JPH0957868A - 光学部品の製造方法 - Google Patents
光学部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH0957868A JPH0957868A JP21699195A JP21699195A JPH0957868A JP H0957868 A JPH0957868 A JP H0957868A JP 21699195 A JP21699195 A JP 21699195A JP 21699195 A JP21699195 A JP 21699195A JP H0957868 A JPH0957868 A JP H0957868A
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- Japan
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- ultraviolet
- pipe
- pattern
- stamper
- transparent
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大面積の光学部品を効率的に製造すること。
【解決手段】 紫外線透過率が７０％以上であるスタン
パが装着された透明パイプの内部に紫外線ランプが設け
られており、紫外線硬化樹脂層が設けられたフィルムを
スタンパのパターンに密着させたまま上記ランプにより
紫外線を照射してパターンを転写することを特徴とす
る。
パが装着された透明パイプの内部に紫外線ランプが設け
られており、紫外線硬化樹脂層が設けられたフィルムを
スタンパのパターンに密着させたまま上記ランプにより
紫外線を照射してパターンを転写することを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は微細パターンを持
つ大面積の精密光学部品を製造するための方法に関す
る。
つ大面積の精密光学部品を製造するための方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】微細パターンを持つ精密光学部品とし
て、マイクロレンズアレイ、回折格子、ＬＣＤの画素に
よるドットの解消のための光学フィルタ等がある。これ
らマイクロレンズアレイ、回折格子、光学フィルタ等
は、一般にリソグラフィ法、電子ビーム描画法、レーザ
ービーム描画法などによって製造されている。リソグラ
フィ法では感光性樹脂をコートした基板に対して所望の
パターンをもつフォトマスクを通して紫外線を露光し、
現像処理することにより未反応部または反応部を除去す
ることによってパターンを製造することが一般的であ
る。この場合、形成されるパターンの最大寸法は露光装
置により制限を受け、現状では８インチ径程度までであ
る。電子ビーム描画装置またはレーザービーム描画装置
を用いた場合には、描画時間の関係および平坦な領域を
持つステージの確保が困難であることから、一般的に数
ｃｍ角程度までが最大である。その一方で、近年、大面
積を持つマイクロレンズアレイ、回折格子等の必要性が
高まってきている。
て、マイクロレンズアレイ、回折格子、ＬＣＤの画素に
よるドットの解消のための光学フィルタ等がある。これ
らマイクロレンズアレイ、回折格子、光学フィルタ等
は、一般にリソグラフィ法、電子ビーム描画法、レーザ
ービーム描画法などによって製造されている。リソグラ
フィ法では感光性樹脂をコートした基板に対して所望の
パターンをもつフォトマスクを通して紫外線を露光し、
現像処理することにより未反応部または反応部を除去す
ることによってパターンを製造することが一般的であ
る。この場合、形成されるパターンの最大寸法は露光装
置により制限を受け、現状では８インチ径程度までであ
る。電子ビーム描画装置またはレーザービーム描画装置
を用いた場合には、描画時間の関係および平坦な領域を
持つステージの確保が困難であることから、一般的に数
ｃｍ角程度までが最大である。その一方で、近年、大面
積を持つマイクロレンズアレイ、回折格子等の必要性が
高まってきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記の課
題に鑑みてなされたもので、大面積の光学部品を効率的
に製造するために有効な方法を提供することを目的とす
る。
題に鑑みてなされたもので、大面積の光学部品を効率的
に製造するために有効な方法を提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する本
発明の光学部品の製造方法は、紫外線透過率が７０％以
上であるスタンパが装着された透明パイプの内部に紫外
線ランプが設けられており、紫外線硬化樹脂層が設けら
れたフィルムをスタンパのパターンに密着させたまま上
記ランプにより紫外線を照射してパターンを転写するこ
とを特徴とする。
発明の光学部品の製造方法は、紫外線透過率が７０％以
上であるスタンパが装着された透明パイプの内部に紫外
線ランプが設けられており、紫外線硬化樹脂層が設けら
れたフィルムをスタンパのパターンに密着させたまま上
記ランプにより紫外線を照射してパターンを転写するこ
とを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明では、紫外線透過性のスタ
ンパを円筒状にして紫外線透過性のパイプ（ガラス等）
に貼付け、その内部から紫外線透過性のパイプを通して
紫外線を照射可能とした製造装置によって連続的に光学
部品を製造する。紫外線透過性のスタンパは紫外線透過
率が７０％以上で厚さが５〜３００μｍのフィルム上に
紫外線硬化樹脂を厚さが５〜５０μｍになるように塗布
した後、紫外線硬化樹脂側をスタンパの原盤のパターン
に密着した状態で紫外線を照射して樹脂を硬化すること
によって作製することができる。
ンパを円筒状にして紫外線透過性のパイプ（ガラス等）
に貼付け、その内部から紫外線透過性のパイプを通して
紫外線を照射可能とした製造装置によって連続的に光学
部品を製造する。紫外線透過性のスタンパは紫外線透過
率が７０％以上で厚さが５〜３００μｍのフィルム上に
紫外線硬化樹脂を厚さが５〜５０μｍになるように塗布
した後、紫外線硬化樹脂側をスタンパの原盤のパターン
に密着した状態で紫外線を照射して樹脂を硬化すること
によって作製することができる。
【０００６】本発明で用いられる製造装置の１例を図１
ないし図３に示す。図１は当該装置の断面図であり、図
２は当該装置の側面図である。また、図３は当該装置の
使用例を示した図である。本発明で用いられる製造装置
は、透明スタンパ１が装着された透明パイプ２を備えて
おり、透明パイプ２は駆動リング３およびベアリング４
を介して駆動ロール５に接続されている。透明パイプ２
の内部には紫外線ランプ６が設置されている。内部に紫
外線ランプ６が設置された透明パイプ２は、図３に示す
ようにローラー７ａ、７ｂ、７ｃと組合わされ、その間
に表面に紫外線硬化樹脂層が設けられたフィルム８が通
され、該フィルム８の紫外線硬化樹脂層が透明スタンパ
１のパターンに密着されたまま紫外線ランプにより紫外
線が照射される。これによりフィルム８に透明スタンパ
１のパターンを転写する。
ないし図３に示す。図１は当該装置の断面図であり、図
２は当該装置の側面図である。また、図３は当該装置の
使用例を示した図である。本発明で用いられる製造装置
は、透明スタンパ１が装着された透明パイプ２を備えて
おり、透明パイプ２は駆動リング３およびベアリング４
を介して駆動ロール５に接続されている。透明パイプ２
の内部には紫外線ランプ６が設置されている。内部に紫
外線ランプ６が設置された透明パイプ２は、図３に示す
ようにローラー７ａ、７ｂ、７ｃと組合わされ、その間
に表面に紫外線硬化樹脂層が設けられたフィルム８が通
され、該フィルム８の紫外線硬化樹脂層が透明スタンパ
１のパターンに密着されたまま紫外線ランプにより紫外
線が照射される。これによりフィルム８に透明スタンパ
１のパターンを転写する。
【０００７】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 実施例１ ５インチ径で厚さが１ｍｍのガラス基板上の紫外線硬化
樹脂層に、正弦波状のパターンを形成し、ダイシング・
ソーを用いて縦横８０ｍｍにカットしてガラス原盤を作
製した。該ガラス原盤１２枚の端面を各々接着し、縦２
４０ｍｍ横３２０ｍｍの大型ガラス原盤を作製した。
る。 実施例１ ５インチ径で厚さが１ｍｍのガラス基板上の紫外線硬化
樹脂層に、正弦波状のパターンを形成し、ダイシング・
ソーを用いて縦横８０ｍｍにカットしてガラス原盤を作
製した。該ガラス原盤１２枚の端面を各々接着し、縦２
４０ｍｍ横３２０ｍｍの大型ガラス原盤を作製した。
【０００８】つぎに、該大型ガラス原盤のパターン面に
紫外線硬化型のハードコート剤（フッ素系）を厚さが２
０μｍになるように塗布した後、ネオフロンＦＥＰフィ
ルム（ダイキン工業（株）製：厚さ１００μｍ）を密着
し紫外線を照射した。硬化後、大型ガラス原盤から剥離
することによって、原盤のパターンが転写されたネオフ
ロンフィルムからなる紫外線透過性のスタンパを作製し
た。この方法により作製した紫外線透過性スタンパの紫
外線透過率は３６０ｎｍで８７％であった。
紫外線硬化型のハードコート剤（フッ素系）を厚さが２
０μｍになるように塗布した後、ネオフロンＦＥＰフィ
ルム（ダイキン工業（株）製：厚さ１００μｍ）を密着
し紫外線を照射した。硬化後、大型ガラス原盤から剥離
することによって、原盤のパターンが転写されたネオフ
ロンフィルムからなる紫外線透過性のスタンパを作製し
た。この方法により作製した紫外線透過性スタンパの紫
外線透過率は３６０ｎｍで８７％であった。
【０００９】該紫外線透過性スタンパをパターン面を外
側にして、紫外線透過率が９０％以上であるパイレック
スガラスパイプ（コーニング（株）製）の表面に貼付け
た。そして、ＴＡＣフィルム（厚さ１９０μｍ）に紫外
線硬化型樹脂を厚さが１０μｍになるように塗布した
後、該ＴＡＣフィルムを紫外線透過性スタンパを貼り付
けたパイレックスガラス製パイプに密着させながら、該
ガラスパイプを通して紫外線を照射し、ＴＡＣフィルム
上の紫外線硬化型樹脂層を硬化した。硬化後、ＴＡＣフ
ィルムを剥離することによって、５インチ径のガラス基
板上に作製した正弦波状のパターンと同一のパターンを
持つ連続的なＴＡＣフィルムを作製することができた。
なお、このＴＡＣフィルムの紫外線透過率は３６０ｎｍ
で０％であった。
側にして、紫外線透過率が９０％以上であるパイレック
スガラスパイプ（コーニング（株）製）の表面に貼付け
た。そして、ＴＡＣフィルム（厚さ１９０μｍ）に紫外
線硬化型樹脂を厚さが１０μｍになるように塗布した
後、該ＴＡＣフィルムを紫外線透過性スタンパを貼り付
けたパイレックスガラス製パイプに密着させながら、該
ガラスパイプを通して紫外線を照射し、ＴＡＣフィルム
上の紫外線硬化型樹脂層を硬化した。硬化後、ＴＡＣフ
ィルムを剥離することによって、５インチ径のガラス基
板上に作製した正弦波状のパターンと同一のパターンを
持つ連続的なＴＡＣフィルムを作製することができた。
なお、このＴＡＣフィルムの紫外線透過率は３６０ｎｍ
で０％であった。
【００１０】実施例２ 実施例１と同様にして作製した紫外線透過性スタンパを
使用し図３に示す連続製造設備を用いて、連続的な光学
パターンを持つ光学部品を作製した。
使用し図３に示す連続製造設備を用いて、連続的な光学
パターンを持つ光学部品を作製した。
【００１１】光学フィルムとしてＴＡＣフィルム（厚さ
１９０μｍ）に紫外線硬化型樹脂を厚さが１０μｍにな
るように塗布した後、上記の連続製造設備のパイレック
スガラス製パイプに紫外線硬化樹脂層を密着させなが
ら、紫外線透過ガラスパイプを通して紫外線を照射し、
紫外線硬化樹脂層を硬化した。硬化後、ＴＡＣフィルム
を剥離することによって、５インチ径のガラス基板上に
作製した正弦波状のパターンと同一のパターンを持つ連
続的なＴＡＣフィルムを作製することができた。
１９０μｍ）に紫外線硬化型樹脂を厚さが１０μｍにな
るように塗布した後、上記の連続製造設備のパイレック
スガラス製パイプに紫外線硬化樹脂層を密着させなが
ら、紫外線透過ガラスパイプを通して紫外線を照射し、
紫外線硬化樹脂層を硬化した。硬化後、ＴＡＣフィルム
を剥離することによって、５インチ径のガラス基板上に
作製した正弦波状のパターンと同一のパターンを持つ連
続的なＴＡＣフィルムを作製することができた。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
紫外線透過性のスタンパを用いることによって、光学部
品を連続的に製造することが可能となり、光学部品を効
率的に製造することができる。
紫外線透過性のスタンパを用いることによって、光学部
品を連続的に製造することが可能となり、光学部品を効
率的に製造することができる。
【図１】本発明で用いられる製造装置の一例の概略断面
図である。
図である。
【図２】当該装置の概略側面図である。
【図３】当該製造装置の使用例を示した図である。
１ 透明スタンパ ２ 透明パイプ ６ 紫外線ランプ ８ フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀野 紘一郎 岡山県倉敷市酒津1621番地 株式会社クラ レ内
Claims (1)
- 【請求項１】 紫外線透過率が７０％以上であるスタン
パが装着された透明パイプの内部に紫外線ランプが設け
られており、紫外線硬化樹脂層が設けられたフィルムを
スタンパのパターンに密着させたまま上記ランプにより
紫外線を照射してパターンを転写することを特徴とする
光学部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21699195A JPH0957868A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 光学部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21699195A JPH0957868A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 光学部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0957868A true JPH0957868A (ja) | 1997-03-04 |
Family
ID=16697105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21699195A Pending JPH0957868A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 光学部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0957868A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064455A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Isamu Ko | 基準格子製造方法及び基準格子製造装置 |
| JP2007001214A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Seiko Epson Corp | レンズ基板の製造方法、レンズ基板、透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタ |
-
1995
- 1995-08-25 JP JP21699195A patent/JPH0957868A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064455A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Isamu Ko | 基準格子製造方法及び基準格子製造装置 |
| JP2007001214A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Seiko Epson Corp | レンズ基板の製造方法、レンズ基板、透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタ |
| JP4654792B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2011-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | レンズ基板の製造方法、レンズ基板、透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050125 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050215 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050705 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |