JPH09325124A - Ｘ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置 - Google Patents
Ｘ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置Info
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- JPH09325124A JPH09325124A JP8142045A JP14204596A JPH09325124A JP H09325124 A JPH09325124 A JP H09325124A JP 8142045 A JP8142045 A JP 8142045A JP 14204596 A JP14204596 A JP 14204596A JP H09325124 A JPH09325124 A JP H09325124A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】Ｘ線結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴッ
トの結晶軸方位調整ができるＸ線を利用したインゴット
の結晶軸方位調整方法及び装置を提供する。 【解決手段】Ｘ線結晶軸方位測定装置２０と同一機上
に、スライドテーブル２２を設け、このスライドテーブ
ル２２にチルトユニット１６付インゴット１２を固定す
る。スライドテーブル２２を移動させ、インゴット１２
をＸ線照射部２６とＸ線受光部２８とに近づける。そし
て、Ｘ線照射部２６及びＸ線受光部２８を駆動してイン
ゴット１２の垂直方向の結晶方位し、そして、Ｘ線照射
部２６とＸ線受光部２８との位置を水平方向位置に変更
したのち、Ｘ線照射部２６とＸ線受光部２８とで水平方
向の結晶方位を測定する。そして、チルトユニット１６
によってインゴット１２を測定された結晶方位に傾斜さ
せる。
トの結晶軸方位調整ができるＸ線を利用したインゴット
の結晶軸方位調整方法及び装置を提供する。 【解決手段】Ｘ線結晶軸方位測定装置２０と同一機上
に、スライドテーブル２２を設け、このスライドテーブ
ル２２にチルトユニット１６付インゴット１２を固定す
る。スライドテーブル２２を移動させ、インゴット１２
をＸ線照射部２６とＸ線受光部２８とに近づける。そし
て、Ｘ線照射部２６及びＸ線受光部２８を駆動してイン
ゴット１２の垂直方向の結晶方位し、そして、Ｘ線照射
部２６とＸ線受光部２８との位置を水平方向位置に変更
したのち、Ｘ線照射部２６とＸ線受光部２８とで水平方
向の結晶方位を測定する。そして、チルトユニット１６
によってインゴット１２を測定された結晶方位に傾斜さ
せる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線を利用したイン
ゴットの結晶軸方位調整方法及び装置に係り、特にＸ線
結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴットの結晶軸方
位調整ができるＸ線を利用したインゴットの結晶軸方位
調整方法及び装置に関する。
ゴットの結晶軸方位調整方法及び装置に係り、特にＸ線
結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴットの結晶軸方
位調整ができるＸ線を利用したインゴットの結晶軸方位
調整方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンインゴットの結晶軸の測定は、
Ｘ線結晶軸方位測定装置を利用して行われる。即ち、Ｘ
線結晶軸方位軸測定装置上にシリコンインゴットを載置
し、シリコンインゴットの端面にＸ線を出射し、インゴ
ット端面からの反射Ｘ線を検出し、インゴットの垂直、
水平方向の結晶軸方位を測定する。測定後は、インゴッ
トをワイヤソーに取付け、測定データに基づいてインゴ
ットの結晶軸方位調整をワイヤソー上で行う。
Ｘ線結晶軸方位測定装置を利用して行われる。即ち、Ｘ
線結晶軸方位軸測定装置上にシリコンインゴットを載置
し、シリコンインゴットの端面にＸ線を出射し、インゴ
ット端面からの反射Ｘ線を検出し、インゴットの垂直、
水平方向の結晶軸方位を測定する。測定後は、インゴッ
トをワイヤソーに取付け、測定データに基づいてインゴ
ットの結晶軸方位調整をワイヤソー上で行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線結晶軸方位測定装置は、インゴットの結晶軸方位測
定後に、インゴットを取出し、ワイヤソー上の限られた
スペース内でチルトユニットを使って測定データに基づ
いて結晶軸方位調整しなければならず、測定後の例えば
インゴットとインゴット保持用プレートとの接着時に発
生する誤差については確認することができない欠点があ
る。
Ｘ線結晶軸方位測定装置は、インゴットの結晶軸方位測
定後に、インゴットを取出し、ワイヤソー上の限られた
スペース内でチルトユニットを使って測定データに基づ
いて結晶軸方位調整しなければならず、測定後の例えば
インゴットとインゴット保持用プレートとの接着時に発
生する誤差については確認することができない欠点があ
る。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、Ｘ線結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴッ
トの結晶軸方位調整ができるＸ線を利用したインゴット
の結晶軸方位調整方法及び装置を提供することを目的と
する。
もので、Ｘ線結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴッ
トの結晶軸方位調整ができるＸ線を利用したインゴット
の結晶軸方位調整方法及び装置を提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、インゴットにインゴットの垂直方向、水平
方向の結晶軸方位調整可能な複数のチルトブロックから
成るチルトユニットを取付け、チルトユニット付インゴ
ットを、Ｘ線結晶軸方位測定装置の移動テーブル上に載
置し、移動テーブル上のインゴットをＸ線結晶軸方位測
定装置の検出位置まで移動してインゴットの垂直方向、
水平方向の結晶軸方位を検出し、インゴットを元の位置
に戻して検出されたインゴットの垂直方向、水平方向の
結晶軸方位になるようにチルトユニットのチルトブロッ
クを駆動して調整し、調整後にチルトユニットのチルト
ブロックを締付け固定することを特徴とする。
するために、インゴットにインゴットの垂直方向、水平
方向の結晶軸方位調整可能な複数のチルトブロックから
成るチルトユニットを取付け、チルトユニット付インゴ
ットを、Ｘ線結晶軸方位測定装置の移動テーブル上に載
置し、移動テーブル上のインゴットをＸ線結晶軸方位測
定装置の検出位置まで移動してインゴットの垂直方向、
水平方向の結晶軸方位を検出し、インゴットを元の位置
に戻して検出されたインゴットの垂直方向、水平方向の
結晶軸方位になるようにチルトユニットのチルトブロッ
クを駆動して調整し、調整後にチルトユニットのチルト
ブロックを締付け固定することを特徴とする。
【０００６】また、本発明は、検出された位置で検出さ
れたインゴットの垂直方向、水平方向の結晶軸方位にな
るようにチルトユニットのチルトブロックを駆動して調
整しても良い。又、Ｘ線を出射しながら測定結果に基づ
いた調整をしても良い。本発明によれば、Ｘ線結晶軸方
位測定装置と同一機上でインゴットの結晶軸方位調整が
できるので、ワイヤソー外でのインゴットの結晶軸方位
調整が可能となり、インゴットの結晶軸方位調整が容易
となる。又、調整後の結果を同一機上で確認できる為、
軸方位合わせの精度を格段に向上することができる。
れたインゴットの垂直方向、水平方向の結晶軸方位にな
るようにチルトユニットのチルトブロックを駆動して調
整しても良い。又、Ｘ線を出射しながら測定結果に基づ
いた調整をしても良い。本発明によれば、Ｘ線結晶軸方
位測定装置と同一機上でインゴットの結晶軸方位調整が
できるので、ワイヤソー外でのインゴットの結晶軸方位
調整が可能となり、インゴットの結晶軸方位調整が容易
となる。又、調整後の結果を同一機上で確認できる為、
軸方位合わせの精度を格段に向上することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るＸ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び
装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１に示
すようにマニピュレータ１０でインゴット１２を把持
し、インゴット１２の側部に取付けられた接着プレート
１４にチルトユニット１６を固定する。チルトユニット
１６は、接着プレート１４にアリ溝嵌合（図示せず）
し、側方からねじ１８によって接着プレート１４に締付
固定される。チルトユニット１６については図６、図７
に従って後述する。
るＸ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び
装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１に示
すようにマニピュレータ１０でインゴット１２を把持
し、インゴット１２の側部に取付けられた接着プレート
１４にチルトユニット１６を固定する。チルトユニット
１６は、接着プレート１４にアリ溝嵌合（図示せず）
し、側方からねじ１８によって接着プレート１４に締付
固定される。チルトユニット１６については図６、図７
に従って後述する。
【０００８】図２は、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０が示
され、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０と同一機上にはスラ
イドテーブル２２がガイド２３とレール２５を介して図
上で左右方向に移動自在となっている。スライドテーブ
ル２２は、モータ２４に連結されたねじ軸（図示せず）
を回動することにより左右方向に駆動される。このよう
に構成されたスライドテーブル２２上に前記チルトユニ
ット１６付インゴット１２が前記マニピュレータ１０を
使って載置される。このチルトユニット１６付インゴッ
ト１２は、スライドテーブル２２にアリ溝嵌合（図示せ
ず）し、レバー２２Ａ、２２Ａによって締付固定され
る。
され、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０と同一機上にはスラ
イドテーブル２２がガイド２３とレール２５を介して図
上で左右方向に移動自在となっている。スライドテーブ
ル２２は、モータ２４に連結されたねじ軸（図示せず）
を回動することにより左右方向に駆動される。このよう
に構成されたスライドテーブル２２上に前記チルトユニ
ット１６付インゴット１２が前記マニピュレータ１０を
使って載置される。このチルトユニット１６付インゴッ
ト１２は、スライドテーブル２２にアリ溝嵌合（図示せ
ず）し、レバー２２Ａ、２２Ａによって締付固定され
る。
【０００９】前記Ｘ線結晶軸方位測定装置２０は、Ｘ線
照射部２６とＸ線受光部２８とを有している。Ｘ線照射
部２６はアーム３０の一端部に、そしてＸ線受光部２８
はアーム３０の他端部に所定角度傾斜して支持されてい
る。前記アーム３０は、扇形のプレート３１に円弧状レ
ール３３を介して揺動自在に支持されている。このプレ
ート３１に回転軸３２が固定され、この回転軸３２は軸
受３４を介してモータ３６のスピンドル３８に連結され
ている。モータ３６は、前記アーム３０を９０°毎に回
転させるように図示しない制御部によって駆動制御され
ている。
照射部２６とＸ線受光部２８とを有している。Ｘ線照射
部２６はアーム３０の一端部に、そしてＸ線受光部２８
はアーム３０の他端部に所定角度傾斜して支持されてい
る。前記アーム３０は、扇形のプレート３１に円弧状レ
ール３３を介して揺動自在に支持されている。このプレ
ート３１に回転軸３２が固定され、この回転軸３２は軸
受３４を介してモータ３６のスピンドル３８に連結され
ている。モータ３６は、前記アーム３０を９０°毎に回
転させるように図示しない制御部によって駆動制御され
ている。
【００１０】又、Ｘ線照射部２６とＸ線受光部２８は、
図示しないガイド及びレール３３上をモータによるネジ
送り機構で揺動する。このＸ線結晶軸方位測定装置２０
でインゴット１２の結晶軸方位を測定する場合には、先
ず、スライドテーブル２２上にチルトユニット１６付イ
ンゴット１２を固定する。次に、スライドテーブル２２
を図２上で右方向に移動させ、インゴット１２を図中二
点鎖線で示す検出位置に位置させる。次いで、Ｘ線照射
部２６からインゴット１２の端面に向けてＸ線を照射
し、この反射Ｘ線をＸ線受光部２８で受光して、その反
射角度に基づいてインゴット１２の垂直方向の結晶軸方
位を測定する。そして、インゴット１２の水平方向の結
晶軸方位を測定する。以上で、結晶軸方位の測定が終了
する。測定された垂直方向の結晶軸方位と水平方向の結
晶軸方位とは、モニタ４０上で表示される。
図示しないガイド及びレール３３上をモータによるネジ
送り機構で揺動する。このＸ線結晶軸方位測定装置２０
でインゴット１２の結晶軸方位を測定する場合には、先
ず、スライドテーブル２２上にチルトユニット１６付イ
ンゴット１２を固定する。次に、スライドテーブル２２
を図２上で右方向に移動させ、インゴット１２を図中二
点鎖線で示す検出位置に位置させる。次いで、Ｘ線照射
部２６からインゴット１２の端面に向けてＸ線を照射
し、この反射Ｘ線をＸ線受光部２８で受光して、その反
射角度に基づいてインゴット１２の垂直方向の結晶軸方
位を測定する。そして、インゴット１２の水平方向の結
晶軸方位を測定する。以上で、結晶軸方位の測定が終了
する。測定された垂直方向の結晶軸方位と水平方向の結
晶軸方位とは、モニタ４０上で表示される。
【００１１】次に、スライドテーブル２２を元の位置に
戻し、前記測定された結晶軸方位になるようにインゴッ
ト１２の垂直方向傾斜角度、及び水平方向傾斜角度をチ
ルトユニット１６によって調整する。先ず、垂直方向傾
斜角度を調整するために、図３に示すマイクロメータ４
２のヘッドを回動させて行う。このマイクロメータ４２
は、スライドテーブル２２上に固定されたプレート４４
に支持されている。マイクロメータ４２のスピンドルに
は押圧棒４６が連結されており、この押圧棒４６はマイ
クロメータ４２を回動するとスピンドルと共に図中左右
方向に移動する。マイクロメータ４２で押圧棒４６を図
中右方向に移動させると、押圧棒４６の先端部がチルト
ユニット１６の垂直揺動ブロック７０を押すことによ
り、垂直揺動ブロック７０がスプリング４８の付勢力に
抗して傾動しはじめていき、水平揺動ブロック６８に対
して垂直方向に傾斜する。この傾斜角度を前記測定され
た垂直方向の結晶軸方位に合わせて固定すれば、垂直方
向傾斜角度が調整される。尚、マイクロメータ４２は図
４に示すように、垂直揺動ブロック７０の中央部を押す
位置に設けられている。
戻し、前記測定された結晶軸方位になるようにインゴッ
ト１２の垂直方向傾斜角度、及び水平方向傾斜角度をチ
ルトユニット１６によって調整する。先ず、垂直方向傾
斜角度を調整するために、図３に示すマイクロメータ４
２のヘッドを回動させて行う。このマイクロメータ４２
は、スライドテーブル２２上に固定されたプレート４４
に支持されている。マイクロメータ４２のスピンドルに
は押圧棒４６が連結されており、この押圧棒４６はマイ
クロメータ４２を回動するとスピンドルと共に図中左右
方向に移動する。マイクロメータ４２で押圧棒４６を図
中右方向に移動させると、押圧棒４６の先端部がチルト
ユニット１６の垂直揺動ブロック７０を押すことによ
り、垂直揺動ブロック７０がスプリング４８の付勢力に
抗して傾動しはじめていき、水平揺動ブロック６８に対
して垂直方向に傾斜する。この傾斜角度を前記測定され
た垂直方向の結晶軸方位に合わせて固定すれば、垂直方
向傾斜角度が調整される。尚、マイクロメータ４２は図
４に示すように、垂直揺動ブロック７０の中央部を押す
位置に設けられている。
【００１２】次に、水平方向傾斜角度を調整するため
に、図３に示すマイクロメータ５０のヘッドを回動させ
て行う。マイクロメータ５０は、前記プレート４４に支
持されている。マイクロメータ５０のスピンドルには押
圧棒５２が連結されており、この押圧棒５２はマイクロ
メータ５０を回動するとスピンドルと共に図中左右方向
に移動する。マイクロメータ５０で押圧棒５２を図中右
方向に移動させると、押圧棒５２の先端部がチルトユニ
ット１６の水平揺動ブロック６８を押すことにより、水
平揺動ブロック６８がスプリング５４の付勢力に抗して
水平方向に回動しはじめていき、取付ブロック６６に対
して水平方向に傾斜する。この傾斜角度を前記測定され
た水平方向の結晶軸方位に合わせて固定すれば、水平方
向傾斜角度が調整される。尚、マイクロメータ５０は図
４に示すように、水平揺動ブロック６８の角部近傍を押
す位置に設けられている。
に、図３に示すマイクロメータ５０のヘッドを回動させ
て行う。マイクロメータ５０は、前記プレート４４に支
持されている。マイクロメータ５０のスピンドルには押
圧棒５２が連結されており、この押圧棒５２はマイクロ
メータ５０を回動するとスピンドルと共に図中左右方向
に移動する。マイクロメータ５０で押圧棒５２を図中右
方向に移動させると、押圧棒５２の先端部がチルトユニ
ット１６の水平揺動ブロック６８を押すことにより、水
平揺動ブロック６８がスプリング５４の付勢力に抗して
水平方向に回動しはじめていき、取付ブロック６６に対
して水平方向に傾斜する。この傾斜角度を前記測定され
た水平方向の結晶軸方位に合わせて固定すれば、水平方
向傾斜角度が調整される。尚、マイクロメータ５０は図
４に示すように、水平揺動ブロック６８の角部近傍を押
す位置に設けられている。
【００１３】次いで、結晶軸方位調整済みのインゴット
１２を、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０で再度測定して、
調整済みの結晶軸方位が正しいか否かを再確認する。再
確認後、結晶軸方位が正しく調整されていない場合に
は、前述した結晶軸方位調整作業を再度実施する。この
ようなインゴット１２の結晶軸方位調整作業は、前記の
如くインゴット１２を図２中実線で示す元の位置に一旦
戻して行っても良く、図中二点鎖線で示す検出位置で結
晶軸方位の調整を行っても良い。検出位置で調整を行う
と、前記元の位置で調整を行うよりも調整誤差が小さく
なる。
１２を、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０で再度測定して、
調整済みの結晶軸方位が正しいか否かを再確認する。再
確認後、結晶軸方位が正しく調整されていない場合に
は、前述した結晶軸方位調整作業を再度実施する。この
ようなインゴット１２の結晶軸方位調整作業は、前記の
如くインゴット１２を図２中実線で示す元の位置に一旦
戻して行っても良く、図中二点鎖線で示す検出位置で結
晶軸方位の調整を行っても良い。検出位置で調整を行う
と、前記元の位置で調整を行うよりも調整誤差が小さく
なる。
【００１４】再検査の結果が正しい場合には、そのイン
ゴット１２をチルトユニット１６と一緒にスライドテー
ブル２２から取り外して、図５に示すセッティングベー
ス５６上にマニピュレータ１０を使って載置する。この
チルトユニット１６付インゴット１２は、セッティング
ベース５６にアリ溝嵌合（図示せず）し、レバー５６
Ａ、５６Ａによって締付固定される。こののち、図示し
ない搬送手段、又はコンベアによってワイヤソーまで搬
送する。そして、チルトユニット１６付インゴット１２
は、ワイヤソーのワークフィードテーブルにセッティン
グベース５６を介して固定される。
ゴット１２をチルトユニット１６と一緒にスライドテー
ブル２２から取り外して、図５に示すセッティングベー
ス５６上にマニピュレータ１０を使って載置する。この
チルトユニット１６付インゴット１２は、セッティング
ベース５６にアリ溝嵌合（図示せず）し、レバー５６
Ａ、５６Ａによって締付固定される。こののち、図示し
ない搬送手段、又はコンベアによってワイヤソーまで搬
送する。そして、チルトユニット１６付インゴット１２
は、ワイヤソーのワークフィードテーブルにセッティン
グベース５６を介して固定される。
【００１５】本実施の形態では、結晶軸方位調整作業を
図３に示したマイクロメータ４２、５０の回動操作、即
ち作業者による手作業で行うようにしたが、これに限ら
れるものではない。例えば、マイクロメータ４２、５０
のヘッドにステッピングモータを連結する。そして、こ
のステッピングモータの回転角度を、Ｘ線結晶軸方位測
定装置２０で得られた結晶軸方位を示す情報に基づいて
制御して、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０で得られた結晶
軸方位にインゴット１２の傾斜角度が合うように、ステ
ッピングモータでマイクロメータ４２、５０のヘッドを
回転させる。これによって、インゴット１２の結晶軸方
位合わせ作業を自動化することができる。
図３に示したマイクロメータ４２、５０の回動操作、即
ち作業者による手作業で行うようにしたが、これに限ら
れるものではない。例えば、マイクロメータ４２、５０
のヘッドにステッピングモータを連結する。そして、こ
のステッピングモータの回転角度を、Ｘ線結晶軸方位測
定装置２０で得られた結晶軸方位を示す情報に基づいて
制御して、Ｘ線結晶軸方位測定装置２０で得られた結晶
軸方位にインゴット１２の傾斜角度が合うように、ステ
ッピングモータでマイクロメータ４２、５０のヘッドを
回転させる。これによって、インゴット１２の結晶軸方
位合わせ作業を自動化することができる。
【００１６】次に、前記チルトユニット１６の構造につ
いて図６、図７を参照しながら説明する。図６はチルト
ユニット１６の縦断面図であり、図７はチルトユニット
１６の平面図である。図６に示すようにチルトユニット
１６は、取付ブロック６６、水平揺動ブロック６８及び
垂直揺動ブロック７０を主要構成部材として構成され、
ボルト７２、７８、７８で連結されて一体的に構成され
ている。
いて図６、図７を参照しながら説明する。図６はチルト
ユニット１６の縦断面図であり、図７はチルトユニット
１６の平面図である。図６に示すようにチルトユニット
１６は、取付ブロック６６、水平揺動ブロック６８及び
垂直揺動ブロック７０を主要構成部材として構成され、
ボルト７２、７８、７８で連結されて一体的に構成され
ている。
【００１７】前記取付ブロック６６は矩形状に形成さ
れ、その上面にアリ部６７が形成される。このアリ部６
７の上面６７Ａが、ワイヤソーのワイヤ列に対する水平
方向の基準面となっている。取付ブロック６６には図７
に示すように、円弧状に形成されたガイド孔７４、７４
が前記ボルト７２を中心として同心円上に、且つ対称位
置に形成されている。このガイド孔７４、７４、…に
は、ガイドナット７６、７６が挿入される。ガイドナッ
ト７６はガイド孔７４に沿って摺動可能な形状に形成さ
れ、その中央部に貫通配置されたボルト７８が、前記水
平揺動ブロック６８の貫通孔８０を介してナット８２に
螺合されている。
れ、その上面にアリ部６７が形成される。このアリ部６
７の上面６７Ａが、ワイヤソーのワイヤ列に対する水平
方向の基準面となっている。取付ブロック６６には図７
に示すように、円弧状に形成されたガイド孔７４、７４
が前記ボルト７２を中心として同心円上に、且つ対称位
置に形成されている。このガイド孔７４、７４、…に
は、ガイドナット７６、７６が挿入される。ガイドナッ
ト７６はガイド孔７４に沿って摺動可能な形状に形成さ
れ、その中央部に貫通配置されたボルト７８が、前記水
平揺動ブロック６８の貫通孔８０を介してナット８２に
螺合されている。
【００１８】したがって、前記ボルト７８、７８を緩め
れば、ガイド孔７４とガイドナット７６との作用、及び
水平揺動ブロック６８の円形状凹部６９と取付ブロック
６６の円形状凸部６７との摺動作用により水平揺動ブロ
ック６８を取付ブロック６６に対して水平方向に回動さ
せることができ、ボルト７８、７８とを締め付ければ、
水平揺動ブロック６８の水平傾斜角度を調整することが
できる。
れば、ガイド孔７４とガイドナット７６との作用、及び
水平揺動ブロック６８の円形状凹部６９と取付ブロック
６６の円形状凸部６７との摺動作用により水平揺動ブロ
ック６８を取付ブロック６６に対して水平方向に回動さ
せることができ、ボルト７８、７８とを締め付ければ、
水平揺動ブロック６８の水平傾斜角度を調整することが
できる。
【００１９】水平揺動ブロック６８は、取付ブロック６
６の下面に沿って摺動し、前記ボルト７８、７８を締め
つけることにより取付ブロック６６に固定され、緩める
と前記取付ブロック６６の円形状凸部６７に沿って水平
方向に揺動する。水平揺動ブロック６８の下部には、凹
状の湾曲面８４が形成されている。この湾曲面８４がワ
イヤ列に対する垂直基準面となっている。一方、垂直揺
動ブロック７０の上部には、この湾曲面８４の形状に沿
った凸状の湾曲面８６が形成されている。また、垂直揺
動ブロック７０の上部中央には、前記湾曲面８６の形状
に沿った円弧状の長孔８８が形成される。この長孔８８
に前記ボルト７２が挿通配置され、このボルト７２にナ
ット９０が螺合されている。
６の下面に沿って摺動し、前記ボルト７８、７８を締め
つけることにより取付ブロック６６に固定され、緩める
と前記取付ブロック６６の円形状凸部６７に沿って水平
方向に揺動する。水平揺動ブロック６８の下部には、凹
状の湾曲面８４が形成されている。この湾曲面８４がワ
イヤ列に対する垂直基準面となっている。一方、垂直揺
動ブロック７０の上部には、この湾曲面８４の形状に沿
った凸状の湾曲面８６が形成されている。また、垂直揺
動ブロック７０の上部中央には、前記湾曲面８６の形状
に沿った円弧状の長孔８８が形成される。この長孔８８
に前記ボルト７２が挿通配置され、このボルト７２にナ
ット９０が螺合されている。
【００２０】垂直揺動ブロック７０は、水平揺動ブロッ
ク６８の凹状の湾曲面８４（垂直基準面）上を摺動し、
ボルト７２を締めつけることにより、水平揺動ブロック
６８を介して取付ブロック６６に固定され、緩めること
により水平揺動ブロック６８に対して垂直方向に揺動す
る。垂直揺動ブロック７０の下部にはアリ溝９２が形成
され、アリ溝９２は前記水平基準面と平行に形成されて
いる。このアリ溝９２に、インゴット１２が接着プレー
ト１４を介して固定される。
ク６８の凹状の湾曲面８４（垂直基準面）上を摺動し、
ボルト７２を締めつけることにより、水平揺動ブロック
６８を介して取付ブロック６６に固定され、緩めること
により水平揺動ブロック６８に対して垂直方向に揺動す
る。垂直揺動ブロック７０の下部にはアリ溝９２が形成
され、アリ溝９２は前記水平基準面と平行に形成されて
いる。このアリ溝９２に、インゴット１２が接着プレー
ト１４を介して固定される。
【００２１】このチルトユニット１６でインゴット１２
の結晶軸方位を合わす手順を詳説すると、先ず、ボルト
７２を緩めて、垂直揺動ブロック７０を水平揺動ブロッ
ク６８に対して揺動可能な状態にする。そして、垂直揺
動ブロック７０を水平揺動ブロック６８に対して垂直方
向傾斜させて、その傾斜角度がインゴット１２の垂直方
向の結晶軸方位に合致したところでボルト７２を締結
し、垂直揺動ブロック７０を水平揺動ブロック６８に固
定する。
の結晶軸方位を合わす手順を詳説すると、先ず、ボルト
７２を緩めて、垂直揺動ブロック７０を水平揺動ブロッ
ク６８に対して揺動可能な状態にする。そして、垂直揺
動ブロック７０を水平揺動ブロック６８に対して垂直方
向傾斜させて、その傾斜角度がインゴット１２の垂直方
向の結晶軸方位に合致したところでボルト７２を締結
し、垂直揺動ブロック７０を水平揺動ブロック６８に固
定する。
【００２２】次いで、ボルト７８、７８を緩めて、水平
揺動ブロック６８を取付ブロック６６に対して揺動可能
な状態にする。そして、すでに垂直揺動方向の調整を終
えて固定されている水平揺動ブロック６８と垂直揺動ブ
ロック７０とを水平方向に揺動させて、その揺動角度が
インゴット１２の水平方向の結晶軸方位に合致したとこ
ろで、ボルト７８、７８を締結して、水平揺動ブロック
６８を取付ブロック６６に固定する。これによって、イ
ンゴット１２の結晶軸方位の位置合わせ作業が終了す
る。
揺動ブロック６８を取付ブロック６６に対して揺動可能
な状態にする。そして、すでに垂直揺動方向の調整を終
えて固定されている水平揺動ブロック６８と垂直揺動ブ
ロック７０とを水平方向に揺動させて、その揺動角度が
インゴット１２の水平方向の結晶軸方位に合致したとこ
ろで、ボルト７８、７８を締結して、水平揺動ブロック
６８を取付ブロック６６に固定する。これによって、イ
ンゴット１２の結晶軸方位の位置合わせ作業が終了す
る。
【００２３】以上のボルト締め作業は、図１のＸ線結晶
軸方位測定装置２０に設けられた自動ねじ締め装置９４
によって自動で行うことができる。この自動ねじ締め装
置９４はシリンダ９６、モータ９８、及びボルト嵌合部
材１００等を有している。前記シリンダ９６は、ガイド
１０２に上下方向に移動自在に取り付けられ、図示しな
い制御部によって駆動制御されることによりガイド１０
２に沿って上下方向に移動される。前記モータ９８はシ
リンダ９６に固定され、シリンダ９６の上下移動に伴っ
て移動される。このモータ９８も前記シリンダ９６と同
様に、前記制御部によって駆動制御されている。
軸方位測定装置２０に設けられた自動ねじ締め装置９４
によって自動で行うことができる。この自動ねじ締め装
置９４はシリンダ９６、モータ９８、及びボルト嵌合部
材１００等を有している。前記シリンダ９６は、ガイド
１０２に上下方向に移動自在に取り付けられ、図示しな
い制御部によって駆動制御されることによりガイド１０
２に沿って上下方向に移動される。前記モータ９８はシ
リンダ９６に固定され、シリンダ９６の上下移動に伴っ
て移動される。このモータ９８も前記シリンダ９６と同
様に、前記制御部によって駆動制御されている。
【００２４】前記ボルト嵌合部材１００は、モータ９８
のスピンドル１０４に連結され、シリンダ９６が図中上
方向に移動されると、図３に示すようにＸ線結晶軸方位
測定装置２０のケーシング２０Ａに形成された開口部１
０６を介して、図６に示したチルトユニット１６のボル
ト７２に嵌合する。この状態でモータ９８を正転方向に
駆動制御すればボルト７２を締め付けることができ、逆
転方向に駆動制御すればボルト７２を緩めることができ
る。また、自動ねじ締め装置９４は、前記ボルト嵌合部
材１００がチルトユニット１６のボルト７８、７８にも
嵌合するように図示しない水平移動装置によってボルト
７８、７８の位置に対応する位置に水平移動される。こ
れにより、ボルト７８、７８が自動ねじ締め装置９４に
よって締め付けられたり、緩められたりする。
のスピンドル１０４に連結され、シリンダ９６が図中上
方向に移動されると、図３に示すようにＸ線結晶軸方位
測定装置２０のケーシング２０Ａに形成された開口部１
０６を介して、図６に示したチルトユニット１６のボル
ト７２に嵌合する。この状態でモータ９８を正転方向に
駆動制御すればボルト７２を締め付けることができ、逆
転方向に駆動制御すればボルト７２を緩めることができ
る。また、自動ねじ締め装置９４は、前記ボルト嵌合部
材１００がチルトユニット１６のボルト７８、７８にも
嵌合するように図示しない水平移動装置によってボルト
７８、７８の位置に対応する位置に水平移動される。こ
れにより、ボルト７８、７８が自動ねじ締め装置９４に
よって締め付けられたり、緩められたりする。
【００２５】以上説明した自動ねじ締め装置９４と前述
したステッピングモータとを併用し、これらを制御する
ことによって、Ｘ線によるインゴット１２の結晶軸方位
調整を完全に自動化することができる。図１において、
先ず、モータ２４を駆動制御してインゴット１２を検出
位置に位置させたのち、Ｘ線照射部２６とＸ線受光部２
８とモータ３６とを制御してインゴット１２の結晶軸方
位を検出する。次に、モータ２４を駆動制御してインゴ
ット１２を元の位置に戻したのち、前記検出された結晶
軸方位に基づいて前記ステッピングモータを制御する。
これにより、ステッピングモータに連結されたマイクロ
メータ４２、５０が回動して、チルトユニット１６の各
ブロック６８、７０が傾斜することにより、インゴット
１２の結晶軸方位調整が自動で調整される。そして、前
記自動ねじ締め装置９４でチルトユニット１６のボルト
７２、７８、７８を締め付ければ、インゴット１２の結
晶軸方位調整を完全に自動化することができる。
したステッピングモータとを併用し、これらを制御する
ことによって、Ｘ線によるインゴット１２の結晶軸方位
調整を完全に自動化することができる。図１において、
先ず、モータ２４を駆動制御してインゴット１２を検出
位置に位置させたのち、Ｘ線照射部２６とＸ線受光部２
８とモータ３６とを制御してインゴット１２の結晶軸方
位を検出する。次に、モータ２４を駆動制御してインゴ
ット１２を元の位置に戻したのち、前記検出された結晶
軸方位に基づいて前記ステッピングモータを制御する。
これにより、ステッピングモータに連結されたマイクロ
メータ４２、５０が回動して、チルトユニット１６の各
ブロック６８、７０が傾斜することにより、インゴット
１２の結晶軸方位調整が自動で調整される。そして、前
記自動ねじ締め装置９４でチルトユニット１６のボルト
７２、７８、７８を締め付ければ、インゴット１２の結
晶軸方位調整を完全に自動化することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るＸ線を
利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置によ
れば、Ｘ線結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴット
の結晶軸方位調整ができるので、ワイヤソー外でのイン
ゴットの結晶軸方位調整が可能となり、インゴットの結
晶軸方位調整が容易となる。
利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置によ
れば、Ｘ線結晶軸方位測定装置と同一機上でインゴット
の結晶軸方位調整ができるので、ワイヤソー外でのイン
ゴットの結晶軸方位調整が可能となり、インゴットの結
晶軸方位調整が容易となる。
【図１】インゴットをチルトユニットに装着プレートを
介して固定している状態を示す説明図
介して固定している状態を示す説明図
【図２】本発明の実施の形態に係るＸ線結晶軸方位測定
装置の全体図
装置の全体図
【図３】チルトユニットの正面図
【図４】チルトユニットを図３中４−４線から見た図
【図５】インゴットをセッティングベースにチルトユニ
ットを介して固定した状態を示す説明図
ットを介して固定した状態を示す説明図
【図６】チルトユニットの縦断面図
【図７】チルトユニットの平面図
１０…マニピュレータ １２…インゴット １４…接着プレート １６…チルトユニット ２０…Ｘ線結晶軸方位測定装置 ２２…スライドテーブル ２６…Ｘ線照射部 ２８…Ｘ線受光部 ４２、５０…マイクロメータ
Claims (6)
- 【請求項１】 インゴットにインゴットの垂直方向、水
平方向の結晶軸方位調整可能な複数のチルトブロックか
ら成るチルトユニットを取付け、 チルトユニット付インゴットを、Ｘ線結晶軸方位測定装
置の移動テーブル上に載置し、 移動テーブル上のインゴットをＸ線結晶軸方位測定装置
の検出位置まで移動してインゴットの垂直方向、水平方
向の結晶軸方位を検出し、 インゴットを元の位置に戻して検出されたインゴットの
垂直方向、水平方向の結晶軸方位になるようにチルトユ
ニットのチルトブロックを駆動して調整し、 調整後にチルトユニットのチルトブロックを締付け固定
することを特徴とするＸ線を利用したインゴットの結晶
軸方位調整方法。 - 【請求項２】 前記チルトユニットのチルトブロックを
締付け固定したのち、前記検出位置で前記Ｘ線結晶軸方
位測定装置によってインゴットの垂直方向、水平方向の
結晶軸方位を再度検出するようにしたことを特徴とする
請求項１記載のＸ線を利用したインゴットの結晶軸方位
調整方法。 - 【請求項３】 インゴットにインゴットの垂直方向、水
平方向の結晶軸方位調整可能な複数のチルトブロックか
ら成るチルトユニットを取付け、 チルトユニット付インゴットを、Ｘ線結晶軸方位測定装
置の移動テーブル上に載置し、 移動テーブル上のインゴットをＸ線結晶軸方位測定装置
の検出位置まで移動してインゴットの垂直方向、水平方
向の結晶軸方位を検出し、 検出された位置で検出されたインゴットの垂直方向、水
平方向の結晶軸方位になるようにチルトユニットのチル
トブロックを駆動して調整し、 調整後にチルトユニットのチルトブロックを締付け固定
することを特徴とするＸ線を利用したインゴットの結晶
軸方位調整方法。 - 【請求項４】 インゴットの垂直方向、水平方向の結晶
軸方位調整可能な複数のチルトブロックを備え、インゴ
ットに取付けられたチルトユニットと、 前記チルトユニット付インゴットが載置され装置本体上
を移動してインゴットの結晶軸方位測定位置まで移動す
る移動テーブルと、 インゴット端面にＸ線を出射するＸ線出射部とインゴッ
ト端面からの反射Ｘ線が入射するＸ線入射部とを備え装
置本体上に設けられたＸ線結晶軸方位測定装置と、 Ｘ線結晶軸方位測定装置によって検出されたインゴット
の垂直方向、水平方向の結晶軸方位を表示する表示部
と、 から成るＸ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整装
置。 - 【請求項５】 前記チルトユニットのブロック間のねじ
を締め付けたり、緩めたりする自動ねじ締め装置を有す
ることを特徴とする請求項４記載のＸ線を利用したイン
ゴットの結晶軸方位調整装置。 - 【請求項６】 前記検出されたインゴットの垂直方向、
水平方向の結晶軸方位に基づいて前記チルトユニットの
チルトブロックを駆動して前記インゴットの垂直方向、
水平方向の結晶軸方位を自動で調整する制御手段を有す
ることを特徴とする請求項４記載のＸ線を利用したイン
ゴットの結晶軸方位調整装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8142045A JPH09325124A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | Ｘ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置 |
| CH01267/97A CH692331A5 (de) | 1996-06-04 | 1997-05-29 | Drahtsäge und Schneidverfahren unter Einsatz derselben. |
| US08/866,097 US5904136A (en) | 1996-06-04 | 1997-05-30 | Wire saw and slicing method thereof |
| DE19723083A DE19723083A1 (de) | 1996-06-04 | 1997-06-02 | Drahtsäge und Schneidverfahren unter Einsatz derselben |
| MYPI97002447A MY126369A (en) | 1996-06-04 | 1997-06-03 | Wire saw and slicing method thereof. |
| KR1019970022979A KR100437469B1 (ko) | 1996-06-04 | 1997-06-03 | 와이어톱및와이어톱의경사각도조절장치와이를이용한워크피스절단방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8142045A JPH09325124A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | Ｘ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09325124A true JPH09325124A (ja) | 1997-12-16 |
Family
ID=15306120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8142045A Pending JPH09325124A (ja) | 1996-06-04 | 1996-06-04 | Ｘ線を利用したインゴットの結晶軸方位調整方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09325124A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006053141A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Efg Elektrotechnische Fabrikations & Grosshandels Gmbh | 少なくとも１つの単結晶の測定、配向および固定のための方法および装置 |
| KR101467691B1 (ko) * | 2013-07-24 | 2014-12-01 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳의 오리엔테이션 측정 장치 |
| JP2015050215A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社Sumco | インゴットとワークホルダの接着方法及び接着装置 |
| JP2015122424A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワーク保持治具 |
| CN113295715A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-24 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试*** |
| CN113977785A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-01-28 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种自动晶体定向测量及多晶棒粘接复检设备 |
| CN114714526A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-08 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 二维调整单晶硅棒晶向的接着方法 |
| CN114905647A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-08-16 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种用于定位待被线切割的晶棒的定位装置和线切割机 |
| CN115502840A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-12-23 | 青岛高测科技股份有限公司 | 磨床的上料控制方法及***、计算机设备、介质 |
-
1996
- 1996-06-04 JP JP8142045A patent/JPH09325124A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006053141A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Efg Elektrotechnische Fabrikations & Grosshandels Gmbh | 少なくとも１つの単結晶の測定、配向および固定のための方法および装置 |
| JP4500744B2 (ja) * | 2004-08-10 | 2010-07-14 | エーエフゲー エレクトロテヒニッシェ ファブリカチオンス ウント グロースハンデルスゲゼルシャフト エムベーハー | 少なくとも１つの単結晶の測定、方位づけ及び固定のための方法及び装置 |
| KR101467691B1 (ko) * | 2013-07-24 | 2014-12-01 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳의 오리엔테이션 측정 장치 |
| JP2015050215A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社Sumco | インゴットとワークホルダの接着方法及び接着装置 |
| CN105814669A (zh) * | 2013-12-24 | 2016-07-27 | 信越半导体株式会社 | 工件的切断方法及工件保持夹具 |
| WO2015097985A1 (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワーク保持治具 |
| JP2015122424A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワーク保持治具 |
| US10350788B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-07-16 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing workpiece and workpiece holder |
| CN113295715A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-24 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试*** |
| CN113295715B (zh) * | 2021-05-21 | 2024-04-19 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试*** |
| CN113977785A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-01-28 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种自动晶体定向测量及多晶棒粘接复检设备 |
| CN114714526A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-08 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 二维调整单晶硅棒晶向的接着方法 |
| CN114905647A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-08-16 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种用于定位待被线切割的晶棒的定位装置和线切割机 |
| CN115502840A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-12-23 | 青岛高测科技股份有限公司 | 磨床的上料控制方法及***、计算机设备、介质 |
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