JPH09320975A - カバー付きボート組合わせ治具 - Google Patents
カバー付きボート組合わせ治具Info
- Publication number
- JPH09320975A JPH09320975A JP15344496A JP15344496A JPH09320975A JP H09320975 A JPH09320975 A JP H09320975A JP 15344496 A JP15344496 A JP 15344496A JP 15344496 A JP15344496 A JP 15344496A JP H09320975 A JPH09320975 A JP H09320975A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cover
- wafer
- cap
- top plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】縦型半導体製造装置の反応炉内でウェーハを支
持するカバー付きボートに関し、短時間で精度の高いボ
ート、ボートカバーの製作ができる様にする。 【解決手段】ウェーハの半周部を覆う半円筒状のウェー
ハカバー１１を有しボートキャップ８を介して立設する
ボート７と、前記ウェーハカバーの不足部分を補充して
前記ウェーハカバーと共に円筒を形成するウェーハカバ
ー１４との位置合せに於いて、ボートキャップを乗置可
能な底板と、支柱により前記底板に対向して設けられボ
ートカバーを挿通可能な孔を有する天板とを有し、前記
底板にボートキャップを介してボートを立設し、前記ボ
ートカバーを前記天板に挿通し、天板より垂下した状態
でボートキャップ、ボート、ボートカバーが反応炉内で
の位置関係とになる様にする。
持するカバー付きボートに関し、短時間で精度の高いボ
ート、ボートカバーの製作ができる様にする。 【解決手段】ウェーハの半周部を覆う半円筒状のウェー
ハカバー１１を有しボートキャップ８を介して立設する
ボート７と、前記ウェーハカバーの不足部分を補充して
前記ウェーハカバーと共に円筒を形成するウェーハカバ
ー１４との位置合せに於いて、ボートキャップを乗置可
能な底板と、支柱により前記底板に対向して設けられボ
ートカバーを挿通可能な孔を有する天板とを有し、前記
底板にボートキャップを介してボートを立設し、前記ボ
ートカバーを前記天板に挿通し、天板より垂下した状態
でボートキャップ、ボート、ボートカバーが反応炉内で
の位置関係とになる様にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造工程のウ
ェーハ処理過程でウェーハを保持する為のボート、特に
ボートの周囲をカバーで覆う形式のカバー付きボートの
組合わせ治具に関するものである。
ェーハ処理過程でウェーハを保持する為のボート、特に
ボートの周囲をカバーで覆う形式のカバー付きボートの
組合わせ治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】縦型半導体製造装置では多数のシリコン
ウェーハをボートにより支持してバッチ処理している。
半導体製造工程ではシリコンウェーハに種々の薄膜を膜
付けしており、ある種の膜付け工程、例えばＳｉＯ2 膜
を高温雰囲気で生成する工程、或はＰ−Ｄｏｐｅｄ−Ｐ
ｏｌｙＳｉ膜の生成工程では、ウェーハの周りをスリッ
ト付きのカバーで覆うことによって膜厚の均一性が得ら
れる。
ウェーハをボートにより支持してバッチ処理している。
半導体製造工程ではシリコンウェーハに種々の薄膜を膜
付けしており、ある種の膜付け工程、例えばＳｉＯ2 膜
を高温雰囲気で生成する工程、或はＰ−Ｄｏｐｅｄ−Ｐ
ｏｌｙＳｉ膜の生成工程では、ウェーハの周りをスリッ
ト付きのカバーで覆うことによって膜厚の均一性が得ら
れる。
【０００３】ウェーハの周囲をスリット付きカバーで覆
った縦型半導体製造装置について図２により説明する。
った縦型半導体製造装置について図２により説明する。
【０００４】図２は縦型反応炉のヒータを省略した概略
を示しており、図中１は上端が閉塞され、下端が開口さ
れた石英製のアウタチューブ、２は前記アウタチューブ
１の内部に同心に内設され上下両端が開口された石英製
インナチューブを示している。
を示しており、図中１は上端が閉塞され、下端が開口さ
れた石英製のアウタチューブ、２は前記アウタチューブ
１の内部に同心に内設され上下両端が開口された石英製
インナチューブを示している。
【０００５】前記アウタチューブ１の下端には短円筒状
のインレットフランジ３が同心に連設され、該インレッ
トフランジ３に前記インナチューブ２の下端が支持され
ている。前記インレットフランジ３の下部に前記インナ
チューブ２の内部に連通する反応ガス導入ノズル４が設
けられ、前記インレットフランジ３の上部に前記アウタ
チューブ１とインナチューブ２とが成す円筒状の空間６
に排気ノズル５が連通されている。
のインレットフランジ３が同心に連設され、該インレッ
トフランジ３に前記インナチューブ２の下端が支持され
ている。前記インレットフランジ３の下部に前記インナ
チューブ２の内部に連通する反応ガス導入ノズル４が設
けられ、前記インレットフランジ３の上部に前記アウタ
チューブ１とインナチューブ２とが成す円筒状の空間６
に排気ノズル５が連通されている。
【０００６】前記インナチューブ２には石英製のボート
７が装入される。該ボート７は石英製ボートキャップ８
を介して炉口フランジ９に立設され、図示しないボート
エレベータにより前記インナチューブ２内に挿脱され
る。
７が装入される。該ボート７は石英製ボートキャップ８
を介して炉口フランジ９に立設され、図示しないボート
エレベータにより前記インナチューブ２内に挿脱され
る。
【０００７】図３に示される様に、前記ボート７は半円
筒状のウェーハカバー１１が立設され、該ウェーハカバ
ー１１には母線方向に延びる複数のスリット１２がウェ
ーハカバー１１の全面に亘り穿設されている。前記ウェ
ーハカバー１１の内面には母線方向に４本の支柱１３が
固着されており、該支柱１３の内面側に所要ピッチでウ
ェーハ保持溝（図示せず）が刻設されている。ウェーハ
１０は該ウェーハ保持溝に挿入され、水平姿勢で多数保
持される。
筒状のウェーハカバー１１が立設され、該ウェーハカバ
ー１１には母線方向に延びる複数のスリット１２がウェ
ーハカバー１１の全面に亘り穿設されている。前記ウェ
ーハカバー１１の内面には母線方向に４本の支柱１３が
固着されており、該支柱１３の内面側に所要ピッチでウ
ェーハ保持溝（図示せず）が刻設されている。ウェーハ
１０は該ウェーハ保持溝に挿入され、水平姿勢で多数保
持される。
【０００８】前記インナチューブ２の上端からは複数の
スリット１７が全面に亘り穿設されたボートカバー１４
が垂下される。該ボートカバー１４は上端フランジ１５
には半円筒状のウェーハカバー１６が垂設され、該ウェ
ーハカバー１６は前記ウェーハカバー１１と対向して円
筒を形成する。
スリット１７が全面に亘り穿設されたボートカバー１４
が垂下される。該ボートカバー１４は上端フランジ１５
には半円筒状のウェーハカバー１６が垂設され、該ウェ
ーハカバー１６は前記ウェーハカバー１１と対向して円
筒を形成する。
【０００９】前記ボート７がインナチューブ２内に装入
された状態ではウェーハ１０は前記ボート７のウェーハ
カバー１１、前記ボートカバー１４のウェーハカバー１
６に覆われる。
された状態ではウェーハ１０は前記ボート７のウェーハ
カバー１１、前記ボートカバー１４のウェーハカバー１
６に覆われる。
【００１０】ウェーハ１０の処理は内部が処理温度に加
熱された状態で前記反応ガス導入ノズル４より反応ガス
が導入され、インナチューブ２内に流入した反応ガスは
前記ウェーハカバー１１、ウェーハカバー１６のスリッ
ト１２、スリット１７よりウェーハ１０の収納空間に流
入し、ウェーハと反応し薄膜を生成した後、前記空間６
を経て前記排気ノズル５より排気される。
熱された状態で前記反応ガス導入ノズル４より反応ガス
が導入され、インナチューブ２内に流入した反応ガスは
前記ウェーハカバー１１、ウェーハカバー１６のスリッ
ト１２、スリット１７よりウェーハ１０の収納空間に流
入し、ウェーハと反応し薄膜を生成した後、前記空間６
を経て前記排気ノズル５より排気される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】前記スリット１２、ス
リット１７の穿設状態、或はウェーハカバー１１、ウェ
ーハカバー１６とが成す間隙等はウェーハ１０の収納空
間に流入する反応ガスの状態を大きく左右する。従っ
て、前記ウェーハカバー１１とウェーハカバー１６間の
隙間が均一となる様精度良く製作することが必要であ
る。更に、図３に見られる如く、ボート７は前記ボート
キャップ８に乗置され、前記ボートカバー１４は前記イ
ンナチューブ２の上端に載置される構造である為、累積
誤差によりボート７、ボートカバー１４が所定の位置
に、又位置関係にならない場合がある。従って誤差の累
積があっても正規の位置関係となる様にするには、製作
公差を厳しくする以外ない。ところが、石英部品は溶接
部分が多く、精度が出にくく製作には多大な時間、労力
が必要であり、非常に高価なものとなっていた。
リット１７の穿設状態、或はウェーハカバー１１、ウェ
ーハカバー１６とが成す間隙等はウェーハ１０の収納空
間に流入する反応ガスの状態を大きく左右する。従っ
て、前記ウェーハカバー１１とウェーハカバー１６間の
隙間が均一となる様精度良く製作することが必要であ
る。更に、図３に見られる如く、ボート７は前記ボート
キャップ８に乗置され、前記ボートカバー１４は前記イ
ンナチューブ２の上端に載置される構造である為、累積
誤差によりボート７、ボートカバー１４が所定の位置
に、又位置関係にならない場合がある。従って誤差の累
積があっても正規の位置関係となる様にするには、製作
公差を厳しくする以外ない。ところが、石英部品は溶接
部分が多く、精度が出にくく製作には多大な時間、労力
が必要であり、非常に高価なものとなっていた。
【００１２】本発明は斯かる実情に鑑み、短時間で精度
の高いボート、ボートカバーの製作ができる様にしよう
とするものである。
の高いボート、ボートカバーの製作ができる様にしよう
とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハの半
周部を覆う半円筒状のウェーハカバーを有しボートキャ
ップを介して立設するボートと、前記ウェーハカバーの
不足部分を補充して前記ウェーハカバーと共に円筒を形
成するウェーハカバーとの位置合せに於いて、ボートキ
ャップを乗置可能な底板と、支柱により前記底板に対向
して設けられボートカバーを挿通可能な孔を有する天板
とを有し、前記底板にボートキャップを介してボートを
立設し、前記ボートカバーを前記天板に挿通し、天板よ
り垂下した状態でボートキャップ、ボート、ボートカバ
ーが反応炉内での位置関係とになる様にしたものであ
る。
周部を覆う半円筒状のウェーハカバーを有しボートキャ
ップを介して立設するボートと、前記ウェーハカバーの
不足部分を補充して前記ウェーハカバーと共に円筒を形
成するウェーハカバーとの位置合せに於いて、ボートキ
ャップを乗置可能な底板と、支柱により前記底板に対向
して設けられボートカバーを挿通可能な孔を有する天板
とを有し、前記底板にボートキャップを介してボートを
立設し、前記ボートカバーを前記天板に挿通し、天板よ
り垂下した状態でボートキャップ、ボート、ボートカバ
ーが反応炉内での位置関係とになる様にしたものであ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００１５】本発明ではボートキャップ８、ボート７、
ボートカバー１４の最終仕上げを治具２０を用いて行
い、部品単体の製作公差を緩くするものである。
ボートカバー１４の最終仕上げを治具２０を用いて行
い、部品単体の製作公差を緩くするものである。
【００１６】前記治具２０について説明する。
【００１７】底板２１に３本の支柱２２を立設し、該支
柱２２の上端にリング状の天板２３を固着し、治具２０
を形成し、該治具２０の全体の寸法は前記インナチュー
ブ２と等価にする。
柱２２の上端にリング状の天板２３を固着し、治具２０
を形成し、該治具２０の全体の寸法は前記インナチュー
ブ２と等価にする。
【００１８】先ず、然程厳しくない公差によりボートキ
ャップ８、ボート７、ボートカバー１４を製作する。前
記ボートキャップ８を前記底板２１に載置し、前記ボー
トキャップ８にボート７を立設する。前記ボートカバー
１４を前記天板２３を貫通して前記上端フランジ１５を
前記天板２３に乗置する。ボート７とボートカバー１４
との相互位置関係はアウタチューブ１内にボートキャッ
プ８、ボート７、ボートカバー１４を実際に設置した状
態と同じとなる。
ャップ８、ボート７、ボートカバー１４を製作する。前
記ボートキャップ８を前記底板２１に載置し、前記ボー
トキャップ８にボート７を立設する。前記ボートカバー
１４を前記天板２３を貫通して前記上端フランジ１５を
前記天板２３に乗置する。ボート７とボートカバー１４
との相互位置関係はアウタチューブ１内にボートキャッ
プ８、ボート７、ボートカバー１４を実際に設置した状
態と同じとなる。
【００１９】次に、ボート７とボートカバー１４間の隙
間を計測し、上部、下部の寸法が規定した公差内に入っ
ていない場合は、ボートキャップ８の上面、ボート７の
下面等の箇所を削り寸法修正を行う。寸法修正後再びボ
ートキャップ８、ボート７、ボートカバー１４を前記治
具２０に組込みボート７とボートカバー１４間の隙間を
計測する。寸法が公差内にある事が確認できたら修正は
完了し、寸法が公差から外れていたら更に前記修正作業
を繰返す。
間を計測し、上部、下部の寸法が規定した公差内に入っ
ていない場合は、ボートキャップ８の上面、ボート７の
下面等の箇所を削り寸法修正を行う。寸法修正後再びボ
ートキャップ８、ボート７、ボートカバー１４を前記治
具２０に組込みボート７とボートカバー１４間の隙間を
計測する。寸法が公差内にある事が確認できたら修正は
完了し、寸法が公差から外れていたら更に前記修正作業
を繰返す。
【００２０】ボート７、ボートキャップ８、ボートカバ
ー１４を治具２０に組付けた状態は反応炉に実際に組付
けた場合と等価であるので、ボート７、ボートキャップ
８、ボートカバー１４を反応炉に組付けた状態での所定
の精度が達成できる。
ー１４を治具２０に組付けた状態は反応炉に実際に組付
けた場合と等価であるので、ボート７、ボートキャップ
８、ボートカバー１４を反応炉に組付けた状態での所定
の精度が達成できる。
【００２１】尚、前記支柱２２は２本であっても良く、
又底板２１、天板２３は必ずしも円形である必要はな
い。
又底板２１、天板２３は必ずしも円形である必要はな
い。
【００２２】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、部品製
作後調整するのでボート、ボートカバー等石英製品単体
の精度を緩やかにすることができるので、製作費が低減
し、又組立て状態での最終精度を向上させることができ
るので、ウェーハを流通する反応ガスの状態をより最適
なものとすることができ、ウェーハに付着する膜厚の均
一性を向上させることができる等の優れた効果を発揮す
る。
作後調整するのでボート、ボートカバー等石英製品単体
の精度を緩やかにすることができるので、製作費が低減
し、又組立て状態での最終精度を向上させることができ
るので、ウェーハを流通する反応ガスの状態をより最適
なものとすることができ、ウェーハに付着する膜厚の均
一性を向上させることができる等の優れた効果を発揮す
る。
【図１】本発明の実施の形態を示す斜視説明図である。
【図２】カバー付きボートを具備する縦型半導体製造装
置の概略図である。
置の概略図である。
【図３】従来例を示す斜視説明図である。
７ ボート ８ ボートキャップ １４ ボートカバー １５ 上端フランジ ２０ 治具 ２１ 底板 ２２ 支柱 ２３ 天板
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハの半周部を覆う半円筒状のウェ
ーハカバーを有しボートキャップを介して立設するボー
トと、前記ウェーハカバーの不足部分を補充して前記ウ
ェーハカバーと共に円筒を形成するウェーハカバーとの
位置合せに於いて、ボートキャップを乗置可能な底板
と、支柱により前記底板に対向して設けられボートカバ
ーを挿通可能な孔を有する天板とを有し、前記底板にボ
ートキャップを介してボートを立設し、前記ボートカバ
ーを前記天板に挿通し、天板より垂下した状態でボート
キャップ、ボート、ボートカバーが反応炉内での位置関
係とになる様にしたことを特徴とするカバー付きボート
組合わせ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15344496A JPH09320975A (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | カバー付きボート組合わせ治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15344496A JPH09320975A (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | カバー付きボート組合わせ治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320975A true JPH09320975A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15562688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15344496A Pending JPH09320975A (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | カバー付きボート組合わせ治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320975A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474735B1 (ko) * | 2002-06-29 | 2005-03-10 | 동부아남반도체 주식회사 | 상/하단부에 캡을 씌운 보트 |
-
1996
- 1996-05-24 JP JP15344496A patent/JPH09320975A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474735B1 (ko) * | 2002-06-29 | 2005-03-10 | 동부아남반도체 주식회사 | 상/하단부에 캡을 씌운 보트 |
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