JPH095248A - Method for inspecting optical member - Google Patents
Method for inspecting optical memberInfo
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- JPH095248A JPH095248A JP7172911A JP17291195A JPH095248A JP H095248 A JPH095248 A JP H095248A JP 7172911 A JP7172911 A JP 7172911A JP 17291195 A JP17291195 A JP 17291195A JP H095248 A JPH095248 A JP H095248A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、画像処理技術を用い
て透明な光学部材を検査する方法に関し、特に撮影画像
から部品領域を分離する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a transparent optical member using an image processing technique, and more particularly to a method for separating a component area from a photographed image.
【０００２】[0002]
【従来技術】この種の画像処理技術を用いた検査装置で
は、テレビカメラにより撮影された原画像から被検物の
領域の画像を分離し、分離された画像に基づいて被検物
が検査される。従来の検査装置では、原画像からの部品
領域の分離が失敗したことをもって被検物が存在しない
こと、すなわち被検物の欠損を認識している。2. Description of the Related Art In an inspection apparatus using this type of image processing technique, an image of an area of an object to be inspected is separated from an original image taken by a television camera, and the object to be inspected is inspected based on the separated image. It The conventional inspection apparatus recognizes that there is no object to be inspected, that is, the defect of the object to be inspected, due to the failure of separating the part region from the original image.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しなしながら、上記の
従来の検査装置における欠損認識では、欠損の場合にも
一連の分離処理が実行されるため、欠損認識にかかる時
間が長いという問題がある。この問題は、特に被検物の
形状が複雑で分離処理に時間がかかる場合に顕著とな
る。However, in the defect recognition in the above-mentioned conventional inspection apparatus, since a series of separation processing is executed even in the case of a defect, there is a problem that it takes a long time to recognize the defect. . This problem becomes remarkable especially when the shape of the test object is complicated and the separation process takes time.
【０００４】[0004]
【発明の目的】この発明は、上記の従来技術の課題に鑑
みてなされたものであり、画像処理技術を用いた検査装
置において、被検物の欠損を迅速に認識することがで
き、迅速な検査が可能な光学部材検査方法を提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and in an inspection apparatus using an image processing technique, a defect of an object to be inspected can be promptly recognized and a quick inspection can be performed. An object is to provide an optical member inspection method capable of inspecting.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明にかかる光学部
材検査方法は、前提として、光源からの光束を被検物の
形状に合わせて設定された拡散透過率が低い中心領域
と、その周囲に設定された拡散透過率が高い周辺領域と
を有する拡散手段により拡散させて被検物に入射させ、
被検物を透過した光束が達する位置に設けられた撮影手
段により被検物を撮影して被検物の欠陥を検査する方法
に適用される。The optical member inspecting method according to the present invention is premised on a central region having a low diffuse transmittance set in accordance with the shape of an object to be inspected with a light beam from a light source, and in the periphery thereof. The diffused light is diffused by a diffusing means having a peripheral region having a high diffused transmittance set, and is made incident on an object to be inspected,
The present invention is applied to a method of inspecting a defect of an inspection object by imaging the inspection object by an imaging means provided at a position where a light flux transmitted through the inspection object reaches.
【０００６】この発明の特徴は、上記の検査方法におい
て、入力された被検物の画像を２値化し、その投影分布
に基づいて部品領域を予備分離すると共に、予備分離が
成功した場合にのみ検査対象領域を本分離して被検物の
良否を判定し、予備分離が失敗した場合には部品の欠損
と判断して本分離と良否判定との処理を実行せずにスキ
ップするようにしたことにある。A feature of the present invention is that, in the above inspection method, the inputted image of the object to be inspected is binarized, the part regions are pre-separated based on the projection distribution, and only when the pre-separation is successful. The area to be inspected is main-separated to determine the quality of the test object, and if the preliminary separation fails, it is determined that the part is missing and skipped without executing the processes of main separation and pass / fail judgment. Especially.
【０００７】拡散手段の拡散透過率の分布を上記のよう
に設定することにより、被検物が存在する場合には部品
領域の像は主として低輝度の中心領域からの光束により
形成され、背景領域の像は主として高輝度の周辺領域か
らの光束により形成され、部品領域と背景領域とを輝度
の異なる領域として明確に区別することができる。一
方、部品の欠損により被検物が配置されない状態では、
撮影画像内の輝度分布はほぼ一様となる。By setting the distribution of the diffuse transmittance of the diffusing means as described above, the image of the parts area is formed mainly by the light flux from the central area of low brightness when the object to be inspected exists, and the background area is formed. The image of is mainly formed by a light flux from a high-luminance peripheral region, and the component region and the background region can be clearly distinguished as regions having different luminance. On the other hand, in the state where the test object is not placed due to the loss of parts,
The brightness distribution in the captured image is almost uniform.
【０００８】したがって、輝度差があって部品領域を背
景領域から予備分離できた場合には被検物が存在するも
のと判断でき、逆に予備分離ができなかった場合には被
検物が存在しないものと判断することができる。Therefore, it can be judged that the test object exists when the component area can be preliminarily separated from the background area due to the brightness difference, and conversely, when the preparatory separation cannot be performed, the test object exists. You can judge that you do not.
【０００９】部品領域は、Ｘ軸、Ｙ軸方向の直交する２
方向の投影分布に基づいて分離することにより、矩形に
切り出される。本分離では、予備分離された部品領域の
画像から検査対象領域が抽出され、抽出された領域の２
値画像に基づいて被検物の良否が判断される。The parts area is two orthogonal to each other in the X-axis and Y-axis directions.
It is cut out into a rectangle by separating based on the projected distribution of directions. In the main separation, the inspection target area is extracted from the image of the part area that has been preliminarily separated.
The quality of the test object is determined based on the value image.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、この発明にかかる光学部材検査方法の
実施例を説明する。実施例の方法は、プラスチック製の
光学部材を検査対象とする。まず、図１にしたがってこ
の発明にかかる光学部材検査方法が適用される検査装置
の原理について説明する。Embodiments of the optical member inspection method according to the present invention will be described below. In the method of the embodiment, a plastic optical member is an inspection target. First, the principle of an inspection apparatus to which the optical member inspection method according to the present invention is applied will be described with reference to FIG.
【００１１】装置の光学系は、光源１０と、この光源１
０から発した光束を拡散させる第１、第２の拡散板２
１，２２から構成される拡散手段２０と、拡散手段２０
を透過して被検物である正レンズ１を透過した光束、お
よび被検レンズ１の周囲を通過した光束を取り込んで撮
影する撮影手段としてのＣＣＤカメラ３０とを備える。The optical system of the apparatus comprises a light source 10 and this light source 1.
First and second diffuser plates 2 for diffusing the light flux emitted from 0
Diffusion means 20 composed of 1, 22 and diffusion means 20
And a CCD camera 30 as a photographing means for taking in and photographing the light flux which has passed through the positive lens 1 as the test object and the light flux which has passed through the periphery of the test lens 1.
【００１２】光源１０および被検レンズ１は、ＣＣＤカ
メラ３０の光軸上に配置されている。ＣＣＤカメラ３０
は、撮影レンズ３１とＣＣＤセンサ３２とから構成さ
れ、被検レンズ１の厚さ方向の中心付近をピント面Ｐと
するよう調整されている。すなわち、ピント面ＰとＣＣ
Ｄセンサ３２の受像面とは撮影レンズ３１を介して光学
的に共役であり、ピント面Ｐ上の被検レンズ１の像は、
ＣＣＤセンサ上の符号Ｏで示す範囲に形成される。The light source 10 and the lens 1 to be inspected are arranged on the optical axis of the CCD camera 30. CCD camera 30
Is composed of a taking lens 31 and a CCD sensor 32, and is adjusted so that the vicinity of the center in the thickness direction of the lens 1 to be inspected is a focus plane P. That is, the focus plane P and CC
The image receiving surface of the D sensor 32 is optically conjugate with the image pickup lens 31, and the image of the lens 1 under test on the focus plane P is
It is formed in the range indicated by the symbol O on the CCD sensor.
【００１３】なお、ＣＣＤカメラ３０に取り込まれる光
量を確保するために、拡散手段２０とＣＣＤカメラ３０
との間には、拡散する光束を集光させるコンデンサレン
ズを設けることが望ましい。この例では、被検物として
配置された正レンズ１がコンデンサレンズとしての機能
を果たしている。In order to secure the amount of light taken into the CCD camera 30, the diffusing means 20 and the CCD camera 30 are used.
It is desirable to provide a condenser lens between and to collect the diffused light flux. In this example, the positive lens 1 arranged as the test object functions as a condenser lens.
【００１４】ＣＣＤカメラ３０の画像出力は、被検レン
ズの欠陥を判定する判定手段を備える画像処理装置４０
において処理され、測定された被検レンズ１の情報が表
示手段であるモニタディスプレイ５０に表示される。The image output of the CCD camera 30 is provided with an image processing device 40 having a judging means for judging the defect of the lens to be inspected.
The information of the lens 1 to be inspected, which has been processed and measured in 1, is displayed on the monitor display 50 which is a display means.
【００１５】第１、第２の拡散板２１，２２は、共に被
検レンズ１の平面形状とほぼ相似形状であり、第２の拡
散板２２の方が第１の拡散板２１より面積が小さい。こ
れらの拡散板２１，２２は、光軸がそれぞれの中心を通
るように、光軸に対して垂直に設けられている。また、
これらの拡散板は、同一、あるいは互いに異なる拡散透
過率を有しており、したがって拡散手段２０を全体とし
て考えると、第１、第２の拡散板が重なる中心領域は拡
散透過率が低く、重ならない周辺領域は拡散透過率が相
対的に高くなる。The first and second diffusing plates 21 and 22 are substantially similar to the planar shape of the lens 1 to be tested, and the second diffusing plate 22 has a smaller area than the first diffusing plate 21. . These diffuser plates 21 and 22 are provided perpendicular to the optical axis so that the optical axis passes through the respective centers. Also,
These diffusers have the same or different diffuse transmittances. Therefore, considering the diffuser 20 as a whole, the central region where the first and second diffusers overlap has a low diffuse transmittance, and The diffused transmittance is relatively high in the peripheral region that does not become.
【００１６】第２の拡散板２２のサイズは、第２の拡散
板２２から垂直に射出する光の範囲が被検レンズ１にほ
ぼ一致するよう定められている。これにより、中心領域
からの垂直射出成分は全て被検レンズ１に入射し、第１
の拡散板２１を垂直に透過して第２の拡散板２２を通ら
ない成分、すなわち周辺領域からの垂直射出成分は被検
レンズ１に入射しない。また、第１拡散板２１の平面形
状を被検物の形状と相似に形成するのは、周辺領域から
の斜射出成分を被検物にあらゆる方向から均一に入射さ
せるためである。The size of the second diffusing plate 22 is set so that the range of the light vertically emitted from the second diffusing plate 22 is substantially the same as that of the lens 1 to be inspected. As a result, all the vertical emission components from the central region enter the lens 1 under test, and
The component that vertically passes through the diffusion plate 21 and does not pass through the second diffusion plate 22, that is, the vertical emission component from the peripheral region does not enter the lens 1 to be inspected. Further, the planar shape of the first diffusion plate 21 is formed to be similar to the shape of the object to be inspected so that the oblique emission component from the peripheral region is uniformly incident on the object from all directions.
【００１７】図２は、被検レンズと拡散板２１，２２と
の平面形状の例を示す。図２(A-1)に示されるように被
検レンズが平面形状が矩形であるファインダー用レンズ
１ａである場合には、第１、第２の拡散板２１ａ，２２
ａの平面形状は図２(A-2)に示す通りの矩形とすること
が望ましい。また、図２(B-1)に示されるように被検レ
ンズが一般的な円形レンズ１ｂである場合には、各拡散
板２１ｂ，２２ｂの平面形状は図２(B-2)に示される通
りの円形とすることが望ましい。FIG. 2 shows an example of the planar shape of the lens to be inspected and the diffusion plates 21 and 22. As shown in FIG. 2 (A-1), when the lens to be inspected is a finder lens 1a having a rectangular planar shape, the first and second diffusion plates 21a and 22
The planar shape of a is preferably a rectangle as shown in FIG. 2 (A-2). Further, when the lens to be inspected is a general circular lens 1b as shown in FIG. 2 (B-1), the plane shapes of the diffusion plates 21b and 22b are shown in FIG. 2 (B-2). It is desirable to use a round street.
【００１８】なお、実施例の検査装置は、多数個取り金
型により成形されたプラスチックレンズをランナから切
り放さずに検査する構成であるため、被検レンズには図
２に示されるようにゲートＧを介してランナＲが連結し
ている。Since the inspecting apparatus of the embodiment is configured to inspect a plastic lens molded by a multi-cavity mold without cutting it off from the runner, the inspected lens has a gate as shown in FIG. The runner R is connected via G.
【００１９】撮影された画像には、図３に示されるよう
に、第２の拡散板２２を透過せずに達する周辺領域の輝
度の高い成分により主として形成される高輝度の背景領
域Ｂと、２つの拡散板を透過した中心領域の輝度の低い
成分により主として形成される被検レンズの像(部品領
域)Ｓとが含まれる。In the photographed image, as shown in FIG. 3, a high-brightness background area B mainly formed by high-brightness components in the peripheral area reaching without passing through the second diffusion plate 22, The image (component region) S of the lens to be inspected which is mainly formed by the low-luminance component of the central region that has passed through the two diffusion plates is included.
【００２０】第２の拡散板２２の形状を被検レンズ１の
平面形状とを相似形とすることにより、上記のように画
像内で被検レンズが配置された部品領域と背景領域とを
明瞭に区分することができ、後述の画像処理における対
象領域の分離処理がきわめて容易となる。By making the shape of the second diffusing plate 22 similar to the planar shape of the lens 1 to be inspected, the component area where the lens to be inspected is arranged and the background area are clear in the image as described above. It is possible to divide into target areas, and the separation processing of the target area in the image processing described later becomes extremely easy.
【００２１】ここで、被検レンズ１の表面または内部に
光を吸収する欠陥、例えば光学部材中に含まれる黒いゴ
ミが存在すると、レンズ像を形成する中心領域からの透
過光の一部が吸収されてＣＣＤセンサ３２に光が達しな
いため、図４に示されるように中間輝度の部品領域Ｓ内
に部品領域より輝度が低い欠陥像ＤLが発生する。Here, if there is a defect that absorbs light on the surface or inside of the lens 1 to be inspected, for example, black dust contained in the optical member, part of the transmitted light from the central region forming the lens image is absorbed. As a result, the light does not reach the CCD sensor 32, so that a defect image DL having a brightness lower than that of the component region is generated in the component region S of intermediate luminance as shown in FIG.
【００２２】また、被検レンズ１の表面に光を散乱させ
る欠陥、例えば光学部材の表面に白いゴミやキズが存在
すると、この欠陥により光が散乱し、欠陥がなければＣ
ＣＤセンサ３２上のレンズ像の範囲Ｏに達しない周辺領
域からの高輝度の斜射出成分の一部がレンズ像の範囲Ｏ
に達し、図５に示されるように中間輝度の部品領域Ｓ内
に部品領域より輝度が高い欠陥像ＤHが発生する。If there is a defect that scatters light on the surface of the lens 1 to be inspected, such as white dust or scratches on the surface of the optical member, the light scatters due to this defect, and if there is no defect, C
A part of the high-intensity oblique emission component from the peripheral region that does not reach the range O of the lens image on the CD sensor 32 is part of the range O of the lens image.
As shown in FIG. 5, a defect image DH having a brightness higher than that of the component area is generated in the component area S having the intermediate luminance.
【００２３】例えば、あるＸ軸方向の走査線上に吸収性
の欠陥に基づく低輝度像ＤLと散乱性の欠陥に基づく高
輝度像ＤHとが存在する場合、この走査線に沿った画素
列の出力は図６(A)に示すとおりとなる。画像処理装置
４０は、２つの閾値ＳＨ1，ＳＨ2を用いて２値化するこ
とにより、図６(B)(C)に示されるように性状の異なる２
種類の欠陥をそれぞれ独立して抽出することができる。For example, when a low-brightness image DL due to an absorptive defect and a high-brightness image DH due to a scattering defect are present on a certain scanning line in the X-axis direction, the pixel row output along this scanning line is output. Is as shown in FIG. 6 (A). The image processing device 40 binarizes using two threshold values SH1 and SH2, so that the two different characteristics are obtained as shown in FIGS. 6 (B) and 6 (C).
Each type of defect can be extracted independently.
【００２４】レンズの検査をする場合、欠陥の性状、大
きさ、発生位置により良品、不良品を判別する際の判定
基準が相違するため、性状の判定は必要である。実施例
のように一回の検査で欠陥の性状が判断できれば、欠陥
を検出した後にさらにその性状を特性するために検査す
るより検査の手順を簡略化することができる。When inspecting a lens, it is necessary to determine the properties because the criteria for determining whether the product is a good product or a defective product is different depending on the property, size, and generation position of the defect. If the property of the defect can be determined by one inspection as in the embodiment, the inspection procedure can be simplified as compared with the case of inspecting the defect to further characterize the property after the defect is detected.
【００２５】なお、被検レンズがセットされていない場
合には、ＣＣＤセンサ３２上での光量分布に規則性は生
じず、巨視的に見るとほぼ一様な光量分布が得られる。When the lens to be inspected is not set, the light quantity distribution on the CCD sensor 32 does not have regularity, and a substantially uniform light quantity distribution is obtained macroscopically.
【００２６】続いて、上記の装置を利用した検査の手順
を図７、および図８に示したフローチャートにしたがっ
て説明する。検査前の準備として、検査対象となる光学
部材に応じた部品に関する情報をデータテーブルとして
ロードする。また、情報にしたがって部品形状に適した
拡散板を選択すると共に、撮影倍率を設定する。Next, the procedure of the inspection using the above apparatus will be described with reference to the flow charts shown in FIGS. As a preparation before the inspection, information about parts corresponding to the optical member to be inspected is loaded as a data table. In addition, a diffusion plate suitable for the shape of the component is selected according to the information, and the photographing magnification is set.
【００２７】検査全体の流れは図７のフローチャートに
示される。ＣＣＤカメラから画像を入力し(ステップA-
1)、輝度の分布に基づいて被検レンズの像に対応する部
品領域を分離する(ステップA-2、サブルーチンは図
８)。The flow of the entire inspection is shown in the flowchart of FIG. Input the image from CCD camera (Step A-
1), the component area corresponding to the image of the lens to be inspected is separated based on the luminance distribution (step A-2, subroutine is FIG. 8).
【００２８】部品領域の分離処理中に部品が所定の検査
位置になく欠損していると判断された場合には、部品領
域分離処理中で欠損フラグがセットされ、検査ループで
はこの欠損フラグがセットされているか否かにより検査
を続行するか否かを選択する(ステップA-3)。When it is determined that the component is missing at a predetermined inspection position during the component area separation processing, a defect flag is set during the component area separation processing, and this defect flag is set in the inspection loop. Whether or not to continue the inspection is selected depending on whether or not (step A-3).
【００２９】部品が所定の検査位置に存在している場合
には、実際の検査処理が実行される。まず、本分離され
た検査対象領域の画像は、動的２値化処理により２値化
され(ステップA-4)、この２値画像から欠陥等の特徴量
が抽出される(ステップA-5)。画像処理装置４０は、抽
出された結果に基づいて被検レンズの良否を判定(ステ
ップA-6)すると共に、判定結果をモニタディスプレイ５
０に表示する(ステップA-7)。When the component is present at the predetermined inspection position, the actual inspection process is executed. First, the image of the inspection area that has been finally separated is binarized by a dynamic binarization process (step A-4), and a feature amount such as a defect is extracted from the binarized image (step A-5). ). The image processing device 40 determines the quality of the lens to be inspected based on the extracted result (step A-6), and displays the determination result on the monitor display 5
It is displayed at 0 (step A-7).
【００３０】欠損フラグがセットされている場合には、
ステップA-4〜A-7の処理がスキップされる。ステップA-
8では、検査対象となる部品があるか否かを判断し、部
品があれば部品を交換して(ステップA-9)ステップA-1か
らの処理を繰り返し、部品がなければ検査を終了する。If the loss flag is set,
The processing of steps A-4 to A-7 is skipped. Step A-
In step 8, it is judged whether or not there is a part to be inspected, and if there is a part, the part is replaced (step A-9) and the processing from step A-1 is repeated, and if there is no part, the inspection is ended. .
【００３１】続いて、上記検査フロー中に含まれる領域
分離処理のサブルーチンを図８に基づいて説明する。領
域分離処理は、入力された原画像を２値化して部品領域
を予備分離すると共に、予備分離が成功した場合に部品
領域から検査対象領域を本分離する処理である。入力デ
ータは、原画像、ｘ，ｙ各軸の走査の閾値、背景と部品
領域とを分離するための閾値、部品サイズ、有効径設定
値、判定エリア設定値である。Next, the sub-routine of the area separation processing included in the above inspection flow will be described with reference to FIG. The region separation process is a process of binarizing the input original image to preliminarily separate the component region, and when the preparatory separation is successful, to perform the main separation of the inspection target region from the component region. The input data is an original image, a scanning threshold value for each of the x and y axes, a threshold value for separating a background and a component area, a component size, an effective diameter setting value, and a determination area setting value.
【００３２】図９に示されるように、まず、原画像を高
輝度の背景領域と中間輝度の部品領域との間の閾値を用
いて２値化する(ステップB-1)。As shown in FIG. 9, first, the original image is binarized by using the threshold value between the high-intensity background area and the intermediate-intensity component area (step B-1).
【００３３】続いて、２値化画像を互いに直交するｘ軸
方向とｙ軸方向とに順に走査して、各軸の投影分布を求
め、これに基づいて部品外形の境界点を検出すると共
に、検査によって外形が検出されたか否かを判断する
(ステップB-2〜B-7)。Subsequently, the binarized image is sequentially scanned in the x-axis direction and the y-axis direction which are orthogonal to each other to obtain the projection distribution of each axis, and the boundary points of the outer shape of the component are detected based on the projection distribution. Determine if the contour was detected by inspection
(Steps B-2 to B-7).
【００３４】投影分布は、同一のｙまたはｘ座標を持つ
画素の明るさの総和である。実施例の装置の場合、被検
レンズがセットされていれば、図９(A)に示されるよう
に高輝度の背景領域Ｂの中にハッチングで示した中輝度
の部品領域Ｓが１つ含まれる画像が得られるため、それ
ぞれ方向における２値化画像の投影分布は図９(B)(C)に
示されるようになり、分布の境界位置を検出することに
より、部品領域を図中破線で示すような矩形に切り出す
ことができる。The projection distribution is the sum of the brightness of pixels having the same y or x coordinate. In the case of the apparatus of the embodiment, if the lens to be inspected is set, the background area B of high brightness includes one medium brightness part area S shown by hatching as shown in FIG. 9 (A). 9B, the projection distribution of the binarized image in each direction is as shown in FIGS. 9B and 9C. By detecting the boundary position of the distribution, the component area is indicated by the broken line in the figure. It can be cut out into a rectangle as shown.
【００３５】これに対して、被検レンズがセットされて
いない場合には、撮影画像およびその投影分布は図１０
(A)(B)(C)に示されるようにほぼ一様となるため、分布
の境界位置を検出することができない。したがって、境
界位置が求められたか否かを判断することにより、部品
がセットされているのか、欠損によりセットされていな
いのかを判断することができる。On the other hand, when the lens to be inspected is not set, the photographed image and its projection distribution are shown in FIG.
As shown in (A), (B), and (C), they are almost uniform, so the boundary position of the distribution cannot be detected. Therefore, by determining whether or not the boundary position is obtained, it is possible to determine whether the component is set or not due to a defect.
【００３６】以上のステップB-1〜B-7の処理が、部品領
域の予備分離であり、これによりいずれか一方の検査で
境界点が検出されない場合には、欠損フラグをセットし
て検査ループに戻り(ステップB-8)、ｘ，ｙ軸の境界点
が共に検出された場合には、次の段階の本分離処理に入
る。The processing in steps B-1 to B-7 described above is the preliminary separation of the component area, and when no boundary point is detected in either one of the inspections, a defect flag is set and the inspection loop is executed. (Step B-8), and when both the boundary points of the x and y axes are detected, the next stage of the main separation processing is started.
【００３７】本分離処理では、予備分離で得られた各境
界点のデータとあらかじめ入力された被検レンズの形状
のデータとに基づき、予備分離された矩形領域から部品
形状に合致した実際の検査対象となる領域を分離する。
予備分離の段階で既に処理対象領域がほぼ部品領域のみ
を含む狭い領域に絞られているため、本分離を高速、高
精度で実行することが可能となる。In this separation processing, based on the data of each boundary point obtained in the preliminary separation and the shape data of the lens to be inspected input in advance, an actual inspection matching the part shape from the pre-separated rectangular area is performed. Isolate the area of interest.
Since the processing target area has already been narrowed down to the narrow area including only the component area in the preliminary separation stage, the main separation can be executed at high speed and with high accuracy.
【００３８】この本分離処理では、実効部品外形、重心
を求めると共に、予め入力されていた部品サイズ、基準
有効径、基準判定エリアに基づいて倍率、実効有効径、
実効判定エリアを求める(ステップB-9〜B-13)。In this separation processing, the outer shape of the effective component and the center of gravity are obtained, and the magnification, effective effective diameter, and effective effective diameter are calculated based on the component size, the reference effective diameter, and the reference judgment area that have been input in advance.
Find the effective judgment area (steps B-9 to B-13).
【００３９】上記のように、実施例の部品領域分離処理
では、処理の負荷が本分離より低い予備分離の段階で部
品の欠損を判別することができるため、部品領域分離を
全て実行した後に欠損を判断する場合と比較して、欠損
を迅速に判定することができ、多数の被検レンズを検査
する場合の検査スピードを向上させることができる。As described above, in the component area separation processing of the embodiment, since it is possible to determine the defect of the component in the preliminary separation stage where the processing load is lower than that of the main separation, it is possible to perform the component area separation after all the component area separations. As compared with the case of judging, the defect can be judged quickly, and the inspection speed in the case of inspecting a large number of lenses to be inspected can be improved.
【００４０】なお、請求項１の被検物の画像を入力する
第１のステップは図７のステップA-1、入力画像を２値
化して部品領域を予備分離する第２のステップは図８の
ステップB-1〜B-3、B-5,B-6、部品領域の予備分離が成
功したか失敗したかを判定する第３のステップは図８の
ステップB-4,B-7、予備分離された部品領域から検査対
象領域を本分離する第４のステップは図８のステップB-
12,B-13、本分離された検査対象領域の画像を２値化し
て被検物の良否を判定する第５のステップは図７のステ
ップA-4〜A-6に、それぞれ該当する。The first step of inputting the image of the object to be inspected according to claim 1 is step A-1 in FIG. 7, and the second step of binarizing the input image to preliminarily separate the component area is shown in FIG. Steps B-1 to B-3, B-5, and B-6, and the third step of determining whether the preparatory separation of the component area has succeeded or failed are steps B-4 and B-7 in FIG. The fourth step of main separation of the inspection target area from the pre-separated parts area is step B- in FIG.
12, B-13, and the fifth step of judging the quality of the test object by binarizing the separated image of the inspection target region corresponds to steps A-4 to A-6 of FIG. 7, respectively.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、部品領域の分離を処理負荷が軽く精度が低い予備分
離と、処理負荷が重く精度が高い本分離との２段階にす
ると共に、部品の欠損を予備分離の段階で判断すること
により、部品が欠損している場合の判定が迅速になり、
検査の流れをスピードアップすることができる。As described above, according to the present invention, the separation of component regions is divided into two stages, that is, preliminary separation with a light processing load and low accuracy, and main separation with a heavy processing load and high accuracy. By judging the loss of parts at the pre-separation stage, the determination when there is a loss of parts becomes faster,
The inspection flow can be speeded up.
【図１】 この発明の実施例にかかる光学部材検査方法
を適用する装置を示す光学系の概略と処理系のブロック
とを含む説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram including an outline of an optical system and a block of a processing system showing an apparatus to which an optical member inspection method according to an embodiment of the present invention is applied.
【図２】 図１の装置における被検物の形状と拡散手段
の形状とを対比して示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing a shape of an object to be inspected and a shape of a diffusing means in the apparatus of FIG.
【図３】 図１の装置により撮影される被検レンズに欠
陥がない場合の画像を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an image when the lens to be inspected taken by the apparatus of FIG. 1 has no defect.
【図４】 図１の装置により撮影される被検レンズに吸
収性の欠陥がある場合の画像を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an image when the lens to be inspected taken by the apparatus of FIG. 1 has an absorptive defect.
【図５】 図１の装置により撮影される被検レンズに散
乱性の欠陥がある場合の画像を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing an image when the test lens imaged by the apparatus of FIG. 1 has a scattering defect.
【図６】 図１の装置により撮影された画像の１走査線
上の輝度分布の例を示し、(A)が原画像の信号、(B)が低
輝度成分を２値化した信号、(C)が高輝度成分を２値化
した信号である。6 shows an example of a luminance distribution on one scanning line of an image photographed by the apparatus of FIG. 1, (A) is a signal of an original image, (B) is a signal obtained by binarizing a low luminance component, (C) ) Is a signal obtained by binarizing the high luminance component.
【図７】 実施例の検査方法を示すフローチャートであ
る。FIG. 7 is a flowchart showing an inspection method of an example.
【図８】 検査フロー中の領域分離のサブルーチンを示
すフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart showing a subroutine of area separation in the inspection flow.
【図９】 被検レンズがセットされた状態での画像とそ
の投影分布とを示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram showing an image and a projection distribution thereof in a state where a lens to be inspected is set.
【図１０】 被検レンズがセットされない状態での画像
とその投影分布とを示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an image and a projection distribution thereof in a state where the lens to be inspected is not set.
１ 被検レンズ １０ 光源 ２０ 拡散手段 ２１ 第１拡散板 ２２ 第２拡散板 ３０ ＣＣＤカメラ ３１ 撮影レンズ ３２ ＣＣＤセンサ ４０ 画像処理装置 ５０ モニタディスプレイ 1 Test Lens 10 Light Source 20 Diffusing Means 21 First Diffusing Plate 22 Second Diffusing Plate 30 CCD Camera 31 Photographing Lens 32 CCD Sensor 40 Image Processing Device 50 Monitor Display
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木田 敦 東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭光 学工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Atsushi Kida 2-36-9 Maenocho, Itabashi-ku, Tokyo Asahi Kogaku Kogyo Co., Ltd.
Claims (3)
設定された拡散透過率が低い中心領域と、その周囲に設
定された拡散透過率が高い周辺領域とを有する拡散手段
により拡散させて被検物に入射させ、該被検物を透過し
た光束が達する位置に設けられた撮影手段により前記被
検物を撮影して被検物の欠陥を検査する光学部材検査方
法であって、 前記被検物の画像を入力する第１のステップと、 入力画像を２値化してその投影分布に基づいて部品領域
を予備分離する第２のステップと、 部品領域の予備分離が成功したか失敗したかを判定する
第３のステップと、 予備分離された部品領域から検査対象領域を本分離する
第４のステップと、 本分離された検査対象領域の画像を２値化して前記被検
物の良否を判定する第５のステップとを有し、 前記第４、第５のステップは、前記第３のステップにお
いて予備分離が成功したと判定された際にのみ実行され
ることを特徴とする光学部材検査方法。1. Diffusing a light beam from a light source by a diffusing means having a central region having a low diffuse transmittance set according to the shape of an object to be examined and a peripheral region having a high diffuse transmittance set around the central region. An optical member inspection method for inspecting a defect of an object to be inspected by taking an image of the object to be inspected by a photographing means provided at a position where a light flux transmitted through the object reaches, , A first step of inputting an image of the object to be inspected, a second step of binarizing the input image and preliminarily separating a component area based on a projection distribution thereof, and whether the preliminary separation of the component area is successful The third step of judging whether or not the failure has occurred, the fourth step of main separation of the inspection target area from the pre-separated component area, and the image of the main separated inspection target area being binarized. And the fifth step of judging the quality of The fourth, fifth step, the optical member inspection wherein only be executed when the pre-separation in the third step is determined to be successful.
向との直交する２方向についての投影分布に基づいて前
記部品領域を矩形に予備分離することを特徴とする請求
項１に記載の光学部材検査方法。2. The method according to claim 1, wherein the second step preliminarily separates the part region into a rectangle based on a projection distribution in two directions orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction. The optical member inspection method as described above.
対象領域の画像を該領域のベース輝度より低い第１の閾
値を用いて２値化するステップと、前記ベース輝度より
高い第２の閾値を用いて２値化するステップと、前記２
つの２値化ステップで得られた信号をそれぞれ性状の異
なる欠陥として前記被検物の良否を判定することを特徴
とする請求項１に記載の光学部材検査方法。3. The fourth step is a step of binarizing an image of the main separated inspection target area using a first threshold value lower than the base luminance of the area, and a second step higher than the base luminance. Binarizing using the threshold value of
The optical member inspecting method according to claim 1, wherein the quality of the test object is determined by regarding the signals obtained in the two binarization steps as defects having different properties.
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1995
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