JPH07178914A - Ink jet head and production thereof - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To prevent the peeling of the barrier parts on both sides of the liquid passages and emitting orifices, which are formed from a thermosetting resin material laminated on a substrate, from the substrate. CONSTITUTION:In a liquid jet recording head having a plurality of liquid passages 12 and emitting orifices 13 formed to its substrate 11 using a resin material, the cross-sectional shape of the liquid passages 12 and the emitting orifices 13 is set to a T-shape narrowed in the width on the side of the substrate 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に適用される記録液小滴を発生するためのインクジェ
ットヘッドおよびその製造方法に関し、特にエッジシュ
ータ型のインクジェットヘッドおよびその製造方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inkjet head for producing recording liquid droplets applied to an inkjet recording method and a method for manufacturing the same, and more particularly to an edge shooter type inkjet head and a method for manufacturing the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（オリフィス）、液路および液路の一部
に設けられた液体吐出エネルギー発生手段を備えてい
る。図３はこのような従来の液体噴射記録ヘッドの構成
例を示すもので、ここで、１０１はその基板、１０２は
基板１０１上に形成されている液路である。なお、基板
１０１上には複数の液路１０２が並列に形成されてい
て、その各先端部に記録液（以下ではインクという）を
吐出させるインク吐出口１０３が設けられると共に、各
液路１０２ごとに吐出エネルギー発生手段として本例の
場合、電気熱変換素子１０４が配設されている。なお、
個々の電気熱変換素子１０４には吐出信号を供給するた
めの配線（不図示）が基板１０１上に形成されている。
１０５は各液路１０２にインクを供給する共通液室、１
０６は隣接する液路間および共通液室１０５周りを仕切
っているバリアー、１０７は天板部である。2. Description of the Related Art A liquid jet recording head applied to an ink jet recording system (liquid jet recording system) generally has a fine recording liquid discharge port (orifice), a liquid passage and a liquid discharge energy provided in a part of the liquid passage. Equipped with generating means. FIG. 3 shows an example of the configuration of such a conventional liquid jet recording head, in which 101 is a substrate thereof, and 102 is a liquid passage formed on the substrate 101. It should be noted that a plurality of liquid paths 102 are formed in parallel on the substrate 101, an ink ejection port 103 for ejecting a recording liquid (hereinafter referred to as ink) is provided at each tip portion thereof, and each liquid path 102 is provided. In the case of this example, the electrothermal conversion element 104 is disposed as the discharge energy generating means. In addition,
Wirings (not shown) for supplying ejection signals are formed on the substrate 101 for each electrothermal conversion element 104.
Reference numeral 105 denotes a common liquid chamber for supplying ink to each liquid path 102, and 1
Reference numeral 06 denotes a barrier partitioning between adjacent liquid passages and the periphery of the common liquid chamber 105, and 107 a top plate portion.

【０００３】ところで、このような液体噴射記録ヘッド
を作成する従来の方法としては、例えば特開昭６１−１
５４９４７号公報や特開昭６２−２５３４５７号に開示
されている図４に示すような工程が知られている。By the way, as a conventional method for producing such a liquid jet recording head, for example, JP-A-61-1 is used.
The process shown in FIG. 4 disclosed in Japanese Patent Publication No. 54947 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-253457 is known.

【０００４】まず、その（Ａ）に示すように被処理基板
１上に感光性樹脂層（ポジ型フォトレジスト層）２を形
成し、その上方から（Ｂ）に示すようにマスク３を介し
て光線ｈνによる露光を行った上、現像処理を施して
（Ｃ）に示すような感光性樹脂層のパターンを形成し、
これによって被処理基板１上に液路となる型材を形成す
る。次に、（Ｄ）の過程でパターニングされた型材４上
に活性エネルギー線硬化型あるいは熱硬化型の天板部お
よびバリアー形成用の樹脂材料５を被覆し、（Ｅ）の過
程で活性エネルギー線照射、あるいは加熱により上記活
性エネルギー線硬化型あるいは熱硬化型の樹脂材料５を
硬化させる。そして、このあと、上記パターニングされ
た型材４を含ハロゲン炭化水素，ケトン，エステル，エ
ーテル，アルコール等の有機溶剤あるいは水酸化ナトリ
ウム，水酸化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて溶解
除去し、（Ｆ）に示すようにして液路６と共にバリアー
７および天板部８を形成する。First, as shown in (A), a photosensitive resin layer (positive photoresist layer) 2 is formed on a substrate 1 to be processed, and a mask 3 is provided from above the photosensitive resin layer (positive photoresist layer) 2 as shown in (B). After exposure with a light ray hν, development processing is performed to form a pattern of the photosensitive resin layer as shown in (C),
As a result, a mold material that serves as a liquid path is formed on the substrate 1 to be processed. Next, the pattern material 4 patterned in the step (D) is coated with an active energy ray-curable or thermosetting top plate portion and a resin material 5 for forming a barrier, and in the step (E), the active energy ray is used. The active energy ray curable or thermosetting resin material 5 is cured by irradiation or heating. Then, after that, the patterned mold material 4 is dissolved and removed by using an organic solvent such as a halogen-containing hydrocarbon, a ketone, an ester, an ether or an alcohol or an alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, (F). The barrier 7 and the top plate portion 8 are formed together with the liquid passage 6 as shown in FIG.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の方法によって液体噴射記録ヘッドを製造
する場合、活性エネルギー線あるいは熱硬化型の液路形
成用材料と液体吐出エネルギー発生手段が形成されてい
る基板との接着面積は、ノズルの高密度化が進むにつれ
て小さくなる傾向があり、このため、高密度記録を達成
するために吐出口間隔を狭く配置した液体噴射記録ヘッ
ドにおいては、樹脂材料５と基板１との接着力が不足す
ることから、樹脂材料５あるいは基板１に発生する僅か
な内部応力により剥離が発生し、最悪の場合は記録中に
液路６を形成しているバリアー７の部分が基板１から剥
離してしまうという問題が発生する。However, when the liquid jet recording head is manufactured by the conventional method as described above, the active energy ray or thermosetting type liquid path forming material and the liquid discharge energy generating means are formed. The area of adhesion to the substrate that is being formed tends to become smaller as the density of the nozzles increases, so that in the liquid jet recording head in which the intervals between the ejection openings are narrowed to achieve high density recording, the resin material Since the adhesive force between the substrate 5 and the substrate 1 is insufficient, peeling occurs due to a slight internal stress generated in the resin material 5 or the substrate 1, and in the worst case, the barrier 7 forming the liquid path 6 during recording. There arises a problem that the part is peeled from the substrate 1.

【０００６】本発明の目的は、このような障害が発生し
ないようにした信頼性の高いインクジェットヘッドおよ
びその製造方法を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a highly reliable ink jet head and a method of manufacturing the same, in which such trouble does not occur.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】かかる目的は、次に示す
手段により達成することができる。即ち、本発明による
インクジェットヘッドは、液体吐出エネルギー発生手段
を有する基板上に、樹脂材料の積層によって並列に形成
された複数の液路と、個々の該液路の端部に形成された
吐出口とを有し、前記液体吐出エネルギー発生手段の選
択的駆動により前記吐出口から液体を被記録材に向けて
吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記吐出口お
よび前記液路の断面形状を前記基板側の幅を狭くしたＴ
字型としたことを特徴とするものである。The above object can be achieved by the following means. That is, the ink jet head according to the present invention has a plurality of liquid passages formed in parallel by stacking resin materials on a substrate having a liquid ejection energy generating means, and ejection ports formed at end portions of the respective liquid passages. In the ink jet head for ejecting liquid from the ejection port toward the recording material by selectively driving the liquid ejection energy generating means, a cross-sectional shape of the ejection port and the liquid path is set to a width on the substrate side. Narrowed T
It is characterized by having a letter shape.

【０００８】また、本発明によるインクジェットヘッド
の製造方法は、液体吐出エネルギー発生手段を有する基
板上に、感光性樹脂材料により前記基板側の幅を狭くし
たＴ字型断面形状を有する液路および吐出口形成のため
の型材をフォトリソグラフィーにより形成し、該型材上
に活性エネルギー線硬化型材料もしくは熱硬化型材料を
被覆して硬化させた後、前記型材を溶解除去することに
より前記液路および吐出口を形成することを特徴とする
ものである。Further, in the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention, a liquid passage and a discharge having a T-shaped cross section whose width on the substrate side is narrowed by a photosensitive resin material is formed on a substrate having a liquid discharge energy generating means. A mold material for forming the outlet is formed by photolithography, and the mold material is coated with an active energy ray curable material or a thermosetting material to be cured, and then the mold material is dissolved and removed to remove the liquid path and the discharge. It is characterized by forming an outlet.

【０００９】[0009]

【作用】本発明によれば、吐出口および液路の断面形状
を基板側の幅を狭くしたＴ字型としたことにより樹脂材
料の積層によって形成される吐出口および液路の両側の
バリアー部分と基板との接合面積を広く確保することが
でき、その間の剥離が防止される。According to the present invention, the cross-sectional shapes of the discharge port and the liquid passage are T-shaped with the width on the substrate side narrowed, so that the barrier portions on both sides of the discharge port and the liquid passage are formed by laminating the resin material. It is possible to secure a wide bonding area between the substrate and the substrate and prevent peeling between them.

【００１０】[0010]

【実施例】以下に、図面を参照して本発明による記録ヘ
ッドの製造方法を詳細かつ具体的に説明するが、それに
先立ち、本発明にかかるインクジェットヘッドの構成例
を図１に示しておく。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method of manufacturing a recording head according to the present invention will be described below in detail and specifically with reference to the drawings. Prior to that, an example of the construction of an inkjet head according to the present invention is shown in FIG.

【００１１】なお、本発明においては、例えば、ガラ
ス，セラミックス，プラスチック，金属等からなる基板
１１を用いることができる。このような基板１１は液路
１２および共通液室１５の構成材料の一部として機能
し、また、後述の型材および硬化性材料形成時の支持体
として機能するものであり、この場合は、その形状、材
質等特に限定されることなく使用することができる。In the present invention, for example, the substrate 11 made of glass, ceramics, plastic, metal or the like can be used. Such a substrate 11 functions as a part of the constituent material of the liquid passage 12 and the common liquid chamber 15, and also functions as a support at the time of forming a mold material and a curable material described later. It can be used without any particular limitation on the shape and material.

【００１２】図１に示すように、本発明による液路１２
およびインク吐出口１３はその断面形状がＴ字型に形成
されるものである。また、１４は基板１１上に配設され
た電気熱変換素子あるいは圧電素子などの吐出エネルギ
ー発生手段であり、これらの吐出エネルギー発生手段１
４によって液路１２内のインクに選択的に吐出エネルギ
ーが付与されることによりインクが小滴となって吐出さ
れ、記録が行われる。また、バリアー部１６は天板部１
７と共に後述する手順に従って硬化性材料により一体に
形成されるものである。なお、上記吐出エネルギー発生
手段１４として電気熱変換素子が用いられる場合には、
この素子が近傍のインクを加熱することにより吐出エネ
ルギーを発生する。また、上記吐出エネルギー発生手段
１４として圧電素子が用いられる場合には、この素子の
機械的振動によって吐出エネルギーが発生される。As shown in FIG. 1, the liquid passage 12 according to the present invention.
Also, the ink ejection port 13 has a T-shaped cross section. Further, 14 is a discharge energy generating means such as an electrothermal conversion element or a piezoelectric element arranged on the substrate 11, and these discharge energy generating means 1
By ejecting energy selectively to the ink in the liquid path 12 by 4, the ink is ejected as a small droplet and recording is performed. In addition, the barrier portion 16 is the top plate portion 1.
It is integrally formed of a curable material according to the procedure described later together with 7. When an electrothermal conversion element is used as the ejection energy generating means 14,
This element heats ink in the vicinity to generate ejection energy. When a piezoelectric element is used as the ejection energy generating means 14, ejection energy is generated by mechanical vibration of the element.

【００１３】なお、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上等を目的として、保護層等の各種の機
能層が設けられるが、本発明においてもこのような機能
層を設けることが可能なことはいうまでもない。In general, various functional layers such as a protective layer are provided for the purpose of improving the durability of these ejection energy generating elements, but it is also possible to provide such a functional layer in the present invention. Needless to say.

【００１４】続いて、図２に従い本発明液体噴射記録ヘ
ッドの製造にかかるインク吐出口１３および液路１２の
形成手順について説明する。Next, the procedure for forming the ink discharge ports 13 and the liquid passages 12 for manufacturing the liquid jet recording head of the present invention will be described with reference to FIG.

【００１５】まず、図２の（Ａ）には基板１１上に例え
ば感光性樹脂材料（ポジ型フォトレジスト材料）を用い
て第１のレジスト層２０を形成する過程が示されてい
る。なお、この第１のレジスト層２０は図１に示すイン
ク吐出口１３および液路１２の内幅を狭めて形成される
部分（以下で基板側吐出口部１３Ａおよび基板側液路部
１２Ａという）形成のために積層されるものである。つ
いで図２の（Ｂ）で基板側液路部１２Ａおよび基板側吐
出部１３Ａと対応する位置にパターンが形成された第１
のマスク２１を第１レジスト層２０の上方に配置し、露
光用光源からの感光波長域を有する光線ｈνにより第１
回目の露光を行う。First, FIG. 2A shows a process of forming the first resist layer 20 on the substrate 11 by using, for example, a photosensitive resin material (positive photoresist material). The first resist layer 20 is a portion formed by narrowing the inner width of the ink ejection port 13 and the liquid passage 12 shown in FIG. 1 (hereinafter referred to as the substrate side ejection port portion 13A and the substrate side liquid passage portion 12A). It is laminated for forming. Next, in FIG. 2B, a first pattern is formed at positions corresponding to the substrate-side liquid passage portion 12A and the substrate-side discharge portion 13A.
Of the mask 21 is placed above the first resist layer 20, and the first light beam hν having a photosensitive wavelength range from the exposure light source
Perform the second exposure.

【００１６】図２の（Ｃ）は（Ｂ）で露光を終えた第１
レジスト層２０の更に上面に第２のレジスト層２２を形
成する工程を示す。なお、この第２レジスト層２２は図
１に示すインク吐出口１３および液路１２のうち、幅を
広めて形成される部分（以下で天板側吐出部１３Ｂおよ
び天板側液路部１２Ｂという）成形のために積層される
ものである。FIG. 2C shows the first exposure completed in FIG.
A step of forming the second resist layer 22 on the upper surface of the resist layer 20 will be shown. The second resist layer 22 is a portion of the ink ejection port 13 and the liquid passage 12 shown in FIG. 1 that is formed to have a wider width (hereinafter, referred to as a top plate-side ejection portion 13B and a top plate-side liquid passage portion 12B. ) It is laminated for molding.

【００１７】図２の（Ｄ）は（Ｃ）で積層された第２レ
ジスト層２２の上方に第２のマスク２３を配置し、光線
ｈνによる第２の露光を行う工程を示す。ここで、第２
のマスク２３には天板側吐出部１３Ｂおよび天板側液路
１２Ｂに対応する幅のパターンが形成されており、この
ような露光によって上述の吐出部１３Ｂおよび液路１２
Ｂを除く部分だけが露光されたことになる。なお、図示
はしないが、図１に示す共通液室１５の形成にあたって
は、図２の（Ｂ）および（Ｄ）に示した第１回目および
第２回目の露光にあたり、共通液室１５形成部分の全面
にわたりマスキングすればよい。FIG. 2D shows a step of arranging a second mask 23 above the second resist layer 22 laminated in FIG. 2C and performing a second exposure with a light ray hν. Where the second
The mask 23 is provided with a pattern having a width corresponding to the top plate-side ejection portion 13B and the top plate-side liquid passage 12B. By such exposure, the ejection portion 13B and the liquid passage 12 described above are formed.
Only the portion except B is exposed. Although not shown, in forming the common liquid chamber 15 shown in FIG. 1, the common liquid chamber 15 is formed in the first and second exposures shown in FIGS. 2B and 2D. All over the surface should be masked.

【００１８】以上に述べてきた図２の（Ａ）から（Ｄ）
までの工程は、本発明にかかるインク吐出口１３および
液路１２形成のための型として作用する部分を作成する
ための前工程であり、図２の（Ｅ）および（Ｆ）に上記
の型を基板１１上に形成する工程を示す。すなわち、
（Ａ）〜（Ｄ）の工程により露光された部分のみを可溶
化の状態に保つことができるので、まず（Ｅ）の段階で
第２レジスト層２２の露光部分を現像によって除去し、
更に（Ｆ）の段階で第１レジスト層２０の露光部分を同
じく現像によって除去する。（Ｅ）および（Ｆ）におい
て、２２Ａ，２０Ａは現像の結果、形成された吐出口１
３および液路１２の型材である。なお、本例においては
第２レジスト層２２と第１レジスト層２０との現像処理
を２段階の工程で行うようにしたが、（Ｅ）および
（Ｆ）の工程を同時に行うようにしてもよい。2A to 2D described above with reference to FIG.
The steps up to are pre-processes for forming a portion that acts as a mold for forming the ink discharge port 13 and the liquid path 12 according to the present invention, and the above molds are shown in FIGS. 2 (E) and 2 (F). A process of forming the film on the substrate 11 will be described. That is,
Since only the portion exposed by the steps (A) to (D) can be kept in a solubilized state, first, the exposed portion of the second resist layer 22 is removed by development in the step (E),
Further, in step (F), the exposed portion of the first resist layer 20 is also removed by development. In (E) and (F), 22A and 20A are discharge ports 1 formed as a result of development.
3 and the liquid passage 12. In this example, the development process of the second resist layer 22 and the first resist layer 20 is performed in two steps, but the steps (E) and (F) may be performed at the same time. .

【００１９】ついで、（Ｇ）の工程で上述のようにして
得られた型材２０Ａ，２２Ａの周りを充填する形で基板
１１上を硬化性樹脂材料２４で所定の厚さとなるまで被
覆し、光照射または熱処理を施して硬化性樹脂材料２４
を硬化させる。かくして、天板部１５およびバリアー部
１６となる部分を基板１１上に一体形成することができ
るので、このあと（Ｈ）の工程で型材２２Ａ，２０Ａを
薬品により溶融除去し、図１に示したような液体噴射記
録ヘッドに仕上げることができる。Then, in the step (G), the substrate 11 is coated with the curable resin material 24 so as to fill the periphery of the mold materials 20A and 22A obtained as described above until a predetermined thickness is reached, and the light is applied. Curable resin material 24 that is irradiated or heat-treated
Cure. Thus, since the portions to be the top plate portion 15 and the barrier portion 16 can be integrally formed on the substrate 11, after that, in the step (H), the mold materials 22A and 20A are melted and removed by chemicals and shown in FIG. Such a liquid jet recording head can be finished.

【００２０】なお、上記の硬化性樹脂材料２４として
は、光照射や熱処理によって硬化可能なものであればよ
いが、これらの材料と基板１１とによりインク吐出口１
３，液路１２および共通液室１５が形成されるものであ
るから、好ましくは基板１１との密着性，機械的強度お
よび耐蝕性等の面で優れたものであることが望ましい。The curable resin material 24 may be any material that can be cured by light irradiation or heat treatment, and the ink ejection port 1 can be formed by these materials and the substrate 11.
3. Since the liquid passage 12 and the common liquid chamber 15 are formed, it is preferable that the liquid passage 12 and the common liquid chamber 15 are excellent in terms of adhesion with the substrate 11, mechanical strength, corrosion resistance, and the like.

【００２１】以下に、本発明にかかる液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法を具体的な実施例によって説明する。Hereinafter, a method of manufacturing a liquid jet recording head according to the present invention will be described with reference to specific examples.

【００２２】実施例１ 液体吐出エネルギー発生手段としての電気熱変換素子を
形成したガラス被処理基板上にポジ型フォトレジストＡ
Ｚ−４９０３（ヘキスト社製）を膜厚５μｍとなるよう
にスピンコートし、オーブン中９０℃で２０分間のプリ
ベークを行って第１のレジスト層を形成した。この第１
レジスト層上にＴ字型インク吐出口および液路の下層部
分すなわち、基板側部分を形成するマスクパターンを介
してパターン露光を行った後、０．１ｍｍＨｇの真空条
件下で３０分間の脱気処理を行った。Example 1 A positive photoresist A was formed on a glass substrate on which an electrothermal conversion element was formed as a liquid discharge energy generating means.
Z-4903 (manufactured by Hoechst) was spin-coated to a film thickness of 5 μm, and prebaked in an oven at 90 ° C. for 20 minutes to form a first resist layer. This first
After pattern exposure is performed on the resist layer through a mask pattern that forms the lower layer portion of the T-shaped ink ejection port and the liquid path, that is, the substrate side portion, deaeration treatment is performed for 30 minutes under a vacuum condition of 0.1 mmHg. I went.

【００２３】次に、第１のレジスト層上にポジ型ドライ
フィルムとしてオザテックＲ−２２５（ヘキスト社製，
膜厚２５μｍ）をラミネートし、オーブン中１１０℃で
２０分間のプリベークを行って第２のレジスト層を形成
した。次いでＴ字型インク吐出口および液路の上層部分
すなわち天板側の部分を形成するマスクパターンを介し
てパターン露光した後、水酸化ナトリウム水溶液を用い
て現像処理し、引き続いてイオン交換水によるリンス処
理を行ってＴ字型のレジストパターンを得た。Next, on the first resist layer, as a positive type dry film, Osatech R-225 (manufactured by Hoechst Co.,
A film thickness of 25 μm) was laminated and prebaked in an oven at 110 ° C. for 20 minutes to form a second resist layer. Next, pattern exposure is performed through a mask pattern that forms the upper portion of the T-shaped ink ejection port and the liquid path, that is, the portion on the top plate side, followed by development treatment using an aqueous sodium hydroxide solution, and then rinsing with ion-exchanged water. By performing the treatment, a T-shaped resist pattern was obtained.

【００２４】次に、このレジストパターン上に日本ユニ
オンカーバイト社製エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １重量部 から成る光硬化性材料を被覆し、全面露光および熱処理
を行って硬化させた後、アセトン中で超音波処理を行
い、レジストパターンを除去して６００ｄｐｉ相当のノ
ズルを有する液体噴射記録ヘッドを得た。Next, on this resist pattern, epoxy resin Cyracure UVR-6110 40 parts by weight of Japan Union Carbide Co., Ltd. Cyracure UVR-6200 20 parts by weight Cyracure UVR-6351 40 parts by weight and triphenylsulfonium hexafluoroantimonate 1 After coating with a photo-curable material consisting of 1 part by weight, exposing the entire surface and curing to cure, ultrasonic treatment is performed in acetone, the resist pattern is removed, and a liquid jet recording head having a nozzle equivalent to 600 dpi is formed. Obtained.

【００２５】このようにして作成されたインク吐出口お
よび液路部分を光学顕微鏡により観察したところ、上記
の樹脂材料によって形成されたバリアー部および天板部
の基板からの剥離は全く観察されなかった。さらに、こ
のようにして作成された液体噴射記録ヘッドにより、安
定した記録が可能であった。When observing the ink discharge port and the liquid path portion thus formed with an optical microscope, no peeling of the barrier portion and the top plate portion formed of the above resin material from the substrate was observed. . Further, stable recording was possible with the liquid jet recording head thus manufactured.

【００２６】実施例２ 液体吐出エネルギー発生手段としての電気熱変換素子を
形成したガラス被処理基板上にｍ−，ｐ−クレゾールノ
ボラック共重合体，ｏ−ナフトキノンジアジド誘導体お
よびトリエタノールアミンからなるイメージリバーサル
用レジストを膜厚５μｍとなるようにスピンコートし、
オーブン中９０℃で２０分間のプリベークを行って第１
のレジスト層を形成した。この第１レジスト層上にＴ字
型インク吐出口および液路の下層部分を形成するマスク
パターンを介してパターン露光した後、加熱，全面露光
処理を行った。Example 2 An image reversal consisting of an m-, p-cresol novolac copolymer, an o-naphthoquinonediazide derivative and triethanolamine on a glass substrate on which an electrothermal conversion element was formed as a liquid discharge energy generating means. Spin coating to a film thickness of 5 μm,
First, pre-bake at 90 ° C for 20 minutes in the oven.
The resist layer of was formed. After pattern exposure was performed on the first resist layer through a mask pattern forming a T-shaped ink ejection port and a lower layer portion of the liquid path, heating and whole surface exposure processing were performed.

【００２７】次に、第１のレジスト層上にポジ型ドライ
フィルムとしてオザテックＲ−２２５（ヘキスト社製，
膜厚２５μｍ）をラミネートし、オーブン中１１０℃で
２０分間のプリベークを行って第２のレジスト層を形成
した。次いでＴ字型インク吐出口および液路の上層部分
を形成するマスクパターンを介してパターン露光した
後、水酸化ナトリウム水溶液を用いて現像処理し、引き
続いてイオン交換水によるリンス処理を行ってＴ字型の
レジストパターンを得た。Next, on the first resist layer, as a positive type dry film, Osatech R-225 (manufactured by Hoechst Co.,
A film thickness of 25 μm) was laminated and prebaked in an oven at 110 ° C. for 20 minutes to form a second resist layer. Next, after pattern exposure is performed through a mask pattern that forms the upper portion of the T-shaped ink discharge port and the liquid path, development processing is performed using an aqueous sodium hydroxide solution, and subsequently, rinse treatment with ion-exchanged water is performed to form a T-shape. A mold resist pattern was obtained.

【００２８】次に、レジストパターン上に日本ユニオン
カーバイト社製エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １重量部 から成る光硬化性材料を被覆し、全面露光および熱処理
を行って硬化させた後、アセトン中で超音波処理を行
い、レジストパターンを除去して６００ｄｐｉ相当のノ
ズルを有する液体噴射記録ヘッドを得た。Next, 40 parts by weight of epoxy resin Cyracure UVR-6110 manufactured by Japan Union Carbide Co., Ltd. 20 parts by weight of Cyracure UVR-6200 40 parts by weight of Cyracure UVR-6351 and 1 part by weight of triphenylsulfonium hexafluoroantimonate on the resist pattern. Part of a photo-curable material is coated, and the whole surface is exposed and heat-treated to cure, and then ultrasonic treatment is performed in acetone to remove the resist pattern to obtain a liquid jet recording head having a nozzle equivalent to 600 dpi. It was

【００２９】このようにして作成されたインク吐出口お
よび液路を光学顕微鏡により観察したところ、上記の樹
脂材料によって形成されたバリアー部および天板部の基
板からの剥離は全く観察されなかった。さらに、このよ
うにして作成された液体噴射記録ヘッドにより、安定し
た記録が可能であった。When the ink discharge port and the liquid path thus formed were observed with an optical microscope, no peeling of the barrier portion and the top plate portion formed of the above resin material from the substrate was observed. Further, stable recording was possible with the liquid jet recording head thus manufactured.

【００３０】なお、上述の実施例によって作成した記録
ヘッドをこれまでの製造によるものと比較するために、
下記のようにして記録ヘッドの作成を行った。In order to compare the recording head manufactured according to the above-mentioned embodiment with those manufactured by the above-mentioned manufacturing,
A recording head was prepared as follows.

【００３１】比較例 液体吐出エネルギー発生手段としての電気熱変換素子を
形成したガラス被処理基板上にポジ型フォトレジストＡ
Ｚ−４９０３（ヘキスト社製）を膜厚３０μｍとなるよ
うスピンコートし、オーブン中９０℃で４０分間のプリ
ベークを行ってレジスト層を形成した。このレジスト層
上にインク吐出口および液路形成用のマスクパターンを
介してパターン露光した後、水酸化ナトリウム水溶液を
用いて現像し、ついでイオン交換水でリンス処理を施
し、オーブン中７０℃で３０分間のポストベークを行
い、レジストパターンを得た。Comparative Example A positive photoresist A was formed on a glass substrate on which an electrothermal conversion element was formed as a liquid discharge energy generating means.
Z-4903 (manufactured by Hoechst) was spin-coated to a film thickness of 30 μm, and prebaked at 90 ° C. for 40 minutes in an oven to form a resist layer. Pattern exposure is performed on the resist layer through an ink discharge port and a mask pattern for forming a liquid path, followed by development using an aqueous solution of sodium hydroxide, followed by rinsing with ion-exchanged water, and an oven at 70 ° C. for 30 minutes. Post-baking was performed for 1 minute to obtain a resist pattern.

【００３２】次に、このレジストパターン上に１．０Ｊ
／ｃｍ² の露光量で全面露光を行い、０．１ｍｍＨｇの
真空条件下で３０分間の脱気処理を行った後、日本ユニ
オンカーバイト社製エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １重量部 から成る光硬化性材料を被覆し、全面露光および熱処理
を行って硬化させた後、アセトン中で超音波処理を行
い、レジストパターンを除去して６００ｄｐｉ相当のイ
ンク吐出口列を有する液体噴射記録ヘッドを得た。Next, 1.0 J is formed on this resist pattern.
/ Cm ² exposure on the entire surface, and after degassing for 30 minutes under a vacuum condition of 0.1 mmHg, epoxy resin Cyracure UVR-6110 40 parts by weight Cycure UVR-6200 manufactured by Japan Union Carbide Co. 20 parts by weight Cyracure UVR-6351 40 parts by weight and triphenylsulfonium hexafluoroantimonate 1 part by weight A photo-curable material is coated, and the whole surface is exposed and heat-treated to cure, followed by ultrasonic treatment in acetone. Then, the resist pattern was removed to obtain a liquid jet recording head having an ink ejection port array of 600 dpi.

【００３３】このようにして作成されたインク吐出口お
よび液路を光学顕微鏡により観察したところ、吐出口間
や液路間において上記樹脂材料によって形成されたバリ
アー部の基板からの剥離が観察された。When the ink discharge ports and the liquid passages thus formed were observed with an optical microscope, peeling of the barrier portion formed of the above resin material from the substrate was observed between the discharge ports and the liquid passages. .

【００３４】図５は本発明液体噴射記録ヘッドの適用が
可能な液体噴射記録装置の構成例を示す。ここで、ＩＪ
Ｃはインクタンクと液体噴射記録ヘッド１０００とが一
体形のインクジェットカートリッジであり、キャリッジ
ＨＣに搭載されている。５００２は被記録材である記録
シートＰを記録位置に保持するプラテン、５００３およ
び５００４はキャリッジＨＣを記録シートＰに沿って移
動させるための案内軸およびリードスクリューであり、
リードスクリュー５００４にはスクリューねじ５００５
が形成されていて、キャリッジＨＣ側の不図示の係合ピ
ンがスクリューねじ５００５と係合することにより、リ
ードスクリュー５００４の回転に合わせて、キャリッジ
ＨＣが移動される。FIG. 5 shows a structural example of a liquid jet recording apparatus to which the liquid jet recording head of the present invention can be applied. Where IJ
C is an ink jet cartridge in which the ink tank and the liquid jet recording head 1000 are integrated, and is mounted on the carriage HC. Reference numeral 5002 denotes a platen for holding the recording sheet P as a recording material at the recording position, 5003 and 5004 denote guide shafts and lead screws for moving the carriage HC along the recording sheet P,
The lead screw 5004 has a screw screw 5005.
Is formed, and the engagement pin (not shown) on the carriage HC side engages with the screw screw 5005, so that the carriage HC is moved according to the rotation of the lead screw 5004.

【００３５】また、５００６はキャリッジＨＣから突出
したしゃ蔽突起、５００７はストッパ、５００８はしゃ
蔽突起５００６のしゃ蔽によって、キャリッジＨＣのホ
ームポジション位置を検出するセンサ、５００９および
５０１１は駆動モータ５０１３により駆動されるギアで
あり、記録時にはこれらのギア５００９，５０１１を介
してリードスクリュー５００４が所定のタイミングで駆
動され、キャリッジＨＣと共に記録ヘッド１０００を走
査させて記録ヘッド１０００からインクを吐出させ、記
録シートＰ上に記録を行うことができる。５０１６およ
び５０１７はキャリッジＨＣがホームポジション近傍に
あるときに、記録ヘッド１に対する回復動作にかかわる
キャップ部材および掃拭部材である。Further, 5006 is a shielding projection protruding from the carriage HC, 5007 is a stopper, 5008 is a sensor for detecting the home position position of the carriage HC by shielding the shielding projection 5006, and 5009 and 5011 are drive motors 5013. The lead screw 5004 is driven at a predetermined timing via these gears 5009 and 5011 at the time of recording, and causes the recording head 1000 to scan with the carriage HC to eject ink from the recording head 1000, thereby recording sheets. Recording can be done on P. Reference numerals 5016 and 5017 are a cap member and a wiping member involved in the recovery operation for the recording head 1 when the carriage HC is near the home position.

【００３６】なお、図５では単体のインクジェットカー
トリッジＩＪＣをキャリッジＨＣに搭載して記録を行う
インクジェット記録装置ＩＪＲＡの場合について述べた
が、本発明液体噴射記録ヘッド１０００の適用はこれに
限られるものではなく、インクタンクと記録ヘッドとが
別に設けられるものでもよくまた、カラーインクジェッ
ト記録装置は勿論のこと、シリアルでなく、被記録材の
幅一杯にわたって記録が可能なフルライン記録にも適用
できることはいうまでもない。Although FIG. 5 shows the case of the inkjet recording apparatus IJRA in which a single inkjet cartridge IJC is mounted on the carriage HC for recording, the application of the liquid jet recording head 1000 of the present invention is not limited to this. Alternatively, an ink tank and a recording head may be separately provided, and it can be applied not only to a color ink jet recording apparatus but also to a full line recording capable of recording over the width of a recording material instead of serial. There is no end.

【００３７】なお、本発明は、特にインクジェット記録
方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用される
エネルギとして熱エネルギを発生する手段（例えば電気
熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギにより
インクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、記録
装置において優れた効果をもたらすものである。かかる
方式によれば記録の高密度化，高精細化が達成できるか
らである。It should be noted that the present invention includes means (for example, an electrothermal converter or a laser beam) for generating heat energy as energy used for ejecting ink, especially in the ink jet recording system, and The effect is excellent in a recording head and a recording apparatus of a system that causes a change in ink state by energy. This is because such a system can achieve high density recording and high definition recording.

【００３８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換素子に、記録情報に対応していて核沸騰を越える
急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印
加することによって、電気熱変換素子に熱エネルギを発
生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせ
て、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（イ
ンク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡
の成長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）
を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆
動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収
縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）
の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆
動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，
同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなも
のが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関
する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載さ
れている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うこ
とができる。Regarding the typical structure and principle thereof, see, for example, US Pat. No. 4,723,129 and US Pat. No. 4,740.
What is done using the basic principles disclosed in 796 is preferred. This method is a so-called on-demand type,
It can be applied to any of the continuous type, but especially in the case of the on-demand type, it can be applied to the electrothermal conversion element arranged corresponding to the sheet holding the liquid (ink) or the liquid path. By applying at least one drive signal corresponding to the recording information and giving a rapid temperature rise exceeding nucleate boiling, heat energy is generated in the electrothermal converting element, and film boiling is caused on the heat acting surface of the recording head. This is effective because bubbles can be generated in the liquid (ink) corresponding to this drive signal one-to-one as a result. Liquid (ink) flows through the ejection openings due to the growth and contraction of these bubbles
To form at least one drop. When this drive signal is pulsed, the growth and contraction of the bubbles are performed immediately and appropriately, so the liquid (ink) with excellent responsiveness is used.
It is more preferable that the discharge can be achieved. This pulse-shaped drive signal is described in US Pat. No. 4,463,359,
Those described in US Pat. No. 4,345,262 are suitable. If the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise on the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【００３９】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。Further, the present invention can be effectively applied to a full line type recording head having a length corresponding to the maximum width of a recording medium which can be recorded by the recording apparatus. Such a recording head may have a configuration that satisfies the length by a combination of a plurality of recording heads or a configuration as one recording head integrally formed.

【００４０】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。In addition, even in the case of the serial type as in the above example, the recording head fixed to the apparatus main body, or the electrical connection with the apparatus main body or the ink from the apparatus main body by being attached to the apparatus main body The present invention is also effective when a replaceable chip-type recording head that can be supplied or a cartridge-type recording head in which an ink tank is integrally provided in the recording head itself is used.

【００４１】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よいし、多種類のインクが類別に吐出可能な吐出口群が
１つの記録ヘッドに一体に設けられるものであってもよ
い。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるかい
ずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色に
よるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備え
た装置にも本発明は極めて有効である。Regarding the type or number of recording heads to be mounted, for example, only one is provided corresponding to a single color ink, or a plurality of inks having different recording colors and densities are supported. Plural pieces may be provided, or a group of ejection ports capable of ejecting various kinds of inks separately may be integrally provided in one recording head. That is, for example, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the recording mode of only the mainstream color such as black, but it may be either the recording head is integrally formed or a plurality of combinations may be used. The present invention is also extremely effective for an apparatus provided with at least one of full-color recording modes by color mixing.

【００４２】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換素子に対して対向するような形態として
もよい。本発明においては、上述した各インクに対して
最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもの
である。In addition, in the above-described embodiments of the present invention, the ink is described as a liquid, but an ink that solidifies at room temperature or lower and that softens or liquefies at room temperature may be used. Or, in the inkjet method, it is common to control the temperature of the ink itself within the range of 30 ° C. or more and 70 ° C. or less to control the temperature so that the viscosity of the ink is within the stable ejection range. Sometimes, a liquid ink may be used. In addition, the temperature rise due to thermal energy is positively prevented by using it as the energy of the state change of the ink from the solid state to the liquid state, or in order to prevent the evaporation of the ink, it is solidified and heated in the standing state. You may use the ink liquefied by. In any case, by applying thermal energy such as ink that is liquefied by applying thermal energy according to the recording signal and liquid ink is ejected, or that begins to solidify when it reaches the recording medium. The present invention can be applied to the case where an ink having a property of being liquefied for the first time is used. In this case, the ink is
JP-A-54-56847 or JP-A-60-7
As described in Japanese Patent No. 1260, it may be configured to face the electrothermal conversion element in a state of being held as a liquid or a solid in the concave portion or the through hole of the porous sheet. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【００４３】さらに加えて、本発明の適用が可能なイン
クジェット記録装置の形態としては、コンピュータ等の
情報処理機器の画像出力端末として用いられるものの
他、リーダ等と組合せた複写装置、さらには送受信機能
を有するファクシミリ装置の形態を採るもの等であって
もよい。In addition, as a form of the ink jet recording apparatus to which the present invention can be applied, in addition to the one used as an image output terminal of information processing equipment such as a computer, a copying apparatus combined with a reader or the like, and further a transmission / reception function It may be in the form of a facsimile machine having the above.

【００４４】[0044]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明にかか
る液体噴射記録ヘッドによれば、吐出口および前記液路
の断面形状を前記基板側の幅を狭くしたＴ字型としたの
で、基板とバリアーとの間で剥離が発生したりすること
のない信頼性の高い微細なインク吐出口および液路を有
する液体噴射記録ヘッドが得られる。As described above, according to the liquid jet recording head of the present invention, the cross-sectional shapes of the ejection port and the liquid passage are T-shaped with the width on the substrate side narrowed. It is possible to obtain a liquid jet recording head having a highly reliable fine ink ejection port and liquid path in which peeling does not occur between the barrier and the barrier.

【００４５】また、本発明にかかる液体噴射記録ヘッド
の製造方法によれば、液体吐出エネルギー発生手段を有
する基板上に、感光性樹脂材料により前記基板側の幅を
狭くしたＴ字型断面形状を有する液路および吐出口形成
のための型材をパターニングおよび露光により形成し、
該型材上に活性エネルギー線硬化型材料もしくは熱硬化
型材料を被覆して硬化させた後、前記型材を溶解除去す
ることにより前記液路および吐出口を形成するので、高
密度記録が可能であり、しかも破損を生じる虞のない液
体噴射記録ヘッドを製造することができる。Further, according to the method of manufacturing a liquid jet recording head of the present invention, a T-shaped cross-sectional shape in which the width on the substrate side is narrowed by the photosensitive resin material is provided on the substrate having the liquid ejection energy generating means. Forming the liquid material and the mold material for forming the discharge port by patterning and exposing,
Since the mold material is coated with an active energy ray curable material or a thermosetting material and cured, and then the liquid material and the discharge port are formed by dissolving and removing the mold material, high density recording is possible. Moreover, it is possible to manufacture a liquid jet recording head that is free from the risk of damage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明液体噴射記録ヘッドの構成の一例を示す
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of the configuration of a liquid jet recording head of the present invention.

【図２】本発明にかかる液体噴射記録ヘッドの製造工程
を（Ａ）〜（Ｈ）によって示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing the manufacturing process of the liquid jet recording head according to the present invention with (A) to (H).

【図３】従来例の構成を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a configuration of a conventional example.

【図４】従来例による液体噴射記録ヘッドの製造工程を
（Ａ）〜（Ｆ）によって示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing manufacturing steps of a liquid jet recording head according to a conventional example, by (A) to (F).

【図５】本発明液体噴射記録ヘッドの適用が可能な液体
噴射記録装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a configuration example of a liquid jet recording apparatus to which the liquid jet recording head of the present invention can be applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 基板 １２ 液路 １２Ａ 基板側液路部 １２Ｂ 天板側液路部 １３ インク吐出口 １３Ａ 基板側インク吐出部 １３Ｂ 天板側インク吐出部 １４ 吐出エネルギー発生手段（電気熱変換素子） １５ 共通液室 １６ バリアー（部） １７ 天板（部） ２０ 第１（の）フォトレジスト層 ２１ 第１（の）マスク ２２ 第２（の）フォトレジスト層 ２０Ａ，２２Ａ 型材 ２３ 第２（の）マスク ２４ 硬化性樹脂材料 １０００ 液体噴射記録ヘッド ＨＣ キャリッジ ＩＪＲＡ 液体噴射記録装置 11 substrate 12 liquid passage 12A substrate side liquid passage portion 12B top plate side liquid passage portion 13 ink ejection port 13A substrate side ink ejection portion 13B top plate side ink ejection portion 14 ejection energy generating means (electrothermal conversion element) 15 common liquid chamber 16 Barrier (part) 17 Top plate (part) 20 First (of) photoresist layer 21 First (of) mask 22 Second (of) photoresist layer 20A, 22A mold material 23 Second (of) mask 24 Curability Resin material 1000 Liquid jet recording head HC Carriage IJRA Liquid jet recording device

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 液体吐出エネルギー発生手段を有する基
板上に、樹脂材料の積層によって並列に形成された複数
の液路と、個々の該液路の端部に形成された吐出口とを
有し、前記液体吐出エネルギー発生手段の選択的駆動に
より前記吐出口から液体を被記録材に向けて吐出するイ
ンクジェットヘッドにおいて、 前記吐出口および前記液路の断面形状を前記基板側の幅
を狭くしたＴ字型としたことを特徴とするインクジェッ
トヘッド。1. A plurality of liquid passages formed in parallel by laminating a resin material and a discharge port formed at an end of each liquid passage on a substrate having a liquid discharge energy generating means. In an inkjet head that ejects a liquid toward a recording material from the ejection port by selectively driving the liquid ejection energy generation means, the cross-sectional shape of the ejection port and the liquid passage has a narrower width on the substrate side. An inkjet head characterized by having a character shape. 【請求項２】 前記液体吐出エネルギー発生手段は、熱
エネルギーを発生する電気熱変換素子であり、該電気熱
変換素子の発生する熱エネルギーにより液体中に発泡を
生じさせ、該発泡による圧力変化に伴って前記液体を吐
出することを特徴とする請求項１に記載のインクジェッ
トヘッド。2. The liquid ejection energy generation means is an electrothermal conversion element for generating thermal energy, and the thermal energy generated by the electrothermal conversion element causes bubbling in the liquid, which causes a pressure change due to the bubbling. The inkjet head according to claim 1, wherein the liquid is ejected along with it. 【請求項３】 前記吐出口が前記被記録材の記録領域の
全幅にわたって配設されるフルライン型であることを特
徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。3. The ink jet head according to claim 1, wherein the ejection port is a full line type arranged over the entire width of a recording area of the recording material. 【請求項４】 前記吐出口は異なる種類の記録用液体を
吐出する吐出口群が一体に形成されていることを特徴と
する請求項１に記載のインクジェットヘッド。4. The ink jet head according to claim 1, wherein the ejection ports are integrally formed with ejection port groups for ejecting different kinds of recording liquids. 【請求項５】 液体吐出エネルギー発生手段を有する基
板上に、感光性樹脂材料により前記基板側の幅を狭くし
たＴ字型断面形状を有する液路および吐出口形成のため
の型材をフォトリソグラフィーにより形成し、該型材上
に活性エネルギー線硬化型材料もしくは熱硬化型材料を
被覆して硬化させた後、前記型材を溶解除去することに
より前記液路および吐出口を形成することを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。5. A liquid path having a T-shaped cross section whose width on the substrate side is narrowed by a photosensitive resin material and a mold material for forming a discharge port are formed on a substrate having a liquid discharge energy generating means by photolithography. An inkjet characterized by forming the liquid material and the ejection port by dissolving and removing the mold material after the mold material is covered with an active energy ray curable material or a thermosetting material and cured. Head manufacturing method. 【請求項６】 請求項１に記載の液体噴射記録ヘッドお
よび該ヘッドを搭載する部材を少なくとも具備すること
を特徴とするインクジェット装置。6. An ink jet apparatus comprising at least the liquid jet recording head according to claim 1 and a member for mounting the head.