JPH09304241A - オ−トサンプラ - Google Patents
オ−トサンプラInfo
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- JPH09304241A JPH09304241A JP14081496A JP14081496A JPH09304241A JP H09304241 A JPH09304241 A JP H09304241A JP 14081496 A JP14081496 A JP 14081496A JP 14081496 A JP14081496 A JP 14081496A JP H09304241 A JPH09304241 A JP H09304241A
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- JP
- Japan
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- sample
- coordinates
- cal
- positions
- teaching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 トレイ・カセット11がオートサンプラの本
体にずれて設置された場合にも、全ての試料収容部12
の試料位置を正確に求めることができるオートサンプラ
を提供する。 【解決手段】 ティーチング手段4がティーチング操作
によって三方の隅の試料収容部12の試料位置の座標を
取得し、これらの座標間の3軸方向の等分位置に他の各
試料収容部12の試料位置が配置されるように演算を行
って残りの試料位置の座標を算出する。
体にずれて設置された場合にも、全ての試料収容部12
の試料位置を正確に求めることができるオートサンプラ
を提供する。 【解決手段】 ティーチング手段4がティーチング操作
によって三方の隅の試料収容部12の試料位置の座標を
取得し、これらの座標間の3軸方向の等分位置に他の各
試料収容部12の試料位置が配置されるように演算を行
って残りの試料位置の座標を算出する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱分析装置等に試
料を供給するオートサンプラに関する。
料を供給するオートサンプラに関する。
【0002】
【従来の技術】オートサンプラは、トレイ・カセット等
に複数の試料を搭載しておき、試料把持部でこの試料を
1個ずつ取り出して熱分析装置等に順次供給する試料供
給装置である。トレイ・カセット11は、例えば図9に
示すように、矩形の金属盤等の表面に、凹状に窪んだ試
料収容部12を10行×10列の行列状に10×10箇
所形成した試料搭載具であり、これら各試料収容部12
にペレット状等の試料がそれぞれ収容される。オートサ
ンプラは、この図9に示したようなxyz方向の直交座
標系3軸動作を行う試料把持部1を備えている場合、こ
の試料把持部1をx軸方向とy軸方向とz軸方向に任意
に移動させて、目的の試料収容部12の試料を把持し、
熱分析装置等まで運ぶと共に、分析を終了した試料を元
の試料収容部12に戻す動作を順次繰り返す。
に複数の試料を搭載しておき、試料把持部でこの試料を
1個ずつ取り出して熱分析装置等に順次供給する試料供
給装置である。トレイ・カセット11は、例えば図9に
示すように、矩形の金属盤等の表面に、凹状に窪んだ試
料収容部12を10行×10列の行列状に10×10箇
所形成した試料搭載具であり、これら各試料収容部12
にペレット状等の試料がそれぞれ収容される。オートサ
ンプラは、この図9に示したようなxyz方向の直交座
標系3軸動作を行う試料把持部1を備えている場合、こ
の試料把持部1をx軸方向とy軸方向とz軸方向に任意
に移動させて、目的の試料収容部12の試料を把持し、
熱分析装置等まで運ぶと共に、分析を終了した試料を元
の試料収容部12に戻す動作を順次繰り返す。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記トレイ・カセット
11は、オートサンプラの本体に固定的に又は着脱可能
に設置される。ここで、トレイ・カセット11の各試料
収容部12は、精密な工作機械によって加工されるの
で、行方向の間隔と列方向の間隔がそれぞれ正確に等間
隔となるように形成され、これら行方向と列方向の直角
精度も十分に高くなる。しかし、このトレイ・カセット
11をオートサンプラの本体に設置する場合には、設置
部の各部品の加工誤差が累積したり組み付けや装着の際
に誤差が発生するので、正常な位置からずれて設置され
ることが多い。このため、従来のオートサンプラは、図
10に示すように、試料把持部1を移動させるためのx
yz3軸の直交座標系と、トレイ・カセット11の行列
方向との間にずれが生じ、目的の試料収容部12が試料
把持部1の直交座標系における所定座標位置に存在しな
い場合が生じるため、この試料収容部12の試料を正し
く把持して運ぶことができないことがあるという問題が
生じていた。また、このような問題を解消するために、
従来からトレイ・カセット11の設置部の各部品の加工
精度を向上させたり、組み立て誤差が極力少なくなるよ
うな努力が払われてはいるが、これらに要する設備や手
間にも限度があるために、必ずしも十分な精度を得られ
るには至っていない。
11は、オートサンプラの本体に固定的に又は着脱可能
に設置される。ここで、トレイ・カセット11の各試料
収容部12は、精密な工作機械によって加工されるの
で、行方向の間隔と列方向の間隔がそれぞれ正確に等間
隔となるように形成され、これら行方向と列方向の直角
精度も十分に高くなる。しかし、このトレイ・カセット
11をオートサンプラの本体に設置する場合には、設置
部の各部品の加工誤差が累積したり組み付けや装着の際
に誤差が発生するので、正常な位置からずれて設置され
ることが多い。このため、従来のオートサンプラは、図
10に示すように、試料把持部1を移動させるためのx
yz3軸の直交座標系と、トレイ・カセット11の行列
方向との間にずれが生じ、目的の試料収容部12が試料
把持部1の直交座標系における所定座標位置に存在しな
い場合が生じるため、この試料収容部12の試料を正し
く把持して運ぶことができないことがあるという問題が
生じていた。また、このような問題を解消するために、
従来からトレイ・カセット11の設置部の各部品の加工
精度を向上させたり、組み立て誤差が極力少なくなるよ
うな努力が払われてはいるが、これらに要する設備や手
間にも限度があるために、必ずしも十分な精度を得られ
るには至っていない。
【0004】さらに、このような問題を解消するために
は、一般の産業用ロボットの場合と同様に、各試料収容
部12の位置座標をそれぞれティーチング操作の実行に
よって記憶させる方法も考えられる。しかし、多数(上
記例では100箇所)の試料収容部12について全てテ
ィーチング操作を行うのは極めて面倒な作業であり、到
底その煩に耐え得ず必ずしも現実的な解消策にはなり得
ない。
は、一般の産業用ロボットの場合と同様に、各試料収容
部12の位置座標をそれぞれティーチング操作の実行に
よって記憶させる方法も考えられる。しかし、多数(上
記例では100箇所)の試料収容部12について全てテ
ィーチング操作を行うのは極めて面倒な作業であり、到
底その煩に耐え得ず必ずしも現実的な解消策にはなり得
ない。
【0005】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、ティーチング操作の実行によって2〜3箇所
程度の試料位置の座標を取得する手間を要するだけで、
他の全ての試料位置を正確に求めることができるオート
サンプラを提供することを目的としている。
のであり、ティーチング操作の実行によって2〜3箇所
程度の試料位置の座標を取得する手間を要するだけで、
他の全ての試料位置を正確に求めることができるオート
サンプラを提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1のオートサンプ
ラは、上記課題を解決するために、試料搭載具に規則的
に配置された複数の試料について、ティーチング操作の
実行によりその一部の2〜3箇所程度の試料位置の座標
を取得し、これらの座標に基づき、試料の配置規則に従
って他の各試料位置の座標をそれぞれ演算によって求め
る。また、請求項2のオートサンプラは、試料搭載具に
行列状に配置された複数の試料について、ティーチング
操作の実行により三方の隅の試料位置の直交座標を取得
し、これら三方の隅の試料位置の間における3軸方向の
等分位置に他の各試料位置が配置されるように演算を行
い直交座標を求める。
ラは、上記課題を解決するために、試料搭載具に規則的
に配置された複数の試料について、ティーチング操作の
実行によりその一部の2〜3箇所程度の試料位置の座標
を取得し、これらの座標に基づき、試料の配置規則に従
って他の各試料位置の座標をそれぞれ演算によって求め
る。また、請求項2のオートサンプラは、試料搭載具に
行列状に配置された複数の試料について、ティーチング
操作の実行により三方の隅の試料位置の直交座標を取得
し、これら三方の隅の試料位置の間における3軸方向の
等分位置に他の各試料位置が配置されるように演算を行
い直交座標を求める。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。図1〜図4は本発明の第1実
施形態を示すものであって、図1はオートサンプラの構
成を示すブロック図、図2はオートサンプラの動作を示
すフローチャート、図3はトレイ・カセット上の試料収
容部の配置を示す平面図、図4は直交座標を算出する演
算内容を説明するための図である。なお、図9及び図1
0に示したものと同様の機能を有する構成部材には同じ
番号を付記する。
図面を参照して説明する。図1〜図4は本発明の第1実
施形態を示すものであって、図1はオートサンプラの構
成を示すブロック図、図2はオートサンプラの動作を示
すフローチャート、図3はトレイ・カセット上の試料収
容部の配置を示す平面図、図4は直交座標を算出する演
算内容を説明するための図である。なお、図9及び図1
0に示したものと同様の機能を有する構成部材には同じ
番号を付記する。
【0008】本実施形態は、熱分析装置に試料を供給す
るオートサンプラであって、図9に示したような直交座
標系3軸動作を行う試料把持部1を備えたものについて
説明する。また、試料搭載具も、この図9に示したよう
に、試料収容部12を10行×10列の行列状に形成し
たトレイ・カセット11を用いるものとする。本実施形
態のオートサンプラは、図1に示すように、試料把持部
1を直交座標系の3軸であるx軸方向とy軸方向とz軸
方向に移動させる試料把持部駆動手段2を有している。
そして、熱分析装置に試料を供給する場合には、記憶装
置3に記憶された各試料位置の直交座標に基づいて、こ
の試料把持部駆動手段2が試料把持部1を駆動制御する
ことにより、目的の試料を取り出したり、この試料を元
の位置に戻す動作を行うことができる。
るオートサンプラであって、図9に示したような直交座
標系3軸動作を行う試料把持部1を備えたものについて
説明する。また、試料搭載具も、この図9に示したよう
に、試料収容部12を10行×10列の行列状に形成し
たトレイ・カセット11を用いるものとする。本実施形
態のオートサンプラは、図1に示すように、試料把持部
1を直交座標系の3軸であるx軸方向とy軸方向とz軸
方向に移動させる試料把持部駆動手段2を有している。
そして、熱分析装置に試料を供給する場合には、記憶装
置3に記憶された各試料位置の直交座標に基づいて、こ
の試料把持部駆動手段2が試料把持部1を駆動制御する
ことにより、目的の試料を取り出したり、この試料を元
の位置に戻す動作を行うことができる。
【0009】このオートサンプラには、ティーチング手
段4が設けられている。ティーチング手段4は、一般の
産業用ロボットの場合と同様のティーチング機能によっ
て、トレイ・カセット11上における3箇所の試料収容
部12の試料位置の直交座標をそれぞれ取得して記憶装
置3に記憶させるものである。ティーチング機能は、操
作入力手段5の操作に従って、試料把持部駆動手段2に
より試料把持部1を駆動制御して任意の位置に移動させ
るティーチング操作を行い、このときの試料把持部1の
直交座標を取得する機能である。また、このオートサン
プラには、座標演算手段6が設けられている。座標演算
手段6は、ティーチング手段4によって記憶装置3に記
憶された3箇所の試料収容部12の試料位置の直交座標
に基づいて、他の各試料収容部12の試料位置の直交座
標を算出し記憶装置3に記憶させるものである。そし
て、このようにして記憶装置3に記憶された各試料収容
部12の試料位置の直交座標に基づいて、上記試料把持
部駆動手段2が熱分析装置に試料を供給することができ
る。なお、これら記憶装置3,ティーチング手段4,操
作入力手段5及び座標演算手段6は、個々の回路装置に
よって構成してもよいし、コンピュータのプログラムと
これを実行するハードウエアと周辺機器によって構成す
ることもできる。
段4が設けられている。ティーチング手段4は、一般の
産業用ロボットの場合と同様のティーチング機能によっ
て、トレイ・カセット11上における3箇所の試料収容
部12の試料位置の直交座標をそれぞれ取得して記憶装
置3に記憶させるものである。ティーチング機能は、操
作入力手段5の操作に従って、試料把持部駆動手段2に
より試料把持部1を駆動制御して任意の位置に移動させ
るティーチング操作を行い、このときの試料把持部1の
直交座標を取得する機能である。また、このオートサン
プラには、座標演算手段6が設けられている。座標演算
手段6は、ティーチング手段4によって記憶装置3に記
憶された3箇所の試料収容部12の試料位置の直交座標
に基づいて、他の各試料収容部12の試料位置の直交座
標を算出し記憶装置3に記憶させるものである。そし
て、このようにして記憶装置3に記憶された各試料収容
部12の試料位置の直交座標に基づいて、上記試料把持
部駆動手段2が熱分析装置に試料を供給することができ
る。なお、これら記憶装置3,ティーチング手段4,操
作入力手段5及び座標演算手段6は、個々の回路装置に
よって構成してもよいし、コンピュータのプログラムと
これを実行するハードウエアと周辺機器によって構成す
ることもできる。
【0010】上記構成のオートサンプラは、トレイ・カ
セット11が設置された場合に、各試料収容部12の試
料位置の直交座標を算出する動作を行う。このオートサ
ンプラによる直交座標の算出動作を図2のフローチャー
トに従って説明する。まず、最初のステップ(以下
「S」という)1で、ティーチング操作を行うことによ
って、ティーチング手段4により3箇所の試料収容部1
2の試料位置の直交座標を取得して記憶装置3に記憶さ
せる。ここで、トレイ・カセット11は、図3に示すよ
うに、行列状に形成された各試料収容部12に収容され
る試料の試料位置をP[i,j]によって表すものとす
る。この際、「i」はその試料収容部12が図示左端の
列から何列目にあるかを示し(i=0〜9)、「j」は
その試料収容部12が図示下端の行から何行目にあるか
を示す(j=0〜9)。また、ティーチング操作では、
図示左下隅と右下隅と左上隅の3箇所の試料収容部12
の試料位置の直交座標を順次ティーチング操作によって
取得させるものとする。従って、ティーチング手段4
は、数2に示すように、
セット11が設置された場合に、各試料収容部12の試
料位置の直交座標を算出する動作を行う。このオートサ
ンプラによる直交座標の算出動作を図2のフローチャー
トに従って説明する。まず、最初のステップ(以下
「S」という)1で、ティーチング操作を行うことによ
って、ティーチング手段4により3箇所の試料収容部1
2の試料位置の直交座標を取得して記憶装置3に記憶さ
せる。ここで、トレイ・カセット11は、図3に示すよ
うに、行列状に形成された各試料収容部12に収容され
る試料の試料位置をP[i,j]によって表すものとす
る。この際、「i」はその試料収容部12が図示左端の
列から何列目にあるかを示し(i=0〜9)、「j」は
その試料収容部12が図示下端の行から何行目にあるか
を示す(j=0〜9)。また、ティーチング操作では、
図示左下隅と右下隅と左上隅の3箇所の試料収容部12
の試料位置の直交座標を順次ティーチング操作によって
取得させるものとする。従って、ティーチング手段4
は、数2に示すように、
【数2】 図示左下隅の試料収容部12の試料位置(基準試料位
置)P[0,0]の直交座標(x0 ,y0 ,z0 )と、
図示右下隅の試料収容部12の試料位置P[9,0]の
直交座標(x1 ,y1 ,z1 )と、図示左上隅の試料収
容部12の試料位置P[0,9]の直交座標(x2 ,y
2 ,z2 )を取得して記憶装置3に記憶させる。
置)P[0,0]の直交座標(x0 ,y0 ,z0 )と、
図示右下隅の試料収容部12の試料位置P[9,0]の
直交座標(x1 ,y1 ,z1 )と、図示左上隅の試料収
容部12の試料位置P[0,9]の直交座標(x2 ,y
2 ,z2 )を取得して記憶装置3に記憶させる。
【0011】次に、上記記憶装置3に記憶された3箇所
の試料位置の直交座標に基づき、座標演算手段6によっ
て、他の各試料収容部12の試料位置P[i,j]の直
交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ算出する
(S2)。即ち、試料位置P[i,j]の直交座標にお
けるx軸成分xCAL とy軸成分yCAL とz軸成分zCAL
を数3によって算出する。
の試料位置の直交座標に基づき、座標演算手段6によっ
て、他の各試料収容部12の試料位置P[i,j]の直
交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ算出する
(S2)。即ち、試料位置P[i,j]の直交座標にお
けるx軸成分xCAL とy軸成分yCAL とz軸成分zCAL
を数3によって算出する。
【数3】 例えばトレイ・カセット11の各試料収容部12の試料
位置をxy平面に投影した図4において、数3の「(x
1 −x0 )/9」の項は、試料位置P[0,0]と試料
位置P[9,0]のx軸上の変位をこれらの間の列の間
隔数である「9」で除算したものであり、隣接する各列
間のx軸上の変位を表す。また、「(x2−x0 )/
9」の項は、試料位置P[0,0]と試料位置P[0,
9]のx軸上の変位をこれらの間の行の間隔数である
「9」で除算したものであり、隣接する各行間のx軸上
の変位を表す。従って、試料位置P[0,0]の直交座
標のx軸成分x0 に、この各列間の変位と「i」との乗
算結果を加算すると共に、この各行間の変位と「j」と
の乗算結果を加算すれば、任意の試料位置P[i,j]
のx軸成分xCAL を求めることができる。そして、y軸
成分yCAL とz軸成分zCAL もそれぞれ同様にして求め
られる。ただし、本実施形態では、各試料収容部12が
行方向に所定の等間隔で形成されると共に、列方向にも
所定の等間隔で形成されている必要がある。
位置をxy平面に投影した図4において、数3の「(x
1 −x0 )/9」の項は、試料位置P[0,0]と試料
位置P[9,0]のx軸上の変位をこれらの間の列の間
隔数である「9」で除算したものであり、隣接する各列
間のx軸上の変位を表す。また、「(x2−x0 )/
9」の項は、試料位置P[0,0]と試料位置P[0,
9]のx軸上の変位をこれらの間の行の間隔数である
「9」で除算したものであり、隣接する各行間のx軸上
の変位を表す。従って、試料位置P[0,0]の直交座
標のx軸成分x0 に、この各列間の変位と「i」との乗
算結果を加算すると共に、この各行間の変位と「j」と
の乗算結果を加算すれば、任意の試料位置P[i,j]
のx軸成分xCAL を求めることができる。そして、y軸
成分yCAL とz軸成分zCAL もそれぞれ同様にして求め
られる。ただし、本実施形態では、各試料収容部12が
行方向に所定の等間隔で形成されると共に、列方向にも
所定の等間隔で形成されている必要がある。
【0012】上記座標演算手段6によって算出した他の
各試料収容部12の試料位置の直交座標は、ティーチン
グ手段4によって取得した3箇所の試料収容部12の試
料位置の直交座標と共に記憶装置3に記憶させて処理を
終了する。従って、この処理が終了すると、設置された
トレイ・カセット11における10×10箇所全ての試
料収容部12について、それぞれの試料位置の直交座標
が記憶装置3に記憶されるので、以降の熱分析装置への
試料の供給動作の際に、これらの直交座標に基づいて任
意の試料収容部12から目的の試料を正確に取り出すこ
とができるようになる。
各試料収容部12の試料位置の直交座標は、ティーチン
グ手段4によって取得した3箇所の試料収容部12の試
料位置の直交座標と共に記憶装置3に記憶させて処理を
終了する。従って、この処理が終了すると、設置された
トレイ・カセット11における10×10箇所全ての試
料収容部12について、それぞれの試料位置の直交座標
が記憶装置3に記憶されるので、以降の熱分析装置への
試料の供給動作の際に、これらの直交座標に基づいて任
意の試料収容部12から目的の試料を正確に取り出すこ
とができるようになる。
【0013】以上説明したように、本実施形態のオート
サンプラによれば、ティーチング操作の実行によって3
箇所の試料収容部12の試料位置の直交座標を取得する
手間を要するだけで、残り97箇所の全ての試料収容部
12の試料位置の直交座標を座標演算手段6により算出
することができる。しかも、この座標演算手段6は、各
試料収容部12の配置規則に従って試料位置の直交座標
を算出するので、これらの試料収容部12が高い加工精
度で形成されていることから、正確な直交座標を得るこ
とができる。従って、トレイ・カセット11の設置位置
にずれが生じていたとしても、各試料収容部12の試料
を正常に熱分析装置に供給することができるようにな
る。
サンプラによれば、ティーチング操作の実行によって3
箇所の試料収容部12の試料位置の直交座標を取得する
手間を要するだけで、残り97箇所の全ての試料収容部
12の試料位置の直交座標を座標演算手段6により算出
することができる。しかも、この座標演算手段6は、各
試料収容部12の配置規則に従って試料位置の直交座標
を算出するので、これらの試料収容部12が高い加工精
度で形成されていることから、正確な直交座標を得るこ
とができる。従って、トレイ・カセット11の設置位置
にずれが生じていたとしても、各試料収容部12の試料
を正常に熱分析装置に供給することができるようにな
る。
【0014】図5及び図6は本発明の第2実施形態を示
すものであって、図5は円筒座標系3軸動作を行う試料
把持部を示す斜視図、図6はオートサンプラの動作を示
すフローチャートである。なお、図1〜図4に示した第
1実施形態と同様の機能を有する構成部材には同じ番号
を付記して説明を省略する。本実施形態では、図5に示
すような円筒座標系3軸動作を行う試料把持部1を備え
たオートサンプラについて説明する。円筒座標系は、中
心軸(極)からの距離を示す動径rと、この中心軸の回
りの回転角を示す偏角θとで構成される極座標に、この
中心軸に沿ったz軸成分を加えたものである。なお、こ
のオートサンプラは、第1実施形態と同様に、熱分析装
置に試料を供給するものとし、10行×10列の行列状
に試料収容部12を形成したトレイ・カセット11を用
いるものとする。
すものであって、図5は円筒座標系3軸動作を行う試料
把持部を示す斜視図、図6はオートサンプラの動作を示
すフローチャートである。なお、図1〜図4に示した第
1実施形態と同様の機能を有する構成部材には同じ番号
を付記して説明を省略する。本実施形態では、図5に示
すような円筒座標系3軸動作を行う試料把持部1を備え
たオートサンプラについて説明する。円筒座標系は、中
心軸(極)からの距離を示す動径rと、この中心軸の回
りの回転角を示す偏角θとで構成される極座標に、この
中心軸に沿ったz軸成分を加えたものである。なお、こ
のオートサンプラは、第1実施形態と同様に、熱分析装
置に試料を供給するものとし、10行×10列の行列状
に試料収容部12を形成したトレイ・カセット11を用
いるものとする。
【0015】本実施形態のオートサンプラも、図1に示
したものと同様の構成である。ただし、試料把持部駆動
手段2は、円筒座標(r,θ,z)に基づいて試料把持
部1を駆動制御するようになっている。また、座標演算
手段6は、第1実施形態と同様に、各試料収容部12の
試料位置の直交座標を算出する他、円筒座標と直交座標
との間の座標変換も行うようになっている。
したものと同様の構成である。ただし、試料把持部駆動
手段2は、円筒座標(r,θ,z)に基づいて試料把持
部1を駆動制御するようになっている。また、座標演算
手段6は、第1実施形態と同様に、各試料収容部12の
試料位置の直交座標を算出する他、円筒座標と直交座標
との間の座標変換も行うようになっている。
【0016】上記オートサンプラは、トレイ・カセット
11が設置された場合に、各試料収容部12の試料位置
の円筒座標を算出する動作を行う。このオートサンプラ
による円筒座標の算出動作を図6のフローチャートに従
って説明する。まず、ティーチング操作を行うことによ
って、ティーチング手段4により3箇所の試料収容部1
2の試料位置の円筒座標を取得して記憶装置3に記憶さ
せる(S11)。3箇所の試料収容部12の試料位置
は、第1実施形態の場合と同じ試料位置P[0,0],
P[9,0],P[0,9]とする。そして、数4に示
すように、
11が設置された場合に、各試料収容部12の試料位置
の円筒座標を算出する動作を行う。このオートサンプラ
による円筒座標の算出動作を図6のフローチャートに従
って説明する。まず、ティーチング操作を行うことによ
って、ティーチング手段4により3箇所の試料収容部1
2の試料位置の円筒座標を取得して記憶装置3に記憶さ
せる(S11)。3箇所の試料収容部12の試料位置
は、第1実施形態の場合と同じ試料位置P[0,0],
P[9,0],P[0,9]とする。そして、数4に示
すように、
【数4】 基準試料位置P[0,0]の円筒座標(r0 ,θ0 ,z
0 )と、試料位置P[9,0]の円筒座標(r1 ,
θ1 ,z1 )と、試料位置P[0,9]の円筒座標(r
2 ,θ2 ,z2 )を取得して記憶装置3に記憶させる。
次に、座標演算手段6によって、上記記憶装置3に記憶
された3箇所の試料位置の円筒座標(r,θ,z)を、
数5に示すように、それぞれ直交座標(x,y,z)に
変換する(S12)。
0 )と、試料位置P[9,0]の円筒座標(r1 ,
θ1 ,z1 )と、試料位置P[0,9]の円筒座標(r
2 ,θ2 ,z2 )を取得して記憶装置3に記憶させる。
次に、座標演算手段6によって、上記記憶装置3に記憶
された3箇所の試料位置の円筒座標(r,θ,z)を、
数5に示すように、それぞれ直交座標(x,y,z)に
変換する(S12)。
【数5】 この座標変換は、数6によって円筒座標の動径rと偏角
θを直交座標のx軸成分とy軸成分に変換することによ
り行うことができる。
θを直交座標のx軸成分とy軸成分に変換することによ
り行うことができる。
【数6】
【0017】また、この座標変換によって3箇所の試料
収容部12の試料位置の直交座標が算出されると、これ
らの直交座標に基づいて、上記数3の演算を行うことに
より、他の各試料収容部12の試料位置P[i,j]の
直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ算出す
る(S13)。そして、ここで算出した各試料位置P
[i,j]の直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )を再
び円筒座標(rCAL ,θCAL ,zCAL )に変換する(S
14)。この座標変換は、数7によって直交座標のx軸
成分とy軸成分を円筒座標の動径rと偏角θに変換する
ことにより行うことができる。
収容部12の試料位置の直交座標が算出されると、これ
らの直交座標に基づいて、上記数3の演算を行うことに
より、他の各試料収容部12の試料位置P[i,j]の
直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ算出す
る(S13)。そして、ここで算出した各試料位置P
[i,j]の直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )を再
び円筒座標(rCAL ,θCAL ,zCAL )に変換する(S
14)。この座標変換は、数7によって直交座標のx軸
成分とy軸成分を円筒座標の動径rと偏角θに変換する
ことにより行うことができる。
【数7】 なお、円筒座標の偏角θがアークタンジェントの主値で
ある−π/2<θ<π/2の範囲を超える場合には、x
軸成分とy軸成分の正負に応じてπを加減算すればよ
い。
ある−π/2<θ<π/2の範囲を超える場合には、x
軸成分とy軸成分の正負に応じてπを加減算すればよ
い。
【0018】上記直交座標から円筒座標への座標変換に
より各試料位置P[i,j]の円筒座標(rCAL ,θ
CAL ,zCAL )が算出されると、ティーチング手段4に
よって取得した3箇所の試料位置の円筒座標と共に記憶
装置3に記憶させて処理を終了する。従って、この処理
が終了すると、設置されたトレイ・カセット11におけ
る10×10箇所全ての試料収容部12について、それ
ぞれの試料位置の円筒座標が記憶装置3に記憶されるの
で、以降の熱分析装置への試料の供給動作の際に、これ
らの円筒座標に基づいて任意の試料収容部12から目的
の試料を正確に取り出すことができるようになる。
より各試料位置P[i,j]の円筒座標(rCAL ,θ
CAL ,zCAL )が算出されると、ティーチング手段4に
よって取得した3箇所の試料位置の円筒座標と共に記憶
装置3に記憶させて処理を終了する。従って、この処理
が終了すると、設置されたトレイ・カセット11におけ
る10×10箇所全ての試料収容部12について、それ
ぞれの試料位置の円筒座標が記憶装置3に記憶されるの
で、以降の熱分析装置への試料の供給動作の際に、これ
らの円筒座標に基づいて任意の試料収容部12から目的
の試料を正確に取り出すことができるようになる。
【0019】以上説明したように、本実施形態のオート
サンプラによれば、円筒座標系3軸動作を行う試料把持
部1を備えたオートサンプラの場合にも、座標変換を行
うことにより、第1実施形態の場合と同様に、各試料収
容部12の試料を正常に熱分析装置に供給することがで
きるようになる。
サンプラによれば、円筒座標系3軸動作を行う試料把持
部1を備えたオートサンプラの場合にも、座標変換を行
うことにより、第1実施形態の場合と同様に、各試料収
容部12の試料を正常に熱分析装置に供給することがで
きるようになる。
【0020】図7及び図8は本発明の第3実施形態を示
すものであって、図7は原点にずれのある円筒座標系3
軸動作を行う試料把持部を示す斜視図、図8はオートサ
ンプラの動作を示すフローチャートである。なお、図1
〜図6に示した第1及び第2実施形態と同様の機能を有
する構成部材には同じ番号を付記して説明を省略する。
すものであって、図7は原点にずれのある円筒座標系3
軸動作を行う試料把持部を示す斜視図、図8はオートサ
ンプラの動作を示すフローチャートである。なお、図1
〜図6に示した第1及び第2実施形態と同様の機能を有
する構成部材には同じ番号を付記して説明を省略する。
【0021】本実施形態では、図7に示すような円筒座
標系3軸動作を行う試料把持部1を備えたオートサンプ
ラについて説明する。この場合、円筒座標の動径rは、
基準位置を検出するセンサの設置位置の都合から、r=
0となる原点が中心軸(z軸)から変位rDEVだけずれ
ている。従って、本実施形態の円筒座標は、第2実施形
態の場合とは異なり、そのまま直交座標に変換すること
ができない。なお、このオートサンプラは、第1及び第
2実施形態と同様に、熱分析装置に試料を供給するもの
とし、10行×10列の行列状に試料収容部12を形成
したトレイ・カセット11を用いるものとする。
標系3軸動作を行う試料把持部1を備えたオートサンプ
ラについて説明する。この場合、円筒座標の動径rは、
基準位置を検出するセンサの設置位置の都合から、r=
0となる原点が中心軸(z軸)から変位rDEVだけずれ
ている。従って、本実施形態の円筒座標は、第2実施形
態の場合とは異なり、そのまま直交座標に変換すること
ができない。なお、このオートサンプラは、第1及び第
2実施形態と同様に、熱分析装置に試料を供給するもの
とし、10行×10列の行列状に試料収容部12を形成
したトレイ・カセット11を用いるものとする。
【0022】本実施形態のオートサンプラも、図1に示
したものと同様の構成である。ただし、試料把持部駆動
手段2は、第2実施形態と同様に、円筒座標(r,θ,
z)に基づいて試料把持部1を駆動制御するようになっ
ている。また、座標演算手段6は、第2実施形態と同様
に、各試料収容部12の試料位置の直交座標を算出する
と共に、円筒座標と直交座標との間の座標変換を行う
他、円筒座標の動径rの補正も行うようになっている。
したものと同様の構成である。ただし、試料把持部駆動
手段2は、第2実施形態と同様に、円筒座標(r,θ,
z)に基づいて試料把持部1を駆動制御するようになっ
ている。また、座標演算手段6は、第2実施形態と同様
に、各試料収容部12の試料位置の直交座標を算出する
と共に、円筒座標と直交座標との間の座標変換を行う
他、円筒座標の動径rの補正も行うようになっている。
【0023】上記オートサンプラも、トレイ・カセット
11が設置された場合に、各試料収容部12の試料位置
の円筒座標を算出する動作を行う。このオートサンプラ
による円筒座標の算出動作を図8のフローチャートに従
って説明する。まず、ティーチング操作を行うことによ
って、ティーチング手段4により3箇所の試料収容部1
2の試料位置の円筒座標を取得して記憶装置3に記憶さ
せる(S21)。3箇所の試料収容部12の試料位置
は、第1及び第2実施形態の場合と同じ試料位置P
[0,0],P[9,0],P[0,9]とする。そし
て、数8に示すように、
11が設置された場合に、各試料収容部12の試料位置
の円筒座標を算出する動作を行う。このオートサンプラ
による円筒座標の算出動作を図8のフローチャートに従
って説明する。まず、ティーチング操作を行うことによ
って、ティーチング手段4により3箇所の試料収容部1
2の試料位置の円筒座標を取得して記憶装置3に記憶さ
せる(S21)。3箇所の試料収容部12の試料位置
は、第1及び第2実施形態の場合と同じ試料位置P
[0,0],P[9,0],P[0,9]とする。そし
て、数8に示すように、
【数8】 基準試料位置P[0,0]の円筒座標(rm0,θ0 ,z
0 )と、試料位置P[9,0]の円筒座標(rm1,
θ1 ,z1 )と、試料位置P[0,9]の円筒座標(r
m2,θ2 ,z2 )を取得して記憶装置3に記憶させる。
次に、例えば基準試料位置P[0,0]の中心軸からの
実際の距離rM を実測し、座標演算手段6によって数9
の演算を行うことにより、
0 )と、試料位置P[9,0]の円筒座標(rm1,
θ1 ,z1 )と、試料位置P[0,9]の円筒座標(r
m2,θ2 ,z2 )を取得して記憶装置3に記憶させる。
次に、例えば基準試料位置P[0,0]の中心軸からの
実際の距離rM を実測し、座標演算手段6によって数9
の演算を行うことにより、
【数9】 この中心軸からr=0となる位置までの変位rDEVを算
出する(S22)。実測した距離rM は、操作入力手段
5から入力して予め記憶装置3に記憶させておけばよ
い。これにより変位rDEV が算出されると、上記記憶装
置3に記憶された3箇所の試料位置の円筒座標における
動径rm0,rm1,rm2を数10によって補正する(S2
3)。
出する(S22)。実測した距離rM は、操作入力手段
5から入力して予め記憶装置3に記憶させておけばよ
い。これにより変位rDEV が算出されると、上記記憶装
置3に記憶された3箇所の試料位置の円筒座標における
動径rm0,rm1,rm2を数10によって補正する(S2
3)。
【数10】 この補正により、動径rが第2実施形態の場合と同様に
中心軸からの距離を示すものとなり、上記数6による直
交座標への変換が可能となる。なお、実際の距離r
M は、中心軸から基準試料位置P[0,0]までに限ら
ず、他の試料位置までのものであってもよい。また、例
えば特定の試料位置が機械的に正確に位置決めされるよ
うになっている場合には、中心軸からその試料位置まで
の距離の設計値を距離rM として用いることもできる。
上記補正がなされた3箇所の試料位置の円筒座標は、そ
れぞれ直交座標に変換し(S24)、これらの直交座標
に基づいて、他の各試料収容部12の試料位置P[i,
j]の直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ
算出すると共に(S25)、これら各試料位置P[i,
j]の直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )を再び円筒
座標(rCAL ,θCAL ,zCAL )にそれぞれ変換する
(S26)。これらS24〜S26の処理は、第2実施
形態で示した図6のS12〜S14の処理と同じであ
る。
中心軸からの距離を示すものとなり、上記数6による直
交座標への変換が可能となる。なお、実際の距離r
M は、中心軸から基準試料位置P[0,0]までに限ら
ず、他の試料位置までのものであってもよい。また、例
えば特定の試料位置が機械的に正確に位置決めされるよ
うになっている場合には、中心軸からその試料位置まで
の距離の設計値を距離rM として用いることもできる。
上記補正がなされた3箇所の試料位置の円筒座標は、そ
れぞれ直交座標に変換し(S24)、これらの直交座標
に基づいて、他の各試料収容部12の試料位置P[i,
j]の直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ
算出すると共に(S25)、これら各試料位置P[i,
j]の直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )を再び円筒
座標(rCAL ,θCAL ,zCAL )にそれぞれ変換する
(S26)。これらS24〜S26の処理は、第2実施
形態で示した図6のS12〜S14の処理と同じであ
る。
【0024】このようにして各試料位置P[i,j]の
円筒座標(rCAL ,θCAL ,zCAL)が算出されると、
最後にこれらの円筒座標の動径rCAL を上記変位rDEC
に基づいて数11により補正する(S27)。
円筒座標(rCAL ,θCAL ,zCAL)が算出されると、
最後にこれらの円筒座標の動径rCAL を上記変位rDEC
に基づいて数11により補正する(S27)。
【数11】 この補正により、動径rmCALが本実施形態の円筒座標系
のものとなる。そして、この補正を行った各試料位置P
[i,j]の円筒座標(rmCAL,θCAL ,zCAL)を、
ティーチング手段4によって取得した3箇所の試料位置
の円筒座標と共に記憶装置3に記憶させて処理を終了す
る。以上説明したように、本実施形態のオートサンプラ
によれば、動径rの原点が中心軸からずれた円筒座標系
を有するオートサンプラの場合にも、この動径rを補正
することにより、第2実施形態の場合と同様に、各試料
収容部12の試料を正常に熱分析装置に供給することが
できるようになる。
のものとなる。そして、この補正を行った各試料位置P
[i,j]の円筒座標(rmCAL,θCAL ,zCAL)を、
ティーチング手段4によって取得した3箇所の試料位置
の円筒座標と共に記憶装置3に記憶させて処理を終了す
る。以上説明したように、本実施形態のオートサンプラ
によれば、動径rの原点が中心軸からずれた円筒座標系
を有するオートサンプラの場合にも、この動径rを補正
することにより、第2実施形態の場合と同様に、各試料
収容部12の試料を正常に熱分析装置に供給することが
できるようになる。
【0025】なお、上記第1〜第3実施形態では、ティ
ーチング手段4によって行列状の三方の隅の試料位置の
座標を取得したが、同一直線上にない3箇所の試料位置
であれば、このような三方の隅に限らず任意の試料位置
を用いることができる。しかも、全試料位置の一部であ
る限り3箇所以上の試料位置の座標を取得してもよい。
また、例えばトレイ・カセット11がz軸に垂直(xy
平面に平行)に設置されることが保証されている場合に
は、2箇所の試料位置の座標を取得するだけでも足り
る。
ーチング手段4によって行列状の三方の隅の試料位置の
座標を取得したが、同一直線上にない3箇所の試料位置
であれば、このような三方の隅に限らず任意の試料位置
を用いることができる。しかも、全試料位置の一部であ
る限り3箇所以上の試料位置の座標を取得してもよい。
また、例えばトレイ・カセット11がz軸に垂直(xy
平面に平行)に設置されることが保証されている場合に
は、2箇所の試料位置の座標を取得するだけでも足り
る。
【0026】さらに、上記第1〜第3実施形態では、1
0行×10列の行列状に試料を配置するトレイ・カセッ
ト11を用いたが、これに限らず試料は任意の数だけ配
置することができ、トレイ・カセット11以外の試料搭
載具を用いることもできる。また、この試料は、等間隔
の行列状に限らず、他の任意の規則的な配列とすること
ができる。試料がいずれかの規則に基づいて配置されて
いれば、2以上の試料位置の座標に基づいて他の試料位
置を算出することができる。さらに、上記第1〜第3実
施形態では、試料把持部1が直交座標系3軸動作又は円
筒座標系3軸動作を行うオートサンプラについてのみ説
明したが、本発明は、例えばトレイ・カセット11等が
平行移動するタイプや回転するタイプ等、任意のタイプ
のオートサンプラに実施することができる。
0行×10列の行列状に試料を配置するトレイ・カセッ
ト11を用いたが、これに限らず試料は任意の数だけ配
置することができ、トレイ・カセット11以外の試料搭
載具を用いることもできる。また、この試料は、等間隔
の行列状に限らず、他の任意の規則的な配列とすること
ができる。試料がいずれかの規則に基づいて配置されて
いれば、2以上の試料位置の座標に基づいて他の試料位
置を算出することができる。さらに、上記第1〜第3実
施形態では、試料把持部1が直交座標系3軸動作又は円
筒座標系3軸動作を行うオートサンプラについてのみ説
明したが、本発明は、例えばトレイ・カセット11等が
平行移動するタイプや回転するタイプ等、任意のタイプ
のオートサンプラに実施することができる。
【0027】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のオートサンプラによれば、ティーチング操作の実行に
よって2〜3箇所程度の試料位置の座標を取得するだけ
で、他の試料位置が試料の配置規則に従って演算によっ
て求められるので、試料搭載具がずれて設置されていて
も、各試料を確実に取り出し処理装置に供給することが
できるようになる。
のオートサンプラによれば、ティーチング操作の実行に
よって2〜3箇所程度の試料位置の座標を取得するだけ
で、他の試料位置が試料の配置規則に従って演算によっ
て求められるので、試料搭載具がずれて設置されていて
も、各試料を確実に取り出し処理装置に供給することが
できるようになる。
【図1】本発明の第1実施形態を示すものであって、オ
ートサンプラの構成を示すブロック図である。
ートサンプラの構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の第1実施形態を示すものであって、オ
ートサンプラの動作を示すフローチャートである。
ートサンプラの動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明の第1実施形態を示すものであって、ト
レイ・カセット上の試料収容部の配置を示す平面図であ
る。
レイ・カセット上の試料収容部の配置を示す平面図であ
る。
【図4】本発明の第1実施形態を示すものであって、直
交座標を算出する演算内容を説明するための図である。
交座標を算出する演算内容を説明するための図である。
【図5】本発明の第2実施形態を示すものであって、円
筒座標系3軸動作を行う試料把持部を示す斜視図であ
る。
筒座標系3軸動作を行う試料把持部を示す斜視図であ
る。
【図6】本発明の第2実施形態を示すものであって、オ
ートサンプラの動作を示すフローチャートである。
ートサンプラの動作を示すフローチャートである。
【図7】本発明の第3実施形態を示すものであって、原
点にずれのある円筒座標系3軸動作を行う試料把持部を
示す斜視図である。
点にずれのある円筒座標系3軸動作を行う試料把持部を
示す斜視図である。
【図8】本発明の第3実施形態を示すものであって、オ
ートサンプラの動作を示すフローチャートである。
ートサンプラの動作を示すフローチャートである。
【図9】直交座標系3軸動作を行う試料把持部を示す斜
視図である。
視図である。
【図10】トレイ・カセットの設置位置のずれを説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
1 試料把持部 4 ティーチング手段 6 座標演算手段 11 カセット 12 試料収容部
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の試料を規則的に配置した試料搭載
具から各試料を1個ずつ取り出して処理装置に順次供給
するオートサンプラにおいて、 試料搭載具に搭載された全ての試料の一部であって2以
上の試料の位置の座標をティーチング操作の実行によっ
て取得するティーチング手段と、 このティーチング手段によって取得した2以上の試料位
置の座標に基づき、試料の配置規則に従って、他の各試
料位置の座標をそれぞれ演算によって求める座標演算手
段とが設けられたことを特徴とするオートサンプラ。 - 【請求項2】 前記試料搭載具が、I×J個の試料を等
間隔のI列と等間隔のJ行に行列状に配置したものであ
り、 前記ティーチング手段が、行列状のいずれかの隅の基準
試料位置の直交座標(x0 ,y0 ,z0 )と、この基準
試料位置に対し同一行であり最も離れた列にある試料位
置の直交座標(x1 ,y1 ,z1 )と、この基準試料位
置に対し同一列であり最も離れた行にある試料位置の直
交座標(x2 ,y2 ,z2 )とをティーチング操作の実
行によって取得するものであり、 前記位置座標演算手段が、基準試料位置からi(0≦i
<I)列目でj(0≦j<J)行目となる各試料位置の
直交座標(xCAL ,yCAL ,zCAL )をそれぞれ数1の
演算により求めるものである 【数1】 ことを特徴とする請求項1に記載のオートサンプラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14081496A JPH09304241A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | オ−トサンプラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14081496A JPH09304241A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | オ−トサンプラ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09304241A true JPH09304241A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=15277363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14081496A Pending JPH09304241A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | オ−トサンプラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09304241A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001021457A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-26 | Rigaku Industrial Co | 試料交換機を有する分析システム |
JP2002014035A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Nikon Corp | 光測定方法及びマイクロプレート |
JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2018533726A (ja) * | 2015-10-06 | 2018-11-15 | エフ.ホフマン−ラ ロシュ アーゲーF. Hoffmann−La Roche Aktiengesellschaft | 受渡し位置を特定する方法及びラボラトリ自動化システム |
-
1996
- 1996-05-09 JP JP14081496A patent/JPH09304241A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001021457A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-26 | Rigaku Industrial Co | 試料交換機を有する分析システム |
JP2002014035A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Nikon Corp | 光測定方法及びマイクロプレート |
JP2007093343A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP4742782B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-08-10 | 株式会社島津製作所 | X線検査装置 |
JP2018533726A (ja) * | 2015-10-06 | 2018-11-15 | エフ.ホフマン−ラ ロシュ アーゲーF. Hoffmann−La Roche Aktiengesellschaft | 受渡し位置を特定する方法及びラボラトリ自動化システム |
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