JPH0929965A - Ink jet head and forming method of piezoelectric element thereof - Google Patents
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タのインクジェットヘッドに係り、特に圧電素子と絶縁
板とを交互に積層して櫛歯状に形成し、また圧電素子が
保持部材に保持された時に、圧電素子の電極が保持部材
に形成された導通パターンに接触するインクジェットヘ
ッド及びその圧電素子の形成方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head of an ink jet printer, and more particularly, when piezoelectric elements and insulating plates are alternately laminated to form a comb shape, and when the piezoelectric elements are held by a holding member. The present invention relates to an inkjet head in which an electrode of a piezoelectric element comes into contact with a conductive pattern formed on a holding member, and a method for forming the piezoelectric element.
【０００２】近来、印字媒体にインクの微小粒子を直接
吹きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒
体に対する制限がなく、且つ高速印字ができて、低騒音
であり、カラー化が容易であることから急速に普及しつ
つある。Recently, an ink jet printer for directly recording fine particles of ink onto a print medium for recording has no limitation on the print medium, high-speed printing is possible, low noise, and easy colorization. It is spreading rapidly.
【０００３】このインクジェットプリンタのインクジェ
ットヘッドは、例えば、ノズルを有するノズル板、壁部
材及び加圧板で圧力室を形成し、インクを満たした圧力
室に加圧板を介して圧電素子の電歪による変位によって
圧力を与えてノズルからインクを噴射してドット印字を
形成するものである。In the ink jet head of this ink jet printer, for example, a pressure chamber is formed by a nozzle plate having nozzles, a wall member and a pressure plate, and the pressure chamber filled with ink is displaced by electrostriction of the piezoelectric element via the pressure plate. Is applied to eject ink from a nozzle to form a dot print.
【０００４】複数の圧電素子を櫛歯状に形成したヘッド
の場合には、圧電素子のブロックを所定の厚さにスリッ
トを入れて形成しており、櫛歯をダイシングソウで切り
出すために櫛歯の厚さのバラツキの低減に限度があり、
圧電素子の電歪のバラツキに影響する。In the case of a head in which a plurality of piezoelectric elements are formed in a comb-tooth shape, the piezoelectric element block is formed by slitting it to a predetermined thickness, and the comb teeth are cut out by a dicing saw. There is a limit to the variation in the thickness of
This affects variations in electrostriction of the piezoelectric element.
【０００５】また、各圧電素子に電極を形成するため
に、全体を無電解メッキした後に、周辺端面のメッキ除
去及び櫛歯の根元で絶縁切りを行っているが、小型化が
進むに連れて間隔が狭くなり絶縁切りが困難になってい
る。従って、加工工程が複雑、且つ困難であるため、加
工時間が長く掛かり、歩留りも悪くなっている。In order to form an electrode on each piezoelectric element, electroless plating is performed on the entire piezoelectric element, and then plating is removed from the peripheral end face and insulation is cut off at the root of the comb teeth. The spacing is narrowing, making it difficult to cut the insulation. Therefore, since the processing process is complicated and difficult, the processing time is long and the yield is low.
【０００６】更に、各圧電素子の電極のリード線引き出
しやそのリード線をＩＣ基板等に接続するために、多量
のはんだ付け部分があって、作業時間が長く掛かり、且
つ接続部分での歩留りの低下が問題になっている。Further, in order to lead out the lead wire of the electrode of each piezoelectric element and to connect the lead wire to an IC substrate or the like, there is a large amount of soldering portion, which requires a long working time and yield of the connecting portion. Deterioration is a problem.
【０００７】そこで、櫛歯の厚さのバラツキを減少して
各圧電素子の電歪を均一にし、絶縁切り加工及び結合作
業を容易にして時間の短縮及び歩留りを高めることがで
きる方法が望まれている。Therefore, there is a demand for a method capable of reducing the variation in the thickness of the comb teeth to make the electrostriction of each piezoelectric element uniform, facilitating the insulation cutting and bonding work, and shortening the time and increasing the yield. ing.
【０００８】[0008]
【従来の技術】図１２にインクジェットプリンタの概要
を示す。図に示すように、インクジェットヘッド（以下
印字ヘッドという)1を搭載したキャリア２にガイドシャ
フト３が嵌合し、また、プーリP1,P2 に掛けられたタイ
ミングベルト（以下ベルトという)4にキャリア２が固定
され、プーリP1はモータM1に連結されている。2. Description of the Related Art FIG. 12 shows an outline of an ink jet printer. As shown in the figure, a guide shaft 3 is fitted to a carrier 2 on which an inkjet head (hereinafter referred to as a print head) 1 is mounted, and a carrier 2 is mounted on a timing belt (hereinafter referred to as a belt) 4 hung on pulleys P1 and P2. Is fixed, and the pulley P1 is connected to the motor M1.
【０００９】キャリア２は板状のプラテン５の上方に配
置され、モータM1の正逆方向回転によりベルト４によっ
てプラテン５に平行に矢印Ａ、Ｂ方向に移動する。プラ
テン５の前段にモータM2に連結された送りローラ６が配
置されている。The carrier 2 is disposed above the plate-shaped platen 5 and is moved in parallel with the platen 5 in the directions of arrows A and B by the belt 4 by the rotation of the motor M1 in the forward and reverse directions. A feed roller 6 connected to a motor M2 is arranged in front of the platen 5.
【００１０】印字ヘッド１は、ヘッド部10及びインクタ
ンク11から成り、ヘッド部10は、プラテン５に所定の間
隙を介して対向し、先端に後述する複数のノズルを有し
ている。インクタンク11は、複数のノズルに共通し、ヘ
ッド部10に供給するインクが収容されている。The print head 1 is composed of a head portion 10 and an ink tank 11, and the head portion 10 faces the platen 5 with a predetermined gap and has a plurality of nozzles described below at its tip. The ink tank 11 is common to a plurality of nozzles and stores ink to be supplied to the head unit 10.
【００１１】従って、キャリア２が移動しながら、印字
ヘッド１はノズルからインクを噴射して印字用紙７にマ
トリックスドットによって印字を形成する。印字用紙７
は送りローラ６の回転によって矢印Ｃ方向に行送りされ
る。Therefore, as the carrier 2 moves, the print head 1 ejects ink from the nozzles to form a print on the print paper 7 by matrix dots. Printing paper 7
Is fed in the direction of arrow C by the rotation of the feed roller 6.
【００１２】次に図１３及び図１４によりヘッド部10を
説明する。 図１３及び図１４に示すように、ヘッド部
10は、圧電素子81,82,…と、ノズル91,92,…（例えば、
孔径30〜50μｍ) が夫々設けられたノズル板121,122,
…、圧力室131,132,…、インク供給口161,162,…を夫々
有する壁部材141,142,…、及び加圧板151,152,…で構成
されている。Next, the head portion 10 will be described with reference to FIGS. 13 and 14. As shown in FIGS. 13 and 14, the head portion
10 is a piezoelectric element 8 1 , 8 2 , ... And a nozzle 9 1 , 9 2 ,.
Nozzle plates 12 1, 12 2 , each having a hole diameter of 30 to 50 μm)
..., the pressure chambers 13 1, 13 2, ..., wall members 14 1, 14 2 in which the ink supply ports 16 1, 16 2, ... a having respectively ..., and the pressing plate 15 1, 15 2, and a ... .
【００１３】圧電素子81,82,…は、個々には矩形板状
で、複数の矩形板状の部分と後述する連結された部分と
で櫛歯状に一体に形成され、矩形板状の部分の一端面が
加圧板151,152,…の外側に接着され、両面に電極17a1,1
7a2,…、17b1,17b2,…（例えば、電極17a1,17a2 は個別
電極、電極17b1,17b2,…は共通電極とする) が設けられ
ている。Each of the piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ... Is a rectangular plate, and is formed integrally with a plurality of rectangular plate-like parts and a later-described connected part in a comb-tooth shape to form a rectangular plate-like shape. One end surface of the part of is adhered to the outside of the pressure plate 15 1 , 15 2 , ..., and the electrodes 17a 1 , 1
7a 2, ..., 17b 1, 17b 2, ... ( for example, electrodes 17a 1, 17a 2 the individual electrodes, the electrode 17b 1, 17b 2, ... is a common electrode) is provided.
【００１４】また、ノズル板121,122,…と加圧板151,15
2,…の間に壁部材141,142,…が配置されて、これらに囲
まれた空間部により圧力室131,132,…が形成されてい
る。インク供給口161,162,…は、前記のインクタンク11
に接続されている。Further, the nozzle plates 12 1 , 12 2 , ... And the pressure plates 15 1 , 15
2, the wall member 14 1, 14 2 between ..., ... is arranged, the pressure chamber 13 1, 13 2 by the space enclosed by these, ... are formed. The ink supply ports 16 1 , 16 2 , ... Are the ink tanks 11 described above.
It is connected to the.
【００１５】実際には、ノズル板121,122,…、壁部材14
1,142,…及び加圧板151,152,…は、夫々一体に形成され
て、静電接合 (或いは拡散接合) 或いは接着剤等によっ
て接合されている。Actually, the nozzle plates 12 1 , 12 2 , ..., The wall member 14
1, 14 2, ... and the pressing plate 15 1, 15 2, ... are formed respectively integral, are joined by electrostatic bonding (or diffusion bonding) or adhesives or the like.
【００１６】従って、圧電素子81,82,…に選択的に電圧
を印加して、その電歪の変位量により加圧板151,152,…
に対応する位置を振動させることによって、圧力室131,
132,…に圧力を加えて、インク供給口161,162,…から供
給されたインク18ａが上記のようにノズル91,92,…から
噴射する。Therefore, a voltage is selectively applied to the piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ... And the pressure plates 15 1 , 15 2 ,.
By vibrating the position corresponding to the pressure chamber 13 1,
13 2, ... it applies pressure to the ink supply port 16 1, 16 2, the nozzle 9 1 ink 18a supplied from ... is as described above, 9 2, injected from ....
【００１７】なお、加圧板151,152,…と壁部材141,142,
…、或いはノズル板121,122,…と壁部材141,142,…を一
体として、例えば電鋳法で形成したヘッド部もある。ま
た、ステンレス鋼板或いは感光ガラスをエッチングして
形成したノズル板、壁部材及び加圧板を使用したヘッド
部もある。The pressure plates 15 1 , 15 2 , ... And the wall members 14 1 , 14 2 ,
, Or the nozzle plates 12 1 , 12 2 , ... And the wall members 14 1 , 14 2 , ... Are integrally formed, for example, there is also a head portion formed by an electroforming method. Further, there is also a head portion using a nozzle plate formed by etching a stainless steel plate or a photosensitive glass, a wall member and a pressure plate.
【００１８】図１５(a) に示すように、櫛歯状に形成さ
れる圧電素子81,82,…は、ブロックＢにダイシングソウ
で所定位置までスリットを入れ、次に各圧電素子81,82,
…に電極17a1,17a2,…、17b1,17b2,…を形成するために
無電解メッキ（Ｎｉ−Ａｕ等）を施して、周辺端面のメ
ッキ除去及び櫛歯の根元でメッキ層を切断して絶縁切り
を行う。As shown in FIG. 15 (a), the piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ... Formed in a comb-teeth shape are formed by slitting the block B to a predetermined position with a dicing saw, and then each piezoelectric element 8 1. 1 , 8 2 ,
Is subjected to electroless plating (Ni-Au or the like) to form electrodes 17a 1 , 17a 2 , ..., 17b 1 , 17b 2 , ..., and plating on the peripheral end face and a plating layer is formed at the base of the comb teeth. Cut and insulate.
【００１９】次いで、ヘッド部10に必要な、縦に並んだ
圧電素子81,82,…の列数に対応する幅に切り出して圧電
素子部Baを形成する。図１５(b)(イ) 及び (ロ) に１列
及び２列の場合を示している。Then, the piezoelectric element portion Ba is formed by cutting it into a width corresponding to the number of rows of vertically arranged piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ... Required for the head portion 10. FIG. 15 (b) (a) and (b) show the cases of one row and two rows.
【００２０】また、図１６(a) 〜(c) に示すように、圧
力室131,132,…及び圧電素子81,82,…の複数（図では５
個）を所定列（図では２列）を圧電素子部Baとして一括
して保持する保持部材19ａが設けられ、圧力室131,132,
…は保持部材19ａに固定され、保持部材19ａに設けられ
た角孔190 に圧電素子部Ba（圧素子81,82,…）が矢印方
向に挿入されて保持される。保持部材19ａは、樹脂材
（例えば、エポック：三菱化学工業製）で形成されてい
る。As shown in FIGS. 16 (a) to 16 (c), a plurality of pressure chambers 13 1 , 13 2 , ... And a plurality of piezoelectric elements 8 1 , 8 2 ,.
Holding members 19a for collectively holding a predetermined row (two rows in the figure) as the piezoelectric element portion Ba are provided, and the pressure chambers 13 1 , 13 2 ,
Are fixed to the holding member 19a, and the piezoelectric element portions Ba (piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ...) Are inserted and held in the square holes 190 provided in the holding member 19a in the arrow direction. The holding member 19a is made of a resin material (for example, Epoch: manufactured by Mitsubishi Chemical Industry).
【００２１】電極17a1,17a2,17b1,17b2,…から引き出し
たリード線20a120a2, …、20b1,20b 2,…は、基板（例え
ば、ＩＣ基板)21 に形成された接点22a122a2, …、22
b1,22b 2,…にはんだ付けされる。基板21には、圧電素子
81,82,…を駆動させる駆動回路(図示していない) が搭
載されている。Electrode 17a1, 17aTwo, 17b1, 17bTwoWithdraw from
Lead wire 20a120aTwo, ..., 20b1, 20b Two, ... are substrates (for example,
Contact 22a formed on IC substrate 21)122aTwo, …,twenty two
b1, 22b Two, ... is soldered to. The substrate 21 has a piezoelectric element.
81, 8TwoA drive circuit (not shown) for driving
It is listed.
【００２２】上記リード線20a,20b,…に代えて、リード
フレームやワイヤーボンディング等により結合される場
合もある。In place of the lead wires 20a, 20b, ..., They may be joined by a lead frame or wire bonding.
【００２３】[0023]
【発明が解決しようとする課題】上記従来方法によれ
ば、櫛歯状の圧電素子を形成するのに、ブロック状の圧
電素子に櫛歯をダイシングソウで切り出すため、櫛形の
厚みにバラツキが生じている。このような加工方法では
バラツキを低減させるのに限界があり、櫛形の厚みのバ
ラツキは圧電素子の特性のバラツキに影響する。According to the above-mentioned conventional method, since the comb teeth are cut out by the dicing saw in the block-shaped piezoelectric element to form the comb-shaped piezoelectric element, the comb-shaped thickness varies. ing. Such a processing method has a limit in reducing the variation, and the variation in the thickness of the comb shape affects the variation in the characteristics of the piezoelectric element.
【００２４】また、加工工程として、電極を形成するた
めにメッキを分離する絶縁切りの工程が必要で、櫛歯の
根元の絶縁切りは、特に高精細化のために櫛歯の間隔が
狭くなり、絶縁切りが複雑、且つ困難で、加工に時間を
要し、歩留りも悪くなり、コスト高の要因になってい
る。Further, as a processing step, an insulating cutting step for separating the plating is required to form the electrodes, and the insulating cutting at the root of the comb teeth has a narrower interval between the comb teeth for higher definition. Insulation cutting is complicated and difficult, it takes time to process, the yield is low, and the cost is high.
【００２５】従って、高精細・高品質印刷の要請に対応
するために解決すべき課題になっている。また、保持部
材に圧電素子を保持させた時に、圧電素子の電極からの
リード線の引き出しや、リード線をＩＣ基板の接点に接
続するための多量のはんだ付け箇所があるため、接合部
分での歩留り低下や作業工程に時間が掛かり、コスト高
の要因になっている。という問題点がある。Therefore, there is a problem to be solved in order to meet the demand for high definition and high quality printing. Further, when holding the piezoelectric element on the holding member, there are many lead points from the electrodes of the piezoelectric element and soldering points for connecting the lead wires to the contacts of the IC substrate. Yield decrease and work process take time, which is a factor of high cost. There is a problem.
【００２６】本発明は、櫛歯状の圧電素子の厚みのバラ
ツキをなくして、圧電素子の特性を均一化することがで
きて、高精細・高品質印刷に対応することができ、且
つ、加工時間の短縮及び歩留り向上によってコストの改
善を図ることができるインクジェットヘッド及びその圧
電素子の形成方法を提供することを目的としている。According to the present invention, it is possible to eliminate the variation in the thickness of the comb-teeth-shaped piezoelectric element, to make the characteristics of the piezoelectric element uniform, and to cope with high-definition and high-quality printing, and to process it. An object of the present invention is to provide an inkjet head and a method for forming a piezoelectric element for the inkjet head, which can reduce the cost by shortening the time and improving the yield.
【００２７】[0027]
【課題を解決するための手段】図１〜図３は本発明の原
理図で、図１は請求項１に対応する原理図、図２は請求
項２に対応する原理図、図３は請求項１０に対応する原
理図である。1 to 3 are principle diagrams of the present invention, FIG. 1 is a principle diagram corresponding to claim 1, FIG. 2 is a principle diagram corresponding to claim 2, and FIG. It is a principle diagram corresponding to Item 10.
【００２８】１）請求項１に対応する手段 図１において、17は電極、18はインク、９は圧力室13に
設けられ、インク18を噴射するノズル、16は圧力室13に
設けられ、インク18を供給するインク供給口、13はイン
ク供給口16及びノズル９を有する圧力室、８は両面の所
定範囲に電極17が形成され、圧力室13に接する圧電素
子、23は隣接するノズル９の間隔より薄い厚さで、一方
の長さが対応する方向の圧電素子８の長さより所定寸法
だけ短い長さの絶縁板である。1) Means corresponding to claim 1 In FIG. 1, 17 is an electrode, 18 is ink, 9 is provided in the pressure chamber 13 and a nozzle for ejecting the ink 18, 16 is provided in the pressure chamber 13 An ink supply port for supplying 18; 13 is a pressure chamber having the ink supply port 16 and a nozzle 9; 8 is a piezoelectric element in which electrodes 17 are formed in a predetermined range on both surfaces and is in contact with the pressure chamber 13; 23 is an adjacent nozzle 9; The insulating plate has a thickness smaller than the distance, and one length is shorter than the length of the piezoelectric element 8 in the corresponding direction by a predetermined dimension.
【００２９】圧力室13及び圧電素子８の複数組から成る
少なくとも１列を備え、圧電素子８の電極17に選択的に
電圧を印加して圧電素子８の電歪による変位で圧力室13
に圧力変化を与えて、圧力室13に供給されたインク18を
ノズル９から噴射するインクジェットヘッドであって、
複数の圧電素子８は、圧電素子８と絶縁板23とを交互に
積層して櫛歯状に形成された構成である。The pressure chamber 13 and at least one row composed of a plurality of sets of the piezoelectric element 8 are provided, and the voltage is selectively applied to the electrode 17 of the piezoelectric element 8 to displace the piezoelectric element 8 due to electrostriction.
An ink jet head for ejecting the ink 18 supplied to the pressure chamber 13 from the nozzle 9 by applying a pressure change to
The plurality of piezoelectric elements 8 has a configuration in which the piezoelectric elements 8 and the insulating plates 23 are alternately laminated and formed in a comb shape.
【００３０】即ち、所定の変位量から決定される圧電素
子８の有効長と固定部の長さを合わせた長さを持ち、予
め櫛歯の長さに電極17を形成した単層板 (或いは積層
板) の圧電素子８と、圧電素子８の固定部の長さと同じ
長さで、厚みがインク18を噴出するノズル９の間隔より
薄い絶縁板23とを、固定部と絶縁板23が重なり、且つ圧
電素子８の分極方向が同一方向になるように交互に積層
し、圧電素子８の積層枚数は１列のノズル９の数に対応
した枚数として、積層後固定し、その積層体を所定の櫛
幅に切り出して１列一体型の櫛歯状圧電素子が形成され
る。That is, a single-layer plate (or a single-layer plate having an effective length of the piezoelectric element 8 determined from a predetermined displacement amount and a length of the fixed portion combined with the electrodes 17 formed in advance to the comb tooth length (or The piezoelectric element 8 of the (laminated plate) and the insulating plate 23 having the same length as the fixed portion of the piezoelectric element 8 and having a thickness smaller than the distance between the nozzles 9 for ejecting the ink 18 overlap the fixed portion and the insulating plate 23. Further, the piezoelectric elements 8 are alternately laminated so that the polarization directions thereof are the same, and the number of laminated piezoelectric elements 8 corresponds to the number of nozzles 9 in one row. To form a comb-tooth-shaped piezoelectric element integrated in one row.
【００３１】２）請求項２に対応する手段 図２において、９はノズル、17は電極、18はインク、９
は圧力室13に設けられ、インク18を噴射するノズル、16
は圧力室13に設けられ、インク18を供給するインク供給
口、13はインク供給口16及びノズル９を有する圧力室、
80は少なくとも圧電素子８の少なくとも１列に対応した
大きさの圧電素子基板、23は隣接するノズル９の間隔よ
り薄い厚さで、一方の長さが対応する方向の圧電素子基
板80の長さより所定寸法だけ短い長さの絶縁板である。2) Means corresponding to claim 2 In FIG. 2, 9 is a nozzle, 17 is an electrode, 18 is ink, and 9
Is a nozzle provided in the pressure chamber 13 for ejecting ink 18,
Is an ink supply port provided in the pressure chamber 13 for supplying the ink 18, and 13 is a pressure chamber having the ink supply port 16 and the nozzle 9.
Reference numeral 80 is a piezoelectric element substrate having a size corresponding to at least one row of the piezoelectric elements 8. Reference numeral 23 is a thickness smaller than the interval between the adjacent nozzles 9. One length is smaller than the length of the piezoelectric element substrate 80 in the corresponding direction. It is an insulating plate with a length that is shorter by a predetermined dimension.
【００３２】圧力室13及び圧電素子８の複数組を少なく
とも１列備え、圧電素子８に選択的に電圧を印加して圧
電素子８の電歪による変位によって圧力室13に圧力変化
を与えて、圧力室13に供給されたインク18をノズル９か
ら噴射するインクジェットヘッドであって、複数の圧電
素子８を、圧電素子基板80の両面の所定範囲に電極17を
形成し、圧電素子基板80と、隣接するノズル９の間隔よ
り薄い厚さで、一方の長さが対応する方向の圧電素子基
板80の長さより所定寸法だけ短い長さの絶縁板23とを複
数枚づつ交互に積層して櫛歯状に形成するように構成さ
れている。A plurality of sets of the pressure chamber 13 and the piezoelectric element 8 are provided in at least one column, and a voltage is selectively applied to the piezoelectric element 8 to change the pressure in the pressure chamber 13 by the displacement of the piezoelectric element 8 due to electrostriction. An ink jet head for ejecting ink 18 supplied to the pressure chamber 13 from a nozzle 9, a plurality of piezoelectric elements 8 having electrodes 17 formed in a predetermined range on both surfaces of a piezoelectric element substrate 80, and a piezoelectric element substrate 80, A plurality of insulating plates 23 each having a thickness smaller than the interval between the adjacent nozzles 9 and one length shorter than the length of the piezoelectric element substrate 80 in the corresponding direction by alternately laminating a plurality of insulating plates 23 are comb-toothed. It is configured to be formed into a shape.
【００３３】以下、請求項３〜請求項９に対応する手段
を説明する。請求項３では、請求項２において、交互に
積層した圧電素子基板80及び絶縁板23を固定し、長さが
異なる方向に対して直角方向に少なくとも一列のノズル
９に対応する幅に切り出すように構成されている。Means corresponding to claims 3 to 9 will be described below. According to a third aspect, the piezoelectric element substrates 80 and the insulating plates 23, which are alternately laminated in the second aspect, are fixed and cut out in a width corresponding to at least one row of the nozzles 9 in a direction perpendicular to a direction having different lengths. It is configured.
【００３４】請求項４では、請求項１或いは請求項２に
おいて、各絶縁板23の積層面上に、電極17に接するよう
に導電パターンを形成し、導電パターンを圧電素子８或
いは圧電素子基板80と長さが異なる方向に対して反対側
の側面部まで連続して形成するように構成されている。In a fourth aspect, in the first or second aspect, a conductive pattern is formed on the laminated surface of each insulating plate 23 so as to contact the electrode 17, and the conductive pattern is formed by the piezoelectric element 8 or the piezoelectric element substrate 80. Is formed so as to be continuously formed up to the side surface portion on the opposite side with respect to the different lengths.
【００３５】請求項５では、請求項４において、絶縁板
23の圧電素子８或いは圧電素子基板80と長さが異なる方
向に対して反対側の側面部まで形成した導電パターンか
ら電極17を引き出すように構成されている。According to a fifth aspect, in the fourth aspect, the insulating plate is used.
The electrode 17 is drawn out from the conductive pattern formed up to the side surface portion on the opposite side in the direction different in length from the piezoelectric element 8 or the piezoelectric element substrate 80 of 23.
【００３６】請求項６では、請求項１或いは請求項２に
おいて、絶縁板23を形成する材料のヤング率が圧電素子
８のヤング率以下であるように構成されている。請求項
７では、請求項１或いは請求項２において、圧電素子８
或いは圧電素子基板80と絶縁板23を接着剤で接合するよ
うに構成されている。According to a sixth aspect of the present invention, the Young's modulus of the material forming the insulating plate 23 is less than or equal to the Young's modulus of the piezoelectric element 8 in the first or second aspect. A seventh aspect is the piezoelectric element 8 according to the first or second aspect.
Alternatively, the piezoelectric element substrate 80 and the insulating plate 23 are configured to be bonded with an adhesive.
【００３７】請求項８では、請求項７において、接着剤
を導電性接着剤とした構成である。請求項９では、請求
項７或いは請求項８において、接着剤の硬化後のヤング
率が圧電素子８のヤング率以下である構成である。According to an eighth aspect, in the seventh aspect, the adhesive is a conductive adhesive. According to a ninth aspect, in the seventh or eighth aspect, the Young's modulus of the adhesive after curing is equal to or less than the Young's modulus of the piezoelectric element 8.
【００３８】３）請求項１０に対応する手段 図３において、18はインク、170 は第１の電極、９は圧
力室13に設けられ、インク18を噴射するノズル、16は圧
力室13に設けられ、インク18を供給するインク供給口、
13は複数が少なくとも１列設けられ、インク供給口16及
びノズル９を有する圧力室、８は複数が少なくとも１列
設けられ、両面に第１の電極170 を有し、圧力室13に接
する圧電素子、19は複数組の圧力室13及び圧電素子８の
少なくとも１列の圧力室13の背面毎に固定され、圧電素
子８を夫々保持する保持部材、30は圧電素子８の保持部
材19に対向する側面に設けられ、各圧電素子８の両面の
第１の電極170 に夫々通じる第１の導通パターン、31は
保持部材19の、第１の導通パターン30に対応する位置に
夫々形成した第２の電極である。3) Means corresponding to claim 10 In FIG. 3, 18 is ink, 170 is a first electrode, 9 is provided in the pressure chamber 13, a nozzle for ejecting the ink 18, and 16 is provided in the pressure chamber 13. And an ink supply port for supplying the ink 18,
A plurality of 13 are pressure chambers having at least one row, and ink supply ports 16 and nozzles 9 are provided. A plurality of at least one row is provided with 8, first electrodes 170 are provided on both surfaces, and a piezoelectric element in contact with the pressure chambers 13 is provided. , 19 are holding members that are fixed to the back surfaces of the pressure chambers 13 and the pressure chambers 13 of at least one row of the piezoelectric elements 8 and that hold the piezoelectric elements 8 respectively, and 30 faces the holding member 19 of the piezoelectric elements 8. A first conductive pattern provided on the side surface and communicating with the first electrodes 170 on both surfaces of each piezoelectric element 8, 31 is a second conductive pattern formed on the holding member 19 at a position corresponding to the first conductive pattern 30, respectively. It is an electrode.
【００３９】圧電素子８の第１の電極170 に選択的に電
圧を印加して圧電素子８の電歪による変位で圧力室13に
圧力変化を与えて、圧力室13に供給されたインク18をノ
ズル９から噴射するように構成されている。A voltage is selectively applied to the first electrode 170 of the piezoelectric element 8 to change the pressure in the pressure chamber 13 by the displacement of the piezoelectric element 8 due to electrostriction, so that the ink 18 supplied to the pressure chamber 13 is removed. It is configured to eject from the nozzle 9.
【００４０】以下、請求項１１〜請求項１４に対応する
手段を説明する。請求項１１では、請求項１０におい
て、第２の電極31は、圧電素子８に電圧を印加する駆動
回路に接続される構成とする。Means corresponding to claims 11 to 14 will be described below. According to an eleventh aspect, in the tenth aspect, the second electrode 31 is connected to a drive circuit that applies a voltage to the piezoelectric element 8.
【００４１】請求項１２では、請求項１０において、保
持部材19に保持された圧電素子８の後部が嵌入される孔
を有し、孔の内面の、第１の導通パターン30に対応する
位置に第２の電極31が形成され、第２の電極31及び駆動
回路を連結する第２の導通パターンが形成された基板を
備えた構成とする。According to a twelfth aspect, in the tenth aspect, there is provided a hole into which the rear portion of the piezoelectric element 8 held by the holding member 19 is inserted, and the hole is provided at a position corresponding to the first conductive pattern 30 on the inner surface of the hole. The second electrode 31 is formed, and the substrate is provided with a second conductive pattern that connects the second electrode 31 and the drive circuit.
【００４２】請求項１３では、請求項１０或いは請求項
１２において、保持部材19に圧電素子８が保持された
時、或いは基板の孔を圧電素子８の後部に嵌入した時
に、第２の電極31に第１の導通パターン30が接触するよ
うに構成されている。According to a thirteenth aspect, the second electrode 31 according to the tenth aspect or the twelfth aspect is used when the piezoelectric element 8 is held by the holding member 19 or when the hole of the substrate is fitted in the rear portion of the piezoelectric element 8. The first conductive pattern 30 is configured to be in contact with.
【００４３】請求項１４では、請求項１、請求項２或い
は請求項１０において、圧電素子８は、単層圧電素子或
いは積層圧電素子である構成とする。According to a fourteenth aspect, in the first, second or tenth aspect, the piezoelectric element 8 is a single-layer piezoelectric element or a laminated piezoelectric element.
【００４４】[0044]
１）請求項１に対応する作用 図１に示すように、複数の圧電素子８の間に絶縁板23を
挿入して櫛歯状に積層した構成とすることにより、圧電
素子８の厚さ及び間隔を均一に形成することができるの
で、圧電素子８の電歪のバラツキをなくすことができ、
インク１８の飛翔特性が向上して印字品質を高めること
ができると共に、従来方法のように、圧電素子のブロッ
クにダイシングソウ等によってスリットを形成して櫛歯
状に形成する方法に比べて、複雑な工程が省略され、加
工工数が著しく短縮して、コストの改善を図ることがで
きる。1) Operation Corresponding to Claim 1 As shown in FIG. 1, the insulating plate 23 is inserted between a plurality of piezoelectric elements 8 to form a comb-tooth-like structure, whereby the thickness of the piezoelectric elements 8 and Since the intervals can be formed uniformly, it is possible to eliminate variations in electrostriction of the piezoelectric element 8.
The flying characteristics of the ink 18 can be improved to improve the printing quality, and it is more complicated than the conventional method in which a slit is formed in a block of a piezoelectric element by a dicing saw or the like to form a comb tooth shape. It is possible to reduce costs by significantly reducing the number of processing steps and significantly reducing the number of processing steps.
【００４５】２）請求項２に対応する作用 図２に示すように、圧電素子基板80と絶縁板23とを交互
に積層して櫛歯状に形成することにより、圧電素子８の
厚さ及び間隔を均一に形成することができるので、圧電
素子８の電歪のバラツキをなくすことができ、インク１
８の飛翔特性が向上して印字品質を高めることができる
と共に、従来方法における圧電素子のブロックにダイシ
ングソウ等によってスリットを形成して櫛歯状にする工
程及び電極形成のための絶縁切りの工程を省くことがで
き、加工工数が著しく短縮され、コストの改善を図るこ
とができる。2) Actions corresponding to claim 2 As shown in FIG. 2, the piezoelectric element substrate 80 and the insulating plate 23 are alternately laminated to form a comb-like shape, whereby the thickness of the piezoelectric element 8 and Since the intervals can be formed uniformly, it is possible to eliminate the variation in electrostriction of the piezoelectric element 8, and the ink 1
The flying characteristics of No. 8 can be improved to improve the printing quality, and a step of forming slits in a block of a piezoelectric element by a dicing saw or the like to form a comb tooth shape and an insulating cutting step for forming electrodes in the conventional method. Can be omitted, the processing man-hours can be remarkably shortened, and the cost can be improved.
【００４６】以下、請求項３〜請求項９に対応する作用
を説明する。請求項３では、交互に積層した圧電素子８
或いは圧電素子基板80と絶縁板23を固定し、長さが異な
る方向に対して直角方向に少なくとも１列のノズル９に
対応する幅に切り出すことにより、容易に所定数毎の圧
電素子８を得ることができる。The operation corresponding to claims 3 to 9 will be described below. In claim 3, the piezoelectric elements 8 alternately stacked.
Alternatively, the piezoelectric element substrate 80 and the insulating plate 23 are fixed, and cut into a width corresponding to at least one row of the nozzles 9 at right angles to the directions having different lengths, so that a predetermined number of piezoelectric elements 8 are easily obtained. be able to.
【００４７】請求項４では、各絶縁板23の積層面上に形
成した導電パターンを圧電素子８と長さが異なる方向に
対して反対側の側面部まで連続して形成したことによ
り、電極17からの引き出しをリード線等によって容易に
行うことができる。According to a fourth aspect of the present invention, the conductive pattern formed on the laminated surface of each insulating plate 23 is continuously formed up to the side surface portion on the opposite side to the direction different in length from the piezoelectric element 8. The lead wire can be easily pulled out by a lead wire or the like.
【００４８】請求項５では、絶縁板23の圧電素子８と長
さが異なる方向に対して反対側の側面部まで形成した導
電パターンから電極17を引き出すことにより、引き出し
を容易に行うことができる。In the fifth aspect, the electrode 17 can be easily pulled out by pulling out the electrode 17 from the conductive pattern formed up to the side surface portion of the insulating plate 23 on the side opposite to the direction different in length from the piezoelectric element 8. .
【００４９】請求項６では、絶縁板23を形成する材料の
ヤング率が圧電素子８のヤング率以下とすることによ
り、圧電素子８の電歪による伸縮に対して絶縁板23が追
従することができ、安定した電歪を得ることができる。In the sixth aspect, by setting the Young's modulus of the material forming the insulating plate 23 to be less than the Young's modulus of the piezoelectric element 8, the insulating plate 23 can follow expansion and contraction of the piezoelectric element 8 due to electrostriction. It is possible to obtain stable electrostriction.
【００５０】請求項７では、圧電素子８或いは圧電素子
80と絶縁板23を接着剤で接合することにより、容易に形
成することができて、加工工数が省けて、コストの改善
を図ることができる。In claim 7, the piezoelectric element 8 or the piezoelectric element
By bonding 80 and the insulating plate 23 with an adhesive, they can be easily formed, the number of processing steps can be saved, and the cost can be improved.
【００５１】請求項８では、圧電素子８及び絶縁板23を
導電性接着剤で接合したことにより、圧電素子８を１列
づつ切り出す場合に、圧電素子８の電極17と導電パター
ンの導通が確実になる。According to the eighth aspect, the piezoelectric element 8 and the insulating plate 23 are joined by a conductive adhesive, so that the electrodes 17 of the piezoelectric element 8 and the conductive pattern are electrically connected when the piezoelectric elements 8 are cut out one by one. become.
【００５２】請求項９では、接着剤の硬化後のヤング率
を圧電素子８のヤング率以下とすることにより、圧電素
子８の電歪による伸縮に対して硬化した接着剤が追従す
ることができ、安定した電歪を得ることができる。In the ninth aspect, by setting the Young's modulus after curing of the adhesive to be less than the Young's modulus of the piezoelectric element 8, the cured adhesive can follow the expansion and contraction of the piezoelectric element 8 due to electrostriction. Therefore, stable electrostriction can be obtained.
【００５３】３）請求項１０に対応する作用 図２に示すように、保持部材19に圧電素子８を保持させ
た時に、第１の導通パターン30は第２の電極31が対応位
置にあるので、これを接触或いは接続させることによっ
て、容易に第１の電極170 、第１の導通パターン30及び
第２の電極31の導通が得られ、この間のリード線等によ
る接続のためのはんだ付けを必要とせず、作業時間が短
縮され、コストの改善を図ることができる。3) Operation corresponding to claim 10 As shown in FIG. 2, when the holding member 19 holds the piezoelectric element 8, the first conductive pattern 30 has the second electrode 31 at the corresponding position. , The first electrode 170, the first conductive pattern 30 and the second electrode 31 can be easily connected by contacting or connecting them, and soldering for connection by a lead wire or the like between them is required. Therefore, the working time can be shortened and the cost can be improved.
【００５４】以下、請求項１１〜請求項１４に対応する
作用を説明する。請求項１１では、第２の電極31が圧電
素子８の第１の電極170 に電圧を印加する駆動回路に接
続しているので、圧電素子８を駆動させることができ、
請求項１１の効果を得ることができる。The operation corresponding to claims 11 to 14 will be described below. In the eleventh aspect, since the second electrode 31 is connected to the drive circuit that applies the voltage to the first electrode 170 of the piezoelectric element 8, the piezoelectric element 8 can be driven,
The effect of claim 11 can be obtained.
【００５５】請求項１２では、基板の孔を保持部材19に
保持された圧電素子８の後部に嵌入すると、第１の導通
パターン30と第２の電極31が対応位置にあるので、これ
を接触或いは接続させると、第１の電極17が第１の導通
パターン30、第２の電極31及び第２の導通パターンを介
して駆動回路に接続されるので、はんだ付けが減少し、
請求項１０の効果を高めることができる。According to the twelfth aspect, when the hole of the substrate is fitted in the rear portion of the piezoelectric element 8 held by the holding member 19, the first conductive pattern 30 and the second electrode 31 are in corresponding positions, so that they are brought into contact with each other. Alternatively, when connected, the first electrode 17 is connected to the drive circuit via the first conductive pattern 30, the second electrode 31, and the second conductive pattern, so that soldering is reduced,
The effect of claim 10 can be enhanced.
【００５６】請求項１３では、圧電素子８を保持部材19
が保持した時、或いは基板の孔を圧電素子８の後部に嵌
入した時に、第２の電極31に第１の導通パターン30が接
触するので、第１の電極170 から第２の電極31への導通
接続を容易に行うことができ、請求項１０の効果を一層
高めることができる。In the thirteenth aspect, the piezoelectric element 8 is attached to the holding member 19
The first conductive pattern 30 comes into contact with the second electrode 31 when it is held or when the hole of the substrate is fitted into the rear portion of the piezoelectric element 8, so that the first electrode 170 to the second electrode 31 Conductive connection can be made easily, and the effect of claim 10 can be further enhanced.
【００５７】請求項１４では、圧電素子８を、単層圧電
素子或いは積層圧電素子とすることにより、圧電素子８
の異なる方向（ｄ31方向及びｄ33方向) の変位を利用す
ることができる。In the fourteenth aspect, the piezoelectric element 8 is a single-layer piezoelectric element or a laminated piezoelectric element.
Displacements in different directions (d31 direction and d33 direction) can be used.
【００５８】[0058]
【実施例】以下、図４〜図１２により本発明の実施例１
〜実施例４を説明する。全図を通じて同一符号は同一対
象物を示す。Embodiment 1 Hereinafter, Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS.
-Example 4 is demonstrated. The same reference numerals indicate the same objects throughout the drawings.
【００５９】１）実施例１ 図４〜図７により実施例１（請求項１〜請求項３、請求
項６、請求項７及び請求項９に対応している）を説明す
る。図４は本発明の実施例１を示す斜視図、図５は実施
例１の説明図、図６は実施例１の形成方法の説明図であ
る。1) Example 1 Example 1 (corresponding to claims 1 to 3, claim 6, claim 7 and claim 9) will be described with reference to FIGS. 4 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 5 is an explanatory view of the first embodiment, and FIG. 6 is an explanatory view of a forming method of the first embodiment.
【００６０】図４は、従来例で説明した複数の圧電素子
81,82,…を本発明による方法で形成した圧電素子8a1,8a
2,…を示す。図に示すように、圧電素子部Bbは、両面に
電極17a1,17a2,…が形成された圧電素子8a1,8a2,…の間
に、圧電素子8a1,8a2,…と幅が等しく、長さが櫛歯の長
さ分だけ短い絶縁板231,232,…を交互に挿入して後端部
を揃えて、櫛歯状に形成されている。FIG. 4 shows a plurality of piezoelectric elements described in the conventional example.
Piezoelectric elements 8a 1, 8a in which 8 1 , 8 2 , ... Are formed by the method according to the present invention
Indicates 2 , ... As shown, the piezoelectric element unit Bb, the electrodes 17a 1 on both sides, 17a 2, ... piezoelectric elements 8a 1 which is formed, 8a 2, ... between the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2, ... and the width Are equal to each other and the lengths thereof are shorter by the length of the comb teeth, and the insulating plates 23 1 , 23 2 , ... Are alternately inserted and the rear ends thereof are aligned to form a comb tooth shape.
【００６１】絶縁板231,232,…は、従来例で説明したノ
ズル孔91,92,…の間隔以下の厚さで、圧電素子8a1,8a2,
…は、従来例で説明した圧力室131,132,…に対応するよ
うに寸法及び位置が設定されている。The insulating plates 23 1 , 23 2 , ... Have a thickness equal to or less than the distance between the nozzle holes 9 1 , 9 2, ... Described in the conventional example, and the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 ,.
... is conventional pressure described in chamber 13 1, 13 2, size and location to accommodate ... is set.
【００６２】また、絶縁板231,232,…のヤング率は、圧
電素子8a1,8a2,…のヤング率以下の材料が使用される
が、ここでは、圧電素子8a1,8a2,…と同材料のセラミッ
クス（従って、ヤング率が等しい）の焼結体（未分極、
脱分極状態）を使用している。Further, a material whose Young's modulus of the insulating plates 23 1 , 23 2 , ... Is less than the Young's modulus of the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ... Is used, but here, the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 are used. ,… Ceramics of the same material (hence, Young's modulus is the same) sintered body (unpolarized,
Depolarized state) is used.
【００６３】これは、圧電素子8a1,8a2,…の活性長は電
極17a1,17a2,…が形成された長さによって決まるので、
両面の全面に電極17a1,17a2,…を形成した場合には、絶
縁板231,232,…により固定された部分の圧電素子8a1,8a
2,…は、絶縁板231,232,…のヤング率が圧電素子8a1,8a
2,…のヤング率より大きいと、絶縁板231,232,…によっ
て拘束されて歪みを生じるので、これを防ぐためであ
る。This is because the active length of the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ... Is determined by the length of the electrodes 17a 1 , 17a 2 ,.
When the electrodes 17a 1 , 17a 2 , ... Are formed on the entire surfaces of both surfaces, the piezoelectric elements 8a 1, 8a of the portions fixed by the insulating plates 23 1 , 23 2 ,.
2 , the insulating plates 23 1 , 23 2 , ... have Young's moduli of piezoelectric elements 8a 1, 8a
2, larger than ... Young's modulus of the insulating plate 23 1, 23 2, ... so distorted is constrained by, in order to prevent this.
【００６４】積層された圧電素子8a1,8a2,…及び絶縁板
231,232,…は、接着剤24で接着されている。両側面は側
板25a,25b の接着で押さえられている。接着剤24は、硬
化した後のヤング率が圧電素子8a1,8a2,…のヤング率以
下のものが使用される。理由は絶縁板231,232,…の場合
と同様である。Laminated piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ... And insulating plate
23 1 , 23 2 , ... Are bonded by an adhesive 24. Both side surfaces are pressed down by bonding the side plates 25a and 25b. As the adhesive 24, Young's modulus after being hardened is less than that of the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 ,. The reason is the same as in the case of the insulating plates 23 1 , 23 2 , ....
【００６５】更に、図５に示すように、圧電素子8a1,8a
2,…の電極17a1,17a2,…、17b1,17b 2,…にリードフレー
ム26の各リード端子が櫛歯の根元で接続されている。リ
ードフレーム26の両端の接続部は共通電極用である。
（特開平７−６８４５号公報）リードフレーム26は図示
していない駆動回路に接続されている。Further, as shown in FIG. 5, the piezoelectric element 8a1,8a
Two, Electrode 17a1, 17aTwo, ..., 17b1, 17b Two, ... lead frame
The lead terminals of the hum 26 are connected at the roots of the comb teeth. Re
The connecting portions at both ends of the lead frame 26 are for common electrodes.
(JP-A-7-6845) Lead frame 26 is shown
Not connected to the drive circuit.
【００６６】次に圧電素子部Bbの形成方法を図６により
説明する。 まず、図６(a) に示すように、圧電素子8a1,8a2,…の
基板（ＰＮＮ系圧電素子：例えば、 8×50×0.1 ｍｍ）
801,802,…に、無電解メッキによってＮｉ（Ｐ)(例え
ば、1.5 μｍ) 、Ａｕ (例えば、0.5 μｍ) の電極17
a1,17a2,…を形成して、圧電素子8a1,8a2,…とする。Next, a method of forming the piezoelectric element portion Bb will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 6 (a), the substrate of the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ... (PNN-based piezoelectric element: eg, 8 × 50 × 0.1 mm)
Electrodes 17 made of Ni (P) (for example, 1.5 μm) and Au (for example, 0.5 μm) 17 on 80 1 , 80 2 , ...
The piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ... Are formed by forming a 1 , 17a 2 ,.
【００６７】次に、圧電素子8a1,8a2,…と幅が等し
く、長さが圧電素子8a1,8a2,…より活性長だけ短く形成
した絶縁板231,232,…を、両面に接着剤24を塗布して、
圧電素子8a1,8a2,…の固定部と重なり合うように、長手
方向端面（即ち、後端面）を揃え、且つ圧電素子8a1,8a
2,…の分極方向が同一方向になるように交互に積層し、
図６(b) に示すように、側板25a,25b で押さえて接着す
る。硬化は自然硬化（或いは、圧電素子8a1,8a2,…の圧
電効果を劣化させない 120℃以下の温度で硬化）させ
る。Next, the piezoelectric element 8a 1, 8a 2, ... and width equal, the piezoelectric element 8a length 1, 8a 2, ... insulating plate 23 1 which is formed shorter only active length than, 23 2, ... a, Apply adhesive 24 on both sides,
The longitudinal end faces (that is, rear end faces) are aligned so as to overlap the fixed portions of the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ... And the piezoelectric elements 8a 1, 8a
2 , etc. are laminated alternately so that the polarization directions are the same,
As shown in FIG. 6 (b), the side plates 25a and 25b are pressed and bonded. The hardening is carried out by natural hardening (or hardening at a temperature of 120 ° C. or lower which does not deteriorate the piezoelectric effect of the piezoelectric elements 8a 1, 8a 2 , ...).
【００６８】接着剤24が完全に硬化するまで圧電素子
積層体80Ａを固定し、硬化後に、図４図に示したよう
に、圧電素子積層体80Ａを所定の幅（ここでは複数の圧
電素子8a1,8a2,…の１列の幅）に切り出し、１個のヘッ
ド部10ａに使用される圧電素子8a1,8a2,…とする。The piezoelectric element laminated body 80A is fixed until the adhesive 24 is completely cured, and after curing, the piezoelectric element laminated body 80A has a predetermined width (here, a plurality of piezoelectric elements 8a) as shown in FIG. 1, 8a 2, ... cut to width) of one row of the piezoelectric elements 8a 1 for use in one head portion 10a, 8a 2, ... to.
【００６９】このような構成を有するので、圧電素子8a
1,8a2,…の厚さ及び間隔を均一に形成することができ
る。なお、接着剤24として導電性接着剤を使用すること
により、導通を一層良好にすることができる。With this structure, the piezoelectric element 8a
The thicknesses and intervals of 1, 8a 2 , ... Can be formed uniformly. By using a conductive adhesive as the adhesive 24, conduction can be further improved.
【００７０】また、ここで、圧電素子は単層圧電素子或
いは積層圧電素子の何れでも良く、圧電素子８の異なる
方向、即ち、ｄ31方向（電界と同じ方向の伸縮効果）及
びｄ33方向（電界に対して直角方向の伸縮効果）の変位
を利用することができる。以下の実施例２〜実施例４で
も同様である。The piezoelectric element may be a single-layer piezoelectric element or a laminated piezoelectric element, and the piezoelectric element 8 has different directions, that is, d31 direction (expansion and contraction effect in the same direction as the electric field) and d33 direction (electric field is changed). On the other hand, it is possible to utilize the displacement of the expansion / contraction effect in the right angle direction. The same applies to the following Examples 2 to 4.
【００７１】２）実施例２ 図７〜図９により実施例２（請求項１〜請求項７及び請
求項９に対応する）を説明する。図７は本発明の実施例
２を示す斜視図、図８は実施例２の説明図、図９は実施
例２の形成方法の説明図である。2) Embodiment 2 Embodiment 2 (corresponding to claims 1 to 7 and claim 9) will be described with reference to FIGS. 7 to 9. 7 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention, FIG. 8 is an explanatory view of the second embodiment, and FIG. 9 is an explanatory view of a forming method of the second embodiment.
【００７２】図４〜図６で説明した実施例１と図７〜図
９の実施例２が異なるのは、基板80に電極を形成しない
部分を設け、絶縁板231,232,…の両面に導通パターンを
形成して絶縁板23a1,23a2,…としたことである。The difference between the first embodiment described with reference to FIGS. 4 to 6 and the second embodiment shown in FIGS. 7 to 9 is that the substrate 80 is provided with a portion where no electrode is formed and the insulating plates 23 1 , 23 2 ,. That is, conductive patterns are formed on both surfaces to form insulating plates 23a 1 , 23a 2 , ....
【００７３】図７は、圧電素子8b1,8b2,…を複数づつ２
列とした圧電素子部Bcを１つのヘッド部に使用する場合
を示しており、圧電素子8b1,8b2,…の先端から絶縁板23
a1,23a2,…に僅か重なる位置まで、電極17A1,17A2,…、
17B1,17B2,…が形成されて、圧電素子8b1,8b2,…と絶縁
板23a1,23a2,…が交互に積層して接着剤24で接着されて
いる。FIG. 7 shows a plurality of piezoelectric elements 8b 1, 8b 2 ,.
The case where the piezoelectric elements Bc arranged in rows are used for one head is shown, and the insulating plate 23 is inserted from the tips of the piezoelectric elements 8b 1, 8b 2 ,.
a 1, 23a 2, until just overlap position ..., the electrodes 17A 1, 17A 2, ...,
17B 1 , 17B 2 , ... Are formed, and piezoelectric elements 8b 1, 8b 2 , ... And insulating plates 23a 1 , 23a 2 ,.
【００７４】絶縁板23a1,23a2,…には、圧力室131,132,
…に対応する両面の位置に導電パターン27a1,27a2,…、
27b1,27b2,…が櫛歯の根元から背部方向に設けられ、導
電パターン27a1,27a2,…、27b1,27b2,…の後端部は背部
の端面部まで形成されている。[0074] insulating plate 23a 1, 23a 2, ..., the pressure chambers 13 1, 13 2,
Conductive patterns 27a 1 , 27a 2 , ...
27b 1 , 27b 2 , ... Are provided in the direction of the back from the root of the comb teeth, and the rear end of the conductive patterns 27a 1 , 27a 2 , ..., 27b 1 , 27b 2 , ... Is formed up to the end face of the back. .
【００７５】図８(a) 及び(b) に示すように、２列の圧
電素子8b1,8b2,…が嵌入される角孔280 を有する基板28
に配線パターン291,292,…及び角孔280 の中央上方に亙
って配置された共通電極パターン29ａが形成され、導電
パターン27a1,27a2,…、27b1,27b2,…の後端部が配線パ
ターン291,292,…及び共通電極パターン29ａにワイヤー
ボンディングされている。配線パターン291,292,…及び
共通電極パターン29ａは図示省略した駆動回路に夫々接
続されている。As shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b), a substrate 28 having a square hole 280 into which two rows of piezoelectric elements 8b 1, 8b 2 , ... Are fitted.
, And a common electrode pattern 29a arranged over the center of the square hole 280 are formed in the wiring pattern 29 1 , 29 2 , .., and the conductive patterns 27a 1 , 27a 2 , ..., 27b 1 , 27b 2 ,. The rear end portion is wire-bonded to the wiring patterns 29 1 , 29 2 , ... And the common electrode pattern 29 a. The wiring patterns 29 1 , 29 2 , ... And the common electrode pattern 29 a are respectively connected to a drive circuit (not shown).
【００７６】次に、圧電素子部Bcの形成方法を図９によ
り説明する。 まず、圧電素子8b1,8b2,…の基板（ＰＮＮ系圧電素
子：例えば、 8×50×0.1 ｍｍ）801,802,…の電極17
A1,17A2,…、17B1,17B2,…を形成しない部分にレジスト
を塗布（電極17A1,17A2,…、17B1,17B2,…の長さを櫛歯
の長さ、即ち、活性長より大きく、例えば、約100 μｍ
長くする) し、無電解メッキによって電極17A1,17A2,
…、17B1,17B2,…を形成し、その後、アセトンによりレ
ジストを除去する。Next, a method of forming the piezoelectric element portion Bc will be described with reference to FIG. First, the electrodes 17 of the substrates of the piezoelectric elements 8b 1, 8b 2 , ... (PNN-based piezoelectric element: 8 × 50 × 0.1 mm) 80 1 , 80 2 ,.
A 1, 17A 2, ..., 17B 1, 17B 2, a resist coated on the portion not forming a ... (electrodes 17A 1, 17A 2, ..., 17B 1, 17B 2, ... length the length of the comb teeth of That is, larger than the active length, for example, about 100 μm
Electrode 17A 1 , 17A 2 , by electroless plating.
, 17B 1 , 17B 2 , ... Are formed, and then the resist is removed with acetone.
【００７７】絶縁板23a1,23a2,…には、積層面上に電
極17A1,17A2,…、17B1,17B2,…と接触するように、導電
パターン27a1,27a2,…、27b1,27b2,…を形成する。な
お、両面の導電パターン27a1,27a2,…、27b1,27b2,…は
積層後の後端部の端面で接触しないように、横方向にず
らして形成し、また、後端部の端面の一部まで形成され
る。（この場合、１回の処理で導電パターン27a1,27a2,
…、27b1,27b2,…を形成した絶縁板23a1,23a2,…が多量
に得られるように、絶縁板23a1,23a2,…として0.1 ｍ2
の大面積の焼結体（未分極）を使用する。） 導電パターン27a1,27a2,…、27b1,27b2,…の形成は、絶
縁板23a1,23a2,…のメッキをしない部分にレジストを塗
布し、実施例１と同様に無電解メッキによりパターン形
成した後、アセトンでレジストを除去する。[0077] The insulating plate 23a 1, 23a 2, ..., the electrodes 17A 1, 17A 2 on the stacking surface, ..., 17B 1, 17B 2, in contact ... and the conductive patterns 27a 1, 27a 2, ... , 27b 1 , 27b 2 , ... Are formed. Note that the conductive patterns 27a 1 , 27a 2 , ..., 27b 1 , 27b 2 , ... On both sides are formed laterally offset so that they do not come into contact with the end face of the rear end after lamination, and the conductive patterns of the rear end are formed. It is formed up to a part of the end face. (In this case, the conductive patterns 27a 1 , 27a 2 ,
..., 27b 1, 27b 2, ... insulating plate 23a 1 formed with, 23a 2, as ... is a large amount obtained, the insulating plate 23a 1, 23a 2, ... as 0.1 m 2
A large area sintered body (unpolarized) of is used. The conductive patterns 27a 1 , 27a 2 , ..., 27b 1 , 27b 2 , ... Are formed by applying a resist to the non-plated portions of the insulating plates 23a 1 , 23a 2 ,. After patterning by plating, the resist is removed with acetone.
【００７８】次に、絶縁板23a1,23a2,…を実施例１で
説明した絶縁板231,232,…と同様の大きさに形成し、導
電パターン27a1,27a2,…、27b1,27b2,…を避けた部分に
接着剤24を塗布して、基板801,802,…と交互に積層して
実施例１と同様に接着する。Next, the insulating plates 23a 1 , 23a 2 , ... Are formed in the same size as the insulating plates 23 1 , 23 2 , ... Described in the first embodiment, and the conductive patterns 27a 1 , 27a 2 ,. Adhesive 24 is applied to the portions avoiding 27b 1 , 27b 2 , ... And laminated alternately with the substrates 80 1 , 80 2 ,.
【００７９】この場合、硬化後に電極17A1,17A2,…、17
B1,17B2,…と導電27a1,27a2,…、27b1,27b2,…が接触す
るように、接着剤24の塗布量を適量にする。 接着剤24が完全に硬化するまで圧電素子積層体（図示
していない）を固定し、硬化後に、図７で示したよう
に、圧電素子積層体を所定の幅（ここでは複数の圧電素
子8b1,8b2,…の２列の幅）に切り出し、１個の印字ヘッ
ド１に使用される圧電素子部Bcとする。In this case, after curing, the electrodes 17A 1 , 17A 2 ,.
The adhesive 24 is applied in an appropriate amount so that the B 1 , 17B 2 , ... and the conductors 27a 1 , 27a 2 , ..., 27b 1 , 27b 2 ,. The piezoelectric element stack (not shown) is fixed until the adhesive 24 is completely cured, and after curing, the piezoelectric element stack is set to a predetermined width (here, the plurality of piezoelectric elements 8b is used as shown in FIG. 7). (Width of two rows of 1, 8b 2 , ...) And the piezoelectric element portion Bc used for one print head 1.
【００８０】このような構成を有するので、圧電素子8b
1,8b2,…の厚さ及び間隔を均一に形成することができる
と共に、後端部の端面の一部まで形成した導電パターン
27a1,27a2,…、27b1,27b2,…から電極17A1,17A2,…、17
B1,17B2,…を容易に引き出すことができる。With this structure, the piezoelectric element 8b
A conductive pattern in which the thicknesses and intervals of 1, 8b 2 , ... Can be formed uniformly and a part of the end face of the rear end portion is formed.
27a 1 , 27a 2 , ..., 27b 1 , 27b 2 , ... to electrodes 17A 1 , 17A 2 ,,, 17
B 1 , 17B 2 , ... can be easily pulled out.
【００８１】このようにして、実施例１及び実施例２で
は、従来方法のように、圧電素子のブロックを櫛歯状に
形成するために、ダイシングソウでスリットを切り出す
ことなく、圧電素子8a1,8a2,…、8b1,8b2,…と絶縁板23
1,232,…、23a1,23a2,…を交互に積層して接着すること
によって、加工工程及び加工時間が短縮される上、歩留
りも向上してコストの改善を図ることができる。As described above, in the first and second embodiments, the piezoelectric element block 8a 1 is formed without cutting the slit with the dicing saw in order to form the piezoelectric element block in the comb-teeth shape as in the conventional method. , 8a 2 , ..., 8b 1, 8b 2 , ... and insulating plate 23
By alternately laminating 1 and 23 2 , ..., 23a 1 , 23a 2 , ... And adhering, the processing step and processing time can be shortened, and the yield can be improved to improve the cost.
【００８２】また、圧電素子8a1,8a2,…、8b1,8b2,…の
厚さ及び間隔を均一に形成することができるので、圧電
効果が均一に得られてインク18ａの飛翔特性が改善され
て印字品質を高めることができる。[0082] The piezoelectric element 8a 1, 8a 2, ..., 8b 1, 8b 2, it is possible to form a uniform ... thickness and spacing of the flying characteristic of the ink 18a to the piezoelectric effect is uniformly obtained Can be improved and the printing quality can be improved.
【００８３】また、圧電素子積層体から複数の圧電素子
8a1,8a2 …、8b1,8b2,…の１列を切り出して圧電素子部
Bb,Bc とする場合には、接着剤24として導電性接着剤を
使用することにより、導通を一層良好にすることができ
る。In addition, a plurality of piezoelectric elements can be formed from the piezoelectric element laminated body.
Piezoelectric element part by cutting out one row of 8a 1 , 8a 2 ..., 8b 1, 8b 2 ,.
When Bb and Bc are used, by using a conductive adhesive as the adhesive 24, it is possible to further improve conduction.
【００８４】３）実施例３ 図１０に実施例３（請求項１０、請求項１１、請求項１
３及び請求項１４に対応している）を説明する。3) Example 3 FIG. 10 shows Example 3 (claims 10, 11, and 1).
3 (corresponding to claim 14).
【００８５】図１０の電極17a1,17a2,…,17b1,17b2,
…、電極パターン301,302,…、30A1〜30A4及び電極311,
312,…、31A1〜31A4は、図３の第１の電極170 、第１の
導通パーン30及び第２の電極31に夫々対応している。The electrodes 17a 1 , 17a 2 , ..., 17b 1 , 17b 2 , of FIG.
..., electrode patterns 30 1 , 30 2 , ..., 30A 1 to 30A 4 and electrodes 31 1 ,
31 2, ..., 31A 1 ~31A 4 is in each corresponding to the first electrode 170, a first conductive pirn 30 and second electrode 31 of FIG.
【００８６】図１０(a) 及び(b) に示すように、圧電素
子部Bdは、ＰＭＮ（ＰＭＮ−ＰＴ−ＰＺ）系の単層圧電
体を使用し、ノズル91,92,…の位置に対応する圧電素子
81,8 2,…を櫛歯形（例えば、ピッチ282 μｍ) に形成
し、複数の圧電素子81,82,…を２列に纏めてヘッド部と
したものである。As shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), the piezoelectric element
The child part Bd is a single layer piezoelectric of PMN (PMN-PT-PZ) system.
Use body, nozzle 91, 9TwoPiezoelectric element corresponding to the position of
81, 8 Two, ... are formed in a comb shape (for example, pitch 282 μm)
And multiple piezoelectric elements 81, 8Two, ... are grouped in two rows and head
It was done.
【００８７】圧電素子81,82,…の各側面 (圧電素子部Bb
の外側と内側) に電極17a1,17a2,…（個別電極）及び電
極17b1,17b2,… (共通電極) に夫々接続する電極パター
ン30a1,30a2,…及び電極パターン30A1〜30A4が無電解メ
ッキ（Ｎｉ／Ａｕ）で形成されている。Each side surface of the piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ... (Piezoelectric element portion Bb
Outside (inside and inside) of the electrodes 17a 1 , 17a 2 , ... (individual electrodes) and electrodes 17b 1 , 17b 2 , ... (common electrode) respectively connected to electrode patterns 30a 1 , 30a 2 , ... and electrode patterns 30A 1 ~ 30A 4 is formed by electroless plating (Ni / Au).
【００８８】一方、図１０(c) に示すように、保持部材
19ｂの角孔190aの内面には、圧電素子81,82,…の電極パ
ターン30a1,30a2,…、30A1〜30A4に対応する位置に、夫
々電極311,312,…、31A1〜31A4がアルミニウム（Ａｌ）
蒸着によって形成されている。On the other hand, as shown in FIG. 10 (c), the holding member
The inner surface of 19b of the square hole 190a, the piezoelectric elements 81, 82, the electrode patterns 30a 1 of ..., 30a 2, ..., 30A 1 ~30A positions corresponding to the 4, respectively electrodes 31 1, 31 2, ... , 31A 1 to 31A 4 are aluminum (Al)
It is formed by vapor deposition.
【００８９】電極31a1,31a2,…、31A1〜31A4は角孔190a
の内面から保持部材19ｂの背面の一部にまで連続して形
成され、図示していないが、基板に搭載された駆動回路
に接続されている。The electrodes 31a 1 , 31a 2 , ..., 31A 1 to 31A 4 are square holes 190a.
Is continuously formed from the inner surface to a part of the back surface of the holding member 19b, and is connected to a drive circuit mounted on the substrate (not shown).
【００９０】このような構成を有するので、圧電素子部
Bdを保持部材19ｂの角孔190aに挿入して保持させると、
角孔190aの内面の電極31a1,31a2,…、31A1〜31A4は圧電
素子部Bdの電極パターン301,312,…、30A1〜30A4に接触
して電気的に導通する。With this structure, the piezoelectric element portion
When Bd is inserted and held in the square hole 190a of the holding member 19b,
Square hole electrodes 31a 1 of the inner surface of 190a, 31a 2, ..., 31A 1 ~31A 4 electrode patterns 30 1 of the piezoelectric element unit Bd, 31 2, ..., in contact with 30A 1 ~30A 4 electrically conductive .
【００９１】従って、駆動回路からの駆動電流は、保持
部材19ｂ内の電極311,312,…、31A1〜31A4及び電極パタ
ーン30a1,30a2,…、30A1〜30A4によって、電極17a1,17a
2,…と電極17b1,17b2,…に印加されて、各圧電素子81,8
2,…を駆動させることができる。Therefore, the drive current from the drive circuit is generated by the electrodes 31 1 , 31 2 , ..., 31A 1 to 31A 4 and the electrode patterns 30a 1 , 30a 2 , ..., 30A 1 to 30A 4 in the holding member 19b. Electrodes 17a 1 , 17a
2, ... and the electrode 17b 1, 17b 2, are applied to ..., the piezoelectric elements 81, 82
2 , ... Can be driven.
【００９２】このようにして、従来方法にように、電極
17a1,17a2,…、17b1,17b2,…とリード線やリードフレー
ムのはんだ付けが著しく減少し、製作時間の短縮及び歩
留りの向上が可能となり、コストの改善を図ることがで
きる。In this way, the electrodes are
17a 1, 17a 2, ..., 17b 1, 17b 2, decreases ... and the lead wires and soldering of the lead frame is remarkably, it is possible to shorten and improve the yield of production time, it is possible to improve the cost.
【００９３】４）実施例４ 図１１により本発明の実施例４（請求項１０〜請求項１
４に対応している）を説明する。実施例４が実施例３と
異なるのは、実施例３の保持部材19ｂに電極31 1,312,
…、31A1〜31A4を形成する方法に代えて、駆動回路が搭
載された基板に電極を設けて、電極パターン31a1,31a2,
…、31B1〜31B4から直接導通をとるようにしたことであ
る。4) Fourth Embodiment A fourth embodiment of the present invention (claims 10 to 1) will be described with reference to FIG.
4)). Example 4 and Example 3
The difference is that the holding member 19b of the third embodiment has an electrode 31 1, 31Two,
…, 31A1~ 31AFourInstead of the method of forming
An electrode is provided on the substrate on which the electrode pattern 31a is formed.1, 31aTwo,
…, 31B1~ 31BFourBy making it possible to conduct directly from
You.
【００９４】図１１の導通パターン31a1,31a2,…、31B1
〜31B4は、図３の第２の電極31及び請求項１２の第２の
導通パターンに対応している。図１１の斜視図に示すよ
うに、駆動回路32が搭載された基板21ａに、圧電素子部
Bdの後端部が嵌入できる角孔210 が設けられている。電
極パターン301,302,…、30A1〜30A4に対応する角孔210
の内面に、例えば、282 μｍピッチで導通パターン31
a1,31a2,…、31B1〜31B4が (例えば、アルミニウム蒸
着) 設けられ、駆動回路32の入力パターン33と共に形成
されている。Conductive patterns 31a 1 , 31a 2 , ..., 31B 1 shown in FIG.
31B 4 correspond to the second electrode 31 of FIG. 3 and the second conduction pattern of claim 12. As shown in the perspective view of FIG. 11, the piezoelectric element unit is mounted on the substrate 21a on which the drive circuit 32 is mounted.
A square hole 210 into which the rear end of Bd can be fitted is provided. Square holes 210 corresponding to the electrode patterns 30 1 , 30 2 , ..., 30A 1 to 30A 4
On the inner surface of the conductive pattern 31 with a pitch of 282 μm, for example.
a 1, 31a 2, ..., 31B 1 ~31B 4 (e.g., aluminized) provided and is formed with an input pattern 33 of the driving circuit 32.
【００９５】駆動回路32の入力パターン33は、図示省略
したフレキシブルケーブルに接続されて駆動用電源に連
結されている。このような構成を有するので、保持部材
19ａに圧電素子部Bdを挿入し、圧電素子部Bdの後端部に
基板21ａの角孔210 を嵌入すると、電極パターン301,30
2,…、30A1〜31A4に基板21ａの導通パターン31a1,31a2,
…、31B1〜31B4が接触して電気的に導通する。The input pattern 33 of the drive circuit 32 is connected to a flexible cable (not shown) and connected to a drive power source. Since it has such a configuration, the holding member
When the piezoelectric element portion Bd is inserted into 19a and the square hole 210 of the substrate 21a is fitted into the rear end portion of the piezoelectric element portion Bd, the electrode patterns 30 1 and 30
2, ..., 30A 1 ~31A 4 in the conductive substrate 21a patterns 31a 1, 31a 2,
…, 31B 1 to 31B 4 come into contact and become electrically conductive.
【００９６】従って、駆動回路32からの駆動電流は、基
板21ａの角孔210 の導通パターン31a1,31a2,…、31B1〜
31B4及び電極パターン301,302,…、30A1〜30A4を通じて
電極17a1,17a2,…、17b1,17b2,…に印加されて、各圧電
素子81,82,…を駆動させることができる。Therefore, the driving current from the driving circuit 32 is applied to the conductive patterns 31a 1 , 31a 2 , ..., 31B 1 of the square holes 210 of the substrate 21a.
31B 4 and electrode patterns 30 1 , 30 2 , ..., 30A 1 to 30A 4 are applied to the electrodes 17a 1 , 17a 2 , ..., 17b 1 , 17b 2, ..., and the piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ... Can be driven.
【００９７】このようにして、実施例３におけるよう
な、保持部材19ａの電極301,302,…、30A1〜30A4を駆動
回路にはんだ付け等で接続する必要がなくなり、一層、
製作時間の短縮及び歩留りの向上が可能となり、コスト
の改善を図ることができる。In this way, it becomes unnecessary to connect the electrodes 30 1 , 30 2 , ..., 30A 1 to 30A 4 of the holding member 19a to the drive circuit by soldering or the like as in the third embodiment.
The manufacturing time can be shortened and the yield can be improved, and the cost can be improved.
【００９８】上記実施例１及び実施例２では、圧電素子
81,82,…と絶縁板231,232,…、圧電素子8a1,8a2,…と絶
縁板23a1,23a2,…の接合に接着剤を使用した場合を説明
したが、他の方法でも良く、例えば、積層後に挟持部材
でクランプする方法としても良い。In Examples 1 and 2 above, the piezoelectric element
The case where an adhesive is used to join the 8 1 , 8 2 , ... and the insulating plates 23 1 , 23 2 , ... and the piezoelectric elements 8a 1 , 8a 2 , ... and the insulating plates 23a 1 , 23a 2 ,. Other methods may be used, for example, a method of clamping with a sandwiching member after stacking may be used.
【００９９】また、上記実施例では、圧電素子81,82,…
の両面に形成される電極17a1,17a2,…,17b1,17b2, …に
通じる電極パターン301,302,…、30A1〜30A4の材料をＮ
ｉ−Ａｕの場合を説明したが、導電性であれば他の材料
でも良く、例えば、Ａｇ、Ｐｔ等でも良い。In the above embodiment, the piezoelectric elements 8 1 , 8 2 , ...
Electrodes 17a 1 which is formed on both sides of, 17a 2, ..., 17b 1, 17b 2, the electrode patterns 30 1 leading to ..., 30 2, ..., a material 30A 1 ~30A 4 N
Although the case of i-Au has been described, other materials may be used as long as they are electrically conductive, such as Ag and Pt.
【０１００】更に、電極17a1,17a2,…、17b1,17b2,…、
電極パターン301,302,…、30A1〜30A4を形成する方法と
して無電解メッキによる場合を説明したが、他の方法で
も良く、例えば、蒸着やスパッタ（何れもＡｌ、Ｎｉ、
Ｃｕ、Ａｕ他）、フォトリソグラフ等の方法、或いは導
電性樹脂を用いても良い。また、保持部材19ｂの角孔19
0 に形成される電極が311,312,…、31A1〜31A4及び基板
21ａの角孔210 に形成される導通パターン31a1,31a2,
…、31B1〜31B4等をＡｌ蒸着する場合を説明したが、他
の材料、例えば、Ａｕ、Ｎｉの蒸着でも良く、また、形
成方法として、他の方法、例えば、メッキ（Ｎｉ
（Ｐ）、Ｎｉ（Ｂ）、Ａｕ、Ｐｄ等）、スパッタ（Ａ
ｕ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｕ等）の方法、或いは導電性樹脂を
用いても良い。Further, the electrodes 17a 1 , 17a 2 , ..., 17b 1 , 17b 2 ,.
Although the case of electroless plating has been described as a method of forming the electrode patterns 30 1 , 30 2 , ..., 30A 1 to 30A 4 , other methods may be used, for example, vapor deposition or sputtering (all of Al, Ni,
Cu, Au, etc.), a method such as photolithography, or a conductive resin may be used. In addition, the square hole 19 of the holding member 19b.
The electrodes formed at 0 are 31 1 , 31 2 , ..., 31A 1 to 31A 4 and the substrate
Conduction patterns 31a 1 , 31a 2 , formed in the square holes 210 of 21a
, 31B 1 to 31B 4 and the like are vapor-deposited with Al, but vapor deposition of other materials such as Au and Ni may be used. As a forming method, other methods such as plating (Ni
(P), Ni (B), Au, Pd, etc.), sputter (A
u, Ni, Al, Cu, etc.) or a conductive resin may be used.
【０１０１】[0101]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、請
求項１及び請求項２では、圧電素子の厚さ及び間隔を均
一に形成することができるので、圧電素子の圧電効果の
バラツキを無くすことができて、インクの飛翔特性が向
上し印字品質を高めることができると共に、従来方法に
おけるような、圧電素子のブロックにダイシングソウ等
によってスリットを形成して櫛歯状にする工程、及び電
極形成のための絶縁切りの工程を省くことができ、加工
工数が著しく短縮され、コストの改善を図ることができ
る。As described above, according to the present invention, in the first and second aspects, it is possible to uniformly form the thickness and the interval of the piezoelectric element, so that the variation of the piezoelectric effect of the piezoelectric element is caused. A step of forming a slit by a dicing saw or the like in the block of the piezoelectric element as in the conventional method, which can eliminate the above, improves the ink flying characteristics and enhances the printing quality, and It is possible to omit the insulating cutting step for forming the electrodes, the number of processing steps is significantly reduced, and the cost can be improved.
【０１０２】請求項３では、容易に所定数毎の圧電素子
を得ることができる。請求項４及び請求項５では、電極
からの引き出しをリード線等によって容易に行うことが
できる。According to the third aspect, it is possible to easily obtain a predetermined number of piezoelectric elements. According to the fourth and fifth aspects, extraction from the electrode can be easily performed with a lead wire or the like.
【０１０３】請求項６では、圧電素子の電歪による伸縮
に対して絶縁板が追従することができ、圧電素子の安定
した電歪を得ることができる。請求項７では、接着によ
り容易に形成することができて、加工工数が省けてコス
トの改善を図ることができる。In the sixth aspect, the insulating plate can follow expansion and contraction of the piezoelectric element due to electrostriction, and stable electrostriction of the piezoelectric element can be obtained. According to the seventh aspect, it can be easily formed by adhesion, the number of processing steps can be reduced, and the cost can be improved.
【０１０４】請求項８では、圧電素子を１列づつ切り出
す場合に、圧電素子の電極と導電パターンの導通が確実
になる。請求項９では、圧電素子の電歪による伸縮に対
して硬化した接着剤が追従することができ、圧電素子の
安定した電歪を得ることができる。According to the eighth aspect, when the piezoelectric elements are cut out row by row, the electrical connection between the electrodes of the piezoelectric elements and the conductive pattern is ensured. In the ninth aspect, the cured adhesive can follow expansion and contraction of the piezoelectric element due to electrostriction, and stable electrostriction of the piezoelectric element can be obtained.
【０１０５】請求項１０では、第１の導通パターン及び
第２の電極が対応位置にあるので、これを容易に導通さ
せることができ、この間のリード線等による接続のため
のはんだ付けを必要とせず、作業時間が短縮され、コス
トの改善を図ることができる。In the tenth aspect, since the first conductive pattern and the second electrode are at corresponding positions, they can be easily conducted, and soldering for connection by a lead wire or the like between them is required. Therefore, the working time can be shortened and the cost can be improved.
【０１０６】請求項１１では、駆動回路から第２の電極
及び第１の導通パターンを介して第１の電極に導通し、
請求項１０の効果を得ることができる。請求項１２で
は、第１の導通パターンと基板の孔の内面の第２の電極
が対応位置にあるので、これを容易に導通させることが
でき、この間のリード線等による接続のためのはんだ付
けが減少し、請求項１０の効果を高めることができる。In the eleventh aspect, the drive circuit conducts to the first electrode through the second electrode and the first conduction pattern,
The effect of claim 10 can be obtained. In the present invention, since the first conductive pattern and the second electrode on the inner surface of the hole of the substrate are located at corresponding positions, it is possible to easily conduct them, and soldering for connection by a lead wire or the like between them. Can be reduced, and the effect of claim 10 can be enhanced.
【０１０７】請求項１３では、第１の電極から第２の電
極への導通接続を容易に行うことができ、請求項１０の
効果を一層高めることができる。請求項１４では、圧電
素子の異なる方向（ｄ31方向及びｄ33方向) の変位を利
用することができる。という効果がある。In the thirteenth aspect, the conductive connection from the first electrode to the second electrode can be easily performed, and the effect of the tenth aspect can be further enhanced. In the fourteenth aspect, the displacement of the piezoelectric element in different directions (d31 direction and d33 direction) can be used. This has the effect.
【図１】 本発明の請求項１に対応する原理図FIG. 1 is a principle diagram corresponding to claim 1 of the present invention.
【図２】 本発明の請求項２に対応する原理図FIG. 2 is a principle diagram corresponding to claim 2 of the present invention.
【図３】 本発明の請求項１０に対応する原理図FIG. 3 is a principle diagram corresponding to claim 10 of the present invention.
【図４】 本発明の実施例１を示す斜視図FIG. 4 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention.
【図５】 実施例１の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of the first embodiment.
【図６】 実施例１の形成方法を示す説明図FIG. 6 is an explanatory view showing a forming method of Example 1.
【図７】 本発明の実施例２を示す斜視図FIG. 7 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention.
【図８】 実施例２の説明図FIG. 8 is an explanatory view of a second embodiment.
【図９】 実施例２の形成方法を示す説明図FIG. 9 is an explanatory view showing the forming method of the second embodiment.
【図１０】 本発明の実施例３を示す構成図FIG. 10 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.
【図１１】 本発明の実施例４を示す分解斜視図FIG. 11 is an exploded perspective view showing a fourth embodiment of the present invention.
【図１２】 インクジェットプリンタの概要を示す斜視
図FIG. 12 is a perspective view showing an outline of an inkjet printer.
【図１３】 ヘッド部の一部を破断して示す斜視図FIG. 13 is a perspective view showing a part of the head by breaking it off.
【図１４】 ヘッド部を例示する構成図FIG. 14 is a configuration diagram illustrating a head unit.
【図１５】 従来例の櫛歯状圧電素子の形成方法の説明
図FIG. 15 is an explanatory diagram of a method for forming a comb-shaped piezoelectric element of a conventional example.
【図１６】 従来例の圧電素子部の接続方法を示す斜視
図FIG. 16 is a perspective view showing a method of connecting a piezoelectric element portion of a conventional example.
８,81,82,8a1,8a2,8b1,8b2は圧電素子、 ９,91,
92はノズル、12,121,122はノズル板、13,131,132は圧力
室、 16,161,162はインク供給口、17,171,172,17a1,17
a2,17b1,17b2,17A1,17A2,,17B1,17B2,311,312, 31A1 〜
31A4は電極、 18,18aはインク、 1
9,19a,19bは保持部材、23,231,232,23a1,23a2は絶縁
板、 27は第１の導通パターン、27a1,27a
2,27b1,27b2 は導電パターン、 21,21a,28 は基
板、30は第１の導電性パターン、301,302,30A1〜30A4は
電極パターン、 31は第２の電極、80,801,802
は圧電素子基板、 170 は第１の電
極、190,190a,210,280は角孔 8,8 1, 8 2, 8a 1 , 8a 2, 8b 1, 8b 2 is a piezoelectric element, 9,9 1,
9 2 is a nozzle, 12, 12 1 and 12 2 are nozzle plates, 13, 13 1 and 13 2 are pressure chambers, 16, 16 1 and 16 2 are ink supply ports, 17, 17 1 , 17 2 and 17a 1 17
a 2 , 17b 1 , 17b 2 , 17A 1 , 17A 2 ,, 17B 1 , 17B 2 , 31 1 , 31 2, 31A 1 ~
31A 4 is electrode, 18,18a is ink, 1
9, 19a, 19b are holding members, 23, 23 1 , 23 2 , 23a 1 , 23a 2 are insulating plates, 27 is a first conductive pattern, 27a 1 , 27a
2 , 27b 1 and 27b 2 are conductive patterns, 21, 21a and 28 are substrates, 30 is a first conductive pattern, 30 1 , 30 2, 30A 1 to 30A 4 are electrode patterns, 31 is a second electrode, 80,80 1 , 80 2
Is a piezoelectric element substrate, 170 is the first electrode, and 190, 190a, 210, 280 are square holes
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 児玉 淳 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 三田 剛 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 小池 修司 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 谷口 修 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 岩石 晃 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Jun Kodama 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited (72) Inventor Tsuyoshi Mita 1015, Kamedotachu, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited ( 72) Inventor Shuji Koike 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited (72) Inventor Osamu Taniguchi, 1015, Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Fujitsu Limited
Claims (14)
クを噴射するノズルを有する圧力室と、 圧力室に接する圧電素子との複数組から成る少なくとも
１列を備え、 該圧電素子に選択的に電圧を印加して圧電素子の電歪に
よる変位によって圧力室に圧力変化を与えて、圧力室に
供給されたインクをノズルから噴射するインクジェット
ヘッドであって、 前記複数の圧電素子は、 隣接する前記ノズルの間隔より薄い厚さで、一方の長さ
が対応する方向の圧電素子の長さより所定寸法だけ短い
長さの絶縁板と、 両面の所定範囲に電極が形成された板状の圧電素子とか
ら成り、 絶縁板及び圧電素子を交互に積層して櫛歯状に形成され
ることを特徴とするインクジェットヘッド。1. A pressure chamber having an ink supply port for supplying ink and a nozzle for ejecting ink, and at least one row composed of a plurality of sets of piezoelectric elements in contact with the pressure chamber, wherein a voltage is selectively applied to the piezoelectric elements. An inkjet head that applies a pressure to a pressure chamber by a displacement due to electrostriction of a piezoelectric element and ejects ink supplied to the pressure chamber from a nozzle, wherein the plurality of piezoelectric elements are adjacent nozzles. The thickness of the insulating plate is smaller than the distance between the two, and one length is shorter than the length of the piezoelectric element in the corresponding direction by a predetermined dimension, and the plate-shaped piezoelectric element in which electrodes are formed in the predetermined range on both surfaces. And an insulating plate and piezoelectric elements that are alternately laminated to form a comb-like shape.
クを噴射するノズルを有する圧力室と、 圧力室に接する圧電素子との複数組から成る少なくとも
１列を備え、 該圧電素子に選択的に電圧を印加して圧電素子の電歪に
よる変位によっで圧力室に圧力変化を与えて、圧力室に
供給されたインクをノズルから噴射するインクジェット
ヘッドの圧電素子の形成方法であって、 前記複数の圧電素子を、 前記少なくとも１列に対応した大きさの圧電素子基板の
両面の所定範囲に電極を形成し、 該圧電素子基板と、隣接する前記ノズルの間隔より薄い
厚さで、一方の長さが対応する方向の圧電素子基板の長
さより所定寸法だけ短い長さの絶縁板とを複数枚づつ交
互に積層して櫛歯状に形成することを特徴とするインク
ジェットヘッドの圧電素子の形成方法。2. A pressure chamber having an ink supply port for supplying ink and a nozzle for ejecting ink, and at least one row composed of a plurality of sets of piezoelectric elements in contact with the pressure chamber, wherein a voltage is selectively applied to the piezoelectric elements. A method for forming a piezoelectric element of an inkjet head, in which a pressure change is applied to a pressure chamber by an electrostrictive displacement of the piezoelectric element to eject ink supplied to the pressure chamber from a nozzle, Electrodes are formed in a predetermined range on both surfaces of a piezoelectric element substrate having a size corresponding to at least one row, and the piezoelectric element substrate has a thickness smaller than the distance between the adjacent nozzles and one length. The shape of the piezoelectric element of the ink jet head is characterized in that a plurality of insulating plates each having a length shorter than the length of the piezoelectric element substrate in the corresponding direction are alternately laminated to form a comb-tooth shape. Method.
記絶縁板を固定し、長さが異なる方向に対して直角方向
に少なくとも一列の前記ノズルに対応する幅に切り出す
ことを特徴とする請求項２のインクジェットヘッドの圧
電素子の形成方法。3. The piezoelectric element substrates and the insulating plates, which are alternately laminated, are fixed and cut out in a width corresponding to at least one row of the nozzles in a direction perpendicular to a direction having different lengths. 2. A method for forming a piezoelectric element of an inkjet head.
接するように導電パターンを形成し、該導電パターンを
前記圧電素子或いは前記圧電素子基板と長さが異なる方
向に対して反対側の側面部まで連続して形成することを
特徴とする請求項１のインクジェットヘッド或いは請求
項２のインクジェットヘッドの圧電素子の形成方法。4. A conductive pattern is formed on the laminated surface of each of the insulating plates so as to be in contact with the electrode, and the conductive pattern is on the opposite side of the piezoelectric element or the piezoelectric element substrate in a direction different in length. 3. The method for forming a piezoelectric element of an inkjet head according to claim 1 or claim 2 wherein the side surface of the inkjet head is continuously formed.
記圧電素子或いは前記圧電素子基板と長さが異なる方向
に対して反対側の側面部まで形成した前記導電パターン
から引き出すことを特徴とする請求項４のインクジェッ
トヘッド或いはインクジェットヘッドの圧電素子の形成
方法。5. The electrode is led out from the conductive pattern formed up to a side surface portion of the insulating plate opposite to the piezoelectric element or the piezoelectric element substrate in a direction different in length. The method for forming an inkjet head or a piezoelectric element of an inkjet head according to claim 4.
前記圧電素子のヤング率以下であることを特徴とする請
求項１のインクジェットヘッド或いは請求項２のインク
ジェットヘッドの圧電素子の形成方法。6. The method of forming a piezoelectric element of an inkjet head according to claim 1 or claim 2, wherein the Young's modulus of the material forming the insulating plate is not more than the Young's modulus of the piezoelectric element.
絶縁板を接着剤で接合することを特徴とする請求項１の
インクジェットヘッド或いは請求項２のインクジェット
ヘッドの圧電素子の形成方法。7. The method for forming a piezoelectric element of an ink jet head according to claim 1 or claim 2, wherein the piezoelectric element or the piezoelectric element substrate and the insulating plate are bonded together with an adhesive.
特徴とする請求項７のインクジェットヘッド或いはイン
クジェットヘッドの圧電素子の形成方法。8. The method for forming an inkjet head or a piezoelectric element of an inkjet head according to claim 7, wherein the adhesive is a conductive adhesive.
電素子のヤング率以下であることを特徴とする請求項７
或いは請求項８のインクジェットヘッド或いはインクジ
ェットヘッドの圧電素子の形成方法。9. The Young's modulus of the adhesive after curing is less than or equal to the Young's modulus of the piezoelectric element.
Alternatively, the method of forming the inkjet head or the piezoelectric element of the inkjet head according to claim 8.
ンクを噴射するノズルを有する圧力室、 及び両面に第１の電極を有し、該圧力室に接する圧電素
子の複数組から成る少なくとも１列と、 所定数の該圧力室の背面毎に固定され、対応する圧電素
子が夫々保持される保持部材とを備え、 圧電素子の第１の電極に選択的に電圧を印加して圧電素
子の電歪による変位で該圧力室に圧力変化を与えて、圧
力室に供給されたインクをノズルから噴射するインクジ
ェットヘッドの圧電素子の形成方法であって、 前記圧電素子の前記保持部材に対向する側面に設けら
れ、各圧電素子の両面の第１の電極に夫々通じる第１の
導通パターンと、 前記保持部材の、該第１の導通パターンに対応する位置
に第２の電極とを夫々形成したことを特徴とするインク
ジェットヘッド。10. A pressure chamber having an ink supply port for supplying ink and a nozzle for ejecting ink, and at least one row comprising a plurality of sets of piezoelectric elements having first electrodes on both surfaces and in contact with the pressure chamber. , A holding member that is fixed for each back surface of a predetermined number of the pressure chambers and that holds corresponding piezoelectric elements, respectively, by applying a voltage selectively to the first electrode of the piezoelectric element A method for forming a piezoelectric element of an inkjet head, which applies a pressure change to the pressure chamber by displacement of the ink to eject ink supplied to the pressure chamber from a nozzle, the method being provided on a side surface of the piezoelectric element facing the holding member. A first conductive pattern that communicates with the first electrodes on both surfaces of each piezoelectric element, and a second electrode that is formed on the holding member at a position corresponding to the first conductive pattern. Ink to Ettoheddo.
圧を印加する駆動回路に接続されることを特徴とする請
求項１０のインクジェットヘッド。11. The ink jet head according to claim 10, wherein the second electrode is connected to a drive circuit that applies a voltage to the piezoelectric element.
後部が嵌入される孔を有し、該孔の内面の前記第１の導
通パターンに対応する位置に前記第２の電極が形成さ
れ、該第２の電極及び前記駆動回路を連結する第２の導
通パターンが形成された基板を備えたことを特徴とする
請求項１０のインクジェットヘッド。12. A hole, into which a rear portion of the piezoelectric element held by the holding member is fitted, is formed, and the second electrode is formed at a position corresponding to the first conductive pattern on an inner surface of the hole, 11. The inkjet head according to claim 10, further comprising a substrate on which a second conductive pattern that connects the second electrode and the driving circuit is formed.
た時、或いは前記基板の孔を圧電素子の後部に嵌入した
時に、前記第２の電極が前記第１の導通パターンに接触
することを特徴とする請求項１０或いは請求項１２のイ
ンクジェットヘッド。13. The second electrode comes into contact with the first conductive pattern when the piezoelectric element is held by the holding member or when the hole of the substrate is fitted in the rear portion of the piezoelectric element. The inkjet head according to claim 10 or 12.
積層圧電素子であることを特徴とする請求項１、請求項
２或いは請求項１０のインクジェットヘッド或いはイン
クジェットヘッドの圧電素子の形成方法。14. The method of forming a piezoelectric element of an inkjet head or an inkjet head according to claim 1, 2, or 10, wherein the piezoelectric element is a single-layer piezoelectric element or a laminated piezoelectric element.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18150195A JPH0929965A (en) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | Ink jet head and forming method of piezoelectric element thereof |
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|---|---|---|---|
| JP18150195A JPH0929965A (en) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | Ink jet head and forming method of piezoelectric element thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0929965A true JPH0929965A (en) | 1997-02-04 |
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| JP18150195A Pending JPH0929965A (en) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | Ink jet head and forming method of piezoelectric element thereof |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JPH0929965A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100548777B1 (en) * | 1999-07-19 | 2006-02-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Ink jet head and fabricating method thereof |
| JP2006123517A (en) * | 2004-09-30 | 2006-05-18 | Brother Ind Ltd | Method of manufacturing layered body and method for manufacturing inkjet head |
| JP2007512703A (en) * | 2003-12-08 | 2007-05-17 | ザイネティクス、インク． | Transverse displacement actuator array |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP18150195A patent/JPH0929965A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100548777B1 (en) * | 1999-07-19 | 2006-02-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Ink jet head and fabricating method thereof |
| JP2007512703A (en) * | 2003-12-08 | 2007-05-17 | ザイネティクス、インク． | Transverse displacement actuator array |
| JP2006123517A (en) * | 2004-09-30 | 2006-05-18 | Brother Ind Ltd | Method of manufacturing layered body and method for manufacturing inkjet head |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030909 |