JPH0939252A - Ink jet recording head and manufacture thereof - Google Patents

Ink jet recording head and manufacture thereof

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JPH0939252A
JPH0939252A JP19321595A JP19321595A JPH0939252A JP H0939252 A JPH0939252 A JP H0939252A JP 19321595 A JP19321595 A JP 19321595A JP 19321595 A JP19321595 A JP 19321595A JP H0939252 A JPH0939252 A JP H0939252A
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JP
Japan
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recording head
ink jet
jet recording
liquid
top plate
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP19321595A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Aono
賢治 青野
Akihiko Shimomura
明彦 下村
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture an ink jet recording head having a low cost and high reliability. SOLUTION: The method for manufacturing an ink jet recording head comprises the steps of forming a mold material 6 capable of being dissolved and removed in a later step on the surface of a board 2 made of aluminum, installing a top plate 1 using filler-added thermosetting resin having the same linear expansion coefficient as that of the aluminum on the board 2, filling liquid-like resin in a liquid channel forming part 3 sandwiched between the board 2 and the plate 1, curing it, and dissolving to remove the material 6 to form a liquid channel.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一般にインクと呼
ばれる記録液を微細な吐出口から小滴として記録媒体に
向けて吐出し記録するインクジェット記録ヘッド、及び
このインクジェット記録ヘッドの製造方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inkjet recording head for recording by recording a recording liquid, which is generally called ink, as fine droplets toward a recording medium from fine discharge ports, and a method for manufacturing the inkjet recording head. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】計算機、ワードプロセッサ、ファクシミ
リ装置、複写装置、プリンター等、各種機器において、
騒音発生することがなく高速な記録が可能、しかもカラ
ー画像の記録も容易なことからインクジェット記録装置
が広く利用されつつある。
2. Description of the Related Art In various devices such as computers, word processors, facsimile machines, copying machines and printers,
Inkjet recording apparatuses are being widely used because high-speed recording is possible without generating noise and color images are easily recorded.

【0003】インクジェット記録装置に備えるインクジ
ェット記録ヘッドの従来の製造方法について、実施例の
説明図である図2を引用参照して説明する。
A conventional method of manufacturing an ink jet recording head provided in an ink jet recording apparatus will be described with reference to FIG. 2 which is an explanatory view of an embodiment.

【0004】インクジェット記録装置に装着使用される
インクジェット記録ヘッドは、一般に微細な記録液吐出
口、液流路及び液流路の一部に設けられる液体吐出エネ
ルギー発生部を備えている。
An ink jet recording head mounted and used in an ink jet recording apparatus is generally provided with a fine recording liquid ejection port, a liquid flow path, and a liquid discharge energy generating section provided in a part of the liquid flow path.

【0005】従来このようなインクジェット記録ヘッド
を製造する方法としては、例えば特開昭61−1549
47号公報、特開昭62−253457号公報に記載さ
れている次のような工程が知られている。
A conventional method for manufacturing such an ink jet recording head is, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 61-1549.
The following processes are known, which are described in Japanese Patent No. 47 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-253457.

【0006】まず、液体吐出エネルギー発生部を有する
被処理基板2上に感光性樹脂4を形成し(図2−a)、
これをマスク5を介して露光(図2−b)、現像処理を
施して感光性樹脂層4をパターニングし、後に液流路と
なる部分に型材6を形成する(図2−c)。次にインク
供給口を有する天板1を基板2に合わせ(図2−d)、
天板1と基板2の間に活性エネルギー線硬化型あるいは
熱硬化型の液流路構成材料3を注入し(図2−e)、活
性エネルギー線照射あるいは加熱により液流路構成材料
3を硬化させる(図2−f)。次に液流路を形成するた
めに切断を行い、その後型材6を有機溶剤あるいはアル
カリ水溶液を用いて除去し、液流路7を形成する(図2
−g)。次にインク供給口にインク供給部8を接着す
る。
First, a photosensitive resin 4 is formed on a substrate 2 having a liquid discharge energy generating portion (FIG. 2-a),
This is exposed through a mask 5 (FIG. 2-b) and subjected to a developing treatment to pattern the photosensitive resin layer 4, and a mold member 6 is formed in a portion which will later become a liquid flow path (FIG. 2-c). Next, align the top plate 1 having the ink supply port with the substrate 2 (Fig. 2-d),
An active energy ray-curable or thermosetting type liquid flow path constituent material 3 is injected between the top plate 1 and the substrate 2 (FIG. 2-e), and the liquid flow path constituent material 3 is cured by irradiation with active energy rays or heating. (Fig. 2-f). Next, cutting is performed to form a liquid flow path, and then the mold material 6 is removed using an organic solvent or an alkaline aqueous solution to form a liquid flow path 7 (FIG. 2).
-G). Next, the ink supply unit 8 is adhered to the ink supply port.

【0007】ところで基板及び天板に対しては、次の3
点が求められている。
By the way, for the substrate and the top plate, the following 3
Points are sought.

【0008】1.切断時にバリが発生しないこと、或は
切断面の凹凸が発生しないこと、 2.高温環境に置かれた時に、ヘッドが反る或は剥離す
ることがないように、天板と基板の線膨張係数が同一で
あること、 3.インク吐出を不安定にする物質をインクへ溶出する
ことがない耐インク性のある材料を用いること。
[0008] 1. 1. No burrs are generated during cutting, or no unevenness on the cut surface. 2. The top plate and the substrate have the same linear expansion coefficient so that the head does not warp or peel off when placed in a high temperature environment. Use a material with ink resistance that does not elute substances that make ink ejection unstable to ink.

【0009】これらを満足するものとして従来、基板2
についてはシリコン、天板1についてはホウケイ酸ガラ
ス等が用いられていた。
In order to satisfy these requirements, the substrate 2 is conventionally used.
Was used, and borosilicate glass was used for the top plate 1.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最近プ
リンターの低コスト化が進行し、記録ヘッドのコストも
低くする必要が生じている。そこで前記インクジェット
記録ヘッドに用いる基板にアルミニウムを用いるように
なった。しかしながら天板に従来のガラスを使用する
と、コストが高く、高温環境に置かれた時に反る。
However, the recent cost reduction of printers has made it necessary to reduce the cost of recording heads. Therefore, aluminum has come to be used for the substrate used for the ink jet recording head. However, the use of conventional glass for the top plate is expensive and warps when placed in a high temperature environment.

【0011】本発明は上記従来の問題点を解消するため
に成されたもので、低コストで反りのないインクジェッ
ト記録ヘッドを提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above conventional problems, and an object of the present invention is to provide an ink jet recording head which is low in cost and has no warp.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】このため、本発明は、溶
解可能な型材と記録用の液体を吐出する液体吐出エネル
ギー発生体とを有する基板と天板に挟まれた液流路構成
部に、液状樹脂を充填し硬化を行い、前記型材を溶解除
去して液流路を形成するインクジェット記録ヘッドの製
造方法であって、前記基板はアルミニウムを用い、前記
天板は線膨張係数がアルミニウムと同一であるフィラー
添加熱硬化性樹脂を用いることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法によって。
Therefore, the present invention provides a liquid flow path forming section sandwiched between a substrate having a mold material that can be dissolved and a liquid discharge energy generator for discharging a recording liquid and a top plate. A method for manufacturing an inkjet recording head in which a liquid resin is filled and cured, and the mold material is dissolved and removed to form a liquid flow path, wherein the substrate is made of aluminum, and the top plate has a linear expansion coefficient of aluminum. A method for manufacturing an ink jet recording head, characterized in that the same filler-added thermosetting resin is used.

【0013】また、前記の製造方法によって製造された
インクジェット記録ヘッドであって、前記液体吐出エネ
ルギー発生体は、熱エネルギーを発生する電気熱変換体
であること、或は、該インクジェット記録ヘッドが有す
る複数のインク吐出口によって記録媒体の記録領域の全
幅にわたって記録用の液体を吐出できるフルラインタイ
プであることを特徴とするインクジェット記録ヘッドに
よって。
Further, in the ink jet recording head manufactured by the above manufacturing method, the liquid discharge energy generator is an electrothermal converter which generates heat energy, or the ink jet recording head has An inkjet recording head characterized by being a full-line type capable of ejecting a recording liquid over the entire width of a recording area of a recording medium by a plurality of ink ejection ports.

【0014】前記の目的を達成するものである。The above object is achieved.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】前記課題を解決するために、基板
にアルミニウムを用い、該基板と天板に挟まれる液流路
構成部に液状樹脂を充填し硬化を行い液流路を形成する
インクジェット記録ヘッドにおいて、アルミニウムと線
膨張係数が同一であるフィラー添加熱硬化性樹脂を天板
に用いる。
In order to solve the above problems, an ink jet is used in which aluminum is used for a substrate, and a liquid flow path forming portion sandwiched between the substrate and a top plate is filled with a liquid resin and cured to form a liquid flow path. In the recording head, a filler-added thermosetting resin having the same linear expansion coefficient as that of aluminum is used for the top plate.

【0016】前記の用いる熱硬化性樹脂としては、フェ
ノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、
尿素樹脂、メラミン樹脂等が用いられるが、好ましくは
耐インク性に優れるフェノール樹脂、エポキシ樹脂を用
いることが好ましい。
As the thermosetting resin used above, phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin,
A urea resin, a melamine resin, or the like is used, but it is preferable to use a phenol resin or an epoxy resin having excellent ink resistance.

【0017】天板形成時に添加するフィラーは、繊維状
のものとしてはガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維
が、針状のものとしてはウオラストナイト、セピオライ
ト、PMF、石膏繊維、チタン酸カリウム、フォスフェ
ートファイバー、MOS、ゾノトライト、ドーソナイ
ト、針状炭カルが、板状のもとしてはマイカ、タルク、
カオリン、セリサイト、ガラスフレーク、板状炭カル
が、ウイスカーとしては炭化ケイ素、窒化ケイ素、アル
ミナボレート、酸化亜鉛、酸化マグネシウム等が用いら
れるが、一般にガラス繊維が用いられる。
The fibrous fillers added when forming the top plate are glass fibers, carbon fibers and aramid fibers, and the acicular ones are wollastonite, sepiolite, PMF, gypsum fibers, potassium titanate and phosphite. Fate fiber, MOS, xonotlite, dawsonite, acicular charcoal, as plate-shaped mica, talc,
Kaolin, sericite, glass flakes, and plate charcoal are used, and whiskers such as silicon carbide, silicon nitride, alumina borate, zinc oxide, and magnesium oxide are used, but glass fibers are generally used.

【0018】上記の天板を形成するフィラー等を添加し
た樹脂材料は、コストが安く、線膨張係数もアルミニウ
ムと同等に成り得る、中でも熱硬化性樹脂は、樹脂材料
を構成する分子鎖が3次元に架橋した構造となってい
て、インクへの溶出物がなく、溶融しないので切断時の
切断ブレードへの融着もないと考えられ良好な吐出口面
が得られる。
The resin material to which the filler or the like is added to form the top plate is low in cost and can have a linear expansion coefficient similar to that of aluminum. Among them, the thermosetting resin has 3 molecular chains constituting the resin material. Since it has a dimensionally cross-linked structure, there is no eluate in the ink and it does not melt, it is considered that there is no fusion to the cutting blade at the time of cutting, and a good ejection port surface is obtained.

【0019】[0019]

【実施例】以下、実施例を、図1,図2を参照して具体
的に説明する。
EXAMPLES Examples will be specifically described below with reference to FIGS.

【0020】(実施例1)フェノール樹脂30部、ガラ
ス繊維70部からなるフィラー入熱硬化性樹脂を成形し
インク供給部を有する天板1を作成した。
Example 1 A filler-containing thermosetting resin composed of 30 parts of phenol resin and 70 parts of glass fiber was molded to prepare a top plate 1 having an ink supply part.

【0021】次に、液体吐出エネルギー発生部として電
気熱変換素子を形成したアルミニウム基板2上に、感光
性樹脂としてポジ型フォトレジストPMER−AR90
0(東京応化社製)をスピンコートし、プリベークを行
った後、液流路のマスクパターンを介してマスクアライ
ナーPLA−501(キヤノン社製)により3J/cm2
の露光量にて露光を行い、その後、現像処理を行い、ポ
ストベークを行って、液流路となる型材6を形成した
(図2−d)。次に、先に作成した天板1を基板2に合
わせ、天板1と基板2の間に、熱硬化型の液流路構成材
料3を注入した(図2−e)後、熱硬化を行った(図2
−f)。硬化後はヘッドの吐出口面を形成するためにス
ライサーDLS−61(DISCO社製)を用いて超硬
メタルソー(日立ツール社製)で切断を行った。切断後
アセトン中に浸漬してレジストを溶解除去し(図2−
g)、図1の斜視図に示すように複数のノズルを作成し
た。
Next, a positive photoresist PMER-AR90 as a photosensitive resin is formed on the aluminum substrate 2 on which the electrothermal converting element is formed as a liquid discharge energy generating portion.
0 (manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.) was spin-coated, pre-baked, and then 3 J / cm 2 with a mask aligner PLA-501 (manufactured by Canon Inc.) through the mask pattern of the liquid flow path.
The exposure was performed with the exposure amount of 1, then the development processing was performed, and the post-baking was performed to form the mold material 6 that becomes the liquid flow path (FIG. 2D). Next, the top plate 1 prepared above is aligned with the substrate 2, and the thermosetting liquid flow path constituent material 3 is injected between the top plate 1 and the substrate 2 (FIG. 2-e), and then heat curing is performed. Went (Figure 2
-F). After the curing, a slicer DLS-61 (manufactured by DISCO) was used to cut the surface of the head with a cemented carbide saw (manufactured by Hitachi Tool Co.). After cutting, the resist is dissolved and removed by immersing in acetone (Fig. 2-
g), a plurality of nozzles were prepared as shown in the perspective view of FIG.

【0022】(実施例2)エポキシ樹脂30部、ガラス
繊維70部からなるフィラー入熱硬化性樹脂を成形しイ
ンク供給部を有する天板1を作成した。
Example 2 A filler-containing thermosetting resin composed of 30 parts of epoxy resin and 70 parts of glass fiber was molded to prepare a top plate 1 having an ink supply part.

【0023】続いて、実施例1と同様の工程によりイン
クジェット記録ヘッドを完成した。
Then, an ink jet recording head was completed by the same steps as in Example 1.

【0024】(実施例3)フェノール樹脂30部、アル
ミナボレート70部からなるフィラー入熱硬化性樹脂を
成形しインク供給部を有する天板1を作成した。
Example 3 A filler-containing thermosetting resin consisting of 30 parts of phenol resin and 70 parts of alumina borate was molded to prepare a top plate 1 having an ink supply part.

【0025】続いて、実施例1と同様の工程によりイン
クジェット記録ヘッドを完成した。
Then, an ink jet recording head was completed by the same steps as in Example 1.

【0026】(比較例1)ポリフェニレンサルファイド
樹脂40部、ガラス繊維60部からなるフィラー入熱可
塑性樹脂を成形しインク供給部を有する天板を作成し、
続いて、実施例1と同様の工程によりインクジェット記
録ヘッドを完成した。
(Comparative Example 1) A thermoplastic resin containing 40 parts of polyphenylene sulfide resin and 60 parts of glass fiber was molded to prepare a top plate having an ink supply part.
Subsequently, an inkjet recording head was completed by the same steps as in Example 1.

【0027】(比較例2)ポリエーテルイミド樹脂60
部、ガラス繊維40部からなるフィラー入熱可塑性樹脂
を成形しインク供給部を有する天板を作成し、続いて、
実施例1と同様の工程によりインクジェット記録ヘッド
を完成した。
Comparative Example 2 Polyetherimide Resin 60
Part, a thermoplastic resin containing 40 parts of glass fiber is molded to form a top plate having an ink supply part.
An ink jet recording head was completed by the same steps as in Example 1.

【0028】(比較例3)ポリサルフォン樹脂を成形し
インク供給部を有する天板を作成し、続いて、実施例1
と同様の工程によりインクジェット記録ヘッドを完成し
た。
(Comparative Example 3) A polysulfone resin was molded to form a top plate having an ink supply section, and then, Example 1 was used.
An ink jet recording head was completed by the same steps as in.

【0029】更に発明者は、前記実施例及び比較例に示
した材料の線膨張係数、耐インク性、切断後の研削粗
さ、材料コストを評価した。耐インク性評価は、テスト
ピースをキヤノンBJカートリッジBC−01のインク
に120℃2気圧10時間浸漬し、浸漬後のインク中の
溶出物の分析を行った。切断後の研削粗さは、作成した
ヘッドの切断面を観察した。評価結果は表1に示す。
Further, the inventor evaluated the linear expansion coefficient, the ink resistance, the grinding roughness after cutting, and the material cost of the materials shown in the above Examples and Comparative Examples. For the ink resistance evaluation, the test piece was immersed in the ink of the Canon BJ cartridge BC-01 at 120 ° C. under 2 atmospheres for 10 hours, and the eluate in the ink after the immersion was analyzed. As for the grinding roughness after cutting, the cut surface of the prepared head was observed. The evaluation results are shown in Table 1.

【0030】[0030]

【表1】 [Table 1]

【0031】上記の評価結果に示すように、実施例1か
ら実施例3に記載したフィラー入熱硬化性樹脂は、イン
クへの溶出物が無く、研削後の吐出口面の粗れも無く、
コストが低く結果が良好であった。しかしながら比較例
1に示したポリフェニレンサルファイド樹脂とガラス繊
維とからなるフィラー入熱可塑性樹脂は、耐インク性が
あるが、研削後の吐出口面の粗さが大きかった。比較例
2に示すポリエーテルイミド樹脂とガラス繊維とからな
るフィラー入熱可塑性樹脂は、耐インク性が十分でな
く、研削後の吐出口面の粗さも大きかった。比較例3に
示すポリサルフォン樹脂は、耐インク性があるが、アル
ミ基板と線膨張係数が大きく異なるため、ヘッド製作時
加熱されると反ってしまい、研削後の吐出口面の粗さも
大きかった。
As shown in the above evaluation results, the filler heat-curable resins described in Examples 1 to 3 had no eluate into the ink and no roughness on the ejection port surface after grinding.
The cost was low and the result was good. However, the filler-containing thermoplastic resin composed of the polyphenylene sulfide resin and the glass fiber shown in Comparative Example 1 has ink resistance, but the roughness of the ejection port surface after grinding is large. The filler-containing thermoplastic resin composed of the polyetherimide resin and the glass fiber shown in Comparative Example 2 did not have sufficient ink resistance, and the roughness of the ejection port surface after grinding was large. Although the polysulfone resin shown in Comparative Example 3 has ink resistance, it has a large coefficient of linear expansion different from that of the aluminum substrate, so that the polysulfone resin warps when heated during head production, and the roughness of the ejection port surface after grinding is large.

【0032】次に、前記実施例及び比較例にて作成した
インクジェット記録ヘッドを、インクジェット記録装置
BJC−880(キヤノン社製)に搭載し印字評価を行
った。比較例1,比較例2,比較例3のヘッドの印字物
は、ドット欠け或はヨレがあり印字品位が悪かった。そ
れに対して実施例1,実施例2,実施例3の印字物は、
ドット欠けもヨレもなく、印字品位が良好であった。
Next, the ink jet recording heads produced in the above-mentioned Examples and Comparative Examples were mounted on an ink jet recording apparatus BJC-880 (manufactured by Canon Inc.) to evaluate printing. The prints of the heads of Comparative Example 1, Comparative Example 2 and Comparative Example 3 were poor in print quality due to dot missing or twisting. On the other hand, the printed materials of Example 1, Example 2 and Example 3 are
The printing quality was good with no missing dots or distortion.

【0033】なお上記実施例においては、シリアルタイ
プのヘッドを作成したが、記録媒体の記録領域の全幅に
わたって吐出口が多数設けられているフルラインタイプ
のものについても本発明は適用可能である。また、上記
実施例ではエネルギー発生素子に電気熱変換素子を用い
た例を示したが、それ以外のエネルギー発生素子を有す
るインクジェット記録ヘッドにも本発明は有効である。
Although the serial type head is produced in the above embodiment, the present invention is also applicable to the full line type head in which a large number of ejection openings are provided over the entire width of the recording area of the recording medium. Further, in the above-mentioned embodiment, the example in which the electrothermal converting element is used as the energy generating element has been shown, but the present invention is also effective for an ink jet recording head having other energy generating elements.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように、本発明により、イ
ンク吐出性が良好で信頼性があり低コストなインクジェ
ット記録ヘッドが提供可能となった。そして更なる効果
としては、インク供給部が天板と一体成形できるので、
製造工程が簡略化できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ink jet recording head which has good ink dischargeability, reliability, and low cost. And as a further effect, since the ink supply part can be integrally molded with the top plate,
The manufacturing process can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明実施例により製造したインクジェット
記録ヘッドの斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of an inkjet recording head manufactured according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明実施例のインクジェット記録ヘッドの
製造方法を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing an inkjet recording head according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 天板 2 基板 3 液流路構成部、液流路構成材料 4 感光性樹脂層 5 マスク 6 型材 7 液流路 8 インク供給部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Top plate 2 Substrate 3 Liquid flow path constituent part, liquid flow path constituent material 4 Photosensitive resin layer 5 Mask 6 Mold material 7 Liquid flow path 8 Ink supply part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 溶解可能な型材と記録用の液体を吐出す
る液体吐出エネルギー発生体とを有する基板と天板に挟
まれた液流路構成部に、液状樹脂を充填し硬化を行い、
前記型材を溶解除去して液流路を形成するインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法であって、 前記基板はアルミニウムを用い、前記天板は線膨張係数
がアルミニウムと同一であるフィラー添加熱硬化性樹脂
を用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
製造方法。
1. A liquid flow path forming section sandwiched between a substrate having a meltable mold material and a liquid discharge energy generator for discharging a recording liquid and a top plate is filled with a liquid resin and cured.
A method of manufacturing an ink jet recording head, wherein the mold material is dissolved and removed to form a liquid flow path, wherein the substrate is made of aluminum, and the top plate is made of a filler-added thermosetting resin having the same linear expansion coefficient as that of aluminum. A method for manufacturing an ink jet recording head, which is characterized by being used.
【請求項2】 請求項1記載の製造方法によって製造さ
れたインクジェット記録ヘッドであって、前記液体吐出
エネルギー発生体は、熱エネルギーを発生する電気熱変
換体であることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。
2. The ink jet recording head manufactured by the manufacturing method according to claim 1, wherein the liquid discharge energy generator is an electrothermal converter that generates heat energy. .
【請求項3】 請求項1記載の製造方法によって製造さ
れたインクジェット記録ヘッドであって、該インクジェ
ット記録ヘッドが有する複数のインク吐出口によって記
録媒体の記録領域の全幅にわたって記録用の液体を吐出
できるフルラインタイプであることを特徴とするインク
ジェット記録ヘッド。
3. An inkjet recording head manufactured by the manufacturing method according to claim 1, wherein a plurality of ink ejection ports of the inkjet recording head can eject a recording liquid over the entire width of a recording region of a recording medium. An inkjet recording head characterized by being a full line type.
JP19321595A 1995-07-28 1995-07-28 Ink jet recording head and manufacture thereof Withdrawn JPH0939252A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000313116A (en) * 1996-04-11 2000-11-14 Citizen Watch Co Ltd Ink jet head and manufacture thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000313116A (en) * 1996-04-11 2000-11-14 Citizen Watch Co Ltd Ink jet head and manufacture thereof

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