４のら
せん状の凹凸部５と噛合するようになった凹凸部３ａが
形成されている。また、駆動モータ７により駆動される
レバー６の光軸ＡＸを中心とした回転作用によって、プ
ラスチックレンズＬが光軸ＡＸを中心として回転駆動さ
れるように構成されている。
（図中斜線部で示す）の内周部には、光軸ＡＸを中心と
するらせん状の凹凸部５が形成されている。そして、プ
ラスチックレンズＬの係合部３には、レンズ鏡筒４のら
せん状の凹凸部５と噛合するようになった凹凸部３ａが
形成されている。また、駆動モータ７により駆動される
レバー６の光軸ＡＸを中心とした回転作用によって、プ
ラスチックレンズＬが光軸ＡＸを中心として回転駆動さ
れるように構成されている。
【００１５】こうして、駆動モータ７によるレバー６の
回転に伴ってプラスチックレンズＬが光軸ＡＸを中心と
してレンズ鏡筒４に対して回転する。その結果、レンズ
鏡筒４の内周部に形成されたらせん状の凹凸部５とプラ
スチックレンズＬの係合部３に形成された凹凸部３ａと
の噛合により、プラスチックレンズＬは光軸ＡＸを中心
として回転しながら、らせん状の凹凸部５に案内されて
光軸ＡＸに沿って移動する。
回転に伴ってプラスチックレンズＬが光軸ＡＸを中心と
してレンズ鏡筒４に対して回転する。その結果、レンズ
鏡筒４の内周部に形成されたらせん状の凹凸部５とプラ
スチックレンズＬの係合部３に形成された凹凸部３ａと
の噛合により、プラスチックレンズＬは光軸ＡＸを中心
として回転しながら、らせん状の凹凸部５に案内されて
光軸ＡＸに沿って移動する。
【００１６】図３は、本発明の第２実施例にかかるプラ
スチックレンズの構成を概略的に示す図であって、
（ａ）はプラスチックレンズの正面図であり、（ｂ）は
（ａ）の線Ａ−Ｂ−Ｃに沿った断面図である。図３のプ
ラスチックレンズＬでは、入射面１および射出面２の周
縁に、レンズ有効面の縁部８、一対の係合部９、および
レバー１０が形成されている。なお、一対の係合部９
は、レンズ光軸ａｘに関して対称な位置に形成されてい
る。
スチックレンズの構成を概略的に示す図であって、
（ａ）はプラスチックレンズの正面図であり、（ｂ）は
（ａ）の線Ａ−Ｂ−Ｃに沿った断面図である。図３のプ
ラスチックレンズＬでは、入射面１および射出面２の周
縁に、レンズ有効面の縁部８、一対の係合部９、および
レバー１０が形成されている。なお、一対の係合部９
は、レンズ光軸ａｘに関して対称な位置に形成されてい
る。
【００１７】図４は、図３のプラスチックレンズＬをカ
メラの実像式ファインダー光学系に接眼レンズとして組
み込んだ状態を示す図である。また、図５は、図４の実
像式ファインダー光学系の構成を概略的に示す図であ
る。図５の実像式ファインダー光学系は、物体側から順
に、対物レンズ系１１と接眼レンズ１３とから構成され
ている。
メラの実像式ファインダー光学系に接眼レンズとして組
み込んだ状態を示す図である。また、図５は、図４の実
像式ファインダー光学系の構成を概略的に示す図であ
る。図５の実像式ファインダー光学系は、物体側から順
に、対物レンズ系１１と接眼レンズ１３とから構成され
ている。
【００１８】したがって、図５の実像式ファインダー光
学系では、被写体からの光が対物レンズ系１１を介して
結像面１２上に被写体の中間像を形成する。この被写体
の中間像は、図３に示すプラスチックレンズＬからなる
接眼レンズ１３によって肉眼で観察される。このとき、
接眼レンズ１３を図中矢印Ｆ１で示すように光軸ＡＸに
沿って適宜往復移動させることにより、視度調整を行
う。
学系では、被写体からの光が対物レンズ系１１を介して
結像面１２上に被写体の中間像を形成する。この被写体
の中間像は、図３に示すプラスチックレンズＬからなる
接眼レンズ１３によって肉眼で観察される。このとき、
接眼レンズ１３を図中矢印Ｆ１で示すように光軸ＡＸに
沿って適宜往復移動させることにより、視度調整を行
う。
【００１９】図４を参照すると、プラスチックレンズＬ
のレンズ光軸ａｘが実像式ファインダー光学系の光軸Ａ
Ｘと一致するように、プラスチックレンズＬが実像式フ
ァインダー光学系に組み込まれている。実像式ファイン
ダー光学系内において、プラスチックレンズＬは、レン
ズ鏡筒１５によって保持されている。レンズ鏡筒１５の
内周部にはらせん状の凹凸部（不図示）が形成されてお
り、このらせん状の凹凸部に係合部９の凹凸部９ａが噛
合するようになっている。
のレンズ光軸ａｘが実像式ファインダー光学系の光軸Ａ
Ｘと一致するように、プラスチックレンズＬが実像式フ
ァインダー光学系に組み込まれている。実像式ファイン
ダー光学系内において、プラスチックレンズＬは、レン
ズ鏡筒１５によって保持されている。レンズ鏡筒１５の
内周部にはらせん状の凹凸部（不図示）が形成されてお
り、このらせん状の凹凸部に係合部９の凹凸部９ａが噛
合するようになっている。
【００２０】また、レバー１０の先端は、ファインダー
枠１４の開口部から外方に突出している。したがって、
レバー１０を図中矢印Ｆ２で示すように回動させること
によって、プラスチックレンズＬを光軸ＡＸを中心とし
て回転させることができる。その結果、レンズ鏡筒部１
５の内周部に形成されたらせん状の凹凸部とプラスチッ
クレンズＬの係合部９に形成された凹凸部９ａとの噛合
により、プラスチックレンズＬは光軸ＡＸを中心として
回転しながら、らせん状の凹凸部に案内されて光軸ＡＸ
に沿って移動する。
枠１４の開口部から外方に突出している。したがって、
レバー１０を図中矢印Ｆ２で示すように回動させること
によって、プラスチックレンズＬを光軸ＡＸを中心とし
て回転させることができる。その結果、レンズ鏡筒部１
５の内周部に形成されたらせん状の凹凸部とプラスチッ
クレンズＬの係合部９に形成された凹凸部９ａとの噛合
により、プラスチックレンズＬは光軸ＡＸを中心として
回転しながら、らせん状の凹凸部に案内されて光軸ＡＸ
に沿って移動する。
【００２１】なお、上述の各実施例では、レンズ鏡筒に
形成されたらせん状凹凸部とプラスチックレンズの係合
部に形成された凹凸部とを噛合させた例を示している。
しかしながら、プラスチックレンズの係合部の構成は、
上述の各実施例に限定されるものではない。したがっ
て、たとえばプラスチックレンズの係合部にフォロアー
ピンを形成し、レンズ鏡筒内部の直進キーに合わせてカ
ムの回転にしたがってプラスチックレンズを光軸方向に
案内させてもよい。
形成されたらせん状凹凸部とプラスチックレンズの係合
部に形成された凹凸部とを噛合させた例を示している。
しかしながら、プラスチックレンズの係合部の構成は、
上述の各実施例に限定されるものではない。したがっ
て、たとえばプラスチックレンズの係合部にフォロアー
ピンを形成し、レンズ鏡筒内部の直進キーに合わせてカ
ムの回転にしたがってプラスチックレンズを光軸方向に
案内させてもよい。
【００２２】
【効果】以上説明したように、本発明によれば、レンズ
室を設けることなく、レンズ保持およびレンズ駆動が容
易なプラスチックレンズを実現することができる。
室を設けることなく、レンズ保持およびレンズ駆動が容
易なプラスチックレンズを実現することができる。
【図１】本発明の第１実施例にかかるプラスチックレン
ズの構成を概略的に示す断面図である。
ズの構成を概略的に示す断面図である。
【図２】図１のプラスチックレンズをレンズ鏡筒に組み
込んだ状態を示す断面図である。
込んだ状態を示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施例にかかるプラスチックレン
ズの構成を概略的に示す図であって、（ａ）はプラスチ
ックレンズの正面図であり、（ｂ）は（ａ）の線Ａ−Ｂ
−Ｃに沿った断面図である。
ズの構成を概略的に示す図であって、（ａ）はプラスチ
ックレンズの正面図であり、（ｂ）は（ａ）の線Ａ−Ｂ
−Ｃに沿った断面図である。
【図４】図３のプラスチックレンズＬをカメラの実像式
ファインダー光学系に接眼レンズとして組み込んだ状態
を示す図である。
ファインダー光学系に接眼レンズとして組み込んだ状態
を示す図である。
【図５】図４の実像式ファインダー光学系の構成を概略
的に示す図である。
的に示す図である。
１ 入射面 ２ 射出面 ３，９ 係合部 ４，１５ レンズ鏡筒 ５ らせん状凹凸部 ６，１０ レバー ７ 駆動モータ ８ 縁部 １１ 対物レンズ系 １２ 結像面 １３ 接眼レンズ １４ ファインダー枠 Ｌ プラスチックレンズ ＡＸ 光軸 ａｘ レンズ光軸
Claims (3)
- 【請求項１】 レンズ鏡筒に組み込まれるようになった
プラスチックレンズにおいて、 入射面および射出面の周縁には、前記レンズ鏡筒の内周
部と直接係合するための係合部が設けられ、 前記係合部は、前記レンズ鏡筒と前記プラスチックレン
ズとの相対回転力を前記プラスチックレンズの光軸方向
駆動力に変換するように形成されていることを特徴とす
るプラスチックレンズ。 - 【請求項２】 前記係合部は、前記レンズ鏡筒の内周部
に形成されたらせん状の凹凸部と噛合するように形成さ
れた凹凸部を有することを特徴とする請求項１に記載の
プラスチックレンズ。 - 【請求項３】 前記係合部は、前記入射面と前記射出面
とで規定されるレンズ光軸に関してほぼ対称に形成され
ていることを特徴とする請求項１または２に記載のプラ
スチックレンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7237782A JPH0961686A (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | プラスチックレンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7237782A JPH0961686A (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | プラスチックレンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961686A true JPH0961686A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17020359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7237782A Pending JPH0961686A (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | プラスチックレンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961686A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006134910A1 (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Nikon Corporation | 光学素子、光学素子保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2007121512A (ja) * | 2005-10-26 | 2007-05-17 | Enplas Corp | 光学素子および光学素子成形金型 |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1995
- 1995-08-23 JP JP7237782A patent/JPH0961686A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
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| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10241417B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
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| WO2006134910A1 (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Nikon Corporation | 光学素子、光学素子保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
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