JPH09310896A - Fan filter unit - Google Patents
Fan filter unitInfo
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- JPH09310896A JPH09310896A JP8126774A JP12677496A JPH09310896A JP H09310896 A JPH09310896 A JP H09310896A JP 8126774 A JP8126774 A JP 8126774A JP 12677496 A JP12677496 A JP 12677496A JP H09310896 A JPH09310896 A JP H09310896A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、食品
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、この種のファンフィルターユニッ
トは、フィルター吹き出し面の風速分布の均一化および
その発生騒音の抑制が求められている。2. Description of the Related Art In recent years, a fan filter unit of this kind has been required to have a uniform wind velocity distribution on a filter blowing surface and to suppress noise generated thereby.
【0003】従来、この種のファンフィルターユニット
は、図6に示すような構造が一般的であった。以下、そ
の構成について図6を参照しながら説明する。Conventionally, a fan filter unit of this type generally has a structure as shown in FIG. Hereinafter, the configuration will be described with reference to FIG.
【0004】従来のファンフィルターユニットは、チャ
ンバー101に空気を送り込むためのファン102とモ
ーター103、ファン102とモーター103を覆うケ
ーシング104が配置されており、空気を清浄化するフ
ィルター105で構成されている。In the conventional fan filter unit, a fan 102 for feeding air into the chamber 101, a motor 103, a casing 104 for covering the fan 102 and the motor 103 are arranged, and a fan 105 for cleaning the air is formed. There is.
【0005】そして、ファン102とモーター103よ
り送り込まれた空気が、フィルター105を通過して清
浄空気となって吹き出されていた。The air sent from the fan 102 and the motor 103 passed through the filter 105 and was blown out as clean air.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】このような従来のファ
ンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気
がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから
吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きく
なり、その風速分布がばらつくという課題があった。In such a conventional fan filter unit, the air blown from the fan diffuses non-uniformly with respect to the filter, and the difference between the high speed part and the low speed part of the air blown from the filter is large. There was a problem that it became large and the wind speed distribution varied.
【0007】また、ファンによる発生騒音を遮断、吸音
する手段がなく、このファンフィルターユニットの発生
騒音が大きいという課題があった。Further, there is a problem in that the noise generated by the fan filter unit is large because there is no means for blocking and absorbing the noise generated by the fan.
【0008】これらの改善策として、特開平6−159
752号公報による提案もあったが、チャンバー内部全
体に消音材を貼りめぐらすなど、コストの面では必ずし
も有利とはいえないものであった。As a countermeasure for these problems, Japanese Patent Laid-Open No. 6-159 has been proposed.
There was a proposal by Japanese Patent No. 752, but it was not necessarily advantageous in terms of cost, such as that a sound deadening material was spread all over the inside of the chamber.
【0009】本発明は、上記課題を解決するもので、開
口部を有する遮蔽板と、穴の開いたパンチングメタル材
の拡散板を設けることによって、フィルターより吹き出
す風速の分布を均一化でき、ファンモーターからの発生
騒音の伝播も抑制するファンフィルターユニットを提供
することを第1の目的としている。The present invention is to solve the above problems, and by providing a shielding plate having an opening and a perforated metal diffusion plate, it is possible to make the distribution of the wind speed blown out from the filter uniform, and A first object of the present invention is to provide a fan filter unit that also suppresses the propagation of noise generated from a motor.
【0010】第2の目的は、遮蔽板に多孔質の消音材を
配置するという比較的簡単な消音材の貼付構成で、発生
騒音の伝播をより一層抑制することにある。A second object is to further suppress the propagation of generated noise with a relatively simple structure for attaching a sound deadening material, in which a porous sound deadening material is arranged on the shielding plate.
【0011】第3の目的は、チャンバーの天面の一辺と
ほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を有する
ことにより人が乗ることができ、メンテナンス作業を容
易に行うことにある。A third object is to have a reinforcing means having a length substantially equal to one side of the top surface of the chamber and having a substantially U-shaped cross section so that a person can ride on it and maintenance work can be performed easily. It is in.
【0012】第4の目的は、端部に穴を有し取っ手を設
けた補強手段を使用することにより、クリーンルームで
の搬入、施工をスムーズに容易に行うことにある。A fourth object is to smoothly and easily carry-in and install in a clean room by using a reinforcing means having a hole at an end and provided with a handle.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明のファンフィルタ
ーユニットは上記目的を達成するために、空気を清浄化
するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給
するチャンバーと、前記チャンバーの天面に吸い込み用
の穴を備え、前記チャンバーの中には送風用のファン
と、前記ファンの駆動用のモーターと、送風用の二方向
吹き出し口を有するケーシングと、前記ケーシングの下
流側の中央近傍に開口部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の
開口部の下流側にパンチングメタル材の拡散板を備えた
構成としたものである。In order to achieve the above object, a fan filter unit of the present invention has a filter for cleaning air, a chamber adjacent to the filter for supplying air, and a top surface of the chamber. A suction fan is provided in the chamber, a fan for blowing air, a motor for driving the fan, a casing having a two-way outlet for blowing air, and an opening near the center on the downstream side of the casing. And a diffusion plate made of punching metal material on the downstream side of the opening of the shielding plate.
【0014】本発明によれば、ファンモーターからの発
生騒音を遮断、吸音する遮蔽板を配置したので、ファン
モーターからの発生騒音を抑制でき、また拡散板を配置
したので、フィルターからの吹き出し風速分布の均一化
ができるファンフィルターユニットを提供できる。According to the present invention, since the shield plate for blocking and absorbing the noise generated from the fan motor is arranged, the noise generated from the fan motor can be suppressed, and since the diffusion plate is arranged, the speed of air blown out from the filter can be reduced. It is possible to provide a fan filter unit that can make the distribution uniform.
【0015】また、他の手段は遮蔽板に多孔質の消音材
を備えた構成としたものである。そして本発明によれ
ば、遮蔽板に多孔質の消音材を配置するという比較的簡
単な消音材の貼付構成で、発生騒音の伝播をより一層抑
制することができる。Another means is to construct the shielding plate with a porous sound deadening material. According to the present invention, it is possible to further suppress the propagation of generated noise with a relatively simple attachment structure of the sound deadening material in which the porous sound deadening material is arranged on the shielding plate.
【0016】また、他の手段はチャンバーの天面の一辺
とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を有し
た構成としたものである。Further, another means is a construction having a reinforcing means having a length approximately equal to one side of the top surface of the chamber and having a substantially U-shaped cross section.
【0017】そして本発明によれば、チャンバーの天面
の一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段
を有することにより、人が乗ることができ、メンテナン
ス作業を容易に行うことができる。Further, according to the present invention, by having the reinforcing means having substantially the same length as one side of the top surface of the chamber and having a substantially U-shaped cross section, a person can ride on it and maintenance work can be facilitated. It can be carried out.
【0018】また、他の手段は端部に穴を有し、取っ手
を設けた補強手段を有した構成としたものである。The other means has a hole at the end and a reinforcing means provided with a handle.
【0019】そして本発明によれば、端部に穴を有し取
っ手を設けた補強手段を使用することにより、クリーン
ルームでの搬入、施工をスムーズに容易に行うことがで
きる。Further, according to the present invention, by using the reinforcing means having the hole at the end and having the handle, the carrying-in and the construction in the clean room can be carried out smoothly and easily.
【0020】[0020]
【発明の実施の形態】本発明は空気を清浄化するフィル
ターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するチャン
バーと、前記チャンバーの天面に吸い込み用の穴を備
え、前記チャンバーの中には送風用のファンと、前記フ
ァンの駆動用のモーターと、送風用の二方向吹き出し口
を有するケーシングと、前記ケーシングの下流側の中央
近傍に開口部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の開口部の下
流側でパンチングメタル材の拡散板を備えたものであ
り、開口部を有する遮蔽板と、穴の開いたパンチングメ
タル材の拡散板を設けることによって、フィルターより
吹き出す風速の分布を均一化でき、ファンモーターから
の発生騒音の伝播も抑制することができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention comprises a filter for cleaning air, a chamber adjacent to the filter for supplying air, and a suction hole on the top surface of the chamber. Fan, a motor for driving the fan, a casing having a two-way air outlet for blowing air, a shield plate having an opening near the center on the downstream side of the casing, and an opening of the shield plate. It is provided with a diffusion plate of punching metal material on the downstream side, and by providing a shielding plate having an opening and a diffusion plate of punching metal material with holes, the distribution of the wind speed blown out from the filter can be made uniform, The propagation of noise generated from the fan motor can also be suppressed.
【0021】また、遮蔽板に多孔質の消音材を備えたも
のであり、遮蔽板に多孔質の消音材を配置するという比
較的簡単な消音材の貼付構成で、発生騒音の伝播をより
一層抑制することができる。Further, since the shielding plate is provided with a porous sound deadening material, and a relatively simple sound deadening material is attached to the shielding plate, the noise can be further propagated. Can be suppressed.
【0022】また、チャンバーの天面の一辺とほぼ等長
であって断面が略コの字状の補強手段を有したものであ
り、略コの字状の補強手段を有することにより、人が乗
るための足場としての使用ができ、クリーンルームでの
メンテナンス作業を容易に行うことができる。Further, the chamber is provided with a reinforcing means having a substantially U-shaped cross section and having substantially the same length as one side of the top surface of the chamber. It can be used as a scaffold for riding, and maintenance work in a clean room can be performed easily.
【0023】また、端部に穴を有し、取っ手を設けた補
強手段を有したものであり、端部に穴を有し取っ手を設
けた補強手段を使用することにより、クリーンルームで
の搬入、施工をスムーズに容易に行うことができる。Further, the reinforcing means having a hole at the end and having a handle is provided. By using the reinforcing means having a hole at the end and having a handle, carrying in a clean room, Construction can be done smoothly and easily.
【0024】以下、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0025】[0025]
(実施例1)図1に示すように、ファンフィルターユニ
ットのチャンバー1には、送風用のファン2と、ファン
2の駆動用のモーター3と、二方向吹き出し口を有する
ケーシング4と、ケーシング4の下流側約50〜100
mmの位置にチャンバー1の水平面断面積の約50〜75
%を覆い中央近傍に開口部を有する遮蔽板5と、遮蔽板
5の開口部の下流側約50〜100mmの位置にパンチン
グメタル材の拡散板6を備えている。また、フィルター
7はチャンバー1の下部に設置されている。(Embodiment 1) As shown in FIG. 1, in a chamber 1 of a fan filter unit, a fan 2 for blowing air, a motor 3 for driving the fan 2, a casing 4 having a two-way outlet, and a casing 4 Downstream of about 50-100
About 50 to 75 of the horizontal cross-sectional area of the chamber 1 at the position of mm.
%, And a diffusion plate 6 made of a punching metal material is provided at a position approximately 50 to 100 mm downstream of the opening of the shielding plate 5. Further, the filter 7 is installed in the lower part of the chamber 1.
【0026】上記構成において、ファン2とモーター3
とケーシング4からの発生騒音は遮蔽板5により遮音、
吸音するので全体の発生騒音を抑制することができる。
また、遮蔽板5と拡散板6により、ファン2から送られ
る空気をフィルター7に対して均一に吹き込み、フィル
ター7の吹き出し面からの風速分布を均一にすることが
できる。In the above structure, the fan 2 and the motor 3
The noise generated from the casing 4 is shielded by the shield plate 5,
Since the sound is absorbed, the total noise generated can be suppressed.
Further, the air sent from the fan 2 can be uniformly blown into the filter 7 by the shielding plate 5 and the diffusion plate 6, and the wind velocity distribution from the blowing surface of the filter 7 can be made uniform.
【0027】(実施例2)図2に示すように、遮蔽板5
の上流側表面に多孔質の消音材8を配置している。(Embodiment 2) As shown in FIG.
A porous sound deadening material 8 is arranged on the upstream surface of the.
【0028】上記構成において、ファン2とモーター3
とケーシング4からの発生騒音は遮蔽板5の上流側表面
に多孔質の消音材8を配置するのみで遮音、吸音するの
で全体の発生騒音をより一層抑制することができる。In the above structure, the fan 2 and the motor 3
The noise generated from the casing 4 is insulated and absorbed only by disposing the porous sound deadening material 8 on the upstream surface of the shielding plate 5, so that the overall noise generated can be further suppressed.
【0029】(実施例3)図3に示すように、チャンバ
ー1の天面の一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状
の補強手段9を配置している。(Embodiment 3) As shown in FIG. 3, reinforcing means 9 having a length approximately equal to one side of the top surface of the chamber 1 and a substantially U-shaped cross section is arranged.
【0030】上記構成において、補強手段9の上に人が
乗ることができるので、図4に示すようにファンフィル
ターユニットが多数設置されている場合に、容易にメン
テナンス作業を行うことができる。In the above structure, since a person can ride on the reinforcing means 9, it is possible to easily perform maintenance work when a large number of fan filter units are installed as shown in FIG.
【0031】(実施例4)図5に示すように、補強手段
9Aの両端部に穴をあけ、取っ手10を配置する。(Embodiment 4) As shown in FIG. 5, holes are made at both ends of the reinforcing means 9A, and the handles 10 are arranged.
【0032】上記構成において、チャンバーを持ち上げ
搬送することが容易にできるので、クリーンルームでの
搬入、施工をスムーズに容易に行うことができる。In the above structure, since the chamber can be easily lifted and transported, it is possible to smoothly carry in and carry it in a clean room.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明によればファンモーターからの発生騒音を遮断、吸音
する遮蔽板を配置したので、ファンモーターからの発生
騒音を抑制でき、また、拡散板を配置したので、フィル
ターからの吹き出し風速分布の均一化ができるファンフ
ィルターユニットを提供できる。As is apparent from the above embodiments, according to the present invention, since the shielding plate for cutting off and absorbing the noise generated from the fan motor is arranged, the noise generated from the fan motor can be suppressed, and Since the diffuser plate is arranged, it is possible to provide a fan filter unit capable of making the distribution of the wind velocity blown out from the filter uniform.
【0034】また本発明によれば、遮蔽板に多孔質の消
音材を配置するという比較的簡単な消音材の貼付構成
で、発生騒音の伝播をより一層抑制することができるフ
ァンフィルターユニットを提供できる。Further, according to the present invention, a fan filter unit capable of further suppressing the propagation of generated noise is provided by a relatively simple attachment structure of a sound deadening material in which a porous sound deadening material is arranged on a shielding plate. it can.
【0035】また本発明によれば、チャンバーの天面の
一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を
有することにより、人が乗ることができ、メンテナンス
作業を容易に行うことができるファンフィルターユニッ
トを提供できる。Further, according to the present invention, by having the reinforcing means having substantially the same length as one side of the top surface of the chamber and a substantially U-shaped cross section, it is possible for a person to ride on and facilitate maintenance work. A fan filter unit capable of performing can be provided.
【0036】また、取っ手を備えた補強手段を配置した
ので、人による搬入、施工をスムーズに容易に行え、ク
リーンルームでの設置後もメンテナンス作業を容易に行
うことができるファンフィルターユニットを提供でき
る。Further, since the reinforcing means provided with the handle is arranged, it is possible to provide a fan filter unit which can be easily carried in and installed by a person and can be easily maintained even after installation in a clean room.
【図1】本発明の実施例1のファンフィルターユニット
の構成を示す断面図FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a fan filter unit according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施例2のファンフィルターユニット
の構成を示す断面図FIG. 2 is a sectional view showing a configuration of a fan filter unit according to a second embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施例3のファンフィルターユニット
の外観を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing the outer appearance of a fan filter unit according to a third embodiment of the present invention.
【図4】同一般的なファンフィルターユニットの施工状
態を示す配置図FIG. 4 is a layout diagram showing a construction state of the general fan filter unit.
【図5】本発明の実施例4のファンフィルターユニット
の補強手段の構成を示す斜視図FIG. 5 is a perspective view showing a configuration of a reinforcing means of a fan filter unit according to a fourth embodiment of the present invention.
【図6】従来のファンフィルターユニットの構成を示す
断面図FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional fan filter unit.
1 チャンバー 2 ファン 3 モーター 4 ケーシング 5 遮蔽板 6 拡散板 7 フィルター 8 消音材 9 補強手段 9A 補強手段 10 取っ手 1 Chamber 2 Fan 3 Motor 4 Casing 5 Shielding Plate 6 Diffuser 7 Filter 8 Silencing Material 9 Reinforcing Means 9A Reinforcing Means 10 Handle
Claims (4)
ィルターに隣接し空気を供給するチャンバーと、前記チ
ャンバーの中には送風用のファンと、前記ファンの駆動
用のモーターと、送風用の二方向吹き出し口を有するケ
ーシングと、前記ケーシングの下流側の中央近傍に開口
部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の開口部の下流側でパン
チングメタル材の拡散板を備えたファンフィルターユニ
ット。1. A filter for cleaning air, a chamber adjacent to the filter for supplying air, a fan for blowing air in the chamber, a motor for driving the fan, and a fan for blowing air. A fan filter unit comprising a casing having a direction outlet, a shielding plate having an opening near the center on the downstream side of the casing, and a diffusion plate made of punching metal material on the downstream side of the opening of the shielding plate.
1記載のファンフィルターユニット。2. The fan filter unit according to claim 1, wherein the shielding plate is provided with a porous sound deadening material.
って断面が略コの字状の補強手段を有した請求項1また
は請求項2記載のファンフィルターユニット。3. The fan filter unit according to claim 1 or 2, further comprising a reinforcing means having a length substantially equal to one side of a top surface of the chamber and having a substantially U-shaped cross section.
段を有した請求項3記載のファンフィルターユニット。4. The fan filter unit according to claim 3, further comprising a reinforcing means having a hole at an end and a handle.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8126774A JPH09310896A (en) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | Fan filter unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8126774A JPH09310896A (en) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | Fan filter unit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09310896A true JPH09310896A (en) | 1997-12-02 |
Family
ID=14943607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8126774A Pending JPH09310896A (en) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | Fan filter unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09310896A (en) |
Cited By (8)
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-
1996
- 1996-05-22 JP JP8126774A patent/JPH09310896A/en active Pending
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