JP2006112755A - Local cleaning air-conditioning system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、局所的に空気清浄を行うことができる局所清浄化空調システムに関するものである。 The present invention relates to a locally-cleaned air conditioning system that can locally clean air.
例えば液晶工場などにおいて真空系物理化学的処理を行う処理装置の周囲の空気清浄度は、処理装置が密閉装置であるため、例えばJISB9920のクリーンルームの空気清浄度の評価方法による清浄度クラス7程度の空気清浄度で十分である。しかし、処理装置のメンテナンス時では装置を開けるので、装置内部の汚染を防ぐために清浄空気(例えば清浄度クラス6)で保護する必要がある。 For example, the air cleanliness around a processing apparatus that performs vacuum physicochemical processing in a liquid crystal factory or the like is, for example, a cleanliness class of about 7 according to the JISB9920 clean room air cleanliness evaluation method because the processing apparatus is a sealed device. Air cleanliness is sufficient. However, since the apparatus is opened during maintenance of the processing apparatus, it is necessary to protect it with clean air (for example, cleanliness class 6) in order to prevent contamination inside the apparatus.
従来では、処理装置の稼働時およびメンテナンス時でも清浄度クラス6を維持できるように、天井に設置した多数のFFU(Fan Filter Unit)によってクリーンルーム内全体に清浄空気を供給している(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, clean air is supplied to the entire clean room by a large number of FFUs (Fan Filter Units) installed on the ceiling so that the cleanliness class 6 can be maintained even during operation and maintenance of the processing apparatus (for example, patents) Reference 1).
従来では、処理装置のメンテナンス時に必要な清浄空間以外の空間にも常時清浄空気を供給している。この方式では、FFUに空気を戻すためのリターンスペースや天井チャンバーが必要で、建築階高、建築コストおよび建築工期を要している。したがって、従来では、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化しているために設備コストの無駄と、消費エネルギーコストの無駄とが顕著である。 Conventionally, clean air is always supplied to a space other than the clean space required for maintenance of the processing apparatus. This method requires a return space and a ceiling chamber for returning air to the FFU, and requires a building height, a construction cost, and a construction period. Therefore, conventionally, since clean air is supplied to an unnecessary place for cleaning, waste of equipment cost and waste of energy consumption are remarkable.
本発明は、上記実情に鑑みて、必要な範囲を局所的に清浄化することができる局所清浄化空調システムを提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the local cleaning air conditioning system which can clean a required range locally in view of the said situation.
上記の目的を達成するために、本発明の請求項1に係る局所清浄化空調システムは、室内の空気を吸込んで冷房負荷を処理した空気を前記室内に吹出す熱交換装置と、前記熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を前記室内の局所に向けて吹出す空気清浄装置とを備えたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a locally purified air conditioning system according to
本発明の請求項2に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項1において、前記空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い前記空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、当該バッフル板に対して、前記空気吹出口の口形に沿って開設したスリット孔、および前記スリット孔よりも小径に開設した複数の小孔からなる風速調整手段を備えたことを特徴とする。
According to claim 2 of the present invention, the local cleaning air conditioning system according to
本発明の請求項3に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項2において、前記スリット孔は、前記バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してあることを特徴とする。
The local cleaning air conditioning system according to
本発明の請求項4に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項1において、前記空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い前記空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、当該バッフル板に対して複数の小孔を開設した風速調整手段を備えたことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a local cleaning air conditioning system according to the first aspect, wherein a baffle plate that covers the inner peripheral edge of the air outlet of the air cleaning device and reaches the air sucked into the air cleaning device is disposed. And a wind speed adjusting means provided with a plurality of small holes in the baffle plate.
本発明の請求項5に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項2〜4のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の中央に向く前記バッフル板の縁部において、当該バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所にパンチング板を立設したことを特徴とする。 A local cleaning air conditioning system according to claim 5 of the present invention is the baffle according to any one of claims 2 to 4, wherein the baffle plate faces the center of the air outlet of the air cleaning device. A punching plate is erected at a location where the wind speed of air reaching the plate is relatively large.
本発明の請求項6に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項5において、前記パンチング板は、前記空気清浄装置に吸込まれた空気を前記バッフル板に向けて案内する案内板の端縁に連ねて設けてあることを特徴とする。 The local cleaning air conditioning system according to claim 6 of the present invention is the local cleaning air conditioning system according to claim 5, wherein the punching plate is provided on an edge of the guide plate that guides air sucked into the air cleaning device toward the baffle plate. It is characterized by being provided in series.
本発明の請求項7に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項1〜6のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の口形に沿って空気の吹出し方向に延在して配置した板片状の風向案内手段を備えたことを特徴とする。
A local cleaning air conditioning system according to claim 7 of the present invention extends in the air blowing direction along the mouth shape of the air outlet of the air cleaning device according to any one of
本発明の請求項8に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項7において、前記風向案内手段は、前記空気吹出口の差し渡し方向に複数並設してあり、当該差し渡し方向に順次偏角して設けてあることを特徴とする。 The local cleaning air conditioning system according to claim 8 of the present invention is the local cleaning air conditioning system according to claim 7, wherein a plurality of the wind direction guide means are arranged in parallel in the delivery direction of the air outlet, and are sequentially declined in the delivery direction. It is characterized by being provided.
本発明の請求項9に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項1〜8のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の外周縁に沿って空気の吹出し方向に延在して配置した板片状の誘引防止手段を備えたことを特徴とする。 A local cleaning air conditioning system according to a ninth aspect of the present invention extends to the air blowing direction along the outer peripheral edge of the air outlet of the air cleaning device according to any one of the first to eighth aspects. It is characterized by having a plate-like attracting prevention means arranged in the manner described above.
本発明の請求項10に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項2〜9のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の中央部分を覆うメッシュスクリーンを設けたことを特徴とする。
A local cleaning air conditioning system according to
本発明の請求項11に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項7〜10のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設け、当該風向案内手段を設けた部位に係り前記接続部分を空ける態様で空気吹出口を覆うメッシュスクリーンを設けたことを特徴とする。 A local cleaning air conditioning system according to an eleventh aspect of the present invention is the connection portion of each air purifying device according to any one of the seventh to tenth aspects, wherein a plurality of the air purifying devices are connected in parallel. And a mesh screen is provided to cover the air outlet in such a manner as to open the connection portion in relation to the portion where the wind direction guiding means is provided.
本発明に係る局所清浄化空調システムは、空気清浄装置によって清浄化した空気を室内の局所に吹出す。この結果、所望とする局所の空気清浄度がその周囲と比較して高くなるため、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化する場合と比較して空気清浄装置の設置台数を減らせるので設備コストの無駄、および消費エネルギーコストの無駄をなくすことができる。 The local cleaning air-conditioning system according to the present invention blows out air purified by an air cleaning device locally in a room. As a result, since the desired local air cleanliness is higher than the surrounding area, the number of installed air purifiers can be reduced compared with the case where clean air is supplied to an unnecessary place for cleaning. Waste of equipment cost and energy consumption can be eliminated.
さらに、本発明に係る局所清浄化空調システムは、熱交換装置および空気清浄装置によって室内の空気を循環させている。すなわち、空気清浄装置に空気を戻すダクトなどのリターンスペースを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストの無駄をなくすことができ、さらに階高などスペース効率を向上することができ、建築コストが低減でき施工期間を短くすることができる。 Furthermore, the local cleaning air-conditioning system according to the present invention circulates indoor air using a heat exchange device and an air cleaning device. That is, a partition for providing a return space such as a duct for returning air to the air cleaning device is not necessary. As a result, waste of equipment costs can be eliminated, and space efficiency such as floor height can be improved, construction costs can be reduced, and construction periods can be shortened.
空気清浄装置によって局所に吹出された空気は、風速調整手段によって形成された風速の大きいエアカーテンによって囲まれる。この結果、清浄化された空気の周辺の汚染空気が清浄空気に侵入する事態を防止することができる。エアカーテンは、作業者から発生する粒子が局所に侵入する事態も防止することができる。 The air blown locally by the air cleaning device is surrounded by an air curtain having a high wind speed formed by the wind speed adjusting means. As a result, it is possible to prevent the contaminated air around the purified air from entering the clean air. The air curtain can also prevent a situation where particles generated from an operator enter a local area.
空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、風速調整手段は、バッフル板に対して、空気吹出口の口形に沿って開設したスリット孔、およびスリット孔よりも小径に開設した複数の小孔からなる。すなわち、スリット孔によって空気吹出口の口形に沿って空気を吹出し、小孔によってスリット孔から吹出る空気の風速を大きくなるように助勢する。この結果、効率の良いエアカーテンを得ることができる。また、スリット孔は、バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してある。この結果、エアカーテンとしてスリット孔から吹出される空気の風速を均一化することができる。 A baffle plate that covers the inner peripheral edge of the air blower outlet of the air purifier and reaches the air sucked into the air purifier is arranged, and the wind speed adjusting means is established along the shape of the air blower outlet with respect to the baffle plate. And a plurality of small holes opened with a smaller diameter than the slit holes. That is, air is blown out along the mouth shape of the air outlet by the slit hole, and the air velocity of the air blown out from the slit hole is assisted by the small hole. As a result, an efficient air curtain can be obtained. Further, the slit hole is set to have a small opening width at a portion where the wind speed of air reaching the baffle plate is relatively large, and a large opening width at a portion where the wind speed is relatively small. As a result, the wind speed of the air blown out from the slit hole as the air curtain can be made uniform.
空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、風速調整手段は、バッフル板に対して複数の小孔を開設してなる。この構成によっても良好なエアカーテンを得ることができる。 A baffle plate that covers the inner peripheral edge of the air outlet of the air purifier and reaches the air sucked into the air purifier is disposed, and the wind speed adjusting means has a plurality of small holes in the baffle plate. A good air curtain can also be obtained by this configuration.
空気清浄装置の空気吹出口の中央に向くバッフル板の縁部において、バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所にパンチング板を立設してある。この結果、風速の比較的大きい空気がパンチング板に衝突するので、空気吹出口の中央で吹出される空気の風速を均一化することができる。 At the edge of the baffle plate facing the center of the air outlet of the air purifier, a punching plate is provided upright at a location where the air velocity of the air reaching the baffle plate is relatively high. As a result, since air having a relatively high wind speed collides with the punching plate, the wind speed of the air blown out at the center of the air outlet can be made uniform.
上記パンチング板は、前記空気清浄装置に吸込まれた空気を前記バッフル板に向けて案内する案内板の端縁に連ねて設けてある。すなわち、案内板とバッフル板とのオーバーラップ部分が無くなるので、当該オーバーラップ部分による空気の巻き込みを無くすことができる。 The punching plate is provided continuously to an edge of a guide plate that guides air sucked into the air purifier toward the baffle plate. That is, since there is no overlap portion between the guide plate and the baffle plate, it is possible to eliminate air entrainment by the overlap portion.
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、板片状の風向案内手段によって空気清浄装置の空気吹出口から吹出した向きを案内される。この結果、室内の局所に対するエアカーテンの向きを安定することができる。また、風向案内手段は、空気吹出口の差し渡し方向に複数並設して当該差し渡し方向に順次偏角して設けてあるため、エアカーテン内の気流の乱れを小さく押さえてエアカーテンの効率を向上しつつ、エアカーテンの向きを可変する。 The air curtain formed by the wind speed adjusting means is guided in the direction blown from the air outlet of the air purifier by the plate-like wind direction guiding means. As a result, the orientation of the air curtain with respect to the local area can be stabilized. In addition, a plurality of wind direction guide means are arranged in parallel in the delivery direction of the air outlet and sequentially deviated in the delivery direction, so that the turbulence of the air flow in the air curtain is suppressed and the efficiency of the air curtain is improved. However, the direction of the air curtain is varied.
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、誘引防止手段によって空気清浄装置の空気吹出口の外周縁部分で仕切られる。この結果、エアカーテンによって周辺の汚染空気を誘引する事態を防ぐことができる。 The air curtain formed by the wind speed adjusting means is partitioned by the outer peripheral edge portion of the air outlet of the air cleaning device by the attraction preventing means. As a result, it is possible to prevent the surrounding air from being attracted by the air curtain.
空気清浄装置の空気吹出口の中央部分を覆うメッシュスクリーンを設けた。この結果、空気吹出口の中央部分から吹出す空気が、メッシュスクリーンを通過することによって風速を均一化することができる。特に、空気清浄装置のフィルタにHEPAフィルタを用いた場合では、HEPAフィルタ空気吹出面の中央部は、低風速域が偏在することがあり、この低風速域が粒子を誘引する原因となる。メッシュスクリーンは、例えば16メッシュ程度で低風速域での粒子の誘引を防止する。 A mesh screen was provided to cover the central part of the air outlet of the air purifier. As a result, the air blown from the central portion of the air outlet can make the wind speed uniform by passing through the mesh screen. In particular, when a HEPA filter is used as the filter of the air cleaning device, a low wind speed region may be unevenly distributed in the central portion of the HEPA filter air blowing surface, and this low wind speed region causes particles to be attracted. The mesh screen is, for example, about 16 mesh and prevents particle attraction in the low wind speed region.
また、空気清浄装置を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設け、当該風向案内手段を設けた部位に係り接続部分を空ける態様で空気吹出口を覆うメッシュスクリーンを設けた。空気清浄装置のフィルタにHEPAフィルタを用いた場合、各空気清浄装置間においてHEPAフィルタの周囲の構造材の接合面では、風速が無くこの無風域が粒子を誘引する原因となる。しかし、メッシュスクリーンを設けたことによってHEPAフィルタの接合部分から速い吹出気流が得られるため、各空気清浄装置の接続部分の低風速域が周辺の汚染空気を誘引する道筋となる事態を防ぐことができる。メッシュスクリーンは、例えば16メッシュ程度で無風速域での粒子の誘引を防止する。 In addition, when a plurality of air purifying devices are connected and arranged in parallel, an air outlet is provided in such a manner that a wind direction guiding means is provided across the connecting portion of each air purifying device, and the connecting portion is opened at the portion where the air direction guiding means is provided. A mesh screen was provided. When a HEPA filter is used as the filter of the air cleaning device, there is no wind speed at the joint surface of the structural material around the HEPA filter between the air cleaning devices, and this non-wind region causes particles to be attracted. However, by providing a mesh screen, a fast blown airflow is obtained from the joint portion of the HEPA filter, so that it is possible to prevent a situation in which the low wind speed region of the connection portion of each air purifying device becomes a route to attract surrounding contaminated air. it can. The mesh screen is, for example, about 16 mesh and prevents the attraction of particles in the windless region.
以下に添付図面を参照して、本発明に係る局所清浄化空調システムの好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。 Exemplary embodiments of a local cleaning air conditioning system according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.
図1および図2は本発明に係る局所清浄化空調システムを示す概略図、図3は空気清浄装置を示す概略側断面図、図4は空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図である。 1 and 2 are schematic views showing a local cleaning air conditioning system according to the present invention, FIG. 3 is a schematic side sectional view showing an air cleaning device, and FIG. 4 is a bottom view showing a baffle plate in the air cleaning device.
図1に示すように局所清浄化空調システムは、例えば液晶工場などにおいて真空系物理化学的処理を行う処理装置1を配置したクリーンルーム10に適用してある。クリーンルーム10は、床10a、天井10bおよび周壁10cで囲まれている。処理装置1は、床10aに設置してある。処理装置1は、密閉装置であって図2に示すように通常処理時にチャンバー蓋1bによって密閉されるチャンバー1aを有している。この処理装置1は、チャンバー1aを上部に有し、その下部が装置本体1cとしてある。また、処理装置1は、メンテナンス時などにおいて図1に示すようにチャンバー蓋1bをチャンバー蓋置台1dに移動して載置することで、チャンバー1aを上方に向けて開放させる。
As shown in FIG. 1, the local cleaning air conditioning system is applied to a
図1および図2に示すようにクリーンルーム10の室内には、その上部(天井10b側)に熱交換装置2と空気清浄装置3とを配置してある。熱交換装置2は、FCU(Fan Coil Unit)でありクリーンルーム10の室内の空気を吸込んで冷房負荷を熱処理(熱除去)した空気をクリーンルーム10の室内に吹出す。空気清浄装置3は、FFU(Fan Filter Unit)でありクリーンルーム10の室内の空気を吸込んで清浄処理した空気をクリーンルーム10の室内に吹出す。
As shown in FIGS. 1 and 2, the heat exchange device 2 and the
熱交換装置2は、空気清浄装置3よりも上方に配置してある。熱交換装置2は、クリーンルーム10の室内の空気を下方から吸込み、処理後の空気を側方または上方から吹出す。空気清浄装置3は、処理装置1の上方に配置してあり、熱交換装置2が処理した空気を上方から吸込み、処理後の空気を下方に吹出す。空気清浄装置3が吹出した空気は、処理装置1に向けて吹出された後、クリーンルーム10の室内の上部に向けて対流する。このように、局所清浄化空調システムでは、熱交換装置2で処理された空気を空気清浄装置3で処理し、クリーンルーム10の室内に対流した空気を再び熱交換装置2で処理して空気を循環させる。
The heat exchange device 2 is disposed above the
なお、熱交換装置2が吹出す処理後の空気は、熱交換装置2の空気吸込口へ短絡せず、且つ、空気清浄装置3の空気吸込口へ十分に吸込まれる風速とする。本実施例では、熱交換装置2が吹出す処理後の空気の風速を例えば1〜2m/secとしている。また、空気清浄装置3が吹出す処理後の空気の風速は、例えば0.6〜2.0m/secとしている。
In addition, let the air after the process which the heat exchange apparatus 2 blows off be the air speed which is not short-circuited to the air inlet of the heat exchanger 2, and is fully sucked into the air inlet of the
図3に示すように空気清浄装置3は、ケーシング31を基に構成してある。ケーシング31は、天板31aおよび周板31bを有し、下方に向けて空気吹出口31cを開設して形成してある。
As shown in FIG. 3, the
ケーシング31の天板31aには、ファン32が設けてある。ファン32は、天板31aを貫通するファンケース32aを有している。ファンケース32aは、ケーシング31の上方に向けて開設した吸込口32bと、ケーシング31の内部において側方に向けて開設した吹出口32cとを有している。ファンケース32aの内部には、モータ32dと、当該モータ32dの出力軸に設けた羽根32eとが設けてある。ファン32は、モータ32dを駆動して回転する羽根32eによって吸込口32bから空気を吸込んでケーシング31の内部に送る。すなわち、ファン32の吸込口32bが空気清浄装置3の空気吸込口をなす。
A
ケーシング31の空気吹出口31cには、HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタなどのフィルタ33が設けてある。
A
ケーシング31の内部において、ファン32の下側には、案内板34が設けてある。案内板34は、ケーシング31のほぼ中央に配置してあって側方に向けて延在してある。案内板34とケーシング31の周板31bとの間には、空気を通す間隙35が設けてある。案内板34は、ファン32によってケーシング31の内部に送り込まれた空気を周板31bに向けて案内しつつ、間隙35を介して空気吹出口31cに向けて送る。
Inside the
ケーシング31の内部において、案内板34の下側には、バッフル板36が設けてある。バッフル板36は、空気吹出口31cの内側周縁を覆う態様でケーシング31の周板に沿って配置してあり、案内板34に一部オーバーラップして上述した間隙35の下側の位置に設けてある。そして、バッフル板36の間であって、空気吹出口31cの口形の中央に対応する位置には、開口37が形成される。バッフル板36は、空気の流れを開口37に向けて整流する。
Inside the
図4に示すようにバッフル板36は、風速調整手段を備えている。風速調整手段は、スリット孔36aと小孔36bとからなる。スリット孔36aは、空気吹出口31cの口形に沿って開設してある。小孔36bは、スリット孔36aよりも小径のパンチング孔であり、スリット孔36aよりも空気吹出口31cの口形の内側寄りに複数開設してある。この小孔36bは、スリット孔36a近傍では比較的疎に配置してあり、スリット孔36aから離間するに連れて比較的密に配置してある。なお、小孔36bは、パンチング孔以外にメッシュなどであってもよい。また、図4には明示していないが、小孔36bは、スリット孔36aよりも空気吹出口31cの口形の外側寄りに開設してあってもよい。
As shown in FIG. 4, the
風速調整手段は、スリット孔36aによって空気吹出口31cの口形の周縁部分に沿って空気を吹出す。空気吹出口31cから吹出る空気は、当該空気吹出口31cの内側を囲むエアカーテンを形成する。また、風速調整手段は、小孔36bによってバッフル板36全体から空気が吹き出る態様で設けてあり、HEPAフィルタ33からの吹出風速の均一化を図る。
The wind speed adjusting means blows air along the peripheral edge of the
図3に示すように空気吹出口31cには、風向案内手段が設けてある。風向案内手段は、板片状の羽根板38からなる。羽根板38は、バッフル板36の下側位置において空気吹出口31cの口形に沿って空気の吹出し方向に延在してあって、当該空気吹出口31cの差し渡し方向に複数並設してある。また、各羽根板38は、空気吹出口31cの差し渡し方向に順次偏角して空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてある。具体的には、最も内側の羽根板38がほぼ垂直に垂下し、そこから外側の羽根板38が垂直からの偏角が外側に向けて順次大きくなるように折曲して形成してある。すなわち、空気吹出口31cから吹出す空気であって、特に風速調整手段によって風速を大きくして吹出された空気吹出口31cの周縁部分の空気は、羽根板38によってその延在方向に案内されることになる。このため、上記風速調整手段によって形成されたエアカーテンの向きが安定する。また、各羽根板38が差し渡し方向に順次偏角して空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてあるので、エアカーテンが空気吹出口31cから拡開して形成される。
As shown in FIG. 3, the
図3に示すように空気吹出口31cには、誘引防止手段が設けてある。誘引防止手段は、板片状の仕切板39からなる。仕切板39は、空気吹出口31cの外周縁に沿うようにケーシング31における周板31bの外面に設けてあって、空気吹出口31cからの空気の吹出し方向に延在して配置してある。また、仕切板39は、風向案内手段の羽根板38とともに空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてある。すなわち、空気吹出口31cから吹出す空気が、仕切板39の内側と外側とで仕切られることになる。このため、上記風速調整手段および風向案内手段によって形成されたエアカーテンが、その外部にある清浄化されていない空気を誘引するおそれがあるが、最も誘引が生じる空気吹出口31cの外周縁を仕切板39によって仕切っているので誘引が生じる事態を防いでいる。
As shown in FIG. 3, the
図3に示すように空気吹出口31cには、金属金網からなるメッシュスクリーン40が設けてある。メッシュスクリーン40は、空気吹出口31cの中央部分であって、上記風向案内手段の最も内側の羽根板38の間を覆うように掛け渡して設けてある。すなわち、空気吹出口31cから吹出す空気であって、特に風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段に関わらずに吹出す空気が、メッシュスクリーン40を通過することによって風速を均一化されることになる。HEPAフィルタ33の空気吹出面の中央部は、低風速域が偏在することがあり、この低風速域が粒子を誘引する原因となる。メッシュスクリーン40は、例えば16メッシュ程度であり低風速域での粒子の誘引を防止する。また、メッシュスクリーン40を設けた場合、ここから吹出される気流は乱れが少なく、したがって周囲からの粒子の誘引拡散がなく、HEPAフィルタ33から2〜3m下であっても高清浄度が確保される。ただし、メッシュスクリーン40を設けた場合には、平均風速が低下する。一方、メッシュスクリーン40の中央部に開口(例えばφ300〜φ600mm)を設けると、当該開口から速い吹出気流が得られる。すなわち、空気吹出口31cの中央部より清浄な速い気流が吹出される。この速い吹出気流は、清浄化の対象物が発熱体の場合に都合がよい。
As shown in FIG. 3, a
ここで、図5〜図9は他の実施例を示している。図5、図6および図8は空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図、図7および図9は空気清浄装置の概略側断面図である。 Here, FIGS. 5 to 9 show other embodiments. 5, FIG. 6 and FIG. 8 are bottom views showing baffle plates in the air purifier, and FIG. 7 and FIG. 9 are schematic side sectional views of the air purifier.
図5に示すように上述した風速調整手段において、スリット孔36aは、案内板34を介してバッフル板36に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してある。具体的には、ファン32がケーシング31の内部に送風する空気は、図5中に矢印で示すように旋回流となる。すなわち、バッフル板36に至る空気の風速は、図5中の矢印の向く側が主流となって比較的大きく、他が比較的小さくなる。このため、図5に示すように例えばスリット孔36aを2分割して風速が比較的大きい箇所の開口幅を小さく形成し、風速が比較的小さい箇所の開口幅を大きく形成することによって、エアカーテンとしてスリット孔36aから吹出される空気の風速が均一化されることになる。なお、スリット孔36aは分割する必要はなく、開口幅を漸次可変するように形成してあってもよい。また、HEPAフィルタ33の吹出面において、隅部からの速い吹出気流を必要とする場合には、図には明示しないがHEPAフィルタ33の吹出面の隅部に対応する位置であってバッフル板36におけるスリット孔36aの端部に開口部(四角形状が好ましい)を設ける。このため、開口部から速い吹出気流が吹出されるので、結果としてHEPAフィルタ33の隅部から速い吹出気流として吹出される。
As shown in FIG. 5, in the wind speed adjusting means described above, the
図6に示すように風速調整手段は、バッフル板36に対してスリット孔36aを設けずに複数の小孔36bを開設してなるものであってもよい。すなわち、バッフル板36をパンチング板で構成したものである。このように構成した風速調整手段によっても、空気吹出口31cから吹出る空気は、空気吹出口31cの周縁部分の風速が中央部分よりも大きくなって当該空気吹出口31cの周縁部分で吹出す空気が、その内側を囲むエアカーテンを形成することになる。
As shown in FIG. 6, the wind speed adjusting means may be formed by opening a plurality of
図7に示すように空気吹出口31cの中央に向くバッフル板36の縁部には、パンチング板41が立設してある。パンチング板41は、図8に示すように案内板34を介してバッフル板36に至る空気の風速が比較的大きい箇所に立設してある。具体的には、ファン32がケーシング31の内部に送風する空気は、図8中に矢印で示すように旋回流となる。すなわち、バッフル板36に至る空気の風速は、図8中の矢印の向く側が主流となって比較的大きくなる。パンチング板41は、風速が比較的大きい図8中の(イ)の位置に配置してある。このため、開口37に至る風速の比較的大きい空気がパンチング板41に衝突するので、空気吹出口31cの中央で吹出される空気の風速が均一化されることになる。また、図8中の(ロ)の位置も開口37に至る空気の風速が比較的大きいため、パンチング板41を設けることが好ましい。なお、図8では、図5で示した風速調整手段を備えたバッフル板36を示しているが、図4もしくは図6で示したバッフル板36にパンチング板41を設けてもよい。
As shown in FIG. 7, a punching
図9に示すように上述したパンチング板41は、上記案内板34の端縁に連ねて設けてある。すなわち、案内板34とバッフル板36とのオーバーラップ部分を無くして、案内板34とバッフル板36とをパンチング板41を介して連ねて設けてある。なお、この場合、案内板34、バッフル板36およびパンチング板41が一体に折曲形成してあってもよい。このため、パンチング板41の作用とともに、案内板34とバッフル板36とのオーバーラップ部分による空気の巻き込みを無くすことになる。
As shown in FIG. 9, the punching
なお、上述した実施例において、その説明の便宜上、各図において左右側部に風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段を図示して説明してあるが、風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段は、空気清浄装置3における空気吹出口31cの口形全周に沿って設けてある。すなわち、風速調整手段によって形成されるエアカーテンは、空気吹出口31cの口形全周に沿って形成され、風向案内手段によって空気吹出口31cの口形全周に沿って拡開され、かつ、誘引防止手段によって空気吹出口31cの口形全周に沿って誘引が防止される。
In the above-described embodiment, for convenience of explanation, the wind speed adjusting means, the wind direction guiding means, and the attraction preventing means are illustrated on the left and right sides in each drawing. However, the wind speed adjusting means, the wind direction guiding means, and the attraction are illustrated. The prevention means is provided along the entire circumference of the
図1に示すように空気清浄装置3の中央で吹出された清浄空気は、処理装置1のチャンバー1a内を清浄化する。チャンバー1a内に到達した清浄空気は、放射状に広がってチャンバー1aの内面を覆いながらチャンバー1aの周縁を乗り越えてエアカーテンと合流してチャンバー1aの外部に排出される。空気清浄装置3の中央で吹出された清浄空気がチャンバー1aの内面に広がっている間は、エアカーテンが周囲の汚染空気の侵入がないように保護する。
As shown in FIG. 1, the clean air blown out at the center of the
このように上述した局所清浄化空調システムでは、図1に示すようにメンテナンス時などにおいて処理装置1のチャンバー1aを上方に向けて開放させた場合に、当該チャンバー1aに向けて局所的に清浄化した空気を吹出す。このときの空気清浄装置3の吹出す清浄空気の風速は、最大(例えば2.0m/sec)とする。吹出された空気は、チャンバー1aの部分を局所的に清浄化する。具体的には、チャンバー1aの部分では空気清浄度を高くして(例えばクラス6)、その他のクリーンルーム10の室内の空気清浄度を許容範囲で低くする(例えばクラス7)ことが可能になる。一方、図2に示すように処理装置1のチャンバー1aをチャンバー蓋1bで密閉したときには、図1の場合と比較して空気清浄装置3の吹出す空気の風速を小さくすることで、クリーンルーム10の室内の空気清浄度を許容範囲(例えばクラス7)に維持することが可能になる。この結果、処理装置1のメンテナンス時にのみ所望とする局所の空気清浄度を周囲と比較して高くなるので、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化する場合と比較して空気清浄装置3の台数を従前の半分以下に削減でき、設備コストの無駄、および消費エネルギーコストの無駄がなくなる。
As described above, in the local cleaning air conditioning system described above, when the
上述した局所清浄化空調システムでは、クリーンルーム10の室内において、空気清浄装置3の上方に熱交換装置2を配置して、当該熱交換装置2および空気清浄装置3によってクリーンルーム10の室内の空気を循環させている。すなわち、空気清浄装置3に空気を戻すダクトなどのリターンスペースを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストの無駄をなくすことができ、さらにクリーンルーム10の階高などスペース効率を向上することができ、建築コストが低減でき施工期間を短くすることが可能である。
In the above-described local cleaning air conditioning system, the heat exchange device 2 is disposed above the
空気清浄装置3によって局所に吹出された空気は、風速調整手段によって形成されたエアカーテンによって囲まれる。この結果、清浄化された空気の周辺の汚染空気が清浄空気に侵入する事態を防止する。また、エアカーテンは、処理装置1のメンテナンスを行う作業者から発生する粒子がチャンバー1aに侵入する事態も防止する。
The air blown locally by the
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、風向案内手段によって空気清浄装置3の空気吹出口31cから吹出した向きを案内される。この結果、処理装置1のチャンバー1aに対するエアカーテンの向きを安定させることができる。エアカーテンは、チャンバー1aの周囲の上部約500〜1500mm程度に到達する態様で形成すると効果が高い。また、風向案内手段の各羽根板38が空気吹出口31cの差し渡し方向に順次偏角して設けてある。このため、風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、その内部の気流の乱れが小さく押さえられつつ向きが案内される。この結果、エアカーテンの効率が向上する。なお、気流の乱れが大きいと、エアカーテンの外部から侵入した粒子が内部へ拡散する速度が速くなる。
The air curtain formed by the wind speed adjusting means is guided in the direction blown from the
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、誘引防止手段によって空気吹出口31cの外周縁部分が仕切られる。この結果、エアカーテンによって周辺の汚染空気を誘引する事態を防いでいる。
In the air curtain formed by the wind speed adjusting means, the outer peripheral edge portion of the
なお、清浄化する局所の範囲を広くする場合には、空気清浄装置3を大きくするか、複数の空気清浄装置3を並設すればよい。空気清浄装置3を並設する場合には、空気清浄装置3を並設して組み合わされた空気吹出口の口形全周に沿って上述した風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段を設ければよい。
In addition, what is necessary is just to enlarge the
図10に示すように複数の空気清浄装置3を並設する場合には、各空気清浄装置3のケーシング31の間の接続部分にスペーサ42を介在し、当該スペーサ42および各空気清浄装置3のケーシング31を貫通するボルト43で固定する。そして、図11に示すように各空気清浄装置3の接続部分を跨ぐ態様で風向案内手段(羽根板38)および誘引防止手段(仕切板39)を設ける。このように構成すれば、例えば外径600×1200mmの空気清浄装置3を2つ接続して外径1200×1200mmの空気清浄装置3を得ることができる。さらに、図12に示すように3つの空気清浄装置3を接続すれば、外径1800×1200mmの空気清浄装置3を得ることができる。
As shown in FIG. 10, when a plurality of
ところで、空気清浄装置3の空気吹出口31cに設けたHEPAフィルタ33は、周囲に枠状の構造材(アルミニウム枠)があって、その内側にフィルタが接着剤で固定してあることから、当該構造材には風が通過しない。すなわち、構造材から内側に0〜40mmの範囲が低風速域となる。そして、複数の空気清浄装置3を接続した場合では、接続部分を挟んで約100mm幅が低風速域となる。一方、HEPAフィルタ33の中央部は、高風速域である。このため、低風速域側から高風速域に空気が誘引されて、接続部分の低風速域が周辺の汚染空気を誘引する道筋となってしまう。
By the way, the
そこで、本実施例では、図11および図12に示すように空気清浄装置3を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置3の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設けた部位に係り、この接続部分を空ける態様で空気吹出口31cを覆うメッシュスクリーン44(例えば16メッシュ程度)を設けてある。具体的には、接続部分に係り、各HEPAフィルタ33が隣接する接合面を挟んで約100〜200mm程度の間隔を空けた両側にメッシュスクリーン44を張る。この結果、メッシュスクリーン44の微弱な空気抵抗によって吹出空気が曲げられ、さらに上述した風速調整手段のスリット孔36aの端部に設けた開口部による速い吹出気流により、HEPAフィルタ33の接合部分から速い吹出気流が得られるため、各空気清浄装置3の接続部分の低風速域が周辺の汚染空気を誘引する道筋となる事態を防ぐことが可能になる。
Therefore, in this embodiment, as shown in FIGS. 11 and 12, when a plurality of
1 処理装置
1a チャンバー
1b チャンバー蓋
1c 装置本体
1d チャンバー蓋置台
2 熱交換装置
3 空気清浄装置
31 ケーシング
31a 天板
31b 周板
31c 空気吹出口
32 ファン
32a ファンケース
32b 吸込口
32c 吹出口
32d モータ
32e 羽根
33 フィルタ
34 案内板
35 間隙
36 バッフル板
36a スリット孔
36b 小孔
37 開口
38 羽根板
39 仕切板
40 メッシュスクリーン
41 パンチング板
42 スペーサ
43 ボルト
44 メッシュスクリーン
10 クリーンルーム
10a 床
10b 天井
10c 周壁
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を前記室内の局所に向けて吹出す空気清浄装置と
を備えたことを特徴とする局所清浄化空調システム。 A heat exchange device that sucks indoor air and processes the cooling load to blow out the air into the room;
A local cleaning air-conditioning system comprising: an air cleaning device that sucks in air blown out from the heat exchange device and blows out air that has been subjected to cleaning treatment toward a local area in the room.
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